JPH11270970A - Coloring resist-burning oven with robot arm and method for coloring resist-burning - Google Patents
Coloring resist-burning oven with robot arm and method for coloring resist-burningInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、主に液晶カラーデ
ィスプレイに用いる有機カラーフィルターの製造に関す
るものであり、特に、焼成工程に使用する着色レジスト
焼成用オーブンに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic color filter used mainly for a liquid crystal color display, and more particularly to an oven for firing a colored resist used in a firing process.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、ビデオカメラの撮像管や液晶
カラーディスプレイの部品としてカラーフィルターが知
られ、そのカラーフィルターを製造形態上より分類する
と、レリーフ染色法、顔料分散法、あるいは印刷法等に
より得られる有機カラーフィルターと多層干渉膜蒸着法
等により得られる無機カラーフィルターとに分類され
る。2. Description of the Related Art Hitherto, a color filter has been known as a part of an image pickup tube of a video camera or a liquid crystal color display. Organic color filters obtained are classified into inorganic color filters obtained by a multilayer interference film deposition method or the like.
【０００３】そのうちの前者上記有機カラーフィルター
の製造において、例えば顔料分散法においては、ガラス
基板上に有機物でなる着色感光性レジストを塗布・乾燥
し、その後パターン露光、現像を行うことによって着色
パターンが形成されるが、この着色パターン部のレジス
トの完全硬化等の理由から２００℃〜３００℃のオーブ
ン中で焼成を行うのが一般的である。In the former production of the organic color filter, for example, in a pigment dispersion method, a colored photosensitive resist composed of an organic substance is applied to a glass substrate, dried, and then subjected to pattern exposure and development to form a colored pattern. Although it is formed, baking is generally performed in an oven at 200 ° C. to 300 ° C. for reasons such as complete curing of the resist in the colored pattern portion.
【０００４】上記焼成工程は、図４に示すように、着色
レジスト焼成用オーブン（１）内にロボットアーム（２
０）を用いてそのアーム部（２２）に、基板（１０）上
に着色レジスト膜（１４）が形成された基板材料（１
２）を乗せて搬入して焼成を行う。この着色レジスト焼
成用オーブン（１）内には着色レジスト膜（１４）の焼
成により昇華ガス（１４ａ）が発生し、外部で冷やされ
ている（実際は室温であってオーブン内部より低温な）
アーム部（２２）や搬入された基板材料（１２）で焼成
用オーブン（１）内のその昇華ガス（１４ａ）が冷やさ
れ、固化してアーム部（２２）や基板材料（１２）に再
付着し、異物（１４ｂ）となって製品の悪化の原因とな
るものである。特に、前記ロボットアーム（２０）のア
ーム部（２２）の異物（１４ｂ）は、基板材料（１２）
の搬出入を繰り返し行っていると、異物（１４ｂ）が多
く、大きくなり、基板材料（１２）の着色レジスト焼成
用オーブン（１）内への搬入のみならず、搬出に際して
も、高度の清浄度が要求される基板材料（１２）と直接
接するので基板材料（１２）の異物（１４ｂ）汚染とな
るという問題があった。[0004] As shown in FIG. 4, the baking step includes a robot arm (2) in a colored resist baking oven (1).
The substrate material (1) in which the colored resist film (14) is formed on the substrate (10) is formed on the arm portion (22) using the substrate material (1).
2) is carried in and fired. In the colored resist baking oven (1), a sublimation gas (14a) is generated by baking of the colored resist film (14) and cooled outside (actually at room temperature and lower than inside the oven).
The sublimation gas (14a) in the baking oven (1) is cooled by the arm portion (22) and the loaded substrate material (12), solidified, and reattached to the arm portion (22) and the substrate material (12). However, it becomes a foreign substance (14b) and causes deterioration of the product. In particular, the foreign matter (14b) of the arm portion (22) of the robot arm (20) is made of a substrate material (12).
When the loading and unloading are repeatedly performed, the amount of foreign substances (14b) is large and large, and the substrate material (12) is not only loaded into the colored resist baking oven (1) but also unloaded. Is directly in contact with the required substrate material (12), which causes a problem of contamination of the substrate material (12) with foreign matter (14b).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、有機カラーフィルターの焼成工程において、焼
成用オーブン内で発生する昇華ガスの固化付着のないロ
ボットアーム付着色レジスト焼成用オーブンおよび着色
レジスト焼成方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a sublimation gas generated in a firing oven in a firing process of an organic color filter. An object of the present invention is to provide an oven for baking a color resist adhered to a robot arm and a method of baking a colored resist, which does not cause solidification and adhesion.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、基板上
に、パターン化された着色レジスト膜を有する基板材料
をロボットアームを用いて搬出入する有機カラーフィル
ターの焼成のためのロボットアーム付着色レジスト焼成
用オーブンであって、該ロボットアームのアーム部が、
昇温可能な棒状材でなることを特徴とするロボットアー
ム付着色レジスト焼成用オーブンとしたものである。In order to achieve the above object, according to the present invention, first, a substrate material having a patterned colored resist film on a substrate is formed by using a robot arm. An oven for firing a color resist attached to a robot arm for firing an organic color filter to be carried in and out, wherein the arm portion of the robot arm is:
An oven for firing a color resist adhered to a robot arm, which is made of a rod-shaped material that can be heated.
【０００７】また、請求項２の発明では、前記基板材料
を予備加熱するホットプレートを具備してなることを特
徴とする請求項１記載のロボットアーム付着色レジスト
焼成用オーブンとしたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided an oven for firing a color resist attached to a robot arm according to the first aspect, further comprising a hot plate for preheating the substrate material.
【０００８】また、請求項３の発明では、前記ホットプ
レートの表面に上下する複数のピンを具備してなること
を特徴とする請求項２記載のロボットアーム付着色レジ
スト焼成用オーブンとしたものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided the oven for firing a color resist attached to a robot arm according to the second aspect, further comprising a plurality of pins that move up and down on the surface of the hot plate. is there.
【０００９】また、請求項４の発明では、前記ホットプ
レート上で予備加熱された基板材料をロボットアームの
昇温されたアーム部に乗せて、ロボットアーム付着色レ
ジスト焼成用オーブン内に搬入して焼成し、焼成された
基板材料を昇温されたアーム部に乗せ搬出することを特
徴とする着色レジスト焼成方法としたものである。Further, in the invention of claim 4, the substrate material preheated on the hot plate is placed on the heated arm portion of the robot arm, and is carried into the oven for baking a color resist attached to the robot arm. This is a method of firing a colored resist, characterized by firing and carrying out the fired substrate material on a heated arm.
【００１０】さらにまた、請求項５の発明では、前記昇
温されたアーム部の温度が１２０℃〜１８０℃で、ホッ
トプレートで予備加熱された基板材料の温度との差が２
０℃〜８０℃とすることを特徴とする請求項５記載の着
色レジスト焼成方法としたものである。Further, according to the present invention, the temperature of the raised arm portion is 120 ° C. to 180 ° C., and the difference between the temperature of the substrate material preheated by the hot plate and the temperature of the arm portion is 2 ° C.
6. The method for firing a colored resist according to claim 5, wherein the temperature is 0 ° C. to 80 ° C.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
用いて詳細に説明する。本発明のロボットアーム付着色
レジスト焼成用オーブンは、図１に示すように基板（１
０）上にパターン化された着色レジスト膜（１４）を有
する基板材料（１２）をロボットアーム（２０）を用い
て搬出入する有機カラーフィルターを焼成するためのロ
ボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン（１）であ
って、そのロボットアーム（２０）のアーム部（２２）
が、昇温可能な棒状材でなることを特徴とするものであ
る。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, an oven for baking a color resist attached to a robot arm according to the present invention includes a substrate (1).
0) A robot arm attached color resist baking oven (B) for baking an organic color filter for loading and unloading a substrate material (12) having a colored resist film (14) patterned thereon using a robot arm (20). 1) The arm portion (22) of the robot arm (20)
Are made of a rod-shaped material whose temperature can be raised.
【００１２】また、図１に示すように、前記基板材料
（１２）を予備加熱するためのホットプレート（３０）
をロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン（１）
に具備してなるもので、そのホットプレート（３０）の
表面に複数の上下可能なピンを有するものである。As shown in FIG. 1, a hot plate (30) for preheating the substrate material (12) is provided.
For baking color resist attached to robot arm (1)
The hot plate (30) has a plurality of vertically movable pins on its surface.
【００１３】ここで、上記昇温可能な棒状材としたロボ
ットアーム（２０）のアーム部（２２）を具体的に説明
すると、図２に示すように、２本の角棒状材の内部に電
力投入電極（２６）を有するセラミックヒーターが好適
であり、その上面に基板（１０）を固定するための基板
吸着用パット（２４）を角棒状材１本につき少なくとも
２個備えたものが好ましく使用できるものである。ま
た、セラミックヒーターに限定するものではなく、例え
ば棒状ヒーターの周囲をスチール等で覆った棒状材でも
良い。Here, the arm portion (22) of the robot arm (20) made of a rod-like material capable of raising the temperature will be specifically described. As shown in FIG. A ceramic heater having an input electrode (26) is preferable, and a ceramic heater provided with at least two substrate suction pads (24) for fixing the substrate (10) on the upper surface thereof per square bar-shaped material can be preferably used. Things. Further, the present invention is not limited to the ceramic heater, but may be, for example, a rod-shaped material in which the periphery of the rod-shaped heater is covered with steel or the like.
【００１４】また、ロボットアーム付着色レジスト焼成
用オーブン（１）に具備されるホットプレート（３０）
は、図１に示すように、基板材料（１２）をロボットア
ーム付着色レジスト焼成用オーブン（１）内に搬入する
ためのロボットアーム（２０）側に設置するもので、図
３に示すように、金属製好ましくはアルミニウム製でな
るこのホットプレート（３０）の内部に加熱ヒーター
（３６）が組み込まれていて、表面に少なくとも３個、
好ましくは４個のピン（３２）を設け、このピン（３
２）をピン昇降装置（３４）によって昇降可能にしてあ
る。これは、基板材料（１２）を予備加熱する際は、ピ
ン（３２）を降下させた状態のホットプレート（３０）
に基板材料（１２）を乗せ、基板材料（１２）の搬入の
際に、ピン（３２）を上昇させ、基板材料（１２）を浮
かばせ、ロボットアーム（２０）のアーム部（２２）に
乗せ易いようにしてある。A hot plate (30) provided in an oven (1) for baking the color resist attached to the robot arm.
Is installed on the robot arm (20) side for carrying the substrate material (12) into the oven (1) for firing the color resist attached to the robot arm, as shown in FIG. 1, and as shown in FIG. A heater (36) is incorporated inside the hot plate (30) made of metal, preferably aluminum, and has at least three heaters on its surface.
Preferably, four pins (32) are provided and these pins (3
2) can be moved up and down by a pin elevating device (34). This is because when preheating the substrate material (12), the hot plate (30) with the pins (32) lowered is used.
The substrate material (12) is put on the substrate material. When the substrate material (12) is carried in, the pins (32) are raised, the substrate material (12) is floated, and the substrate material (12) is put on the arm portion (22) of the robot arm (20). It is made easy.
【００１５】なお、図１に示すように、焼成された基板
材料（１２）のオーブン内からの搬出用として、昇温可
能なアーム部（２２）をもつロボットアーム（２０）を
別に設けたほうが生産効率上好ましい。As shown in FIG. 1, a robot arm (20) having an arm (22) capable of raising the temperature is preferably provided separately for carrying out the fired substrate material (12) from the oven. It is preferable in terms of production efficiency.
【００１６】また、図１に示すように、上記のホットプ
レート（３０）を具備したロボットアーム付着色レジス
ト焼成用オーブン（１）を用いて、請求項４の発明は、
前記ホットプレート（３０）上で予備加熱された基板材
料（１２）をロボットアーム（２０）の昇温されたアー
ム部（２２）に乗せて、ロボットアーム付着色レジスト
焼成用オーブン（１）内に搬入して焼成する着色レジス
トの焼成方法であり、請求項５の発明は、前記昇温され
たアーム部（２２）の温度が１２０℃〜１８０℃で、ホ
ットプレート（３０）で予備加熱された基板材料（１
２）の温度との差が２０℃〜８０℃とする着色レジスト
の焼成方法である。Further, as shown in FIG. 1, the present invention according to claim 4 uses an oven (1) for baking a color resist attached to a robot arm provided with the above-mentioned hot plate (30).
The substrate material (12) preheated on the hot plate (30) is placed on the heated arm portion (22) of the robot arm (20), and is placed in the oven (1) for firing the color resist attached to the robot arm. A method of firing a colored resist which is carried in and fired, wherein the temperature of the raised arm portion (22) is 120 ° C to 180 ° C and preheated by a hot plate (30). Substrate material (1
This is a method for baking a colored resist in which the difference from the temperature in 2) is set to 20 ° C to 80 ° C.
【００１７】上記のように、昇温されたロボットアーム
（２０）のアーム部（２２）で昇温された基板材料（１
２）を搬入することによって、オーブン内に浮遊する昇
華ガス（１４ａ）が冷やされ固化することがなく、よっ
て基板材料（１２）の汚染等悪影響のないものとするこ
とができる。また、焼成された基板材料（１２）の搬出
においても同様の効果のあるものである。As described above, the substrate material (1) heated by the arm portion (22) of the heated robot arm (20).
By carrying in 2), the sublimation gas (14a) floating in the oven is not cooled and solidified, and therefore, there is no adverse effect such as contamination of the substrate material (12). The same effect can be obtained in unloading the fired substrate material (12).
【００１８】さらに昇温されたアーム部（２２）の温度
とホットプレート（３０）で昇温された基板材料（１
２）の温度差が、８０℃以上では、基板（１０）である
ガラスが破損（ひび割れ等）する危険性があり、２０℃
以下では、ホットプレート（３０）の放熱エネルギーの
ロスが大きいので、好ましくは６０℃近傍が好ましい値
である。Further, the temperature of the arm portion (22) further raised and the substrate material (1) heated by the hot plate (30) are increased.
If the temperature difference in 2) is 80 ° C. or more, there is a risk that the glass as the substrate (10) may be damaged (cracked, etc.),
In the following, since the heat radiation energy loss of the hot plate (30) is large, a preferable value is preferably around 60 ° C.
【００１９】[0019]
【実施例】次に本発明を実施例により、より具体的に説
明する。 〈実施例１〉図２に示すように、ロボットアーム（２
０）のアーム部（２２）を２本の角棒状材とし、電力投
入電極（２６）側の太さが、幅（Ｗ1 ）５０ｍｍ、厚さ
（Ｄ）２０ｍｍ、先端部の太さが、幅（Ｗ2 ）２０ｍ
ｍ、厚さ（Ｄ）２０ｍｍで長さ（Ｌ）８００ｍｍの角棒
でなる１ＫＷのセラミックヒーターとした。Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. <Embodiment 1> As shown in FIG.
The arm portion (22) of (0) is made of two square rods, and the thickness of the power input electrode (26) side is 50 mm in width (W 1 ), 20 mm in thickness (D), and the thickness of the tip portion is width (W 2) 20m
m, a 1 KW ceramic heater consisting of a square rod having a thickness (D) of 20 mm and a length (L) of 800 mm.
【００２０】また、図３に示すように、８００×１００
０ｍｍのアルミニウム製ホットプレート（３０）の表面
に４個のピン（３２）とピン昇降装置（３４）を備え、
内部に３ＫＷの加熱ヒーター（３６）を３本導入した。Further, as shown in FIG.
A surface of a 0 mm aluminum hot plate (30) is provided with four pins (32) and a pin elevating device (34),
Three 3 KW heaters (36) were introduced inside.
【００２１】オーブン炉内温度を３００℃、上記ホット
プレート（３０）の温度を９０℃、上記ロボットアーム
（２０）のアーム部（２２）の温度を１５０℃となるよ
うに昇温し、顔料分散法による着色レジスト膜（１４）
の施された５５０×６５０ｍｍのガラス基板（１０）で
なる基板材料（１２）の搬入と焼成試験を基板材料（１
２）１０００枚について順次に行った。The temperature in the oven furnace is increased to 300 ° C., the temperature of the hot plate (30) is increased to 90 ° C., and the temperature of the arm section (22) of the robot arm (20) is increased to 150 ° C. to disperse the pigment. Resist film (14)
Of a substrate material (12) made of a 550 × 650 mm glass substrate (10) on which the substrate material (1) has been applied and a firing test are performed on the substrate material (1).
2) The test was sequentially performed on 1000 sheets.
【００２２】〈比較例１〉ロボットアーム（２０）のア
ーム部（２２）およびホットプレート（３０）を昇温し
ない（外部常温で）以外は、上記実施例１と同様の条件
にて、基板材料（１２）の搬入、焼成試験を１０００枚
につき順次に行った。Comparative Example 1 A substrate material was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the temperature of the arm portion (22) of the robot arm (20) and the hot plate (30) were not raised (at an external normal temperature). The loading and firing tests of (12) were performed sequentially on 1000 sheets.
【００２３】上記試験の結果、比較例１におけるロボッ
トアーム（２０）のアーム部（２２）の表面に付着した
昇華物の層の厚さは、約５０μｍに達するものであっ
た。これに対し、本発明のロボットアーム付着色レジス
ト焼成用オーブン（１）および着色レジスト焼成方法に
よる実施例１においてのアーム部（２２）の表面に付着
した昇華物の層の厚さは、約１０μｍに達しないほど極
端に少ないものであった。このように、アーム部（２
２）表面の１０μｍ以下の異物（１４ｂ）層では、例え
この異物（１４ｂ）が基板材料（１２）に再付着し汚染
があったとしても、カラーフィルターとしての製品に悪
影響するものではなく、そのため従来に比較し焼成工程
での昇華異物（１４ｂ）の除去に要する時間を大幅に削
減することが出来た。As a result of the above test, the thickness of the sublimate layer adhered to the surface of the arm portion (22) of the robot arm (20) in Comparative Example 1 reached about 50 μm. On the other hand, the thickness of the sublimate layer attached to the surface of the arm portion (22) in Example 1 by the oven (1) for firing a color resist attached to a robot arm and the method for firing a colored resist of the present invention is about 10 μm. It was extremely small so as not to reach. Thus, the arm (2
2) In the foreign matter (14b) layer of 10 μm or less on the surface, even if the foreign matter (14b) re-adheres to the substrate material (12) and becomes contaminated, it does not adversely affect a product as a color filter. The time required for removing the sublimed foreign matter (14b) in the firing step was significantly reduced as compared with the conventional case.
【００２４】また、実施例１では、ロボットアーム（２
０）のアーム部（２２）の温度とホットプレート（３
０）で予備加熱された基板材料（１２）の温度との差を
６０℃（１５０−９０℃）としたので、ガラス基板（１
０）には何ら損傷のないものであった。In the first embodiment, the robot arm (2
0) The temperature of the arm (22) and the hot plate (3)
Since the difference from the temperature of the substrate material (12) preheated in step (0) was 60 ° C. (150-90 ° C.), the glass substrate (1)
0) was undamaged.
【００２５】[0025]
【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、基板上にパターン化された
着色レジスト膜を有する基板材料をロボットアームを用
いて搬出入する有機カラーフィルターの焼成のためのオ
ーブンにおいて、該ロボットアームのアーム部が、昇温
可能な棒状材でなり、前記基板材料を予備加熱するホッ
トプレートを具備してなるロボットアーム付着色レジス
ト焼成用オーブンを用いて、前記ホットプレート上で予
備加熱された基板材料をロボットアームの昇温されたア
ーム部に乗せて、ロボットアーム付着色レジスト焼成用
オーブン内に搬入し、昇温されたアーム部に乗せ搬出し
て焼成する着色レジスト焼成方法としたので、特にアー
ム部への昇華物の付着が極端に少なくなり、カラーフィ
ルターとしての製品に汚染等の悪影響がなく、昇華物の
除去に要する作業時間を大幅に削減できる効果がある。As described above, the present invention has the following effects. That is, in an oven for baking an organic color filter, in which a substrate material having a colored resist film patterned on a substrate is carried in and out using a robot arm, the arm portion of the robot arm is a rod-shaped material that can be heated. And using a robot arm attached color resist baking oven comprising a hot plate for preheating the substrate material, the substrate material preheated on the hot plate is heated to an arm portion of the robot arm. , And carried into the oven for baking colored resist attached to the robot arm, and then carried out and heated on the heated arm, so that the sublimate adheres particularly to the arm. Less, the product as a color filter has no adverse effects such as contamination, and the work time required for removing sublimates can be greatly reduced. There is an effect.
【００２６】また、ロボットアームのアーム部の温度を
１２０℃〜１８０℃で、ホットプレートで予備加熱され
た基板材料の温度との差を６０℃近傍としたので、搬入
時のガラス基板には何ら損傷のないものとすることがで
きる。Further, since the temperature of the arm portion of the robot arm is 120 ° C. to 180 ° C. and the difference between the temperature of the substrate material preheated by the hot plate and the temperature is approximately 60 ° C. It can be undamaged.
【００２７】従って本発明は、有機カラーフィルターの
製造における焼成の如き用途において、優れた実用上の
効果を発揮する。Accordingly, the present invention exhibits excellent practical effects in applications such as baking in the production of organic color filters.
【図１】本発明の一実施例を示すロボットアーム付着色
レジスト焼成用オーブンの正面概略図である。FIG. 1 is a schematic front view of an oven for baking a color resist attached to a robot arm, showing an embodiment of the present invention.
【図２】本発明に関わるロボットアームを説明するため
の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating a robot arm according to the present invention.
【図３】本発明に関わるホットプレートを説明するため
の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a hot plate according to the present invention.
【図４】本発明に関わる昇華ガス、異物の発生状態を説
明するための模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a state of generation of a sublimation gas and foreign matter according to the present invention.
１‥‥ロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン １０‥‥基板 １２‥‥基板材料 １４‥‥着色レジスト膜 １４ａ‥‥昇華ガス １４ｂ‥‥異物 ２０‥‥ロボットアーム ２２‥‥アーム部 ２４‥‥基板吸着用パット ２６‥‥電力投入電極 ３０‥‥ホットプレート ３２‥‥ピン ３４‥‥ピン昇降装置 ３６‥‥加熱ヒーター ６２‥‥昇降用シリンダー Ｗ1 ‥‥アーム部の根元部の幅 Ｗ2 ‥‥アーム部の先端部の幅 Ｄ‥‥アーム部の厚さ Ｌ‥‥アーム部の長さ1 Oven for baking color resist attached to robot arm 10 Substrate 12 Substrate material 14 Colored resist film 14 a Sublimation gas 14 b Foreign matter 20 Robot arm 22 Arm part 24 Substrate adsorption Pad 26 ‥‥ Power input electrode 30 ‥‥ Hot plate 32 ‥‥ Pin 34 ‥‥ Pin elevating device 36 ‥‥ Heater 62 ‥‥ Elevating cylinder W 1幅 Width of base of arm W 2 ‥‥ Arm Width of tip of part D ‥‥ Thickness of arm L ‥‥ Length of arm
Claims (5)
膜を有する基板材料をロボットアームを用いて搬出入す
る有機カラーフィルターの焼成のためのロボットアーム
付着色レジスト焼成用オーブンであって、該ロボットア
ームのアーム部が、昇温可能な棒状材でなることを特徴
とするロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン。An oven for firing a color resist attached to a robot arm for firing an organic color filter, wherein a substrate material having a patterned colored resist film on a substrate is carried in and out by using a robot arm. An oven for firing a color resist attached to a robot arm, wherein an arm portion of the robot arm is made of a rod-shaped material that can be heated.
トを具備してなることを特徴とする請求項１記載のロボ
ットアーム付着色レジスト焼成用オーブン。2. The oven for baking a color resist attached to a robot arm according to claim 1, further comprising a hot plate for preheating the substrate material.
のピンを具備してなることを特徴とする請求項２記載の
ロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン。3. The oven for baking a color resist attached to a robot arm according to claim 2, further comprising a plurality of pins that move up and down on the surface of the hot plate.
板材料をロボットアームの昇温されたアーム部に乗せ
て、ロボットアーム付着色レジスト焼成用オーブン内に
搬入して焼成し、焼成された基板材料を昇温されたアー
ム部に乗せ搬出することを特徴とする着色レジスト焼成
方法。4. A substrate material pre-heated on the hot plate is loaded on a heated arm portion of a robot arm, loaded into an oven for firing a color resist attached to the robot arm, and fired, and the fired substrate is fired. A method for baking a colored resist, wherein the material is carried on a heated arm portion and carried out.
〜１８０℃で、ホットプレートで予備加熱された基板材
料の温度との差が２０℃〜８０℃とすることを特徴とす
る請求項５記載の着色レジスト焼成方法。5. The temperature of the raised arm portion is 120 ° C.
6. The method for firing a colored resist according to claim 5, wherein a difference between the temperature of the substrate material preheated by the hot plate and the temperature of the substrate material is from 20 to 80C.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7421998A JPH11270970A (en) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | Coloring resist-burning oven with robot arm and method for coloring resist-burning |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7421998A JPH11270970A (en) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | Coloring resist-burning oven with robot arm and method for coloring resist-burning |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11270970A true JPH11270970A (en) | 1999-10-05 |
Family
ID=13540871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7421998A Pending JPH11270970A (en) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | Coloring resist-burning oven with robot arm and method for coloring resist-burning |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11270970A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001332602A (en) * | 2000-03-16 | 2001-11-30 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Apparatus and method for controlling wafer environment between thermal cleaning and heat treatment |
| JP2007212031A (en) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Koyo Thermo System Kk | Robot arm device for heat treatment furnace |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP7421998A patent/JPH11270970A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001332602A (en) * | 2000-03-16 | 2001-11-30 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | Apparatus and method for controlling wafer environment between thermal cleaning and heat treatment |
| US6488778B1 (en) * | 2000-03-16 | 2002-12-03 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method for controlling wafer environment between thermal clean and thermal processing |
| JP2007212031A (en) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Koyo Thermo System Kk | Robot arm device for heat treatment furnace |
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