JPH11260882A - Standard mechanical interface apparatus - Google Patents
Standard mechanical interface apparatusInfo
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- JPH11260882A JPH11260882A JP5545998A JP5545998A JPH11260882A JP H11260882 A JPH11260882 A JP H11260882A JP 5545998 A JP5545998 A JP 5545998A JP 5545998 A JP5545998 A JP 5545998A JP H11260882 A JPH11260882 A JP H11260882A
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Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、標準機械的インタ
ーフェース装置に関し、特に、クリーンルームに設置す
る際の占有面積を狭くすることのできる標準機械的イン
ターフェース装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a standard mechanical interface device, and more particularly to a standard mechanical interface device capable of reducing an occupied area when installed in a clean room.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体製造工程等においては、シリコン
等の半導体ウェーハの保管や搬送に、該ウェーハを横置
き状態で収納することのできるSMIF(標準機械的イ
ンターフェース:Standard Mechanical InterFace)ポ
ッドと称する容器が用いられつつある。2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing process or the like, a container called a SMIF (Standard Mechanical Interface) pod capable of storing semiconductor wafers such as silicon wafers in a horizontal state for storing and transporting the wafers. Is being used.
【0003】図9は、このSMIFポッド1を示す断面
図であり、底部全体が開口部2aとされた箱型状の容器
本体2と、前記開口部2aに着脱自在に設けられ蓋ロッ
ク開閉機構(図示せず)を有する矩形板状の底蓋3とに
より構成されており、このSMIFポッド1にはウェー
ハカセット4が収納されている。このウェーハカセット
4は、複数枚のウェーハ5、5、…を、横置状態でかつ
互いに重ならないように上下に所定の間隔をおいて収納
するもので、箱形状のカセット本体6の一側面全体が開
口部6aとされ、他の3側面のうちの少なくとも2側面
の内側にウェーハ4保持用の複数の水平溝7が形成され
ている。FIG. 9 is a cross-sectional view showing the SMIF pod 1. The box-shaped container body 2 has an opening 2a at its entire bottom, and a lid lock opening / closing mechanism provided detachably in the opening 2a. (Not shown). The SMIF pod 1 houses a wafer cassette 4. The wafer cassette 4 stores a plurality of wafers 5, 5,... In a horizontal state and at predetermined intervals so as not to overlap each other. Is an opening 6a, and a plurality of horizontal grooves 7 for holding the wafer 4 are formed inside at least two of the other three side surfaces.
【0004】一方、クリーンルーム内には、ウェーハ
5、5、…を縦置状態で保管するために前記ウェーハカ
セット4を略90゜横に倒した状態で保管するウェーハ
保管用ストッカが設置されており、このストッカの内部
には、ウェーハカセット4を移載するためのロードポー
トが設置されている。On the other hand, in the clean room, there is provided a wafer storage stocker for storing the wafers 5, 5,. A load port for transferring the wafer cassette 4 is provided inside the stocker.
【0005】このストッカに、SMIFポッド1内に収
納されたウェーハカセット4を収納するには、まず、図
10(a)に示すように、ウェーハカセット4を収納し
たSMIFポッド1をロードポート11に載置し、SM
IFポッド1の蓋ロック開閉機構を作動させて底蓋3の
ロックを外し、該ロードポート11内に垂直に設けられ
たSMIF側エレベータ12のボールネジ12aを回転
させることによりテーブル12bを上に移動させてその
底蓋3を下げ、このSMIF側エレベータ12に取り付
けられたアーム13によりウェーハカセット4を垂直下
方に取り出す。In order to store the wafer cassette 4 stored in the SMIF pod 1 in this stocker, first, the SMIF pod 1 storing the wafer cassette 4 is transferred to the load port 11 as shown in FIG. Place, SM
The lid lock opening / closing mechanism of the IF pod 1 is operated to unlock the bottom lid 3, and the table 12 b is moved upward by rotating the ball screw 12 a of the SMIF-side elevator 12 provided vertically in the load port 11. The bottom cover 3 is lowered, and the wafer cassette 4 is taken out vertically downward by the arm 13 attached to the SMIF-side elevator 12.
【0006】このアーム13は、水平方向に進退する第
1のハンド13aと、第1のハンド13aの先端部に回
動自在に取り付けられた第2のハンド13bとにより構
成されているので、第1のハンド13aの進退動作と第
2のハンド13bの回動動作とを組み合わせることによ
り、図10(b)〜図11(b)に示すように、この取
り出したウェーハカセット4を略90゜縦置きにした状
態、すなわちウェーハ5、5、…を縦置きにした状態で
ストッカの仮置き台14に載置することができる。この
仮置き台14に載置されたウェーハカセット4を、スト
ッカ内に設けられたスタッカクレーン(移載機)により
該ストッカの棚に移し保管する。なお、ウェーハ5、
5、…を横置状態で保管するストッカの場合には、垂直
に保持したウェーハカセット4をそのままの状態でスト
ッカの棚14に載置すればよい。The arm 13 is composed of a first hand 13a which advances and retreats in the horizontal direction, and a second hand 13b which is rotatably attached to the tip of the first hand 13a. By combining the advancing / retreating operation of the first hand 13a and the rotating operation of the second hand 13b, as shown in FIGS. The wafers 5, 5,... Can be placed on the temporary storage table 14 of the stocker in a vertically placed state. The wafer cassette 4 placed on the temporary placing table 14 is moved to a shelf of the stocker by a stacker crane (transfer machine) provided in the stocker and stored. In addition, the wafer 5,
In the case of a stocker that stores 5,... In a horizontal state, the wafer cassette 4 held vertically may be placed on the shelf 14 of the stocker as it is.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のロードポート11は、第1のハンド13aの進退動
作と第2のハンド13bの回動動作とを組み合わせてウ
ェーハカセット4の姿勢制御を行っているために、アー
ム13の長さを十分長く取らないとウェーハカセット4
を棚14に載置することができない。したがって、この
ロードポート11とストッカとの間隔を十分取らなけれ
ばならず、ストッカの幅が大きくなったり、ロードポー
ト11がストッカからはみ出してしまうという問題点が
あった。The above-described conventional load port 11 controls the attitude of the wafer cassette 4 by combining the forward / backward movement of the first hand 13a and the turning movement of the second hand 13b. Therefore, if the length of the arm 13 is not sufficiently long, the wafer cassette 4
Cannot be placed on the shelf 14. Therefore, there is a problem that the distance between the load port 11 and the stocker needs to be sufficiently long, and the width of the stocker becomes large or the load port 11 protrudes from the stocker.
【0008】一般に、クリーンルームは、建設費用や運
転費用が極めて高く付くため、その床面積は出来るだけ
狭くすることが望ましく、このクリーンルーム内に設置
される機器や什器に対しても出来るだけ狭いフットプリ
ントが要求されている。ストッカにおいても同様、でき
るだけ狭いフットプリントが要求されている。[0008] In general, since a clean room requires extremely high construction and operation costs, it is desirable that the floor area be as small as possible, and the footprint of equipment and fixtures installed in the clean room is as narrow as possible. Is required. Stockers also require a footprint that is as narrow as possible.
【0009】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、複数枚のウェーハを横置き状態で収納する
ウェーハカセットを縦置き状態とするためのスペースを
とらないようにすることのできる標準機械的インターフ
ェース装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to prevent a space for vertically setting a wafer cassette for accommodating a plurality of wafers in a horizontal state. It is intended to provide a standard mechanical interface device that can be used.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様な標準機械的インターフェース装置
を提供する。すなわち、本発明の請求項1記載の標準機
械的インターフェース装置は、標準機械的インターフェ
ースを備えた装置において、標準機械的インターフェー
ス側エレベータ上の複数枚のウェーハを横置き状態で収
納するウェーハカセットを挟持し、略90゜回動させる
ことにより横置き状態のウェーハを縦置き状態とする回
動手段と、前記ウェーハを縦置き状態としたウェーハカ
セットを把持する前記装置側ロボットとを備えたことを
特徴としている。In order to solve the above problems, the present invention provides the following standard mechanical interface device. That is, the standard mechanical interface device according to claim 1 of the present invention is a device provided with a standard mechanical interface, which sandwiches a wafer cassette for accommodating a plurality of wafers on a standard mechanical interface side elevator in a horizontal state. The apparatus further comprises a rotating means for rotating the wafer in the horizontal state vertically by rotating by about 90 °, and the apparatus-side robot for gripping a wafer cassette in the vertical state. And
【0011】請求項2記載の標準機械的インターフェー
ス装置は、請求項1記載の標準機械的インターフェース
装置において、前記回動手段は、前記装置側に設けられ
ていることを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided the standard mechanical interface device according to the first aspect, wherein the rotating means is provided on the device side.
【0012】請求項3記載の標準機械的インターフェー
ス装置は、請求項1または2記載の標準機械的インター
フェース装置において、前記装置は、ウェーハカセット
収納用ストッカであることを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, there is provided the standard mechanical interface device according to the first or second aspect, wherein the device is a stocker for accommodating a wafer cassette.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の標準機械的インターフェ
ース(SMIF)装置の一実施形態について、図面に基
づき説明する。図1は本発明の一実施形態のSMIFを
備えた装置の一部を示す部分側面図、図2は同正面図で
あり、ロードポート21は、SMIFポッド蓋開閉機構
を有するSMIF側エレベータ12と、ロードポート2
1の壁部に支持される回動部22とから構成されてい
る。SMIF側エレベータ12は、ウェーハカセット4
を垂直に設けられたボールネジ12aに沿って上下方向
に移動自在かつ上下方向の任意の位置に固定可能とされ
ている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of a standard mechanical interface (SMIF) device of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a partial side view showing a part of an apparatus having a SMIF according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view of the same. A load port 21 includes a SMIF-side elevator 12 having a SMIF pod lid opening / closing mechanism, and , Load port 2
And a rotating portion 22 supported by the first wall portion. The SMIF-side elevator 12 has a wafer cassette 4
Are vertically movable along a vertically provided ball screw 12a and can be fixed at an arbitrary position in the vertical direction.
【0014】回動部22は、ウェーハカセット4の両側
を挟持し該ウェーハカセット4をその両側の挟持部を結
ぶ水平軸の回りに回動させる一対のハンド23a、23
bと、ハンド23a、23bを水平軸の回りに回動する
図示しない回動機構と、先端部がこれらハンド23a、
23bをウェーハカセット4の両側に対して進退させる
とともに後端部がSMIF側エレベータ12に取り付け
られる一対のアーム24a、24bとにより構成されて
いる。The rotating portion 22 includes a pair of hands 23a and 23 for holding both sides of the wafer cassette 4 and rotating the wafer cassette 4 around a horizontal axis connecting the holding portions on both sides.
b, a rotating mechanism (not shown) for rotating the hands 23a and 23b around a horizontal axis,
The pair of arms 24a and 24b are provided with a pair of arms 24a and 24b for moving the wafer 23b toward and away from both sides of the wafer cassette 4 and having a rear end attached to the SMIF elevator 12.
【0015】このSMIF側エレベータ12及び回動部
22には、ウェーハカセット4を下方の位置に移動した
後にその水平軸の回りに回動させる動作、および/また
はウェーハカセット4をその水平軸の回りに回動させた
後に上方の位置に移動させる動作を繰り返し行うよう
に、SMIF側エレベータ12及び回動部22を制御す
る制御部25が設けられている。The SMIF-side elevator 12 and the rotating portion 22 move the wafer cassette 4 to a lower position and then rotate the wafer cassette 4 around its horizontal axis, and / or move the wafer cassette 4 around its horizontal axis. A control unit 25 that controls the SMIF-side elevator 12 and the rotating unit 22 is provided so as to repeatedly perform the operation of moving to the upper position after being rotated.
【0016】次に、このロードポート21の動作につい
て説明する。まず、図3に示すように、ウェーハカセッ
ト4を収納したSMIFポッド1をロードポート21に
載置する。この時、テーブル12bはSMIFポッド1
の底蓋3に接している。次いで、図4に示すように、S
MIFポッド蓋開閉機構を外し、SMIF側エレベータ
12のボールネジ12aを回転させてテーブル12bを
下に移動させることにより、SMIFポッド1の底蓋3
を下げてウェーハカセット4を垂直下方に取り出す。Next, the operation of the load port 21 will be described. First, as shown in FIG. 3, the SMIF pod 1 containing the wafer cassette 4 is placed on the load port 21. At this time, the table 12b is in the SMIF pod 1
In contact with the bottom cover 3 Then, as shown in FIG.
The bottom cover 3 of the SMIF pod 1 is removed by removing the MIF pod cover opening / closing mechanism and rotating the ball screw 12a of the SMIF-side elevator 12 to move the table 12b downward.
And take out the wafer cassette 4 vertically downward.
【0017】次いで、図1、図2及び図5に示すよう
に、アーム24a、24bを互いに近接する方向、すな
わち中心部の方向へ移動させることにより、アーム24
a、24bに取り付けられたハンド23a、23bによ
りウェーハカセット4の両側を挟持する。その後、再度
ボールネジ12aを回転させてテーブル12bを更に下
に移動させる。Next, as shown in FIGS. 1, 2 and 5, the arms 24a and 24b are moved in the direction of approaching each other, that is, in the direction of the center, so that the arms 24a and 24b are moved toward the center.
The two sides of the wafer cassette 4 are held by the hands 23a and 23b attached to the wafer cassettes a and 24b. Thereafter, the table 12b is further moved downward by rotating the ball screw 12a again.
【0018】次いで、図6に示すように、図示しない回
動機構によりハンド23a、23bを図7中時計回り方
向へ略90゜回動させることによりウェーハカセット4
を回動させ、横置き状態から縦置き状態に変更する。次
いで、図7に示すように、スタッカ(装置側ロボット)
31の一対のアーム32、32をウェーハカセット4の
上方に移動させて該ウェーハカセット4の上端部を保持
する。Next, as shown in FIG. 6, the hands 23a and 23b are rotated clockwise in FIG.
Is rotated to change from the horizontal state to the vertical state. Next, as shown in FIG. 7, a stacker (device-side robot)
The pair of arms 31 is moved above the wafer cassette 4 to hold the upper end of the wafer cassette 4.
【0019】次いで、アーム24a、24bを互いに離
間する方向、すなわち外方へ向かう方向へ移動させるこ
とにより、ウェーハカセット4からハンド23a、23
bを離間させ、その後、ハンド23a、23bをウェー
ハカセット4の下方もしくは上方に移動させる。この
時、図8に示すように、ウェーハカセット4はスタッカ
31のハンド32、32のみにより保持された状態とな
る。その後、スタッカ31のハンド32、32を移動さ
せてウェーハカセット4をストッカの棚へと運ぶ。Next, the arms 24a, 24b are moved in a direction away from each other, that is, in an outward direction, so that the hands 23a, 23
b, and then the hands 23a and 23b are moved below or above the wafer cassette 4. At this time, as shown in FIG. 8, the wafer cassette 4 is held by only the hands 32, 32 of the stacker 31. After that, the hands 32 of the stacker 31 are moved to carry the wafer cassette 4 to the shelf of the stocker.
【0020】以上により、ウェーハカセット4をSMI
Fポッド1より取り出し、ストッカの棚へ運ぶという動
作を繰り返し行なうことができる。また、制御部25に
よりこの動作を逆に行なうように制御すれば、ウェーハ
カセット4をストッカの棚から取り出しSMIFポッド
1内に収納するという逆の動作を繰り返し行なうことが
できる。As described above, the wafer cassette 4 is
The operation of taking out from the F pod 1 and carrying it to the stocker shelf can be repeated. If the control section 25 controls this operation in reverse, the reverse operation of taking out the wafer cassette 4 from the shelf of the stocker and storing it in the SMIF pod 1 can be repeated.
【0021】以上説明した様に、本実施形態によれば、
ウェーハカセット4を上下方向に移動自在かつ上下方向
の任意の位置に固定可能とするSMIF側エレベータ1
2と、回動部22とを備え、回動部22をウェーハカセ
ット4の両側を挟持し該ウェーハカセット4をその両側
の挟持部を結ぶ水平軸の回りに回動させる一対のハンド
23a、23bと、ハンド23a、23bを回動させる
図示しない回動機構と、アーム24a、24bとにより
構成したので、SMIFポッド1の直下でウェーハカセ
ット4を横置き状態から縦置き状態に容易に変更するこ
とができ、横置きウェーハを縦置きウェーハとするのに
スペースを取らないようにすることができる。As described above, according to the present embodiment,
SMIF-side elevator 1 capable of vertically moving wafer cassette 4 and fixing it at an arbitrary position in the vertical direction
A pair of hands 23a, 23b for holding the rotating unit 22 on both sides of the wafer cassette 4 and rotating the wafer cassette 4 about a horizontal axis connecting the holding units on both sides thereof. And the arm 24a, 24b for rotating the hands 23a, 23b and the arms 24a, 24b, so that the wafer cassette 4 can be easily changed from the horizontal state to the vertical state immediately below the SMIF pod 1. Therefore, it is possible to save space for a horizontal wafer to be a vertical wafer.
【0022】したがって、ロードポート21とストッカ
との間隔を狭めることができ、ロードポート21のスト
ッカからのはみ出しを小さくすることができ、ロードポ
ート21の占有面積を狭くすることができる。このた
め、スタッカ31の運行を阻害する虞が無くなり、スト
ッカのカセット収納エリアを削る必要が無くなる。Therefore, the distance between the load port 21 and the stocker can be narrowed, the protrusion of the load port 21 from the stocker can be reduced, and the area occupied by the load port 21 can be reduced. For this reason, there is no possibility that the operation of the stacker 31 is obstructed, and it is not necessary to reduce the cassette storage area of the stocker.
【0023】なお、本実施形態では、回動部22を、ハ
ンド23a、23bと、図示しない回動機構と、アーム
24a、24bとにより構成したが、回動部22はウェ
ーハカセット4の両側を挟持し該ウェーハカセット4を
その両側の挟持部を結ぶ水平軸の回りに回動させる機能
を有するものであればよく、上記以外の構成であっても
もちろんよい。また、ハンド23a、23b及びアーム
24a、24bの形状や数量は、ウェーハカセット4の
形状に合わせて様々に変更可能である。In this embodiment, the rotating portion 22 is constituted by the hands 23a and 23b, a rotating mechanism (not shown), and the arms 24a and 24b. Any structure may be used as long as it has a function of holding and rotating the wafer cassette 4 about a horizontal axis connecting the holding portions on both sides of the wafer cassette 4. Further, the shapes and the numbers of the hands 23a and 23b and the arms 24a and 24b can be variously changed according to the shape of the wafer cassette 4.
【0024】また、回動部22をロードポート21の壁
部に支持する構成としたが、ロードポート21の下側に
支持する構成としてもよい。さらに、この回動部22
を、例えばウェーハ保管用ストッカ等、ウェーハカセッ
トの保管、移載、搬送等を行う装置側に設けてもよい。Although the rotating portion 22 is supported on the wall of the load port 21, the rotating portion 22 may be supported on the lower side of the load port 21. Further, the rotating portion 22
May be provided on a device that stores, transfers, and conveys a wafer cassette, such as a wafer storage stocker.
【0025】[0025]
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の標準機械的
インターフェース装置によれば、標準機械的インターフ
ェース側エレベータ上の複数枚のウェーハを横置き状態
で収納するウェーハカセットを挟持し、略90゜回動さ
せることにより横置き状態のウェーハを縦置き状態とす
る回動手段と、前記ウェーハを縦置き状態としたウェー
ハカセットを把持する前記装置側ロボットとを備えたの
で、同じ位置でウェーハカセットを横置き状態から縦置
き状態に容易に変更することができ、横置きウェーハを
縦置きウェーハとするのにスペースを取らないようにす
ることができる。As described above, according to the standard mechanical interface apparatus of the present invention, a wafer cassette for accommodating a plurality of wafers in a standard mechanical interface side elevator in a horizontal state is clamped, and approximately 90゜ Since there is provided a rotating means for rotating the wafer in the horizontal state vertically by rotating, and the apparatus-side robot for holding the wafer cassette in the vertical state, the wafer cassette is positioned at the same position. Can be easily changed from the horizontal state to the vertical state, so that it is possible to save space for a horizontal wafer to be a vertical wafer.
【図1】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置を示す部分側面図である。FIG. 1 is a partial side view showing a standard mechanical interface device according to an embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置を示す正面図である。FIG. 2 is a front view showing a standard mechanical interface device according to an embodiment of the present invention.
【図3】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置の動作を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing the operation of the standard mechanical interface device according to one embodiment of the present invention.
【図4】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置の動作を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing the operation of the standard mechanical interface device according to the embodiment of the present invention.
【図5】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置の挟持状態を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a sandwiched state of the standard mechanical interface device according to the embodiment of the present invention.
【図6】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置の動作を示す図であり、(a)はロードポー
トの側面図、(b)はウェーハカセットの挟持状態を示
す斜視図である。FIGS. 6A and 6B are diagrams showing an operation of the standard mechanical interface device according to the embodiment of the present invention, wherein FIG. 6A is a side view of a load port, and FIG.
【図7】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置の動作を示す図であり、(a)はロードポー
トの側面図、(b)はウェーハカセットの挟持状態を示
す斜視図である。FIGS. 7A and 7B are diagrams showing an operation of the standard mechanical interface device according to the embodiment of the present invention, wherein FIG. 7A is a side view of a load port, and FIG.
【図8】 本発明の一実施形態の標準機械的インターフ
ェース装置の動作を示す図であり、(a)はロードポー
トの側面図、(b)はウェーハカセットの挟持状態を示
す斜視図である。FIGS. 8A and 8B are diagrams showing an operation of the standard mechanical interface device according to the embodiment of the present invention, wherein FIG. 8A is a side view of a load port, and FIG.
【図9】 従来のSMIFポッドを示す断面図である。FIG. 9 is a sectional view showing a conventional SMIF pod.
【図10】 従来のウェーハカセット移載用ロードポー
トの動作を示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing the operation of a conventional wafer cassette transfer load port.
【図11】 従来のウェーハカセット移載用ロードポー
トの動作を示す側面図である。FIG. 11 is a side view showing the operation of a conventional wafer cassette transfer load port.
1 SMIFポッド 2 容器本体 2a 開口部 3 底蓋 4 ウェーハカセット 5 ウェーハ 6 カセット本体 6a 開口部 7 水平溝 11 ロードポート 12 SMIF側エレベータ 12a ボールネジ 12b テーブル 13 アーム 13a 第1のハンド 13b 第2のハンド 14 仮置台 21 ロードポート 22 回動部 23a、23b ハンド 24a、24b アーム 25 制御部 31 スタッカ(装置側ロボット) 32 ハンド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 SMIF pod 2 Container main body 2a opening 3 Bottom lid 4 Wafer cassette 5 Wafer 6 Cassette main body 6a Opening 7 Horizontal groove 11 Load port 12 SMIF side elevator 12a Ball screw 12b Table 13 Arm 13a First hand 13b Second hand 14 Temporary table 21 Load port 22 Rotating part 23a, 23b Hand 24a, 24b Arm 25 Control part 31 Stacker (device-side robot) 32 Hand
フロントページの続き (72)発明者 宮下 高明 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内Continued on the front page (72) Inventor Takaaki Miyashita 100 Takegahana-cho, Ise City, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd.
Claims (3)
置において、 標準機械的インターフェース側エレベータ上の複数枚の
ウェーハを横置き状態で収納するウェーハカセットを挟
持し、略90゜回動させることにより横置き状態のウェ
ーハを縦置き状態とする回動手段と、 前記ウェーハを縦置き状態としたウェーハカセットを把
持する前記装置側ロボットとを備えたことを特徴とする
標準機械的インターフェース装置。1. An apparatus provided with a standard mechanical interface, wherein a wafer cassette for accommodating a plurality of wafers on an elevator on a standard mechanical interface side is held in a horizontal state, and the wafer cassette is rotated by approximately 90 ° so as to be horizontally positioned. A standard mechanical interface device comprising: a rotating unit that vertically positions a wafer in a state; and the device-side robot that grips a wafer cassette that vertically positions the wafer.
ていることを特徴とする請求項1記載の標準機械的イン
ターフェース装置。2. The standard mechanical interface device according to claim 1, wherein said rotating means is provided on said device side.
トッカであることを特徴とする請求項1または2記載の
標準機械的インターフェース装置。3. The standard mechanical interface device according to claim 1, wherein said device is a stocker for accommodating a wafer cassette.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5545998A JPH11260882A (en) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | Standard mechanical interface apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5545998A JPH11260882A (en) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | Standard mechanical interface apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11260882A true JPH11260882A (en) | 1999-09-24 |
Family
ID=12999199
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5545998A Pending JPH11260882A (en) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | Standard mechanical interface apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11260882A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100676078B1 (en) * | 2005-06-27 | 2007-02-01 | (주)스마트에이시스템 | Uprighting and feeding device and method for a substrate |
-
1998
- 1998-03-06 JP JP5545998A patent/JPH11260882A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100676078B1 (en) * | 2005-06-27 | 2007-02-01 | (주)스마트에이시스템 | Uprighting and feeding device and method for a substrate |
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