JPH11260665A - Manufacture of multilayer ceramic electronic component - Google Patents

Manufacture of multilayer ceramic electronic component

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JPH11260665A
JPH11260665A JP10057801A JP5780198A JPH11260665A JP H11260665 A JPH11260665 A JP H11260665A JP 10057801 A JP10057801 A JP 10057801A JP 5780198 A JP5780198 A JP 5780198A JP H11260665 A JPH11260665 A JP H11260665A
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JP
Japan
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ceramic sheet
ceramic
porosity
sheet
laminated
Prior art date
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Pending
Application number
JP10057801A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiya Sakaguchi
佳也 坂口
Atsuo Nagai
淳夫 長井
Hidenori Kuramitsu
秀紀 倉光
Kazuhiro Komatsu
和博 小松
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce permeation of solvent in a laminated ceramic sheet and prevent swell of the sheet, by making ceramic sheets different in degree of porosity a double-layered structure, and forming a conducting layer on the ceramic sheet side whose degree of porosity is low. SOLUTION: Metal paste 3a turning to an inner electrode is printed in a specified shape on a first ceramic sheet 1a whose degree of porosity is low, by a printing method or the like. The metal paste 3a is dried, and solvent component in the metal paste 3a is almost perfectly evaporated. A second ceramic sheet 2a whose degree of porosity is high is pressed and fixed with pressure on the metal paste 3a side of the first ceramic sheet 1a, and a laminated ceramic sheet 9 having the metal paste 3a in the inside is manufactured. In this time, degree of porosity of the first ceramic sheet 1a is set at least 20%, and that of the second ceramic sheet 2a is set at least 30%. As a result, permeation of solvent in the laminated ceramic sheet is reduced, and swell and dissolution of the sheet are prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層セラミ
ックコンデンサ等の積層セラミック電子部品の製造方法
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層セラミック電子部品の一つである積
層セラミックコンデンサは、従来多孔度が50%程度の
セラミックシート上に内部電極となる金属ペーストを所
望の形状に印刷したものを積層した後、焼成して外部電
極を設けていた。
2. Description of the Related Art A multilayer ceramic capacitor, which is one of the multilayer ceramic electronic components, has a structure in which a metal paste serving as an internal electrode is printed in a desired shape on a ceramic sheet having a porosity of about 50%. It was fired to provide an external electrode.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このセ
ラミックシートは多孔度が高いために金属ペーストを印
刷する際、金属ペーストに含まれる有機溶剤によってセ
ラミックシートが膨潤または溶解され、内部電極の短絡
や耐電圧特性の低下した積層セラミックコンデンサとな
り、信頼性や品質の点に問題点を有していた。
However, since the ceramic sheet has a high porosity, when the metal paste is printed, the ceramic sheet is swollen or dissolved by an organic solvent contained in the metal paste, and short-circuiting and internal resistance of the internal electrodes are prevented. The resulting multilayer ceramic capacitor has reduced voltage characteristics, and has problems in reliability and quality.

【0004】そこで本発明は、多孔度の異なるセラミッ
クシートを二層構造にし、多孔度の低いセラミックシー
ト側に導電体層を形成することで、上記セラミックシー
トに対し上述したような問題点のない積層セラミック電
子部品を提供することを目的とするものである。
Accordingly, the present invention does not have the above-mentioned problems with respect to the above-mentioned ceramic sheet by forming a ceramic sheet having different porosity into a two-layer structure and forming a conductor layer on the side of the ceramic sheet having low porosity. It is an object of the present invention to provide a multilayer ceramic electronic component.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、第1
のセラミックシートに少なくとも金属成分と溶剤成分と
を含む金属ペーストを用いて導電体層を形成する第1の
工程と、次いでこの導電体層上に第2のセラミックシー
トを積層し、積層セラミックシートを得る第2の工程
と、この積層セラミックシートを複数枚積層して積層体
を形成する第3の工程と、その後前記積層体を焼成する
第4の工程とを備え、前記第1のセラミックシートは、
前記第2のセラミックシートよりも多孔度が低いものを
用いるものであり、多孔度が低い第1のセラミックシー
トを使用することにより積層セラミックシート内への溶
剤の浸入が減少し、積層セラミックシートを膨潤または
溶解しにくくなるため上記目的を達成することができ
る。
In order to achieve this object, a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention comprises the following steps.
A first step of forming a conductor layer on a ceramic sheet using a metal paste containing at least a metal component and a solvent component, and then laminating a second ceramic sheet on the conductor layer, A second step of obtaining, a third step of laminating a plurality of the laminated ceramic sheets to form a laminated body, and a fourth step of subsequently firing the laminated body. ,
The first ceramic sheet having a lower porosity than the second ceramic sheet is used. By using the first ceramic sheet having a lower porosity, the penetration of the solvent into the multilayer ceramic sheet is reduced, and the multilayer ceramic sheet is used. Since the swelling or dissolution becomes difficult, the above object can be achieved.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、第1のセラミックシートに少なくとも金属成分と溶
剤成分とを含む金属ペーストを用いて導電体層を形成す
る第1の工程と、次いでこの導電体層上に第2のセラミ
ックシートを積層し、積層セラミックシートを得る第2
の工程と、この積層セラミックシートを複数枚積層して
積層体を形成する第3の工程と、その後前記積層体を焼
成する第4の工程とを備え、前記第1のセラミックシー
トは、前記第2のセラミックシートよりも多孔度が低い
ものを用いる積層セラミック電子部品の製造方法であ
り、前記積層セラミックシート内への溶剤の浸入が減少
し、前記積層セラミックシートを膨潤または溶解しにく
くなるため、導電体層の短絡や耐電圧特性などの電気的
特性の低下による信頼性や品質の劣化を防止することが
できる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 of the present invention comprises a first step of forming a conductor layer on a first ceramic sheet using a metal paste containing at least a metal component and a solvent component. Then, a second ceramic sheet is laminated on the conductor layer to obtain a laminated ceramic sheet.
And a third step of laminating a plurality of the laminated ceramic sheets to form a laminated body; and a fourth step of subsequently firing the laminated body. The first ceramic sheet comprises: 2 is a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component using a material having a lower porosity than the ceramic sheet of 2, the penetration of a solvent into the multilayer ceramic sheet is reduced, and it becomes difficult to swell or dissolve the multilayer ceramic sheet, It is possible to prevent deterioration of reliability and quality due to short-circuit of the conductor layer and deterioration of electric characteristics such as withstand voltage characteristics.

【0007】請求項2に記載の発明は、第2のセラミッ
クシートの多孔度を30%以上とする請求項1に記載の
積層セラミック電子部品の製造方法であり、第2のセラ
ミックシートの多孔度を30%以上とすることで第3の
工程において圧着する際、導電体層が形成されていない
部分にも十分な圧力が加わるので、クラックや層間剥離
のない積層セラミック電子部品を得ることができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the first aspect, wherein the porosity of the second ceramic sheet is 30% or more. In the third step, a sufficient pressure is applied to the portion where the conductor layer is not formed, so that a multilayer ceramic electronic component free from cracks and delamination can be obtained. .

【0008】請求項3に記載の発明は、第1のセラミッ
クシートの多孔度は20%以上とする請求項1あるいは
請求項2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法で
あり、第1のセラミックシートの多孔度を20%以上と
することで第2の工程において導電体層を形成する際、
前記積層セラミックシート内への溶剤の浸入が減少し、
前記積層セラミックシートを膨潤または溶解しにくくな
るため、導電体層の短絡や耐電圧特性などの電気的特性
の低下による信頼性や品質の劣化を防止することができ
る。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the first or second aspect, wherein the porosity of the first ceramic sheet is 20% or more. When the conductor layer is formed in the second step by setting the porosity of the sheet to 20% or more,
Infiltration of the solvent into the laminated ceramic sheet is reduced,
Since the laminated ceramic sheet is unlikely to swell or dissolve, it is possible to prevent deterioration of reliability and quality due to deterioration of electrical characteristics such as short-circuit of the conductor layer and withstand voltage characteristics.

【0009】請求項4に記載の発明は、第1のセラミッ
クシートと第2のセラミックシートとの多孔度の差は、
10%以上とする請求項1〜請求項3のいずれか一つに
記載の積層セラミック電子部品の製造方法であり、第1
のセラミックシートで導電体層中の溶剤が、積層セラミ
ックシートに浸入するのを防止するとともに、第2のセ
ラミックシートで積層体形成時の導電体層形成部分と非
形成部分へ加わる圧力差を吸収することができる。
According to the present invention, the difference in porosity between the first ceramic sheet and the second ceramic sheet is as follows:
The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3, wherein the content is 10% or more.
The second ceramic sheet prevents the solvent in the conductor layer from penetrating into the laminated ceramic sheet and absorbs the pressure difference between the conductor layer forming portion and the non-forming portion when the laminate is formed by the second ceramic sheet. can do.

【0010】請求項5に記載の発明は、第2のセラミッ
クシートの厚みを導電体層よりも厚くする請求項1〜請
求項4のいずれか一つに記載の積層セラミック電子部品
の製造方法であり、第3の工程において圧着する際、導
電体層の厚みにより生じる圧力差を吸収する事が可能と
なり、導電体層が形成されていない部分にも十分な圧力
が加わるので、クラックや層間剥離のない積層セラミッ
ク電子部品を得ることができる。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of the first to fourth aspects, wherein the thickness of the second ceramic sheet is larger than that of the conductor layer. In the third step, when performing pressure bonding in the third step, it is possible to absorb a pressure difference caused by the thickness of the conductive layer, and a sufficient pressure is applied to a portion where the conductive layer is not formed, so that cracks and delamination are caused. , A multilayer ceramic electronic component free of the problem can be obtained.

【0011】請求項6に記載の発明は、第1のセラミッ
クシート及び第2のセラミックシート中のポリエチレン
は、重量平均分子量が400000以上であることを特
徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一つに記載の積
層セラミック電子部品の製造方法であり、多孔度の高い
積層セラミックシートとなるので導電体層の有無による
段差を吸収できる。
According to a sixth aspect of the present invention, the polyethylene in the first ceramic sheet and the second ceramic sheet has a weight average molecular weight of 400,000 or more. In the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of the above, the multilayer ceramic sheet having a high porosity can absorb a step due to the presence or absence of a conductor layer.

【0012】以下本発明の実施の形態について積層セラ
ミックコンデンサを例に図面を参照しながら説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, taking a multilayer ceramic capacitor as an example.

【0013】(実施の形態1)図1は本実施の形態にお
ける積層セラミックシートの断面図、図2は積層セラミ
ックコンデンサの一工程を示す断面図、図3は一般的な
積層セラミックコンデンサの一部切欠斜視図であり、1
aは第1のセラミックシート、2aは第2のセラミック
シート、3aは第1のセラミックシート1a上に形成し
た内部電極2となる金属ペースト、4aは金属ペースト
形成部分、5aは金属ペースト非形成部分、6は金属上
板、7は金属下板、8は金属上板6と金属下板7の間隔
を示している。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view of a laminated ceramic sheet according to the present embodiment, FIG. 2 is a sectional view showing one step of a laminated ceramic capacitor, and FIG. 3 is a part of a general laminated ceramic capacitor. FIG.
a is a first ceramic sheet, 2a is a second ceramic sheet, 3a is a metal paste to be the internal electrode 2 formed on the first ceramic sheet 1a, 4a is a metal paste forming part, 5a is a metal paste non-forming part. , 6 indicate a metal upper plate, 7 indicates a metal lower plate, and 8 indicates a distance between the metal upper plate 6 and the metal lower plate 7.

【0014】まず、重量平均分子量が400000のポ
リエチレンとチタン酸バリウムを主成分とする誘電体粉
末からなる多孔度が20%である第1のセラミックシー
ト1aに印刷法により、内部電極2となる金属ペースト
3aを所定の形状に印刷する。この金属ペースト3aは
ニッケル及び溶剤を含有するものであり、金属ペースト
3aの厚みは3μmである。次に金属ペースト3aを乾
燥させて金属ペースト3a中の溶剤成分をほとんど完全
に蒸発させる。このときの乾燥温度は第1のセラミック
シート1a中のポリエチレンが収縮したりしないように
60℃以下にすることが望ましい。次に、多孔度が60
%である第2のセラミックシート2aをゲージ圧で5〜
100MPaの範囲で第1のセラミックシート1aの金
属ペースト3a側に加圧、圧着させ、内部に金属ペース
ト3aを有する積層セラミックシート9を得る。次に第
2のセラミックシート2aを複数枚積層したものの上
に、金属ペースト3aを内部に有する積層セラミックシ
ート9を金属ペースト3aが積層セラミックシート9を
介して交互に対向するように所望の枚数積重ねた後、前
記と同様にして第2のセラミックシート2aを複数枚積
層したものをゲージ圧5〜100MPaの範囲で数秒加
圧し、仮積層体を得る。このとき、金属ペースト3aを
形成した積層セラミックシート9の積層枚数が所望の枚
数に達する前に、ある程度積層した時点で上記圧力で加
圧する圧着工程を追加しても良い。なお第1のセラミッ
クシート1aの厚みは5μm、第2のセラミックシート
2aの厚みは5μm、その後、この仮積層体を金属上板
6、金属下板7で挟んで、室温で一軸プレス機にて加圧
する。ここで金属上板6、金属下板7面の間隔8のバラ
ツキは、40μm以下に制御されている。その後仮積層
体に十分な圧力が加わったことを確認して、仮積層体の
最高温度が150℃〜200℃になるまで昇温し、最高
温度で5分〜60分程度保持し、積層セラミックシート
9同士が強固に接着した積層体を得る。ここで積層体の
最高温度を150℃〜200℃としたのは、150℃程
度からポリエチレンが融解し、第1のセラミックシート
1a及び第2のセラミックシート2a間の接着が強固に
なるからである。200℃以下としたのは、200℃よ
り高くなるとポリエチレンが分解してしまい、第1のセ
ラミックシート1a及び第2のセラミックシート2a間
の接着に寄与しなくなるからである。その後、縦3.2
mm、横1.6mmのチップ形状に切断して、大気中3
50℃でポリエチレンを除去した(脱バイ)。この脱バ
イの時の温度は、ポリエチレンが積層体から除去でき、
かつ金属ペースト3a中のニッケルの酸化が進みすぎな
い程度にすることが望ましく、具体的には250〜35
0℃で行うことが望ましい。その後窒素ガスおよび水素
ガスを用いて金属ペースト3a中のニッケルが酸化しな
い雰囲気を保ちながら、最高温度1300℃で焼成を行
う。この焼成によりチタン酸バリウムを主成分とするセ
ラミック誘電体層1とニッケルを主成分とする内部電極
2が同時に焼結した焼結体を得る。次いでこの焼結体の
内部電極2の露出した両端面に銅の外部電極3を焼き付
け、メッキを施した後に完成品に至る。
First, a metal to be the internal electrode 2 is formed on a first ceramic sheet 1a having a porosity of 20% and comprising a dielectric powder mainly composed of polyethylene having a weight average molecular weight of 400,000 and barium titanate and having a porosity of 20%. The paste 3a is printed in a predetermined shape. The metal paste 3a contains nickel and a solvent, and the thickness of the metal paste 3a is 3 μm. Next, the metal paste 3a is dried to completely evaporate the solvent component in the metal paste 3a. The drying temperature at this time is desirably 60 ° C. or less so that the polyethylene in the first ceramic sheet 1a does not shrink. Next, a porosity of 60
% Of the second ceramic sheet 2a at a gauge pressure of 5 to 5%.
The first ceramic sheet 1a is pressed and pressed against the metal paste 3a side in the range of 100 MPa to obtain a laminated ceramic sheet 9 having the metal paste 3a inside. Next, a desired number of laminated ceramic sheets 9 each having a metal paste 3a therein are stacked on a plurality of second ceramic sheets 2a laminated such that the metal pastes 3a alternately face each other with the laminated ceramic sheets 9 interposed therebetween. After that, a laminate of a plurality of second ceramic sheets 2a is pressed for several seconds at a gauge pressure of 5 to 100 MPa in the same manner as above to obtain a temporary laminate. At this time, before the number of laminated ceramic sheets 9 on which the metal paste 3a is formed reaches the desired number, a press-bonding step of pressing with the above-mentioned pressure may be added when the laminated ceramic sheets 9 are laminated to some extent. The thickness of the first ceramic sheet 1a is 5 μm, and the thickness of the second ceramic sheet 2a is 5 μm. Thereafter, the temporary laminated body is sandwiched between the upper metal plate 6 and the lower metal plate 7 and is subjected to a uniaxial press at room temperature. Apply pressure. Here, the variation in the interval 8 between the surfaces of the upper metal plate 6 and the lower metal plate 7 is controlled to 40 μm or less. After confirming that sufficient pressure was applied to the temporary laminate, the temperature of the temporary laminate was raised until the maximum temperature reached 150 ° C. to 200 ° C., and the maximum temperature was maintained for about 5 to 60 minutes. A laminate in which the sheets 9 are firmly adhered to each other is obtained. The reason why the maximum temperature of the laminate is set to 150 ° C. to 200 ° C. is that polyethylene is melted from about 150 ° C., and the adhesion between the first ceramic sheet 1a and the second ceramic sheet 2a becomes strong. . The reason why the temperature is set to 200 ° C. or lower is that if the temperature is higher than 200 ° C., the polyethylene is decomposed and does not contribute to the adhesion between the first ceramic sheet 1a and the second ceramic sheet 2a. After that, vertical 3.2
mm, 1.6mm wide chip shape
The polyethylene was removed at 50 ° C. (debuying). The temperature at the time of this debuying, polyethylene can be removed from the laminate,
In addition, it is desirable that the oxidation of nickel in the metal paste 3a is not excessively advanced.
It is desirable to carry out at 0 ° C. Thereafter, firing is performed at a maximum temperature of 1300 ° C. while using a nitrogen gas and a hydrogen gas while maintaining an atmosphere in which nickel in the metal paste 3a is not oxidized. By this firing, a sintered body is obtained in which the ceramic dielectric layer 1 mainly containing barium titanate and the internal electrode 2 mainly containing nickel are sintered simultaneously. Next, copper external electrodes 3 are baked on the exposed end surfaces of the internal electrodes 2 of the sintered body, and after plating, a finished product is obtained.

【0015】図4に縦3.2mm、横1.6mmの大き
さで内部電極2間のセラミック誘電体層1(以下、有効
層とする)が100層の積層セラミックコンデンサの有
効層厚みと耐電圧特性との関係を示すグラフである。実
線が本発明の積層セラミックシート9を有効層に使用し
た積層セラミックコンデンサ、点線が従来のセラミック
シートを用いた積層セラミックコンデンサである。
FIG. 4 shows the effective layer thickness and resistance of a multilayer ceramic capacitor having a size of 3.2 mm in length and 1.6 mm in width and having 100 ceramic dielectric layers 1 (hereinafter referred to as effective layers) between the internal electrodes 2. 4 is a graph showing a relationship with a voltage characteristic. The solid line indicates a multilayer ceramic capacitor using the multilayer ceramic sheet 9 of the present invention as an effective layer, and the dotted line indicates a multilayer ceramic capacitor using a conventional ceramic sheet.

【0016】図4を見ると有効層に従来のセラミックシ
ートを使用した積層セラミックコンデンサでは、金属ペ
ーストに使用している溶剤の浸透によりセラミックシー
トが膨潤または溶解され、特に有効層の厚みが7μm以
下の場合、耐電圧特性にバラツキが見られる。ところ
が、有効層に本発明の積層セラミックシート9を用いた
場合は、有効層の厚みが7μm以下の場合でも、耐電圧
特性のバラツキが非常に小さかった。この結果より、図
5に見られるような、従来のセラミックシートを用いて
積層した場合に多発していたセラミックシートが膨潤ま
たは溶解することによる内部電極2の短絡100や耐電
圧特性の低下を抑制し、歩留まりを大幅に改善すること
ができる。
Referring to FIG. 4, in a multilayer ceramic capacitor using a conventional ceramic sheet for the effective layer, the ceramic sheet swells or dissolves due to the permeation of the solvent used for the metal paste. In the case of (1), the withstand voltage characteristics vary. However, when the laminated ceramic sheet 9 of the present invention was used for the effective layer, the variation in the withstand voltage characteristics was very small even when the thickness of the effective layer was 7 μm or less. From this result, as shown in FIG. 5, the short circuit 100 of the internal electrode 2 and the decrease in the withstand voltage characteristic due to the swelling or dissolution of the ceramic sheet, which frequently occurs when the conventional ceramic sheet is laminated, are suppressed. Thus, the yield can be greatly improved.

【0017】特に高積層化が要求されているニッケルを
内部電極2とする積層セラミックコンデンサの製造に十
分効果を発揮することは言うまでもない。
Needless to say, it is particularly effective for the production of a multilayer ceramic capacitor using nickel as the internal electrode 2 which is required to be highly laminated.

【0018】なお本発明においてポイントとなることを
以下に記載する。 (1)第1のセラミックシート1aの多孔度が20%、
第2のセラミックシート2aの多孔度が60%の場合に
ついてのみ示したが、第1のセラミックシート1aの多
孔度は、20%以上50%未満、第2のセラミックシー
ト2aの多孔度は、30%以上80%未満でありかつ、
両者の多孔度の差が10%以上あれば同様の効果が得ら
れる。また有効層となる積層セラミックシート9の積層
数が100層を越える場合は、第2のセラミックシート
2aの多孔度が40%〜80%未満のものを用いること
が望ましい。
The key points in the present invention are described below. (1) The porosity of the first ceramic sheet 1a is 20%,
Although only the case where the porosity of the second ceramic sheet 2a is 60% is shown, the porosity of the first ceramic sheet 1a is not less than 20% and less than 50%, and the porosity of the second ceramic sheet 2a is 30%. % To less than 80%, and
The same effect can be obtained if the difference in porosity between the two is 10% or more. When the number of laminated ceramic sheets 9 serving as effective layers exceeds 100, it is desirable to use a second ceramic sheet 2a having a porosity of 40% to less than 80%.

【0019】(2)内部電極2の材料としてニッケルを
用いたが銅などの卑金属やまたパラジウム、銀−パラジ
ウムなどの貴金属を用いてもかまわない。
(2) Although nickel is used as the material of the internal electrode 2, a base metal such as copper or a noble metal such as palladium or silver-palladium may be used.

【0020】(3)仮積層体を作製する際、加圧するだ
けでなく、60〜120℃に金属上板6、金属下板7を
加熱して行っても良い。ここで第1のセラミックシート
1a及び第2のセラミックシート2a中のポリエチレン
は、60℃から収縮し始めると上述したが、この工程に
おいては仮積層体でなく金属上板6、金属下板7を60
〜120℃に加熱して行うことと、加圧時間が数秒と短
いので、ポリエチレンの収縮による第1のセラミックシ
ート1a及び第2のセラミックシート2aの変形はおき
にくい。
(3) In preparing the temporary laminate, not only the pressing but also the heating of the upper metal plate 6 and the lower metal plate 7 to 60 to 120 ° C. may be performed. Here, as described above, the polyethylene in the first ceramic sheet 1a and the second ceramic sheet 2a starts shrinking from 60 ° C. In this step, the metal upper plate 6 and the metal lower plate 7 are not a temporary laminate but a metal laminate. 60
Since the heating is performed to about 120 ° C. and the pressing time is as short as several seconds, the first ceramic sheet 1a and the second ceramic sheet 2a are hardly deformed due to the shrinkage of the polyethylene.

【0021】(4)第1のセラミックシート1a及び第
2のセラミックシート2aを形成するバインダー、溶
剤、可塑剤、誘電体粉末などの仮積層体を作製する段階
で第1のセラミックシート1a及び第2のセラミックシ
ート2a中に存在する成分は同じであることが好まし
い。その理由は同じ成分の方が第1のセラミックシート
1a及び第2のセラミックシート2aの接着性がより向
上するからである。
(4) The first ceramic sheet 1a and the second ceramic sheet 2a are formed at the stage of forming a temporary laminate of a binder, a solvent, a plasticizer, a dielectric powder, and the like that form the first ceramic sheet 1a and the second ceramic sheet 2a. The components present in the second ceramic sheet 2a are preferably the same. The reason is that the same component improves the adhesion between the first ceramic sheet 1a and the second ceramic sheet 2a more.

【0022】(5)第1のセラミックシート1aは金属
ペースト3a中の溶剤成分が、できるだけ積層セラミッ
クシート9中へ浸入しないようにするためのものであ
り、第2のセラミックシート2aで内部電極2の有無に
よる段差を吸収するので、第1のセラミックシート1a
よりも第2のセラミックシート2aの厚みを厚くする方
が好ましい。
(5) The first ceramic sheet 1a is for preventing the solvent component in the metal paste 3a from penetrating into the laminated ceramic sheet 9 as much as possible. Absorbs the step due to the presence or absence of the first ceramic sheet 1a.
It is more preferable to increase the thickness of the second ceramic sheet 2a than to increase the thickness.

【0023】(6)金属ペースト3a中の溶剤は、アル
コール類などのできるだけ極性の大きなものを用いるこ
とが好ましい。その理由は、第1のセラミックシート1
a及び第2のセラミックシート2a中のポリエチレンは
無極性であるため、極性のある溶剤を用いた方が、積層
セラミックシート9への溶剤の浸入をより防止すること
ができる。
(6) As the solvent in the metal paste 3a, it is preferable to use a solvent having as large a polarity as possible, such as alcohols. The reason is that the first ceramic sheet 1
Since the polyethylene in the second ceramic sheet 2a and the second ceramic sheet 2a are non-polar, the use of a polar solvent can prevent the infiltration of the solvent into the laminated ceramic sheet 9 more.

【0024】(7)積層体の上、下には第2のセラミッ
クシート2aを複数枚積層したが、ここに積層するセラ
ミックシートは、内部電極2の有無による段差を吸収す
るためにも、第2のセラミックシート2aと同等以上の
多孔度を有するセラミックシートを用いることが好まし
い。
(7) A plurality of second ceramic sheets 2a are laminated above and below the laminated body. The laminated ceramic sheets are formed in order to absorb a step due to the presence or absence of the internal electrode 2. It is preferable to use a ceramic sheet having a porosity equal to or higher than that of the second ceramic sheet 2a.

【0025】(8)上記実施の形態においては積層セラ
ミックコンデンサを例に説明したが、セラミックシート
を用いて製造するような積層バリスタ、積層サーミス
タ、積層フィルタ、フェライト部品、セラミック多層基
板などの積層セラミック電子部品の製造においても同様
の効果が得られる。
(8) In the above embodiment, a multilayer ceramic capacitor has been described as an example. Similar effects can be obtained in the production of electronic components.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上本発明によると、積層セラミックシ
ートの膨潤または溶解を抑制することにより、導電体層
の短絡や耐電圧特性などの電気的特性の低下を抑制し、
歩留まりを大幅に改善することができる。
As described above, according to the present invention, by suppressing the swelling or dissolution of the laminated ceramic sheet, it is possible to suppress the electrical characteristics such as short-circuiting and withstand voltage characteristics of the conductive layer,
The yield can be greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態における積層セラミック
シートの断面図
FIG. 1 is a sectional view of a laminated ceramic sheet according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態における積層セラミック
コンデンサの一製造工程である圧着工程を示す断面図
FIG. 2 is a sectional view showing a crimping step which is one manufacturing step of the multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention;

【図3】一般的な積層セラミックコンデンサの一部切欠
斜視図
FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of a general multilayer ceramic capacitor.

【図4】積層セラミックコンデンサの有効層の厚みと耐
電圧特性との関係を示すグラフ
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the thickness of the effective layer of the multilayer ceramic capacitor and the withstand voltage characteristics.

【図5】短絡の発生した焼結体の断面図FIG. 5 is a cross-sectional view of a sintered body in which a short circuit has occurred.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 セラミック誘電体層 1a 第1のセラミックシート 2a 第2のセラミックシート 2 内部電極 3a 金属ペースト 3 外部電極 9 積層セラミックシート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic dielectric layer 1a 1st ceramic sheet 2a 2nd ceramic sheet 2 Internal electrode 3a Metal paste 3 External electrode 9 Multilayer ceramic sheet

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小松 和博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kazuhiro Komatsu 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1のセラミックシートに少なくとも金
属成分と溶剤成分とを含む金属ペーストを用いて導電体
層を形成する第1の工程と、次いでこの導電体層上に第
2のセラミックシートを積層し、積層セラミックシート
を得る第2の工程と、この積層セラミックシートを複数
枚積層して積層体を形成する第3の工程と、その後前記
積層体を焼成する第4の工程とを備え、前記第1のセラ
ミックシートは、前記第2のセラミックシートよりも多
孔度が低いものを用いる積層セラミック電子部品の製造
方法。
1. A first step of forming a conductor layer on a first ceramic sheet using a metal paste containing at least a metal component and a solvent component, and then forming a second ceramic sheet on the conductor layer. A second step of laminating to obtain a laminated ceramic sheet, a third step of laminating a plurality of the laminated ceramic sheets to form a laminated body, and a fourth step of subsequently firing the laminated body, A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein the first ceramic sheet has a lower porosity than the second ceramic sheet.
【請求項2】 第2のセラミックシートの多孔度は30
%以上とする請求項1に記載の積層セラミック電子部品
の製造方法。
2. The porosity of the second ceramic sheet is 30.
%. The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein
【請求項3】 第1のセラミックシートの多孔度は20
%以上とする請求項1あるいは請求項2に記載の積層セ
ラミック電子部品の製造方法。
3. The porosity of the first ceramic sheet is 20.
3. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the content is not less than%.
【請求項4】 第1のセラミックシートと第2のセラミ
ックシートとの多孔度の差は、10%以上とする請求項
1〜請求項3のいずれか一つに記載の積層セラミック電
子部品の製造方法。
4. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein a difference in porosity between the first ceramic sheet and the second ceramic sheet is 10% or more. Method.
【請求項5】 第2のセラミックシートの厚みは、導電
体層よりも厚くする請求項1〜請求項4のいずれか一つ
に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
5. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the thickness of the second ceramic sheet is larger than the thickness of the conductor layer.
【請求項6】 第1のセラミックシート及び第2のセラ
ミックシート中のポリエチレンは、重量平均分子量が4
00000以上であることを特徴とする請求項1〜請求
項5のいずれか一つに記載の積層セラミック電子部品の
製造方法。
6. The polyethylene in the first ceramic sheet and the second ceramic sheet has a weight average molecular weight of 4
The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the number is 00000 or more.
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