JPH11238786A - 半導体チップ吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 適正な加圧力の設定が可能な半導体チップ吸
着装置を得る。 【解決手段】 中心部を貫通して吸着穴１１ａが形成さ
れたコレット１１と、コレット１１と一体に形成され中
心部に、一端が吸着穴１１ａと連通し他端が半径方向に
開口穴１２ｂを有する連通穴１２ａが形成されたコレッ
ト軸１２と、内周面で摺動を阻害することなく真空漏れ
を抑制し得る隙間Ｃを介してコレット軸１２と嵌合し、
コレット軸１２の開口穴１２ｂと対応する内周面に沿う
とともに外周面に形成された吸引口１４ｂと連通する環
状の窪み１４ａを有し所定の弾性力を介してコレット１
１を半導体チップ１３に当接させるコレットヘッド１４
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップをピ
ックアップし、例えばリードフレーム、基板等に接合す
るボンディングにおける半導体チップ吸着装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は例えば特開平１−１１２７３８号
公報に示された従来の半導体チップ吸着装置の概略構成
を示す正面図である。図において、１はボンディング加
圧手段（図示せず）により昇降可能に支持されたコレッ
トヘッド、２はこのコレットヘッド１に軸方向に摺動可
能に支持されたコレット軸で、下降動作のストロークを
規制する第１の大径部２ａ、および下部には後述の加圧
用バネを係止するための第２の大径部２ｂがそれぞれ形
成されている。３はコレット軸２の第２の大径部２ｂと
コレットヘッド１の下端の間に係止される加圧用バネ、
４はコレット軸１の下端に固着一体化され、半導体チッ
プ５を吸着するコレットで、これらコレット４およびコ
レット軸２を貫通して吸引用穴６が形成されている。７
はコレット軸２の上端に吸引用穴６と連通するように連
結されたチューブである。

【０００３】次に、上記のように構成された従来の半導
体チップ吸着装置の動作について説明する。常時コレッ
ト４は、図に示すように加圧用バネ３の力により、コレ
ット軸２の第１の大径部２ａがコレットヘッド１の上端
に当接する位置まで押し下げられている。まずピックア
ップ時には、この状態でコレットヘッド１がコレット４
と半導体チップ５が対応する位置まで移動して下降し、
コレット４が半導体チップ５に接触する。そして、さら
にコレットヘッド１が下降すると、加圧用バネ３がたわ
みコレット軸２およびコレット４の各自重および加圧用
バネ３のたわみによる荷重により半導体チップ５に加圧
力が与えられ、チューブ７側から真空引きすることによ
り半導体チップ５はコレット４に吸着される。

【０００４】一方、ボンディング時には、コレットヘッ
ド１が例えば基板（図示せず）上の所定の位置まで移動
して下降し、コレット４に吸着された半導体チップ５が
基板上の所定の箇所に接触する。そして、さらにコレッ
トヘッド１が下降すると、上記ピックアップ時と同様に
加圧用バネ３がたわみコレット軸２およびコレット４の
各自重および加圧用バネ３のたわみによる荷重により半
導体チップ５に加圧力が与えられボンディングが行われ
る。ボンディング終了後は、チューブ７側からの真空引
きが停止され半導体チップ５はコレット４から離脱され
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体チップ吸
着装置は以上のように構成されているので、コレット軸
２およびコレット４の各自重、および加圧用バネ３のた
わみによる荷重の他に、コレット軸２の摺動部の摩擦抵
抗やチューブ７の質量、曲げによる弾性力等が加圧力と
して作用するため、特に小さな加圧力を必要とする場合
における加圧力の設定が困難であり、また、チューブ７
の状態によって加圧時における加圧力が変動するため、
加圧力が不足する場合には接合不良が生じたり、過大な
加圧力が加わった場合には半導体チップ５が破損する等
の問題点があった。

【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、適正な加圧力の設定が可能な半
導体チップ吸着装置を提供することを目的とするもので
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る半導体チップ吸着装置は、中心部を貫通して吸着穴が
形成されたコレットと、コレットと一体に形成され中心
部に、一端が吸着穴と連通し他端が半径方向に開口を有
する連通穴が形成されたコレット軸と、内周面で摺動を
阻害することなく真空漏れを抑制し得る隙間を介してコ
レット軸と嵌合し、コレット軸の開口と対応する内周面
に沿うとともに外周面に形成された吸引口と連通する環
状の窪みを有し所定の弾性力を介してコレットを半導体
チップに当接させるコレットヘッドとを備えたものであ
る。

【０００８】又、この発明の請求項２に係る半導体チッ
プ吸着装置は、請求項１において、外周部がコレットヘ
ッドに固定され内周部でコレット軸を固持する環状の板
バネを備えたものである。

【０００９】又、この発明の請求項３に係る半導体チッ
プ吸着装置は、中心部を貫通して吸着穴が形成されたコ
レットと、コレットと一体に形成され中心部に、一端が
吸着穴と連通し他端が半径方向に開口を有する連通穴が
形成されたコレット軸と、内周面で摺動を阻害すること
なく真空漏れを抑制し得る隙間を介してコレット軸と嵌
合し、コレット軸の開口と対応する内周面に沿うととも
に外周面に形成された吸引口と連通する環状の窪みを有
するコレットヘッドと、外周面がコレットヘッドに回転
可能に支承され内周側でコレット軸の軸方向の移動を案
内する回転部材と、外周部が回転部材に固定され内周部
でコレット軸を固持する環状の板バネと、回転部材を所
定の角度だけ回転駆動させる回転駆動手段とを備えたも
のである。

【００１０】又、この発明の請求項４に係る半導体チッ
プ吸着装置は、中心部を貫通して吸着穴が形成されたコ
レットと、コレットと一体に形成され中心部に、一端が
吸着穴と連通し他端が半径方向に開口を有する連通穴が
形成されたコレット軸と、内周面で摺動を阻害すること
なく真空漏れを抑制し得る隙間を介してコレット軸と嵌
合し、コレット軸の開口と対応する内周面に沿うととも
に連通穴を介して外周側と連通する窪みを有する回転部
材と、回転部材の外周面を回転可能に支承し回転部材の
連通穴に外周面に形成された吸引口と連通する第２の連
通穴を有するコレットヘッドと、外周部が回転部材に固
定され内周部でコレット軸を固持する環状の板バネと、
回転部材を所定の角度だけ回転駆動させる回転駆動手段
とを備えたものである。

【００１１】又、この発明の請求項５に係る半導体チッ
プ吸着装置は、請求項１、３、４のいずれかにおいて、
コレット軸をすきまばめのうち中間ばめに近い隙間を介
して支承するようにしたものである。

【００１２】又、この発明の請求項６に係る半導体チッ
プ吸着装置は、請求項３または４において、コレット軸
を摺動方向に所定の力で付勢するとともに力の調整が可
能なバネ部材を備えたものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施の形態を図に基づいて説明する。図１はこの発明の
実施の形態１における半導体チップ吸着装置の構成を示
す断面図である。図において、１１は中心部を貫通して
吸着穴１１ａが形成されたコレット、１２はこのコレッ
ト１１と一体に形成されたコレット軸で、中心部には一
端がコレット１１の吸着穴１１ａと連通する連通穴１２
ａ、およびこの連通穴１２ａの他端側から半径方向に開
口する開口穴１２ｂが、又、上端部および下部には径方
向に突出する第１および第２の大径部１２ｃ、１２ｄが
それぞれ形成されている。

【００１４】１３はコレット１１に吸着される半導体チ
ップ、１４は内周側で摺動を阻害することなく真空漏れ
を抑制し得る隙間（図中Ｃで示す）を介してコレット軸
１２と嵌合する筒状のコレットヘッドで、コレット軸１
２の開口穴１２ｂと対応する内周面に沿って環状の窪み
１４ａが、又、外周側には窪み１４ａと連通する吸引口
１４ｂがそれぞれ形成されている。１５はコレットヘッ
ド１４の内周側に装着されコレット軸１２を隙間Ｃを保
持した状態で摺動案内する案内部材、１６はコレット軸
１２の第２の大径部１２ｃとコレットヘッド１４の下端
の間に係止されたコイル状のバネ部材、１７はコレット
ヘッド１４の吸引口１４ｂに連結される真空引き用のチ
ューブである。

【００１５】なお、コレット軸１２とコレットヘッド１
４の嵌合部の隙間、すなわち、コレット軸１２の摺動を
阻害することなく真空漏れを抑制し得る隙間Ｃとは、具
体的にはＪＩＳで規定されたすきまばめの中でも最も小
さい隙間を意味し、例えば軽荷重の精密機器の連続回転
部分や、制御弁棒のように精密な摺動を要する部分に適
用される精転合を選択している。

【００１６】このように上記実施の形態１によれば、コ
レット軸１２とコレットヘッド１４の嵌合部の隙間を、
上記したような隙間Ｃに設定することにより、コレット
軸１２の摺動を阻害することなく真空漏れを抑制するよ
うにしているので、半導体チップ１３の吸着に必要な真
空圧を確保することができるようになり、コレット軸１
２がチューブ１７の連結されたコレットヘッド１４とは
独立して上下に摺動可能となるため、加圧力はチューブ
１７の影響を受けることなく、又、吸着に必要な真空圧
を確保するためにパッキン等を使用する必要もなくなる
ため、摺動部の摩擦抵抗を小さく抑えることができ、ひ
いては適正な加圧力の設定が容易にできるようになる。

【００１７】実施の形態２．図２はこの発明の実施の形
態２における半導体チップ吸着装置の構成を示す断面
図、図３は図２における環状の板バネの構成を示し、
（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。図において、
上記実施の形態１におけると同様な部分は同一符号を付
して説明を省略する。

【００１８】１８は中心部に一端がコレット１１の吸着
穴１１ａと連通する連通穴１８ａが形成された第１の軸
部材、１９は中心部に第１の軸部材１８の連通穴１８ａ
と連通する連通穴１９ａが貫通して形成されるとともに
外周側の軸方向中央部に段部１９ｂが形成された第２の
軸部材、２０は一端が段部１９ｂに当接して第２の軸部
材１９に連結され、中心部に一端が第２の軸部材１９の
連通穴１９ａと連通する連通穴２０ａ、およびこの連通
穴２０ａの他端側から半径方向に開口する開口穴２０ｂ
がそれぞれ形成された第３の軸部材で、外周側の上方に
段部２０ｃが形成されている。

【００１９】２１は第３の軸部材２０の段部２０ｃが形
成された側の端部に螺着された円板状の第４の部材であ
り、これら１８ないし２１でコレット軸２２が構成され
ている。２３は内周側で摺動を阻害することなく真空漏
れを抑制し得る隙間Ｃを介して、コレット軸２２の第３
の軸部材２０と嵌合する筒状部材で、第３の軸部材２０
の開口穴２０ｂと対応する内周面に沿って環状の窪み２
３ａが、又、外周側には窪み２３ａと連通する吸引口２
３ｂがそれぞれ形成され、長さ方向の寸法はコレット軸
２２の第３の軸部材２０の段部２０ｃと他方の端面まで
の寸法と一致するようになされており、後述の両円板状
部材とでコレットヘッド２４が構成されている。

【００２０】２５、２６は例えば厚さｔが０．０７ない
し０．２５ｍｍのバネ用リン青銅やリン青銅の薄板材
を、エッチング等により図３に示すような形状に形成さ
れた環状の板バネで、外周部は筒状部材２３の両端面
と、これら両端面にそれぞれ対応して配設される両円板
状部材２７、２８間に挟んで固定され、一方の板バネ２
５の内周部は第３の軸部材２０の段部２０ｃと押さえ部
材２９との間に挟み、又、他方の板バネ２６の内周部は
第２の軸部材１９の段部１９ｂと、第３の軸部材２０の
一方の端面との間に挟むことによりコレット軸２２にそ
れぞれ固着されている。

【００２１】このように上記実施の形態２によれば、コ
レット軸２２を構成する第３の軸部材２０とコレットヘ
ッド２４を構成する筒状部材２３の嵌合部の隙間を、上
記したような隙間Ｃに設定することにより、コレット軸
２２の摺動を阻害することなく真空漏れを抑制するよう
にしているので、上記実施の形態１におけると同様に、
半導体チップ１３の吸着に必要な真空圧を確保すること
ができるようになり、コレット軸２２がチューブ１７の
連結されたコレットヘッド２４とは独立して上下に摺動
可能となるため、加圧力はチューブ１７の影響を受ける
ことなく、又、吸着に必要な真空圧を確保するためにパ
ッキン等を使用する必要もなくなるため、摺動部の摩擦
抵抗を小さく抑えることができ、ひいては適正な加圧力
の設定が容易にできるようになることは勿論のこと、各
板バネ２５、２６はコレット軸２２を案内する役目だけ
ではなく、加圧力の発生源としても機能するので、上記
実施の形態１におけるようなバネ部材１６を設ける必要
がなくなる。

【００２２】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３における半導体チップ吸着装置の構成を示す断面図
である。図において、上記各実施の形態１、２における
と同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。３０
はコレット１１と一体に形成され、中心部には一端がコ
レット１１の吸着穴１１ａと連通する連通穴３０ａ、お
よびこの連通穴３０ａの他端側から半径方向に開口する
開口穴３０ｂが形成されたコレット軸である。

【００２３】３１は内周側で摺動を阻害することなく真
空漏れを抑制し得る隙間Ｃを介してコレット軸３０と嵌
合するコレットヘッドで、コレット軸３０の開口穴３０
ｂと対応する内周面に沿って環状の窪み３１ａが、又、
外周側には窪み３１ａと連通する吸引口３１ｂがそれぞ
れ形成されている。３２はコレットヘッド３１の内周側
に軸受３３を介して回転可能に支承された回転部材、３
４はこの回転部材３２の内周側に装着され、コレット軸
３０を隙間Ｃを保持した状態で摺動案内する案内部材で
ある。

【００２４】３５は上記実施の形態２において図３に示
したと同様な環状の板バネで、外周部は回転部材３２の
上端に固定されるとともに、内周部はコレット軸３０の
上端に固着されている。３６はコレット軸３０の上端面
に突設された突起部材、３７はこの突起部材３６の先端
に係止されたコイル状のバネ部材、３８は回転部材３２
の上部にバネ部材３７を取り囲むように配設され、バネ
部材３７の上端と対応する位置にネジ穴３８ａが形成さ
れた枠部材、３９はこの枠部材３８のネジ穴３８ａに螺
合され先端でバネ部材３７を押圧する調整ネジ棒、４０
はコレットヘッド３１の上部に配設され枠部材３８を介
して回転部材３２と連結された回転駆動手段としてのモ
ータで、回転部材３２を所定の角度回転駆動させること
により、バネ部材３５を介してコレット軸３０を回転駆
動させる。

【００２５】このように上記実施の形態３によれば、コ
レット軸３０とコレットヘッド３１の嵌合部の隙間を、
上記したような隙間Ｃに設定することにより、コレット
軸３０の摺動を阻害することなく真空漏れを抑制すると
ともに、板バネ３５にコレット軸３０を案内する機能と
加圧力の発生源としての機能を持たせるようにしたの
で、上記実施の形態２におけると同様の効果を発揮し得
ることは勿論のこと、調整ネジ棒３９を回転させて突出
寸法を変えることにより、バネ部材３７の付勢力を増減
できるようにしているので、加圧力の調整が可能になる
とともに、モータ４０によりコレット１１を所定の角度
回転できるようにしているので、半導体チップ１３を吸
着後回転させてボンディングする等多様なボンディング
が可能になる。

【００２６】実施の形態４．図５はこの発明の実施の形
態４における半導体チップ吸着装置の構成を示す断面図
である。図において、上記実施の形態３におけると同様
な部分は同一符号を付して説明を省略する。４１はコレ
ット１１と一体に形成され、中心部には一端がコレット
１１の吸着穴１１ａと連通する連通穴４１ａ、およびこ
の連通穴４１ａの他端側から半径方向に開口する開口穴
４１ｂが形成されたコレット軸である。

【００２７】４２は内周面に沿って環状の窪み４２ａ
が、又、外周側には窪み４２ａと連通する吸引口４２ｂ
がそれぞれ形成されたコレットヘッド、４３は外周側が
コレットヘッド４２の内周側に軸受４４を介して回転可
能に支承され、内周側で摺動を阻害することなく真空漏
れを抑制し得る隙間を介してコレット軸４１と嵌合する
回転部材で、コレット軸４１の開口穴４１ｂと対応する
内周面に沿って環状の窪み４３ａが、又、外周側には窪
み４３ａと連通しコレットヘッド４２の窪み４２ａと対
応する位置に開口する開口穴４３ｂがそれぞれ形成され
ている。４５は回転部材４３の内周側に装着され、コレ
ット軸４１を隙間Ｃを保持した状態で摺動案内する案内
部材、４６、４７は回転部材４３の両端外周面に装着さ
れ、コレットヘッド４２の内周面との間を封止する封止
部材である。

【００２８】このように上記実施の形態４によれば、コ
レット軸４１と回転部材４３の嵌合部の隙間を、上記し
たような隙間Ｃに設定することにより、コレット軸４１
の摺動を阻害することなく真空漏れを抑制するととも
に、板バネ３５にコレット軸４１を案内する機能と加圧
力の発生源としての機能を持たせるようにしたので、上
記実施の形態２におけると同様の効果を発揮し得ること
は勿論のこと、上記実施の形態３におけると同様に、調
整ネジ棒３９を回転させて突出寸法を変えることによ
り、バネ部材３７の付勢力を増減できるようにしている
ので、加圧力の調整が可能になるとともに、モータ４０
によりコレット１１を所定の角度回転できるようにして
いるので、半導体チップ１３を吸着後回転させてボンデ
ィングする等多様なボンディングが可能になる。

【００２９】

【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１によ
れば、中心部を貫通して吸着穴が形成されたコレット
と、コレットと一体に形成され中心部に、一端が吸着穴
と連通し他端が半径方向に開口を有する連通穴が形成さ
れたコレット軸と、内周面で摺動を阻害することなく真
空漏れを抑制し得る隙間を介してコレット軸と嵌合し、
コレット軸の開口と対応する内周面に沿うとともに外周
面に形成された吸引口と連通する環状の窪みを有し所定
の弾性力を介してコレットを半導体チップに当接させる
コレットヘッドとを備えたので、適正な加圧力の設定が
可能な半導体チップ吸着装置を提供することができる。

【００３０】又、この発明の請求項２によれば、請求項
１において、外周部がコレットヘッドに固定され内周部
でコレット軸を固持する環状の板バネを備えたので、適
正な加圧力の設定が可能であることは勿論のこと、加圧
力を発生させる専用のバネ部材を省くことが可能な半導
体チップ吸着装置を提供することができる。

【００３１】又、この発明の請求項３によれば、中心部
を貫通して吸着穴が形成されたコレットと、コレットと
一体に形成され中心部に、一端が吸着穴と連通し他端が
半径方向に開口を有する連通穴が形成されたコレット軸
と、内周面で摺動を阻害することなく真空漏れを抑制し
得る隙間を介してコレット軸と嵌合し、コレット軸の開
口と対応する内周面に沿うとともに外周面に形成された
吸引口と連通する環状の窪みを有するコレットヘッド
と、外周面がコレットヘッドに回転可能に支承され内周
側でコレット軸の軸方向の移動を案内する回転部材と、
外周部が回転部材に固定され内周部でコレット軸を固持
する環状の板バネと、回転部材を所定の角度だけ回転駆
動させる回転駆動手段とを備えたので、適正な加圧力の
設定および加圧力発生専用のバネ部材の省略が可能であ
ることは勿論のこと、ボンディングの多様化が可能な半
導体チップ吸着装置を提供することができる。

【００３２】又、この発明の請求項４によれば、中心部
を貫通して吸着穴が形成されたコレットと、コレットと
一体に形成され中心部に、一端が吸着穴と連通し他端が
半径方向に開口を有する連通穴が形成されたコレット軸
と、内周面で摺動を阻害することなく真空漏れを抑制し
得る隙間を介してコレット軸と嵌合し、コレット軸の開
口と対応する内周面に沿うとともに連通穴を介して外周
側と連通する窪みを有する回転部材と、回転部材の外周
面を回転可能に支承し回転部材の連通穴に外周面に形成
された吸引口と連通する第２の連通穴を有するコレット
ヘッドと、外周部が回転部材に固定され内周部でコレッ
ト軸を固持する環状の板バネと、回転部材を所定の角度
だけ回転駆動させる回転駆動手段とを備えたので、適正
な加圧力の設定および加圧力発生専用のバネ部材の省略
が可能であることは勿論のこと、ボンディングの多様化
が可能な半導体チップ吸着装置を提供することができ
る。

【００３３】又、この発明の請求項５によれば、請求項
１、３、４のいずれかにおいて、コレット軸をすきまば
めのうち中間ばめに近い隙間を介して支承するようにし
たので、適正な加圧力の設定が可能な半導体チップ吸着
装置を提供することができる。

【００３４】又、この発明の請求項６によれば、請求項
３または４において、コレット軸を摺動方向に所定の力
で付勢するとともに力の調整が可能なバネ部材を備えた
ので、容易に適正な加圧力の設定が可能な半導体チップ
吸着装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１における半導体チッ
プ吸着装置の構成を示す断面図である。

【図２】 この発明の実施の形態２における半導体チッ
プ吸着装置の構成を示す断面図である。

【図３】 図２における環状の板バネの構成を示し、
（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。

【図４】 この発明の実施の形態３における半導体チッ
プ吸着装置の構成を示す断面図である。

【図５】 この発明の実施の形態４における半導体チッ
プ吸着装置の構成を示す断面図である。

【図６】 従来の半導体チップ吸着装置の構成を示す正
面図である。

【符号の説明】

１１ コレット、１１ａ 吸着穴、１２，２２，３０，
４１ コレット軸、１２ａ，１８ａ，１９ａ，２２ａ，
３０ａ，４１ａ 連通穴、１２ｂ，２０ｂ，３０ｂ，４
１ｂ 開口穴、１３ 半導体チップ、１４，２４，３
１，４２ コレットヘッド、１４ａ，２３ａ，３１ａ，
４２ａ，４３ａ 窪み、１６ バネ部材、２３ 筒状部
材、２５，２６，３５ 板バネ、３２，４３ 回転部
材、３７ バネ部材、３９ 調整ネジ棒、４０ モー
タ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中心部を貫通して吸着穴が形成されたコ
   レットと、上記コレットと一体に形成され中心部に、一
   端が上記吸着穴と連通し他端が半径方向に開口を有する
   連通穴が形成されたコレット軸と、内周面で摺動を阻害
   することなく真空漏れを抑制し得る隙間を介して上記コ
   レット軸と嵌合し、上記コレット軸の開口と対応する内
   周面に沿うとともに外周面に形成された吸引口と連通す
   る環状の窪みを有し所定の弾性力を介して上記コレット
   を半導体チップに当接させるコレットヘッドとを備えた
   ことを特徴とする半導体チップ吸着装置。
2. 【請求項２】 外周部がコレットヘッドに固定され内周
   部でコレット軸を固持する環状の板バネを備えたことを
   特徴とする請求項１記載の半導体チップ吸着装置。
3. 【請求項３】 中心部を貫通して吸着穴が形成されたコ
   レットと、上記コレットと一体に形成され中心部に、一
   端が上記吸着穴と連通し他端が半径方向に開口を有する
   連通穴が形成されたコレット軸と、内周面で摺動を阻害
   することなく真空漏れを抑制し得る隙間を介して上記コ
   レット軸と嵌合し、上記コレット軸の開口と対応する内
   周面に沿うとともに外周面に形成された吸引口と連通す
   る環状の窪みを有するコレットヘッドと、外周面が上記
   コレットヘッドに回転可能に支承され内周側で上記コレ
   ット軸の軸方向の移動を案内する回転部材と、外周部が
   上記回転部材に固定され内周部で上記コレット軸を固持
   する環状の板バネと、上記回転部材を所定の角度だけ回
   転駆動させる回転駆動手段とを備えたことを特徴とする
   半導体チップ吸着装置。
4. 【請求項４】 中心部を貫通して吸着穴が形成されたコ
   レットと、上記コレットと一体に形成され中心部に、一
   端が上記吸着穴と連通し他端が半径方向に開口を有する
   連通穴が形成されたコレット軸と、内周面で摺動を阻害
   することなく真空漏れを抑制し得る隙間を介して上記コ
   レット軸と嵌合し、上記コレット軸の開口と対応する内
   周面に沿うとともに連通穴を介して外周側と連通する窪
   みを有する回転部材と、上記回転部材の外周面を回転可
   能に支承し上記回転部材の連通穴に外周面に形成された
   吸引口と連通する第２の連通穴を有するコレットヘッド
   と、外周部が上記回転部材に固定され内周部で上記コレ
   ット軸を固持する環状の板バネと、上記回転部材を所定
   の角度だけ回転駆動させる回転駆動手段とを備えたこと
   を特徴とする半導体チップ吸着装置。
5. 【請求項５】 コレット軸はすきまばめのうち中間ばめ
   に近い隙間を介して支承されていることを特徴とする請
   求項１、３、４のいずれかに記載の半導体チップ吸着装
   置。
6. 【請求項６】 コレット軸を摺動方向に所定の力で付勢
   するとともに上記力の調整が可能なバネ部材を備えたこ
   とを特徴とする請求項３または４に記載の半導体チップ
   吸着装置。