JPH11227942A - ガラス基板搬送装置 - Google Patents
ガラス基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH11227942A JPH11227942A JP3471998A JP3471998A JPH11227942A JP H11227942 A JPH11227942 A JP H11227942A JP 3471998 A JP3471998 A JP 3471998A JP 3471998 A JP3471998 A JP 3471998A JP H11227942 A JPH11227942 A JP H11227942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- claw
- nail
- transfer device
- fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス基板の幅方向のサイズが異なった場合
に、爪の交換作業をすることなく、ガラス基板の適切な
位置を爪で支えることができるようにしたガラス基板搬
送装置を提供する。 【解決手段】ガラス基板を爪部材で支えて搬送するガラ
ス基板搬送装置において、前記ガラス基板を支える爪部
材をガラス基板の幅方向にスライドさせる機構を設けた
ことを特徴とするガラス基板搬送装置。
に、爪の交換作業をすることなく、ガラス基板の適切な
位置を爪で支えることができるようにしたガラス基板搬
送装置を提供する。 【解決手段】ガラス基板を爪部材で支えて搬送するガラ
ス基板搬送装置において、前記ガラス基板を支える爪部
材をガラス基板の幅方向にスライドさせる機構を設けた
ことを特徴とするガラス基板搬送装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板を支え
る爪部材の固定と位置替えを改良したガラス基板搬送装
置に関するものである。
る爪部材の固定と位置替えを改良したガラス基板搬送装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶ディスプレイの需要が増加し
ている中、そのサイズも大型化の一途をたどっている
が、小型から大型まで多種多様である。その材料である
カラーフィルターのサイズも、同様に多種多様のものが
要求されており、そのため、カラーフィルターを生産す
る設備もユーザーの要求にあわせて、１つの設備で２種
類以上のガラス基板を搬送し、パターン加工を行えるこ
とが必要となってきている。
ている中、そのサイズも大型化の一途をたどっている
が、小型から大型まで多種多様である。その材料である
カラーフィルターのサイズも、同様に多種多様のものが
要求されており、そのため、カラーフィルターを生産す
る設備もユーザーの要求にあわせて、１つの設備で２種
類以上のガラス基板を搬送し、パターン加工を行えるこ
とが必要となってきている。
【０００３】従来から、カラーフィルター用ガラス基板
を搬送する装置においては、ガラス基板の外周を爪で支
えて搬送する方法が知られている。これはガラス基板に
パターン加工をする部分と搬送部材が非接触であること
により搬送部材が起因による、製品欠点をなくすことが
できるためである。しかし、前述した搬送方法の場合、
ガラス基板の幅方向のサイズが異なった場合、そのガラ
ス基板サイズに対応したサイズの爪に交換する方法がと
られていた。
を搬送する装置においては、ガラス基板の外周を爪で支
えて搬送する方法が知られている。これはガラス基板に
パターン加工をする部分と搬送部材が非接触であること
により搬送部材が起因による、製品欠点をなくすことが
できるためである。しかし、前述した搬送方法の場合、
ガラス基板の幅方向のサイズが異なった場合、そのガラ
ス基板サイズに対応したサイズの爪に交換する方法がと
られていた。
【０００４】その中でも、ガラス基板を熱処理する装置
においては、被熱処理物のガラス基板とそれを支持する
爪とでは、熱伝導率が異なるため、ガラス基板に爪が接
触する部分に温度ムラが発生し、処理ムラの原因となっ
ていた。
においては、被熱処理物のガラス基板とそれを支持する
爪とでは、熱伝導率が異なるため、ガラス基板に爪が接
触する部分に温度ムラが発生し、処理ムラの原因となっ
ていた。
【０００５】これを回避するため、爪とガラス基板との
接触部分をできるだけ小さくして、ガラス基板の処理ム
ラを小さくすることが必要であるが、ガラス基板の幅方
向のサイズが異なった場合、前述したガラス基板への処
理ムラの影響を回避するため、そのガラス基板サイズに
対応した爪に交換し対応する方法がとられていた。例え
ば、ガラス基板と爪の接触する部分の長さが５ｍｍで幅
が１ｍｍであった場合、ガラス基板の爪により支える方
向のサイズが１０ｍｍ広いガラス基板を搬送するときに
は、爪の長さが５ｍｍ短いものに交換する作業を行う必
要があった。
接触部分をできるだけ小さくして、ガラス基板の処理ム
ラを小さくすることが必要であるが、ガラス基板の幅方
向のサイズが異なった場合、前述したガラス基板への処
理ムラの影響を回避するため、そのガラス基板サイズに
対応した爪に交換し対応する方法がとられていた。例え
ば、ガラス基板と爪の接触する部分の長さが５ｍｍで幅
が１ｍｍであった場合、ガラス基板の爪により支える方
向のサイズが１０ｍｍ広いガラス基板を搬送するときに
は、爪の長さが５ｍｍ短いものに交換する作業を行う必
要があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
基板サイズ変更の都度、爪の交換を行うことは、非常に
手間のかかる作業であり、装置の稼働率を低下させる要
因となる。また、爪の交換作業時に、爪の先端に何らか
の衝撃がかかり破損するという問題もあり、固定された
爪の位置及び高さにも信頼性を欠くことになる。
基板サイズ変更の都度、爪の交換を行うことは、非常に
手間のかかる作業であり、装置の稼働率を低下させる要
因となる。また、爪の交換作業時に、爪の先端に何らか
の衝撃がかかり破損するという問題もあり、固定された
爪の位置及び高さにも信頼性を欠くことになる。
【０００７】本発明の目的は、上記従来の問題点を解消
せんとするものであり、ガラス基板の幅方向のサイズが
異なった場合に、爪の交換作業をすることなく、ガラス
基板の適切な位置を爪で支えることができるようにした
ガラス基板搬送装置を提供することにある。
せんとするものであり、ガラス基板の幅方向のサイズが
異なった場合に、爪の交換作業をすることなく、ガラス
基板の適切な位置を爪で支えることができるようにした
ガラス基板搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、次の構成をとる。すなわち、ガラス基板を
爪で支えて搬送するガラス基板搬送装置において、爪に
ガラス基板の幅方向にスライドする機構を設けたことを
特徴とするガラス基板搬送装置である。
成するため、次の構成をとる。すなわち、ガラス基板を
爪で支えて搬送するガラス基板搬送装置において、爪に
ガラス基板の幅方向にスライドする機構を設けたことを
特徴とするガラス基板搬送装置である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施例
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１０】図１は、本発明に係るガラス基板搬送装置
の一例を示す側面図であり、図２は、上面図である。
の一例を示す側面図であり、図２は、上面図である。
【００１１】図１において、ガラス基板５は爪１により
支えられ、実線で示す両矢印の方向に爪１の開閉動作及
び上下動作を行い加熱・冷却プレート４に配置される。
支えられ、実線で示す両矢印の方向に爪１の開閉動作及
び上下動作を行い加熱・冷却プレート４に配置される。
【００１２】図２において、ガラス基板５は実線で示す
両矢印の方向に爪１の往復動作を行いガラス基板５を順
次搬送していく。
両矢印の方向に爪１の往復動作を行いガラス基板５を順
次搬送していく。
【００１３】図３は、本発明に係るガラス基板搬送装置
の主要部の一例を示す拡大図であり、図４は、本発明に
係るガラス基板搬送装置の主要部の他の一例を示す拡大
図である。
の主要部の一例を示す拡大図であり、図４は、本発明に
係るガラス基板搬送装置の主要部の他の一例を示す拡大
図である。
【００１４】図１に示すようにガラス基板５の外周を爪
１で支えて搬送する方法において、ガラス基板５の幅方
向のサイズの異なった場合、爪１をガラス基板サイズに
対応した位置で支えるように変更する必要がある。その
際、爪１の位置を変更する作業を迅速に行うことが好ま
しく、正確に爪１を位置決めすることが要求される。
１で支えて搬送する方法において、ガラス基板５の幅方
向のサイズの異なった場合、爪１をガラス基板サイズに
対応した位置で支えるように変更する必要がある。その
際、爪１の位置を変更する作業を迅速に行うことが好ま
しく、正確に爪１を位置決めすることが要求される。
【００１５】本発明では、爪１にガラス基板の幅方向に
スライドさせる機構を設けることにより、爪１の位置替
え作業を迅速に行うことができる。
スライドさせる機構を設けることにより、爪１の位置替
え作業を迅速に行うことができる。
【００１６】構成としては、図３に示すように、爪１の
固定部分に長穴を加工し、爪１を固定しているネジ２を
緩めることにより、爪１をガラス基板の幅方向にスライ
ドできるようになっている。また、爪固定用のネジ位置
を規定することで、爪１のスライドが当て止めにできる
ようにするのが好ましい。
固定部分に長穴を加工し、爪１を固定しているネジ２を
緩めることにより、爪１をガラス基板の幅方向にスライ
ドできるようになっている。また、爪固定用のネジ位置
を規定することで、爪１のスライドが当て止めにできる
ようにするのが好ましい。
【００１７】次にガラス基板５の幅方向に３種類以上の
規定が必要な場合、対応したガラス基板サイズを支える
位置に正確に位置決めできるように、図４に示すよう
に、爪１の長穴を形成した部分と直交する方向に溝６を
設けて、長穴方向に動かした爪１を溝６方向に動かして
やり固定ネジ２で固定する方法が好ましい。
規定が必要な場合、対応したガラス基板サイズを支える
位置に正確に位置決めできるように、図４に示すよう
に、爪１の長穴を形成した部分と直交する方向に溝６を
設けて、長穴方向に動かした爪１を溝６方向に動かして
やり固定ネジ２で固定する方法が好ましい。
【００１８】次に、ガラス基板を熱処理する装置におい
て、爪のガラス基板と接触する部分は、ガラス基板の処
理ムラを回避するため、爪とガラス基板が接触する部分
の長さが５〜１５ｍｍであることが好ましい。またこの
場合、爪の強度を確保するために金属で構成することが
好ましく、例えばステンレス鋼のように耐食性に優れた
金属で構成することがより好ましい。
て、爪のガラス基板と接触する部分は、ガラス基板の処
理ムラを回避するため、爪とガラス基板が接触する部分
の長さが５〜１５ｍｍであることが好ましい。またこの
場合、爪の強度を確保するために金属で構成することが
好ましく、例えばステンレス鋼のように耐食性に優れた
金属で構成することがより好ましい。
【００１９】本発明のガラス基板搬送装置はカラーフィ
ルター用ガラス基板の搬送装置として好適に用いること
ができる。
ルター用ガラス基板の搬送装置として好適に用いること
ができる。
【００２０】
【実施例】以下、実施例によって本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２１】実施例１ 図３に示すガラス基板に熱処理を行う装置において、爪
によるガラス基板に発生する処理ムラの影響を回避する
ため、爪のガラス基板と接触する部分は、１ｍｍ角のも
のを使用した。従って、爪先端（ガラス基板支持部分）
の強度を確保するため、焼入れによって強度が上がるＳ
ＵＨ３（耐熱鋼）を使用した。
によるガラス基板に発生する処理ムラの影響を回避する
ため、爪のガラス基板と接触する部分は、１ｍｍ角のも
のを使用した。従って、爪先端（ガラス基板支持部分）
の強度を確保するため、焼入れによって強度が上がるＳ
ＵＨ３（耐熱鋼）を使用した。
【００２２】対象となるガラス基板サイズが２種類に対
し次のように作製した。
し次のように作製した。
【００２３】爪１の固定部分は、長穴を形成しており、
爪１は２本のネジ２を用い位置固定させた。
爪１は２本のネジ２を用い位置固定させた。
【００２４】爪１の長穴の両端は、長穴当て止めとして
位置規定させた。また、ガラス基板の幅方向に対して、
より平行にスライドができるように位置決め板３を設置
した。
位置規定させた。また、ガラス基板の幅方向に対して、
より平行にスライドができるように位置決め板３を設置
した。
【００２５】実施例２ 図４に示すガラス基板に熱処理を行う装置において、対
象となるガラス基板サイズが３種類に対し次のように作
製した。
象となるガラス基板サイズが３種類に対し次のように作
製した。
【００２６】爪１のガラス基板と接触する部分の寸法、
爪の材質、固定方法は、実施例１と同様である。
爪の材質、固定方法は、実施例１と同様である。
【００２７】爪１の固定部分は、長穴と長穴に直交する
方向に溝４を形成してやり、爪１を溝方向に動かすこと
により位置規定させた。
方向に溝４を形成してやり、爪１を溝方向に動かすこと
により位置規定させた。
【００２８】
イ）本発明のガラス基板搬送爪は、爪の固定部分に長穴
を形成したことによりガラス基板の幅方向にスライド
し、サイズが異なったガラス基板を搬送する場合に、爪
の交換をしないで、ガラス基板の適正位置を爪で支える
ことが可能である。
を形成したことによりガラス基板の幅方向にスライド
し、サイズが異なったガラス基板を搬送する場合に、爪
の交換をしないで、ガラス基板の適正位置を爪で支える
ことが可能である。
【００２９】ロ）爪の固定用のネジ位置を規定すること
で、爪のスライドが当て止めしたことにより、ガラス基
板の適切な位置を支えることができる。
で、爪のスライドが当て止めしたことにより、ガラス基
板の適切な位置を支えることができる。
【００３０】ハ）爪の長穴に溝を必要サイズ毎に形成す
ることで、３種類以上の位置に爪の位置を規定すること
ができる。
ることで、３種類以上の位置に爪の位置を規定すること
ができる。
【図１】本発明に係るガラス基板搬送装置の一例を示す
側面図である。
側面図である。
【図２】本発明に係るガラス基板搬送装置の一例を示す
上面図である。
上面図である。
【図３】本発明に係るガラス基板搬送装置の主要部の一
例を示す拡大図である。
例を示す拡大図である。
【図４】本発明に係るガラス基板搬送装置の主要部の他
の一例を示す拡大図である。
の一例を示す拡大図である。
１：爪 ２：固定ネジ ３：位置決め板 ４：加熱・冷却プレート ５：ガラス基板 ６：溝
Claims (7)
- 【請求項１】ガラス基板を爪部材で支えて搬送するガラ
ス基板搬送装置において、前記ガラス基板を支える爪部
材をガラス基板の幅方向にスライドさせる機構を設けた
ことを特徴とするガラス基板搬送装置。 - 【請求項２】爪部材の支持部に、爪のスライドさせる方
向に長穴を形成したことを特徴とする請求項１記載のガ
ラス基板搬送装置。 - 【請求項３】爪の支持部の長穴に直交する溝を設けたこ
とを特徴とする請求項２に記載のガラス基板搬送装置。 - 【請求項４】爪部材支持部の位置を固定する固定用ネジ
を設けたことを特徴とする請求項１〜３のずれかに記載
のガラス基板搬送装置。 - 【請求項５】爪の材質が金属で構成されたことを特徴と
する請求項１〜４のいずれかに記載のガラス基板搬送装
置。 - 【請求項６】爪とガラス基板が接触する部分の長さが５
〜１５ｍｍの請求項１〜５のいずれかに記載のガラス基
板搬送装置。 - 【請求項７】カラーフィルター用ガラス基板の搬送装置
用であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記
載のガラス基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3471998A JPH11227942A (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | ガラス基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3471998A JPH11227942A (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | ガラス基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11227942A true JPH11227942A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12422149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3471998A Pending JPH11227942A (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | ガラス基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11227942A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013244579A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Ebara Corp | ワークを搬送する装置のための可動範囲調整機構 |
| CN109533967A (zh) * | 2018-10-18 | 2019-03-29 | 芜湖研历光电科技有限公司 | 一种玻璃基板的搬运载体 |
-
1998
- 1998-02-17 JP JP3471998A patent/JPH11227942A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013244579A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Ebara Corp | ワークを搬送する装置のための可動範囲調整機構 |
| KR20130133682A (ko) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 작업편 이송 장치용 가동 범위 조정 기구 |
| US9236285B2 (en) | 2012-05-29 | 2016-01-12 | Ebara Corporation | Movable range adjusting mechanism for workpiece conveying device |
| TWI585024B (zh) * | 2012-05-29 | 2017-06-01 | Ebara Corp | A workpiece conveying means, a stopping means and a method of adjusting the gripping position of the workpiece holding mechanism |
| CN109533967A (zh) * | 2018-10-18 | 2019-03-29 | 芜湖研历光电科技有限公司 | 一种玻璃基板的搬运载体 |
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