JPH11216694A - ロボットアクセスシステム及びロボットアクセス制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロボットのアクセスする領域が常に変化する
場合でも、アクセス時のロボット間の相互干渉を回避で
き、また、ロボットの平均アクセス速度を向上させるこ
とができる。 【解決手段】 スレーブ側である第２のコントローラ２
００は、第２の基板搬送ロボット３３を或る収納棚にア
クセスさせようとするとき、第１のコントローラ１００
に対しその棚番号を表す棚番号信号２８０とアクセス要
請のためのアクセス要請信号２７０を出力する。メイン
側である第１のコントローラ１００は、第１の基板搬送
ロボット３１がその収納棚にアクセス中でなければ、第
２のコントローラ２００に対しアクセス許可を与えるた
めのアクセス許可信号１７０を出力する。第２のコント
ローラ２００は、アクセス許可信号１７０が入力される
まで、第２の基板搬送ロボット３３を待機させている
が、入力されたら、その収納棚にアクセスさせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有効範囲内におけ
る何れの領域にもそれぞれアクセスすることが可能な複
数のロボットを制御する技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、或る領域にそれぞれアクセスす
ることが可能な２台のロボットと、各ロボットをそれぞ
れ独立して制御する２つのコントローラと、を備えた従
来のロボットアクセスシステムにおいては、コントロー
ラは、その制御対象であるロボットを上記領域にアクセ
スさせた場合、他方のコントローラに対し、アクセスさ
せている間、継続して告知信号を出力するようにしてい
た。また、これに対し、他方のコントローラは、上記告
知信号が入力されている間、そのコントローラの制御対
象ロボットを上記領域にアクセスさせないようにしてい
た。

【０００３】しかし、このようなロボットアクセスシス
テムにおいては、コントローラは、その制御対象ロボッ
トを上記領域にアクセスさせようとしている場合、相手
のコントローラから告知信号が入力されない限り、その
ままアクセスさせてしまう。そのため、両方のコントロ
ーラがそれぞれの制御対象ロボットを上記領域に同時に
アクセスさせようとしている場合には、何れのコントロ
ーラも、相手のコントローラから告知信号が入力されて
こないので、そのまま、それぞれの制御対象ロボットを
上記領域に同時にアクセスさせてしまい、上記領域にお
いて、相互干渉を生じる恐れがあった。

【０００４】そこで、これを回避するために、従来の改
良されたロボットアクセスシステムにおいては、制御対
象であるロボットを上記領域にアクセスさせようとする
場合、そのコントローラは、相手のコントローラに対し
告知信号を出力し、その後、一定時間、相手のコントロ
ーラから告知信号が入力されるかどうかを見極め、告知
信号が入力されなければ、その制御対象ロボットを上記
領域にアクセスさせ、告知信号が入力されたら、制御対
象ロボットを上記領域にアクセスさせないようにしてい
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のロボットアクセスシステムにおいては、ロボッ
トがアクセスする領域は常に同じ領域であり、その領域
が変わることはなかった。従って、例えば、予め定めら
れた有効範囲内において、ロボットが何れの領域にもア
クセスすることができ、ロボットのアクセスする領域が
常に変わるような場合において、アクセス時のロボット
間の相互干渉を回避することについては、特に考慮され
ていなかった。

【０００６】また、従来のロボットアクセスシステムに
おいては、コントローラは告知信号を出力した後、相手
のコントローラから告知信号が入力されるかどうかを、
告知信号が実際に入力されても入力されなくても常に一
定の時間、見極める必要があるので、ロボットの平均ア
クセス速度が遅くなってしまうという問題があった。

【０００７】従って、本発明の目的は、上記した従来技
術の問題点を解決し、ロボットのアクセスする領域が常
に変わるような場合でも、アクセス時のロボット間の相
互干渉を回避でき、また、ロボットの平均アクセス速度
を向上させることができるロボットアクセスシステム及
びロボットアクセス方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記した目的の少なくとも一部を達成するために、本発明
の第１のロボットアクセスシステムは、予め定められた
有効範囲内における何れの領域にもそれぞれアクセスす
ることが可能な複数のロボットと、各ロボットをそれぞ
れ独立して制御する複数のコントローラと、を備えたロ
ボットアクセスシステムであって、或る第１のロボット
が前記有効範囲内における或る領域にアクセスしている
またはアクセスしようとしている場合に、前記第１のロ
ボット以外の第２のロボットを制御するコントローラ
は、前記第１のロボットがアクセスしているまたはアク
セスしようとしている前記領域であるアクセス対象領域
を含む領域であって、且つ、前記第１のロボットが前記
アクセス対象領域にアクセスしている際に前記第２のロ
ボットがアクセスすれば前記第１のロボットとの間で相
互干渉を生じる可能性がある領域に、前記第２のロボッ
トをアクセスさせないように制御することを要旨とす
る。

【０００９】また、本発明のロボットアクセス方法は、
予め定められた有効範囲内における何れの領域にもそれ
ぞれアクセスすることが可能な複数のロボットを制御す
るロボットアクセス制御方法であって、或る第１のロボ
ットが前記有効範囲内における或る領域にアクセスして
いるまたはアクセスしようとしている場合に、前記第１
のロボット以外の第２のロボットは、前記第１のロボッ
トがアクセスしているまたはアクセスしようとしている
前記領域であるアクセス対象領域を含む領域であって、
且つ、前記第１のロボットが前記アクセス対象領域にア
クセスしている際に前記第２のロボットがアクセスすれ
ば前記第１のロボットとの間で相互干渉を生じる可能性
がある領域に、アクセスしないように制御することを要
旨とする。

【００１０】このように、本発明の第１のロボットアク
セスシステム及びロボットアクセス方法においては、複
数のロボットのうち、或る第１のロボットが或る領域に
アクセス中またはアクセスしようとしているときに、第
２のロボットは、そのアクセス対象領域を含み、かつ、
第１のロボットとの間で相互干渉を生じ得るいわゆる干
渉領域に、アクセスしないようしている。

【００１１】従って、本発明の第１のロボットアクセス
システム及びロボットアクセス方法によれば、ロボット
のアクセスする領域が変化するような場合であっても、
アクセス時にロボット間の相互干渉を生じることがな
い。

【００１２】本発明の第２のロボットアクセスシステム
は、予め定められた有効範囲内における何れの領域にも
それぞれアクセスすることが可能な第１及び第２のロボ
ットと、該第１及び第２のロボットをそれぞれ独立して
制御する第１及び第２のコントローラと、を備えたロボ
ットアクセスシステムであって、前記第２のコントロー
ラは、前記第２のロボットを前記有効範囲内における或
る領域にアクセスさせる際に、前記第１のコントローラ
に対し、アクセスさせようとしている前記領域であるア
クセス対象領域へのアクセス許可を要請するアクセス要
請信号を出力し、その後、前記第１のコントローラか
ら、前記アクセス対象領域へのアクセスを許可をするア
クセス許可信号が入力されるまでの間、前記第２のロボ
ットを前記アクセス対象領域へアクセスさせず、前記ア
クセス許可信号が入力されたら、前記第２のロボットを
前記アクセス対象領域へアクセスさせると共に、前記第
１のコントローラは、前記第２のコントローラから、前
記アクセス要請信号が入力されたら、前記第２のロボッ
トの前記アクセス対象領域へのアクセスを許可した場合
に、前記第１のロボットとの間で相互干渉が生じる可能
性がある否かを判定し、前記相互干渉の生じる可能性が
ない場合には、前記第２のコントローラに対し、前記ア
クセス許可信号を出力し、前記相互干渉の生じる可能性
がある場合には、前記第２のコントローラに対し、前記
アクセス許可信号を出力せず、その後、前記相互干渉の
生じる可能性がなくなったら、前記アクセス許可信号を
出力し、該アクセス許可信号を出力した場合には、前記
第２のロボットによるアクセスが完了するまでの間、前
記第１のロボットを、前記第２のロボットとの間で相互
干渉が生じる可能性がある領域へはアクセスさせないよ
うにすることを要旨とする。

【００１３】本発明の第２のロボットアクセスシステム
では、第２のコントローラは、制御対象である第２のロ
ボットを或る領域にアクセスさせる場合に、第１のコン
トローラに対しアクセス要請信号を出力する。そして、
第１のコントローラからアクセス許可信号が入力される
までは、第２のコントローラは第２のロボットをそのア
クセス対象領域へアクセスさせず、アクセス許可信号が
入力されたらアクセスさせるようにしている。一方、第
１のコントローラは、第２のコントローラからアクセス
要請信号が入力されたら、第２のロボットのアクセス対
象領域へのアクセスを許可した場合に、第１のロボット
との間で相互干渉が生じる可能性があるどうかを判定
し、可能性がない場合には、第２のコントローラに対
し、直ちにアクセス許可信号を出力し、可能性がある場
合には、可能性がなくなるのを待ってからアクセス許可
信号を出力する。そして、アクセス許可信号を出力した
場合は、第２のロボットがアクセス対象領域にアクセス
するので、そのアクセスが完了するまでは、第１のロボ
ットを、第２のロボットとの間で相互干渉が生じる可能
性がある領域へはアクセスさせないようにする。

【００１４】従って、本発明の第２のロボットアクセス
システムによれば、第２のロボットは、或る領域にアク
セスする場合、第２のコントローラにアクセス許可信号
が入力されるまで待機していなければいけないが、第１
のコントローラは第１のロボットが特定領域にアクセス
していない限り、直ちにアクセス許可信号を出力するの
で、第２のロボットは、従来のように常に一定の時間、
待機している必要はない。また、第１のロボットは、或
る領域にアクセスする場合、第１のコントローラが第２
のコントローラに対しアクセス許可信号を出力していな
いか、或いは出力していても、第２のロボットとの間で
相互干渉が生じる可能性がない限り、待機することな
く、その領域に直ちにアクセスすることができる。よっ
て、全体的にロボットの平均アクセス速度を向上させる
ことができるので、ロボットのアクセス頻度が高いよう
な場合にも十分対応することができる。

【００１５】また、本発明の第２のロボットアクセスシ
ステムにおいて、前記第２のコントローラは、前記第１
のコントローラに対し、前記アクセス要請信号の他、前
記有効範囲内における前記アクセス対象領域の位置を示
す位置情報を出力すると共に、前記第１のコントローラ
は、入力された前記位置情報を基にして、前記アクセス
対象領域を特定することが好ましい。

【００１６】第２のコントローラ自体は第２のロボット
をどの領域にアクセスさせようとしているか認識してい
るので、その領域の位置を示す情報を第１のコントロー
ラに送ることによって、第１のコントローラでは、第２
のロボットのアクセス対象領域を正確に特定することが
できる。

【００１７】本発明の第３のロボットアクセスシステム
は、予め定められた有効範囲内における何れの領域にも
それぞれアクセスすることが可能な複数のロボットと、
各ロボットをそれぞれ独立して制御する複数のコントロ
ーラと、を備えたロボットアクセスシステムであって、
前記複数のコントローラが共通して、前記有効範囲内に
おける領域に対応したフラグをそれぞれ設定することが
可能なフラグ設定手段をさらに備え、前記複数のコント
ローラは、それぞれ、制御対象であるロボットを前記有
効範囲内における或る領域にアクセスさせる際に、前記
フラグ設定手段に、アクセスさせようとしている前記領
域であるアクセス対象領域を含む特定領域に対応したフ
ラグが設定されているか否かを判定し、前記特定領域に
対応したフラグが設定されていない場合には、前記フラ
グ設定手段に、前記特定領域に対応したフラグを設定し
た後、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象領域に
アクセスさせ、前記特定領域に対応したフラグが設定さ
れている場合には、該フラグの設定が解除されるまでの
間、前記制御対象ロボットを前記アクセス対象領域にア
クセスさせず、その後、前記フラグの設定が解除された
ら、前記フラグ設定手段に前記特定領域に対応したフラ
グを設定した後、前記制御対象ロボットを前記アクセス
対象領域にアクセスさせると共に、その後、前記制御対
象ロボットによる前記アクセス対象領域へのアクセスが
完了したら、前記フラグ設定手段に設定した前記フラグ
を解除することを要旨とする。

【００１８】本発明の第３のロボットアクセスシステム
では、各コントローラは、制御対象ロボットを或る領域
にアクセスさせる際、アクセス対象領域を含む特定領域
に対応したフラグがフラグ設定手段に既に設定されてい
るかどうかを判定し、設定されていなければ、特定領域
に対応したフラグを設定した上で、制御対象ロボットを
アクセス対象領域にアクセスさせ、設定されていれば、
そのフラグの設定が解除されるまで待ってから、特定領
域に対応したフラグを設定して、制御対象ロボットをア
クセス対象領域にアクセスさせる。そして、制御対象ロ
ボットによるアクセスが完了したら、設定したフラグを
解除するようにしている。

【００１９】従って、本発明の第３のロボットアクセス
システムによれば、ロボットは、或る領域にアクセスす
る場合、フラグ設定手段に特定領域に対応したフラグが
設定されていなければ、アクセス対象領域に直ちにアク
セスすることができるので、従来のように常に一定の時
間、待機している必要はない。よって、全体的にロボッ
トの平均アクセス速度を向上させることができるので、
ロボットのアクセス頻度が高いような場合にも十分対応
することができる。

【００２０】本発明の第３のロボットアクセスシステム
において、前記特定領域は、前記制御対象ロボット以外
の他のロボットがアクセスしていれば、前記制御対象ロ
ボットが前記アクセス対象領域にアクセスした際に、前
記他のロボットとの間で相互干渉が生じる可能性がある
領域であることが好ましい。

【００２１】このように特定領域を設定することによっ
て、アクセス時のロボット間の相互干渉を回避すること
ができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例と
してのロボットアクセスシステムの構成を示すブロック
図であり、図２は図１のロボットアクセスシステムを適
用した基板処理装置の全体構成を示す平面図であり、図
３は図２におけるインタフェースユニットを露光ユニッ
ト側から見た正面図である。図２，図３には、位置関係
を明確にするためにＸＹＺ直交座標系を付している。

【００２３】図１に示すロボットアクセスシステムにつ
いて説明する前に、このロボットアクセスシステムが適
用される基板処理装置について説明する。

【００２４】図２に示す基板処理装置は、半導体ウエハ
（基板）に対してフォトリソグラフィ工程の各基板処理
を行なうための基板処理装置であって、インデクサ１、
処理ユニット２、インタフェースユニット（ＩＦユニッ
ト）３、露光ユニット４などを備えている。

【００２５】インデクサ１は、キャリア自動搬送装置５
との間でキャリアＣの受け渡しを行なうための搬入出テ
ーブル１１や、搬入出テーブル１１に載置されているキ
ャリアＣと後述する処理ユニット２内の基板搬送ロボッ
ト２３との間で基板Ｗの受け渡しを行なうための基板搬
入出ロボット１２などを備えている。

【００２６】処理ユニット２は、第１の装置配置部２１
と第２の装置配置部２２と基板搬送ロボット２３の搬送
経路２４とを備えている。第１の装置配置部２１には、
図２のＸ軸方向に沿って、レジスト塗布を行なうための
スピンコーターＳＣや、現像を行なうためのスピンディ
ベロッパーＳＤなどがそれぞれ複数台配設されている。
また、第２の装置配置部２２には、プリベークやポスト
ベークなどを行なうためのベークユニットＢＵや、複数
台のエッジ露光部ＥＥＷなどが配設されている。また、
第２の装置配置部２２のＩＦユニット３側の端部付近に
は、ＩＦユニット３内の後述する第１の基板搬送ロボッ
ト３１との間で基板Ｗの受け渡しを行なうための基板受
け渡し台２５が設けられている。基板受け渡し台２５に
は、複数本の基板支持ピン２５ａが鉛直方向に立設され
ており、これら基板支持ピン２５ａに基板Ｗが載置され
て基板Ｗの受け渡しが行なわれる。

【００２７】基板搬送ロボット２３の搬送経路２４は、
第１，第２の装置配置部２１，２２の間に設けられてい
る。基板搬送ロボット２３は、基板Ｗを載置支持する複
数の突起２３ａを備えた馬蹄型のハンド２３ｂと、ハン
ド２３ｂを水平方向（Ｘ−Ｙ平面）に伸縮させる伸縮部
２３ｃと、伸縮部２３ｃを介してハンド２３ｂをＺ軸周
りに回転させる回転部（図示せず）と、伸縮部２３ｃ，
回転部を介してハンド２３ｂをＺ軸方向に移動させるＺ
方向移動部２３ｅと、伸縮部２３ｃ，回転部，Ｚ方向移
動部２３ｅを介してハンド２３ｂをＸ軸方向に移動させ
るＸ方向移動部２３ｆと、を備えている。このうち、伸
縮部２３ｃやＺ方向移動部２３ｅやＸ方向移動部２３ｆ
は、ネジ軸２３ｇ、モータ２３ｈ、ガイド軸２３ｉから
なる周知の１軸方向移動機構で構成されている。

【００２８】以上のような構成によって、基板搬送ロボ
ット２３は、ハンド２３ｂのＺ軸周りの回転やＸ，Ｚ軸
方向の移動，伸縮を適宜組み合わせて、スピンコーター
ＳＣ、スピンディベロッパーＳＤ、ベークユニットＢ
Ｕ、冷却装置、エッジ露光部ＥＥＷなどの処理装置に対
するアクセス（各装置に対する基板Ｗの搬入／搬出動
作）や、基板受け渡し台２５に対する基板Ｗの載置／取
り出しや、処理ユニット２内の各装置の間における基板
Ｗの搬送を行なう。

【００２９】ＩＦユニット３は、本発明のロボットアク
セスシステムが適用される部分であって、図２，図３に
示すように、第１の基板搬送ロボット３１とバッファ部
３２と第２の基板搬送ロボット３３と基板搬入台３４と
基板搬出台３５とを一体的にユニット化して構成されて
いる。また、ＩＦユニット３は、さらに、第１，第２の
カセット３６ａ，３６ｂをそれぞれセットしておくため
の２個のテーブル台３７ａ，３７ｂも備えている。

【００３０】第１の基板搬送ロボット３１は、Ｚ方向駆
動部３１ａ、連結部材３１ｂ、回転駆動部３１ｃ、伸縮
駆動部３１ｄ、基板支持部３１ｅなどで構成されてい
る。Ｚ方向駆動部３１ａは、ＩＦユニット３の下面に固
定されており、その内部に、Ｚ軸方向に沿って回転自在
に立設されているネジ軸３１ａａと、ネジ軸３１ａａと
平行に配されたガイド軸（図示せず）と、ネジ軸３１ａ
ａを正逆方向に回転させるモータ３１ａｂと、を備えて
いる。連結部材３１ｂは、その基端部がＺ方向駆動部３
１ａ内のネジ軸３１ａａに螺合され、ガイド軸に摺動自
在に嵌め付けられていて、ネジ軸３１ａａが正逆方向に
回転することによって、Ｚ軸方向に移動できるようにな
っている。また、連結部材３１ｂの先端部には、回転駆
動部３１ｃが固定されている。

【００３１】回転駆動部３１ｃは、その内部に、Ｚ軸方
向に回転自在に立設されている回転軸３１ｃａと、回転
軸３１ｃａを正逆方向に回転させるモータ３１ｃｂと、
を備えている。また、回転軸３１ｃａの先端部には、伸
縮駆動部３１ｄが固定されている。伸縮駆動部３１ｄ
は、その内部に、モータ３１ｄａと、そのモータ３１ｄ
ａによって駆動されるタイミングベルト３１ｄｂと、を
備えている。このタイミングベルト３１ｄｂの一部には
基板支持部３１ｅの基端部が連結されていて、タイミン
グベルト３１ｄｂを駆動させることによって、伸縮駆動
部３１ｄに対し基板支持部３１ｅが伸縮するようになっ
ている。また、回転駆動部３１ｃの回転軸３１ｃａを正
逆方向に回転させることによって、伸縮駆動部３１ｄ及
び基板支持部３１ｅをＺ軸周りに回転させて、Ｘ−Ｙ平
面（水平面）内の任意の方向に基板支持部３１ｅを伸縮
できるようにしている。さらにまた、Ｚ方向駆動部３１
ａのネジ軸３１ａａを正逆方向に回転させることによっ
て、連結部材３１ｂ，回転駆動部３１ｃ，伸縮駆動部３
１ｄを介して、基板支持部３１ｅのＺ軸方向の高さを調
整できるようにしている。

【００３２】以上のような構成によって、第１の基板搬
送ロボット３１は、処理ユニット２内の基板受け渡し台
２５に対する基板Ｗの載置／取り出しや、後述するバッ
ファ部３２の任意の収納棚３２ａに対する基板Ｗの収納
／取り出しを行なう。即ち、基板受け渡し台２５に対す
る基板Ｗの載置／取り出しは、基板支持部３１ｅの正面
が基板受け渡し台２５の方に向くように伸縮駆動部３１
ｄ等を移動させ、基板支持部３１ｅをＸ軸方向に伸縮す
ることによって行い、バッファ部３２に対する基板Ｗの
収納／取り出しは、基板支持部３１ｅの正面がバッファ
部３２の方に向くように伸縮駆動部３１ｄ等を移動さ
せ、基板支持部３１ｅをＹ軸方向に伸縮することによっ
て行なう。

【００３３】なお、図３において、開口部２ａは、処理
ユニット２とＩＦユニット３との間で基板Ｗを受け渡す
ときに、基板Ｗを支持した第１の基板搬送ロボット３１
を通過させるために開いている。

【００３４】第２の基板搬送ロボット３３は、Ｙ方向駆
動部３３ａ、第１の連結部材３３ｂ、Ｚ方向駆動部３３
ｃ、第２の連結部材３３ｄ、回転駆動部３３ｅ、伸縮駆
動部３３ｆ、基板支持部３３ｇなどで構成されている。
Ｙ方向駆動部３３ａは、ＩＦユニット３の内側面に固定
されており、その内部に、Ｙ軸方向に沿って回転自在に
立設されているネジ軸３３ａａと、ネジ軸３３ａａと平
行に配されたガイド軸３３ａｂと、ネジ軸３３ａａを正
逆方向に回転させるモータ３３ａｃと、を備えている。
第１の連結部材３３ｂは、Ｙ方向駆動部３３ａ内のネジ
軸３３ａａに螺合され、ガイド軸３３ａｂに摺動自在に
嵌め付けられていて、ネジ軸３３ａａが正逆方向に回転
することによって、Ｙ軸方向に移動できるようになって
いる。また、第１の連結部材３３ｂの上部には、Ｚ方向
駆動部３３ｃが固定されている。

【００３５】第２の基板搬送ロボット３３において、Ｚ
方向駆動部３３ｃ、第２の連結部材３３ｄ、回転駆動部
３３ｅ、伸縮駆動部３３ｆ、基板支持部３３ｇは、それ
ぞれ、第１の基板搬送ロボット３１におけるＺ方向駆動
部３１ａ、連結部材３１ｂ、回転駆動部３１ｃ、伸縮駆
動部３１ｄ、基板支持部３１ｅと同様の構成を成してお
り、同様の動作を行なうことができる。即ち、第２の基
板搬送ロボット３３においても、伸縮駆動部３３ｆに対
して基板支持部３３ｇが伸縮するようになっており、ま
た、回転駆動部３３ｅによって伸縮駆動部３３ｆ及び基
板支持部３３ｇをＺ軸周りに回転させて、Ｘ−Ｙ平面
（水平面）内の任意の方向に基板支持部３３ｇを伸縮で
きるようになっている。また、Ｚ方向駆動部３３ｃによ
って、第２の連結部材３３ｄ，回転駆動部３３ｅ，伸縮
駆動部３３ｆを介して、基板支持部３３ｇのＺ軸方向の
高さを調整できるようになっている。

【００３６】また、その他、第２の基板搬送ロボット３
３においては、Ｙ方向駆動部３３ａのネジ軸３３ａａを
正逆方向に回転させることによって、第１の連結部材３
３ｂ，Ｚ方向駆動部３３ｃ，第２の連結部材３３ｄ，回
転駆動部３３ｅを介して、伸縮駆動部３３ｆ及び基板支
持部３３ｇのＹ軸方向の位置を変え得るようにしてい
る。

【００３７】以上のような構成によって、第２の基板搬
送ロボット３３は、バッファ部３２の任意の収納棚３２
ａに対する基板Ｗの収納／取り出しや、基板搬入台３４
への基板Ｗの載置や、基板搬出台３５からの基板Ｗの取
り出しや、後述するカセット３６ａ，３６ｂに対する基
板Ｗの収納／取り出しを行なう。即ち、バッファ部３２
に対する基板Ｗの収納／取り出しは、基板支持部３３ｇ
の正面がバッファ部３２の方に向くように伸縮駆動部３
３ｆ等を移動させ、基板支持部３３ｇをＹ軸方向に伸縮
することによって行ない、基板搬入台３４や基板搬出台
３５に対する基板Ｗの載置や取り出しは、伸縮駆動部３
３ｆ等を、基板搬入台３４や基板搬出台３５の前まで移
動させると共に、基板支持部３３ｇの正面が基板搬入台
３４や基板搬出台３５の方に向くように移動させて、基
板支持部３１ｅをＸ軸方向に伸縮することによって行な
う。

【００３８】図４は図２におけるバッファ部付近の概略
構成を示す斜視図である。バッファ部３２は、上記した
第１の基板搬送ロボット３１と第２の基板搬送ロボット
３３と間に配置されており、ＩＦユニット３の内側面に
支持されている。このバッファ部３２には、図４に示す
ように、複数個（例えば、５０個）の収納棚３２ａがＺ
方向に多段状に積層されている。また、各収納棚３２ａ
は、第１の基板搬送ロボット３１及び第２の基板搬送ロ
ボット３３に面した部分が開口されており、上述したよ
うに、第１，第２の基板搬送ロボット３１，３３によっ
て基板Ｗの収納／取り出しが行えるようになっている。
なお、各収納棚３２ａには下から順番に番号が付されて
おり、従って、その棚番号を指定することによって、複
数の収納棚から、任意の棚を特定することができる。

【００３９】図５は図４における第１の基板搬送ロボッ
トによって基板の収納を行なう際の動作を説明するため
の説明図である。第１の基板搬送ロボット３１がバッフ
ァ部３２の任意の収納棚３２ａへ基板Ｗを収納する場
合、図５に示すように、まず、回転駆動部３１ｃによっ
て、基板支持部３１ｅの正面をバッファ部３２の開口部
に向けると共に、Ｚ方向駆動部３１ａによって、基板支
持部３１ｅの高さを、基板Ｗを収納しようとする収納棚
３２ａの高さに合わせる。次に、伸縮駆動部３１ｄによ
って基板支持部３１ｅを伸張させて、支持している基板
Ｗを収納すべき収納棚３２ａに挿入した後、Ｚ方向駆動
部３１ａによって基板支持部３１ｅを微少量降下させ
て、基板Ｗをその収納棚３２ａに載置収納し、その後、
収納した基板Ｗの裏面から離れた位置で基板支持部３１
ｅを停止させる。そして、伸縮駆動部３１ｄによって基
板支持部３１ｅを収縮させて、基板支持部３１ｅを収納
棚３２ａから退出させ、任意の収納棚３２ａへの基板Ｗ
の収納を終了する。

【００４０】一方、バッファ部３２の任意の収納棚３２
ａからの基板Ｗの取り出しは、上述した基板Ｗの収納動
作と逆の動作によって行なわれ、即ち、基板支持部３１
ｅによって、収納されている基板Ｗを下方から持ち上げ
るようにして行なわれる。

【００４１】なお、第２の基板搬送ロボット３３による
バッファ部３２の任意の収納棚３２ａに対する基板Ｗの
収納／取り出しも、第１の基板搬送ロボット３１による
収納／取り出しと同様の動作によって行なわれる。

【００４２】また、図２，図３に示すように、基板搬入
台３４，基板搬出台３５は、前述した処理ユニット２内
の基板受け渡し台２５と同様に、複数本の基板支持ピン
３４ａ，３５ａが鉛直方向に立設されており、これら基
板支持ピン３４ａ，３５ａに基板Ｗが載置されて、露光
ユニット４との間で基板Ｗの受け渡しが行なわれる。

【００４３】第１，第２のカセット３６ａ，３６ｂは、
それぞれ、テーブル台３７ａ，３７ｂにセットされてお
り、それらの内部には、複数枚の基板Ｗを水平姿勢で収
納しておくための複数個の収納棚（図示せず）が配置さ
れている。これらカセット３６ａ，３６ｂは、パイロッ
ト基板を収納して露光テストをする場合などに用いら
れ、使用する際には、ＩＦユニット３の一側面に設けら
れた扉３８を開いて、テーブル台３７ａ，３７ｂにセッ
トされる。

【００４４】さて、以上説明した基板処理装置における
ＩＦユニット３においては、第１の基板搬送ロボット３
１と第２の基板搬送ロボット３３が、同一のバッファ部
３２に対してアクセス（即ち、基板Ｗの収納／取り出
し）を行なっている。第１の基板搬送ロボット３１及び
第２の基板搬送ロボット３３は、図１に示すようなロボ
ットアクセスシステムにおいて、第１のコントローラ１
００及び第２のコントローラ２００によってそれぞれ独
立に制御されて、バッファ部３２に対するアクセスを行
なっている。

【００４５】図１において、第１のコントローラ１００
は、プログラムに従って各種処理や制御を行なうための
ＣＰＵ１１０と、上記プログラムや処理中に生じたデー
タなどを格納するための内部メモリ１２０と、第１の基
板搬送ロボット３１や第２のコントローラ２００との間
で種々の信号をやり取りするための入出力回路１３０
と、を備えており、各構成要素はバス１４０によって接
続されている。また、第２のコントローラ２００も、第
１のコントローラ１００と同様の構成となっており、Ｃ
ＰＵ２１０と、内部メモリ２２０と、第２の基板搬送ロ
ボット３３や第１のコントローラ１００との間で種々の
信号をやり取りするための入出力回路２３０と、バス２
４０と、を備えている。

【００４６】なお、各入出力回路１３０，２３０から
は、基板搬送ロボット３１，３３に対して基板搬送ロボ
ット３１，３３をそれぞれ制御するための制御信号１５
０，２５０が出力されており、逆に、基板搬送ロボット
３１，３３からは、入出力回路１３０，２３０に対し
て、基板搬送ロボット３１，３３の動作状態などを表す
検出信号１６０，２６０が出力されている。また、入出
力回路１３０，２３０同士の間では後述するような特定
の信号がやり取りされている。

【００４７】さて、バッファ部３２には、前述したよう
に複数個の収納棚３２ａがあるが、第１の基板搬送ロボ
ット３１及び第２の基板搬送ロボット３３共、何れの収
納棚３２ａに対してもアクセスを行なうことができるた
め、第１の基板搬送ロボット３１及び第２の基板搬送ロ
ボット３３が、ほぼ同時に同一の収納棚３２ａに対して
アクセスを行なうとすると、両者の間に相互干渉が生じ
る。また、同一の収納棚３２ａにアクセスしなくても、
上下に隣接した２個の収納棚３２ａにほぼ同時にそれぞ
れアクセスしたとしても、同様に相互干渉が生じる。何
故なら、図５において説明したように、或る収納棚３２
ａに対して基板Ｗの収納／取り出しを行なう際には、基
板支持部は必ずその収納棚のすぐ下の収納棚の部分を通
過するため、仮に、下の収納棚に対して他方の基板支持
部が基板Ｗの収納／取り出しを行なっていると、その収
納棚において基板支持部同士がぶつかり合うからであ
る。

【００４８】そこで、本実施例においては、第１の基板
搬送ロボット３１及び第１のコントローラ１００をメイ
ンとし、第２の基板搬送ロボット３３及び第２のコント
ローラ２００をスレーブとして、第１及び第２のコント
ローラ間で特定の信号のやり取りを行ないながら、第１
の基板搬送ロボット３１と第２の基板搬送ロボット３３
との間で相互干渉が生じないようにしている。

【００４９】図６は図１の第２のコントローラ２００に
おける処理手順を示すフローチャートであり、図７及び
図８は図１の第１のコントローラ１００における処理手
順を示すフローチャートである。

【００５０】まず、スレーブ側である第２のコントロー
ラ２００及び第２の基板搬送ロボット３３の動作につい
て、図６を用いて説明する。

【００５１】第２のコントローラ２００において、図６
に示すように、処理が開始されると、まず、ＣＰＵ２１
０が処理コマンドを受け付け（ステップＳ２０）、その
処理コマンドが、第２の基板搬送ロボット３３によるバ
ッファ部３２内の収納棚３２ａに対するアクセス（即
ち、基板Ｗの収納／取り出し）の実行であるか否かを判
定する（ステップＳ２２）。アクセスの実行以外の処理
コマンドである場合には、その処理コマンドに対応した
処理を行なう（ステップＳ３８）。しかし、処理コマン
ドがアクセスの実行である場合には、ＣＰＵ２１０は、
入出力回路２３０を介して第１のコントローラ１００に
対し棚番号信号２８０を出力する（ステップＳ２４）。
出力された棚番号信号２８０は、第１のコントローラ１
００において、入出力回路１３０を介してＣＰＵ１１０
に入力される。この棚番号信号２８０は、第２の基板搬
送ロボット３３をアクセスさせようとしている収納棚３
２ａの番号を表す信号である。なお、この棚番号信号２
８０は、後述するステップＳ３６において出力停止がな
されるまで、継続して出力される。

【００５２】次に、ＣＰＵ２１０は、入出力回路２３０
を介して第２の基板搬送ロボット３３を制御して、第２
の基板搬送ロボット３３を、アクセスさせるべき収納棚
３２ａの前まで移動させる（ステップＳ２６）と共に、
入出力回路２３０を介して第１のコントローラ１００に
対しアクセス要請信号２７０を出力する（ステップＳ２
８）。出力された対しアクセス要請信号２７０は、第１
のコントローラ１００において、入出力回路１３０を介
してＣＰＵ１１０に入力される。このアクセス要請信号
２７０は、第１のコントローラ１００に対して、第２の
コントローラ２００が、第２の基板搬送ロボット３３の
上記収納棚（即ち、アクセスさせるべき収納棚）３２ａ
に対するアクセスの許可を要請するための信号である。
なお、このアクセス要請信号２７０も、後述するステッ
プＳ３６において出力停止がなされるまで、継続して出
力される。

【００５３】続いて、ＣＰＵ２１０は、第１のコントロ
ーラ１００からアクセス許可信号１７０が入出力回路２
３０に入力されるかどうかを検知しながら、入力される
まで待機する。このアクセス許可信号１７０は、第２の
コントローラ２００に対して、第１のコントローラ１０
０が、第２の基板搬送ロボット３３の上記収納棚（即
ち、アクセスさせるべき収納棚）３２ａに対するアクセ
スを許可する信号である。

【００５４】その後、第１のコントローラ１００から第
２のコントローラ２００にアクセス許可信号が入力さ
れ、ＣＰＵ２１０がそれを検知したら、ＣＰＵ２１０
は、入出力回路２３０を介して第２の基板搬送ロボット
３３を制御して、第２の基板搬送ロボット３３に、アク
セスさせるべき収納棚３２ａへのアクセスを開始させる
（ステップＳ３２）。そして、第２の基板搬送ロボット
３３がその収納棚３２ａに対し基板Ｗの収納／取り出し
を行なって後、ＣＰＵ２１０がそのアクセスの完了を検
知したら（ステップＳ３４）、ＣＰＵ２１０は、第１の
コントローラ１００に対して行なっていた棚番号信号２
８０及びアクセス要請信号２７０の出力を停止させる
（ステップＳ３６）。

【００５５】こうして、第２の基板搬送ロボット３３に
関する一連のアクセス処理が完了したら、再び、ステッ
プＳ２０に戻り同様の動作が繰り返される。

【００５６】次に、メイン側である第１のコントローラ
１００及び第１の基板搬送ロボット３１の動作につい
て、図７及び図８を用いて説明する。なお、第１のコン
トローラ１００の処理には、図７に示すメイン処理と図
８に示すサブ処理とがあり、両方の処理は並列して行な
われる。まず、図８に示すサブ処理について説明する。

【００５７】第１のコントローラ１００において、図８
に示すように、サブ処理が開始されると、まず、ＣＰＵ
１１０は、第２のコントローラ２００から前述したアク
セス要請信号２７０が入出力回路１３０に入力されたか
どうかを判定する（ステップＳ６０）。そして、アクセ
ス要請信号２７０が入力された場合には、ＣＰＵ１１０
は、第１のコントローラ１００の制御対象である第１の
基板搬送ロボット３１を、バッファ部３２の何れかの収
納棚３２ａにアクセスさせているか（またはアクセスさ
せようとしているか）どうかを判定する（ステップＳ６
２）。その結果、アクセスさせている（またはアクセス
させようとしている）場合には、ＣＰＵ１１０は、先
に、第２のコントローラ２００から入力されている棚番
号信号２８０に基づいて、第２のコントローラ２００の
制御対象である第２の基板搬送ロボット３３がアクセス
しようとしている収納棚３２ａの棚番号を検出する（ス
テップＳ６４）。ＣＰＵ１１０は、その検出結果に基づ
いて、第２のコントローラ２００に対しアクセスを許可
した場合に、第２のコントローラ２００の制御対象であ
る第２の基板搬送ロボット３３によるアクセスによっ
て、アクセスさせている（またはアクセスさせようとし
ている）第１の基板搬送ロボット３１との間で相互干渉
を生じるか否かを判定する（ステップＳ６６）。前述し
たように、相互干渉は、第１及び第２の基板搬送ロボッ
ト３１，３３が、同一の収納棚３２ａにほぼ同時にアク
セスする場合のみならず、上下に隣接した２個の収納棚
３２ａにほぼ同時にアクセスする場合にも、生じる。従
って、ステップＳ６６では、ＣＰＵ１１０は、第１の基
板搬送ロボット３１をアクセスさせている（またはアク
セスさせようとしている）収納棚及びその上下の収納棚
の何れかに、第２の基板搬送ロボット３３がアクセスし
ようとしているか否かを判定する。具体的には、第１の
基板搬送ロボット３１をアクセスさせている（またはア
クセスさせようとしている）収納棚の棚番号をＡとし、
第２の基板搬送ロボット３３がアクセスしようとしてい
る収納棚の棚番号をＢとした場合に、ＢがＡ，Ａ＋１及
びＡ−１の何れかと一致するか否かを判定している。

【００５８】さて、ステップＳ６６において、相互干渉
が生じると判定した場合には、ステップＳ６２に戻っ
て、再び、同様の処理が繰り返される。しかし、ステッ
プＳ６６において、相互干渉が生じないと判定した場合
には、ＣＰＵ１１０は、入出力回路１３０を介して、第
２のコントローラ２００に対しアクセス許可信号１７０
を出力する（ステップＳ６８）。なお、このアクセス許
可信号１７０も、後述するステップＳ７０において出力
停止がなされるまで、継続して出力される。

【００５９】また、ステップＳ６２において、第１の基
板搬送ロボット３１を何れの収納棚３２ａにもアクセス
させていない（またはアクセスさせようとしていない）
と判定した場合には、第２のコントローラ２００に対し
アクセスを許可しても、第２のコントローラ２００の制
御対象である第２の基板搬送ロボット３３によるアクセ
スによって相互干渉は生じないので、この場合も、第２
のコントローラ２００に対しアクセス許可信号１７０を
出力する（ステップＳ６８）。

【００６０】こうして、第２のコントローラ２００に対
するアクセス許可についての一連の処理が完了したら、
ステップＳ６０に戻り、再び、ＣＰＵ１１０は、第２の
コントローラ２００からアクセス要請信号２７０が入力
されたかどうかを判定する（ステップＳ６０）。その
際、第２の基板搬送ロボット３３によるアクセスが完了
して、第２のコントローラ２００からアクセス要請信号
２７０が入力されなくなっていたら、ＣＰＵ１１０は、
第２のコントローラ２００に対するアクセス許可信号１
７０の出力を停止する（ステップＳ７０）。

【００６１】次に、図７に示すメイン処理について説明
する。第１のコントローラ１００において、メイン処理
が開始されると、まず、第２のコントローラ２００の場
合と同様に、ＣＰＵ１１０が処理コマンドを受け付け
（ステップＳ４０）、その処理コマンドが、第１の基板
搬送ロボット３１によるバッファ部３２内の収納棚３２
ａに対するアクセス（即ち、基板Ｗの収納／取り出し）
の実行であるか否かを判定する（ステップＳ４２）。ア
クセスの実行以外の処理コマンドである場合には、その
処理コマンドに対応した処理を行なう（ステップＳ５
２）。しかし、処理コマンドがアクセスの実行である場
合には、ＣＰＵ１１０は、第２のコントローラ２００に
対しアクセス許可信号１７０を出力中であるか否かを検
知する（ステップＳ４４）。アクセス許可信号１７０を
出力中である場合には、第２のコントローラ２００によ
ってその制御対象である第２の基板搬送ロボット３３は
アクセスを実行中であるので、ＣＰＵ１１０は、制御対
象である第１の基板搬送ロボット３１にアクセスを実行
させた場合に、そのアクセスによって、既にアクセスし
ている第２の基板搬送ロボット３３との間で相互干渉を
生じるか否かを判定する（ステップＳ４６）。即ち、ス
テップＳ４６では、ＣＰＵ１１０は、第２の基板搬送ロ
ボット３３がアクセスしている収納棚及びその上下の収
納棚の何れかに、第１の基板搬送ロボット３１をアクセ
スさせようとしているか否かを判定する。

【００６２】ステップＳ４６において、相互干渉が生じ
る判定した場合には、ステップＳ４４に戻って、再び、
同様の処理が繰り返される。しかし、ステップＳ４６に
おいて、相互干渉が生じないと判定した場合には、ＣＰ
Ｕ１１０は、入出力回路１３０を介して第１の基板搬送
ロボット３１を制御して、第１の基板搬送ロボット３１
に、アクセスさせるべき収納棚３２ａへのアクセスを開
始させる（ステップＳ４８）。そして、第１の基板搬送
ロボット３１がその収納棚３２ａに対し基板Ｗの収納／
取り出しを行なって後、ＣＰＵ１１０がそのアクセスの
完了を検知したら（ステップＳ５０）、第１の基板搬送
ロボット３１に関する一連のアクセス処理が完了するの
で、再び、ステップＳ４０に戻り同様の動作が繰り返さ
れる。

【００６３】以上説明したように、本実施例では、第１
及び第２の基板搬送ロボット３１，３３はバッファ部３
２における何れの収納棚３２ａに対してもアクセスする
ことができ、各々の基板搬送ロボット３１，３３のアク
セスする収納棚３２ａは常に変化しているが、そのよう
な場合であっても、アクセス時に、第１及び第２の基板
搬送ロボット３１，３３の間で相互干渉を生じることが
ない。

【００６４】また、スレーブ側である第２の基板搬送ロ
ボット３３は、バッファ部３２における或る収納棚３２
ａにアクセスしようとする場合、第１のコントローラ１
００から第２のコントローラ２００にアクセス許可信号
１７０が入力されるまで待機していなければいけない
が、第１のコントローラ１００は第１の基板搬送ロボッ
ト３１が収納棚３２ａにアクセス中でないか、アクセス
中であっても、そのアクセス中の第１の基板搬送ロボッ
ト３１との間で、アクセスしようとする第２の基板搬送
ロボット３３が相互干渉を生じない限り、直ちにアクセ
ス許可信号を出力するので、第２の基板搬送ロボット３
３は、従来のように常に一定の時間、待機している必要
はない。また、メイン側である第１の基板搬送ロボット
３１は、バッファ部３２における或る収納棚３２ａにア
クセスしようとする場合、第１のコントローラ１００が
第２のコントローラ２００に対しアクセス許可信号１７
０を出力していないか、或いは出力していても、アクセ
ス中の第２の基板搬送ロボット３３との間で、アクセス
しようとする第１の基板搬送ロボット３１が相互干渉を
生じない限り、待機することなく、その収納棚３２ａに
アクセスすることができる。よって、全体的に基板搬送
ロボットの平均アクセス速度を向上させることができる
ので、基板搬送ロボットのアクセス頻度が高いような場
合にも十分対応することができる。

【００６５】また、本実施例においては、前述したよう
に、スレーブ側である第２の基板搬送ロボット３３は、
アクセスしようとする場合に、第２のコントローラ２０
０にアクセス許可信号１７０が入力されるまでの間、必
ず待機していなければいけないので、その分、メイン側
である第１の基板搬送ロボット３１に比べて平均アクセ
ス速度が遅くなる。しかし、露光ユニット４における処
理時間は、処理ユニット２における処理時間よりも長い
ので、第２の基板搬送ロボット３３のバッファ部３２に
対するアクセス頻度は、第１の基板搬送ロボット３１の
それと比べて低くなる。従って、スレーブ側である第２
の基板搬送ロボット３３の平均アクセス速度が遅くて
も、何ら問題は生じない。

【００６６】図９は本発明の第２の実施例としてのロボ
ットアクセスシステムの構成を示すブロック図である。
本実施例においても、図１に示すロボットアクセスシス
テムの場合と同様に、図９に示すロボットアクセスシス
テムを図２に示した基板処理装置におけるＩＦユニット
３に適用する場合について説明する。

【００６７】図９に示すように、本実施例のロボットア
クセスシステムは、第１及び第２の基板搬送ロボット３
１，３３と、それらをそれぞれ独立に制御する第１及び
第２のコントローラ３００，４００と、を備える他、さ
らに、第１及び第２のコントローラ３００，４００から
共通してアクセスされ得る共通メモリ５００を備えてい
る。

【００６８】図９において、第１のコントローラ３００
は、図１に示した第１及び第２のコントローラ１００，
２００と同様に、ＣＰＵ３１０と、内部メモリ３２０
と、第１の基板搬送ロボット３１や共通メモリ５００と
の間で種々の信号をやり取りするための入出力回路３３
０と、バス３４０と、を備えている。また、第２のコン
トローラ４００も、同様に、ＣＰＵ４１０と、内部メモ
リ４２０と、第２の基板搬送ロボット３３や共通メモリ
５００との間で種々の信号をやり取りするための入出力
回路４３０と、バス４４０と、を備えている。また、共
通メモリ５００は、バッファ部３２における各収納棚３
２ａに対応して後述するようなフラグを設定するための
フラグ設定テーブル５１０を備えている。フラグ設定テ
ーブル５１０には、バッファ部３２における各収納棚３
２ａの棚番号と、各収納棚についてそれぞれ設定される
フラグと、が格納されている。

【００６９】なお、各入出力回路３３０，４３０から
は、基板搬送ロボット３１，３３に対して基板搬送ロボ
ット３１，３３をそれぞれ制御するための制御信号３５
０，４５０が出力されており、逆に、基板搬送ロボット
３１，３３からは、入出力回路３３０，４３０に対し
て、基板搬送ロボット３１，３３の動作状態などを表す
検出信号３６０，４６０が出力されている。また、その
他、各入出力回路１３０，２３０からは、共通メモリ５
００に対して、共通メモリ５００に各種指示を出すため
の指示信号３７０，４７０や、共通メモリ５００に書き
込むべき書き込みデータ３９０，４９０が出力され、共
通メモリ５００からは、入出力回路１３０，２３０に対
し、共通メモリ５００から読み出された読み出しデータ
３８０，４８０が出力される。

【００７０】さて、図１に示した実施例においては、第
１の基板搬送ロボット３１及び第１のコントローラ１０
０をメインとし、第２の基板搬送ロボット３３及び第２
のコントローラ２００をスレーブとして、両者の間に主
従関係を持たせていたが、本実施例では、第１の基板搬
送ロボット３１及び第１のコントローラ３００と、第２
の基板搬送ロボット３３及び第２のコントローラ４００
とは同格であり、第１及び第２のコントローラ３００，
４００が共通して共通メモリ５００にアクセスし、フラ
グ設定テーブル５１０にフラグを設定／解除することよ
って、第１の基板搬送ロボット３１と第２の基板搬送ロ
ボット３３との間で相互干渉が生じないようにしてい
る。

【００７１】図１０は図９の第１及び第２のコントロー
ラ３００，４００における処理手順を示すフローチャー
トである。第１のコントローラ３００及び第１の基板搬
送ロボット３１と、第２のコントローラ４００及び第２
の基板搬送ロボット３３とは、互いに、動作タイミング
が異なるだけで、動作内容は同じであるので、主とし
て、第１のコントローラ３００及び第１の基板搬送ロボ
ット３１の動作について、図１０を用いて説明する。

【００７２】第１のコントローラ３００において、図１
０に示すように、ＣＰＵ３１０が処理コマンドを受け付
け（ステップＳ８０）、その処理コマンドが、第１の基
板搬送ロボット３１によるバッファ部３２内の収納棚３
２ａに対するアクセス（即ち、基板Ｗの収納／取り出
し）の実行であるか否かを判定する（ステップＳ８
２）。アクセスの実行以外の処理コマンドである場合に
は、その処理コマンドに対応した処理を行なう（ステッ
プＳ９４）。

【００７３】しかし、処理コマンドがアクセスの実行で
ある場合には、ＣＰＵ３１０は、共通メモリ５００にお
いて、バッファ部３２における収納棚３２ａのうち、干
渉領域に対応する収納棚についてフラグが設定されてい
るかどうかを検知する（ステップＳ８４）。このフラグ
は、基板搬送ロボットがバッファ部３２におけるどの収
納棚３２ａにアクセスしているかを示すものであり、何
れかの基板搬送ロボットがアクセス中であれば、そのア
クセスしている収納棚についてフラグは設定されるよう
になっている。

【００７４】また、前述したように、相互干渉は、第１
及び第２の基板搬送ロボット３１，３３が、同一の収納
棚または上下に隣接した２個の収納棚３２ａにほぼ同時
にアクセスする場合に生じる。そこで、一方の基板搬送
ロボットが或る収納棚にアクセスしようとしている場合
に、その収納棚とその上下の収納棚の計３個の収納棚
は、それら収納棚に他方の基板搬送ロボットがアクセス
している（またはアクセスしようとしている）と、相互
干渉を起こす恐れがあるので、相互干渉を生じる可能性
がある領域であるとして、干渉領域と呼ぶことにする。

【００７５】図１１及び図１２はそれぞれ図９に示すフ
ラグ設定テーブル５１０の内容の時間的推移の一例を示
す説明図である。図１１及び図１２においては、バッフ
ァ部３２における収納棚３２ａの個数を５０個としてお
り、棚番号としては、「１」から「５０」まで付されて
いる。また、フラグについては、フラグが設定されてい
る場合を「１」とし、フラグが解除されている場合を
「０」としている。従って、第１のコントローラ３００
が制御対象である第１の基板搬送ロボット３１をアクセ
スさせているときには、そのアクセスさせている収納棚
の棚番号にフラグ「１」が設定され、また、第１の基板
搬送ロボット３１以外の基板搬送ロボット（本実施例で
は、第２の基板搬送ロボット３３）がアクセスしている
ときには、そのアクセスしている収納棚の棚番号にフラ
グ「１」が設定されることになる。

【００７６】それでは、今、第１のコントローラ３００
が第１の基板搬送ロボット３１を棚番号「２４」の収納
棚にアクセスさせようとしているものとして、ステップ
Ｓ８４の動作を具体的に説明する。

【００７７】ＣＰＵ３１０は、まず、第１の基板搬送ロ
ボット３１をアクセスさせようとしている収納棚は棚番
号「２４」の収納棚であるので、その棚番号「２４」の
収納棚と、その上下の収納棚である棚番号「２３」，
「２５」の収納棚を、上記した干渉領域にある収納棚で
あると認定する。そして、ＣＰＵ３１０は、入出力回路
３３０を介して共通メモリ５００に対し指示信号３７０
を出力して、干渉領域にある収納棚の棚番号「２３」〜
「２５」についてのフラグの設定内容の読み出しを指示
する。それによって、共通メモリ５００から読み出しデ
ータ３８０としてフラグの設定内容が入力されたら、そ
の設定内容に基づいて、棚番号「２３」〜「２５」の収
納棚についてフラグが設定されているかどうかを判定す
る。

【００７８】判定の結果、干渉領域にある収納棚につい
てフラグが設定されている場合には、ＣＰＵ３１０は、
ステップＳ８４の処理を繰り返して、その設定が解除さ
れるまで待機する。例えば、図１１（ａ）では、干渉領
域にある棚番号「２５」の収納棚についてフラグが設定
（「１」）されているので、図１１（ｂ）に示すよう
に、その設定が解除（「０」）されるまで、ＣＰＵ３１
０は待機することになる。また、判定の結果、干渉領域
にある収納棚についてフラグが設定されていない場合
（即ち、フラグが解除されている場合）には、ＣＰＵ３
１０は、次のステップＳ８６の処理に移る。例えば、図
１２（ａ）では、棚番号「２６」の収納棚についてフラ
グが設定されているが、干渉領域にある棚番号「２３」
〜「２５」の収納棚についてはフラグが設定されていな
いので、ＣＰＵ３１０はステップＳ８６の処理に移るこ
とになる。また、図１１（ｂ）では、棚番号「２５」の
収納棚について設定されていたフラグが解除されたの
で、この場合も、ステップＳ８６の処理に移る。

【００７９】ステップＳ８６では、ＣＰＵ３１０は、共
通メモリ５００に対し、第１の基板搬送ロボット３１を
アクセスさせようとしている収納棚についてフラグを設
定する。具体的には、ＣＰＵ３１０は、入出力回路３３
０を介して共通メモリ５００に対し指示信号３７０と書
き込みデータ３９０を出力して、棚番号「２４」の収納
棚についてフラグを設定する。その結果、図１１（ｃ）
または図１２（ｂ）に示すように、棚番号「２４」には
フラグが設定される。

【００８０】次に、ＣＰＵ３１０は、入出力回路３３０
を介して第１の基板搬送ロボット３１を制御して、第１
の基板搬送ロボット３１に、アクセスさせるべき収納棚
（即ち、棚番号「２４」の収納棚）へのアクセスを開始
させる（ステップＳ８８）。そして、第１の基板搬送ロ
ボット３１がその棚番号「２４」の収納棚に対し基板Ｗ
の収納／取り出しを行なって後、ＣＰＵ３１０がそのア
クセスの完了を検知したら（ステップＳ９０）、ＣＰＵ
３１０は、共通メモリ５００に対し、ステップＳ８６で
設定したフラグを解除する（ステップＳ９２）。具体的
には、ＣＰＵ３１０は、入出力回路３３０を介して共通
メモリ５００に対し指示信号３７０と書き込みデータ３
９０を出力して、棚番号「２４」の収納棚について設定
していたフラグを解除する（フラグを「１」から「０」
に書き換える）。

【００８１】こうして、第１の基板搬送ロボット３１に
関する一連のアクセス処理が完了したら、再び、ステッ
プＳ８０に戻り同様の動作が繰り返される。

【００８２】なお、以上の説明においては、第１のコン
トローラ３００及び第１の基板搬送ロボット３１の動作
について述べたが、前述したように、他方の第２のコン
トローラ４００及び第２の基板搬送ロボット３３の動作
についても、第１のコントローラ３００及び第１の基板
搬送ロボット３１の動作と同様の内容となる。

【００８３】従って、本実施例によれば、一方の基板搬
送ロボットがバッファ部３２における或る収納棚３２ａ
にアクセスしようとするとき、共通メモリ５００におい
て、干渉領域にある収納棚についてフラグが設定されて
いる場合には、目的の収納棚にはアクセスせず待機して
いるので、他方の基板搬送ロボットとの間で相互干渉を
生じる恐れがない。

【００８４】また、一方の基板搬送ロボットが或る収納
棚３２ａにアクセスしようとするときに、干渉領域にあ
る収納棚についてフラグが設定されていなければ、目的
の収納棚に直ちにアクセスすることができるので、従来
のように常に一定の時間、待機している必要はない。よ
って、全体的に基板搬送ロボットの平均アクセス速度を
向上させることができるので、基板搬送ロボットのアク
セス頻度が高いような場合にも十分対応することができ
る。

【００８５】また、本実施例においては、基板搬送ロボ
ット及びコントローラの各組をそれぞれ同格に扱ってい
るので、基板搬送ロボット及びコントローラの組が３組
以上であっても、支障なく動作させることができる。従
って、例えば、バッファ部３２に３台以上の基板搬送ロ
ボットをアクセスさせようとする場合にも十分対応する
ことができる。

【００８６】なお、本発明は上記した実施例や実施形態
に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々の態様にて実施することが可能である。

【００８７】上記した実施例においては、制御対象であ
るロボットは基板搬送ロボットであり、アクセス対象は
収納棚であり、アクセス内容は基板Ｗの収納／取り出し
であったが、本発明は、これらに限定されるものではな
く、アクセス対象としては、或る有効範囲内において複
数の領域が設定されているようなものであれば良く、ま
た、ロボットとしても、その有効範囲内の何れの領域に
もアクセスすることができるようなロボットであれば良
く、アクセス内容としても、上記領域を上記ロボットの
一部が占有するような動作内容であれば良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例としてのロボットアクセ
スシステムの構成を示すブロック図である。

【図２】図１のロボットアクセスシステムを適用した基
板処理装置の全体構成を示す平面図である。

【図３】図２におけるインタフェースユニットを露光ユ
ニット側から見た正面図である。

【図４】図２におけるバッファ部付近の概略構成を示す
斜視図である。

【図５】図４における第１の基板搬送ロボットによって
基板の収納を行なう際の動作を説明するための説明図で
ある。

【図６】図１の第２のコントローラ２００における処理
手順を示すフローチャートである。

【図７】図１の第１のコントローラ１００におけるメイ
ン処理の処理手順を示すフローチャートである。

【図８】図１の第１のコントローラ１００におけるサブ
処理の処理手順を示すフローチャートである。

【図９】本発明の第２の実施例としてのロボットアクセ
スシステムの構成を示すブロック図である。

【図１０】図９の第１及び第２のコントローラ３００，
４００における処理手順を示すフローチャートである。

【図１１】図９に示すフラグ設定テーブル５１０の内容
の時間的推移の一例を示す説明図である。

【図１２】図９に示すフラグ設定テーブル５１０の内容
の時間的推移の他の例を示す説明図である。

【符号の説明】

１…インデクサ ２…処理ユニット ２ａ…開口部 ３…ＩＦユニット ４…露光ユニット ５…キャリア自動搬送装置 １１…搬入出テーブル １２…基板搬入出ロボット ２１…第１の装置配置部 ２２…第２の装置配置部 ２３…基板搬送ロボット ２３ａ…突起 ２３ｂ…ハンド ２３ｃ…伸縮部 ２３ｅ…Ｚ方向移動部 ２３ｆ…Ｘ方向移動部 ２３ｇ…ネジ軸 ２３ｈ…モータ ２３ｉ…ガイド軸 ２４…搬送経路 ２５…基板受け渡し台 ２５ａ…基板支持ピン ３１…第１の基板搬送ロボット ３１ａ…Ｚ方向駆動部 ３１ａａ…ネジ軸 ３１ａｂ…モータ ３１ｂ…連結部材 ３１ｃ…回転駆動部 ３１ｃａ…回転軸 ３１ｃｂ…モータ ３１ｄ…伸縮駆動部 ３１ｄａ…モータ ３１ｄｂ…タイミングベルト ３１ｅ…基板支持部 ３２…バッファ部 ３２ａ…収納棚 ３３…第２の基板搬送ロボット ３３ａ…Ｙ方向駆動部 ３３ａａ…ネジ軸 ３３ａｂ…ガイド軸 ３３ａｃ…モータ ３３ｂ…第１の連結部材 ３３ｃ…Ｚ方向駆動部 ３３ｄ…第２の連結部材 ３３ｅ…回転駆動部 ３３ｆ…伸縮駆動部 ３３ｇ…基板支持部 ３４…基板搬入台 ３４ａ，３５ａ…基板支持ピン ３５…基板搬出台 ３６ａ，３６ｂ…カセット ３７ａ，３７ｂ…テーブル台 ３８…扉 １００…第１のコントローラ １１０…ＣＰＵ １２０…内部メモリ １３０…入出力回路 １４０…バス １５０…制御信号 １６０…検出信号 １７０…アクセス許可信号 ２００…第２のコントローラ ２１０…ＣＰＵ ２２０…内部メモリ ２３０…入出力回路 ２４０…バス ２５０…制御信号 ２６０…検出信号 ２７０…アクセス要請信号 ２８０…棚番号信号 ３００…第１のコントローラ ３１０…ＣＰＵ ３２０…内部メモリ ３３０…入出力回路 ３４０…バス ３５０…制御信号 ３６０…検出信号 ３７０…指示信号 ３８０…読み出しデータ ３９０…書き込みデータ ４００…第２のコントローラ ４１０…ＣＰＵ ４２０…内部メモリ ４３０…入出力回路 ４４０…バス ４５０…制御信号 ４６０…検出信号 ４７０…指示信号 ４８０…読み出しデータ ４９０…書き込みデータ ５００…共通メモリ ５１０…フラグ設定テーブル ＢＵ…ベークユニット Ｃ…キャリア ＥＥＷ…エッジ露光部 ＳＣ…スピンコーター ＳＤ…スピンディベロッパー Ｗ…基板

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予め定められた有効範囲内における何れ
   の領域にもそれぞれアクセスすることが可能な複数のロ
   ボットと、各ロボットをそれぞれ独立して制御する複数
   のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステム
   であって、 或る第１のロボットが前記有効範囲内における或る領域
   にアクセスしているまたはアクセスしようとしている場
   合に、前記第１のロボット以外の第２のロボットを制御
   するコントローラは、前記第１のロボットがアクセスし
   ているまたはアクセスしようとしている前記領域である
   アクセス対象領域を含む領域であって、且つ、前記第１
   のロボットが前記アクセス対象領域にアクセスしている
   際に前記第２のロボットがアクセスすれば前記第１のロ
   ボットとの間で相互干渉を生じる可能性がある領域に、
   前記第２のロボットをアクセスさせないように制御する
   ことを特徴とするロボットアクセスシステム。
2. 【請求項２】 予め定められた有効範囲内における何れ
   の領域にもそれぞれアクセスすることが可能な第１及び
   第２のロボットと、該第１及び第２のロボットをそれぞ
   れ独立して制御する第１及び第２のコントローラと、を
   備えたロボットアクセスシステムであって、 前記第２のコントローラは、前記第２のロボットを前記
   有効範囲内における或る領域にアクセスさせる際に、前
   記第１のコントローラに対し、アクセスさせようとして
   いる前記領域であるアクセス対象領域へのアクセス許可
   を要請するアクセス要請信号を出力し、その後、前記第
   １のコントローラから、前記アクセス対象領域へのアク
   セスを許可をするアクセス許可信号が入力されるまでの
   間、前記第２のロボットを前記アクセス対象領域へアク
   セスさせず、前記アクセス許可信号が入力されたら、前
   記第２のロボットを前記アクセス対象領域へアクセスさ
   せると共に、 前記第１のコントローラは、前記第２のコントローラか
   ら、前記アクセス要請信号が入力されたら、前記第２の
   ロボットの前記アクセス対象領域へのアクセスを許可し
   た場合に、前記第１のロボットとの間で相互干渉が生じ
   る可能性がある否かを判定し、前記相互干渉の生じる可
   能性がない場合には、前記第２のコントローラに対し、
   前記アクセス許可信号を出力し、前記相互干渉の生じる
   可能性がある場合には、前記第２のコントローラに対
   し、前記アクセス許可信号を出力せず、その後、前記相
   互干渉の生じる可能性がなくなったら、前記アクセス許
   可信号を出力し、該アクセス許可信号を出力した場合に
   は、前記第２のロボットによるアクセスが完了するまで
   の間、前記第１のロボットを、前記第２のロボットとの
   間で相互干渉が生じる可能性がある領域へはアクセスさ
   せないようにすることを特徴とするロボットアクセスシ
   ステム。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のロボットアクセスシス
   テムにおいて、 前記第２のコントローラは、前記第１のコントローラに
   対し、前記アクセス要請信号の他、前記有効範囲内にお
   ける前記アクセス対象領域の位置を示す位置情報を出力
   すると共に、 前記第１のコントローラは、入力された前記位置情報を
   基にして、前記アクセス対象領域を特定することを特徴
   とするロボットアクセスシステム。
4. 【請求項４】 予め定められた有効範囲内における何れ
   の領域にもそれぞれアクセスすることが可能な複数のロ
   ボットと、各ロボットをそれぞれ独立して制御する複数
   のコントローラと、を備えたロボットアクセスシステム
   であって、 前記複数のコントローラが共通して、前記有効範囲内に
   おける領域に対応したフラグをそれぞれ設定することが
   可能なフラグ設定手段をさらに備え、 前記複数のコントローラは、それぞれ、制御対象である
   ロボットを前記有効範囲内における或る領域にアクセス
   させる際に、前記フラグ設定手段に、アクセスさせよう
   としている前記領域であるアクセス対象領域を含む特定
   領域に対応したフラグが設定されているか否かを判定
   し、前記特定領域に対応したフラグが設定されていない
   場合には、前記フラグ設定手段に、前記特定領域に対応
   したフラグを設定した後、前記制御対象ロボットを前記
   アクセス対象領域にアクセスさせ、前記特定領域に対応
   したフラグが設定されている場合には、該フラグの設定
   が解除されるまでの間、前記制御対象ロボットを前記ア
   クセス対象領域にアクセスさせず、その後、前記フラグ
   の設定が解除されたら、前記フラグ設定手段に前記特定
   領域に対応したフラグを設定した後、前記制御対象ロボ
   ットを前記アクセス対象領域にアクセスさせると共に、 その後、前記制御対象ロボットによる前記アクセス対象
   領域へのアクセスが完了したら、前記フラグ設定手段に
   設定した前記フラグを解除することを特徴とするロボッ
   トアクセスシステム。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のロボットアクセスシス
   テムにおいて、 前記特定領域は、前記制御対象ロボット以外の他のロボ
   ットがアクセスしていれば、前記制御対象ロボットが前
   記アクセス対象領域にアクセスした際に、前記他のロボ
   ットとの間で相互干渉が生じる可能性がある領域である
   ことを特徴とするロボットアクセスシステム。
6. 【請求項６】 予め定められた有効範囲内における何れ
   の領域にもそれぞれアクセスすることが可能な複数のロ
   ボットを制御するロボットアクセス制御方法であって、 或る第１のロボットが前記有効範囲内における或る領域
   にアクセスしているまたはアクセスしようとしている場
   合に、前記第１のロボット以外の第２のロボットは、前
   記第１のロボットがアクセスしているまたはアクセスし
   ようとしている前記領域であるアクセス対象領域を含む
   領域であって、且つ、前記第１のロボットが前記アクセ
   ス対象領域にアクセスしている際に前記第２のロボット
   がアクセスすれば前記第１のロボットとの間で相互干渉
   を生じる可能性がある領域に、アクセスしないように制
   御することを特徴とするロボットアクセス制御方法。