JPH11212112A - Device for inspecting liquid crystal panel - Google Patents

Device for inspecting liquid crystal panel

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JPH11212112A
JPH11212112A JP1404398A JP1404398A JPH11212112A JP H11212112 A JPH11212112 A JP H11212112A JP 1404398 A JP1404398 A JP 1404398A JP 1404398 A JP1404398 A JP 1404398A JP H11212112 A JPH11212112 A JP H11212112A
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JP
Japan
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liquid crystal
crystal panel
inspection
probe
input terminal
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JP1404398A
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Japanese (ja)
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Yoshitaka Nakamura
吉孝 中村
Hideaki Kitazoe
秀明 北添
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Sharp Corp
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Sharp Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal panel(LCP) inspecting device capable of efficiently executing a display lighting inspection and an inter-terminal resistance inspection without complicating the device and reducing economic efficiency. SOLUTION: In the case of executing the inter-terminal resistance inspection of an LCP 1, a Z stage 10 on which the LCP 1 is mounted is lifted up to such a position that the input terminal part 2 of the LCP 1 is brought into contact with the tip part of a resistance inspecting probe 5. In the case of executing the display lighting inspection of the LCP 1, the Z stage 10 is lifted up to such a position that a display lighting probe 9 is brought into contact with the input terminal part 2 and the probe 5 is slidably moved to an insulating part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの端子
部に検査用プローブを配設し、該検査用プローブを介し
て液晶パネルの検査を行う液晶パネル検査装置に関し、
特に、装置の複雑化及び経済性の低下を招くことなく、
異なる複数の検査を効率良く行う液晶パネル検査装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal panel inspection apparatus in which an inspection probe is provided at a terminal of a liquid crystal panel and an inspection of the liquid crystal panel is performed through the inspection probe.
In particular, without causing the complexity of the device and the reduction in economics,
The present invention relates to a liquid crystal panel inspection device that efficiently performs a plurality of different inspections.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶の電気光学効果をテレビ画像
に利用した表示素子として、液晶パネルが知られてお
り、この液晶パネルは、行列状に配列された多数の絵素
電極と、それに印加された電圧に応じて光を変調する液
晶層を備えている。近年、このような液晶パネルの高品
位化に伴い、上記各絵素電極にスイッチング素子を付加
し、このスイッチング素子を介して絵素電極に映像信号
を印加する技術が用いられている。しかし、このような
スイッチング素子の形成工程は複雑であり、絵素の不
良、走査線及び信号腺の断線或いはショート、さらにス
イッチング素子の不良等の発生が問題となってくる。こ
のため、駆動用回路未実装の液晶パネルを検査する工程
では、液晶パネルの駆動信号入力端子に直接駆動用回路
を接触させて欠陥箇所を検出する点灯表示検査と、液晶
パネル内部のリーク量を検出する端子間抵抗検査が行わ
れる。
2. Description of the Related Art Hitherto, a liquid crystal panel has been known as a display element utilizing the electro-optic effect of liquid crystal for television images. This liquid crystal panel is composed of a large number of picture element electrodes arranged in rows and columns, A liquid crystal layer that modulates light according to the applied voltage. In recent years, along with the high quality of such liquid crystal panels, a technique has been used in which a switching element is added to each of the picture element electrodes, and a video signal is applied to the picture element electrodes via the switching elements. However, the process of forming such a switching element is complicated, and problems such as defective picture elements, broken or short-circuited scanning lines and signal lines, and defective switching elements occur. For this reason, in the process of inspecting a liquid crystal panel on which the driving circuit is not mounted, a lighting display inspection for detecting a defective portion by directly contacting the driving circuit with a driving signal input terminal of the liquid crystal panel, and a leak amount inside the liquid crystal panel are performed. A resistance test between the terminals to be detected is performed.

【0003】ここで、この点灯表示検査は、液晶パネル
を実駆動点灯させるための信号を入力する駆動信号発生
装置と、入力信号を制御するための駆動制御回路と、液
晶パネルを点灯表示させるための駆動用半導体装置と、
液晶パネルの端子部に駆動信号半導体装置の出力をコン
タクトさせるための検査プローブとを介し、液晶パネル
を実駆動点灯させて行われている。一方、端子間抵抗検
査は、端子間抵抗を測定するための端子間抵抗測定装置
と、液晶パネルの端子部にコンタクトさせるための検査
プローブとを介して行われている。
Here, the lighting display inspection is performed by a driving signal generator for inputting a signal for actually driving and lighting the liquid crystal panel, a driving control circuit for controlling the input signal, and for lighting and displaying the liquid crystal panel. A driving semiconductor device;
The operation is performed by actually driving and lighting the liquid crystal panel via an inspection probe for making the output of the drive signal semiconductor device contact the terminal portion of the liquid crystal panel. On the other hand, the inter-terminal resistance inspection is performed via an inter-terminal resistance measuring device for measuring inter-terminal resistance and an inspection probe for making contact with a terminal portion of the liquid crystal panel.

【0004】図4は、従来の液晶パネルの端子間抵抗検
査装置の概略図である。同図に示すように、液晶パネル
1の周辺の2辺にそれぞれ複数本の駆動信号入力端子が
併置されている入力端子部2(2a,2b)が形成され
ており、端子間抵抗測定装置3、信号入力基板4(4
a,4b)及び抵抗検査用プローブ11(11a,11
b)を介して抵抗検査が行われる。なお、信号入力基板
4には、端子間抵抗検査を行うために、液晶パネルの奇
数端子、偶数端子を束ねるための配線が施されている。
FIG. 4 is a schematic diagram of a conventional device for testing resistance between terminals of a liquid crystal panel. As shown in FIG. 1, input terminal portions 2 (2a, 2b) each having a plurality of drive signal input terminals juxtaposed on two sides around the liquid crystal panel 1 are formed. , Signal input board 4 (4
a, 4b) and a resistance inspection probe 11 (11a, 11a).
A resistance test is performed via b). The signal input board 4 is provided with wiring for bundling odd and even terminals of the liquid crystal panel in order to perform an inter-terminal resistance test.

【0005】図5は、従来の液晶パネルの点灯表示検査
装置の概略図である。同図に示すように、液晶パネル駆
動信号発生装置6より液晶パネル駆動制御回路7(7
a,7b)、駆動用半導体装置8(8a,8b)及び点
灯表示用プローブ12(12a,12b)を介し、液晶
パネル1の駆動信号入力端子2に駆動信号が印加され、
液晶パネルの点灯表示検査を行う。
FIG. 5 is a schematic view of a conventional lighting display inspection apparatus for a liquid crystal panel. As shown in the figure, a liquid crystal panel drive control circuit 7 (7
a, 7b), a driving signal is applied to the driving signal input terminal 2 of the liquid crystal panel 1 via the driving semiconductor device 8 (8a, 8b) and the lighting display probe 12 (12a, 12b).
A lighting display inspection of the liquid crystal panel is performed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このように、駆動用回
路は点灯表示検査には必要であるが、端子間抵抗検査に
は不必要なものであるため、かかる2つの検査は、それ
ぞれ専用の装置を用いて別個に行われ、工程簡略化及び
設備投資削減を図ることができないという問題がある。
たとえ、同一装置に点灯表示検査用プローブ及び抵抗検
査用ブロープという2つのプローブを単に配設したとし
ても、それぞれのプローブのみを選択して、入力端子に
接触させる必要があるために、同一装置で各プローブを
独立で動作させる構造は、装置の複雑化及び経済性の低
下を招くため、その実現は難しい。
As described above, the driving circuit is necessary for the lighting display inspection, but is not necessary for the inter-terminal resistance inspection. There is a problem that the process is performed separately using an apparatus, and thus it is not possible to simplify the process and reduce the capital investment.
Even if two probes, a lighting display inspection probe and a resistance inspection probe, are simply provided in the same device, it is necessary to select only each probe and bring it into contact with the input terminal. The structure in which each probe operates independently is difficult to realize because the device becomes complicated and the economy is reduced.

【0007】本発明は、上記課題を解決して、装置の複
雑化及び経済性の低下を招くことなく、異なる複数の検
査を効率良く行うことができる液晶パネル検査装置を提
供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a liquid crystal panel inspection apparatus capable of efficiently performing a plurality of different inspections without solving the above problems and without complicating the apparatus and reducing the economic efficiency. I do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、液晶パネルの駆動信号入力端子
に接触させる複数の検査用プローブを備え、該検査用プ
ローブにより前記液晶パネルの検査を行う液晶パネル検
査装置において、前記検査プローブは、前記液晶パネル
の駆動信号入力端子に対する距離が異なるように配設さ
れ、該液晶パネルを検査プローブに接触させる方向に移
動することによって前記駆動信号入力端子に接触する検
査用プローブを選択することを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal panel comprising: a plurality of inspection probes which are brought into contact with a drive signal input terminal of a liquid crystal panel; In the liquid crystal panel inspection apparatus for performing an inspection, the inspection probe is disposed so that a distance to a drive signal input terminal of the liquid crystal panel is different, and the drive signal is moved by moving the liquid crystal panel in a direction to contact the inspection probe. It is characterized in that an inspection probe that contacts the input terminal is selected.

【0009】請求項2の発明は、前記検査用プローブ
は、前記液晶パネルの駆動信号入力端子に対して斜めに
配設されることを特徴とする請求項1記載の液晶パネル
検査装置である。
The invention according to claim 2 is the liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection probe is arranged obliquely with respect to a drive signal input terminal of the liquid crystal panel.

【0010】請求項3の発明は、前記検査用プローブ
は、前記液晶パネルの駆動信号入力端子に接触する検査
用プローブの先端部以外を絶縁膜で覆い、該検査用プロ
ーブの先端部のみを導電性にすることを特徴とする請求
項2記載の液晶パネル検査装置である。
According to a third aspect of the present invention, the inspection probe covers an area other than the tip of the inspection probe that is in contact with the drive signal input terminal of the liquid crystal panel with an insulating film, and conducts only the tip of the inspection probe. The liquid crystal panel inspection device according to claim 2, wherein the liquid crystal panel inspection device is configured to have a characteristic.

【0011】請求項4の発明は、前記駆動信号入力端子
に接触した検査用プローブに所定の検査信号を印加する
手段を有することを特徴とする請求項1、2又は3記載
の液晶パネル検査装置である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal panel inspection apparatus as set forth in any one of claims 1, 2 and 3, further comprising means for applying a predetermined inspection signal to an inspection probe in contact with the drive signal input terminal. It is.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】図1は、本実施の形態で用いる液晶パネル
検査装置の構成を示す図である。従来の液晶パネル検査
装置と同一部分には同一符号を付す。同図に示すよう
に、この液晶パネル検査装置では、抵抗検査用プローブ
5と点灯表示用プローブ9という2種類のプローブを搭
載している。最近の液晶パネルは、点灯表示面積の大型
化とパネル外形の縮小化が図られているため、表示面積
部以外の端子長などは小さく設計されている。2種類の
プローブを搭載する本液晶パネル検査装置においても、
横一列にプローブを配列し、全体としてカード形状のプ
ローブを搭載することで、短い端子長の液晶パネルにも
対応可能である。なお、ここでは、抵抗検査用プローブ
5が点灯表示用プローブ9よりも突出して設置されてい
る場合を説明する。抵抗検査用プローブ5は、図2のよ
うに、フレキシブル基板13の表面にプローブ14が配
列されており、プローブ先端部のみを導電性にするため
に、先端部以外を絶縁膜15で覆っている。また、抵抗
検査用プローブ5は、Zステージ10に対して傾斜を持
って設置されている。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a liquid crystal panel inspection apparatus used in the present embodiment. The same parts as those of the conventional liquid crystal panel inspection apparatus are denoted by the same reference numerals. As shown in the figure, this liquid crystal panel inspection apparatus is equipped with two types of probes: a resistance inspection probe 5 and a lighting display probe 9. Recent liquid crystal panels have been designed to have a large display area and a reduced panel outer shape, so that terminal lengths other than the display area are designed to be small. In this liquid crystal panel inspection system equipped with two types of probes,
By arranging the probes in a horizontal line and mounting a card-shaped probe as a whole, it is possible to correspond to a liquid crystal panel having a short terminal length. Here, a case will be described in which the resistance test probe 5 is installed so as to protrude beyond the lighting display probe 9. As shown in FIG. 2, the resistance test probe 5 has probes 14 arranged on the surface of a flexible substrate 13 and covers the other end with an insulating film 15 to make only the tip of the probe conductive. . Further, the resistance test probe 5 is installed with an inclination with respect to the Z stage 10.

【0014】次に、図1に示す液晶パネル検査装置を用
いた端子間抵抗検査及び点灯表示検査について具体的に
説明する。まず、液晶パネル1を設置したZステージ1
0を抵抗検査用プローブ5の先端部に液晶パネル1の入
力端子部2が接触する位置まで上昇させる。このとき、
点灯表示用プローブは入力端子に接触していないので、
端子間抵抗測定装置により、抵抗検査が実施できる。
Next, the inter-terminal resistance inspection and the lighting display inspection using the liquid crystal panel inspection apparatus shown in FIG. 1 will be specifically described. First, the Z stage 1 on which the liquid crystal panel 1 is installed
0 is raised to a position where the input terminal 2 of the liquid crystal panel 1 contacts the tip of the resistance test probe 5. At this time,
Since the lighting display probe is not in contact with the input terminal,
The resistance test can be performed by the inter-terminal resistance measuring device.

【0015】次に、Zステージ10を点灯表示用プロー
ブ9に液晶パネル1の入力端子部2が接触する位置まで
上昇させると、抵抗検査用プローブ5は液晶パネルに対
して傾斜を持って設置されているため、図3に示すよう
に、液晶パネル1の入力端子部2の表面を滑りながら、
入力端子部2の表面に形成された絶縁部16に移動す
る。
Next, when the Z stage 10 is raised to a position where the input terminal section 2 of the liquid crystal panel 1 comes into contact with the lighting display probe 9, the resistance test probe 5 is installed with an inclination with respect to the liquid crystal panel. Therefore, as shown in FIG. 3, while sliding on the surface of the input terminal portion 2 of the liquid crystal panel 1,
It moves to the insulating part 16 formed on the surface of the input terminal part 2.

【0016】抵抗検査用プローブ5は、前述のように先
端部のみが導電性であり、Zステージの上昇によって、
入力端子に接触する部分が絶縁されている。したがっ
て、点灯表示用プローブが入力端子部に接触する位置で
は、抵抗検査用プローブ5は導通状態でなく、点灯表示
用プローブ9のみ導通状態にある。この状態で、液晶パ
ネル駆動信号発生装置6より駆動信号を印加すれば、液
晶パネルの点灯表示検査が行える。よって、同一装置に
おいて、液晶パネルとプローブ間の高さを変えること
で、端子に接触するプローブを選択し、電気信号を切り
替えることで、端子間抵抗検査と点灯表示検査が可能と
なる。
As described above, the resistance test probe 5 is conductive only at the tip, and as the Z stage rises,
The part that contacts the input terminal is insulated. Therefore, at the position where the lighting display probe is in contact with the input terminal portion, the resistance testing probe 5 is not conductive, and only the lighting display probe 9 is conductive. In this state, if a drive signal is applied from the liquid crystal panel drive signal generator 6, a lighting display inspection of the liquid crystal panel can be performed. Therefore, in the same device, by changing the height between the liquid crystal panel and the probe, a probe that comes into contact with the terminal is selected, and by switching the electric signal, the resistance between terminals and the lighting display inspection can be performed.

【0017】なお、本実施の形態では、端子間抵抗検査
と点灯表示検査とを取り上げたが、その他の検査を組み
合わせて行うことも可能である。例えば、液晶パネルの
駆動用回路実装前に、進行性欠陥を顕在化させる方法と
して、駆動信号入力端子に実使用信号レベルよりも高い
電圧を印加する場合、駆動用回路を使用している点灯表
示プローブは目的の電圧を印加できない。このような異
なる検査項目でも、上記液晶パネル検査装置を応用し、
それぞれの検査項目に対応するプローブを用意すること
により、同一装置で検査を行うことができる。
In this embodiment, the inter-terminal resistance test and the lighting display test have been described, but other tests can be performed in combination. For example, as a method of exposing progressive defects before mounting a driving circuit on a liquid crystal panel, when a voltage higher than an actually used signal level is applied to a driving signal input terminal, a lighting display using the driving circuit is used. The probe cannot apply the desired voltage. Even for such different inspection items, applying the above liquid crystal panel inspection device,
By preparing a probe corresponding to each test item, the test can be performed with the same device.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1の
発明によれば、検査用プローブを接触させる方向に液晶
パネルを移動させるだけで、複数の検査プローブの中か
ら、端子部に接触させる検査用プローブを選択できるの
で、検査種類毎に検査用プローブを独立に動作させる必
要がなく、同一の装置で複数の異なる検査が可能であ
る。そのため、装置自体の構造を簡略化できるととも
に、異なる複数の検査を効率良く行うことができ、経済
的にも効果が大きい。
As described above in detail, according to the first aspect of the present invention, only by moving the liquid crystal panel in the direction in which the inspection probe is brought into contact, the terminal portion can be contacted from the plurality of inspection probes. Since the test probe to be tested can be selected, it is not necessary to operate the test probe independently for each test type, and a plurality of different tests can be performed by the same device. Therefore, the structure of the apparatus itself can be simplified, a plurality of different inspections can be performed efficiently, and the effect is economically significant.

【0019】また、請求項2の発明によれば、検査用プ
ローブを液晶パネルに対して斜めに配したので、検査用
プローブを接触させる方向に液晶パネルを移動させる
と、検査用プローブは液晶パネルに押されて検査用プロ
ーブ先端が液晶パネル上を移動する。こうして、検査用
プローブを液晶パネルの入力端子に対し導通状態から不
導通状態に移行させてることができるので、検査に必要
な検査用プローブのみを端子部に円滑に接触させること
が可能となる。
According to the second aspect of the present invention, since the inspection probe is arranged obliquely with respect to the liquid crystal panel, when the liquid crystal panel is moved in a direction in which the inspection probe is brought into contact, the inspection probe becomes the liquid crystal panel. , The tip of the inspection probe moves on the liquid crystal panel. In this manner, the inspection probe can be shifted from the conductive state to the non-conductive state with respect to the input terminal of the liquid crystal panel, so that only the inspection probe necessary for the inspection can smoothly contact the terminal portion.

【0020】また、請求項3の発明によれば、検査用プ
ローブは、液晶パネルの端子部に接触する検査用プロー
ブの先端部以外を絶縁膜で覆い、該検査用プローブの先
端部のみを導電性にするよう構成したので、液晶パネル
の移動とともに検査用プローブが移動したときに、検査
用プローブの先端以外の部分が端子部に接触しても、検
査信号が入力されず、検査用プローブの先端からのみ端
子部に信号を入力させることが可能となる。
According to the third aspect of the present invention, the inspection probe covers an area other than the tip of the inspection probe that is in contact with the terminal of the liquid crystal panel with an insulating film, and conducts only the tip of the inspection probe. When the inspection probe moves with the movement of the liquid crystal panel, even if a part other than the tip of the inspection probe touches the terminal, no inspection signal is input and the inspection probe It is possible to input a signal to the terminal section only from the tip.

【0021】また、請求項4の発明によれば、駆動信号
入力端子に接触した検査用プローブに所定の検査信号を
印加する手段を有するので、従来別工程で行っていた複
数の検査項目を同一装置、同一工程で行い、スループッ
トを向上するとともに、設備投資を削減することができ
る。
According to the fourth aspect of the present invention, since there is provided a means for applying a predetermined inspection signal to the inspection probe in contact with the drive signal input terminal, a plurality of inspection items conventionally performed in separate steps are identical. The apparatus can be performed in the same process to improve throughput and reduce capital investment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本実施の形態で用いる液晶パネル検査装置の構
成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a liquid crystal panel inspection device used in the present embodiment.

【図2】図1に示す抵抗検査用プローブ及び点灯表示用
プローブの構成を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a resistance test probe and a lighting display probe shown in FIG. 1;

【図3】図1に示す液晶表示パネル端子の概略図であ
る。
FIG. 3 is a schematic diagram of a liquid crystal display panel terminal shown in FIG.

【図4】従来の液晶パネルの端子間抵抗検査を行う際の
概略図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a conventional resistance test between terminals of a liquid crystal panel.

【図5】従来の液晶パネルの点灯表示検査装置の概略図
である。
FIG. 5 is a schematic diagram of a conventional lighting display inspection device for a liquid crystal panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液晶表示パネル 2…入力端子部 3…端子間抵抗測定装置 4…信号入力裏板 5…抵抗検査用プローブ 6…液晶パネル駆動信号発生装置 7…液晶パネル駆動制御回路 8…駆動用半導体装置 9…点灯表示用プローブ 10…Zステージ 11…抵抗検査用プローブ 12…点灯表示用プローブ 13…フレキシブル基板 14…プローブ 15…絶縁膜 16…入力端子絶縁部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display panel 2 ... Input terminal part 3 ... Resistance measuring device between terminals 4 ... Signal input back plate 5 ... Probe for resistance test 6 ... Liquid crystal panel drive signal generator 7 ... Liquid crystal panel drive control circuit 8 ... Drive semiconductor device 9: Lighting display probe 10: Z stage 11: Resistance inspection probe 12: Lighting display probe 13: Flexible board 14: Probe 15: Insulating film 16: Input terminal insulating part

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶パネルの駆動信号入力端子に接触さ
せる複数の検査用プローブを備え、該検査用プローブに
より前記液晶パネルの検査を行う液晶パネル検査装置に
おいて、 前記検査プローブは、前記液晶パネルの駆動信号入力端
子に対する距離が異なるように配設され、該液晶パネル
を検査プローブに接触させる方向に移動することによっ
て前記駆動信号入力端子に接触する検査用プローブを選
択することを特徴とする液晶パネル検査装置。
1. A liquid crystal panel inspection apparatus, comprising: a plurality of inspection probes that are brought into contact with drive signal input terminals of a liquid crystal panel, wherein the inspection probes inspect the liquid crystal panel. A liquid crystal panel which is disposed so as to have a different distance from the drive signal input terminal, and selects an inspection probe which comes into contact with the drive signal input terminal by moving the liquid crystal panel in a direction in which the probe comes into contact with the inspection probe. Inspection equipment.
【請求項2】 前記検査用プローブは、前記液晶パネル
の駆動信号入力端子に対して斜めに配設されることを特
徴とする請求項1記載の液晶パネル検査装置。
2. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection probe is disposed obliquely with respect to a drive signal input terminal of the liquid crystal panel.
【請求項3】 前記検査用プローブは、前記液晶パネル
の駆動信号入力端子に接触する検査用プローブの先端部
以外を絶縁膜で覆い、該検査用プローブの先端部のみを
導電性にすることを特徴とする請求項2記載の液晶パネ
ル検査装置。
3. The test probe according to claim 1, wherein a portion other than the tip of the test probe that contacts the drive signal input terminal of the liquid crystal panel is covered with an insulating film, and only the tip of the test probe is made conductive. 3. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 2, wherein:
【請求項4】 前記駆動信号入力端子に接触した検査用
プローブに所定の検査信号を印加する手段を有すること
を特徴とする請求項1、2又は3記載の液晶パネル検査
装置。
4. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising means for applying a predetermined inspection signal to an inspection probe in contact with the drive signal input terminal.
JP1404398A 1998-01-27 1998-01-27 Device for inspecting liquid crystal panel Pending JPH11212112A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102681227A (en) * 2012-05-30 2012-09-19 深圳市华星光电技术有限公司 Detection method for liquid crystal display panel

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