JP2678178B2 - Probing method and probe device - Google Patents
Probing method and probe deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、LCD(液晶ディスプレー)基板上の各液晶
駆動素子の検査を行うためのプロービング方法及びプロ
ーブ装置に関する。The present invention relates to a probing method and a probe device for inspecting each liquid crystal drive element on an LCD (liquid crystal display) substrate.
(従来の技術) 例えば、LCDの電気的特性を検査するに際して、TFTの
ゲート,ソースとプローブ針との電気的接続を行うため
には、基板端部に存在するソースリード電極,ゲートリ
ード電極にそれぞれ検査用電極を接触させる必要があ
る。(Prior Art) For example, when inspecting the electrical characteristics of the LCD, in order to electrically connect the gate and source of the TFT to the probe needle, the source lead electrode and the gate lead electrode at the edge of the substrate must be connected. It is necessary to contact the inspection electrodes with each other.
また、TFTのゲートは画面を構成する各画素内の透明
電極に接続されているため、任意のTFTの機能検査を行
うためには、そのTFTの存在する画素上の透明電極にも
検査用電極を接触させる必要がある。Further, since the gate of the TFT is connected to the transparent electrode in each pixel forming the screen, in order to perform a functional test of any TFT, the transparent electrode on the pixel in which the TFT exists also has an inspection electrode. Need to contact.
ここで、このようなLCDの検査を行うプローブ装置と
して、特開昭61−70579,特開昭62−204291に開示された
ものがある。Here, as a probe device for inspecting such an LCD, there are those disclosed in JP-A-61-70579 and JP-A-62-204291.
これらの公報に開示されているプローブ装置では、LC
Dを載置する載置台の一辺/及びまたは他辺の平行な方
向に移動可能な3つのプローブヘッドを設け、これらを
載置台上で移動させることで、液晶駆動素子の機能検査
を行うものである。In the probe devices disclosed in these publications, LC
By providing three probe heads that can be moved in a direction parallel to one side and / or the other side of the mounting table on which D is mounted, and by moving these on the mounting table, the function test of the liquid crystal drive element is performed. is there.
(発明が解決しようとする課題) 上述したプローブ装置によれば、各プローブヘッドの
移動範囲が大きく、微少ピッチで形成された各電極にコ
ンタクトする際に、順次移動による累積誤差が大きくな
り、位置制御が極めて煩雑であるという問題があった。(Problem to be Solved by the Invention) According to the above-described probe device, the moving range of each probe head is large, and when the electrodes formed at the fine pitch are contacted, the cumulative error due to the sequential movement increases, There is a problem that the control is extremely complicated.
ここで、上記プローブ装置は一枚の基板内に一つのLC
Dが形成されているものについて開発されたものである
が、近年では複数のLCDを一枚基板で形成した後にスラ
イスするものもある。この場合に上記プローブ装置をそ
のまま適用することも可能であるが、このような基板を
想定した装置ではないため、効率的な検査を実施するこ
とが難しかった。Here, the above probe device has one LC in one substrate.
It was developed for the one with D formed, but in recent years, some LCDs are sliced after they are formed on one substrate. In this case, it is possible to apply the probe device as it is, but it is difficult to carry out an efficient inspection because it is not a device assuming such a substrate.
そこで、本発明の目的とするところは上述した従来の
問題点を解決し、一枚の基板内に複数のLCDが形成され
ている被検査対象の検査に最適なプロービング方法及び
プローブ装置を提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and provide a probing method and a probe device which are optimal for inspecting an object to be inspected in which a plurality of LCDs are formed in one substrate. Especially.
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 請求項1に記載のプロービング方法は、液晶表示装置
を複数形成して成る基板の、少なくとも信号ライン電
極、走査ライン電極に第1、第2のプローブヘッドの探
触子を接触させ、前記液晶表示装置の検査を行うにあた
り、前記第1、第2のプローブヘッドをそれぞれ一つの
液晶表示装置の縦、横サイズ内で移動させて、各々の前
記プローブヘッドの前記探触子を該液晶表示装置の全電
極にコンタクトして前記検査を実行し、前記基板を支持
する載置台の移動により他の液晶表示装置を前記第1、
第2のプローブヘッドの移動範囲内に設定して、各液晶
表示装置の検査を行うことを特徴とする。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The probing method according to claim 1 is characterized in that at least a signal line electrode and a scanning line electrode of a substrate formed by forming a plurality of liquid crystal display devices are first and second. When the probe of the probe head is brought into contact to inspect the liquid crystal display device, the first and second probe heads are moved within the vertical and horizontal sizes of one liquid crystal display device, respectively. The probe of the probe head is brought into contact with all the electrodes of the liquid crystal display device to perform the inspection, and the mounting table supporting the substrate is moved to move the other liquid crystal display device to the first,
The liquid crystal display device is inspected by setting it within the moving range of the second probe head.
請求項2に記載のプローブ装置は、液晶表示装置を複
数形成して成る基板の、少なくとも信号ライン電極、走
査ライン電極に第1、第2のプローブヘッドの探触子を
接触させ、前記液晶表示装置の検査を行うプローブ装置
であって、前記第1のプローブヘッドは、液晶表示装置
の一辺と平行な方向にこの液晶表示装置の一辺の範囲内
で移動可能であって、前記探触子が液晶表示装置の相対
向する全信号ライン電極の一部にコンタクト可能な2つ
の信号ライン用電極ヘッドとし、前記第2のプローブヘ
ッドは、液晶表示装置の他辺と平行な方向にその液晶表
示装置の他辺の範囲内で移動可能であって、前記探触子
が相対向する全走査ライン電極の一部にコンタクト可能
な2つの走査ライン用電極ヘッドとして構成し、前記基
板を支持して載置すると共に、他の液晶表示装置の検査
時に、前記第1、第2のプローブヘッドの移動範囲内に
前記他の液晶表示装置が設定されるように移動する載置
台を有することを特徴とする。The probe device according to claim 2, wherein the probes of the first and second probe heads are brought into contact with at least the signal line electrodes and the scanning line electrodes of a substrate formed by forming a plurality of liquid crystal display devices. A probe device for inspecting an apparatus, wherein the first probe head is movable within a range of one side of the liquid crystal display device in a direction parallel to one side of the liquid crystal display device, and the probe is Two signal line electrode heads capable of contacting a part of all signal line electrodes facing each other of the liquid crystal display device, wherein the second probe head is the liquid crystal display device in a direction parallel to the other side of the liquid crystal display device. The scanning head is configured as two scanning line electrode heads that are movable within the range of the other side and in which the probe is capable of contacting a part of all scanning line electrodes facing each other. Put With, at the time of inspection of the other liquid crystal display device, and having a first, moving the mounting table such that the within moving range of the second probe head another liquid crystal display device is set.
請求項3に記載のプローブ装置は、請求項2におい
て、前記信号ライン用電極ヘッドは、前記基板の一辺と
直交する方向に移動する可動部材に取り付けられ、前記
走査ライン用電極ヘッドは、前記基板の他辺と直交する
方向に移動する可動部材に取り付けられ、液晶表示装置
の外形サイズに応じた位置に前記信号及び走査ライン用
電極ヘッドを設定可能としたことを特徴とする。The probe device according to claim 3 is the probe device according to claim 2, wherein the signal line electrode head is attached to a movable member that moves in a direction orthogonal to one side of the substrate, and the scanning line electrode head is the substrate. Is attached to a movable member that moves in a direction orthogonal to the other side, and the signal and scanning line electrode heads can be set at positions corresponding to the outer size of the liquid crystal display device.
請求項4に記載のプローブ装置は、請求項2におい
て、前記第1、第2のプローブヘッドは、それぞれ一つ
の液晶表示装置の縦、横サイズ内に移動可能に構成さ
れ、前記液晶表示装置の一辺、他辺の範囲内で両辺に平
行な方向に移動可能であって、前記液晶表示装置に設け
られた液晶駆動素子の画素電極にコンタクト可能な探触
子を有する第3のプローブヘッドを設けたことを特徴と
する。A probe device according to a fourth aspect is the probe device according to the second aspect, wherein the first and second probe heads are configured to be movable within a vertical size and a horizontal size of one liquid crystal display device, respectively. Provided is a third probe head having a probe which is movable in a direction parallel to both sides within the range of one side and the other side and which has a probe capable of contacting a pixel electrode of a liquid crystal driving element provided in the liquid crystal display device. It is characterized by that.
(作 用) 請求項1から4に記載の各発明によれば、一枚の基板
内に形成された各液晶表示装置をプローブヘッドの移動
範囲内に設定する動作を載置台の移動によって実現し、
かつ、この液晶表示装置の内の各電極へプローブヘッド
の探触子をコンタクトさせるために、第1、第2のプロ
ーブヘッドを移動することで実現している。(Operation) According to each of the inventions described in claims 1 to 4, the operation of setting each liquid crystal display device formed on one substrate within the movement range of the probe head is realized by moving the mounting table. ,
Moreover, this is realized by moving the first and second probe heads in order to bring the probe of the probe head into contact with each electrode in the liquid crystal display device.
したがって、プローブヘッドの移動シーケンスは、一
枚の基板内の複数の液晶表示装置に共通に使用でき、載
置台の移動により検査すべき液晶表示装置を検査位置に
設定するだけで実現できる。Therefore, the movement sequence of the probe head can be commonly used for a plurality of liquid crystal display devices on one substrate, and can be realized only by setting the liquid crystal display device to be inspected to the inspection position by moving the mounting table.
(実施例) 以下、本発明をLCD基板のプローブ装置に適用した一
実施例について、図面を参照して具体的に説明する。(Example) Hereinafter, an example in which the present invention is applied to a probe device for an LCD substrate will be specifically described with reference to the drawings.
このプローブ装置の構成を説明する前に、ここでLCD
基板の構成について、基板面を模式化して表した第8図
を参照して説明する。Before describing the configuration of this probe device, let's look at the LCD
The structure of the substrate will be described with reference to FIG. 8 that schematically shows the substrate surface.
アクティブマトリックス方式の液晶基板70上には、透
明電極,パッシベイト膜,配向膜などを備えた多数のピ
クセル80が形成されている。A large number of pixels 80 having a transparent electrode, a passivation film, an alignment film and the like are formed on an active matrix type liquid crystal substrate 70.
これらのピクセル80には、それぞれれMOS型TFT81が配
置されており、このMOS型TFT81のソースは、それぞれソ
ースライン(走査ラインとも称する)82a,82b,82c…
に、ゲートは、それぞれゲートライン(信号ラインとも
称する)83a,83b,83c…に接続されている。また、MOS型
TFT81のドレインは、それぞれピクセル80内の透明電極
に接続されている。A MOS type TFT 81 is arranged in each of these pixels 80, and the sources of the MOS type TFT 81 are source lines (also referred to as scanning lines) 82a, 82b, 82c, ...
The gates are connected to gate lines (also referred to as signal lines) 83a, 83b, 83c, ... In addition, MOS type
The drain of the TFT 81 is connected to the transparent electrode in the pixel 80, respectively.
さらに、前記ソースライン82a,82b,82c…は、基板10
の端部に形成したソースリード電極84a,84b,84c…と、
その対向電極84a′,84b′,84c′…にそれぞれ接続され
ている。また、前記ゲートライン83a,83b,83cも同様
に、ゲートリード電極85a,85b,85c…と、その対向電極8
5a′,85b′,85c′…にそれぞれ接続されている。Further, the source lines 82a, 82b, 82c ...
Source lead electrodes 84a, 84b, 84c ...
Are connected to the opposing electrodes 84a ', 84b', 84c ', etc., respectively. Similarly, for the gate lines 83a, 83b, 83c, the gate lead electrodes 85a, 85b, 85c ...
5a ', 85b', 85c '...
尚、上記対向電極は各ライン,ライン間の短絡,断線
を検査するために用いるもので、一方、TFTの機能検査
に使用する電極としては、TFTのゲート,ソース,ドレ
インに接続された各電極であり、すなわちソースリード
電極84a,84b,84c…,ゲートリード電極85a,85b,85c…及
び透明電極である。The counter electrode is used for inspecting each line, short circuit between lines, and disconnection. On the other hand, the electrodes used for functional inspection of the TFT are electrodes connected to the gate, source, and drain of the TFT. That is, the source lead electrodes 84a, 84b, 84c ..., The gate lead electrodes 85a, 85b, 85c.
そして、本プローブ装置の検査対象は、上記の構成の
LCD70を複数例えば第1図(A)に示すように4つ(LCD
70a〜70d)形成して成る基板90となっている。Then, the inspection target of the present probe device has the above-mentioned configuration.
A plurality of LCDs 70, for example, four (LCD) as shown in FIG.
70a-70d) is a substrate 90 formed by forming.
次に、上記基板90内の各LCD70を検査するプローブ装
置の構成及び動作について説明する。Next, the configuration and operation of the probe device for inspecting each LCD 70 on the substrate 90 will be described.
<第1実施例> この第1実施例装置は、前記LCD70の4辺にそれぞれ
平行な方向に移動可能な4つのプローブヘッドを有して
構成している。<First Embodiment> This first embodiment device is configured to have four probe heads movable in directions parallel to the four sides of the LCD 70.
第1図(B)に示すように、前記基板90を載置して支
持する載置台1を有し、この載置台1はその載置面の直
交2軸方向であるX,Y軸、このX,Y軸に直交する高さ方向
のZ軸,このZ軸の周りの回転方向であるθ方向にそれ
ぞれ移動可能となっている。As shown in FIG. 1 (B), there is a mounting table 1 on which the substrate 90 is mounted and supported, and the mounting table 1 has X and Y axes which are directions of two axes orthogonal to the mounting surface. It is movable in the Z axis in the height direction orthogonal to the X and Y axes, and in the θ direction which is the rotation direction around the Z axis.
次に、前記載置台1の上方に配置される4つのプロー
ブヘッドの構成について説明する。Next, the configuration of the four probe heads arranged above the mounting table 1 will be described.
この4つのプローブヘッドとして、第1の走査ライン
用プローブヘッド10a,第2の走査ライン用プローブヘッ
ド10b,第1の信号ライン用プローブヘッド12a,第2の信
号ライン用プローブヘッド12bを設けている。前記第1,
第2の走査ライン用プローブヘッド10a,10bは、前記LCD
70の相対向する一辺に平行な方向であるX方向にのみ移
動可能となっていて、しかも、その移動範囲はLCD70の
前記一辺の長さ分に相当する範囲となっている。この第
1,第2の走査ライン用プローブヘッド10a,10bは、前記L
CD70のソースリード電極にコンタクトするものであり、
前記一辺上のLCD70のソースリード電極の数を例えば240
とした場合には、第1,第2の走査ライン用プローブヘッ
ド10a,10bの電極数はその1/4である60本となっている。
したがって、第1,第2の走査ライン用プローブヘッド10
a,10bは60ヵ所のソースリード電極に一度にコンタクト
可能であり、その一辺の長さ分の全ソースリード電極に
コンタクトするために、この第1,第2の走査ライン用プ
ローブヘッド10a,10bを上記X方向に移動可能としてい
る。尚、この第1,第2の走査ライン用ローブヘッド10a,
10bは、本発明の第2のプローブヘッドに相当するもの
である。As the four probe heads, a first scanning line probe head 10a, a second scanning line probe head 10b, a first signal line probe head 12a, and a second signal line probe head 12b are provided. . The first,
The second scan line probe heads 10a and 10b are the LCDs.
It is movable only in the X direction, which is a direction parallel to one side of the LCD 70 facing each other, and the moving range is a range corresponding to the length of the one side of the LCD 70. This second
The first and second scanning line probe heads 10a and 10b are the L
It contacts the source lead electrode of CD70,
For example, the number of source lead electrodes of the LCD 70 on one side is 240
In this case, the number of electrodes of the first and second scanning line probe heads 10a and 10b is 60, which is 1/4 of that.
Therefore, the first and second scanning line probe heads 10
a, 10b can contact 60 source lead electrodes at a time, and in order to contact all the source lead electrodes corresponding to the length of one side, the probe heads 10a, 10b for the first and second scanning lines are provided. Is movable in the X direction. The lobe head 10a for the first and second scanning lines,
10b corresponds to the second probe head of the present invention.
一方、第1,第2の信号ライン用プローブヘッド12a,12
bは、前記LCD70の他の辺に平行な方向であるY方向にの
み移動可能であって、しかも、その移動範囲は、前記LC
D70の他の辺の長さ分に相当する範囲となっている。こ
の第1,第2の信号ライン用プローブヘッド12a,12bは、
前記LCD70のゲートリード電極にコンタクトするもので
あり、例えば前記LCD70の他の辺上のゲートリード電極
数を240とした場合に、この第1,第2の信号ライン用プ
ローブヘッドの電極数はそれぞれその1/4である60本と
なっている。したがって、この第1,第2の信号ライン用
プローブヘッド12a,12bは、一度に60本のゲートリード
電極にコンタクトし、その他の辺の全ゲートリード電極
にコンタクトするために、第1,第2の信号ライン用プロ
ーブヘッド12a,12bを前記Y方向に移動可能としてい
る。尚、第1,第2の信号ライン用プローブヘッド12a,12
bは、本発明の第1のプローブヘッドを構成する一例で
ある。On the other hand, the probe heads 12a, 12 for the first and second signal lines
b is movable only in the Y direction, which is a direction parallel to the other side of the LCD 70, and its moving range is the LC range.
The range is equivalent to the length of the other side of D70. The first and second signal line probe heads 12a and 12b are
When the number of gate lead electrodes on the other side of the LCD 70 is 240, the number of electrodes of the probe heads for the first and second signal lines are respectively It is 1/4, which is 60. Therefore, the first and second signal line probe heads 12a and 12b contact 60 gate lead electrodes at a time and contact all gate lead electrodes on the other sides. The signal line probe heads 12a and 12b can be moved in the Y direction. The probe heads 12a, 12 for the first and second signal lines
b is an example which comprises the 1st probe head of this invention.
なお、各プローブヘッド10a,10b,12a,12bは、それぞ
れ各リード電極との接触,非接触が独立して行えるよう
に、UP/DOWN機能を備えている。Each probe head 10a, 10b, 12a, 12b has an UP / DOWN function so that contact and non-contact with each lead electrode can be performed independently.
ここで、前記4つの各プローブヘッド10a,10b,12a,12
bの電極コンタクト構造について説明すると、例えば第
2図(A)に示すように、フレキシブルなフィルム電極
(FPC)20の一端をカールさせ、基板21との間に柔軟部
材例えばフェルト22を介在させた電極構造を一例として
挙げることができる。あるいは、同図(B)に示すよう
に、前記フェルト22を断面丸型の芯材とすることによ
り、丸型心材の下端頂点に荷重が集中するためパターン
とパッドとの位置合せ性、及び小面積パッドへのコンタ
クト性を向上させることができる。なお、心材を硬いも
のとすることによりコンタクト性が向上することが確認
できたため、基板によってはSUS材等で構成しても良
い。この他、コンタクト構造としては種々のものを採用
でき、例えば複数のプローブ針を基板に支持したたもの
などであってもよい。Here, each of the four probe heads 10a, 10b, 12a, 12
Explaining the electrode contact structure of b, for example, as shown in FIG. 2 (A), one end of a flexible film electrode (FPC) 20 is curled, and a flexible member such as a felt 22 is interposed between the flexible film electrode (FPC) 20 and the substrate 21. An electrode structure can be mentioned as an example. Alternatively, as shown in FIG. 7B, by using the felt 22 as a core material having a round cross section, the load is concentrated on the lower end apex of the round core material, so that the pattern and the pad are easily aligned and small. The contact property with the area pad can be improved. Since it has been confirmed that the contact property is improved by making the core material hard, some substrates may be made of SUS material or the like. In addition, various contact structures can be adopted, and for example, a structure in which a plurality of probe needles are supported on a substrate may be used.
次に、この第1実施例装置の動作について説明する。 Next, the operation of the first embodiment device will be described.
まず、基板90を載置した載置台1をX,Y方向に移動さ
せ、第1図(A)に示すように基板90上の一つのLCD例
えばLCD70aが、前記4つのプローブヘッドの移動範囲内
に設定されるように位置決め動作を実行する。すなわ
ち、上記4つのプローブヘッドは4辺の予め定められた
位置に停止されており、この状態で前記載置台1をZ方
向に移動することで、上記4つのプローブヘッドとLCD7
0aのゲートリード電極及びソースリード電極とはコンタ
クトする。First, the mounting table 1 on which the substrate 90 is mounted is moved in the X and Y directions, and as shown in FIG. 1 (A), one LCD such as the LCD 70a on the substrate 90 is within the moving range of the four probe heads. Perform the positioning operation as set in. That is, the four probe heads are stopped at predetermined positions on four sides, and by moving the mounting table 1 in the Z direction in this state, the four probe heads and the LCD 7 are moved.
It makes contact with the gate lead electrode and the source lead electrode of 0a.
次に、第1,第2の走査ライン用プローブヘッド10a,10
bにより、テスタからの測定信号を供給し、各ソースラ
インの断線の有無,隣接するソースライン間の短絡の有
無を検査する。一方、第1,第2の信号ライン用プローブ
ヘッド12a,12bの使用により、同様にテスタから選択的
に通電し、各ゲートラインの断線の有無及び隣接するゲ
ートライン間の短絡の有無を検査する。さらに、第1の
走査ライン用プローブヘッド10a及び第1の信号ライン
用プローブヘッド12aの使用により、テスタからの選択
的な通電によりゲートライン,ソースラインの交点にお
ける絶縁抵抗の値の検査を実施する。Next, the first and second scanning line probe heads 10a, 10
By b, the measurement signal from the tester is supplied, and the presence or absence of disconnection of each source line and the presence or absence of short circuit between adjacent source lines are inspected. On the other hand, by similarly using the first and second signal line probe heads 12a and 12b, the tester is selectively energized to inspect whether or not each gate line is broken and whether or not there is a short circuit between adjacent gate lines. . Further, by using the first scanning line probe head 10a and the first signal line probe head 12a, the value of the insulation resistance at the intersection of the gate line and the source line is inspected by the selective energization from the tester. .
そして、本実施例では上記の各プローブヘッドを現在
コンタクトしている60本の電極の隣りに存在する他の60
本の電極にコンタクトできるように移動することで、LC
D70a上のすべてのソースリード電極及びゲートリード電
極にコンタクトでき、この各状態で上記のような検査を
行うことで、LCD70a上の全てのラインまたはライン間あ
るいはライン交点での不良検査を実施することが可能で
ある。In this embodiment, the other 60 existing next to the 60 electrodes currently in contact with each probe head
By moving so that it can contact the electrode of the book, LC
All source lead electrodes and gate lead electrodes on D70a can be contacted, and by performing the above inspection in each state, it is possible to perform defect inspection on all lines on LCD 70a or between lines or line intersections. Is possible.
そして、このように4つのプローブヘッドを各方向に
移動させる構成の最大のメリットとしては、一種類の検
査を行う場合には4つのプローブヘッドのうちの任意の
2つのプローブヘッドのみを使用するので、この2つの
プローブヘッドを使用しての検査実施中に他の2つのプ
ローブヘッドを移動することができる点にある。すなわ
ち、プローブヘッドの移動は他のプローブヘッドを使用
しての検査中に実施することができるので、このような
プローブヘッドの移動に要するインデックスタイムを、
一枚のLCD70aの検査中には実質的に零にすることがで
き、このため検査のスループットを大幅に向上すること
ができる。The greatest merit of the configuration in which the four probe heads are moved in each direction is that only two arbitrary probe heads out of the four probe heads are used when performing one type of inspection. The other two probe heads can be moved during an inspection using these two probe heads. That is, since the movement of the probe head can be performed during the inspection using another probe head, the index time required for such movement of the probe head is
During the inspection of one LCD 70a, it can be made substantially zero, and therefore the inspection throughput can be greatly improved.
次に、前記基板90上の他のLCD例えばLCD70bの検査を
行う場合について説明する。この場合には、本実施例の
載置台1がX,Y方向に移動可能であるので、次にLCD70b
の検査を行う場合には、載置台1をX方向に、LCDの一
面積分だけ移動することで、この次の検査対象であるLC
D70bを上記4つのプローブヘッドの移動範囲内に設定す
ることができる。この設定後は、上記LCD70aの検査と同
様に各プローブヘッドを順次移動することで、LCD70b上
の全ての検査を実施することができる。そして、このよ
うに異なるLCDの検査を行う場合には、載置台1を移動
することで対応しているため、各プローブヘッドの移動
範囲としては、上述したようにLCD70の一辺または他の
辺の各長さ分に対応する範囲のみで済む。したがって、
各プローブヘッドの移動距離を従来よりも短くすること
ができるため、プローブヘッドを長い範囲に亘って移動
させた場合の累積誤差に起因するコンクト不良を確実に
防止することができる。しかも、4つのプローブヘッド
の移動シーケンスについては、基板90上の4つのLCD70
a,70b,70c,70dについて全て共通に使用でき、同一基板9
0上の各LCDをプローブヘッドのみの移動により検査する
場合に比べて、その移動シーケンスが極めて簡易とな
り、このような移動のための制御部の構成を従来よりも
大幅に簡易化することができる。Next, a case of inspecting another LCD such as the LCD 70b on the substrate 90 will be described. In this case, since the mounting table 1 of this embodiment can be moved in the X and Y directions, the LCD 70b
In the case of performing the inspection, the mounting table 1 is moved in the X direction by one area of the LCD, so that the next inspection target LC
The D70b can be set within the moving range of the above four probe heads. After this setting, all the inspections on the LCD 70b can be performed by sequentially moving each probe head as in the inspection of the LCD 70a. And, when inspecting different LCDs in this way, since it is handled by moving the mounting table 1, the moving range of each probe head is, as described above, one side of the LCD 70 or another side. Only the range corresponding to each length is required. Therefore,
Since the moving distance of each probe head can be made shorter than before, it is possible to reliably prevent a contact failure due to an accumulated error when the probe head is moved over a long range. Moreover, regarding the movement sequence of the four probe heads, the four LCD 70 on the substrate 90
All of a, 70b, 70c, 70d can be used in common, and the same board 9
Compared to the case where each LCD above is inspected by moving only the probe head, the moving sequence becomes extremely simple, and the configuration of the control unit for such moving can be greatly simplified compared to the conventional one. .
なお、上記実施例の場合、4つのプローブヘッドの移
動位置が定められているので、基板90上に形成されるLC
D70のインチサイズが異なる場合には対応できない。そ
こで、各プローブヘッドの移動方向と直交する方向にて
プローブヘッドの取り付け位置を可変できるアダプター
を使用すれば、各サイズのLCD70にも共用することが可
能となる。In the case of the above embodiment, since the moving positions of the four probe heads are determined, the LC formed on the substrate 90 is
It is not possible to correspond when the inch size of D70 is different. Therefore, by using an adapter capable of changing the mounting position of the probe head in the direction orthogonal to the moving direction of each probe head, it becomes possible to use the same for the LCD 70 of each size.
<第2実施例> この第2実施例装置は、前記LCD70の一辺及び他の辺
にそれぞれ平行な方向に移動可能な2つのプローブヘッ
ドを有して構成している。<Second Embodiment> This second embodiment device is configured to have two probe heads movable in directions parallel to one side and the other side of the LCD 70.
この2つのプローブヘッドとして、第1のプローブヘ
ッド30と第2のプローブヘッド32とを設けている。前記
第1のプローブヘッド30は、第3図に示すように同図の
X方向に沿って所定の間隔で60本の電極を備えた第1の
走査ライン用プローブヘッド30aと同図のY方向に沿っ
て所定の間隔で60本の電極を備えた第1の信号ライン用
プローブヘッド30bとを備え、X,Y方向に移動可能となっ
ている。尚、このX,Y方向の移動範囲は、前記LCD70の一
辺及び他の辺の長さ分に相当する範囲となっている。ま
た、前記第2のプローブヘッドも同様に、第1のプロー
ブヘッド30と同じ電極数,移動方向,移動範囲の第2の
走査ライン用プローブヘッド32aと信号ライン用プロー
ブヘッド32bとから構成されている。A first probe head 30 and a second probe head 32 are provided as the two probe heads. As shown in FIG. 3, the first probe head 30 includes a first scanning line probe head 30a having 60 electrodes at predetermined intervals along the X direction in FIG. 3 and the Y direction in FIG. Along with a first signal line probe head 30b having 60 electrodes at predetermined intervals, and is movable in the X and Y directions. The movement range in the X and Y directions is a range corresponding to the lengths of one side and the other side of the LCD 70. Similarly, the second probe head is also composed of a second scanning line probe head 32a and a signal line probe head 32b having the same number of electrodes, moving direction, and moving range as the first probe head 30. There is.
なお、上記各プローブヘッド30a,30b,32a,32bも、第
1実施例と同様にUP/DOWN機能を備えている。The probe heads 30a, 30b, 32a, 32b also have the UP / DOWN function as in the first embodiment.
また、この第2実施例装置の基板90を載置する載置台
1は、前述した第1実施例と同様であり、載置面の直交
座標であるX,Y方向及び高さ方向であるZ方向さらにY
軸の回りの回転方向であるθに移動可能となっている。The mounting table 1 on which the substrate 90 of the second embodiment device is mounted is the same as that of the first embodiment described above, and the X and Y directions which are the orthogonal coordinates of the mounting surface and the Z direction which is the height direction. Direction further Y
It can be moved in the rotation direction θ around the axis.
次に、この第2実施例装置の動作について説明する。 Next, the operation of the second embodiment device will be described.
まず、第1実施例と同様に載置台1の移動によって基
板90のアラメント動作を実行し、この後載置台1をZ方
向に上昇させて、LCD70aの一部の電極と、前記第1,第2
のプローブヘッド30,32の電極とをコンタクトさせる。First, similarly to the first embodiment, the substrate 90 is aligned by the movement of the mounting table 1, and then the mounting table 1 is moved up in the Z direction, and some of the electrodes of the LCD 70a and the first and the first electrodes are moved. Two
The electrodes of the probe heads 30 and 32 are contacted.
このようなコンタクトの終了後、各プローブヘッド30
a,30b,32a,32bの位置を所定に設定することにより、下
記の検査が実行可能となる。すなわち、両プローブヘッ
ド30,32の第1,第2の信号ライン用プローブヘッド30b,3
2bを使用することにより、テスタから選択的に通電する
ことによって各ゲートラインの断線の有無及び隣接する
ゲートライン間の短絡の有無を検査することができる。
さらに、プローブヘッド30b,32aの使用により、ゲート
ライン,ソースラインの交点における絶縁抵抗の値の検
査を実行できる。After completion of such contact, each probe head 30
By setting the positions of a, 30b, 32a and 32b to a predetermined value, the following inspection can be executed. That is, the probe heads 30b, 3 for the first and second signal lines of both probe heads 30, 32
By using 2b, it is possible to inspect the presence or absence of disconnection of each gate line and the presence or absence of short circuit between adjacent gate lines by selectively energizing from a tester.
Furthermore, by using the probe heads 30b and 32a, the value of the insulation resistance at the intersection of the gate line and the source line can be inspected.
このようにして、基板90上の一枚のLCD70aについての
検査が終了した後には、第1実施例と同様に載置台1を
X及び/またはY方向に移動することで、次の検査対象
を上記第1,第2のプローブヘッド30,32の移動範囲内に
設定する。In this way, after the inspection of one LCD 70a on the substrate 90 is completed, the mounting table 1 is moved in the X and / or Y directions in the same manner as in the first embodiment, so that the next inspection target is moved. It is set within the moving range of the first and second probe heads 30 and 32.
<第3実施例> この第3実施例装置は、前述した第2実施例装置と同
様に第1,第2プローブヘッド40,42を有することで共通
するが、相違する点は下記の通りである。<Third Embodiment> This third embodiment device is common in that it has first and second probe heads 40 and 42 as in the second embodiment device described above, but the differences are as follows. is there.
まず、第1のプローブヘッド40は同様に第1の走査ラ
イン用プローブヘッド40a,信号ライン用プローブヘッド
40bを有するが、この第1のプローブヘッド40は第4図
のY方向にのみ移動可能となってる。また、この移動範
囲なY方向に沿って電極を有する第1の信号ライン用プ
ローブヘッド40bの電極数は、第2実施例と同様に60本
であるが、移動不可能なX方向に沿って電極を有する第
1の走査ライン用プローブヘッド40aは、LCD70の一辺の
全電極に同時にコンタクトできるように240個の電極を
有している。一方、第2のプローブヘッド42は、第2の
走査ライン用プローブヘッド42aと第2の信号ライン用
プローブヘッド42bとからなり、第4図のX方向にのみ
移動可能となっている。そして、移動可能なX方向に沿
って電極を有する第2の走査ライン用プローブヘッド42
aは60個の電極を有し、一方移動不可能なY方向に沿っ
て電極を有する第2の信号ライン用プローブヘッド42b
は、LCD70の他の辺の全電極に一括してコンタクトでき
るように240個の電極を有している。First, the first probe head 40 is the same as the first scanning line probe head 40a and the signal line probe head.
Although it has 40b, the first probe head 40 is movable only in the Y direction in FIG. The number of electrodes of the first signal line probe head 40b having electrodes along the Y direction, which is the range of movement, is 60 as in the second embodiment, but along the X direction that cannot be moved. The first scanning line probe head 40a having electrodes has 240 electrodes so that all electrodes on one side of the LCD 70 can be simultaneously contacted. On the other hand, the second probe head 42 includes a second scanning line probe head 42a and a second signal line probe head 42b, and is movable only in the X direction in FIG. Then, the second scan line probe head 42 having electrodes along the movable X direction.
The second signal line probe head 42b has 60 electrodes, while having electrodes along the immovable Y direction.
Has 240 electrodes so that all electrodes on the other side of the LCD 70 can be collectively contacted.
尚、上記各プローブヘッド40a,40b,42a,42bは、それ
ぞれUP/DOWN可能となっている。また、基板90を載置す
る載置台1の移動については第1,第2実施例と同様であ
る。The probe heads 40a, 40b, 42a, 42b can be UP / DOWN respectively. The movement of the mounting table 1 on which the substrate 90 is mounted is the same as in the first and second embodiments.
ここで、前記第1の走査ライン用プローブヘッド40a
及び第2の信号ライン用プローブヘッド42bについて
は、LCD70aの一辺または他辺の全電極にコンタクトする
構成を要する。この場合の上記プローブヘッド40a,42b
の構成を、第5図(A)に示すように、240個の電極パ
ターンを要するフィルム電極46を基板44に支持する構成
とすることもできるが、好ましくは第5図(B)に示す
構成とするものがよい。第5図(B)に示すものは、一
枚のフィルム電極48には60個のパターン電極を形成して
おき、このフィルム電極48を基板44に4つ支持すること
で、結果的に240個の電極パターンを要するプローブヘ
ッドを構成することができる。このように、一括コンタ
クトに要する多数の電極を一枚のフィルム電極46に形成
するのではなく、第5図(B)に示すように一つずつの
フィルム電極の数は60個と少なくし、複数のフィルム電
極48を一枚の基板44上に支持して構成することで、一枚
のフィルム電極46に多数のパターン電極を形成した場合
の累積誤差の問題を解決することができる。また、分割
された一枚のフィルム電極48は、前述した第1,第2実施
例に使用されるような各プローブヘッドの電極数と同じ
くなるので、このように分割したフィルム電極48を組合
せて使用するようにすることで部品の標準化が達成で
き、もって装置のコストダウンを図ることができる。Here, the first scanning line probe head 40a
The second signal line probe head 42b needs to be in contact with all electrodes on one side or the other side of the LCD 70a. The probe heads 40a, 42b in this case
5A, the film electrode 46 requiring 240 electrode patterns can be supported on the substrate 44 as shown in FIG. 5A, but the structure shown in FIG. 5B is preferable. It is better to say As shown in FIG. 5 (B), 60 pattern electrodes are formed on one film electrode 48 and four film electrodes 48 are supported on the substrate 44, resulting in 240 film electrodes. It is possible to configure a probe head that requires the electrode pattern of As described above, a large number of electrodes required for collective contact are not formed on one film electrode 46, but the number of each film electrode is reduced to 60 as shown in FIG. 5 (B). By supporting a plurality of film electrodes 48 on one substrate 44, it is possible to solve the problem of accumulated error when a large number of pattern electrodes are formed on one film electrode 46. Further, since the number of divided film electrodes 48 is the same as the number of electrodes of each probe head as used in the above-mentioned first and second embodiments, it is possible to combine the divided film electrodes 48 in this way. By using it, the standardization of parts can be achieved, and the cost of the device can be reduced.
<第4実施例> この第4実施例は、第1〜第3の実施例に、第3のプ
ローブヘッド50を付加することによって、上述した各ラ
インの断線の有無,ライン間の短絡の有無及びライン交
点の抵抗値の検出の他に、液晶駆動素子であるMOS型TFT
81の機能検査をも実施するものである。<Fourth Embodiment> In the fourth embodiment, by adding a third probe head 50 to the first to third embodiments, presence or absence of disconnection of each line and presence or absence of short circuit between lines described above. In addition to the detection of the resistance value at the line intersection, and the MOS type TFT which is a liquid crystal driving element.
81 functional tests will also be conducted.
この第3のプローブヘッド50は、第8図に示す透明電
極に接触し、すなわちTFT81のドレインと導通すること
で上記機能検査を可能とするものである。そして、この
第3のプローブヘッド50は、第7図に示すようにマニピ
ュレータ60に支持された1本のプローブ針62を有する構
成となっていて、上記マニュピレータ60はプローブ針62
のX,Y方向の位置及び高さ方向であるZ方向の位置を微
調整可能としている。The third probe head 50 makes it possible to perform the above-mentioned function inspection by contacting the transparent electrode shown in FIG. 8, that is, conducting the drain of the TFT 81. The third probe head 50 has one probe needle 62 supported by the manipulator 60 as shown in FIG. 7, and the manipulator 60 has the probe needle 62.
The position in the X and Y directions and the position in the Z direction which is the height direction can be finely adjusted.
この第3のプローブヘッド50を前記第1実施例に付加
した構成を、第6図(A)示す。同図において、前記第
3のプローブヘッド50は一枚のLCD70、同図ではLCD70a
の範囲内で同図のX,Y方向に移動可能となっている。FIG. 6A shows a configuration in which the third probe head 50 is added to the first embodiment. In the figure, the third probe head 50 is a single LCD 70, LCD 70a in the figure.
It is possible to move in the X and Y directions in the figure within the range of.
この第3のプローブヘッド50を用いての上記TFT81の
機能検査について説明すると、まず載置台1のX,Y方向
の移動により、各プローブヘッドの移動範囲内に一枚目
LCD70aを設定する。次に、このLCD70a上の検査対象とな
るTFT81の移動電極の上方に、前記第3のプローブヘッ
ド50のプローブ針62が配置されるように、この第3のプ
ローブヘッド50をX,Y方向に移動する。この後、載置台
1を上方に移動することで、各プローブヘッドの電極パ
ターンあるいはプローブ針をLCD70aの電極パッドにコン
タクトする。この後、第3のプローブヘッド50のプロー
ブ針62が接触されているTFT81に通電できるように、対
応するゲートリード電極及びソースリード電極に図示し
ないテスタからプローブヘッドを介して通電し、その電
流値をテスタにて測定することによって、TFTの機能検
査が可能となる。そして、このような検査を第1,第2,第
3のプローブヘッド10,12,50の位置を変えて実施するこ
とで、LCD70a上の全てのTFT81の機能検査を実施するこ
とができる。一枚のLCD70aについての機能検査が終了し
た後には、上述した第1実施例と同様に載置台1によっ
て他のLCD70bを、第1〜第3のプローブヘッド10,12,50
の移動範囲内に設定し、以後同様な動作を繰返すことに
よって基板90上の4つのLCDの全てのTFT81について、そ
の機能検査を実施することができる。The functional inspection of the TFT 81 using the third probe head 50 will be described. First, the first table is moved within the moving range of each probe head by moving the mounting table 1 in the X and Y directions.
Set the LCD 70a. Next, the third probe head 50 is moved in the X and Y directions so that the probe needle 62 of the third probe head 50 is arranged above the moving electrode of the TFT 81 to be inspected on the LCD 70a. Moving. After that, by moving the mounting table 1 upward, the electrode pattern or probe needle of each probe head is brought into contact with the electrode pad of the LCD 70a. After that, the corresponding gate lead electrode and source lead electrode are energized from a tester (not shown) through the probe head so that the probe needle 62 of the third probe head 50 can be energized, and the current value It is possible to test the function of the TFT by measuring with a tester. By performing such an inspection while changing the positions of the first, second, and third probe heads 10, 12, 50, it is possible to perform the functional inspection of all the TFTs 81 on the LCD 70a. After the functional inspection of one LCD 70a is completed, the other LCD 70b is attached to the first to third probe heads 10, 12, 50 by the mounting table 1 as in the first embodiment described above.
Then, the function inspection can be performed on all the TFTs 81 of the four LCDs on the substrate 90 by setting within the movement range of the above and repeating the same operation thereafter.
次に、前述した第3実施例に付加してTFT81の機能検
査を実施する場合には、第6図(C)に示すように、前
記第3のプローブヘッド50を同図の図示X,Y方向に移動
可能とし、かつこの移動範囲を一枚のLCD70の全範囲を
まかなう範囲とすることで、第6図(A)に示す実施例
と同様に、短絡,断線検査等に加えてTFT81の機能検査
を実施することが可能となる。Next, in addition to the above-described third embodiment, when performing a functional test of the TFT 81, as shown in FIG. 6 (C), the third probe head 50 is moved to the X, Y positions shown in FIG. In the same manner as the embodiment shown in FIG. 6 (A), the TFT 81 can be moved in any direction, and the movement range is set to cover the entire range of one LCD 70. It becomes possible to carry out a functional test.
次に、前述した第2実施例に付加してTFT81の機能検
査を行う場合には、第6図(A),(C)に示すように
第3のプローブヘッド50をX,Y方向に移動可能に構成し
てもよいが、この第2実施例の場合には第3のプローブ
ヘッド50を適宜位置に固定するものであってもよい(第
6図(B)参照)。すなわち、第3のプローブヘッド50
におけるプローブ針62を所望のTFT81の透明電極に接触
させる場合には、載置台1をX,Y方向に移動することで
実現でき、これに追従して第1,第2のプローブヘッド3
0,32をこのTFT81に接続するソースリード電極またはラ
インリード電極に接触することで、上記のTFT81の機能
検査を同様に実現することが可能である。Next, when performing a functional test of the TFT 81 in addition to the above-described second embodiment, the third probe head 50 is moved in the X and Y directions as shown in FIGS. 6 (A) and 6 (C). Although this may be possible, in the case of the second embodiment, the third probe head 50 may be fixed at an appropriate position (see FIG. 6 (B)). That is, the third probe head 50
In order to bring the probe needle 62 in the above into contact with the transparent electrode of the desired TFT 81, this can be realized by moving the mounting table 1 in the X and Y directions, and following this, the first and second probe heads 3
By contacting 0, 32 with the source lead electrode or the line lead electrode connected to this TFT 81, it is possible to similarly realize the above-mentioned functional test of the TFT 81.
<第5実施例> この第5実施例は、信号ライン,走査ラインの対向電
極にコンタクトするプローブヘッドを、各電極パッド毎
に電気的に絶縁された個別的なコンタクトでなく、複数
電極パッドを一括ショート状態でコンタクトするもので
ある。すなわち、第9図において、走査ライン用プロー
ブヘッド10aと信号ライン用プローブヘッド12a以外は、
走査ライン用コモンコクタクター100と、信号ライン用
コモンコンタクター102と成っていて、各コモンコクタ
クター100,102は対向側の電極パッドを一括してショー
トさせる例えば導電性ゴム部材で形成されている。そし
て、例えばラインの断線検査を実施する場合には、信号
ラインにあっては信号ライン用プローブヘッド12aとこ
れに対向配置されたコモンコンタクター102を用い、一
画面内では信号ライン用プローブヘッド12aを一方向に
移動させることで全信号ラインの断線検査が実施でき
る。走査ラインについても同様である。<Fifth Embodiment> In the fifth embodiment, a probe head that contacts counter electrodes of signal lines and scanning lines is provided with a plurality of electrode pads instead of individual contacts electrically insulated for each electrode pad. The contacts are made in a batch short-circuited state. That is, in FIG. 9, except for the scanning line probe head 10a and the signal line probe head 12a,
The scan line common contactor 100 and the signal line common contactor 102 are formed. Each of the common contactors 100 and 102 is formed of, for example, a conductive rubber member that collectively shorts the electrode pads on the opposite side. Then, for example, when performing the disconnection inspection of the line, using the signal line probe head 12a in the signal line and the common contactor 102 arranged opposite thereto, in one screen, the signal line probe head 12a By moving in one direction, disconnection inspection of all signal lines can be performed. The same applies to scan lines.
<第6実施例> この第6実施例は、基板上のLCDのインチサイズがロ
ット毎に変った場合でも、容易に対応できる汎用型のも
のであり、第10図,第11図に示す方式を挙げることがで
きる。<Sixth Embodiment> This sixth embodiment is a general-purpose type that can easily cope with the case where the inch size of the LCD on the substrate changes from lot to lot. The method shown in FIGS. Can be mentioned.
第10図に示すものは、X方向ガイド114又はY方向ガ
イド116に沿ってX,Y方向に移動するプローブヘッド104,
106,108,110はそれぞれ、その移動方向と直交する方向
に取り付け位置を移動できるように、例えばLCDサイズ
の3",4",6",10"に対応する係止孔112を備えている。そ
して、上記各ガイド上を走行する移動部の係止ピン(図
示せず)に対して係止孔112を所定に選択することで、
各プローブヘッドの対向間距離が可変され、各種サイズ
のに対して対応可能となる。FIG. 10 shows the probe head 104, which moves in the X and Y directions along the X direction guide 114 or the Y direction guide 116.
Each of 106, 108, 110 is provided with a locking hole 112 corresponding to, for example, an LCD size of 3 ", 4", 6 ", 10" so that the mounting position can be moved in a direction orthogonal to the moving direction. Then, by selecting the locking hole 112 with respect to the locking pin (not shown) of the moving portion that travels on each of the guides,
The facing distance of each probe head is variable, and it is possible to cope with various sizes.
第11図に示すものは、対向電極パッドにコンタクトす
る第2の信号ライン用プローブヘッド150と、第2の走
査ライン用プローブヘッド140とを、これと対向する側
のプローブヘッド120,130に対して対向間距離を可変で
きるようにしたものである。In FIG. 11, the second signal line probe head 150 that contacts the counter electrode pad and the second scanning line probe head 140 are opposed to the probe heads 120 and 130 on the opposite side. The distance can be changed.
まず、第11図に示すLCD70aの左辺に沿って配列形成さ
れている電極パッドにコンタクトするためにFPCカード1
20が設けられている。そして、このFPCカード120は、LC
D70aの左辺に存在する全電極パッドの総数と同一の数の
電極パッドを有して構成されている。First, in order to contact the electrode pads arranged along the left side of the LCD 70a shown in FIG. 11, the FPC card 1
20 are provided. And this FPC card 120 is LC
It is configured to have the same number of electrode pads as the total number of all electrode pads existing on the left side of D70a.
尚、前記FPCカード120は、所定位置に固定されている
が、LCD70aのインチサイズが大きくなった場合には、こ
れに合わせて大型のサイズのFPCカード120が取り付けら
れる。The FPC card 120 is fixed at a predetermined position, but when the inch size of the LCD 70a becomes large, a large-sized FPC card 120 is attached according to this.
前記LCD70aの第11図での上辺及び下辺の電極パッドに
コンタクトするために、プローブ針を複数本固定してな
る第1のプローブカード130及び第2のプローブカード1
40が設けられている。第1のプローブカード130は、X
方向ガイド132に沿ってX方向に移動可能であって、第
1のモータ134の駆動力をワイヤーあるいはボールネジ
等によって第1のプローブカード130のX方向の駆動力
に変換することによって、その移動を可能としている。A first probe card 130 and a second probe card 1 in which a plurality of probe needles are fixed in order to contact the upper and lower electrode pads of the LCD 70a in FIG.
Forty are provided. The first probe card 130 is X
It is movable along the direction guide 132 in the X direction, and the movement is converted by converting the driving force of the first motor 134 into the driving force of the first probe card 130 in the X direction with a wire or a ball screw. It is possible.
一方、第2のプローブカード140の移動機構は下記の
ようになっている。すなわち、第1の可動ベース160
は、X方向ガイド162,162に沿ってX方向に移動可能と
なっていて、第2のモータ164の駆動力によってX方向
に移動可能となっている。この第1の可動ベース160上
には、Y方向ガイド166,166が平行に設けられ、このY
方向ガイド166,166に沿って第2の可動ベース170が移動
可能となっている。そして、第1の可動ベース160上に
設けられた第3のモータ168の駆動力によって、前記第
2の可動ベース170をY方向に移動可能としている。前
記第2のプローブカード140は、前記第2の可動ベース1
70に固着され、この第1,第2の可動ベース160,170の移
動によって、第2のプローブカード140はX,Y方向共に移
動可能となっている。On the other hand, the moving mechanism of the second probe card 140 is as follows. That is, the first movable base 160
Can be moved in the X direction along the X direction guides 162, 162, and can be moved in the X direction by the driving force of the second motor 164. Y direction guides 166, 166 are provided in parallel on the first movable base 160.
The second movable base 170 is movable along the direction guides 166,166. Then, the second movable base 170 can be moved in the Y direction by the driving force of the third motor 168 provided on the first movable base 160. The second probe card 140 includes the second movable base 1
The second probe card 140 fixed to 70 is movable in both the X and Y directions by the movement of the first and second movable bases 160 and 170.
LCD70aの右辺に存在する電極パッドにコンタクトする
ための構成として、前記第2の可動ベース170には第2
の信号ライン用プローブヘッドとしてコモンコンタクタ
ー150が固定されている。このコモンコンタクター150
は、LCD70aの右辺に存在する全電極パッドに一括コンタ
クできる構成となっていて、例えば導電性ゴム部材を第
2図のY方向に沿って配列することで構成している。As a structure for contacting the electrode pad on the right side of the LCD 70a, the second movable base 170 has a second structure.
The common contactor 150 is fixed as a probe head for the signal line. This common contactor 150
Has a structure capable of collectively contacting all the electrode pads existing on the right side of the LCD 70a, and is constituted by arranging, for example, a conductive rubber member along the Y direction in FIG.
尚、上述した第1,第2のプローブカード130,140及び
コモンコンタクター150は、LCD70aの電極パッドに対す
る接触状態,非接触状態を切り換えできるように、アッ
プダウン機構を備えている。The first and second probe cards 130 and 140 and the common contactor 150 described above are provided with an up-down mechanism so that the contact state and the non-contact state with respect to the electrode pad of the LCD 70a can be switched.
上記構成によれば、LCDのインチサイズが異なった場
合でも、その電極パッドピッチが異ならない限り、可動
ベース160,170の移動により、相対向するプローブヘッ
ド等の対向間距離を可変できるので、容易に各種サイズ
のLCDに対応可能である。尚、上記の可動ベース160,170
による移動機構は、第2のプローブカード140を一枚のL
CD70a内でX方向に移動することにも兼用している。According to the above configuration, even if the inch size of the LCD is different, as long as the electrode pad pitch is not different, by moving the movable bases 160 and 170, the distance between the facing probe heads and the like can be varied, so that various types can be easily changed. It can be used with LCDs of any size. The movable bases 160 and 170 described above
The moving mechanism by means of a second probe card 140
It is also used for moving in the X direction within the CD70a.
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。The present invention is not limited to the above embodiment,
Various modifications can be made within the scope of the present invention.
例えば、上記の各実施例では各プローブヘッド電極パ
ターンをLCD70の全てのソースリード電極あるいはゲー
トリード電極に接触可能とし、一枚のLCD70上の全ての
電極パッドにコンタクト可能としたが、その全ての電極
パッドを使用して検査を行うものに限らす、例えば特に
不良の生じやすいLCD70の周辺部の電極パッドのみを利
用して各種不良検査を実施するものであっもよい。ま
た、第4実施例のように、第3のプローブヘッド50を設
ける場合には、このプローブヘッド50にカメラを支持す
るように構成することもできる。そして、このカメラを
位置決めのためのアライメントに使用することができ
る。For example, in each of the above embodiments, each probe head electrode pattern can be contacted with all the source lead electrodes or the gate lead electrodes of the LCD 70 and all electrode pads on one LCD 70 can be contacted, but The inspection is not limited to the inspection using the electrode pads, and various defect inspections may be performed by using only the electrode pads in the peripheral portion of the LCD 70 where the defect is particularly likely to occur. When the third probe head 50 is provided as in the fourth embodiment, the probe head 50 may be configured to support the camera. Then, this camera can be used for alignment for positioning.
[発明の効果] 請求項1から4に記載の各発明によれば、同一基板上
に複数の液晶表示装置が形成された被検査対象を検査す
るに際して、基板上の各液晶表示装置の検査を行う際に
は第1、第2のプローブヘッドを一つの液晶表示装置の
範囲内において移動可能とすることで実現し、基板上の
他の液晶表示装置を検査する場合には、この基板を支持
する載置台の移動により前記第1、第2のプローブヘッ
ドの移動範囲内に他の液晶表示装置を設定することで、
同一基板上の全ての液晶表示装置の検査を実施すること
ができる。[Effects of the Invention] According to the inventions of claims 1 to 4, when inspecting an object to be inspected in which a plurality of liquid crystal display devices are formed on the same substrate, the inspection of each liquid crystal display device on the substrate is performed. This is realized by making the first and second probe heads movable within the range of one liquid crystal display device at the time of performing, and when inspecting another liquid crystal display device on the substrate, this substrate is supported. By setting another liquid crystal display device within the moving range of the first and second probe heads by moving the mounting table,
Inspection of all liquid crystal display devices on the same substrate can be performed.
従って、各プローブヘッドの探触子の移動範囲が従来
よりも狭くなり、この結果移動位置の累積誤差に伴うコ
ンタクト不良を確実に防止することができる。Therefore, the moving range of the probe of each probe head becomes narrower than in the conventional case, and as a result, contact failure due to accumulated error of the moving position can be reliably prevented.
また、同一基板上の各液晶表示装置についての第1、
第2のプローブヘッドの移動シーケンスを、各液晶表示
装置毎に設定せずに共通化することもできるので、検査
時の制御が大幅に簡易化される。In addition, the first for each liquid crystal display device on the same substrate,
Since the movement sequence of the second probe head can be made common without being set for each liquid crystal display device, control during inspection is greatly simplified.
第1図は本発明の第1実施例装置を説明するためのもの
で、同図(A)はプローブ装置の平面図、同図(B)は
側面図、第2図(A),(B)はそれぞれプローブヘッ
ドのコンタクト部分の一例を説明する概略説明図、第3
図は、本発明の第2実施例装置を説明するための平面
図、第4図は、本発明の第3実施例装置を説明するため
の平面図、第5図(A),(B)はそれぞれフィルム電
極の構成例を説明するための概略説明図、第6図
(A),(B),(C)は、それぞれ第1実施例装置,
第2実施例装置,第3実施例装置に第3のプローブヘッ
ドを付加した第4実施例装置を説明するための概略説明
図、第7図は第3のプローブヘッドの一構成例を説明す
るための概略説明図、第8図は、LCDのパターン構成を
説明するための概略説明図、第9図は、対向電極パッド
にコンタクトする側のプローブをコモンコンタクターで
構成した第5実施例装置を説明するための概略説明図、
第10図,第11図は、異種サイズのLCDにも対応できる第
6実施例装置を説明するための概略説明図である。 12,30,40……第1のプローブヘッド、 10,32,42……第2のプローブヘッド、 50……第3のプローブヘッド、 70……LCD、90……基板、1……載置台。FIG. 1 is for explaining the first embodiment of the device of the present invention. FIG. 1A is a plan view of the probe device, FIG. 1B is a side view, and FIGS. 2A and 2B. ) Are schematic explanatory views each illustrating an example of a contact portion of the probe head,
FIG. 4 is a plan view for explaining the second embodiment device of the present invention, FIG. 4 is a plan view for explaining the third embodiment device of the present invention, and FIGS. 5 (A) and 5 (B). Each is a schematic explanatory view for explaining a configuration example of a film electrode, and FIGS. 6 (A), (B) and (C) are respectively the first embodiment device,
FIG. 7 is a schematic explanatory view for explaining a fourth embodiment device in which a third probe head is added to the second embodiment device and the third embodiment device, and FIG. 7 illustrates one configuration example of the third probe head. 8 is a schematic explanatory view for explaining the pattern configuration of the LCD, and FIG. 9 is a fifth embodiment device in which the probe on the side in contact with the counter electrode pad is a common contactor. Schematic explanatory view for explaining
FIG. 10 and FIG. 11 are schematic explanatory views for explaining the device of the sixth embodiment which can be applied to LCDs of different sizes. 12,30,40 ... First probe head, 10,32,42 ... Second probe head, 50 ... Third probe head, 70 ... LCD, 90 ... Substrate, 1 ... Mounting table .
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保田 智明 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 テ ル九州株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−204291(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Tomoaki Kubota 2655 Tsukyu Re, Kikuyo-cho, Kikuchi-gun, Kumamoto Prefecture Tel Kyushu Co., Ltd. (56) References JP-A-62-204291 (JP, A)
Claims (4)
少なくとも信号ライン電極、走査ライン電極に第1、第
2のプローブヘッドの探触子を接触させ、前記液晶表示
装置の検査を行うにあたり、 前記第1、第2のプローブヘッドをそれぞれ一つの液晶
表示装置の縦、横サイズ内で移動させて、各々の前記プ
ローブヘッドの前記探触子を該液晶表示装置の全電極に
コンタクトして前記検査を実行し、 前記基板を支持する載置台の移動により他の液晶表示装
置を前記第1、第2のプローブヘッドの移動範囲内に設
定して、各液晶表示装置の検査を行うことを特徴とする
プロービング方法。1. A substrate formed by forming a plurality of liquid crystal display devices,
At least the signal line electrodes and the scanning line electrodes are brought into contact with the probes of the first and second probe heads, and when the liquid crystal display device is inspected, the first and second probe heads each have one liquid crystal display. By moving the probe of each probe head to all electrodes of the liquid crystal display device to perform the inspection by moving within the vertical and horizontal sizes of the device, by moving the mounting table that supports the substrate. A probing method characterized in that another liquid crystal display device is set within the moving range of the first and second probe heads and each liquid crystal display device is inspected.
少なくとも信号ライン電極、走査ライン電極に第1、第
2のプローブヘッドの探触子を接触させ、前記液晶表示
装置の検査を行うプローブ装置であって、 前記第1のプローブヘッドは、液晶表示装置の一辺と平
行な方向にこの液晶表示装置の一辺の範囲内で移動可能
であって、前記探触子が液晶表示装置の相対向する全信
号ライン電極の一部にコンタクト可能な2つの信号ライ
ン用電極ヘッドとし、 前記第2のプローブヘッドは、液晶表示装置の他辺と平
行な方向にその液晶表示装置の他辺の範囲内で移動可能
であって、前記探触子が相対向する全走査ライン電極の
一部にコンタクト可能な2つの走査ライン用電極ヘッド
として構成し、 前記基板を支持して載置すると共に、他の液晶表示装置
の検査時に、前記第1、第2のプローブヘッドの移動範
囲内に前記他の液晶表示装置が設定されるように移動す
る載置台を有することを特徴とするプローブ装置。2. A substrate formed by forming a plurality of liquid crystal display devices,
A probe device for inspecting the liquid crystal display device by bringing probes of first and second probe heads into contact with at least a signal line electrode and a scanning line electrode, wherein the first probe head is a liquid crystal display device. Two signal lines that are movable in a direction parallel to one side of the liquid crystal display device within a range of one side of the liquid crystal display device, and in which the probe is capable of contacting a part of all the signal line electrodes facing each other of the liquid crystal display device. The second probe head is movable within a range of the other side of the liquid crystal display device in a direction parallel to the other side of the liquid crystal display device, and the second probe head is an electrode head for all electrodes facing each other. Two scanning line electrode heads capable of contacting a part of the scanning line electrodes are provided, and the substrate is supported and mounted, and at the time of inspection of another liquid crystal display device, the first and second probe heads. Probe apparatus characterized by having a moving table as the within moving range other liquid crystal display device is set.
する方向に移動する可動部材に取り付けられ、 前記走査ライン用電極ヘッドは、前記基板の他辺と直交
する方向に移動する可動部材に取り付けられ、 液晶表示装置の外形サイズに応じた位置に前記信号及び
走査ライン用電極ヘッドを設定可能としたことを特徴と
するプローブ装置。3. The signal line electrode head according to claim 2, wherein the signal line electrode head is attached to a movable member that moves in a direction orthogonal to one side of the substrate, and the scanning line electrode head is the other side of the substrate. A probe device, which is attached to a movable member that moves in a direction orthogonal to the above, and is capable of setting the signal and scanning line electrode heads at a position according to the outer size of the liquid crystal display device.
晶表示装置の縦、横サイズ内に移動可能に構成され、 前記液晶表示装置の一辺、他辺の範囲内で両辺に平行な
方向に移動可能であって、前記液晶表示装置に設けられ
た液晶駆動素子の画素電極にコンタクト可能な探触子を
有する第3のプローブヘッドを設けたことを特徴とする
プローブ装置。4. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein each of the first and second probe heads is configured to be movable within a vertical size and a horizontal size of one liquid crystal display device. A third probe head is provided which is movable within the range of the sides in a direction parallel to both sides and has a probe capable of contacting a pixel electrode of a liquid crystal drive element provided in the liquid crystal display device. Characteristic probe device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3793089A JP2678178B2 (en) | 1988-11-18 | 1989-02-17 | Probing method and probe device |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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