JPH11211606A - 音響式リーク測定器 - Google Patents
音響式リーク測定器Info
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- JPH11211606A JPH11211606A JP2250398A JP2250398A JPH11211606A JP H11211606 A JPH11211606 A JP H11211606A JP 2250398 A JP2250398 A JP 2250398A JP 2250398 A JP2250398 A JP 2250398A JP H11211606 A JPH11211606 A JP H11211606A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 容器の気密性を容器の音響インピーダンスに
より測定する方式のリーク測定器において、基準容器に
補償用音響負荷を設けることにより、空気の粘度の変化
に起因するリーク測定値の誤差を補償する。 【構成】 リークを測定すべき被測定容器にアダプタな
どを介して結合される基準容器と、基準容器に結合され
た補償用音響負荷と、上記二つの容器の内部を駆動する
スピーカなどの音源と、上記二つの容器の内部の音圧を
検出するマイクロホンと、これらマイクロホンの出力の
位相差から被測定容器のリーク量を求める信号処理装置
などからなる。 【効果】 温度変化などにより空気の粘度が変わって被
測定容器のリークの音響抵抗の大きさが変わった場合
に、補償用音響負荷の音響抵抗の大きさも同じ割合で変
化するので二つのマイクロホンの出力の位相差は不変で
あり、この位相差から求められるリーク量に誤差を生じ
ない。
より測定する方式のリーク測定器において、基準容器に
補償用音響負荷を設けることにより、空気の粘度の変化
に起因するリーク測定値の誤差を補償する。 【構成】 リークを測定すべき被測定容器にアダプタな
どを介して結合される基準容器と、基準容器に結合され
た補償用音響負荷と、上記二つの容器の内部を駆動する
スピーカなどの音源と、上記二つの容器の内部の音圧を
検出するマイクロホンと、これらマイクロホンの出力の
位相差から被測定容器のリーク量を求める信号処理装置
などからなる。 【効果】 温度変化などにより空気の粘度が変わって被
測定容器のリークの音響抵抗の大きさが変わった場合
に、補償用音響負荷の音響抵抗の大きさも同じ割合で変
化するので二つのマイクロホンの出力の位相差は不変で
あり、この位相差から求められるリーク量に誤差を生じ
ない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は容器の気密性を測定する
リーク測定器、特にリークによって生ずる容器の音響イ
ンピーダンスの変化を利用する方式のリーク測定器に関
わる。
リーク測定器、特にリークによって生ずる容器の音響イ
ンピーダンスの変化を利用する方式のリーク測定器に関
わる。
【０００２】
【従来の技術】機械のハウジングなどの容器の気密性を
調べる方法として、従来から、容器に気体を圧入して閉
じ、その後の圧力変化を測定するという方法が多く用い
られてきた。しかしこの方法は気体の等温変化を前提と
しているので、圧入にともなう気体の温度上昇が、容器
の壁などを通して放散して元の温度に戻るまで待たねば
ならず、測定に時間がかかるという欠点がある。また、
測定中に周囲温度が変化すると容器内の圧力が変化し、
気体のリークによる圧力変化が検出し難くなるという欠
点もある。上記の従来方法に対し、本出願の発明者は特
願平5-142542（特開平6-331485、以下これを前願発明と
称する）において、容器を音響的に駆動し、容器の音響
インピーダンスの変化によりリークを検知するという、
気体の断熱変化を利用した新しい方式のリークテスタを
開示した。
調べる方法として、従来から、容器に気体を圧入して閉
じ、その後の圧力変化を測定するという方法が多く用い
られてきた。しかしこの方法は気体の等温変化を前提と
しているので、圧入にともなう気体の温度上昇が、容器
の壁などを通して放散して元の温度に戻るまで待たねば
ならず、測定に時間がかかるという欠点がある。また、
測定中に周囲温度が変化すると容器内の圧力が変化し、
気体のリークによる圧力変化が検出し難くなるという欠
点もある。上記の従来方法に対し、本出願の発明者は特
願平5-142542（特開平6-331485、以下これを前願発明と
称する）において、容器を音響的に駆動し、容器の音響
インピーダンスの変化によりリークを検知するという、
気体の断熱変化を利用した新しい方式のリークテスタを
開示した。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前願発明においては、
音源から容器内部を見たときの音響インピーダンスの実
数部の変化を検出しているが、この実数部は、主として
容器内部の音圧に応じてリークを出入りする空気の粘性
によって生ずるエネルギ損失によってもたらされるもの
である。しかし空気の粘度は温度の上昇とともに大きく
なるので、前願発明ではリーク量の測定値に温度による
誤差を生ずる。
音源から容器内部を見たときの音響インピーダンスの実
数部の変化を検出しているが、この実数部は、主として
容器内部の音圧に応じてリークを出入りする空気の粘性
によって生ずるエネルギ損失によってもたらされるもの
である。しかし空気の粘度は温度の上昇とともに大きく
なるので、前願発明ではリーク量の測定値に温度による
誤差を生ずる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のリーク測定器
は、リークを測定すべき被測定容器にアダプタなどを介
して音響的に結合される基準容器と、基準容器に結合さ
れた補償用音響負荷と、被測定容器と基準容器の内部の
空気を差動的に駆動するスピーカなどの音源と、被測定
容器と基準容器のそれぞれの内部の音圧を検出するマイ
クロホンなどの圧力変換器と、圧力変換器の出力信号を
とり込んでこれらの信号の間の位相差によって被測定容
器のリークを測定するディジタル計算機などの信号処理
装置等からなる。
は、リークを測定すべき被測定容器にアダプタなどを介
して音響的に結合される基準容器と、基準容器に結合さ
れた補償用音響負荷と、被測定容器と基準容器の内部の
空気を差動的に駆動するスピーカなどの音源と、被測定
容器と基準容器のそれぞれの内部の音圧を検出するマイ
クロホンなどの圧力変換器と、圧力変換器の出力信号を
とり込んでこれらの信号の間の位相差によって被測定容
器のリークを測定するディジタル計算機などの信号処理
装置等からなる。
【０００５】
【作用】被測定容器にリークがあるとリーク量に応じて
その内部の音圧の位相が進むが、基準容器内部の音圧の
位相も補償用音響負荷の大きさに応じて進む。本発明の
リーク測定器では、この補償用音響負荷の音響抵抗を被
測定容器のリークの音響抵抗と相似にすることにより空
気の粘性の変化を補償する。
その内部の音圧の位相が進むが、基準容器内部の音圧の
位相も補償用音響負荷の大きさに応じて進む。本発明の
リーク測定器では、この補償用音響負荷の音響抵抗を被
測定容器のリークの音響抵抗と相似にすることにより空
気の粘性の変化を補償する。
【０００６】
【発明の効果】すなわち、温度が変化して空気の粘度が
変わり被測定容器内の音圧の位相が変化すると、基準容
器内の音圧の位相も同じ大きさだけ変化するので、これ
らの音圧を検出する圧力変換器の出力信号の間の位相差
は不変であり、この位相差から算出されるリーク量の測
定値には温度変化に起因する誤差が生じない。空気の粘
度は湿度など空気の成分によっても若干影響されるが、
この湿度の変化に起因する誤差に対しても上記の補償方
法は有効である。
変わり被測定容器内の音圧の位相が変化すると、基準容
器内の音圧の位相も同じ大きさだけ変化するので、これ
らの音圧を検出する圧力変換器の出力信号の間の位相差
は不変であり、この位相差から算出されるリーク量の測
定値には温度変化に起因する誤差が生じない。空気の粘
度は湿度など空気の成分によっても若干影響されるが、
この湿度の変化に起因する誤差に対しても上記の補償方
法は有効である。
【０００７】
【第１実施例】図１において、リーク測定ヘッド１０は
隔壁４によって内容積Ｖ1 の基準容器１と内容積Ｖ2 の
アダプタ２とに分けられており、それらは連通管５によ
って互いに連通し両者の内部の静圧や湿度は等しくなっ
ている。この連通管は本発明にとって必須というわけで
はなく、連通管を設けなくとも、補償用音響負荷や装置
組立後のすき間などを通して基準容器とアダプタ内部の
静圧や湿度は外部の空気のそれらと同じに保たれる。た
だ、連通管があると気圧や湿度の均一化の時間が短縮さ
れる。３は内容積Ｖ3 の被測定容器で、この実施例にお
いてはエンジンブロックのシリンダで、ピストン８がは
められており、このピストンとシリンダの間のギャップ
が測定すべきリークである。アダプタ２の下部にはつば
９がつけられており、このつばの下面がシリンダ３の上
面に接するように測定ヘッド１０をシリンダの上に載
せ、アダプタ２とシリンダ３の内部を音響的に結合する
ようにして使用される。このアダプタは被測定容器がビ
ンのような形のものであれば連結用チューブをつけた容
器にするなど、相手側の被測定容器の種類によって種々
の形のものが用いられる。
隔壁４によって内容積Ｖ1 の基準容器１と内容積Ｖ2 の
アダプタ２とに分けられており、それらは連通管５によ
って互いに連通し両者の内部の静圧や湿度は等しくなっ
ている。この連通管は本発明にとって必須というわけで
はなく、連通管を設けなくとも、補償用音響負荷や装置
組立後のすき間などを通して基準容器とアダプタ内部の
静圧や湿度は外部の空気のそれらと同じに保たれる。た
だ、連通管があると気圧や湿度の均一化の時間が短縮さ
れる。３は内容積Ｖ3 の被測定容器で、この実施例にお
いてはエンジンブロックのシリンダで、ピストン８がは
められており、このピストンとシリンダの間のギャップ
が測定すべきリークである。アダプタ２の下部にはつば
９がつけられており、このつばの下面がシリンダ３の上
面に接するように測定ヘッド１０をシリンダの上に載
せ、アダプタ２とシリンダ３の内部を音響的に結合する
ようにして使用される。このアダプタは被測定容器がビ
ンのような形のものであれば連結用チューブをつけた容
器にするなど、相手側の被測定容器の種類によって種々
の形のものが用いられる。
【０００８】測定器１０の隔壁４には音源のスピーカ６
がつけられており、これには電子回路装置１４の中の信
号発生器１６から一対のリード線１３と一対の気密端子
１７を通して交番的な駆動電流が供給されている。この
電流によってスピーカ６が駆動されるとスピーカのコー
ン７が振動し、基準容器１とアダプタ２の内部には絶対
値が等しく符号が互いに反対の微小体積変化が差動的に
与えられる。その際、連通管５に流入する気体の体積は
そこから流出する気体の体積に等しいから、１と２に絶
対値が等しく符号が反対の体積変化が与えられるという
ことには変わりはない。以上の結果これら二つの容器の
内部には微小圧力変動、すなわち音圧、を生ずるが、こ
れらの音圧は圧力変換器であるところのマイクロホン１
１および１２によって検出され、出力信号ｅ1 およびｅ
2 にそれぞれ変換される。信号ｅ1およびｅ2 は電子回
路装置１４の中の信号処理装置１５への入力となり、そ
こでリーク量測定のための演算や結果の表示などが行な
われる。
がつけられており、これには電子回路装置１４の中の信
号発生器１６から一対のリード線１３と一対の気密端子
１７を通して交番的な駆動電流が供給されている。この
電流によってスピーカ６が駆動されるとスピーカのコー
ン７が振動し、基準容器１とアダプタ２の内部には絶対
値が等しく符号が互いに反対の微小体積変化が差動的に
与えられる。その際、連通管５に流入する気体の体積は
そこから流出する気体の体積に等しいから、１と２に絶
対値が等しく符号が反対の体積変化が与えられるという
ことには変わりはない。以上の結果これら二つの容器の
内部には微小圧力変動、すなわち音圧、を生ずるが、こ
れらの音圧は圧力変換器であるところのマイクロホン１
１および１２によって検出され、出力信号ｅ1 およびｅ
2 にそれぞれ変換される。信号ｅ1およびｅ2 は電子回
路装置１４の中の信号処理装置１５への入力となり、そ
こでリーク量測定のための演算や結果の表示などが行な
われる。
【０００９】２６は基準容器１に設けられた通気孔で、
その中にアーム２３で支持されたロッド２５が差し込ま
れるようになっている。その差し込み深さはロッド２５
を上下に動かしてネジ２４で固定することにより設定さ
れる。２３、２４、２５、２６は全体として補償用音響
負荷を構成する。
その中にアーム２３で支持されたロッド２５が差し込ま
れるようになっている。その差し込み深さはロッド２５
を上下に動かしてネジ２４で固定することにより設定さ
れる。２３、２４、２５、２６は全体として補償用音響
負荷を構成する。
【００１０】いま、スピーカ６が角周波数ωの正弦波信
号で駆動されているとすると、スピーカのコーン７から
アダプタ２の内部を見たときの音響インピーダンスＺ2
は
号で駆動されているとすると、スピーカのコーン７から
アダプタ２の内部を見たときの音響インピーダンスＺ2
は
【００１１】
【数１】
【００１２】と表わされる。ここでｊは虚数単位であ
り、また
り、また
【００１３】
【数２】
【００１４】である。ただし、γ（ガンマ）は空気の比
熱比、Ｐ0 は大気圧である。さらに、Ｒはシリンダ３と
ピストン８の間の円筒状のギャップの音響抵抗であり、
ギャップの厚さをｄ、シリンダ内径をＤ、ピストンの長
さをＨ、空気の粘度をηとすると、ｄが小さい場合、近
似的につぎのようになる。
熱比、Ｐ0 は大気圧である。さらに、Ｒはシリンダ３と
ピストン８の間の円筒状のギャップの音響抵抗であり、
ギャップの厚さをｄ、シリンダ内径をＤ、ピストンの長
さをＨ、空気の粘度をηとすると、ｄが小さい場合、近
似的につぎのようになる。
【００１５】
【数３】
【００１６】式（１）のインピーダンスＺ2 の偏角をα
ｒａｄとすると
ｒａｄとすると
【００１７】
【数４】
【００１８】となる。被測定容器にリークのない場合は
Ｒは無限大でαは−π／２であるが、リークがあって抵
抗Ｒが有限の大きさの場合にはαは−π／２より大きく
なり、それに応じて被測定容器内の音圧の位相が進む。
Ｒは無限大でαは−π／２であるが、リークがあって抵
抗Ｒが有限の大きさの場合にはαは−π／２より大きく
なり、それに応じて被測定容器内の音圧の位相が進む。
【００１９】以上の式は被測定容器３の内部の空気が断
熱変化をすることを前提としたものであるが、ωが小さ
いときには、容器の壁に接する空気層の一部が等温変化
をし、そのためＺ2 は式（１）とは若干異なってくる。
しかしその場合でもリーク量の増大とともに音響インピ
ーダンスＺ2 の偏角が大きくなり、それに応じて被測定
容器内の音圧の位相が進むという基本的現象にはなんら
変わりはない。
熱変化をすることを前提としたものであるが、ωが小さ
いときには、容器の壁に接する空気層の一部が等温変化
をし、そのためＺ2 は式（１）とは若干異なってくる。
しかしその場合でもリーク量の増大とともに音響インピ
ーダンスＺ2 の偏角が大きくなり、それに応じて被測定
容器内の音圧の位相が進むという基本的現象にはなんら
変わりはない。
【００２０】基準容器１については、スピーカのコーン
７の裏側から１の内部を見たときの音響インピーダンス
Ｚ1 の偏角α' ｒａｄはつぎのように表わされる。
７の裏側から１の内部を見たときの音響インピーダンス
Ｚ1 の偏角α' ｒａｄはつぎのように表わされる。
【００２１】
【数５】
【００２２】ここで
【００２３】
【数６】
【００２４】
【数７】
【００２５】である。ただしｄ' は通気孔２６とロッド
２５の間のギャップの厚さ、Ｄ' は通気孔２６の内径、
Ｈ' はロッド２５の通気孔２６への差し込み深さであ
る。
２５の間のギャップの厚さ、Ｄ' は通気孔２６の内径、
Ｈ' はロッド２５の通気孔２６への差し込み深さであ
る。
【００２６】本発明のリーク測定器は、圧力検出器の出
力信号ｅ2 とｅ1 の間の位相差、すなわち被測定容器３
と基準容器１のそれぞれの内部の音圧の間の位相差によ
りリークを測定するが、３と１はスピーカのコーン７の
表裏によって互いに逆の位相で駆動されているから、上
記の位相差θｒａｄはつぎのようになる。
力信号ｅ2 とｅ1 の間の位相差、すなわち被測定容器３
と基準容器１のそれぞれの内部の音圧の間の位相差によ
りリークを測定するが、３と１はスピーカのコーン７の
表裏によって互いに逆の位相で駆動されているから、上
記の位相差θｒａｄはつぎのようになる。
【００２７】
【数８】
【００２８】シリンダの中でピストンが円滑に動くため
には両者の間に適当なギャップが必要であるが、図１に
おいてシリンダ３とピストン８の間にその適当なギャッ
プがあるときを標準状態とし、そのときに位相差θが−
πとなるように補償用音響負荷のロッド２５を上下に動
かして音響抵抗Ｒ' を調整する。このようにしておく
と、温度が変化して測定すべきシリンダとピストンの間
のリークの音響抵抗Ｒが空気粘度ηに比例して変化して
も、Ｒ' もまた同じ割合で変化するから位相差θは不変
であり、温度補償が行なわれる。測定すべきリークのギ
ャップの厚さｄが変化して音響抵抗Ｒの大きさが変化し
た場合には、上式の第１項のみが変化してθが変化し、
これによってリーク量が測定される。
には両者の間に適当なギャップが必要であるが、図１に
おいてシリンダ３とピストン８の間にその適当なギャッ
プがあるときを標準状態とし、そのときに位相差θが−
πとなるように補償用音響負荷のロッド２５を上下に動
かして音響抵抗Ｒ' を調整する。このようにしておく
と、温度が変化して測定すべきシリンダとピストンの間
のリークの音響抵抗Ｒが空気粘度ηに比例して変化して
も、Ｒ' もまた同じ割合で変化するから位相差θは不変
であり、温度補償が行なわれる。測定すべきリークのギ
ャップの厚さｄが変化して音響抵抗Ｒの大きさが変化し
た場合には、上式の第１項のみが変化してθが変化し、
これによってリーク量が測定される。
【００２９】図２は信号処理装置１５の内部構造で、圧
力変換器１１と１２の出力信号ｅ1 とｅ2 はそれぞれ増
幅器２１と２２によって増幅されるが、増幅器２１の出
力は、まず反転増幅器２８によって符号反転されてπｒ
ａｄの位相変化が与えられたのち、位相計２９において
増幅器２２の出力と比較され位相差θ＋πが測定され
る。そしてθ＋πを表わす２９の出力は表示器２７に送
られてリーク量として表示される。
力変換器１１と１２の出力信号ｅ1 とｅ2 はそれぞれ増
幅器２１と２２によって増幅されるが、増幅器２１の出
力は、まず反転増幅器２８によって符号反転されてπｒ
ａｄの位相変化が与えられたのち、位相計２９において
増幅器２２の出力と比較され位相差θ＋πが測定され
る。そしてθ＋πを表わす２９の出力は表示器２７に送
られてリーク量として表示される。
【００３０】以上に説明した実施例では、測定すべきリ
ークも補償用音響負荷も、共に円筒状のギャップであっ
たが、本発明においては、この両者が同種の形である必
要はない。たとえば補償用音響負荷として、厚さがｄで
幅がＷの矩形断面で長さがＬの薄いギャップを用いたと
すると、そのギャップの音響抵抗Ｒr は
ークも補償用音響負荷も、共に円筒状のギャップであっ
たが、本発明においては、この両者が同種の形である必
要はない。たとえば補償用音響負荷として、厚さがｄで
幅がＷの矩形断面で長さがＬの薄いギャップを用いたと
すると、そのギャップの音響抵抗Ｒr は
【００３１】
【数９】
【００３２】となる。上式と測定すべきリークの音響抵
抗Ｒを表わす式（３）を比較すると、両者は空気の粘度
ηに比例して変化すると云う点では同じで、その意味で
Ｒr とＲは互いに相似であり、上記の矩形断面のギャッ
プを補償用音響負荷として使用することができる。逆
に、測定すべきリークが矩形断面のギャップの場合に補
償用音響負荷として円筒形のギャップを使用することも
できる。
抗Ｒを表わす式（３）を比較すると、両者は空気の粘度
ηに比例して変化すると云う点では同じで、その意味で
Ｒr とＲは互いに相似であり、上記の矩形断面のギャッ
プを補償用音響負荷として使用することができる。逆
に、測定すべきリークが矩形断面のギャップの場合に補
償用音響負荷として円筒形のギャップを使用することも
できる。
【００３３】
【第２実施例】図３はディジタル計算機を用いて構成し
た信号処理装置１５の内部構造を示す。圧力変換器１１
と１２の出力信号ｅ1 とｅ2 はそれぞれ増幅器２１と２
２によって増幅され、それらの出力信号はそれぞれＡＤ
変換器３１および３２によってディジタル量に変換され
ディジタル計算機３０にとり込まれる。３３は周波数て
い倍器で、信号発生器１６からリード線３４を通して供
給される同期パルスを周波数てい倍してサンプリングパ
ルスとし、これをＡＤ変換器３１および３２に送ってＡ
Ｄ変換を行なわせる。しかしこの部分は、信号処理装置
１５の内部にクロックパルス発生器を設け、ＡＤ変換
は、信号発生器１６とは無関係に、この内部クロックパ
ルスによって行なわせるようにしてもよい。
た信号処理装置１５の内部構造を示す。圧力変換器１１
と１２の出力信号ｅ1 とｅ2 はそれぞれ増幅器２１と２
２によって増幅され、それらの出力信号はそれぞれＡＤ
変換器３１および３２によってディジタル量に変換され
ディジタル計算機３０にとり込まれる。３３は周波数て
い倍器で、信号発生器１６からリード線３４を通して供
給される同期パルスを周波数てい倍してサンプリングパ
ルスとし、これをＡＤ変換器３１および３２に送ってＡ
Ｄ変換を行なわせる。しかしこの部分は、信号処理装置
１５の内部にクロックパルス発生器を設け、ＡＤ変換
は、信号発生器１６とは無関係に、この内部クロックパ
ルスによって行なわせるようにしてもよい。
【００３４】ディジタル計算機３０は信号ｅ1 とｅ2 の
フーリエ変換を行なって位相差θを測定する。すなわ
ち、ディジタル計算機３０では、時間をｔで表わすとし
て、信号ｅ1(t)とｅ2(t)の波形をｔ＝ｔ0 からｔ＝ｔ0
＋Ｔまでの間とり込んで、それらのとり込んだ波形と s
inωｔ、 cosωｔとの積のｔに関する積分を行なってフ
ーリエ変換をするが、ｅ1(t) sinωｔの積分値をＥ1S、
ｅ1(t) cosωｔの積分値をＥ1C、ｅ2(t) sinωｔの積分
値をＥ2S、ｅ2(t) cosωｔの積分値をＥ2Cとすると、こ
れらの値からｅ2(t)のｅ1(t)に対する位相差θは下記の
式により求められる。
フーリエ変換を行なって位相差θを測定する。すなわ
ち、ディジタル計算機３０では、時間をｔで表わすとし
て、信号ｅ1(t)とｅ2(t)の波形をｔ＝ｔ0 からｔ＝ｔ0
＋Ｔまでの間とり込んで、それらのとり込んだ波形と s
inωｔ、 cosωｔとの積のｔに関する積分を行なってフ
ーリエ変換をするが、ｅ1(t) sinωｔの積分値をＥ1S、
ｅ1(t) cosωｔの積分値をＥ1C、ｅ2(t) sinωｔの積分
値をＥ2S、ｅ2(t) cosωｔの積分値をＥ2Cとすると、こ
れらの値からｅ2(t)のｅ1(t)に対する位相差θは下記の
式により求められる。
【００３５】
【数１０】
【００３６】以上のようにして位相差θが求められたな
らば、ディジタル計算機３０はそれをリークの大小を表
わす量として表示するほか、必要ならばその位相差に対
応するリークのコンダクタンス１／Ｒなどを計算して表
示する。
らば、ディジタル計算機３０はそれをリークの大小を表
わす量として表示するほか、必要ならばその位相差に対
応するリークのコンダクタンス１／Ｒなどを計算して表
示する。
【図１】本発明の第１実施例である。
【図２】信号処理装置の構成の一例である。
【図３】ディジタル計算機を用いて構成した信号処理装
置である。
置である。
１ 容積Ｖ1 の基準容器 ２ 容積Ｖ2 のアダプタ ３ 容積Ｖ3 の被測定容器 ４ 隔壁 ５ 連通管 ６ スピーカ ７ スピーカのコーン ８ ピストン ９ つば １０ 測定ヘッド １１、１２ マイクロホン １３ 一対のリード線 １４ 電子回路装置 １５ 信号処理装置 １６ 信号発生器 １７ 一対の気密端子 ２１、２２ 増幅器 ２３ アーム ２４ ネジ ２５ ロッド ２６ 通気孔 ２７ 表示器 ２８ 反転増幅器 ２９ 位相計 ３０ ディジタル計算機 ３１、３２ ＡＤ変換器 ３３ 周波数てい倍器 ３４ リード線
Claims (1)
- 【請求項１】リークを測定すべき被測定容器に音響的に
結合される基準容器と、基準容器に結合された補償用音
響負荷と、被測定容器と基準容器の内部の空気を差動的
に駆動する音源と、被測定容器と基準容器のそれぞれの
内部の音圧を検出する圧力変換器と、圧力変換器の出力
信号をとり込んでこれらの信号の間の位相差により被測
定容器のリークを測定する信号処理装置とを有し、補償
用音響負荷の音響抵抗を被測定容器のリークの音響抵抗
と相似にすることにより空気の粘度の変化を補償するよ
うにした音響式リーク測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2250398A JPH11211606A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | 音響式リーク測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2250398A JPH11211606A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | 音響式リーク測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11211606A true JPH11211606A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=12084558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2250398A Pending JPH11211606A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | 音響式リーク測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11211606A (ja) |
-
1998
- 1998-01-21 JP JP2250398A patent/JPH11211606A/ja active Pending
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