JPH11202307A - 液晶表示素子およびその製造方法、基板の位置合わせ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 互いに対応して組み合わされるアレイ基板11
と対向基板21の寸法差がある場合でも、アライメントマ
ークAM1 ，AM2 によって適切に組み合わせる。 【解決手段】 アレイ基板11と対向基板21との少なくと
も２箇所で、それら２箇所を結ぶ線31がアレイ基板11の
走査線および信号線に斜めになる位置にアライメントマ
ークAM1 ，AM2 をそれぞれ設ける。アライメントマーク
AM1 ，AM2 は、２箇所を結ぶ線31の中心点に対して鏡映
対称の関係をとる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アレイ基板および
対向基板を互いに対応して組み合わせて構成される液晶
表示素子およびその製造方法、２枚の基板を互いに対応
して組み合わせて構成される基板の位置合わせ方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、一般に、アクティブマトリクス型
の液晶表示素子は、配向膜を有するアレイ基板と対向基
板とを配向膜が対向するように間隙を設けて配置し、こ
の間隙に液晶層を配置して構成されている。

【０００３】すなわち、アレイ基板用マザー基板には、
ガラス基板上にアルミニウムなどの低抵抗材料にて構成
される複数本の信号線と、ＭｏＷなどにて構成される複
数本の走査線とがマトリクス状に配置され、各交差部毎
にスイッチング素子として配置される薄膜トランジスタ
（以下、ＴＦＴと称す）を介してＩＴＯ（Indium TinOx
ide）にて構成される画素電極が配置され、画素電極の
表面に配向膜が配置されて構成されている。さらに、各
信号線および各走査線のそれぞれに外部回路との電気的
な接続を得るために接続パッドが配置されている。

【０００４】対向基板用マザー基板には、酸化クロムな
どにて構成されてアレイ基板側のＴＦＴや配線を隠すた
めの遮光層、色表示のための着色層、およびＩＴＯにて
構成される対向電極が配置され、その表面に配向膜が配
置されて構成されている。

【０００５】そして、製造工程では、アレイ基板側のＴ
ＦＴや配線を対向基板側の遮光層で隠すように、アレイ
基板および対向基板を所定の位置で貼り合わせる。この
後、接続パッドより外側の不要な部分を削除し、アレイ
基板と対向基板の間に液晶層を注入する。

【０００６】アレイ基板のそれぞれの接続パッドに、ポ
リイミドなどのフレシキブル基板上に金属配線が形成さ
れているＦＰＣ（Flexible Print Circuit）あるいはフ
レキシブル配線基板上に駆動素子が配置されているＴＡ
Ｂ（Tape Automated Bonding）などを介して駆動回路基
板に電気的に接続する。

【０００７】対向基板の対向電極には、銀粒子などの導
電粒子が樹脂中に分散されて構成されるトランスファを
介してアレイ基板側に導通し、さらにＦＰＣやＴＡＢな
どを介して駆動回路基板に電気的に接続して、アクティ
ブマトリクス型の液晶表示素子を構成する。

【０００８】また、アレイ基板および対向基板には、表
示領域の外側に、組立工程でアレイ基板と対向基板を所
定の位置で貼り合わせるため、位置合わせ用のアライメ
ントマークが複数個形成されている。

【０００９】アライメントマークは、通常、アレイ基板
および対向基板に形成されたパターンを組み合わせるこ
とで１つのパターンとなるように形成されている。アレ
イ基板に配置されるアライメントマークは、走査線、画
素電極、信号線の各層のうち少なくとも１つの層で形成
されている。対向基板に配置されるアライメントマーク
は、遮光層または色層のうち少なくとも１つで形成され
ている。

【００１０】アライメントマークの形状は、アレイ基板
のパターンが対向基板のパターンを所定の間隔を保って
囲まれたパターン、または、対向基板のパターンがアレ
イ基板のパターンを所定の間隔を保って囲まれたパター
ンである。例えば、図１０に示すように、アレイ基板の
４つの四角形のパターン1a、および対向基板の十字のパ
ターン2aなどである。しかも、鏡映対称軸（図１０の各
パターン1a，2aの中心点を通る上下方向の軸または左右
方向の軸）を中心として鏡映対称形状に形成されてい
る。そして、所定の間隔とは組立工程における許容間隔
であり、アレイ基板と対向基板の張り合わせ位置が間隔
以内であれば、アレイ基板側のＴＦＴや配線を対向基板
側の遮光層で隠すことができる。

【００１１】アライメントマークの配置位置は、通常、
表示領域を中心として、表示領域の外側の上下または左
右に２個一組で少なくとも一組配置され、つまり、２箇
所のアライメントマークを結ぶ線がアレイ基板の信号線
または走査線とほぼ平行になるように配置されている。

【００１２】また、一般に、アレイ基板は製造工程でス
パッタやアニール工程で熱処理されるために収縮を起こ
すが、対向基板はほとんど熱処理をされないためにほと
んど収縮しない。さらに、アレイ基板用と対向基板用の
マスク製作精度により、アレイ基板用と対向基板用の寸
法差が生じる。

【００１３】そのため、組立工程では、アレイ基板側の
ＴＦＴや配線を対向基板側の遮光層で隠すために、アレ
イ基板と対向基板の寸法差を吸収するようにアレイ基板
と対向基板を貼り合わせるようにしている。

【００１４】例えば、アライメントマークを表示領域中
心から均等な表示領域の上部と下部の位置に信号線とほ
ぼ平行になるように配置した場合、寸法差の影響を少な
くするため表示領域中心を中心として寸法差を上下に振
り分けるようにする。具体的には、製造作業者が上部と
下部のアライメントマークが写ったモニタを見ながら、
貼り合わせ位置を調整するので、アライメントマーク自
体の対称軸方向（上下方向）にアレイ基板または対向基
板を動かして、アレイ基板側のアライメントマークのパ
ターンと対向基板側のアライメントマークのパターンの
位置関係が、表示領域中心を中心として上下対称になる
ようにしている。

【００１５】ところで、液晶表示素子の画面サイズの拡
大、または多面付けにより、アライメントマークを表示
領域の外側の上下または左右に配置できない場合、すな
わち２箇所のアライメントマークを結ぶ線が信号線また
は走査線とほぼ平行に配置できない場合が生じている。

【００１６】この場合、図９および図１０に示すよう
に、アライメントマークam1 ，am2 を、これらアライメ
ントマークam1 ，am2 を結ぶ線３がアレイ基板１の表示
領域の信号線または走査線に対して斜めになる位置にそ
れぞれ配置される。ただし、アライメントマークam1 ，
am2 は従来の位置から平行移動させたのみのため、アラ
イメントマークam1 ，am2 の鏡映対称軸は信号線または
走査線とほぼ平行である。

【００１７】そして、製造工程では、アライメントマー
クam1 およびアライメントマークam2 を拡大してモニタ
に映し出す。このモニタを見ながら、製造作業者によ
り、アレイ基板１のアライメントマークam1 のパターン
1aの鏡映対称軸に対して対向基板２のアライメントマー
クam1 のパターン2aの鏡映対称軸が一致するように、ア
レイ基板１のアライメントマークam2 のパターン1aの鏡
映対称軸に対して対向基板２のアライメントマークam2
のパターン2aの鏡映対称軸が一致するように、アレイ基
板１に対して対向基板２の位置を動かす。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アレイ
基板１と対向基板２との間には寸法差があるため、上述
のように各アライメントマークam1 ，am2 自体の鏡映対
称軸が一致するように位置合わせを行なうと、アレイ基
板１に対して対向基板２がわずかに回転してしまう。こ
の回転角はわずかであるが、アライメントマークam1 ，
am2 から遠い位置では、アレイ基板１側の表示領域1bの
位置と対向基板２側の表示領域2bとの相対位置のずれ量
Ｌ2 が大きくなる。このずれ量Ｌ2 が所定値より大きい
と、対向基板２の遮光膜の開口部内にアレイ基板１の走
査線や信号線、ＴＦＴが入ってしまい、画面がざらつい
たりするなどの画質不良が発生する問題がある。

【００１９】本発明は、上記した技術課題に対して鑑み
なされたもので、互いに対応して組み合わされるアレイ
基板と対向基板の寸法差がある場合でも、アライメント
マークによって適切に組み合わせることができる液晶表
示素子およびその製造方法を提供することを目的とし、
また、互いに対応して組み合わされる２枚の基板の寸法
差がある場合でも、アライメントマークによって適切に
組み合わせることができる基板の位置合わせ方法を提供
することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示素子
は、複数の走査線および複数の信号線が交差状に形成さ
れるアレイ基板と、このアレイ基板に対応して組み合わ
される対向基板と、前記アレイ基板および対向基板のそ
れぞれ２箇所で、これらアレイ基板および対向基板を互
いに対応して組み合わせたときに互いに対応する位置に
設けられるアライメントマークとを備え、前記アライメ
ントマークは、前記２箇所を結ぶ線が前記走査線および
信号線に斜めになる位置にそれぞれ設けられ、それら２
箇所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対称の関係を有する
ものである。

【００２１】アレイ基板および対向基板の２箇所で、そ
れら２箇所を結ぶ線が走査線および信号線に斜めになる
位置にそれぞれ設けられるアライメントマークを、それ
ら２箇所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対称の関係をと
ることにより、互いに対応して組み合わされるアレイ基
板および対向基板の寸法差がある場合でも、アライメン
トマークによって適切に組み合わせられ、画質が向上す
る。

【００２２】また、本発明の液晶表示素子の製造方法
は、複数の走査線および複数の信号線が交差状に形成さ
れるアレイ基板と対向基板とを互いに対応して組み合わ
せる際、前記アレイ基板および対向基板のそれぞれ２箇
所で、アレイ基板および対向基板を互いに対応して組み
合わせたときに互いに対応する位置に設けられ、かつ、
それら２箇所を結ぶ線が前記走査線および信号線に斜め
になる位置に配置されるとともに、それら２箇所を結ぶ
線の中心点に対して鏡映対称の関係を有するアライメン
トマークを用いて行なうものである。

【００２３】アレイ基板および対向基板の２箇所で、そ
れら２箇所を結ぶ線が走査線および信号線に斜めになる
位置に、それら２箇所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対
称の関係を有するアライメントマークを設けることによ
り、互いに対応して組み合わされるアレイ基板および対
向基板の寸法差がある場合でも、アライメントマークに
よって適切に組み合わせられ、画質が向上する。

【００２４】また、本発明の液晶表示素子およびその製
造方法において、各アライメントマークは、鏡映対称軸
を中心として鏡映対称形状に形成されているとともに、
この鏡映対称軸が２箇所のアライメントマークを結ぶ線
とほぼ平行に形成されているものであり、互いに対応し
て組み合わされるアレイ基板および対向基板の寸法差を
２箇所のアライメントマークを結ぶ線とほぼ平行な方向
に振り分けて、容易に位置合わせされる。

【００２５】また、本発明の基板の位置合わせ方法は、
互いに対応して組み合わせられる矩形状の２枚の基板
を、２枚の基板のそれぞれに配置されたアライメントマ
ークを用いて行なう基板の位置合わせ方法において、前
記アライメントマークは、前記２枚の基板のそれぞれ２
箇所に配置され、前記２枚の基板のそれぞれに配設され
たアライメントマークは、基板を互いに対応して組み合
わせたときに互いに対応する位置に設けられ、前記アラ
イメントマークは、前記基板の同一基板上に配置される
２箇所のアライメントマークを結ぶ線が前記基板の辺に
対して斜めになる位置に配置されるとともに、それら２
箇所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対称の関係を有する
ものである。

【００２６】２枚の基板の２箇所で、それら２箇所を結
ぶ線が基板の辺に対して斜めになる位置に、それら２箇
所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対称の関係を有するア
ライメントマークを設けることにより、互いに対応して
組み合わされる基板の寸法差がある場合でも、アライメ
ントマークによって適切に組み合わせられる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面を参照して説明する。

【００２８】アクティブマトリクス型の液晶表示素子
は、ノーマリーホワイト型の光透過型液晶表示素子であ
り、配向膜を有するアレイ基板と対向基板とがそれら配
向膜が対向配置するように間隙を設けて配置されるとと
もに、この間隙に液晶層が狭持され、さらに、アレイ基
板および対向基板を挟むように２枚の偏光板が配置され
て構成されている。

【００２９】図３はアレイ基板の一部の平面図、図４は
図３のＡ−Ａ断面図を示す。

【００３０】アレイ基板11は、ガラス基板12上に、１０
２４×３本の信号線13と７６８本の走査線14とがほぼ直
交するように配置されている。走査線14はガラス基板12
上に直接配置され、この走査線14を覆うようにガラス基
板12上に酸化シリコンにて構成されるゲート絶縁膜15が
配置され、信号線13はこのゲート絶縁膜15上に配置され
ている。信号線13と走査線14との交差部近傍には、各交
差点ごとにスイッチング素子であるＴＦＴ16が配置さ
れ、このＴＦＴ16に接続するようＩＴＯにて構成される
画素電極17が配置されている。

【００３１】一方、対向基板21には、ガラス基板22上
に、液晶表示素子として完成した場合にアレイ基板11の
ＴＦＴ16、画素電極17と信号線13との隙間、および画素
電極17と走査線14との隙間を遮光するためのクロム膜ま
たは樹脂膜にて構成される遮光膜23が配置されていると
ともに、この遮光膜23間を埋めるようにカラー表示を実
現するための赤、緑、青の３原色で構成される色部24が
配置されている。さらに、この色部24上にはＩＴＯにて
構成される対向電極25が配置されている。

【００３２】そして、これらアレイ基板11および対向基
板21の表面に配向膜18，26が塗布される。アレイ基板11
の信号線13および走査線14に図示しない接続パッドが接
続される。

【００３３】組立工程において、アレイ基板11と対向基
板21とが互いに貼り合わされる。この後、接続パッドよ
り外側の余分な部分が削除され、アレイ基板11と対向基
板21との間隙に液晶30が封入され、アレイ基板11および
対向基板21の表面に図示しない偏光板が貼り合わされ
る。そして、接続パッドにＴＡＢなどが接続され、回路
基板が接続され、液晶表示素子が完成される。

【００３４】次に、図１は、組立工程におけるアレイ基
板11と対向基板21とを互いに貼り合わせるための位置合
わせの工程であって、液晶表示素子のアレイ基板11と対
向基板21とを重ねた状態の平面図を示す。

【００３５】アレイ基板11および対向基板21の中央域に
は表示領域19，27がそれぞれ形成され、この表示領域1
9，27外の２箇所にアレイ基板11と対向基板21とを貼り
合わせる際に位置合わせするアライメントマークAM1 ，
AM2 がそれぞれ形成されている。一方のアライメントマ
ークAM1 は表示領域19，27の右上に位置され、他方のア
ライメントマークAM2 は表示領域19，27の左下に位置さ
れる。この結果、２箇所のアライメントマークAM1 ，AM
2 を結ぶ線31は、表示領域19，27の信号線13または走査
線14とは平行にならずに斜めになる。

【００３６】次に、図２(a)(b)はアライメントマークAM
1 ，AM2 を拡大した平面図を示す。

【００３７】アライメントマークAM1 ，AM2 は、対向基
板21に形成される十字形マーク32、およびアレイ基板11
に形成される４つの四角形マーク33を有し、十字形マー
ク32と４つの四角形マーク33とが一定の間隔を保って配
置されるように構成されている。これら十字形マーク32
および四角形マーク33は、２箇所のアライメントマーク
AM1 ，AM2 を結ぶ線31の中心点に対して鏡映対称の関係
を有し、その線31と平行に鏡映対称軸31a が形成されて
いるとともにこの鏡映対称軸31a を中心として鏡映対称
形状に形成されている。

【００３８】アライメントマークAM1 ，AM2 はアレイ基
板11および対向基板21の製造工程で成形され、例えば、
アレイ基板11の四角形マーク33はガラス基板12に最初に
積層されるゲート線と同時に形成され、対向基板21の十
字形マーク32はクロム膜または樹脂膜の遮光膜23と同時
に形成される。これにより、横電界モードにも応用でき
る。

【００３９】そして、アレイ基板11と対向基板21とを貼
り合わせるとき、各アライメントマークAM1 ，AM2 の四
角形マーク33と十字形マーク32とを対応させることによ
り、アレイ基板11と対向基板21とを位置合わせする。

【００４０】このとき、アレイ基板11が熱処理によって
収縮を起こし、アレイ基板11が対向基板21より寸法が小
さくなって、寸法差が生じている場合には、寸法差の影
響を少なくするため、図２に示すように、２箇所のアラ
イメントマークAM1 ，AM2 を結ぶ線31に沿って寸法差を
振り分けるようにする。

【００４１】このように、２箇所のアライメントマーク
AM1 ，AM2 を結ぶ線31に沿って寸法差を振り分けるよう
にすると、上下方向の寸法差は表示領域19，27の上下方
向に均等に割り振られ、左右方向の寸法差は表示領域1
9，27の左右方向に均等に割り振られ、従来に比べて、
アレイ基板11側の表示領域19と対向基板21側の表示領域
27との相対位置のずれ量Ｌ1 は図９に示した従来のずれ
量Ｌ2 の約半分程度となる。

【００４２】したがって、対向基板21の遮光膜23の関口
部内にアレイ基板21の信号線13や走査線14、ＴＦＴ16が
入ってくる確率が格段に滅少し、画質を向上できる。

【００４３】なお、液晶表示素子において、互いに対応
して組み合わされる基板としては、アレイ基板11と対向
基板21との組み合わせ、アレイ基板11および対向基板21
と各偏光板との組み合わせなどがあり、これらの組み合
わせにアライメントマークAM1 ，AM2 を適用することに
より、同様の作用効果を奏する。

【００４４】なお、アレイ基板11に十字形マーク32を形
成し、対向基板21に四角形マーク33を設けても、同様の
作用効果を奏する。

【００４５】また、本実施の形態では、アライメントマ
ークAM1 ，AM2 の形状が十字形マーク32および四角形マ
ーク33であったが、マーク自体が鏡映対称軸31a を有し
ていれば良いので、図５に示すように、四角形や円形で
も良い。この場合、一方のマーク35を他方のマーク36で
間隔をあけて囲むように構成する。

【００４６】また、アライメントマークAM1 ，AM2 のア
レイ基板11側のマークと対向基板21側のマークとの間の
スペースを鏡映対称性を崩さないように場所によって変
えても良い。

【００４７】また、図６および図７に示すように、液晶
表示素子の例えばアレイ基板11の表示領域19外の余白の
部分に、製品管理または生産管理に利用される認識マー
ク41が例えばアライメントマーク形成と同一の工程で形
成されている。この認識マーク41は、数字、アルファベ
ットあるいはバーコードなどであり、液晶表示素子の製
造工程において、アレイ基板11の認識マーク41が自動読
取装置によって自動読取りされ、アレイ基板11の製品管
理または生産管理がコンピュータ上で行なわれる。

【００４８】認識マーク41の製造は、図８に示すよう
に、ガラス基板12上にゲート線材料である例えばＭｏＷ
の不透明薄膜42を例えばスパッタ法により成膜するとと
もに、レジスト材43を塗布した後、フォトマスク44を用
いてゲート線パターンを露光すると同時に（図８(a)
）、表示領域外19でかつ最終的にアレイ基板11に残る
部分の中の余白の部分に、認識マーク41を形成する領域
（パッド）のパターンを露光する。

【００４９】次に、ナンバリング露光装置にてパッドに
認識マーク41のパターンなどを露光する（図８(b) ）。

【００５０】次に、アレイ基板11を現像し、認識マーク
41のパターンがパッドをくり貫いた形に形成される（図
８(c) ）。

【００５１】その後、アレイ基板11を作製するために、
何層かの薄膜を積層していくが、この認識マーク41のパ
ターンが形成されたパッド上には薄膜を残さないように
形成する（図８(d) ）。例えば、ゲート絶縁膜45および
パッシベーション膜46などの不透明薄膜もパッド上に残
さないように形成する。

【００５２】このように、認識マーク41上には膜が形成
されないため、自動読取装置で認識マーク41を自動読取
りする際、確実に読み取ることができる。すなわち、認
識マーク41上に透明膜が形成されていると、光の干渉よ
り読取エラーが生じやすい問題があるが、認識マーク41
上に膜を形成しないことにより、その問題を解決でき
る。

【００５３】また、前記実施の形態では、液晶表示素子
に適用した場合について説明したが、液晶表示素子以外
の基板の位置合わせにも適用できる。この場合には、互
いに対応して組み合わせられる矩形状の２枚の基板を、
２枚の基板のそれぞれに配置されたアライメントマーク
を用いて行なう基板の位置合わせ方法において、アライ
メントマークは、２枚の基板のそれぞれ２箇所に配置さ
れ、２枚の基板のそれぞれに配設されたアライメントマ
ークは、基板を互いに対応して組み合わせたときに互い
に対応する位置に設けられ、アライメントマークは、基
板の同一基板上に配置される２箇所のアライメントマー
クを結ぶ線が基板の辺に対して斜めになる位置に配置さ
れるとともに、それら２箇所を結ぶ線の中心点に対して
鏡映対称の関係を有するものである。このように、２枚
の基板の２箇所で、それら２箇所を結ぶ線が基板の辺に
対して斜めになる位置に、それら２箇所を結ぶ線の中心
点に対して鏡映対称の関係を有するアライメントマーク
を設けることにより、互いに対応して組み合わされる基
板の寸法差がある場合でも、アライメントマークによっ
て適切に組み合わせることができる。

【００５４】

【発明の効果】本発明の液晶表示素子によれば、アレイ
基板および対向基板の２箇所で、それら２箇所を結ぶ線
が走査線および信号線に斜めになる位置にそれぞれ設け
られるアライメントマークを、それら２箇所を結ぶ線の
中心点に対して鏡映対称の関係をとることにより、互い
に対応して組み合わされるアレイ基板および対向基板の
寸法差がある場合でも、アライメントマークによって適
切に組み合わせることができ、画質を向上できる。

【００５５】さらに、基板の各アライメントマークは、
鏡映対称軸を中心として鏡映対称形状に形成されている
とともに、この鏡映対称軸が２箇所のアライメントマー
クを結ぶ線とほぼ平行に形成されていることにより、互
いに対応して組み合わされるアレイ基板および対向基板
の寸法差を２箇所のアライメントマークを結ぶ線とほぼ
平行な方向に振り分けて、容易に位置合わせできる。

【００５６】本発明の液晶表示素子の製造方法によれ
ば、アレイ基板および対向基板の箇所で、それら２箇所
を結ぶ線が走査線および信号線に斜めになる位置に、そ
れら２箇所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対称の関係を
有するアライメントマークを設けることにより、互いに
対応して組み合わされるアレイ基板および対向基板の寸
法差がある場合でも、アライメントマークによって適切
に組み合わせることができ、画質を向上できる。

【００５７】さらに、各アライメントマークを、鏡映対
称軸を中心として鏡映対称形状に形成するとともに、こ
の鏡映対称軸が２箇所のアライメントマークを結ぶ線と
ほぼ平行に形成することにより、互いに対応して組み合
わされるアレイ基板および対向基板の寸法差を２箇所の
アライメントマークを結ぶ線とほぼ平行な方向に振り分
けて、容易に位置合わせできる。

【００５８】本発明の基板の位置合わせ方法によれば、
２枚の基板の２箇所で、それら２箇所を結ぶ線が基板の
辺に対して斜めになる位置に、それら２箇所を結ぶ線の
中心点に対して鏡映対称の関係を有するアライメントマ
ークを設けることにより、互いに対応して組み合わされ
る基板の寸法差がある場合でも、アライメントマークに
よって適切に組み合わせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示し、組立工程におけ
るアレイ基板と対向基板とを互いに貼り合わせるための
位置合わせの工程であって、液晶表示素子のアレイ基板
と対向基板とを重ねた状態の平面図である。

【図２】同上(a)(b)はアライメントマークを拡大した平
面図である。

【図３】同上アレイ基板の一部の平面図である。

【図４】同上図３のＡ−Ａ断面図である。

【図５】同上(a)(b)はそれぞれ別の形のアライメントマ
ークを拡大した平面図である。

【図６】同上認識マークを形成したアレイ基板の平面図
である。

【図７】同上認識マークを拡大した平面図である。

【図８】同上図７のＢ−Ｂ断面に対応し、(a) 〜(d) に
認識マークの製造工程を示す断面図である。

【図９】従来の液晶表示素子のアレイ基板と対向基板と
を重ねた状態の平面図である。

【図１０】同上(a)(b)はアライメントマークを拡大した
平面図である。

【符号の説明】

11 アレイ基板 21 対向基板 AM1 ，AM2 アライメントマーク

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の走査線および複数の信号線が交差
   状に形成されるアレイ基板と、 このアレイ基板に対応して組み合わされる対向基板と、 前記アレイ基板および対向基板のそれぞれ２箇所で、こ
   れらアレイ基板および対向基板を互いに対応して組み合
   わせたときに互いに対応する位置に設けられるアライメ
   ントマークとを備え、 前記アライメントマークは、前記２箇所を結ぶ線が前記
   走査線および信号線に斜めになる位置にそれぞれ設けら
   れ、それら２箇所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対称の
   関係を有することを特徴とする液晶表示素子。
2. 【請求項２】 各アライメントマークは、鏡映対称軸を
   中心として鏡映対称形状に形成されているとともに、こ
   の鏡映対称軸が２箇所のアライメントマークを結ぶ線と
   ほぼ平行に形成されていることを特徴とする請求項１記
   載の液晶表示素子。
3. 【請求項３】 複数の走査線および複数の信号線が交差
   状に形成されるアレイ基板と対向基板とを互いに対応し
   て組み合わせる際、 前記アレイ基板および対向基板のそれぞれ２箇所で、ア
   レイ基板および対向基板を互いに対応して組み合わせた
   ときに互いに対応する位置に設けられ、かつ、それら２
   箇所を結ぶ線が前記走査線および信号線に斜めになる位
   置に配置されるとともに、それら２箇所を結ぶ線の中心
   点に対して鏡映対称の関係を有するアライメントマーク
   を用いて行なうことを特徴とする液晶表示素子の製造方
   法。
4. 【請求項４】 各アライメントマークは、鏡映対称軸を
   中心として鏡映対称形状に形成されているとともに、こ
   の鏡映対称軸が２箇所のアライメントマークを結ぶ線と
   ほぼ平行に形成されていることを特徴とする請求項３記
   載の液晶表示素子の製造方法。
5. 【請求項５】 互いに対応して組み合わせられる矩形状
   の２枚の基板を、２枚の基板のそれぞれに配置されたア
   ライメントマークを用いて行なう基板の位置合わせ方法
   において、 前記アライメントマークは、前記２枚の基板のそれぞれ
   ２箇所に配置され、 前記２枚の基板のそれぞれに配設されたアライメントマ
   ークは、基板を互いに対応して組み合わせたときに互い
   に対応する位置に設けられ、 前記アライメントマークは、前記基板の同一基板上に配
   置される２箇所のアライメントマークを結ぶ線が前記基
   板の辺に対して斜めになる位置に配置されるとともに、
   それら２箇所を結ぶ線の中心点に対して鏡映対称の関係
   を有することを特徴とする基板の位置合わせ方法。