JPH11186087A - Stacked ceramic capacitor, and its manufacture - Google Patents

Stacked ceramic capacitor, and its manufacture

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JPH11186087A
JPH11186087A JP35693697A JP35693697A JPH11186087A JP H11186087 A JPH11186087 A JP H11186087A JP 35693697 A JP35693697 A JP 35693697A JP 35693697 A JP35693697 A JP 35693697A JP H11186087 A JPH11186087 A JP H11186087A
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conductor
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capacitor
capacitor body
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真一 大沢
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健一 岩崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stacked ceramic capacitor capable of improving capacitance by enlarging the area of effective electrodes. SOLUTION: This is a stacked ceramic capacitor which is provided with outer electrodes 4 alternately connected to the ends of inner electrode layers 3, at both ends of the capacitor body 3 where dielectric layers 1 and inner electrode layers 2 are stacked alternately, and the inner electrode layer 2 is constituted of first conductor parts 2a and the second conductor layer parts (b) consisting of different kinds of material, and the first conductor part 2a is connected to an outer electrode 4, and furthermore one end of a second conductor part 2b is connected to the first conductor part 2a, and also the end face of the second conductor part 2a which is not connected to the first conductor part 2a is made on side which is inner than the peripheral face of the dielectric layer 1, and a gap 10 is made by the end face of the second conductor part 2b not connected to the first conductor part 1a and the dielectric layers 1 above and below the second conductor parts 2b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックコ
ンデンサおよびその製造方法に関し、特に、2種類の内
部電極材料を用いた積層セラミックコンデンサおよびそ
の製造方法に関するものである。
The present invention relates to a multilayer ceramic capacitor and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a multilayer ceramic capacitor using two types of internal electrode materials and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来技術】従来、積層セラミックコンデンサとして
は、誘電体層と、1種類の内部電極層とを交互に積層
し、この積層体の両端面に内部電極層の端面を交互に露
出させ、この露出部分に外部電極を形成した構造であっ
た。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a laminated ceramic capacitor, a dielectric layer and one kind of internal electrode layer are alternately laminated, and end faces of the internal electrode layer are alternately exposed on both end faces of the laminated body. The structure was such that an external electrode was formed on the portion.

【0003】このような従来の積層セラミックコンデン
サは、まず、誘電体セラミック粉末と有機バインダーを
溶媒に加え分散させたセラミックスラリーを、シート状
に成形してセラミックグリーンシートを作製し、スクリ
ーン印刷法などにより、このセラミックグリーンシート
上に導電ペーストを塗布し内部電極パターンを印刷す
る。
In such a conventional multilayer ceramic capacitor, first, a ceramic green sheet is formed by forming a ceramic slurry in which a dielectric ceramic powder and an organic binder are added to a solvent and dispersed into a sheet, and a ceramic green sheet is formed. Thus, a conductive paste is applied on this ceramic green sheet and an internal electrode pattern is printed.

【0004】そして、この内部電極パターンが印刷され
たセラミックグリーンシートを複数積層し、さらにその
上下に内部電極パターンが印刷されていないセラミック
グリーンシートを複数枚積層する。
Then, a plurality of ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are printed are laminated, and a plurality of ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are not printed are laminated above and below the ceramic green sheets.

【0005】こうして得られた積層成形体を、内部電極
パターンが両端面に露出するようにチップ状に切断し、
これを焼成し、コンデンサ本体を作製する。そして、こ
のコンデンサ本体の内部電極層が露出した部分を研磨す
ることで、コンデンサ本体の端面に内部電極層の端面を
露出させ、この端面に外部電極用の導電ペーストを塗布
し、これを焼き付けて外部電極を形成することにより、
所望の積層チップコンデンサが作製されていた。
[0005] The laminated molded body thus obtained is cut into chips so that the internal electrode pattern is exposed at both end faces,
This is fired to produce a capacitor body. Then, by polishing the exposed portion of the internal electrode layer of the capacitor body, the end surface of the internal electrode layer is exposed on the end surface of the capacitor body, and a conductive paste for an external electrode is applied to this end surface and baked. By forming external electrodes,
A desired multilayer chip capacitor has been manufactured.

【0006】また、他の積層セラミックコンデンサの製
造方法として、積層成形体を焼成する前に、その両端部
に予め外部電極となる導電ペーストを塗布し、焼成と同
時に焼き付ける方法もある。
As another method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, there is a method in which a conductive paste serving as an external electrode is applied in advance to both ends of a multilayer molded body before firing, and firing is performed simultaneously with firing.

【0007】さらに、積層成形体を得る方法として、セ
ラミックグリーンシートを使用する、いわゆるシート積
層法の他に、セラミックペーストと内部電極層となる導
電ペーストとを交互に印刷していく、いわゆる印刷法も
採用されている。
Further, as a method of obtaining a laminated molded body, in addition to a so-called sheet laminating method using ceramic green sheets, a so-called printing method in which a ceramic paste and a conductive paste serving as an internal electrode layer are alternately printed. Has also been adopted.

【0008】ところで、このような積層コンデンサにお
ける内部電極層は、例えば、ニッケル、銀、銅、パラジ
ウム等の金属からなる単一種類から構成されており、誘
電体層の上面に形成された内部電極層の一端は一層おき
に外部電極と所定間隔を置いて離間して形成されてお
り、内部電極層の一端はエンドマージン領域により外部
電極から電気的に絶縁されていた。
Incidentally, the internal electrode layer in such a multilayer capacitor is made of a single kind of metal such as nickel, silver, copper, palladium or the like, and the internal electrode layer formed on the upper surface of the dielectric layer is formed. One end of the layer was formed to be spaced apart from the external electrode by a predetermined distance every other layer, and one end of the internal electrode layer was electrically insulated from the external electrode by the end margin region.

【0009】そして、従来、印刷精度による短絡を防止
するために、大きなマージン領域を形成する必要があ
り、有効電極面積が小さくなり、静電容量が小さくなる
という問題があった。
Conventionally, it is necessary to form a large margin area in order to prevent a short circuit due to printing accuracy, and there has been a problem that the effective electrode area is reduced and the capacitance is reduced.

【0010】このような問題点を解決する手段として、
例えば特開平3−82004号公報には、内部電極層の
側端部をエッチングまたは物理的に除去することによ
り、内部電極層の側方にサイドマージン領域を形成する
積層コンデンサの製造法方が提案されている。
As means for solving such problems,
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-82004 proposes a method of manufacturing a multilayer capacitor in which a side margin region is formed on the side of an internal electrode layer by etching or physically removing a side end of the internal electrode layer. Have been.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平3−82004号公報に開示された積層セラミック
コンデンサでは、印刷工程においていわゆるエンドマー
ジン領域を形成させていたため、印刷精度による短絡を
防止するためには、大きなエンドマージン領域を形成す
る必要があり、有効電極面積が小さく静電容量が小さく
なるという問題があった。
However, in the multilayer ceramic capacitor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-82004, a so-called end margin region is formed in a printing process. However, it is necessary to form a large end margin region, and there is a problem that the effective electrode area is small and the capacitance is small.

【0012】即ち、外部電極に接続させるためにコンデ
ンサ本体の両端部に内部電極層を露出させる必要がある
が、上記公報に開示された積層セラミックコンデンサで
は、例えば、Niからなる1種類の内部電極層により形
成されていたため、コンデンサ本体の側面についてはエ
ッチングによりサイドマージン領域を形成できるが、コ
ンデンサ本体の両端部についてエッチングすると内部電
極層の端面がコンデンサ本体の内部に位置し、外部電極
との導通がとれなくなるという問題がある。このため、
上記公報では、印刷工程においていわゆるエンドマージ
ン領域を作製する必要があり、内部電極の有効面積が小
さくなるのである。
That is, it is necessary to expose the internal electrode layers at both ends of the capacitor body in order to connect to the external electrodes. In the multilayer ceramic capacitor disclosed in the above publication, for example, one kind of internal electrode made of Ni is used. The side margins of the capacitor body can be formed by etching on the side surfaces of the capacitor body, but when etching is performed on both ends of the capacitor body, the end surfaces of the internal electrode layers are located inside the capacitor body and conduction with external electrodes is achieved. There is a problem that can not be taken. For this reason,
In the above publication, a so-called end margin region must be formed in the printing process, and the effective area of the internal electrode is reduced.

【0013】本発明は、有効電極面積を大きくして静電
容量を向上できる積層セラミックコンデンサを提供する
ことを目的とする。
An object of the present invention is to provide a multilayer ceramic capacitor capable of increasing the effective electrode area and improving the capacitance.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の積層セラミック
コンデンサは、誘電体層と内部電極層とを交互に積層し
てなるコンデンサ本体の両端部に、前記内部電極層の端
部と交互に接続する外部電極を設けてなる積層セラミッ
クコンデンサであって、前記内部電極層を異種材料から
なる第1導体部と第2導体部とで構成し、前記第1導体
部を前記外部電極に接続し、さらに前記第2導体部の一
端を前記第1導体部に接続するとともに、前記第1導体
部に接続されていない前記第2導体部の端面を前記誘電
体層の外周面よりも内側に形成してなり、前記第1導体
部に接続されていない前記第2導体部の端面と、該第2
導体部の上下の誘電体層により空隙が形成されたもので
ある。
The multilayer ceramic capacitor according to the present invention is connected alternately to both ends of a capacitor body formed by alternately laminating dielectric layers and internal electrode layers with the ends of the internal electrode layers. A multilayer ceramic capacitor provided with external electrodes, wherein the internal electrode layer is composed of a first conductor portion and a second conductor portion made of dissimilar materials, and the first conductor portion is connected to the external electrode; Further, one end of the second conductor portion is connected to the first conductor portion, and an end surface of the second conductor portion not connected to the first conductor portion is formed inside an outer peripheral surface of the dielectric layer. An end surface of the second conductor portion not connected to the first conductor portion;
A gap is formed by the dielectric layers above and below the conductor.

【0015】ここで、空隙に絶縁体が充填されているこ
とが望ましい。また、第1導体部がPdを主成分とし、
第2導体部がNiを主成分とすることが望ましい。
Here, it is desirable that the void is filled with an insulator. Further, the first conductor portion is mainly composed of Pd,
It is desirable that the second conductor portion contains Ni as a main component.

【0016】本発明の積層セラミックコンデンサは、表
面に内部電極層パターンを有するグリーンシートが複数
積層された積層成形体を焼成してコンデンサ本体を作製
し、該コンデンサ本体の両端部に外部電極を形成する積
層セラミックコンデンサの製造方法において、前記内部
電極層パターンを、前記グリーンシートの外部電極側の
表面に形成された第1導体部パターンと、該第1導体部
パターンが形成されていないグリーンシートの全表面に
形成された第2導体部パターンとから構成し、焼成する
ことにより第1導体部に接続された一端を除いて第2導
体部の端面が外周面に露出したコンデンサ本体を作製
し、この後、コンデンサ本体の外周面に露出した第2導
体部の端面を除去し、コンデンサ本体の両端部に外部電
極を形成する方法である。
In the multilayer ceramic capacitor of the present invention, a multilayer body formed by laminating a plurality of green sheets having an internal electrode layer pattern on the surface is fired to produce a capacitor body, and external electrodes are formed at both ends of the capacitor body. In the method for manufacturing a laminated ceramic capacitor, the internal electrode layer pattern is formed of a first conductor portion pattern formed on a surface of the green sheet on the side of the external electrode, and a green sheet having no first conductor portion pattern formed thereon. A second conductor portion pattern formed on the entire surface, and baking to produce a capacitor body in which the end surface of the second conductor portion is exposed to the outer peripheral surface except for one end connected to the first conductor portion, Thereafter, the end surface of the second conductor portion exposed on the outer peripheral surface of the capacitor body is removed, and external electrodes are formed on both ends of the capacitor body. That.

【0017】[0017]

【作用】本発明の積層セラミックコンデンサによれば、
例えば、内部電極層の第1導体部をPdで、第2導体部
をNiで形成し、Niからなる第2導体部のみエッチン
グする手段を採用することができ、これにより、第1導
体部により外部電極との接続を確実に行なうことができ
るとともに、コンデンサ本体の側面においては、第2導
体部のエッチングにより最小限のサイドマージン領域を
形成でき、さらに、外部電極が形成されるコンデンサ本
体の両端部においては、第2導体部のエッチングにより
最小限のエンドマージン領域を形成でき、第2導体部の
端面と電気的に絶縁される外部電極との間の距離を最小
とすることが可能となる。このため有効電極面積を大き
くすることができ、静電容量を大きくすることができ
る。
According to the multilayer ceramic capacitor of the present invention,
For example, it is possible to employ a means in which the first conductor portion of the internal electrode layer is formed of Pd, the second conductor portion is formed of Ni, and only the second conductor portion made of Ni is etched. The connection with the external electrodes can be reliably performed, and a minimum side margin area can be formed on the side surface of the capacitor body by etching the second conductor portion. In the portion, the minimum end margin region can be formed by etching the second conductor portion, and the distance between the end surface of the second conductor portion and the external electrode that is electrically insulated can be minimized. . Therefore, the effective electrode area can be increased, and the capacitance can be increased.

【0018】即ち、上記特開平3−82004号公報に
開示された積層セラミックコンデンサでは、内部電極の
他端が外部電極と接続しないように、内部電極形成面積
を印刷パターンによって制御していたため、大きなエン
ドマージン領域を形成せざるを得なかったが、本発明で
は、内部電極層を形成するための印刷パターンを制御す
ることなく、内部電極層の一端部をエッチングにより除
去して外部電極と絶縁できるため、有効電極面積を大き
くすることができるのである。
That is, in the multilayer ceramic capacitor disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 3-82004, the area for forming the internal electrode is controlled by the printing pattern so that the other end of the internal electrode is not connected to the external electrode. Although the end margin region had to be formed, in the present invention, without controlling the printing pattern for forming the internal electrode layer, one end of the internal electrode layer can be removed by etching and insulated from the external electrode. Therefore, the effective electrode area can be increased.

【0019】内部電極層を、外部電極と電気的に接続さ
れる側に形成されたパラジウムを主成分とする第1導体
部と、その他のニッケルを主成分とする第2導体部とか
ら構成し、コンデンサ本体の外周面に露出したニッケル
を主成分とする第2導体部の端面をエッチングしてコン
デンサ本体を作製し、このコンデンサ本体に外部電極を
形成すると、内部電極層の第1導体部と外部電極とが電
気的に接続されるとともに、内部電極の第2導体部と外
部電極とが絶縁されることになる。そして、第1導体部
の形成領域は、エッチングが及ばない範囲のみで良いた
め、その面積を最小限にでき、高価な貴金属であるパラ
ジウム使用量を低減できる。
The internal electrode layer is composed of a first conductor portion mainly composed of palladium and a second conductor portion mainly composed of nickel formed on the side electrically connected to the external electrode. By etching the end surface of the second conductor portion mainly composed of nickel exposed on the outer peripheral surface of the capacitor body to produce a capacitor body, and forming an external electrode on the capacitor body, the first conductor portion of the internal electrode layer The external electrode is electrically connected, and the second conductor of the internal electrode is insulated from the external electrode. Further, since the formation region of the first conductor portion only needs to be in a range that cannot be etched, the area can be minimized, and the amount of palladium, which is an expensive noble metal, can be reduced.

【0020】さらに、本発明によれば、内部電極層の印
刷ずれによる有効電極面積の変化が全くないため、従来
の積層セラミックコンデンサより静電容量のばらつきを
小さくすることができる。
Further, according to the present invention, since there is no change in the effective electrode area due to printing displacement of the internal electrode layer, the variation in capacitance can be made smaller than that of the conventional multilayer ceramic capacitor.

【0021】また、第2導体部の端面と、この第2導体
部の上下に配置された誘電体層により形成された空隙に
絶縁体を充填することにより、内部電極層が外部に露出
することがなく、内部電極の酸化を防止し、容量低下や
膨張によるクラック発生を防止できる。
In addition, by filling the gap formed by the end face of the second conductor portion and the dielectric layer disposed above and below the second conductor portion with an insulator, the internal electrode layer is exposed to the outside. Therefore, the oxidation of the internal electrodes can be prevented, and the occurrence of cracks due to capacity reduction and expansion can be prevented.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】本発明の積層セラミックコンデン
サは、図1に示すように、誘電体層1と内部電極層2と
を交互に積層してなるコンデンサ本体3の両端部に、内
部電極層2の端部と交互に接続する外部電極4を設けて
なるものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor according to the present invention has an internal electrode layer at both ends of a capacitor body 3 in which dielectric layers 1 and internal electrode layers 2 are alternately laminated. External electrodes 4 alternately connected to the end portions 2 are provided.

【0023】そして、図2に示すように、内部電極層2
が、外部電極4に接続される第1導体部2aと、該第1
導体部2aに一端が接続され、この第1導体部2aに接
続されていない端面が誘電体層1の外周面よりも内側に
形成された第2導体部2bとから構成されている。これ
により、第1導体部2aに接続されていない第2導体部
2bの端面と、この第2導体部2bを挟持する上下の誘
電体層1により、コンデンサ本体3の両端面および側面
に凹部からなる空隙10が形成されている。従って、外
部電極4を形成した場合には、外部電極4との間に空隙
10が形成されることになる。尚、両端部以外のコンデ
ンサ本体3の側面には、空隙10が外面に露出している
ことになる。
Then, as shown in FIG.
Are connected to the external electrode 4 and the first conductor portion 2a,
One end is connected to the conductor portion 2a, and an end surface not connected to the first conductor portion 2a is formed of a second conductor portion 2b formed inside the outer peripheral surface of the dielectric layer 1. Thereby, the end surface of the second conductor portion 2b not connected to the first conductor portion 2a and the upper and lower dielectric layers 1 sandwiching the second conductor portion 2b allow the both end surfaces and side surfaces of the capacitor body 3 to be recessed. Gap 10 is formed. Therefore, when the external electrode 4 is formed, a gap 10 is formed between the external electrode 4 and the external electrode 4. In addition, on the side surfaces of the capacitor body 3 other than the both ends, the gap 10 is exposed on the outer surface.

【0024】第1導体部2aは、エッチングされにくい
導体からなり、例えば貴金属、特にPdが望ましい。貴
金属としては、Au、Ag、Pdがある。また、第2導
体部2bは、エッチングされ易い導体からなり、例えば
卑金属、特にNiが望ましい。卑金属としては、Ni、
Cu、Co、Feがある。
The first conductor 2a is made of a conductor which is not easily etched, and is preferably made of, for example, a noble metal, particularly Pd. The noble metals include Au, Ag, and Pd. The second conductor 2b is made of a conductor that is easily etched, and is preferably made of, for example, a base metal, particularly Ni. As base metals, Ni,
There are Cu, Co, and Fe.

【0025】この空隙10には、例えば、ガラス、樹脂
等の絶縁体を充填することが、第2導体部2bの端面の
酸化を防止し、容量の低下やクラックの発生を防止する
点で望ましい。多湿中で使用される積層セラミックコン
デンサにおいては、空隙10には絶縁体を充填すること
が望ましい。絶縁体の充填は、例えば、ガラスペースト
や樹脂ペーストを充填したり、電気泳動法により充填し
たりすることにより行なわれる。
It is desirable to fill the gap 10 with an insulator such as glass, resin, or the like in order to prevent oxidation of the end surface of the second conductor 2b and to prevent a reduction in capacity and the occurrence of cracks. . In a multilayer ceramic capacitor used in high humidity, it is desirable to fill the gap 10 with an insulator. The filling of the insulator is performed by, for example, filling a glass paste or a resin paste, or filling by an electrophoresis method.

【0026】本発明の積層セラミックコンデンサは、ま
ず、誘電体層となるグリーンシートを作製することによ
り得られる。グリーンシートは、例えば、チタン酸バリ
ウムを主成分とし、酸化イットリウム、炭酸マンガン及
び酸化マグネシウムを加えた誘電体粉末に、水及び分散
剤を加え、ボールミルにて混合粉砕した後、有機バイン
ダーを混合し、得られたスラリーを所定厚みのテープ状
に成形することにより得られる。
The multilayer ceramic capacitor of the present invention is obtained by first preparing a green sheet to be a dielectric layer. The green sheet contains, for example, barium titanate as a main component, yttrium oxide, a dielectric powder to which manganese carbonate and magnesium oxide are added, water and a dispersant, and after mixing and grinding in a ball mill, an organic binder is mixed. The obtained slurry is formed into a tape having a predetermined thickness.

【0027】誘電体層の材料としては、チタン酸バリウ
ムを主成分とし、この主成分100モル部に対して、酸
化マグネシウムを0.5〜8モル部、炭酸マンガンを
0.05〜0.5モル部、酸化イットリウムを0.3〜
4モル部添加含有したものを用いることが誘電率などの
特性を向上するという点から望ましい。
As a material of the dielectric layer, barium titanate is a main component, and 0.5 to 8 mol parts of magnesium oxide and 0.05 to 0.5 mol part of manganese carbonate are per 100 mol parts of the main component. Molar parts, yttrium oxide 0.3 ~
It is desirable to use those containing 4 mol parts in terms of improving properties such as dielectric constant.

【0028】導体ペーストは、例えば、ニッケル粉末に
有機可塑剤を加えたペースト、及びパラジウム粉末に有
機可塑剤を加えたペーストを作製する。なお、ニッケル
やパラジウムはペースト中に40〜60重量%程度含有
することが望ましい。
As the conductor paste, for example, a paste in which an organic plasticizer is added to nickel powder and a paste in which an organic plasticizer is added to palladium powder are prepared. It is desirable that nickel and palladium be contained in the paste in an amount of about 40 to 60% by weight.

【0029】そして、表面に内部電極層パターンを有す
るグリーンシートが複数積層された積層成形体を焼成し
て、図3に示すようになコンデンサ本体を作製する。
Then, a laminated molded body in which a plurality of green sheets each having an internal electrode layer pattern on the surface are laminated is fired to produce a capacitor body as shown in FIG.

【0030】積層成形体の作製においては、内部電極層
パターンは、グリーンシートの外部電極側の表面に形成
されたPdを主成分とする第1導体部パターンと、第1
導体部パターンが形成されていないグリーンシートの全
表面に形成されたNiを主成分とする第2導体部パター
ンとから構成される。焼成することにより第1導体部に
接続された部分を除いて第2導体部の端面が外周面に露
出した、図3に示すようなコンデンサ本体を作製する。
In the production of the laminated molded body, the internal electrode layer pattern includes a first conductor portion pattern mainly composed of Pd formed on the surface of the green sheet on the external electrode side, and a first conductor portion pattern.
And a second conductor pattern mainly composed of Ni formed on the entire surface of the green sheet on which the conductor pattern is not formed. By sintering, a capacitor body as shown in FIG. 3 in which the end surface of the second conductor portion is exposed to the outer peripheral surface except for the portion connected to the first conductor portion.

【0031】積層成形体の作製について、具体的に説明
すると、誘電体層のグリーンシートの上面に、図4に示
すように、例えば、スクリーン印刷法によりパラジウム
を主成分とする第1導体部ペーストおよびニッケルを主
成分とする第2導体部ペーストを塗布し、第1導体部パ
ターン領域xと第2導体部パターン領域yを形成し、
(a)、(b)のグリーンシートを作製する。
The production of the laminated molded body will be specifically described. As shown in FIG. 4, for example, a first conductor paste mainly containing palladium is screen-printed on the upper surface of the green sheet of the dielectric layer. And a second conductor paste containing nickel as a main component is applied to form a first conductor portion pattern region x and a second conductor portion pattern region y,
The green sheets (a) and (b) are prepared.

【0032】そして、これら導体ペーストを塗布した
(a)、(b)のグリーンシートを交互に積層し有効積
層体を形成するようにする。この有効積層体の上下両面
に、導体ペーストが塗布されていない誘電体グリーンシ
ートを積層し非有効積層体を形成し、積層成形体を作製
する。
Then, the green sheets (a) and (b) to which the conductor paste is applied are alternately laminated to form an effective laminated body. On both upper and lower surfaces of the effective laminate, dielectric green sheets to which the conductor paste is not applied are laminated to form an ineffective laminate, thereby producing a laminated molded body.

【0033】次に、コンデンサ本体の作製について具体
的に説明すると、上記方法で得られた積層成形体を、図
4に一点鎖線で示すように、所定寸法に4分割となるよ
うに切断した後、例えば、酸素分圧3×10-8〜3×1
-3Pa、温度1150〜1300℃で0.5〜3時間
焼成し、この後、酸素分圧1×10-2〜2×104
a、温度800〜1100℃で1〜5時間熱処理を行
う。この焼結体の外部電極が形成される両端面を研摩
し、第1導体部および第2導体部の端面を焼結体表面に
露出させることにより、図3に示すようなコンデンサ本
体が作製される。
Next, the production of the capacitor body will be specifically described. The laminated molded body obtained by the above method is cut into predetermined dimensions as shown in FIG. For example, oxygen partial pressure 3 × 10 -8 to 3 × 1
0 -3 Pa, and calcined at a temperature 1150 to 1300 ° C. 0.5 to 3 hours, after which the oxygen partial pressure 1 × 10 -2 ~2 × 10 4 P
a, heat treatment is performed at a temperature of 800 to 1100 ° C. for 1 to 5 hours. By polishing both end surfaces of the sintered body on which the external electrodes are formed and exposing the end surfaces of the first conductor portion and the second conductor portion to the surface of the sintered body, a capacitor body as shown in FIG. 3 is manufactured. You.

【0034】この後、ニッケルのみを蝕刻し得るエッチ
ャントにより、コンデンサ本体の外表面に露出した第2
導体部の端面をエッチングする。エッチャントとして
は、例えば硝酸のような強酸を用いることができる。
尚、パラジウムはエッチングしないようなエッチャント
を選択する。例えば、上記コンデンサ本体を、エッチャ
ント中に浸漬し、第2導体部の端面をエッチングし、図
2に示すように、第2導体部の第1導体部と接続される
側の面を除いて除去され、コンデンサ本体の外周面に凹
部状の空隙が形成される。図5に、第2導体部の端面が
除去された状態を示す。
Thereafter, the second exposed on the outer surface of the capacitor body is etched by an etchant capable of etching only nickel.
The end face of the conductor is etched. As an etchant, for example, a strong acid such as nitric acid can be used.
It should be noted that an etchant that does not etch palladium is selected. For example, the capacitor body is immersed in an etchant, the end surface of the second conductor is etched, and the second conductor is removed except for the surface connected to the first conductor as shown in FIG. As a result, a concave gap is formed on the outer peripheral surface of the capacitor body. FIG. 5 shows a state in which the end surface of the second conductor is removed.

【0035】この後、必要に応じて、コンデンサ本体の
空隙に、例えば、ガラス、樹脂等の絶縁体が充填され
る。絶縁体の充填は、絶縁体ペーストを塗布したり、電
気泳動法等により達成できる。
Thereafter, if necessary, the gap of the capacitor body is filled with an insulator such as glass or resin. The filling of the insulator can be achieved by applying an insulator paste or by electrophoresis.

【0036】次に、銅粉末に有機可塑剤を加えたペース
トを作製し、このペーストを内部電極層と交互に電気的
に接続するようにコンデンサ本体の両端に塗布し焼き付
けて外部電極を作製し、所望の積層セラミックコンデン
サを作製する。なお、外部電極はニッケル、銀、金など
の金属で作製してもよい。
Next, a paste in which an organic plasticizer is added to copper powder is prepared, and the paste is applied to both ends of the capacitor body and electrically baked so that the paste is alternately electrically connected to the internal electrode layers. Then, a desired multilayer ceramic capacitor is manufactured. Note that the external electrode may be made of a metal such as nickel, silver, or gold.

【0037】以上のようにして構成された積層セラミッ
クコンデンサでは、外部電極との非接続部を内部電極の
第2導体部の端面の除去により完全に外部電極と絶縁す
ることができるため、印刷パターンの制御によってマー
ジン領域を形成した、従来の積層セラミックコンデンサ
よりも有効電極面積を大きくすることができ、静電容量
を大きくすることができる。
In the multilayer ceramic capacitor configured as described above, the non-connection portion with the external electrode can be completely insulated from the external electrode by removing the end surface of the second conductor portion of the internal electrode. Thus, the effective electrode area can be increased and the capacitance can be increased as compared with the conventional multilayer ceramic capacitor in which the margin region is formed by the above control.

【0038】つまり、内部電極層となる導電ペーストを
外部電極と所定間隔を置いて離間して形成することな
く、内部電極層の第2導体部の端面を除去することによ
り外部電極と絶縁するため、容量を発生する内部電極面
積を大幅に向上できる。また、従来のような印刷精度の
低下による外部電極との短絡や、容量精度の低下を極力
防止できる。
That is, the conductive paste serving as the internal electrode layer is not formed at a predetermined distance from the external electrode, and the end face of the second conductor portion of the internal electrode layer is removed to insulate the external electrode from the external electrode. In addition, the area of the internal electrode that generates the capacitance can be greatly improved. In addition, it is possible to prevent a short circuit with an external electrode and a reduction in capacitance accuracy due to a reduction in printing accuracy as in the related art.

【0039】なお、上記例では、ニッケルとパラジウム
の組み合わせからなる内部電極を形成したが、本発明は
上記例に限定されるものではない。
In the above example, the internal electrodes made of a combination of nickel and palladium are formed, but the present invention is not limited to the above example.

【0040】[0040]

【実施例】まず、チタン酸バリウムを主成分とし、この
主成分100モル部に対して、酸化イットリウムを1モ
ル部、酸化マグネシウムを2モル部、酸化マンガンを
0.1モル部を添加した誘電体粉末に、水及び分散剤を
加え、ZrO2 ボールを用いたボールミルにて混合粉砕
した後、有機バインダーを混合し、得られたスラリーを
厚み13μmのグリーンシートに成形した。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a dielectric material containing barium titanate as a main component, 100 mole parts of the main component, 1 mole portion of yttrium oxide, 2 mole portions of magnesium oxide, and 0.1 mole portion of manganese oxide was added. Water and a dispersant were added to the body powder, mixed and pulverized by a ball mill using ZrO 2 balls, and then an organic binder was mixed. The resulting slurry was formed into a 13 μm-thick green sheet.

【0041】一方、内部電極層として、ニッケル粉末に
有機可塑剤を加えたペースト、及びパラジウム粉末に有
機可塑剤を加えたペーストを用意し、該ペーストを上記
グリーンシート上にスクリーン印刷法にて図4に示すよ
うに形成し、(a)と(b)のグリーンシートを交互に
積層し、有効積層体の積層成形体を作製した。
On the other hand, a paste in which an organic plasticizer is added to nickel powder and a paste in which an organic plasticizer is added to palladium powder are prepared as internal electrode layers, and the pastes are formed on the green sheet by a screen printing method. 4, and the green sheets (a) and (b) were alternately laminated to produce a laminated molded body of an effective laminated body.

【0042】また、従来の一般的なコンデンサを作製す
るため、内部電極層としてニッケルを用い、スクリーン
印刷により、図6に示すように、内部電極パターン31
を印刷により制御し、エンドマージン領域E及びサイド
マージン領域Sを形成したグリーンシート33を積層し
た積層成形体を用意した。
Further, in order to manufacture a conventional general capacitor, nickel is used as an internal electrode layer, and the internal electrode pattern 31 is formed by screen printing as shown in FIG.
Was controlled by printing to prepare a laminate formed by laminating green sheets 33 each having an end margin area E and a side margin area S formed thereon.

【0043】また、特開平3−82004号公報の積層
セラミックコンデンサを再現するため、内部電極層とし
てニッケルを使用し、スクリーン印刷によりエンドマー
ジン領域のみを形成したグリーンシートを積層した積層
成形体も用意した。
Also, in order to reproduce the multilayer ceramic capacitor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-82004, a laminated molded body in which nickel is used as an internal electrode layer and green sheets each having only an end margin region formed by screen printing are prepared. did.

【0044】次に、上記有効積層体の積層成形体の上下
面に非有効積層体用のグリーンシートを積層した。
Next, green sheets for a non-effective laminate were laminated on the upper and lower surfaces of the laminate formed from the effective laminate.

【0045】次に、得られた積層体を切断したのち、酸
素分圧1×10-6Pa、温度1260℃で2時間焼成
し、コンデンサ本体を作製した。この後、図4に示すグ
リーンシートを用いたものについては、硝酸を主成分と
する酸を用いてニッケルを主成分とする内部電極の露出
した部分を除去した。この後、焼結体にパラフィンを主
成分とする樹脂を、内部電極を除去した空隙に吸着させ
たのち、銅のペーストを塗布し、900℃で焼き付けて
外部電極とした。
Next, after cutting the obtained laminate, it was baked at an oxygen partial pressure of 1 × 10 −6 Pa and a temperature of 1,260 ° C. for 2 hours to produce a capacitor body. Thereafter, in the case of using the green sheet shown in FIG. 4, the exposed portion of the internal electrode mainly composed of nickel was removed using an acid mainly composed of nitric acid. Thereafter, a resin containing paraffin as a main component was adsorbed to the voids from which the internal electrodes had been removed, and then a copper paste was applied and baked at 900 ° C. to form external electrodes.

【0046】また、特開平3−82004号公報の積層
セラミックコンデンサについては、コンデンサ本体を作
製した後、外部電極が形成される両端部を除いて、内部
電極の露出した部分を除去した。銅のペーストを塗布
し、900℃で焼き付けて外部電極とした。
In the multilayer ceramic capacitor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-82004, after the capacitor body was manufactured, the exposed portions of the internal electrodes were removed except for both ends where external electrodes were formed. Copper paste was applied and baked at 900 ° C. to form external electrodes.

【0047】さらに図6に示すグリーンシートを用いた
ものについては、コンデンサ本体を作製した後、銅のペ
ーストを塗布し、900℃で焼き付けて外部電極とし
た。
Further, in the case of using the green sheet shown in FIG. 6, after preparing a capacitor body, a copper paste was applied and baked at 900 ° C. to form external electrodes.

【0048】次にこれらの試料を、LCRメーター42
84Aを用いて周波数1.0kHz、入力信号レベル
1.0Vrmsにて+25℃における静電容量を測定し
た。
Next, these samples were placed in an LCR meter 42
The capacitance at + 25 ° C. was measured using 84A at a frequency of 1.0 kHz and an input signal level of 1.0 Vrms.

【0049】この結果、従来の一般的なコンデンサの場
合(図6に示すグリーンシートを用いたもの)、静電容
量は560nFであり、スクリーン印刷によりエンドマ
ージン部のみを形成したコンデンサの場合(特開平3−
82004号公報に開示されたもの)、700nFであ
ったのに対して、内部電極層としてニッケルとパラジウ
ムを使用した本発明の場合、静電容量は800nFであ
った。これにより静電容量の大きい積層セラミックコン
デンサを作製できることがわかる。
As a result, in the case of the conventional general capacitor (using the green sheet shown in FIG. 6), the capacitance is 560 nF, and in the case of the capacitor in which only the end margin is formed by screen printing (particularly, Kaihei 3-
In contrast, the capacitance was 800 nF in the present invention using nickel and palladium as the internal electrode layers, whereas the capacitance was 800 nF. This shows that a multilayer ceramic capacitor having a large capacitance can be manufactured.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明の積層セラミックコンデンサは、
第1及び第2導体部からなる内部電極層が誘電体層を間
に挟んで積層され、かつ、外部電極と電気的に接続され
る内部電極層の端部を残し、内部電極層の外周部が除去
され、外部電極と完全に絶縁することができるととも
に、内部電極層の他端と外部電極との間の絶縁するため
の距離を最小にでき、これにより有効電極面積を大きく
することができ、ひいては静電容量を大きくすることが
できる。
The multilayer ceramic capacitor of the present invention has the following features.
An inner electrode layer composed of the first and second conductors is laminated with a dielectric layer interposed therebetween, and an outer peripheral portion of the inner electrode layer, leaving an end of the inner electrode layer electrically connected to the outer electrode. Can be completely insulated from the external electrode, and the distance between the other end of the internal electrode layer and the external electrode can be minimized, thereby increasing the effective electrode area. As a result, the capacitance can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の積層セラミックコンデンサを示す断面
図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a multilayer ceramic capacitor of the present invention.

【図2】図1のコンデンサ本体を拡大して示す断面図で
ある。
FIG. 2 is an enlarged sectional view showing the capacitor body of FIG. 1;

【図3】エッチングする前のコンデンサ本体の断面図で
ある。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the capacitor body before etching.

【図4】グリーンシートに第1導体部パターンと第2導
体部パターンを形成した状態を示す平面図であり、
(a)は奇数層、(b)は偶数層である。
FIG. 4 is a plan view showing a state where a first conductor portion pattern and a second conductor portion pattern are formed on a green sheet;
(A) is an odd layer, and (b) is an even layer.

【図5】第2導体部の端面を除去した状態を示すコンデ
ンサ本体の横断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of the capacitor main body in a state where an end face of a second conductor is removed.

【図6】従来の内部電極層パターンを示す平面図であ
り、(a)は奇数層、(b)は偶数層である。
6A and 6B are plan views showing a conventional internal electrode layer pattern, wherein FIG. 6A shows an odd-numbered layer and FIG. 6B shows an even-numbered layer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・誘電体層 2・・・内部電極層 2a・・・第1導体部 2b・・・第2導体部 3・・・コンデンサ本体 4・・・外部電極 10・・・空隙 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Dielectric layer 2 ... Internal electrode layer 2a ... 1st conductor part 2b ... 2nd conductor part 3 ... Capacitor main body 4 ... External electrode 10 ... Void

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01G 4/30 311 H01G 1/147 A ──────────────────────────────────────────────────の Continued on front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H01G 4/30 311 H01G 1/147 A

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】誘電体層と内部電極層とを交互に積層して
なるコンデンサ本体の両端部に、前記内部電極層の端部
と交互に接続する外部電極を設けてなる積層セラミック
コンデンサであって、前記内部電極層を異種材料からな
る第1導体部と第2導体部とで構成し、前記第1導体部
を前記外部電極に接続し、さらに前記第2導体部の一端
を前記第1導体部に接続するとともに、前記第1導体部
に接続されていない前記第2導体部の端面を前記誘電体
層の外周面よりも内側に形成してなり、前記第1導体部
に接続されていない前記第2導体部の端面と、該第2導
体部の上下の誘電体層により空隙が形成されていること
を特徴とする積層セラミックコンデンサ。
1. A multilayer ceramic capacitor comprising a capacitor body in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately laminated, and external electrodes alternately connected to ends of the internal electrode layers are provided at both ends of the capacitor body. The internal electrode layer includes a first conductor portion and a second conductor portion made of different materials, the first conductor portion is connected to the external electrode, and one end of the second conductor portion is connected to the first conductor portion. An end surface of the second conductor portion connected to the conductor portion and not connected to the first conductor portion is formed inside an outer peripheral surface of the dielectric layer, and is connected to the first conductor portion. A gap is formed by an end face of the second conductor portion and upper and lower dielectric layers of the second conductor portion.
【請求項2】空隙に絶縁体が充填されていることを特徴
とする請求項1記載の積層セラミックコンデンサ。
2. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the gap is filled with an insulator.
【請求項3】第1導体部がPdを主成分とし、第2導体
部がNiを主成分とすることを特徴とする請求項1また
は2記載の積層セラミックコンデンサ。
3. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the first conductor has Pd as a main component and the second conductor has Ni as a main component.
【請求項4】表面に内部電極層パターンを有するグリー
ンシートが複数積層された積層成形体を焼成してコンデ
ンサ本体を作製し、該コンデンサ本体の両端部に外部電
極を形成する積層セラミックコンデンサの製造方法にお
いて、前記内部電極層パターンを、前記グリーンシート
の外部電極側の表面に形成された第1導体部パターン
と、該第1導体部パターンが形成されていないグリーン
シートの全表面に形成された第2導体部パターンとから
構成し、焼成することにより第1導体部に接続された一
端を除いて第2導体部の端面が外周面に露出したコンデ
ンサ本体を作製し、この後、コンデンサ本体の外周面に
露出した第2導体部の端面を除去し、コンデンサ本体の
両端部に外部電極を形成することを特徴とする積層セラ
ミックコンデンサの製造方法。
4. Manufacturing of a multilayer ceramic capacitor in which a multilayer molded body in which a plurality of green sheets having an internal electrode layer pattern are laminated on the surface is fired to produce a capacitor body, and external electrodes are formed on both ends of the capacitor body. In the method, the internal electrode layer pattern is formed on a first conductor portion pattern formed on a surface of the green sheet on an external electrode side, and on the entire surface of the green sheet on which the first conductor portion pattern is not formed. The capacitor body is formed from the second conductor portion pattern, and is fired to produce a capacitor body in which the end surface of the second conductor portion is exposed to the outer peripheral surface except for one end connected to the first conductor portion. An end surface of a second conductor portion exposed on an outer peripheral surface is removed, and external electrodes are formed on both ends of a capacitor body. Production method.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20170069932A1 (en) * 2011-06-29 2017-03-09 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
CN106910629A (en) * 2015-09-15 2017-06-30 Tdk株式会社 Laminated electronic component
US10601074B2 (en) 2011-06-29 2020-03-24 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
US10658705B2 (en) 2018-03-07 2020-05-19 Space Charge, LLC Thin-film solid-state energy storage devices
US11527774B2 (en) 2011-06-29 2022-12-13 Space Charge, LLC Electrochemical energy storage devices
US11996517B2 (en) 2011-06-29 2024-05-28 Space Charge, LLC Electrochemical energy storage devices

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20170069932A1 (en) * 2011-06-29 2017-03-09 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
US9853325B2 (en) * 2011-06-29 2017-12-26 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
US10199682B2 (en) 2011-06-29 2019-02-05 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
US10601074B2 (en) 2011-06-29 2020-03-24 Space Charge, LLC Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices
US11527774B2 (en) 2011-06-29 2022-12-13 Space Charge, LLC Electrochemical energy storage devices
US11996517B2 (en) 2011-06-29 2024-05-28 Space Charge, LLC Electrochemical energy storage devices
CN106910629A (en) * 2015-09-15 2017-06-30 Tdk株式会社 Laminated electronic component
CN106910629B (en) * 2015-09-15 2019-08-30 Tdk株式会社 Laminated electronic component
US10658705B2 (en) 2018-03-07 2020-05-19 Space Charge, LLC Thin-film solid-state energy storage devices

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