JPH11183569A - Ic testing apparatus - Google Patents
Ic testing apparatusInfo
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- JPH11183569A JPH11183569A JP9349033A JP34903397A JPH11183569A JP H11183569 A JPH11183569 A JP H11183569A JP 9349033 A JP9349033 A JP 9349033A JP 34903397 A JP34903397 A JP 34903397A JP H11183569 A JPH11183569 A JP H11183569A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、2つのデジタルフ
ァンクションユニットが異なるテストレートで動作する
ことを特徴とするIC試験装置に関し、詳しくは被試験
対象の状態が試験者の期待する状態であるか否かを判断
するためのパターンマッチ判定機能を実現するための回
路構成の改善に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC test apparatus characterized in that two digital function units operate at different test rates. More specifically, the present invention relates to an IC test apparatus in which the state of an object to be tested is a state expected by a tester. The present invention relates to an improvement in a circuit configuration for realizing a pattern match determination function for determining whether or not a pattern match is determined.
【0002】[0002]
【従来の技術】高速、大容量のメモリ、少ピンを特徴と
する第1のデジタルファンクションユニットと低速、小
容量のメモリ、多ピンを特徴とする第2のデジタルファ
ンクションユニットで構成され、2つのデジタルファン
クションユニットが異なるテストレートで動作するIC
試験装置は、液晶表示器(LCD:Liquid Crystal Dis
play)の駆動装置(以下LCDドライバとする)の試験
等において有効である。2. Description of the Related Art A first digital function unit is characterized by a high-speed, large-capacity memory and a small number of pins, and a second digital function unit is characterized by a low-speed, small-capacity memory and a large number of pins. IC where digital function unit operates at different test rates
The test equipment was a liquid crystal display (LCD).
This is effective in a test of a driving device (hereinafter, referred to as an LCD driver) of a play).
【0003】尚、このようなIC試験装置は例えば、本
願出願人が提案した特願平9−49966号に記載され
ている。[0003] Such an IC test apparatus is described, for example, in Japanese Patent Application No. 9-49966 proposed by the present applicant.
【0004】LCDドライバは、高速、少ピンの入力信
号に対して2種類の信号を出力する。それは、高速、少
ピンのインタフェース信号と、低速、多ピンのLCD駆
動用信号である。The LCD driver outputs two types of signals in response to a high-speed, few-pin input signal. They are a high-speed, low-pin interface signal and a low-speed, high-pin LCD drive signal.
【0005】図3は、この種のドライバをテストする従
来のIC試験装置の構成例である。この例では、LCD
ドライバのような、片方の出力は高速で少ピン、他方の
出力は低速で多ピンという被試験対象(DUT:Device
Under Test)2の特質に着目し、DUTの高速出力側
には入力信号を高速で処理する第1のデジタルファンク
ションユニット10を接続し、低速出力側にはDUTか
らの低速の出力信号を受け、前記第1のデジタルファン
クションユニットとは異なるテストレートで動作する第
2のデジタルファンクションユニット20を接続してい
る。FIG. 3 shows a configuration example of a conventional IC test apparatus for testing this type of driver. In this example, the LCD
One of the outputs, such as a driver, has a high speed and few pins, and the other output has a low speed and many pins (DUT: Device
Focusing on the characteristics of Under Test 2, a high-speed output side of the DUT is connected to a first digital function unit 10 that processes input signals at high speed, and a low-speed output side receives a low-speed output signal from the DUT. A second digital function unit 20 operating at a test rate different from that of the first digital function unit is connected.
【0006】高速側の第1のデジタルファンクションユ
ニット10は、DUT2へ試験用入力信号Cを発生する
と同時に高速側の出力信号であるインタフェース信号D
の良否(パス/フェイル)を判断し、低速側の第2のデ
ジタルファンクションユニット20へ高速用同期信号
(図示せず)を間引いて生成した低速用同期信号Aを出
力する。低速側の第2のデジタルファンクションユニッ
ト20は、第1のデジタルファンクションユニット10
から与えられる同期信号Aに従って、DUT2の低速側
の出力信号であるLCD出力信号Eのパス/フェイルを
判断し、フェイルと判断された場合は異常発生信号Bを
第1のデジタルファンクションユニット10へ通知す
る。The first digital function unit 10 on the high-speed side generates a test input signal C to the DUT 2 and simultaneously outputs an interface signal D which is an output signal on the high-speed side.
(Pass / fail), and outputs a low-speed synchronization signal A generated by thinning out a high-speed synchronization signal (not shown) to the second digital function unit 20 on the low-speed side. The second digital function unit 20 on the low-speed side includes the first digital function unit 10
The pass / fail of the LCD output signal E which is the output signal on the low-speed side of the DUT 2 is determined according to the synchronization signal A given by the DUT 2. I do.
【0007】以上のように、高速であるが高価なデジタ
ルファンクションユニットと低速であるが安価なデジタ
ルファンクションユニットをそれぞれの特徴を生かし、
組み合わせて使用することにより、コストパフォーマン
スの向上を図っている。As described above, a high-speed but expensive digital function unit and a low-speed but inexpensive digital function unit are utilized,
By using them in combination, cost performance is improved.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
造では、入力信号に対して出力信号が一義的に決まるタ
イプのDUTしか試験を行うことができなかった。すな
わち、入力信号に対する出力信号が一義的に決まらない
タイプのDUT(例えばマイクロプロセッサユニットを
内蔵するDUT)は、試験中に出力の状態を観測しなが
ら分岐動作をさせる必要がある。例えば、出力の状態が
ある条件に一致(不一致)したら試験開始とするような
ときである。However, in the conventional structure, only the type of DUT whose output signal is uniquely determined with respect to the input signal can be tested. That is, a type of DUT in which an output signal corresponding to an input signal is not uniquely determined (for example, a DUT having a built-in microprocessor unit) needs to perform a branch operation while observing an output state during a test. For example, when the output state matches a certain condition (mismatch), the test is started.
【0009】出力の状態による分岐動作はDUTの高速
出力信号と低速出力信号の両者の出力パターンが試験者
の期待する出力パターンと一致したか否かで判断するこ
とができる。つまり、試験者の期待する出力パターンの
期待値と高速、低速それぞれの出力信号とを比較して得
られる両者のマッチ信号をレートの違いによるタイミン
グのずれを考慮しながら比較し、両者のパターンが一致
(不一致)と判断されたら分岐(例えば試験開始)す
る。The branching operation according to the output state can be determined based on whether or not the output pattern of both the high-speed output signal and the low-speed output signal of the DUT matches the output pattern expected by the tester. In other words, the two match signals obtained by comparing the expected value of the output pattern expected by the tester with the high-speed and low-speed output signals are compared with each other taking into account the timing shift due to the difference in the rate. If it is determined that they match (unmatch), the process branches (for example, starts a test).
【0010】前記DUTがある状態(例えば試験開始可
能な)となったか否かの判定がパターンマッチ判定であ
り、ある状態となるまで待っている期間がマッチサイク
ルである。従来のIC試験装置は、このパターンマッチ
判定を実施する回路を備えていなかった。The determination as to whether or not the DUT has entered a certain state (for example, a test can be started) is a pattern match determination, and the period during which the DUT waits until it reaches a certain state is a match cycle. The conventional IC test apparatus does not include a circuit for performing the pattern match determination.
【0011】このため、従来のIC試験装置では前記M
PUを内蔵するDUT(代表的なものに、CPU、CG
等を内蔵したLCDドライバがある。)の試験に対応で
きないという課題があった。For this reason, in the conventional IC test apparatus, the M
DUT with built-in PU (typically CPU, CG
There is an LCD driver which incorporates the above. There was a problem that it was not possible to cope with the test of ()).
【0012】本発明は、上記課題を解決するもので、2
つのデジタルファンクションユニットが異なるテストレ
ートで動作するIC試験装置においてパターンマッチ判
定が可能なIC試験装置を提供することを目的とする。The present invention solves the above-mentioned problem, and
An object of the present invention is to provide an IC test apparatus in which two digital function units can operate at different test rates and perform pattern match determination.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために請求項1に記載した発明では、テストレートの
異なるデジタルファンクションユニットからそれぞれ通
知されるマッチ信号のタイミングのずれを補正するため
のレート調整回路を設けた。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a method for correcting a timing difference between match signals notified from digital function units having different test rates. A rate adjustment circuit is provided.
【0014】請求項1に記載した発明では、前記レート
調整回路を設けることにより、高速、低速のデジタルフ
ァンクションユニットのマッチ信号のずれが補正され、
従来、不可能であったパターンマッチ判定が可能とな
る。また、従来実施していたパス/フェイル判定の回路
構成に僅かの改造でパターンマッチ判定の機能を附加で
きるため大幅なコストパフォーマンスの改善となる。According to the first aspect of the present invention, by providing the rate adjusting circuit, the shift of the match signal of the high-speed and low-speed digital function units is corrected,
This makes it possible to make a pattern match determination that was not possible conventionally. Further, a function of a pattern match determination can be added with a slight modification to the circuit configuration of the pass / failure determination which has been conventionally performed, so that the cost performance is greatly improved.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係るIC試験装置の一実施例
を示す構成図である。第1のデジタルファンクションユ
ニット10aは、DUT30の高速側の出力パターンの
期待値を記憶する期待値メモリ12と、DUTの高速出
力信号zと前記高速側の出力パターンの期待値とを比較
するデジタルコンパレータ14と、その比較動作の実行
タイミング信号を発生するタイミングジェネレータ13
と、前記デジタルコンパレータ14で期待値と出力信号
との間に不一致が発生した場合、そのフェイル情報を記
憶するフェイルメモリ15を搭載している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of an IC test apparatus according to the present invention. The first digital function unit 10a includes an expected value memory 12 for storing an expected value of an output pattern on the high-speed side of the DUT 30, and a digital comparator for comparing the high-speed output signal z of the DUT with the expected value of the output pattern on the high-speed side. And a timing generator 13 for generating an execution timing signal for the comparison operation.
If the digital comparator 14 does not match the expected value with the output signal, a fail memory 15 for storing the fail information is provided.
【0016】更に、 DUT30の低速側の出力パター
ンの期待値を記憶するパターンメモリ16と低速出力側
のデジタルコンパレータ24の比較動作の実行タイミン
グ信号を発生するタイミングジェネレータ17と第1の
デジタルファンクションユニット10aおよび第2のデ
ジタルファンクションユニット20a両者を総括的に管
理するデジタルファンクションコントローラ11と、高
速側のマッチ信号bとレート調整回路の出力信号fを比
較しパターンマッチ判定信号gを出力するマッチ判定回
路18を搭載している。Further, a pattern memory 16 for storing an expected value of an output pattern on the low-speed side of the DUT 30, a timing generator 17 for generating a timing signal for executing a comparison operation of the digital comparator 24 on the low-speed output side, and a first digital function unit 10a And a digital function controller 11 that comprehensively manages both the second digital function unit 20a and a match determination circuit 18 that compares a match signal b on the high-speed side with an output signal f of the rate adjustment circuit and outputs a pattern match determination signal g. It is equipped with.
【0017】第2のデジタルファンクションユニット2
0aは、前記パターンメモリ16に記憶されたDUT3
0の低速側の出力パターンの期待値とDUT30の低速
出力信号yとを比較するデジタルコンパレータ24と、
そのフェイル情報を記憶するフェイルメモリ25を搭載
している。また、第2のデジタルファンクションユニッ
ト20a内の各部を制御するためのスレーブコントロー
ラ21および低速レートで動作するデジタルコンパレー
タ24より出力されるマッチ信号eと高速レートで動作
するマッチ判定回路8とのレート調整を実施するレート
調整回路26を搭載している。Second digital function unit 2
0a is the DUT3 stored in the pattern memory 16.
A digital comparator 24 for comparing the expected value of the output pattern on the low-speed side of 0 with the low-speed output signal y of the DUT 30;
A fail memory 25 for storing the fail information is mounted. Further, the rate adjustment between the match signal e output from the slave controller 21 for controlling each unit in the second digital function unit 20a and the digital comparator 24 operating at a low rate and the match determination circuit 8 operating at a high rate. Is carried.
【0018】第1のデジタルファンクションコントロー
ラ11から出力される試験用入力信号xはDUT30の
入力端子に接続される。DUT30の高速出力信号zは
高速レートで動作するデジタルコンパレータ14に接続
され、低速出力信号yは低速レートで動作するデジタル
コンパレータ24に接続されている。A test input signal x output from the first digital function controller 11 is connected to an input terminal of the DUT 30. The high-speed output signal z of the DUT 30 is connected to a digital comparator 14 operating at a high rate, and the low-speed output signal y is connected to a digital comparator 24 operating at a low rate.
【0019】以上の構成によるIC試験装置の動作を図
2のタイムチャートを参照して次に説明する。第2のデ
ジタルファンクションユニット20aの同期信号d(低
速レート)は、第1のデジタルファンクションユニット
の同期信号a(高速レート)を間引いて作成されたもの
である。The operation of the IC test apparatus having the above configuration will now be described with reference to the time chart of FIG. The synchronization signal d (low speed rate) of the second digital function unit 20a is created by thinning out the synchronization signal a (high speed rate) of the first digital function unit.
【0020】第1のデジタルファンクションユニットの
マッチ信号bは、高速レートの第1のデジタルファンク
ションユニットの同期信号aの立ち上がり時に更新さ
れ、第2のデジタルファンクションユニットのマッチ信
号eは、低速レートの第2のデジタルファンクションユ
ニットの同期信号dの立ち上がり時に更新される。パタ
ーンマッチ判定は、第1、第2のデジタルファンクショ
ンユニットのマッチ信号が、両者共に“1”の時がマッ
チ、両者のどちらかが“0”、または両者共に“0”の
ときがアンマッチとして判定され、これは、第1のデジ
タルファンクションユニットの同期信号aの立ち上がり
時に実施される。The match signal b of the first digital function unit is updated at the rising edge of the synchronizing signal a of the first digital function unit at the high rate, and the match signal e of the second digital function unit is updated at the time of the low rate. It is updated when the synchronization signal d of the second digital function unit rises. The pattern match is determined as a match when the match signals of the first and second digital function units are both “1”, and is determined as an unmatch when either one is “0” or both are “0”. This is performed at the rising edge of the synchronization signal a of the first digital function unit.
【0021】つぎに、第1のデジタルファンクションユ
ニットのマッチ信号bと、第2のデジタルファンクショ
ンユニットのマッチ信号eを注視すると、図中、レート
No.2、4,5,8,10に、第2のデジタルファン
クションユニットの同期信号dが入力されていないた
め、第2のデジタルファンクションユニットのマッチ信
号eが、前回値をそのまま保持している個所がある。こ
れは、低速レート側である第2のデジタルファンクショ
ンユニット20aのマッチ判定が、レート調整のためス
キップされたことを表わす。この個所のパターンマッチ
判定は、第1のデジタルファンクションユニットのマッ
チ信号bのみで行うべきであり、第2のデジタルファン
クションユニットのマッチ信号eは除外しなければなら
ない。これを実施する目的で設けられた回路が、レート
調整回路26である。Next, when the match signal “b” of the first digital function unit and the match signal “e” of the second digital function unit are closely watched, the rate No. in FIG. Since the synchronization signal d of the second digital function unit is not input to 2, 4, 5, 8, and 10, there is a point where the match signal e of the second digital function unit retains the previous value as it is. is there. This indicates that the match determination of the second digital function unit 20a on the low-rate side has been skipped due to rate adjustment. The pattern match determination at this point should be performed only with the match signal b of the first digital function unit, and the match signal e of the second digital function unit must be excluded. A circuit provided for the purpose of implementing this is the rate adjusting circuit 26.
【0022】レート調整回路26は、第2のデジタルフ
ァンクションユニットのマッチ信号eを入力とし、これ
に、第2のデジタルファンクションユニットの同期信号
dが入力されていないレート(レートNo.2、4,
5,8,10)においては、すべて、マッチ状態とした
信号を出力する。すなわち、第2のデジタルファンクシ
ョンユニットの同期信号dが、スキップされた場合、レ
ート調整回路26はレート調整回路の出力信号fを
“1”として出力するため、見かけ上、マッチ判定回路
8は、第1のデジタルファンクションユニットのマッチ
信号bのみでパターンマッチ判定を実施するため、正常
なパターンマッチ判定信号gを出力できる。The rate adjusting circuit 26 receives the match signal e of the second digital function unit as an input, and the rate at which the synchronization signal d of the second digital function unit is not input (rate Nos. 2, 4 and 4).
5, 8, 10) all output signals in a matched state. That is, when the synchronization signal d of the second digital function unit is skipped, the rate adjustment circuit 26 outputs the output signal f of the rate adjustment circuit as “1”. Since the pattern match determination is performed only with the match signal b of one digital function unit, a normal pattern match determination signal g can be output.
【0023】レート調整回路26はマッチサイクルイネ
ーブル信号cが“1”の時は前記のような動作を行い
“0”の時は第2のデジタルファンクションユニットの
マッチ信号eをそのまま出力する。これにより、DUT
がマッチサイクルの間はマッチサイクルイネーブル信号
を“1”とすることでパターンマッチ判定信号gを検出
し、マッチサイクルイネーブル信号を“0”とすること
でパターンマッチ判定信号gをパス/フェイル信号とし
て用いることができる。The rate adjusting circuit 26 operates as described above when the match cycle enable signal c is "1", and outputs the match signal e of the second digital function unit as it is when it is "0". With this, the DUT
During the match cycle, the pattern match determination signal g is detected by setting the match cycle enable signal to "1", and the pattern match determination signal g is set to the pass / fail signal by setting the match cycle enable signal to "0". Can be used.
【0024】このような構成により、2つのデジタルフ
ァンクションユニットが異なるテストレートで動作する
IC試験装置において、2つのデジタルファンクション
ユニットのパターンマッチ判定とパス/フェイル判定が
可能となる。With such a configuration, in an IC test apparatus in which two digital function units operate at different test rates, pattern match judgment and pass / fail judgment of the two digital function units can be performed.
【0025】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。It should be noted that the foregoing description has been directed to specific preferred embodiments for the purpose of illustration and illustration of the invention. Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many more modifications without departing from the spirit thereof.
This includes deformation.
【0026】[0026]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果がある。請求項1に記載した発明では、2
つのデジタルファンクションユニットが異なるテストレ
ートで動作するIC試験装置において、低速レートで動
作するデジタルコンパレータより出力されるマッチ信号
と高速レートで動作するデジタルコンパレータより出力
されるマッチ信号とのレート調整を実施するレート調整
回路を搭載したことによりパターンマッチ判定が可能と
なる。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. In the invention described in claim 1, 2
In an IC test apparatus in which two digital function units operate at different test rates, the rate of a match signal output from a digital comparator operating at a low rate and a match signal output from a digital comparator operating at a high rate are adjusted. The inclusion of the rate adjustment circuit enables pattern match determination.
【0027】請求項2に記載した発明では、従来のIC
テスト装置に、マッチ判定回路を設ける等の僅かの改造
でパターンマッチ判定が容易に実現できる。請求項3に
記載した発明では、パターンマッチ判定とパス/フェイ
ル判定を同一回路で実現可能なため安価でシンプルな回
路構成を実現できる。請求項4に記載した発明では、期
待値を予め個別に設定できる構成としたので効率的な試
験を実現できる。According to the invention described in claim 2, the conventional IC
The pattern match determination can be easily realized by a slight modification such as providing a match determination circuit in the test apparatus. According to the third aspect of the present invention, since the pattern match determination and the pass / fail determination can be realized by the same circuit, an inexpensive and simple circuit configuration can be realized. According to the fourth aspect of the present invention, an expected value can be individually set in advance, so that an efficient test can be realized.
【図1】本発明に係るIC試験装置の一実施例を示す構
成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of an IC test apparatus according to the present invention.
【図2】本発明に係るIC試験装置のタイムチャートで
ある。FIG. 2 is a time chart of the IC test apparatus according to the present invention.
【図3】従来のIC試験装置の一例を示す構成図であ
る。FIG. 3 is a configuration diagram illustrating an example of a conventional IC test apparatus.
10a 第1のデジタルファンクションユニット 11 デジタルファンクションコントローラ 12 第1のデジタルファンクションユニットの期待値
メモリ 13 第1のデジタルファンクションユニットのタイミ
ングジェネレータ 14 第1のデジタルファンクションユニットのデジタ
ルコンパレータ 15 第1のデジタルファンクションユニットのフェイ
ルメモリ 16 第2のデジタルファンクションユニットのパター
ンメモリ 17 第2のデジタルファンクションユニットのタイミ
ングジェネレータ 18 マッチ判定回路 20a 第2のデジタルファンクションユニット 21 スレーブコントローラ 22 第2のデジタルファンクションユニットの期待値
メモリ 24 第2のデジタルファンクションユニットのデジタ
ルコンパレータ 25 第2のデジタルファンクションユニットのフェイ
ルメモリ 26 レート調整回路10a first digital function unit 11 digital function controller 12 expected value memory of first digital function unit 13 timing generator of first digital function unit 14 digital comparator of first digital function unit 15 of first digital function unit Fail memory 16 Pattern memory of the second digital function unit 17 Timing generator of the second digital function unit 18 Match determination circuit 20a Second digital function unit 21 Slave controller 22 Expected value memory of the second digital function unit 24 Second Digital function unit of the digital comparator 25 Fail memory 26 rate adjusting circuit tal functional units
Claims (4)
号と低速出力信号の2種類の出力信号を持つマイクロプ
ロセッサを搭載した被試験対象を試験するために、前記
被試験対象に試験用入力信号を与えると同時に高速出力
信号を試験する第1のデジタルファンクションユニット
と、前記被試験対象の低速出力信号を受け前記第1のデ
ジタルファンクションユニットとは異なるテストレート
で動作する第2のデジタルファンクションユニットを備
え、前記2つのデジタルファンクションユニットはそれ
ぞれの出力信号を期待値と比較し一致/不一致を示すマ
ッチ信号が得られるように構成されたIC試験装置にお
いて、前記2つのデジタルファンクションユニットで得
られたマッチ信号のタイミングのずれを補正するレート
調整回路を備えたことを特徴とするIC試験装置。1. A test input device for testing a device under test equipped with a microprocessor having two types of output signals, a high-speed output signal and a low-speed output signal, for one high-speed input signal. A first digital function unit for providing a signal and simultaneously testing a high-speed output signal, and a second digital function unit for receiving the low-speed output signal of the device under test and operating at a test rate different from that of the first digital function unit Wherein the two digital function units are configured to compare respective output signals with expected values to obtain a match signal indicating match / mismatch. Equipped with a rate adjustment circuit to correct the timing deviation of the match signal IC test equipment according to claim and.
ト側で得たマッチ信号と前記レート調整回路を介して得
られる第2のデジタルファンクションユニット側のマッ
チ信号とからパターンマッチ判定信号のマッチ/アンマ
ッチを判定するマッチ判定回路を備えたことを特徴とす
る請求項1記載のIC試験装置。2. A match / unmatch determination of a pattern match determination signal based on a match signal obtained on the first digital function unit side and a match signal on the second digital function unit side obtained via the rate adjusting circuit. 2. The IC test apparatus according to claim 1, further comprising a match determination circuit that performs a match determination.
ことによりパターンマッチ判定信号とパス/フェイル信
号の両者を検出可能としたことを特徴とする請求項1記
載のIC試験装置。3. The IC test apparatus according to claim 1, wherein said rate adjusting circuit can detect both a pattern match judgment signal and a pass / fail signal by switching its operation.
ァンクションユニット内で予め個別に設定できるように
構成したことを特徴とする請求項1記載のIC試験装
置。4. The IC test apparatus according to claim 1, wherein said expected value can be individually set in advance in said first and second digital function units.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34903397A JP3554766B2 (en) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | IC test equipment |
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JP34903397A JP3554766B2 (en) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | IC test equipment |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH11183569A true JPH11183569A (en) | 1999-07-09 |
JP3554766B2 JP3554766B2 (en) | 2004-08-18 |
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ID=18401045
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP34903397A Expired - Fee Related JP3554766B2 (en) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | IC test equipment |
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---|---|
JP (1) | JP3554766B2 (en) |
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JP2006071288A (en) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Yokogawa Electric Corp | Ic tester |
KR100921222B1 (en) | 2007-10-24 | 2009-10-12 | 주식회사 아이티엔티 | semiconductor test header apparatus |
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