JPH11174334A - 共焦点顕微鏡装置 - Google Patents

共焦点顕微鏡装置

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JPH11174334A
JPH11174334A JP9342538A JP34253897A JPH11174334A JP H11174334 A JPH11174334 A JP H11174334A JP 9342538 A JP9342538 A JP 9342538A JP 34253897 A JP34253897 A JP 34253897A JP H11174334 A JPH11174334 A JP H11174334A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】光軸方向の走査を高速に行い、リアルタイム３
次元表示を容易に行うことのできる共焦点顕微鏡装置を
実現する。 【解決手段】共焦点スキャナにより光ビームで試料面を
走査し試料のスライス像を得ることのできる共焦点顕微
鏡装置において、前記スライス像を撮像装置で撮影する
際または前記スライス像を直接肉眼により観察する際の
１画像積算時間よりも速く対物レンズを光軸方向に走査
する対物レンズ移動機構を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点顕微鏡を用
いて被試験対象物の３次元表示を行う共焦点顕微鏡装置
に関し、更に詳しくは、高分解能と深い焦点深度を高速
でリアルタイムに実現し、リアルタイム３次元表示を光
学的に行うための改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の共焦点顕微鏡装置の一例
を図７に示す。光学顕微鏡１０に搭載された共焦点スキ
ャナ２０により試料１１の像をとらえ、この像をカメラ
３０で撮影する。共焦点スキャナ２０にはレーザ発生器
５０より発生したレーザ光が供給されている。
【０００３】カメラ３０の出力信号はコンバータ４０に
よりデジタル信号に変換され、コンピュータ６０の記憶
手段（図示せず）に格納される。
【０００４】光学顕微鏡１０において、試料１１を搭載
するステージ１２は、移動機構１３（図では煩雑さを避
けるために光学顕微鏡１から分離して描いてある）によ
り光軸方向（Ｚ軸方向）に移動可能になっており、その
移動機構１３はパルスモータ（図示せず）を用いてステ
ージ１２の回転ノブ（図示せず）を回すことによりステ
ージ１２をＺ軸方向に移動するように構成されている。
【０００５】さて、共焦点スキャナ２０により光軸に直
角な方向（ＸＹ軸方向）に光走査すると、試料１１のス
ライス像が得られる。このとき、移動機構１３によりス
テージ１２をＺ軸方向に少しずつ移動させて多数のスラ
イス像を採取し、その後コンピュータ６０で再構築する
ことにより試料１１の３次元画像を得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような構成の共焦点顕微鏡装置では次のような課題があ
った。 (1) 移動機構１３がパルスモータ駆動のために生ずる課
題 ステージ１２全体を上下させるが、重量が大きく慣性
も大きいため高速では移動できず、時間もかかる。 正確でない。すなわち、ステージ１２の回転ノブをパ
ルスモータで回すため、脱調（パルスモータが動いたつ
もりが実際には動いていない）や、回転ノブとステージ
１２を連結するラックピニオン部での動きにヒステリシ
スがあり、本当に動いたかどうか分からず移動が正確で
ない。 通常パルスモータは外形が大きく、取り付けも困難で
ある。
【０００７】(2) コンピュータ６０で３次元画像再構築
をするために生じる課題 時間がかかる。通常、１枚の画像を得るのに数分ない
し数十分かかる。 ３次元画像再構築用のソフトウェアが高価であり、ま
た操作が難しい。
【０００８】本発明の目的は、このような課題を解決す
るもので、光軸方向の走査を高速に行い、リアルタイム
３次元表示を容易に行うことのできる共焦点顕微鏡装置
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項１に記載の発明では、共焦点スキャナ
により光ビームで試料面を走査し試料のスライス像を得
ることのできる共焦点顕微鏡装置において、前記スライ
ス像を撮像装置で撮影する際または前記スライス像を直
接肉眼により観察する際の１画像積算時間よりも速く対
物レンズを光軸方向に走査する対物レンズ移動機構を具
備したことを特徴とする。
【００１０】請求項１に記載の発明では、対物レンズ移
動機構を備え、これにより対物レンズを光軸方向に走査
する。このとき、対物レンズは、撮像装置あるいは肉眼
により１画像を観察する際の１画像積算時間よりも速く
走査する。これによりリアルタイムで深い焦点深度の画
像を見ることができ、試料のリアルタイム３次元表示を
実現できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る共焦点顕微鏡装置の一実
施例を示す要部構成図である。図において、共焦点スキ
ャナ２０部分は周知の構成であり、集光ディスク２２、
ピンホールディスク２３、ビームスプリッタ２５および
レンズ２６より構成される。
【００１２】集光ディスク２２は、通常マイクロレンズ
（図示せず）が複数個配列され、ピンホールディスク２
３の各ピンホール（複数のピンホールが配列されてい
る）に光ビーム（ここではレーザ光）２１を集光するよ
うに形成されている。ピンホールディスク２３は集光デ
ィスク２２と平行に連結されており、同一軸の周りを等
速度で一体に回転できるようになっている。光軸に直角
な面（ＸＹ軸平面）で回転中のピンホールディスク２３
から出射された光は顕微鏡１０に入射し、試料１１面を
走査する。
【００１３】ビームスプリッタ２５は集光ディスク２２
とピンホールディスク２３の間に配置され、顕微鏡１０
からの戻り光を反射する。この反射光はレンズ２６を介
して撮像装置（例えばカメラ）３０の受像面に入射す
る。
【００１４】顕微鏡１０には対物レンズ移動機構１５が
設けられ、対物レンズ１４を光軸方向（Ｚ軸方向）に移
動させ得るようになっている。対物レンズ移動機構（以
下単に移動機構という）１５としては、例えばピエゾ素
子およびその駆動手段で構成することができ、外部から
の駆動信号によりピエゾ素子を駆動して対物レンズ１４
をＺ軸方向に自在に移動させることができる。
【００１５】このような構成における動作を次に説明す
る。レーザ光２１は集光ディスク２２のマイクロレンズ
によってピンホールディスク２３のピンホール２４に集
光される。ピンホール２４を通過したレーザ光は、対物
レンズ１４によりピンホールディスク２３と共役な位置
にある試料１１内の走査面１６上の集光点１７に集束す
る。
【００１６】集光ディスク２２およびピンホールディス
ク２３が回転することにより試料１１面の走査面１６上
が光走査され、試料面からの反射光は再度対物レンズ１
４とピンホールディスク２３を通過した後、ビームスプ
リッタ２５で反射し、レンズ２６によりカメラ３０の受
像面に結像する。
【００１７】このとき、対物レンズ１４は移動機構１５
によって駆動されており、駆動１周期にわたって対物レ
ンズ１４の深さ方向の位置Ｚ1，Ｚ2，Ｚ3，．．．Ｚnで
のスライス像がカメラ３０で撮影される。図２は上記の
スライス像についての説明図であり、同図（ａ）はＺ軸
方向の各スライス画像、同図（ｂ）は試料とスライス面
との関係を示す図である。なお、図２（ａ）におけるＺ
sumはＺ1，Ｚ2，Ｚ3，．．．Ｚnのスライス像を重ねあ
わせた合成画像である。なお、対物レンズ１４はカメラ
や肉眼で１画像を見る際の１画像積算時間よりも速く走
査して、各スライス像を得ている。
【００１８】ここで、カメラ３０をＮＴＳＣ（３０画／
秒）とし、対物レンズ１４をＺ1，Ｚ2，Ｚ3，．．．Ｚn
のストロークに対して３０Ｈｚで動かすとＺ1，Ｚ2，Ｚ
3，．．．Ｚnの合成画像がカメラ３０によりリアルタイ
ムで撮像できる。また、カメラ３０に代えて肉眼で覗い
てもリアルタイムで合成画像を見ることができる。
【００１９】なお、従来の非共焦点顕微鏡においても深
い焦点深度は可能であるが、全体に不明瞭なボケた画像
しか得られない。共焦点顕微鏡では全体にピントのあっ
た明瞭な画像（スライス像）が得られる利点がある。ま
た、共焦点顕微鏡ではスライス像しか見えないため、は
じめに位置を決める段階では非共焦点像で全体を見た後
共焦点に光学的に切換えるようにしていたが、本発明に
おける位置決めでは移動機構１５の動作／停止を制御す
る電気信号の切換えのみで済むという利点がある。
【００２０】なお、対物レンズ１４の動きは図３に示す
ように１周期（時間ｔ）で１往復（対物レンズの振れ幅
ａ）するため、換言すれば１周期で２枚の合成画像が得
られるため、１５Ｈｚで対物レンズ１４を動かすように
しても実質上問題はない。一般に、走査時間は画像積算
時間の整数倍として差し支えない。
【００２１】また、ピンホールディスク２３から対物レ
ンズ１４までの間にチューブレンズを挿入し、対物レン
ズを上下に移動しても常に対物レンズ１４の焦点位置に
ビームが集束するようにしておいて何ら差し支えない。
【００２２】更に、上記動作に同期してステージ１２
（図６参照）を光軸と直角な方向（横方向）に動かせ
ば、試料１１を斜めから見た積算像が得られる。図４の
（ａ）〜（ｃ）はスライス像、同図（ｄ）は試料の外観
図である。図４（ａ）はステージ１２を初期位置に固定
にして真上から（図４（ｄ）のＤ１方向から）見たとき
のスライス像、同図（ｂ）はステージ１２を右方へ移動
させながら見たとき（図４（ｄ）のＤ２方向から見たと
き）のスライス像、同図（ｃ）はステージ１２を左方へ
移動させながら見たとき（同図（ｄ）のＤ３方向から見
たとき）のスライス像である。
【００２３】このようにステージ１２を横に走査させる
ことにより試料１１を斜めから見た画像をリアルタイム
で得ることができる。ここで、上記Ｚ方向走査を３０Ｈ
ｚ、図４の（ａ）〜（ｃ）への変化を例えば１Ｈｚ程度
で行うと、あたかも試料１１がゆっくりと左右に振れた
ように見え、動的立体視により立体感が得られる。な
お、上記横方向へ移動させる対象は試料１１に限定され
ない。対物レンズ、チューブレンズ、共焦点スキャナ、
カメラのいずれを横移動させても上記と同様の結果が得
られる。要するに、試料と撮像装置の横方向の相対位置
を変化させれば上記の結果が得られる。
【００２４】また、レーザ光の強度あるいはカメラ３０
の感度を制御し得る制御機構を設け、Ｚ軸方向移動に応
じてレーザ光の強度あるいはカメラ３０の感度を増減す
るようにしてもよい。このような制御機構により、図５
（ａ）に示すようにピエゾ素子の駆動電圧の増加に連れ
て、換言すれば試料１１に対する共焦点平面位置の深さ
（これを試料深さと呼ぶ）が深くなるに連れてレーザ光
の強度あるいはカメラ３０の感度を大きくするか、また
は図５（ｂ）に示すように試料深さが浅くなるに従って
レーザ光の強度あるいはカメラ３０の感度が小さくなる
ようにしてもよい。
【００２５】図６（ａ）は図５（ａ）のような制御の場
合に得られるスライス像、図６（ｂ）は図５（ｂ）のよ
うな制御の場合に得られるスライス像をそれぞれ概念的
に表わしたものである。図６では、レーザ光の強度ある
いはカメラ３０の感度と実線の太さを対応させて示して
ある。手前を明るく奥を暗くすることによって人間は立
体感を感じるため、上記のようにすることにより立体感
のある画像表示を容易に得ることができる。
【００２６】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
ような効果がある。請求項１に記載の発明によれば、光
軸方向に１画像積算時間と同等以上の速度で対物レンズ
を走査することにより、リアルタイムで深い焦点深度の
画像が容易に得られる。
【００２８】請求項２または４に記載の発明によれば、
対物レンズの走査時間を１画像積算時間の整数倍とする
ことによりフレームずれのない画像を容易に得ることが
できる。
【００２９】請求項３に記載の発明によれば、光軸方向
に１画像積算時間と同等以上の速度で対物レンズを走査
すると共に、対物レンズの光軸方向走査と同期して試料
と撮像装置の相対位置を光軸と直角な方向に走査するこ
とにより、試料の動的立体視ができ、立体感のある画像
が得られる。
【００３０】請求項５に記載の発明によれば、１画像積
算時間よりも速く対物レンズを光軸方向に走査すると共
に、共焦点平面位置に応じて前記光ビーム強度または撮
像装置の感度を増加または減少させることにより、前後
関係を持った立体感のある画像が得られるので深さ方向
で異なる反応をしている試料の共焦点画像をリアルタイ
ムで測定できるばかりでなく、観測目標が深さ方向に移
動する場合でも共焦点画像取り込み範囲内であれば常に
動向を把握できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る共焦点顕微鏡装置の一実施例を
示す要部構成図である。
【図２】 スライス像についての説明図である。
【図３】 対物レンズの動きの一例を示す図である。
【図４】 ステージを横移動させた場合の説明図であ
る。
【図５】 レーザ光の強度あるいはカメラの感度の制御
態様を示す図である。
【図６】 図５の制御態様に対応したスライス像の概念
図である。
【図７】 従来の共焦点顕微鏡装置の一例を示す構成図
である。
【符号の説明】
１０ 顕微鏡 １１ 試料 １２ ステージ １４ 対物レンズ １５ 対物レンズ移動機構 １６ 走査面 １７ 集光点 ２０ 共焦点スキャナ ２１ レーザ光 ２２ 集光ディスク ２３ ピンホールディスク ２４ ピンホール ２５ ビームスプリッタ ２６ レンズ ３０ カメラ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】共焦点スキャナにより光ビームで試料面を
    走査し試料のスライス像を得ることのできる共焦点顕微
    鏡装置において、 前記スライス像を撮像装置で撮影する際または前記スラ
    イス像を直接肉眼により観察する際の１画像積算時間よ
    りも速く対物レンズを光軸方向に走査する対物レンズ移
    動機構を具備したことを特徴とする共焦点顕微鏡装置。
  2. 【請求項２】前記対物レンズの移動機構は、前記対物レ
    ンズの走査時間を画像積算時間の整数倍としたことを特
    徴とする請求項１記載の共焦点顕微鏡装置。
  3. 【請求項３】共焦点スキャナにより光ビームで試料面を
    走査し試料のスライス像を得ることのできる共焦点顕微
    鏡装置において、 前記スライス像を撮像装置で撮影する際または前記スラ
    イス像を直接肉眼により観察する際の１画像積算時間よ
    りも速く対物レンズを光軸方向に走査する対物レンズ移
    動機構と、 前記対物レンズ移動機構による光軸方向走査と同期して
    前記試料と撮像装置の相対位置を光軸と直角な方向に走
    査する横方向走査手段を具備したことを特徴とする共焦
    点顕微鏡装置。
  4. 【請求項４】前記対物レンズの移動機構は、前記対物レ
    ンズの走査時間を画像積算時間の整数倍としたことを特
    徴とする請求項３記載の共焦点顕微鏡装置。
  5. 【請求項５】共焦点スキャナにより光ビームで試料面を
    走査し試料のスライス像を得ることのできる共焦点顕微
    鏡装置において、 前記スライス像を撮像装置で撮影する際または前記スラ
    イス像を直接肉眼で観察する際の１画像積算時間よりも
    速く対物レンズを光軸方向に走査する対物レンズ移動機
    構と、 前記光軸方向に走査するときの共焦点平面位置に応じて
    前記光ビーム強度または撮像装置の感度を増加または減
    少させる制御手段を具備したことを特徴とする共焦点顕
    微鏡装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001027728A (ja) * 1999-07-15 2001-01-30 Yokogawa Electric Corp 共焦点光スキャナ
WO2003023482A1 (de) * 2001-09-11 2003-03-20 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren und vorrichtung zur optischen untersuchung eines objektes
JP2007139884A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 Olympus Corp 共焦点走査型顕微鏡
JP2007529731A (ja) * 2004-03-19 2007-10-25 シロナ・デンタル・システムズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 共焦点顕微鏡法の原理に基づく測定装置および方法
JP2010066575A (ja) * 2008-09-11 2010-03-25 Yokogawa Electric Corp 共焦点光スキャナ

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6734962B2 (en) * 2000-10-13 2004-05-11 Chemimage Corporation Near infrared chemical imaging microscope
GB2373945A (en) * 2001-03-29 2002-10-02 Isis Innovation Stereo microscopy
US7756357B2 (en) * 2003-07-01 2010-07-13 Olympus Corporation Microscope system for obtaining high and low magnification images
JP2005275199A (ja) * 2004-03-26 2005-10-06 Yokogawa Electric Corp ３次元共焦点顕微鏡システム
US7046359B2 (en) * 2004-06-30 2006-05-16 Chemimage Corporation System and method for dynamic chemical imaging
US20060098194A1 (en) * 2004-11-08 2006-05-11 David Tuschel Method and apparatus for determining change in an attribute of a sample during nucleation, aggregation, or chemical interaction
US7580126B2 (en) * 2004-06-30 2009-08-25 Chemimage Corp. Method and apparatus for producing a streaming Raman image of nucleation, aggregation, and chemical interaction
US7394542B2 (en) 2004-08-18 2008-07-01 Chemimage Corporation Method and apparatus for chemical imaging in a microfluidic circuit
DE102004059526B4 (de) * 2004-12-09 2012-03-08 Sirona Dental Systems Gmbh Vermessungseinrichtung und Verfahren nach dem Grundprinzip der konfokalen Mikroskopie
EP1970668A1 (de) * 2007-03-14 2008-09-17 Alicona Imaging GmbH Verfahren und Apparat zur optischen Messung der Topografie einer Probe
US8275226B2 (en) 2008-12-09 2012-09-25 Spectral Applied Research Ltd. Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope
US8254023B2 (en) * 2009-02-23 2012-08-28 Visiongate, Inc. Optical tomography system with high-speed scanner
EP2510395B1 (en) * 2009-12-08 2015-09-09 Spectral Applied Research Inc. Imaging distal end of multimode fiber
US9606343B2 (en) 2011-05-06 2017-03-28 Visitech International Ltd Enhancing spatial resolution utilizing multibeam confocal scanning systems
JP2013058956A (ja) * 2011-09-09 2013-03-28 Sony Corp 情報処理装置、情報処理方法、プログラム及び情報処理システム
DE102015112960B3 (de) 2015-08-06 2016-10-20 Till I.D. Gmbh Vorrichtung für die konfokale Beleuchtung einer Probe
CN109307481B (zh) * 2018-11-13 2020-02-04 北京理工大学 高速传感共焦显微测量方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4863252A (en) * 1988-02-11 1989-09-05 Tracor Northern, Inc. Objective lens positioning system for confocal tandem scanning reflected light microscope
JPH03134607A (ja) * 1989-10-20 1991-06-07 Fuji Photo Film Co Ltd 共焦点走査型顕微鏡
WO1998041158A1 (en) * 1997-03-19 1998-09-24 Lucid Technologies, Inc. Cellular surgery utilizing confocal microscopy

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001027728A (ja) * 1999-07-15 2001-01-30 Yokogawa Electric Corp 共焦点光スキャナ
WO2003023482A1 (de) * 2001-09-11 2003-03-20 Leica Microsystems Wetzlar Gmbh Verfahren und vorrichtung zur optischen untersuchung eines objektes
US7495778B2 (en) 2001-09-11 2009-02-24 Leica Microsystems Cms Gmbh Method and device for optically examining an object
JP2007529731A (ja) * 2004-03-19 2007-10-25 シロナ・デンタル・システムズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 共焦点顕微鏡法の原理に基づく測定装置および方法
JP4823212B2 (ja) * 2004-03-19 2011-11-24 シロナ・デンタル・システムズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 共焦点顕微鏡法の原理に基づく測定装置および方法
JP2007139884A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 Olympus Corp 共焦点走査型顕微鏡
JP2010066575A (ja) * 2008-09-11 2010-03-25 Yokogawa Electric Corp 共焦点光スキャナ

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