JPH1116765A - Internal electrode paste and laminated ceramic capacitor - Google Patents
Internal electrode paste and laminated ceramic capacitorInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話、VT
R、カメラ、パソコン等の電子機器に使用される内部電
極ペーストおよび積層セラミックコンデンサに関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a portable telephone, a VT
The present invention relates to an internal electrode paste and a multilayer ceramic capacitor used for electronic devices such as a camera, a camera, and a personal computer.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、積層セラミックコンデンサは、
先ず、ドクターブレード法等で得たセラミックグリーン
シートに、内部電極ペーストをスクリーン印刷法により
印刷する。次に、これらを積層し圧着した後、このセラ
ミックグリーンシートと内部電極ペースト層からなる圧
着体を同時に焼成し、その後、外部電極を形成して作製
される。2. Description of the Related Art In general, a multilayer ceramic capacitor is
First, an internal electrode paste is printed by a screen printing method on a ceramic green sheet obtained by a doctor blade method or the like. Next, after laminating and pressing, a pressed body composed of the ceramic green sheet and the internal electrode paste layer is simultaneously fired, and thereafter, an external electrode is formed.
【0003】そして、内部電極ペーストとしては、P
t、Pd、Au、Ag等の貴金属粉末をエチルセルロー
ス樹脂等のバインダ及び溶剤を含有する有機ビヒクルに
添加し分散させたものが用いられている。The internal electrode paste is P
Noble metal powders such as t, Pd, Au, and Ag are added to and dispersed in an organic vehicle containing a binder such as ethyl cellulose resin and a solvent.
【0004】しかしながら、上記内部電極ペーストで
は、焼成収縮する温度がセラミック粉末(セラミックグ
リーンシート)に比較して低い。また、焼成収縮率がセ
ラミック粉末(セラミックグリーンシート)に比較して
大きい。従って、内部電極ペースト層とセラミックグリ
ーンシートを同時に焼成して積層セラミックコンデンサ
を得る場合、焼成中に内部電極層と誘電体層間で歪みが
生じて、デラミネーションが発生しやすいという問題点
を有していた。[0004] However, the internal electrode paste has a lower firing shrink temperature than ceramic powder (ceramic green sheet). Further, the firing shrinkage is higher than that of ceramic powder (ceramic green sheet). Therefore, when a multilayer ceramic capacitor is obtained by simultaneously firing the internal electrode paste layer and the ceramic green sheet, there is a problem that during firing, distortion occurs between the internal electrode layer and the dielectric layer, and delamination easily occurs. I was
【0005】そこで、従来、内部電極ペースト層とセラ
ミックグリーンシートを同時に焼成するときに発生する
歪みを緩和するために、内部電極ペースト中にセラミッ
クグリーンシートと同じ系の材料のセラミック粉末を添
加することにより、材料間の収縮率の差を無くすことが
試みられてきた(特開平8−78267号公報)。Therefore, conventionally, in order to alleviate the distortion generated when the internal electrode paste layer and the ceramic green sheet are simultaneously fired, ceramic powder of the same material as the ceramic green sheet is added to the internal electrode paste. Thus, an attempt has been made to eliminate the difference in the shrinkage ratio between materials (Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-78267).
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、最近の
積層セラミックコンデンサの小型化、大容量化により、
積層セラミックコンデンサの誘電体層厚みの薄層化、多
積層化に伴い、焼成収縮率の差による応力は増大する傾
向にあり、内部電極ペースト中にセラミックグリーンシ
ートと同じ系の材料のセラミック粉末を添加した上記方
法であっても、デラミネーションの発生を防止するには
不十分であった。However, due to recent miniaturization and large capacity of multilayer ceramic capacitors,
As the thickness of the dielectric layer of the multilayer ceramic capacitor is reduced and the number of layers is increased, the stress due to the difference in firing shrinkage tends to increase, and ceramic powder of the same material as the ceramic green sheet is contained in the internal electrode paste. Even the method described above was insufficient to prevent the occurrence of delamination.
【0007】本発明は、焼成時のデラミネーションの発
生を防止できる内部電極ペーストおよび積層セラミック
コンデンサを提供することを目的とする。An object of the present invention is to provide an internal electrode paste and a multilayer ceramic capacitor which can prevent the occurrence of delamination during firing.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の内部電極ペース
トは、Pt、Pd、AuおよびAgのうち少なくとも1
種の貴金属粉末と、該貴金属粉末100体積部に対して
鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末を9〜22体積部と、
前記貴金属粉末100体積部に対してAl2 O3 粉末を
2〜16体積部とを含有するものである。ここで、鉛系
ペロブスカイト型酸化物粉末がPb(Mg1/3 N
b2/3 )O3 粉末であることが望ましい。The internal electrode paste of the present invention comprises at least one of Pt, Pd, Au and Ag.
Seed noble metal powder, 9 to 22 parts by volume of a lead-based perovskite oxide powder with respect to 100 parts by volume of the noble metal powder,
It contains 2 to 16 parts by volume of Al 2 O 3 powder based on 100 parts by volume of the noble metal powder. Here, the lead-based perovskite oxide powder is composed of Pb (Mg 1/3 N
b 2/3 ) O 3 powder is desirable.
【0009】また、本発明の積層セラミックコンデンサ
は、複数の誘電体層と複数の内部電極層とを交互に積層
してなる積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電
体層が鉛系ペロブスカイト型酸化物からなるとともに、
前記内部電極層が、Pt、Pd、AuおよびAgのうち
少なくとも一種の貴金属と、該貴金属100体積部に対
して鉛系ペロブスカイト型酸化物を9〜22体積部と、
前記貴金属100体積部に対してAl2 O3 を2〜16
体積部とを含有するもので、内部電極層における鉛系ペ
ロブスカイト型酸化物がPb(Mg1/3 Nb2/3 )O3
であることが望ましい。Further, the multilayer ceramic capacitor of the present invention is a multilayer ceramic capacitor in which a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers are alternately laminated, wherein the dielectric layer is made of a lead-based perovskite oxide. With
The internal electrode layer includes at least one noble metal of Pt, Pd, Au, and Ag, and 9 to 22 parts by volume of a lead-based perovskite oxide with respect to 100 parts by volume of the noble metal.
Al 2 O 3 is added in an amount of 2 to 16 based on 100 parts by volume of the noble metal.
Volume part, and the lead-based perovskite oxide in the internal electrode layer is Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3
It is desirable that
【0010】[0010]
【作用】本発明の内部電極ペーストでは、鉛系ペロブス
カイト型酸化物粉末、例えばPb(Mg1/3 Nb2/2 )
O3 粉末を添加することにより、焼成時の内部電極層の
焼成収縮する温度を、セラミックス(誘電体層)の焼成
収縮温度に近づけることができる。また、内部電極ペー
スト中にAl2 O3 粉末を添加することにより、内部電
極の焼成収縮率を小さくし、セラミックス(誘電体層)
の焼成収縮率に近づけることができる。In the internal electrode paste of the present invention, a lead-based perovskite oxide powder, for example, Pb (Mg 1/3 Nb 2/2 )
By adding the O 3 powder, the firing shrinkage temperature of the internal electrode layer during firing can be made closer to the firing shrinkage temperature of ceramics (dielectric layer). Also, by adding Al 2 O 3 powder to the internal electrode paste, the firing shrinkage of the internal electrode is reduced, and the ceramic (dielectric layer)
Can be approached.
【0011】従って、積層セラミックコンデンサの内部
電極層を、上記内部電極ペーストを用いて構成した場合
には、内部電極層とセラミックス(誘電体層)の間に発
生する焼成の収縮歪みを抑えることができる。Therefore, when the internal electrode layer of the multilayer ceramic capacitor is formed by using the above-mentioned internal electrode paste, it is possible to suppress the shrinkage distortion of firing generated between the internal electrode layer and the ceramic (dielectric layer). it can.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】本発明の内部電極ペーストを、P
t、Pd、AuおよびAgのうち少なくとも1種の貴金
属粉末と、鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末と、Al2
O3 粉末とを含有するものである。Pt、Pd、Auお
よびAgのうち少なくとも1種の貴金属粉末とは、2種
以上の貴金属粉末も含む概念であり、また、これらの貴
金属の合金粉末も含む概念である。貴金属粉末として
は、コストダウンという点からAgとPdからなる貴金
属粉末が望ましい。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The internal electrode paste of the present invention is
t, Pd, and at least one noble metal powder of Au and Ag, and lead-based perovskite-type oxide powder, Al 2
O 3 powder. At least one noble metal powder of Pt, Pd, Au and Ag is a concept including two or more noble metal powders and a concept including alloy powders of these noble metals. As the noble metal powder, a noble metal powder composed of Ag and Pd is desirable from the viewpoint of cost reduction.
【0013】鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末として
は、Pb(Mg1/3 Nb2/3 )O3 粉末であることが望
ましいが、必ずしもこれに限定されるものではない。例
えば、Pb(Fe1/2 Nb1/2 )O3 、Pb(Mg1/3
Nb2/3 )O3 がある。鉛系ペロブスカイト型酸化物粉
末としては、コンデンサの誘電体層の構成材料が、デラ
ミネーション防止の点から最も望ましい。The lead-based perovskite oxide powder is preferably Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 powder, but is not necessarily limited thereto. For example, Pb (Fe 1/2 Nb 1/2 ) O 3 , Pb (Mg 1/3
Nb 2/3 ) O 3 . As the lead-based perovskite-type oxide powder, the constituent material of the dielectric layer of the capacitor is most desirable from the viewpoint of preventing delamination.
【0014】そして、鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末
は、貴金属100体積部に対して9〜22体積部含有す
る必要がある。これは鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末
が9体積部よりも少ない場合には、内部電極層の焼成収
縮する温度を、セラミックス(誘電体層)の焼成収縮温
度に近づける効果が小さく、デラミネーションが発生し
易いからであり、22体積部よりも多い場合には貴金属
粒子間の接続が途切れ、設計した容量が得られなくな
り、コンデンサを作製した時に容量バラツキが大きくな
るからである。The lead-based perovskite oxide powder needs to be contained in an amount of 9 to 22 parts by volume with respect to 100 parts by volume of the noble metal. This is because when the amount of the lead-based perovskite oxide powder is less than 9 parts by volume, the effect of bringing the firing shrinkage temperature of the internal electrode layer close to the firing shrinkage temperature of the ceramic (dielectric layer) is small, and delamination occurs. If the amount is more than 22 parts by volume, the connection between the noble metal particles is interrupted, the designed capacity cannot be obtained, and the capacity variation increases when the capacitor is manufactured.
【0015】鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末は、デラ
ミネーションを防止し、容量バラツキを抑制するという
点から、貴金属100体積部に対して9〜16体積部含
有することが望ましい。The lead-based perovskite-type oxide powder is desirably contained in an amount of 9 to 16 parts by volume with respect to 100 parts by volume of the noble metal from the viewpoint of preventing delamination and suppressing variation in capacity.
【0016】また、アルミナ粉末は、貴金属100体積
部に対して2〜16体積部含有する必要がある。これ
は、アルミナ粉末が2体積部よりも少ない場合には内部
電極の焼成収縮率を小さくする効果が小さく、デラミネ
ーションが発生しやすくなるからであり、16体積部よ
りも多い場合にはCR積が低下するからである。アルミ
ナ粉末は、デラミネーションの発生を防止し、CR積を
向上するという点から、貴金属100体積部に対して5
〜13体積部含有することが望ましい。The alumina powder must be contained in an amount of 2 to 16 parts by volume based on 100 parts by volume of the noble metal. This is because when the alumina powder is less than 2 parts by volume, the effect of reducing the firing shrinkage of the internal electrode is small, and delamination is likely to occur. Is reduced. Alumina powder is used in an amount of 5 parts per volume of noble metal from the viewpoint of preventing delamination and improving CR product.
It is desirable to contain 含有 13 parts by volume.
【0017】また、本発明の積層セラミックコンデンサ
は、複数の誘電体層と複数の内部電極層とを交互に積層
してなる積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電
体層が鉛系ペロブスカイト型酸化物からなるとともに、
前記内部電極層が、Pt、Pd、AuおよびAgのうち
少なくとも一種の貴金属と、鉛系ペロブスカイト型酸化
物と、Al2 O3 を含有してなり、前記貴金属100体
積部に対して、前記鉛系ペロブスカイト型酸化物を9〜
22体積部、前記Al2 O3 を2〜16体積部含有する
ものである。各数値限定の理由については、上記と同様
である。Further, the multilayer ceramic capacitor of the present invention is a multilayer ceramic capacitor in which a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers are alternately laminated, wherein the dielectric layer is made of a lead-based perovskite oxide. With
The internal electrode layer contains at least one noble metal of Pt, Pd, Au, and Ag, a lead-based perovskite oxide, and Al 2 O 3 , and the lead is contained in 100 parts by volume of the noble metal. -Based perovskite oxide
22 parts by volume, containing 2 to 16 parts by volume of the Al 2 O 3 . The reason for limiting each numerical value is the same as above.
【0018】本発明の積層セラミックコンデンサにおけ
る誘電体層は、鉛系ペロブスカイト型酸化物からなるも
のであり、例えば、Pb(Mg1/3 Nb2/3 )O3 、P
b(Mg1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 、Pb(M
g1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 −CuO、Pb
(Mg1/3 Nb2/3 )O3 −Pb(Zn1/3 Nb2/3 )
O3 −Pb(Sm1/3 Nb2/3 )O3 −CuO等があ
る。The dielectric layer in the multilayer ceramic capacitor according to the present invention is made of a lead-based perovskite oxide, for example, Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 , P 3
b (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 -PbTiO 3 , Pb (M
g 1/3 Nb 2/3 ) O 3 —PbTiO 3 —CuO, Pb
(Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 -Pb (Zn 1/3 Nb 2/3 )
O 3 —Pb (Sm 1/3 Nb 2/3 ) O 3 —CuO and the like.
【0019】本発明の積層セラミックコンデンサの誘電
体層には、鉛系ペロブスカイト型酸化物結晶の他に、パ
イロクロア相や、金属相が析出する場合もある。また、
内部電極層は、上記したように、貴金属中に、Al2 O
3 粒子と、例えば、Pb(Mg1/3 Nb2/3 )O3 粒子
が分散して構成される。Al2 O3 粒子の平均結晶粒径
は貴金属粒子の平均粒径が約1μmという点から0.8
〜1.2μmが望ましく、鉛系ペロブスカイト型酸化物
結晶粒子の平均結晶粒子は0.8〜1.2μmが望まし
い。In the dielectric layer of the multilayer ceramic capacitor of the present invention, a pyrochlore phase or a metal phase may be precipitated in addition to a lead-based perovskite oxide crystal. Also,
As described above, the internal electrode layer contains Al 2 O in the noble metal.
Three particles and, for example, Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 particles are dispersed. The average crystal grain size of the Al 2 O 3 particles is 0.8 from the point that the average grain size of the noble metal particles is about 1 μm.
And the average crystal grain of the lead-based perovskite oxide crystal grains is preferably 0.8 to 1.2 μm.
【0020】[0020]
【実施例】先ず、セラミックグリーンシートを作製し
た。69.7Pb(Mg1/3 Nb2/ 3 )O3 −29.3
Pb(Zn1/3 Nb2/3 )O3 −0.2Pb(Sm1/3
Nb2/3 )O3 −0.8CuO(単位:モル%)からな
る鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末と有機バインダを混
合してスラリーを得た。このスラリーをドクターブレー
ド法によりシート状に成形して、厚み10μmのセラミ
ックグリーンシートを作製した。次に、内部電極ペース
トを作製した。平均粒径が1μmのAg−Pd混合粉末
(重量比は3:7)と、同じく平均粒径が1μmのPb
(Mg1/3 Nb2/3 )O3 粉末、Al2 O3 粉末を、エ
チルセルロース樹脂をバインダとしα−テルピネオール
を溶剤とした有機ビヒクル中に、三本ロールによって分
散させて内部電極ペーストを作製した。作製した内部電
極ペーストについてAg−Pd粉末とPb(Mg1/3 N
b2/3 )O3 粉末、Al2 O3 粉末の体積部数の比を表
1に示す。EXAMPLE First, a ceramic green sheet was produced. 69.7Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 -29.3
Pb (Zn 1/3 Nb 2/3 ) O 3 -0.2 Pb (Sm 1/3
A slurry was obtained by mixing a lead-based perovskite oxide powder composed of Nb 2/3 ) O 3 -0.8 CuO (unit: mol%) and an organic binder. This slurry was formed into a sheet by a doctor blade method to produce a ceramic green sheet having a thickness of 10 μm. Next, an internal electrode paste was prepared. Ag-Pd mixed powder having an average particle size of 1 μm (weight ratio 3: 7) and Pb having an average particle size of 1 μm
(Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 powder and Al 2 O 3 powder are dispersed in an organic vehicle using ethyl cellulose resin as a binder and α-terpineol as a solvent with a three-roll to prepare an internal electrode paste. did. Ag-Pd powder and Pb (Mg 1/3 N
Table 2 shows the ratio of the volume parts of b 2/3 ) O 3 powder to Al 2 O 3 powder.
【0021】尚、試料No.17では、内部電極ペースト
中に、Pb(Mg1/3 Nb2/3 )O3粉末の代わりにP
b(Fe1/2 Nb1/2 )O3 粉末を添加した。また、試
料No.18では、内部電極ペースト中の貴金属としてP
tを用い、試料No.19ではAu、試料No.20ではP
dを用いた。In sample No. 17, Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 powder was used instead of Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 powder in the internal electrode paste.
b (Fe 1/2 Nb 1/2 ) O 3 powder was added. In sample No. 18, P was used as the noble metal in the internal electrode paste.
t, Au in sample No. 19 and P in sample No. 20
d was used.
【0022】その後、得られた内部電極ペーストとセラ
ミックグリーンシートを用いて、積層セラミックコンデ
ンサを作製した。即ち、セラミックグリーンシートの一
方の面上に内部電極ペーストをスクリーン印刷法で印刷
し、乾燥させて内部電極ペースト層を形成したセラミッ
クグリーンシートをそれぞれ50枚積層した。その後ホ
ットプレスして一体化し、所定寸法に切断してグリーン
チップを作製した。Thereafter, a multilayer ceramic capacitor was manufactured using the obtained internal electrode paste and ceramic green sheets. That is, the internal electrode paste was printed on one surface of the ceramic green sheet by a screen printing method, and dried, and 50 ceramic green sheets each having an internal electrode paste layer formed thereon were laminated. Thereafter, they were integrated by hot pressing and cut into a predetermined size to produce a green chip.
【0023】得られたグリーンチップを大気中、400
℃の温度で2時間保持してバインダーを完全に分解して
脱バインダーした後、1020℃の温度にて焼成して、
幅1.6mm、長さ3.2mm、厚さ0.6mmの大き
さの積層焼結体を得た。電極の有効面積は2.6m
m2 、誘電体層の厚みは7μmであった。The obtained green chip is placed in the air at 400
C. for 2 hours to completely decompose the binder and remove the binder, and then calcined at a temperature of 1020 C.
A laminated sintered body having a size of 1.6 mm in width, 3.2 mm in length, and 0.6 mm in thickness was obtained. The effective area of the electrode is 2.6m
m 2 , and the thickness of the dielectric layer was 7 μm.
【0024】その後、その焼結体の内部電極が露出する
取り出し端面に導電性ペーストを塗布、焼き付けして、
外部電極を形成して積層セラミックコンデンサを得た。Thereafter, a conductive paste is applied and baked on the exposed end surface of the sintered body where the internal electrode is exposed,
External electrodes were formed to obtain a multilayer ceramic capacitor.
【0025】次に、これらの積層セラミックコンデンサ
各100個の静電容量と絶縁抵抗を測定した。測定は、
基準温度25℃で行い、静電容量は周波数1.0kH
z、測定電圧1.0Vrmsの測定条件で、また絶縁抵
抗は、直流電圧1Vを1分間印加したときの絶縁抵抗を
測定した。測定した静電容量値と絶縁抵抗値の積を算出
してCR積(ΩF)とした。なおCR積が20000Ω
F未満では、信頼性を満足できないことと、積層セラミ
ックコンデンサの小型化ができないため、20000Ω
F以上を良とした。Next, the capacitance and insulation resistance of each of the 100 laminated ceramic capacitors were measured. The measurement is
Performed at a reference temperature of 25 ° C., with a capacitance of 1.0 kHz
z, under a measurement condition of a measurement voltage of 1.0 Vrms, and the insulation resistance was measured when a DC voltage of 1 V was applied for 1 minute. The product of the measured capacitance value and the insulation resistance value was calculated to be a CR product (ΩF). CR product is 20000Ω
Below F, the reliability cannot be satisfied and the size of the multilayer ceramic capacitor cannot be reduced.
F or higher was regarded as good.
【0026】また静電容量の測定値より算出した平均
値、標準偏差より、平均値に対する標準偏差の比を容量
バラツキ(%)とした。なお容量バラツキは、5%以上
では静電容量の歩留まりが低下するので、5%未満を良
とした。From the average value and the standard deviation calculated from the measured capacitance values, the ratio of the standard deviation to the average value was defined as the capacitance variation (%). In addition, when the capacitance variation is 5% or more, the yield of the capacitance is reduced.
【0027】これら積層セラミックコンデンサ各100
個を内部電極層に垂直な面で切断、研磨して内部電極層
と誘電体層との間のデラミネーションの有無を顕微鏡で
確認した。積層セラミックコンデンサにデラミネーショ
ンが発生すると、信頼性が満足できないため、発生無し
を良とした。Each of these multilayer ceramic capacitors 100
The individual pieces were cut and polished on a plane perpendicular to the internal electrode layer, and the presence or absence of delamination between the internal electrode layer and the dielectric layer was checked with a microscope. If delamination occurs in the multilayer ceramic capacitor, the reliability cannot be satisfied.
【0028】また、積層セラミックコンデンサをアルミ
ナ基板上に半田付け実装させ、以下の条件の湿中負荷試
験を行った。その試験方法は、85℃−85%RHの環
境下にて定格電圧の2倍の電圧を印加して、48時間稼
働後の、静電容量劣化、絶縁抵抗劣化をそれぞれコンデ
ンサ1000個について測定した。なおその試験の際、
静電容量は試験前の静電容量に対して試験後の容量低下
率が±30%以上を不良とした。絶縁抵抗は、1.0×
109 Ω以下を不良とした。これらの不良の発生率およ
び上記特性の結果を表1に示す。Further, the multilayer ceramic capacitor was mounted on an alumina substrate by soldering, and subjected to a wet and medium load test under the following conditions. In the test method, a voltage twice as high as the rated voltage was applied in an environment of 85 ° C.-85% RH, and after 48 hours of operation, the capacitance deterioration and the insulation resistance deterioration were measured for each of 1,000 capacitors. . During the test,
The capacitance was determined to be defective when the rate of decrease in capacitance after the test was ± 30% or more of the capacitance before the test. Insulation resistance is 1.0 ×
10 9 Ω or less was regarded as defective. Table 1 shows the occurrence rates of these defects and the results of the above characteristics.
【0029】[0029]
【表1】 [Table 1]
【0030】この表1より明らかな様に、試料No.
1、2、4、6では湿中負荷試験で不良が発生してい
る。また試料No.10は容量ばらつきが8.7%と目
標値を外れている。As apparent from Table 1, Sample No.
In 1, 2, 4, and 6, a failure occurred in the wet load test. Sample No. In No. 10, the capacity variation is 8.7%, which is out of the target value.
【0031】これに対して本発明の試料では、いずれも
CR積は20500ΩF以上と大きく、容量ばらつきは
4.7%以下、デラミネーションの発生は無く、湿中負
荷試験での静電容量、絶縁抵抗の不良の発生はない。On the other hand, in each of the samples of the present invention, the CR product was as large as 20500 ΩF or more, the capacitance variation was 4.7% or less, there was no delamination, and the capacitance and insulation in the wet and medium load test were high. There is no resistance failure.
【0032】そして、Al2 O3 量を増加させると、デ
ラミネーションの発生は無く、湿中負荷試験での静電容
量、絶縁抵抗の発生はないが、CR積が低下し、また容
量バラツキが大きくなることが判る。When the amount of Al 2 O 3 is increased, no delamination occurs, no capacitance and no insulation resistance occur in a wet and medium load test, but the CR product decreases, and the variation in capacitance decreases. It turns out that it becomes big.
【0033】また、試料No.2、4、5、7の内部電
極ペーストの乾燥粉末の焼成収縮曲線を誘電体層の原料
粉末との比較で、熱機械分析計(TMA)で測定した。
測定条件は、大気中で昇温速度は5(℃/min)で1
100℃まで上昇させ、1100℃で2時間保持し、そ
の後降温速度を5(℃/min)で行った。その結果を
図1に示す。図1に示すとおり、Pb(Mg1/3 Nb
2/3 )O3 粉末を添加することにより、焼成時の内部電
極層の焼成収縮する温度を、セラミックの焼成収縮の温
度に近づけることができる。また、内部電極ペースト中
にAl2 O3 粉末を添加することにより、内部電極層の
焼成の収縮率を小さくすることができる。Sample No. The firing shrinkage curves of the dried powders of the internal electrode pastes 2, 4, 5, and 7 were measured by a thermomechanical analyzer (TMA) in comparison with the raw material powder of the dielectric layer.
The measurement conditions were as follows.
The temperature was raised to 100 ° C., maintained at 1100 ° C. for 2 hours, and thereafter, the temperature was lowered at a rate of 5 (° C./min). The result is shown in FIG. As shown in FIG. 1, Pb (Mg 1/3 Nb
2/3 ) By adding the O 3 powder, the firing shrinkage temperature of the internal electrode layer during firing can be made closer to the firing shrinkage temperature of the ceramic. Further, by adding Al 2 O 3 powder to the internal electrode paste, the shrinkage rate of firing of the internal electrode layer can be reduced.
【0034】[0034]
【発明の効果】本発明の内部電極ペーストおよび積層セ
ラミックコンデンサでは、鉛系ペロブスカイト型酸化物
粉末を添加することにより、内部電極層の焼成収縮する
温度を誘電体層の焼成収縮温度に近づけることができ、
また、内部電極ペースト中にAl2 O3 粉末を添加する
ことにより、内部電極層の焼成収縮率を小さくすること
ができ、内部電極層と誘電体層の間に発生する焼成の収
縮歪みを抑制することができる。よってCR積等の電気
特性を劣化させることなく、デラミネーションが無く、
信頼性を劣化させない積層セラミックコンデンサを得る
ことができる。According to the internal electrode paste and the multilayer ceramic capacitor of the present invention, by adding the lead-based perovskite-type oxide powder, the temperature at which the firing of the internal electrode layer shrinks can be made closer to the firing shrinkage temperature of the dielectric layer. Can,
Also, by adding Al 2 O 3 powder to the internal electrode paste, the firing shrinkage of the internal electrode layer can be reduced, and the firing shrinkage distortion generated between the internal electrode layer and the dielectric layer is suppressed. can do. Therefore, there is no delamination without deteriorating the electrical characteristics such as CR product,
A multilayer ceramic capacitor that does not deteriorate reliability can be obtained.
【図1】内部電極粉末とセラミック粉末の焼成収縮曲線
を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing firing shrinkage curves of an internal electrode powder and a ceramic powder.
Claims (4)
とも1種の貴金属粉末と、該貴金属粉末100体積部に
対して鉛系ペロブスカイト型酸化物粉末を9〜22体積
部と、前記貴金属粉末100体積部に対してAl2 O3
粉末を2〜16体積部とを含有することを特徴とする内
部電極ペースト。1. A noble metal powder of at least one of Pt, Pd, Au and Ag, 9 to 22 parts by volume of a lead-based perovskite-type oxide powder with respect to 100 parts by volume of the noble metal powder, Al 2 O 3
An internal electrode paste containing 2 to 16 parts by volume of a powder.
(Mg1/3 Nb2/3 )O3 粉末であることを特徴とする
請求項1記載の内部電極ペースト。2. The lead-based perovskite oxide powder is Pb
2. The internal electrode paste according to claim 1, wherein the paste is (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 powder.
互に積層してなる積層セラミックコンデンサにおいて、
前記誘電体層が鉛系ペロブスカイト型酸化物からなると
ともに、前記内部電極層が、Pt、Pd、AuおよびA
gのうち少なくとも一種の貴金属と、該貴金属100体
積部に対して鉛系ペロブスカイト型酸化物を9〜22体
積部と、前記貴金属100体積部に対してAl2 O3 を
2〜16体積部とを含有することを特徴とする積層セラ
ミックコンデンサ。3. A multilayer ceramic capacitor comprising a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers alternately stacked,
The dielectric layer is made of a lead-based perovskite oxide, and the internal electrode layer is made of Pt, Pd, Au and A.
g of at least one noble metal, 9 to 22 parts by volume of a lead-based perovskite oxide with respect to 100 parts by volume of the noble metal, and 2 to 16 parts by volume of Al 2 O 3 with respect to 100 parts by volume of the noble metal. The multilayer ceramic capacitor characterized by containing.
酸化物がPb(Mg1/ 3 Nb2/3 )O3 であることを特
徴とする請求項3記載の積層セラミックコンデンサ。4. A multilayer ceramic capacitor according to claim 3, wherein the lead-based perovskite-type oxide in the internal electrode layer is characterized in that it is a Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3.
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