JPH11167048A

JPH11167048A - 光導波路モジュール

Info

Publication number: JPH11167048A
Application number: JP34851197A
Authority: JP
Inventors: Fumio Matsumura; 文雄松村; Yoichi Fujii; 陽一藤井
Original assignee: Toyo Communication Equipment Co Ltd
Current assignee: Toyo Communication Equipment Co Ltd
Priority date: 1997-12-03
Filing date: 1997-12-03
Publication date: 1999-06-22

Abstract

(57)【要約】【課題】煩雑な加工作業などを行うことなく、光導波
路の導波路コアと受光素子及び発光素子との結合精度を
高めることができる、生産効率の良い光導波路モジュー
ルを提供する。【解決手段】基板１０上に第１、第２、及び第３の導
波路コア１〜３を有する光導波路を形成し、第１の導波
路コア１の途中２箇所を斜めに切断して一方の切断部に
特定の波長の光のみ透過する光フィルタ５を、他方の切
断部にハーフミラー６をそれぞれ挿入し、第１の導波路
コア１と光フィルタ５との交点に第２の導波路コア２の
一端を、第１の導波路コア１とハーフミラー６との交点
に第３の導波路コア３の一端をそれぞれ接続するととも
に、第３の導波路コア３の他端に臨ませてＰＤ７を設
け、且つ、第１の導波路コア１の一端を斜めに研磨して
研磨面に反射層９を設けるとともに、第１の導波路コア
１の側面を通して反射層９に光信号を入射させるべく光
導波路部上にＬＤ８を設け、且つ、第１の導波路コア１
の他端に第１の光ファイバ１４を、第２の導波路コア２
の他端に第２の光ファイバ１５をそれぞれ接続した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光通信伝送システム
における光信号の多重化および双方向化に不可欠な光導
波路モジュールに関し、特に光導波路に直接フォトダイ
オード素子とレーザーダイオード素子を接着固定してな
る光導波路モジュールに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の光導波路モジュールとして、図４
に示す構造のものが知られている。この光導波路モジュ
ールは、シリコン基板２１上に４ポート構造のＹ分岐回
路２２を有する石英系の光導波路２３を形成し、その光
導波路２３の一部に反応性イオンエッチング等により溝
加工を施して、Ｙ分岐回路２２の４つのポート２２ａ〜
２２ｄのうちの２つのポート２２ａ、２２ｂの端面を露
出させた溝部２３ａを形成し、その溝部２３ａ内にフォ
トダイオード素子（以下ＰＤと記す。）２４とレーザー
ダイオード素子（以下ＬＤと記す。）２５とを半田付け
により固定してなる。Ｙ分岐回路２２の残りの２つのポ
ート２２ｃ、２２ｄの端面は光導波路２３の端面にて露
出しており、各ポート２２ｃ、２２ｄの端面に光ファイ
バアレイ２６を介して光ファイバ２７、２８がそれぞれ
接続されている。（内田他：「ＰＬＣプラットフォーム
を用いたＷＤＭ光回路の受信特性」、１９９６年電子情
報通信学会総合大会講演論文集エレクトロニクス〔１〕
Ｃ−２２７参照）図４に示す構造の光導波路モジュールの製造方法は以下
のとおりである。まずシリコン基板２１の上に単結晶シ
リコンの異方エッチング性を利用してＰＤ２４およびＬ
Ｄ２５を固定するための台形状の突起部２１ａを形成す
る。次に火炎堆積法によりシリコン基板２１上に粒径が
数十μｍの二酸化ケイ素粉末を堆積させた後、電気炉内
にて１０００℃以上の温度で熱処理してガラス化させ
る。次に、ガラス化した二酸化ケイ素膜の表面を研磨す
ることにより、その二酸化ケイ素膜上に形成される導波
路コアの高さ方向の位置が最後に突起部２１ａ上に半田
付け固定されるＰＤ２４およびＬＤ２５の光軸の位置と
一致するように二酸化ケイ素膜の厚みを調整する。これ
により光導波路２３の下部クラッド層２９ａが形成され
る。次に、下部クラッド層２９ａ上に、二酸化ゲルマニ
ウム等の高屈折率材料を含有した二酸化ケイ素膜を上記
と同様の手順で数μｍの厚さに成膜してコア層を形成し
た後、コア層上にスパッタ法により形成した厚み２μｍ
程度のアモルファスシリコン膜等をマスクにして、反応
性イオンエッチングにより１０μｍ程度エッチング処理
することによりＹ分岐回路２２の導波路コアを完成させ
る。更に、下部クラッド層２９ａ及び導波路コア上に二
酸化ケイ素膜を上記と同様の手順で１０μｍ以上成膜し
て上部クラッド層２９ｂを形成することにより石英光導
波路を完成させる。次に、上部クラッド層２９ｂの表面
にクロム等の金属膜を形成し、これをマスクに用いて反
応性イオンエッチング等によりＰＤ２４及びＬＤ２５を
埋め込むための溝部２３ａを突起部２１ａ上に形成す
る。最後に突起部２１ａ上にＰＤ２４及びＬＤ２５を半
田付け固定するためのパッドを金蒸着法により形成し、
そこにＰＤ２４及びＬＤ２５を半田付け固定して光導波
路モジュールが完成する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た光導波路モジュールの構造において、低損失な光伝送
を実現するためには、Ｙ分岐回路２２の導波路コアと受
光素子であるＰＤ２４及び発光素子であるＬＤ２５との
結合位置のずれを２μｍ以下に抑えることが要求される
ため、下部クラッド層２９ａの研磨加工の際に高い加工
精度が要求される。また、下部クラッド層２９ａとなる
二酸化ケイ素膜を成膜した後のシリコンウェハ基板２１
は高さ方向に数十μｍ程度湾曲しているため、ウエハ状
態のまま二酸化ケイ素膜の表面を高精度に研磨加工する
ことができない。そのため、上述した従来構造の光導波
路モジュールは、シリコンウェハ基板２１上に下部クラ
ッド層２９ａとなる二酸化ケイ素膜を成膜した後、それ
を個々の光導波路モジュールとなる一つずつのチップに
切断し、各チップ毎に高精度に研磨加工を実施する必要
があり、極めて生産効率が悪いという問題があった。そ
こで本発明の解決すべき課題は、上記のように基板の上
面部に発光素子及び受光素子を設置するための段部を形
成したり、段部の高さに合わせて下部クラッド層を研磨
加工したりするなどの煩雑な作業を行うことなく、光導
波路の導波路コアと受光素子及び発光素子との結合精度
を高めることができる、生産効率の良い光導波路モジュ
ールを提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の発明に係る光導波路モジュールで
は、基板上に第１、第２、及び第３の導波路コアを有す
る光導波路を形成し、第１の導波路コアの途中２箇所を
斜めに切断して一方の切断部に第１の波長の光信号のみ
透過し第２の波長の光信号を反射する光フィルタを、他
方の切断部に光フィルタを透過してきた光信号のみ反射
するハーフミラーをそれぞれ挿入して設け、第１の導波
路コアと前記光フィルタとの交点に第２の導波路コアの
一端を、第１の導波路コアと前記ハーフミラーとの交点
に第３の導波路コアの一端をそれぞれ接続するととも
に、前記光導波路の端面に位置する第３の導波路コアの
他端に臨ませて受光素子を設け、且つ、第１の導波路コ
アの一端を斜めに研磨して当該研磨面に反射層を設ける
とともに、第１の導波路コアの側面を通して前記反射層
に第１の波長の光信号を入射させるべく前記光導波路部
上に発光素子を設け、且つ、第１の導波路コアの他端に
第１の光ファイバを、第２の導波路コアの他端に第２の
光ファイバをそれぞれ接続したことを特徴としている。
上記のように構成された光導波路モジュールは以下のよ
うに動作する。第１の光ファイバを通して第１の導波路
コアに入射した第２の波長の光信号は、光フィルタで反
射され、第２の導波路コアを通して第２の光ファイバに
導かれる。また、第１の光ファイバを通して第１の導波
路コアに入射した第１の波長の光信号は、光フィルタを
透過した後、ハーフミラーで反射され第３の導波路コア
を通して受光素子へ導かれる。一方、発光素子から出射
された第１の波長の光信号は、反射層で反射されて第１
の導波路コアに入射し、ハーフミラー及び光フィルタを
透過して第１の光ファイバへ導かれる。上記のように請
求項１に記載の発明では、光信号の分波合波を光導波路
に埋め込んだ光フィルタ及びハーフミラーにより行うと
ともに、光導波路の端面に位置する第３の導波路コアの
他端に臨ませて受光素子を設け、且つ、第１の導波路コ
アの一端を斜めに切断して当該切断面に反射層を設ける
とともに、第１の導波路コアの側面を通して前記切断面
に光信号を入射させるべく光導波路部上に発光素子を設
けたことにより、従来のように基板の上面部に発光素子
及び受光素子を設置するための段部を形成したり、段部
の高さに合わせて下部クラッド層を研磨加工したりする
などの煩雑な作業を行うことなく、光導波路部の導波路
コアに対し受光素子及び発光素子を高精度に位置決めし
て設けることができる。また、請求項２に記載の発明に
係る光導波路モジュールでは、基板上に第１及び第２の
導波路コアを有する光導波路を形成し、第１の導波路コ
アの途中１箇所を斜めに切断してその切断部に第１の波
長の光信号のみ透過し第２の波長の光を反射する光フィ
ルタを挿入して設け、第１の導波路コアと前記光フィル
タとの交点に第２の導波路コアの一端を接続するととも
に、前記光導波路の端面に位置する第２の導波路コアの
他端に臨ませて受光素子を設け、且つ、第１の導波路コ
アの一端を斜めに研磨して当該研磨面に反射層を設ける
とともに、第１の導波路コアの側面を通して前記反射層
に第１の波長の光信号を入射させるべく前記光導波路部
上に発光素子を設け、且つ、第１の導波路コアの他端に
光ファイバを接続したことを特徴としている。上記のよ
うに構成された光導波路モジュールは以下のように動作
する。第１の光ファイバを通して第１の導波路コアに入
射した第２の波長の光信号は、光フィルタで反射され、
第２の導波路コアを通して受光素子へ導かれる。一方、
発光素子から出射された第１の波長の光信号は、反射層
で反射されて第１の導波路コアに入射し、光フィルタを
透過して光ファイバへ導かれる。上記のように請求項２
に記載の発明では、光信号の分波を光導波路に埋め込ん
だ光フィルタにより行うとともに、光導波路の端面に位
置する第２の導波路コアの他端に臨ませて受光素子を設
け、且つ、第１の導波路コアの一端を斜めに切断して当
該切断面に反射層を設けるとともに、第１の導波路コア
の側面を通して前記切断面に光信号を入射させるべく光
導波路部上に発光素子を設けたことにより、従来のよう
に基板の上面部に発光素子及び受光素子を設置するため
の段部を形成したり、段部の高さに合わせて下部クラッ
ド層を研磨加工したりするなどの煩雑な作業を行うこと
なく、光導波路部の導波路コアに対し受光素子及び発光
素子を高精度に位置決めして設けることができる。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に示した実施の形
態により本発明の詳細を説明する。図１（ａ）は本発明
に係る光導波路モジュールの実施の形態の一例を示す平
面図、図１（ｂ）は側面図である。この光導波路モジュ
ール１００は、基板１０上に第１、第２、及び第３の導
波路コア１〜３を有する光導波路４を具備している。第
１の導波路コア１は光導波路４の一方の端面４Ａから他
方の端面４Ｂまで直線状に形成されており、その途中２
箇所が光導波路４の上面より掘り下げられた溝４ａ、４
ｂによって斜めに切断され、一方の溝４ａに第１の波長
の光のみ透過し第２の波長の光は反射する光フィルタ５
が、他方の溝４ｂに一方向（図示矢印Ａ方向）から入射
した光のみ透過するハーフミラー６がそれぞれ挿入して
設けられている。第２の導波路コア２の一端は第１の導
波路コア１と光フィルタ５との交点に臨ませて形成さ
れ、他端は光導波路４の端面４Ｂに形成されている。第
３の導波路コア３の一端は第１の導波路コア１とハーフ
ミラー６との交点に臨ませて形成され、他端は光導波路
４の端面４Ｂに形成されている。光導波路４の一方の端
面４Ａは、基板１０とともに上端部から下端部にかけて
内向きに約４５度の角度で斜めに研磨され、その研磨面
には反射層となる全反射ミラー９が接着固定されてい
る。そして、光導波路４の上面には、第１の導波路コア
１の側面を通して上方から全反射ミラー９に第１の波長
の光信号を入射させるべくＬＤ８が設置されている。Ｌ
Ｄ８は光導波路４の上面に接着固定されたヒートシンク
１１に保持部材１２を介して保持されるとともに光導波
路４の上面に接着固定されている。保持部材１２はヒー
トシンク１１の端面に沿ってスライドさせてＬＤ８の位
置を微調整した上で接着固定する。光導波路４の端面４
Ｂには、第３の導波路コア３の端面に臨ませてＰＤ７が
接着固定して設けられている。また、第１及び第２の導
波路コア１、２の他端には光導波路４の端面４Ｂに接着
固定された光ファイバアレイ１３を介してそれぞれ第１
及び第２の光ファイバ１４、１５が接続されている。光
導波路４上にはＰＤ７及び光ファイバアレイ１３の接着
強度を補強するための接着補強板１６が固定されてい
る。

【０００６】上記光導波路モジュール１００は以下のよ
うにして製造される。まず基板１０の上に火炎堆積法に
より二酸化ケイ素粉末を堆積させた後、電気炉内にて熱
処理してガラス化させることにより１０μｍ程度の厚さ
の下部クラッド層１７を形成する。次に、下部クラッド
層１７上に、二酸化ゲルマニウム等の高屈折率材料を含
有した二酸化ケイ素膜を数μｍの厚さに成膜してコア層
を形成した後、コア層上にスパッタ法により形成した厚
み２μｍ程度のアモルファスシリコン膜等をマスクにし
て、反応性イオンエッチングにより１０μｍ程度エッチ
ング処理することにより第１〜第３の導波路コア１〜３
を形成する。更に、下部クラッド層１７及び第１〜第３
の導波路コア１〜３上に下部クラッド層１７と同様の手
順で１０μｍ程度の厚さの上部クラッド層１８を形成し
て光導波路４を完成させる。このとき、第２及び第３の
導波路コア２、３はそれぞれ第１の導波路コア１の途中
から分岐した状態になっている。次に、図示しない切削
機を使用して光導波路４を表面から垂直に掘削すること
により、第１の導波路コア１と第２の導波路コア２との
分岐部及び第１の導波路コア１と第３の導波路コア３と
の分岐部に上記溝４ａ、４ｂをそれぞれ形成し、一方の
溝４ａに光フィルタ５を、もう一方の溝４ｂにハーフミ
ラー６をそれぞれ挿入し固定する。次に、光導波路４の
一方の端面４Ａを基板１０ごと斜めに研磨し、その研磨
面に全反射ミラー９を接着固定する。そして、全反射ミ
ラー９と第１の導波路コア１との交点に上方から光信号
が入射するようにＬＤ８を位置決めして光導波路４の上
面に接着固設する。

【０００７】最後に、光導波路４の端面Ｂに、第３の導
波路コア３の光軸位置に合わせてＰＤ７を接着固定する
とともに、第１及び第２の導波路コア１、２の光軸位置
に合わせて第１及び第２の光ファイバ１４、１５が接続
された光ファイバアレイ１３を接続することにより光導
波路モジュール１００が完成する。上記光導波路モジュ
ール１００は以下のように動作する。ここでは光フィル
タ５が波長１．３μｍの光信号を透過し且つ波長１．５
５μｍの光信号を反射する特性を有し、ＬＤ８が波長
１．３μｍの光信号を発振するものとして説明する。第
１の光ファイバ１４から波長１．３μｍの光信号と波長
１．５５μｍの光信号が第１の導波路コア１に入力され
ると、波長１．５５μｍの光信号は、光フィルタ５で反
射され、第２の導波路コア２を通して第２の光ファイバ
１５に導かれる。また、第１の光ファイバ１４から第１
の導波路コア１に入射した波長１．３μｍの光信号は、
光フィルタ５を透過した後、ハーフミラー６で反射され
第３の導波路コア３を通ってＰＤ７に入射する。一方、
ＬＤ８から出射された波長１．３μｍの光信号は、全反
射ミラー９で反射されて第１の導波路コア１に入射し、
ハーフミラー６及び光フィルタ５を透過して第１の光フ
ァイバ１４に出力される。

【０００８】上記のように本実施の形態の光導波路モジ
ュール１００は、光信号の分波合波を光導波路４に埋め
込んだ光フィルタ５及びハーフミラー６により行い、第
１の光ファイバ１４を通して送られてきた波長１．５５
μｍの光信号を光フィルタ５で反射させて第２の光ファ
イバ１５へ導くとともに、第１の光ファイバ１４を通し
て送られてきた波長１．３μｍの光信号をハーフミラー
６で反射させて光導波路４の端面４Ｂに接着固定したＰ
Ｄ７で受信し、ＬＤ８から出射された波長１．３μｍの
光信号を全反射ミラー９で反射させて第１の導波路コア
１に入射させ、ハーフミラー６及び光フィルタ５を透過
させて第１の光ファイバ１４に出力するように構成した
ので、従来のように基板の上面部にＬＰ及びＰＤを設置
するための段部を形成したり、段部の高さに合わせて下
部クラッド層を研磨加工したりするなどの煩雑な作業を
行うことなく、光導波路部の導波路コアに対しＬＰ及び
ＰＤを高精度に位置決めして設けることができる。

【０００９】図２に、上記実施の形態の光導波路モジュ
ール１００を用いた光通信システムの一例を示す。この
光通信システムは、基地局であるＣＡＴＶ放送局２００
及び電話局３００と端末局である加入者の電話機４００
及びＣＡＴＶ受信器５００とを光導波路モジュール１０
０を介して相互に接続してなる。光ファイバ回線６０１
の基地局側の端部には周知の二股のファイバ融着型光カ
プラ７０１が接続されているが、端末局側の端部には本
発明の光導波路モジュール１００が接続されている。基
地局側のファイバ融着型光カプラ７０１の一方の分岐端
はＣＡＴＶ放送局２００に接続され、もう一方の分岐端
は、さらにファイバ融着型光カプラ７０２を介して電話
局３００に接続されている。上記光通信システムでは、
ＣＡＴＶ放送局２００から送信されてきた波長１．５５
μｍの光信号及び電話局３００から送信されてきた波長
１．３μｍの光信号は、光ファイバ回線６０１を通っ
て、光導波路モジュール１００に入射する。そして、Ｃ
ＡＴＶ放送局２００からの波長１．５５μｍの光信号
は、光導波路モジュール１００の光フィルタ５で反射さ
れ、光ファイバ回線６０２を通してＣＡＴＶ受信器１２
に伝送される。また、電話局３００からの波長１．３μ
ｍの光信号は、光導波路モジュール１００のハーフミラ
ー６によって反射された後、ＰＤ７で光電変換されて加
入者の電話機４００へ伝送される。一方、加入者の電話
機４００からの送信信号は、光導波路モジュール１００
のＬＤ８で波長１．３μｍの光信号に変換され、光ファ
イバ回線６０１を通して電話局３００へ送信される。し
たがって、この光通信システムによれば、光信号の時分
割伝送技術を併用することによりＣＡＴＶ信号と電話回
線信号とを多重したビデオ・オン・デマンド機能を有す
る光加入者系伝送システムを構築することができる。

【００１０】また、図１において、溝４ａを形成せず、
溝４ｂにハーフミラー６の代わりに光フィルタ５を挿入
すれば、光ファイバを通して伝送されてきた１．５５μ
ｍの光信号が光フィルタ５で反射されてＰＤ７に入力さ
れる。このような光導波路モジュールを用いれば、例え
ば図３に示すような２波長双方向伝送システムを構築す
ることが可能である。図３に示す伝送システムでは、電
話局８００から送信されてきた波長１．５５μｍの光信
号は、光ファイバ回線６００を通って光導波路モジュー
ル１００’の第１の導波路コア３１に入射する。そし
て、第１の導波路コア３１の途中に設けられた光フィル
タ５で反射され、第２の導波路コア（図１中の第３の導
波路コア）を通ってＰＤ７で受光され、光電変換されて
加入者の電話機９００へ伝送される。一方、加入者の電
話機９００からの送信信号は、光導波路モジュール１０
０’のＬＤ８で波長１．３μｍの光信号に変換され、光
ファイバ回線６００を通して電話局８００へ送信され
る。

【００１１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明では、光信号の分波合波を光導波路に埋め込んだ光
フィルタ及びハーフミラーにより行うとともに、光導波
路の端面に位置する第３の導波路コアの他端に臨ませて
受光素子を設け、且つ、第１の導波路コアの一端を斜め
に切断して当該切断面に反射層を設けるとともに、第１
の導波路コアの側面を通して前記切断面に光信号を入射
させるべく光導波路部上に発光素子を設けたことによ
り、従来のように基板の上面部に発光素子及び受光素子
を設置するための段部を形成したり、段部の高さに合わ
せて下部クラッド層を研磨加工したりするなどの煩雑な
作業を行うことなく、光導波路部の導波路コアに対し受
光素子及び発光素子を高精度に位置決めして設けること
ができる。また、請求項２に記載の発明では、光信号の
分波を光導波路に埋め込んだ光フィルタにより行うとと
もに、光導波路の端面に位置する第２の導波路コアの他
端に臨ませて受光素子を設け、且つ、第１の導波路コア
の一端を斜めに切断して当該切断面に反射層を設けると
ともに、第１の導波路コアの側面を通して前記切断面に
光信号を入射させるべく光導波路部上に発光素子を設け
たことにより、従来のように基板の上面部に発光素子及
び受光素子を設置するための段部を形成したり、段部の
高さに合わせて下部クラッド層を研磨加工したりするな
どの煩雑な作業を行うことなく、光導波路部の導波路コ
アに対し受光素子及び発光素子を高精度に位置決めして
設けることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は請求項１に記載の発明の実施の形態の
一例を示す光導波路モジュールの平面図、（ｂ）は側面
図である。

【図２】図１に示す光導波路モジュールを含む光通信シ
ステムの一例を示す構成図である。

【図３】請求項１に記載の発明に対応する光導波路モジ
ュールを含む光通信システムの一例を示す構成図であ
る。

【図４】（ａ）は従来の光導波路モジュールの平面図、
（ｂ）は側面図である。

【符号の説明】

１第１の導波路コア、２第２の導波路コア、３第
３の導波路コア、４光導波路、４Ａ端面、４Ｂ端
面、４ａ溝（切断部）、４ｂ溝（切断部）、５光
フィルタ、６ハーフミラー、７受光素子、８発光
素子、９全反射ミラー、１０基板、１１ヒートシ
ンク、１２保持部材、１３光ファイバアレイ、１４
第１の光ファイバ、１５第２の光ファイバ、１００
光導波路モジュール、１００’ 光導波路モジュー
ル、２００ＣＡＴＶ放送局、３００電話局、４００
電話機、５００ＣＡＴＶ受信器、６００光ファイ
バ回線、６０１光ファイバ回線、６０２光ファイバ
回線、８００電話局、９００電話機。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に第１、第２、及び第３の導波路
コアを有する光導波路を形成し、第１の導波路コアの途
中２箇所を斜めに切断して一方の切断部に第１の波長の
光信号のみ透過し第２の波長の光信号を反射する光フィ
ルタを、他方の切断部に光フィルタを透過してきた光信
号のみ反射するハーフミラーをそれぞれ挿入して設け、
第１の導波路コアと前記光フィルタとの交点に第２の導
波路コアの一端を、第１の導波路コアと前記ハーフミラ
ーとの交点に第３の導波路コアの一端をそれぞれ接続す
るとともに、前記光導波路の端面に位置する第３の導波
路コアの他端に臨ませて受光素子を設け、且つ、第１の
導波路コアの一端を斜めに研磨して当該研磨面に反射層
を設けるとともに、第１の導波路コアの側面を通して前
記反射層に第１の波長の光信号を入射させるべく前記光
導波路部上に発光素子を設け、且つ、第１の導波路コア
の他端に第１の光ファイバを、第２の導波路コアの他端
に第２の光ファイバをそれぞれ接続したことを特徴とす
る光導波路モジュール。
【請求項２】基板上に第１及び第２の導波路コアを有
する光導波路を形成し、第１の導波路コアの途中１箇所
を斜めに切断してその切断部に第１の波長の光信号のみ
透過し第２の波長の光を反射する光フィルタを挿入して
設け、第１の導波路コアと前記光フィルタとの交点に第
２の導波路コアの一端を接続するとともに、前記光導波
路の端面に位置する第２の導波路コアの他端に臨ませて
受光素子を設け、且つ、第１の導波路コアの一端を斜め
に研磨して当該研磨面に反射層を設けるとともに、第１
の導波路コアの側面を通して前記反射層に第１の波長の
光信号を入射させるべく前記光導波路部上に発光素子を
設け、且つ、第１の導波路コアの他端に光ファイバを接
続したことを特徴とする光導波路モジュール。