JPH11156271A - Slot type fluid applying device - Google Patents

Slot type fluid applying device

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JPH11156271A
JPH11156271A JP32673997A JP32673997A JPH11156271A JP H11156271 A JPH11156271 A JP H11156271A JP 32673997 A JP32673997 A JP 32673997A JP 32673997 A JP32673997 A JP 32673997A JP H11156271 A JPH11156271 A JP H11156271A
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JP
Japan
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coating
head
coated
height
slot
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Application number
JP32673997A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinji Kawachi
晋治 河内
Hideki Mori
秀樹 森
Akitsu Oota
秋津 太田
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive slot type fluid applying device enabling realizing high throughput for uniformly and smoothly applying coating fluid even to a material to be coated in the shape of branches and leaves having projecting and recessing parts on the surface thereof and variations in warpage and thickness. SOLUTION: In this slot type fluid applying device 100 for applying coating fluid to a material to be coated in the shape of branches and leaves, a slot type coating head part A is provided with a head height follow-up mechanism B for following the head height according to variations in the surface height of the material to be coated 3, and the head height follow-up mechanism B is constituted of material to be coated remedy devices D and head height adjusting devices E. The devices D straddle the head A and are installed in front of and behind in the coating direction and at ends on both sides in the coating width direction. The devices E are installed in the coating width direction and on the side faces of ends on both sides for adjusting the head height according to the surface height of the slot type coating head part A.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、枚葉状の被塗布物
の表面に塗布用流体を、均一に所定の膜厚で塗布するた
めのスロット型流体塗布装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a slot-type fluid coating apparatus for uniformly applying a coating fluid on a surface of a sheet-like object to be coated with a predetermined film thickness.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、スロット型流体塗布装置は、
真空吸着機構を装備したテーブルに被塗布物を吸着保持
し、該テーブルまたは塗布ヘッド部を搬送させ、塗布ヘ
ッド部から塗布用流体を圧力あるいは機械的に吐出さ
せ、被塗布物に塗布用流体を塗布する装置として知られ
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a slot type fluid application device has been
The object to be coated is sucked and held on a table equipped with a vacuum suction mechanism, the table or the coating head is transported, and the coating fluid is ejected from the coating head by pressure or mechanically. It is known as a coating device.

【0003】上記従来のスロット型流体塗布装置での塗
布状態を図1に示す。塗布ヘッド部(A)のスロット流
路(1)より吐出された塗布用流体(2)は、被塗布物
(3)の進行方向上流側に塗布用流体(2)の液溜まり
(4)を形成しながら、被塗布物(3)の表面に塗膜を
形成する。
FIG. 1 shows an application state in the conventional slot type fluid application apparatus. The application fluid (2) discharged from the slot flow path (1) of the application head (A) forms a liquid pool (4) of the application fluid (2) on the upstream side in the traveling direction of the object (3). While forming, a coating film is formed on the surface of the object to be coated (3).

【0004】しかし、その塗布原理から、被塗布物
(3)と塗布ヘッド部(A)のスロット部(As)との
隙間を一定に保持することで均一な塗布を行うため、被
塗布物(3)が平坦でない場合、例えばそりや厚み変動
がある場合には、一定の被塗布物(3)と塗布ヘッド部
(A)のスロット部(As)との隙間を保持することが
できず、結果として均一かつ平滑な塗布ができない。
However, from the principle of application, the uniform application is performed by maintaining a constant gap between the object (3) and the slot (As) of the application head (A). If 3) is not flat, for example, if there is warpage or thickness variation, it is not possible to maintain a constant gap between the object to be coated (3) and the slot (As) of the coating head (A), As a result, uniform and smooth coating cannot be performed.

【0005】事実、表面に凹凸を有する被塗布物(3)
として、例えば絶縁層の両面或いは片面に導体層を形成
し、その上面に絶縁樹脂液を塗布し、乾燥させることに
より設けた絶縁層とメッキからなる導体回路層を交互に
積層して形成される多層プリント配線板に絶縁樹脂液を
塗布する際、上記多層プリント配線板などはその製造の
各工程で高温処理されるため熱変形や積層された膜の応
力などによりそりが生じるものなどがある。そのそりが
大きい場合には真空吸着による保持だけでは被塗布物
(3)の表面を平坦に保持することができず、被塗布物
(3)と塗布ヘッド部(A)のスロット部(As)との
隙間が変化して上記記載の塗布用流体(2)の液溜まり
(4)の形成が不安定になり、結果として塗布ヘッド部
(A)のスロット部(As)が塗膜を掻き取って膜厚が
不均一になるという問題がある。
In fact, the object to be coated (3) having irregularities on the surface
For example, a conductor layer is formed on both sides or one side of an insulation layer, an insulation resin liquid is applied on the upper surface, and the insulation layer provided by drying is formed by alternately laminating a conductor circuit layer made of plating. When the insulating resin liquid is applied to the multilayer printed wiring board, the multilayer printed wiring board or the like is subjected to a high temperature treatment in each step of its manufacture, so that there are warpages caused by thermal deformation and stress of the laminated film. When the warp is large, the surface of the object (3) cannot be held flat by only holding by vacuum suction, and the object (3) and the slot (As) of the application head (A) cannot be held. And the formation of the liquid pool (4) of the coating fluid (2) described above becomes unstable, and as a result, the slot (As) of the coating head (A) scrapes the coating film. Therefore, there is a problem that the film thickness becomes uneven.

【0006】また、上記プリント配線板などは基板自体
の厚みにバラツキがあり、厚み変動が大きい場合には、
被塗布物(3)と塗布ヘッド部(A)のスロット部(A
s)との隙間が変化して上記記載の塗布用流体(2)の
液溜まり(4)の形成が不安定になり、結果として塗布
ヘッド部(A)のスロット部(As)が塗膜を掻き取っ
て膜厚が不均一になるという問題がある。
In the case of the printed wiring board, etc., the thickness of the substrate itself varies, and when the thickness varies greatly,
The coating object (3) and the slot portion (A) of the coating head portion (A)
s) changes, and the formation of the liquid pool (4) of the application fluid (2) described above becomes unstable, and as a result, the slot (As) of the application head (A) coats the coating film. There is a problem that the film thickness becomes uneven due to scraping.

【0007】この問題を解決すべく、予め被塗布物
(3)の表面高さの変動を接触式または非接触式の変位
計などを用いて検出し、その検出されたデータを基にヘ
ッドを昇降させることで一定の被塗布物(3)と塗布ヘ
ッド部(A)のスロット部(As)との隙間を保持させ
ていた。
In order to solve this problem, a change in the surface height of the object to be coated (3) is detected in advance by using a contact type or non-contact type displacement meter, and the head is moved based on the detected data. The gap between the coating object (3) and the slot portion (As) of the coating head portion (A) is maintained by moving up and down.

【0008】しかしながら、上記変位計などを用いて検
出する方式では、例えば非接触式の変位計を用いる場合
でも、連続で被塗布物(3)の表面の高さの変位を測定
できても塗布ヘッド部(A)の昇降速度の能力から、各
ポイント間の直線補間での昇降動作しかできず、完全に
連続で追従させることができない。
However, in the method of detecting using the above-mentioned displacement meter or the like, even if a non-contact type displacement meter is used, even if the displacement of the surface of the object (3) can be measured continuously, Due to the ability of the head portion (A) to move up and down, only the up-and-down operation by linear interpolation between the points can be performed, and it is not possible to follow the head completely continuously.

【0009】また、前述の方式では、検出のための時間
が塗布工程の時間とは別に余分にかかり、スループット
を上げられないという問題があり、さらに高精度の検出
のためには検出機構装備が高額のものになって結果とし
て装置がかなり高額になってしまうという課題を抱えて
いる。
In addition, the above-mentioned method has a problem that the time required for detection is extra time separately from the time of the coating process, and the throughput cannot be increased. Further, a detection mechanism is provided for high-precision detection. There is a problem that the device becomes expensive and as a result, the device becomes considerably expensive.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、枚葉状であってその表面に凹凸を有するそりや
厚み変動のある被塗布物に対しても、塗布用流体を均一
かつ平滑に塗布するための安価で高スループット実現可
能なスロット型流体塗布装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a sheet-like shape having a warp or a thickness variation on its surface. An object of the present invention is to provide an inexpensive and high-throughput slot-type fluid application device for applying an application fluid evenly and smoothly to an object to be applied.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項1の発明では、表面に凹
凸を有する枚葉状の被塗布物に塗布用流体を塗布するス
ロット型流体塗布装置において、スロット型の塗布ヘッ
ド部に、該被塗布物の表面高さの変動に応じてヘッド高
さを追従させるためのヘッド高さ追従機構を具備してな
ることを特徴とするスロット型流体塗布装置としたもの
である。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a slot type for applying an application fluid to a sheet-shaped object having irregularities on its surface is provided. In the fluid coating apparatus, a slot-type coating head portion is provided with a head height follow-up mechanism for causing the head height to follow a variation in the surface height of the object to be coated. This is a mold fluid application device.

【0012】また、請求項2の発明では、前記ヘッド高
さ追従機構が、スロット型塗布ヘッド部を跨いで塗布方
向前後、及び塗布幅方向左右両端の非塗布部に設けた被
塗布物矯正装置と、スロット型塗布ヘッド部の塗布幅方
向左右両端側面に設けた被塗布物の表面の高さに応じて
ヘッドの高さを調整するヘッド高さ調整装置から構成さ
れてなることを特徴とする請求項1に記載のスロット型
流体塗布装置としたものである。
Further, in the invention according to claim 2, the head height follow-up mechanism is provided at a non-coating portion at the front and rear sides in the coating direction and at both right and left ends in the coating width direction across the slot-type coating head portion. And a head height adjustment device that adjusts the height of the head in accordance with the height of the surface of the object to be coated, provided on both left and right side surfaces in the coating width direction of the slot-type coating head. A slot type fluid application device according to claim 1 is provided.

【0013】また、請求項3の発明では、前記被塗布物
矯正装置が、被塗布物端部のそりを矯正し、かつ被塗布
物の表面高さ変位に追従しながら被塗布物の非塗布部表
面上を搬送することで被塗布物の表面高さ変動にスロッ
ト型塗布ヘッドの高さを追従させることを特徴とする請
求項1または2に記載のスロット型流体塗布装置とした
ものである。
In the invention according to claim 3, the apparatus for correcting an object to be coated corrects a warp of an end of the object to be coated and performs non-coating of the object to be coated while following a surface height displacement of the object to be coated. 3. The slot type fluid coating apparatus according to claim 1, wherein the height of the slot type coating head is made to follow the surface height variation of the object to be coated by being conveyed on the surface of the part. .

【0014】[0014]

【作用】本発明によれば、図2に示すように、スロット
型の塗布ヘッド部(A)に、被塗布物(3)の表面の高
さの変動にあわせて塗布ヘッド部高さを追従させるため
のヘッド高さ追従機構(B)を具備することで、そりや
厚み変動による被塗布物(3)の表面の高さに変動があ
る場合でも、被塗布物(3)と塗布ヘッド部(A)のス
ロット部(As)との隙間を常に一定に保持することが
でき、結果として被塗布物(3)に均一かつ平滑な塗膜
を形成することができる。
According to the present invention, as shown in FIG. 2, the height of the coating head portion follows the slot-type coating head portion (A) in accordance with the variation in the height of the surface of the workpiece (3). The head height following mechanism (B) for causing the object (3) to be coated and the coating head unit even when the surface of the object (3) fluctuates due to warpage or thickness fluctuation. The gap between the slot (A) and the slot (As) in (A) can be always kept constant, and as a result, a uniform and smooth coating film can be formed on the object (3).

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を、図面
により詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0016】図3に示すように、本発明に係わるスロッ
ト型流体塗布装置を構成する押出し部(C)は、塗布用
流体(2)をストックする貯留槽(5)と、該貯留槽
(5)から塗布用流体(2)を排出する排出パイプ
(6)と、該排出パイプ(6)より排出される塗布用流
体(2)をスロット型塗布ヘッド部(A)側に圧送する
ポンプ(7)と、該ポンプ(7)により圧送される塗布
用流体(2)を塗布ヘッド部(A)に供給する圧送供給
パイプ(8)とを備える。
As shown in FIG. 3, an extruding part (C) constituting the slot type fluid coating apparatus according to the present invention comprises a storage tank (5) for storing the coating fluid (2) and the storage tank (5). ) And a pump (7) for pumping the coating fluid (2) discharged from the discharge pipe (6) to the slot type coating head (A) side. ) And a pressure feed pipe (8) for feeding the coating fluid (2) pumped by the pump (7) to the coating head (A).

【0017】また、図4に示すように、スロット型塗布
ヘッド部(A)は、定位置に固定されていて、その下部
先端部に塗布用流体(2)を被塗布物(3)の表面に向
かって吐出するためのスロット部(As)(吐出する塗
布用流体(2)を被塗布物(3)の幅方向に線状に塗布
するTダイ状スリット部)を備える。
As shown in FIG. 4, the slot-type coating head (A) is fixed at a fixed position, and a coating fluid (2) is applied to the lower end of the coating head (A) at the surface of the object (3). Slot (As) (T-die slit section for applying the application fluid (2) to be applied linearly in the width direction of the object (3)).

【0018】前記スロット型塗布塗布ヘッド部(A)
は、図4に示すように、金属製のヘッド本体ブロック
(9)と、前記図3に示す圧送供給パイプ(8)より圧
送される塗布用流体(2)を導入する該ヘッド本体ブロ
ック(9)内に孔設した導入流路(10)とを備える。
The slot type coating head (A)
As shown in FIG. 4, the head body block (9) made of metal and the head body block (9) for introducing the application fluid (2) fed from the feed pipe (8) shown in FIG. ), And an introduction channel (10) provided in the hole.

【0019】前記スロット型塗布ヘッド部(A)には、
図4に示すように、本発明の一部である金属製の被塗布
物矯正装置取り付け部(12)、本体支持部(13)、
スプリング(14)、金属製(例えばステンレス製な
ど)の車輪(15)により構成される被塗布物矯正装置
(D)が塗布方向に対して該スロット型塗布ヘッド部
(A)の上流側(図4の左側)、下流側(図4の右側)
のそれぞれ左右の非塗布位置に各1台備えられている。
In the slot type coating head (A),
As shown in FIG. 4, a metal object correction device mounting part (12), a main body support part (13), and a part of the present invention,
An object-to-be-corrected device (D) composed of a spring (14) and a metal (for example, stainless steel) wheel (15) is provided on the upstream side of the slot type coating head portion (A) with respect to the coating direction (FIG. 4 left), downstream (right in FIG. 4)
Is provided at each of the left and right non-application positions.

【0020】また前記スロット型塗布ヘッド部(A)に
は、図5に示すように、リニアアクチュエーター(AC
・DCサーボモーター、またはパルスモーターなど)に
より上下に駆動するヘッド高さ調整装置(E)が、塗布
幅方向左右両端の側面に各1台備えられている。
As shown in FIG. 5, a linear actuator (AC) is provided on the slot type coating head (A).
A head height adjusting device (E) driven up and down by a DC servo motor or a pulse motor is provided on each of the left and right sides of the coating width direction.

【0021】また、図4に示すように、前記被塗布物矯
正装置(D)において、被塗布物載置テーブル(16)
面からの車輪(15)の最下端部高さ(H)が、スロッ
ト型塗布ヘッド部(A)のスロット部(As)の最下端
部高さ(Ha)以下でかつ被塗布物表面高さ(Hb)以
上になるように前記図5に示すヘッド高さ調整装置
(E)により高さが調整される。また、車輪(15)は
デルリンベアリング(もしくはエアーベアリング)によ
りなめらかに回転自在に保持されて、塗布の際には、被
塗布物(3)の非塗布部表面と接触して被塗布物移動速
度と同速で連れ回りする。
As shown in FIG. 4, in the apparatus for correcting an object to be coated (D), an object mounting table (16) is provided.
The height (H) of the lowermost end of the wheel (15) from the surface is equal to or less than the height (Ha) of the lowermost end of the slot (As) of the slot type coating head (A) and the surface height of the object to be coated. (Hb) The height is adjusted by the head height adjusting device (E) shown in FIG. 5 as described above. The wheel (15) is smoothly and rotatably held by a Delrin bearing (or an air bearing). When the wheel (15) is applied, the wheel (15) comes into contact with the surface of the non-applied portion of the object (3) to move the object. And go around at the same speed.

【0022】また、図3に示すように、塗布用流体
(2)は、ポンプ(7)にて所定の圧力にて、圧送供給
パイプ(8)を経てスロット型塗布ヘッド部(A)内に
圧送され、導入流路(10)からスロット流路(図1に
示す)を経て、スロット部(As)より単位時間あたり
一定流量にて被塗布物(3)の幅方向に吐出する。
As shown in FIG. 3, the coating fluid (2) is supplied to the slot-type coating head (A) by a pump (7) at a predetermined pressure through a pressure feed pipe (8). It is pressure-fed and discharged from the introduction flow path (10) through the slot flow path (shown in FIG. 1) at a constant flow rate per unit time from the slot section (As) in the width direction of the object (3).

【0023】被塗布物載置テーブル(16)は、図3に
示すように、1個乃至2個以上複数個が、水平方向に移
動可能に設置されていて、該テーブル(16)上には被
塗布物(3)が載置固定される。さらに、図3におい
て、右端の被塗布物載置テーブル(16)上には未塗布
状態の被塗布物(3)が、中間の被塗布物載置テーブル
(16)上には塗布途中の被塗布物(3)が、左端の被
塗布物載置テーブル(16)上には塗布済みの被塗布物
(3)が、それぞれ載置固定される。
As shown in FIG. 3, one to two or more pieces of the object placing table (16) are installed so as to be movable in the horizontal direction, and are placed on the table (16). The object to be coated (3) is placed and fixed. Further, in FIG. 3, an unapplied object (3) is placed on the object-loading table (16) at the right end, and an unapplied object is placed on the intermediate object-loading table (16). The coated object (3) is placed and fixed on the coated object mounting table (16) at the left end, respectively.

【0024】また、上記被塗布物載置テーブル(16)
は、水平方向に移動可能な水平テーブル本体と、該テー
ブル本体を移動動作させる移動駆動手段とを備える。
Also, the object-to-be-coated table (16)
Comprises a horizontal table main body movable in a horizontal direction, and a movement driving means for moving the table main body.

【0025】上記移動駆動手段は、駆動源(サーボモー
ター、またはパルスモーター、またはエアーシリンダ
ー)と、移動方向にガイドするリニアガイド部と、駆動
伝達部(ギア、スプロケット、チェーン、スパイラルシ
ャフト、ラックギア&ピニオンギアなど)により構成さ
れる。
The moving driving means includes a driving source (servo motor, pulse motor, or air cylinder), a linear guide for guiding in the moving direction, and a drive transmitting unit (gear, sprocket, chain, spiral shaft, rack gear & Pinion gear).

【0026】さらに、上記被塗布物載置テーブル(1
6)は、図3に示すように、水平テーブル本体と該テー
ブル本体の下部(もしくは側部)に一体的に設けたブラ
ケット(17)と、該テーブル本体の水平移動方向に設
置したリニアガイド(18)を備える。
Further, the object to be coated table (1)
6), as shown in FIG. 3, a horizontal table body, a bracket (17) integrally provided at a lower portion (or a side portion) of the table body, and a linear guide ( 18).

【0027】前記リニアガイド(18)は、テーブル本
体もしくはブラケット(17)の側面に摺設してガイド
するリニアガイドステー、またはテーブル本体もしくは
ブラケット(17)に貫設した貫設部に嵌装するリニア
ガイドシャフトで構成される。
The linear guide (18) is fitted on a linear guide stay that slides and guides on the side surface of the table body or the bracket (17) or a penetrating portion penetrated through the table body or the bracket (17). Consists of a linear guide shaft.

【0028】そして、装置本体の両端(図3の左右両端
部)に設置された軸受け支持部(19)(装置本体フレ
ームを兼ねる)により軸支されて1個または2個以上の
テーブルの下部の前記ブラケット(17)に水平移動方
向に螺着するスパイラルシャフト(20)と、該スパイ
ラルシャフト(20)を駆動回転させるためのサーボモ
ーター(21)と、該サーボモーター(21)の回転動
作系と連動して設置されるロータリーエンコーダ(2
2)(またはリニアガイドに平行に設置されるリニアエ
ンコーダ)による移動位置、移動量検出部とにより構成
される。
The lower and upper surfaces of one or more tables are supported by bearing supporting portions (19) (also serving as frames of the apparatus main body) installed at both ends (left and right ends of FIG. 3) of the apparatus main body. A spiral shaft (20) screwed to the bracket (17) in the horizontal movement direction, a servomotor (21) for driving and rotating the spiral shaft (20), and a rotation operation system of the servomotor (21). Rotary encoder (2
2) It is configured by a moving position and moving amount detecting unit by (or a linear encoder installed in parallel with the linear guide).

【0029】また、図3に示すように、サーボモーター
(21)により所定回転速度でスパイラルシャフト(2
0)を正転(または逆転)方向に回転させることによ
り、該シャフト(20)を螺着したブラケット(17)
は前進(または後退)移動操作し、該ブラケット(1
7)上に取り付けた被塗布物載置テーブル(16)は、
リニアガイド(18)に沿って水平方向に前進(または
後退)移動し、スロット型塗布ヘッド部(A)の下側を
所定の高さ(離間距離)を以て所定の速度で水平移動す
る。
As shown in FIG. 3, the spiral shaft (2) is rotated at a predetermined rotational speed by a servomotor (21).
By rotating (0) in the forward (or reverse) direction, the bracket (17) to which the shaft (20) is screwed is attached.
Moves forward (or backward) and moves the bracket (1
7) The object mounting table (16) mounted on the
It moves forward (or retreats) in the horizontal direction along the linear guide (18), and horizontally moves at a predetermined speed (separation distance) below a slot-type coating head (A) at a predetermined height (separation distance).

【0030】上記被塗布物載置テーブル(16)の水平
移動速度は、制御部(F)によって制御され、該制御部
Fは、入力部と、中央処理制御部(CPU回路;マイク
ロプロセッサー、プログラマブルコントローラ、シーケ
ンサなど)と、演算部と、プログラムメモリ、コントロ
ールメモリ、セットアップメモリなど記憶部と、入力デ
ータ、制御データ、制御処理データなどをデータ出力す
る出力部と、出力データを可視表示する表示部(CR
T、LCDディスプレイ、プリンターなど)と、外部記
憶部(レコーダー)を備えている。
The horizontal movement speed of the object-loading table 16 is controlled by a control unit F. The control unit F includes an input unit and a central processing control unit (CPU circuit; microprocessor, programmable). Controller, sequencer, etc.), arithmetic unit, storage unit such as program memory, control memory, setup memory, output unit for outputting input data, control data, control processing data, etc., and display unit for visually displaying output data (CR
T, LCD display, printer, etc.) and an external storage unit (recorder).

【0031】この入力は、予め既知の塗布条件として、
キーボードやマウスなど、或いはフロッピーディスクな
ど記録媒体から入力データーをダウンロードするための
ディスクドライブなど入力部から、被塗布物のサイズ、
厚み、塗布膜厚などを中央処理制御部に設定入力する。
This input is given as a known application condition in advance.
From the input unit such as a keyboard or mouse, or a disk drive for downloading input data from a recording medium such as a floppy disk,
The thickness, coating film thickness, etc. are set and input to the central processing control unit.

【0032】そして、前記制御部(F)は、その塗布条
件に基づいて最適な被塗布物載置テーブル(16)の塗
布移動速度など動作制御データを演算出力し、その動作
制御データに基づいて、サーボモーター(21)の回転
速度、回転方向を制御して、被塗布物載置テーブル(1
6)の水平移動速度を所定の速度に維持したり、もしく
は変速したり、または前進(図3の左方向)・後退(図
3の右方向)動作させたりするものである。
The control unit (F) calculates and outputs operation control data such as the optimum application moving speed of the object-loading table 16 based on the application conditions, and based on the operation control data. , The rotation speed and the rotation direction of the servomotor (21) are controlled, and
The horizontal movement speed of 6) is maintained at a predetermined speed, or the speed is changed, or a forward (leftward in FIG. 3) and backward (rightward in FIG. 3) operation is performed.

【0033】または、予め既知の塗布条件として、キー
ボードやマウスなど、あるいはフロッピーディスクなど
記憶媒体から入力データをダウンロードするためのディ
スクドライブなどの入力部から、被塗布物(3)のサイ
ズ、厚み、塗布膜厚などを中央処理制御部に設定入力し
た上で、装置本体動作中に出力されるリアルタイムでの
塗布条件として、装置本体の各エレメント移動装置や移
動量を検出する検出用エンコーダによって検出されたデ
ータを制御処理用データ信号として入力部からリアルタ
イムにて中央処理制御部に入力する。
Alternatively, the size, thickness, and thickness of the object to be coated (3) may be determined as input conditions such as a keyboard, a mouse, or a disk drive for downloading input data from a storage medium such as a floppy disk. After setting and inputting the coating film thickness etc. to the central processing control unit, the real-time coating conditions output during the operation of the device main body are detected by each element moving device of the device main body and the detection encoder that detects the moving amount The input data is input from the input unit to the central processing control unit in real time as a control processing data signal.

【0034】そして、前記制御部(F)は、その塗布条
件に基づいて最適な被塗布物載置テーブル(16)の塗
布移動速度など動作制御データを演算出力し、その動作
制御データに基づいて、サーボモーター21の回転速
度、回転方向を制御して、被塗布物載置テーブル(1
6)の水平移動速度を所定の速度に維持したり、もしく
は変速したり、または前進(図3の左方向)・後退(図
3の右方向)動作させたりするものである。
The control unit (F) calculates and outputs operation control data such as an optimum application moving speed of the object mounting table (16) based on the application conditions, and based on the operation control data. , The rotation speed and the rotation direction of the servomotor 21 are controlled, and
The horizontal movement speed of 6) is maintained at a predetermined speed, or the speed is changed, or a forward (leftward in FIG. 3) and backward (rightward in FIG. 3) operation is performed.

【0035】また、図2に示すように、被塗布物載置テ
ーブル(16)に対してスロット型塗布ヘッド部(A)
を上昇・下降動作させるための昇降機構(G)は、被塗
布物載置テーブル(16)の幅方向の両側に垂直に立設
した支柱(23)と該支柱(23)に支持されて被塗布
物載置テーブル(16)上側に架設した支持フレーム
(24)とを備える。
Further, as shown in FIG. 2, the slot type coating head (A) is positioned with respect to the coating object mounting table (16).
An elevating mechanism (G) for raising and lowering the table is provided with a column (23) which stands vertically on both sides in the width direction of the object-loading table (16), and is supported by the column (23). A support frame (24) provided above the application object mounting table (16).

【0036】大幅なレンジの昇降動作には、前記昇降機
構(G)が使用され、小幅なレンジ(微調整用)の動作
には、前記ヘッド高さ調整装置(E)が使用される。
The elevating mechanism (G) is used for a large range elevating operation, and the head height adjusting device (E) is used for a small range (fine adjustment) operation.

【0037】前記昇降機構(G)、またはヘッド高さ調
整装置(E)を動作することにより、前記支持フレーム
(24)に取り付け支持したスロット部(As)を、被
塗布物載置テーブル(16)に対して平行関係を保持し
た状態で、その高さ(離間距離)を、適宜に離間乃至接
近動作できるようになっている。
By operating the elevating mechanism (G) or the head height adjusting device (E), the slot (As) attached to and supported by the support frame (24) is moved to the work table (16). ), The height (separation distance) can be appropriately set apart or approaching while maintaining a parallel relationship with respect to (1).

【0038】本発明では、まず被塗布物載置テーブル
(16)上に枚葉状の被塗布物(3)、例えば多層プリ
ント配線板用基板など、を載置し、該被塗布物載置テー
ブル(16)表面上に設置された吸引孔により吸着保持
させる。次いで該被塗布物載置テーブル(16)を所定
位置に水平移動(前進)させ、同時に該スロット型塗布
ヘッド部(A)を一定の隙間を保持して被塗布物(3)
上に下降させる。
In the present invention, first, an object to be coated (3), for example, a substrate for a multilayer printed wiring board, is placed on an object to be coated table (16). (16) Suction and holding by suction holes provided on the surface. Next, the application object mounting table (16) is horizontally moved (advanced) to a predetermined position, and at the same time, the application object (3) is held while the slot-type application head portion (A) is kept at a constant gap.
Lower it up.

【0039】次いで、該被塗布物載置テーブル(16)
を所定速度にて水平移動(前進)させながら、塗布ヘッ
ド部(A)に装備した被塗布物矯正装置(D)により、
被塗布物(3)のそりなどを矯正し、ヘッド高さ調整装
置(E)によりスロット型塗布ヘッドのスロット部(A
s)と被塗布物(3)との隙間を所定の離間距離となる
よう昇降動作させる。
Next, the object mounting table (16)
While horizontally moving (advancing) at a predetermined speed, the coating object correcting device (D) provided in the coating head portion (A)
The warp of the object (3) is corrected, and the slot (A) of the slot type coating head is adjusted by the head height adjusting device (E).
s) and the object to be coated (3) are moved up and down so as to have a predetermined separation distance.

【0040】次いで、塗布用流体(2)を、ポンプ
(7)にて所定の圧力にて、圧送供給パイプ(8)を経
て塗布ヘッド部(A)内に圧送し、導入流路(10)か
らスロット流路(1)を経て、スロット部(As)より
単位時間当たり一定流量にて被塗布物(3)の幅方向表
面に吐出させる。
Next, the coating fluid (2) is pumped into the coating head section (A) by a pump (7) at a predetermined pressure through a pressure feed pipe (8), and is introduced into an introduction flow path (10). Through the slot flow path (1) and from the slot (As) at a constant flow rate per unit time onto the surface of the object (3) in the width direction.

【0041】塗布中は、前記被塗布物矯正装置(D)に
設けられている金属製(例えばステンレス製など)の車
輪(15)が被塗布物載置テーブル(16)の移動速度
と同速で連れ回りし、被塗布物(3)の表面高さに変動
がある場合には、その高さ変動に追従して被塗布物
(3)の非塗布部を搬送するようになっている。
During the coating, the metal (for example, stainless steel) wheels (15) provided in the coating object correcting device (D) are moved at the same speed as the moving speed of the coating object mounting table (16). When the surface height of the object (3) fluctuates, the non-application portion of the object (3) is conveyed following the height fluctuation.

【0042】塗布終了後、該スロット型塗布ヘッド部
(A)を昇降機構(G)により上昇させ、該被塗布物載
置テーブル(16)を所定位置まで水平移動させて、吸
引を開放し被塗布物(3)を排出させる。
After the coating is completed, the slot type coating head (A) is raised by the elevating mechanism (G), and the coating object mounting table (16) is moved horizontally to a predetermined position, and the suction is released and the coating is performed. The applied material (3) is discharged.

【0043】[0043]

【実施例】次に実施例により、本発明をより具体的に説
明する。 〈実施例1〉図2に示すような本発明であるヘッド高さ
追従装置(B)を備えたスロット型流体塗布装置(10
0)にて、被塗布物として、高さが15μm、幅が10
0μm以下の導体回路層によって形成された凹凸のあ
る、凹状そり率(辺と平行方向に、凹状に変形すること
で、長さ1000mmに対する最大そりの百分率)0.
5%、面内での厚み変動が50μmの銅箔積層プリント
配線板(サイズ340×340mm、厚さ0.4mm)
を使用し、塗布用流体として、ビスフェノールA型エポ
キシアクリレートと無水フタル酸を反応せしめて得られ
る紫外線硬化性樹脂40重量部、脂環式エポキシ樹脂2
0重量部、芳香族を含むエポキシ樹脂5重量部、シリカ
ゲル微粉末10重量部、光重合開始剤等添加剤5重量部
の混合物に、エチルセロソルブアセテート20重量部を
溶剤として添加したものを使用して、厚さ40μm±
1.5μmの均一かつ平滑な絶縁層を銅箔積層プリント
配線板上に形成することができた。
EXAMPLES Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. <Embodiment 1> A slot type fluid coating apparatus (10) having a head height follower (B) according to the present invention as shown in FIG.
0), the object to be coated has a height of 15 μm and a width of 10 μm.
Concave concave warpage rate (percentage of maximum warp per 1000 mm length by deforming concavely in the direction parallel to the side) with unevenness formed by a conductor circuit layer of 0 μm or less
5%, copper foil laminated printed wiring board (size 340 × 340mm, thickness 0.4mm) with in-plane thickness variation of 50μm
And as a coating fluid, 40 parts by weight of an ultraviolet curable resin obtained by reacting bisphenol A type epoxy acrylate with phthalic anhydride, alicyclic epoxy resin 2
A mixture obtained by adding 20 parts by weight of ethyl cellosolve acetate as a solvent to a mixture of 0 parts by weight, 5 parts by weight of an epoxy resin containing an aromatic compound, 10 parts by weight of silica gel fine powder, and 5 parts by weight of an additive such as a photopolymerization initiator is used. And thickness 40μm ±
A 1.5 μm uniform and smooth insulating layer could be formed on the copper foil laminated printed wiring board.

【0044】〈実施例2〉図2に示すような本発明であ
るヘッド高さ追従装置(B)を備えたスロット型流体塗
布装置(100)にて、被塗布物として、高さが18μ
m、幅が100μm以下の導体回路層によって形成され
た凹凸のある、凹状そり率(辺と平行方向に、凹状に変
形することで、長さ1000mmに対する最大そりの百
分率)0.3%、面内での厚み変動が80μmの銅箔積
層プリント配線板(サイズ340×340mm、厚さ
0.8mm)を使用し、塗布用流体として、ビスフェノ
ールA型エポキシアクリレートと無水フタル酸を反応せ
しめて得られる紫外線硬化性樹脂40重量部、脂環式エ
ポキシ樹脂20重量部、芳香族を含むエポキシ樹脂5重
量部、シリカゲル微粉末10重量部、光重合開始剤等添
加剤5重量部の混合物に、エチルセロソルブアセテート
20重量部を溶剤として添加したものを使用して、厚さ
35μm±1.2μmの均一かつ平滑な絶縁層を銅箔積
層プリント配線板上に形成することができた。
<Embodiment 2> A slot type fluid coating apparatus (100) having a head height follower (B) according to the present invention as shown in FIG.
m, concave and convex warpage rate (percentage of maximum warp per 1000 mm length by deforming concavely in a direction parallel to the side) with unevenness formed by a conductor circuit layer having a width of 100 μm or less 0.3% A copper foil laminated printed wiring board (size 340 × 340 mm, thickness 0.8 mm) having a thickness variation of 80 μm in the inside is obtained by reacting bisphenol A type epoxy acrylate with phthalic anhydride as a coating fluid. Ethyl cellosolve was added to a mixture of 40 parts by weight of an ultraviolet curable resin, 20 parts by weight of an alicyclic epoxy resin, 5 parts by weight of an aromatic epoxy resin, 10 parts by weight of silica gel fine powder, and 5 parts by weight of additives such as a photopolymerization initiator. Using 20 parts by weight of acetate as a solvent, a uniform and smooth insulating layer having a thickness of 35 μm ± 1.2 μm is formed on a copper foil laminated printed wiring board. I was able to.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、表面に凹凸を有する枚葉状
の被塗布物に塗布用流体を塗布するスロット型流体塗布
装置において、スロット型の塗布ヘッド部に、該被塗布
物の表面高さの変動に応じてヘッド高さを追従させるた
めのヘッド高さ追従機構を具備し、そのヘッド高さ追従
機構が、スロット型塗布ヘッド部を跨いで塗布方向前
後、及び塗布幅方向左右両端の非塗布部に設けた被塗布
物矯正装置と、スロット型塗布ヘッド部の塗布幅方向左
右両端側面に設けた被塗布物の表面の高さに応じてヘッ
ドの高さを調整するヘッド高さ調整装置から構成され、
また、前記被塗布物矯正装置が、被塗布物端部のそりを
矯正し、かつ被塗布物の表面高さ変位に追従しながら被
塗布物の非塗布部表面上を搬送することで被塗布物の表
面高さ変動にスロット型塗布ヘッドの高さを追従させる
スロット型流体塗布装置としたので、スロット型塗布ヘ
ッド部と被塗布物との隙間距離を一定に保持することが
でき、塗布用流体の液溜まりを安定化させ、結果として
被塗布物に均一かつ平滑な塗膜を得ることができる。
As described above, the present invention has the following effects. That is, in a slot-type fluid coating apparatus for applying a coating fluid to a sheet-shaped object to be coated having irregularities on its surface, a slot-type coating head is provided with a head height corresponding to a change in the surface height of the object to be coated. A head height follow-up mechanism for following the head is provided, and the head height follow-up mechanism is provided on the non-coating portions at the left and right ends on the left and right sides in the coating width direction in the coating direction across the slot-type coating head portion. It is composed of an object straightening device and a head height adjusting device that adjusts the height of the head according to the height of the surface of the object to be coated provided on both left and right side surfaces in the coating width direction of the slot type coating head portion,
In addition, the apparatus for correcting an object to be coated corrects a warp of an edge of the object to be coated, and conveys the surface of the object to be coated on a non-coated part surface while following a surface height displacement of the object to be coated. Since the slot type fluid coating device is designed so that the height of the slot type coating head follows the fluctuation of the surface height of the object, the gap distance between the slot type coating head and the object can be kept constant. The liquid pool is stabilized, and as a result, a uniform and smooth coating film can be obtained on the object to be coated.

【0046】また、従来の接触式あるいは非接触式の電
位計を用いて、塗布ヘッド部を昇降する方式に較べ、検
出のための時間が塗布工程の時間とは別に余分にかかる
という問題がないので、スループットを上げられ、高額
な検出機構装備を必要としないので、簡便で安価なスロ
ット型流体塗布装置とすることができる。
Further, as compared with the conventional method of elevating and lowering the coating head using a contact or non-contact electrometer, there is no problem in that the time for detection is extra than the time of the coating process. Therefore, the throughput can be increased and an expensive detection mechanism is not required, so that a simple and inexpensive slot type fluid application device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係わる従来のスロット型流体塗布装置
での塗布状態を説明する側面図である。
FIG. 1 is a side view for explaining an application state in a conventional slot type fluid application apparatus according to the present invention.

【図2】本発明のスロット型流体塗布装置の全体側面図
である。
FIG. 2 is an overall side view of the slot type fluid application device of the present invention.

【図3】本発明のスロット型流体塗布装置の全体正面図
である。
FIG. 3 is an overall front view of the slot type fluid application device of the present invention.

【図4】本発明のスロット型流体塗布装置のヘッド高さ
追従機構およびヘッド高さ(離間距離)を説明する正面
図である。
FIG. 4 is a front view for explaining a head height following mechanism and a head height (separation distance) of the slot type fluid application device of the present invention.

【図5】本発明のスロット型流体塗布装置のヘッド高さ
追従機構を説明する側面図である。
FIG. 5 is a side view for explaining a head height following mechanism of the slot type fluid application device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1‥‥スロット流路、 2‥‥塗布用流体 3‥‥被塗布物 4‥‥液溜まり 5‥‥貯留槽 6‥‥排出パイプ 7‥‥ポンプ 8‥‥圧送供給パイプ 9‥‥ヘッド本体ブロック 10‥‥導入流路 12‥‥被塗布物矯正装置取り付け部 13‥‥本体支持部 14‥‥スプリング 15‥‥車輪 16‥‥被塗布物載置テーブル 17‥‥ブラケット 18‥‥リニアガイド 19‥‥軸受け支持部 20‥‥スパイラルシャフト 21‥‥サーボモーター 22‥‥ロータリーエンコーダ 23‥‥支柱 24‥‥支持フレーム 100‥‥スロット型流体塗布装置 A‥‥スロット型塗布ヘッド部 As‥‥スロット部 B‥‥ヘッド高さ追従機構 C‥‥押し出し部 D‥‥被塗布物矯正装置 E‥‥ヘッド高さ調整装置 F‥‥制御部 G…昇降機構 H‥‥車輪最下点高さ Ha‥‥スロット部最下点高さ Hb‥‥被塗布物表面高さ 1 slot flow path, 2 coating fluid 3 coating object 4 liquid pool 5 storage tank 6 discharge pipe 7 pump 8 pressure supply pipe 9 head body block 10 Introductory flow passage 12 Mounting part straightening device mounting part 13 Body support part 14 Spring 15 Wheel 16 Table Work table 17 Bracket 18 Linear guide 19 ‥ Bearing support part 20 ‥‥ Spiral shaft 21 ‥‥ Servo motor 22 ‥‥ Rotary encoder 23 ‥‥ Post 24 ‥‥ Support frame 100 ‥‥ Slot type fluid coating device A ‥‥ Slot type coating head As ‥‥ Slot B ‥‥ Head height follow-up mechanism C ‥‥ Extrusion D Is Ha ‥‥ slot lowest point height Hb ‥‥ the coating object surface height

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】表面に凹凸を有する枚葉状の被塗布物に塗
布用流体を塗布するスロット型流体塗布装置において、
スロット型の塗布ヘッド部に、該被塗布物の表面高さの
変動に応じてヘッド高さを追従させるためのヘッド高さ
追従機構を具備してなることを特徴とするスロット型流
体塗布装置。
1. A slot type fluid application device for applying an application fluid to a sheet-shaped object having irregularities on a surface thereof.
A slot-type fluid coating device, comprising: a slot-type coating head unit; and a head-height follow-up mechanism for following the head height according to a change in the surface height of the object to be coated.
【請求項2】前記ヘッド高さ追従機構が、スロット型塗
布ヘッド部を跨いで塗布方向前後、及び塗布幅方向左右
両端の非塗布部に設けた被塗布物矯正装置と、スロット
型塗布ヘッド部の塗布幅方向左右両端側面に設けた被塗
布物の表面の高さに応じてヘッドの高さを調整するヘッ
ド高さ調整装置から構成されてなることを特徴とするを
請求項1に記載のスロット型流体塗布装置。
2. A device for correcting an object to be coated, wherein said head height follow-up mechanism is provided at a non-coating portion across the slot-type coating head portion in front and rear directions in the coating direction and at both left and right ends in a coating width direction, and a slot-type coating head portion. 2. The apparatus according to claim 1, further comprising: a head height adjusting device that adjusts the height of the head according to the height of the surface of the object to be coated provided on both left and right side surfaces in the application width direction. Slot type fluid coating device.
【請求項3】前記被塗布物矯正装置が、被塗布物端部の
そりを矯正し、かつ被塗布物の表面高さ変位に追従しな
がら被塗布物の非塗布部表面上を搬送することで被塗布
物の表面高さ変動にスロット型塗布ヘッドの高さを追従
させることを特徴とする請求項1または2に記載のスロ
ット型流体塗布装置。
3. The apparatus for correcting an object to be coated corrects a warp of an end of the object to be coated, and conveys the object to be coated on a surface of a non-coated part while following a surface height displacement of the object. 3. The slot type fluid coating apparatus according to claim 1, wherein the height of the slot type coating head is made to follow the surface height variation of the object to be coated.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016002515A (en) * 2014-06-16 2016-01-12 平田機工株式会社 Coating method, coating device, manufacturing method, and manufacturing device

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