JPH11153479A - サーボ型振動検出器 - Google Patents
サーボ型振動検出器Info
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- JPH11153479A JPH11153479A JP33494097A JP33494097A JPH11153479A JP H11153479 A JPH11153479 A JP H11153479A JP 33494097 A JP33494097 A JP 33494097A JP 33494097 A JP33494097 A JP 33494097A JP H11153479 A JPH11153479 A JP H11153479A
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- displacement
- feedback
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- pendulum
- servo
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 サーボ型振動検出器において、変位検出部で
得られた変位に基づく速度フィードバックと変位フィー
ドバックとの各フィードバック量を独立して設定できる
ようにする。 【解決手段】 振子３を零位置に戻すための駆動系を第
１，第２の２つの駆動コイル21, 22で構成し、各駆動コ
イルにそれぞれ独立した２系統のフィードバック回路を
設ける構成により、変位フィードバック量と速度フィー
ドバック量とを独立して設定できるようにした。
得られた変位に基づく速度フィードバックと変位フィー
ドバックとの各フィードバック量を独立して設定できる
ようにする。 【解決手段】 振子３を零位置に戻すための駆動系を第
１，第２の２つの駆動コイル21, 22で構成し、各駆動コ
イルにそれぞれ独立した２系統のフィードバック回路を
設ける構成により、変位フィードバック量と速度フィー
ドバック量とを独立して設定できるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、サーボ型振動検出
器に関し、特に振子の変位から直接振動速度の検出を行
なうようにしたサーボ型振動検出器に関する。
器に関し、特に振子の変位から直接振動速度の検出を行
なうようにしたサーボ型振動検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】はじめに、図５によりサーボ型振動検出
器について説明すると、サーボ型振動検出器10は、ケー
ス１とこのケース１の内部に設けられた駆動部２，振子
３，変位検出部４およびサーボアンプ５とにより構成さ
れている。
器について説明すると、サーボ型振動検出器10は、ケー
ス１とこのケース１の内部に設けられた駆動部２，振子
３，変位検出部４およびサーボアンプ５とにより構成さ
れている。
【０００３】駆動部２はケース１に固着されたマグネッ
ト（永久磁石）２ａと振子３に巻回されてマグネット２
ａに対向配置された駆動コイル（以下単に「コイル」と
呼ぶ）２ｂとならなり、コイル２ｂに電流を流すことに
より、コイル２ｂを取り付けられた振子３を移動させる
電磁気力を発生できるようになっている。振子３と、マ
グネット２ａとの間に、バネ３ａとダンパー３ｂとが並
列に介装されている。
ト（永久磁石）２ａと振子３に巻回されてマグネット２
ａに対向配置された駆動コイル（以下単に「コイル」と
呼ぶ）２ｂとならなり、コイル２ｂに電流を流すことに
より、コイル２ｂを取り付けられた振子３を移動させる
電磁気力を発生できるようになっている。振子３と、マ
グネット２ａとの間に、バネ３ａとダンパー３ｂとが並
列に介装されている。
【０００４】変位検出部４は、振子３に取り付けられた
極板４ａとケース１側（固定側）の極板４ｂとの間で形
成されたコンデンサ40の両極板４ａ, ４ｂ間の電気容量
の変位を測定することにより、振子３の変位検出を行な
う構成となっている。サーボアンプ５は、駆動部２と変
位検出部４とを整合させるために設けられている。
極板４ａとケース１側（固定側）の極板４ｂとの間で形
成されたコンデンサ40の両極板４ａ, ４ｂ間の電気容量
の変位を測定することにより、振子３の変位検出を行な
う構成となっている。サーボアンプ５は、駆動部２と変
位検出部４とを整合させるために設けられている。
【０００５】上述の構成において、振子３に加速度が加
わって零位置からずれると、変位検出部４がこのずれ
（量）を検出し、その信号を受けてサーボアンプ５は駆
動部２のコイル２ｂに電流を流すように作動する。
わって零位置からずれると、変位検出部４がこのずれ
（量）を検出し、その信号を受けてサーボアンプ５は駆
動部２のコイル２ｂに電流を流すように作動する。
【０００６】この電流は、振子３のずれと逆方向の力
（電磁気力）を発生し、振子３を零位置に戻すように作
用する。この電磁気力は振子３にずれを起こした加速度
とバランスしているので、この電流を測定することで、
振子３に加えられた加速度を検出することができる。そ
して、上述の従来のサーボ型振動検出器には、図６にブ
ロック線図で示すような加速度出力の取出し回路が組み
込まれている。
（電磁気力）を発生し、振子３を零位置に戻すように作
用する。この電磁気力は振子３にずれを起こした加速度
とバランスしているので、この電流を測定することで、
振子３に加えられた加速度を検出することができる。そ
して、上述の従来のサーボ型振動検出器には、図６にブ
ロック線図で示すような加速度出力の取出し回路が組み
込まれている。
【０００７】図６中の記号ｍは振子の質量を、記号ｋは
バネ３ａのバネ定数を、記号Ｄはダンパ３ｂの減衰定数
を、記号αは入力加速度を、記号ｅ0は出力電圧を、記
号Ａｓは検出部４の定数（電圧／変位）を、記号Ｇ1は
サーボアンプ５のゲイン（電圧／電圧）変位帰換量を、
記号Ｇ2はサーボアンプ５の速度帰換量（微分特性を含
む）を、記号Ａｆは駆動部３の定数（力／電流）をそれ
ぞれ示しており、この回路における伝達函数ｅ0／α
は、［数１］式で表される。
バネ３ａのバネ定数を、記号Ｄはダンパ３ｂの減衰定数
を、記号αは入力加速度を、記号ｅ0は出力電圧を、記
号Ａｓは検出部４の定数（電圧／変位）を、記号Ｇ1は
サーボアンプ５のゲイン（電圧／電圧）変位帰換量を、
記号Ｇ2はサーボアンプ５の速度帰換量（微分特性を含
む）を、記号Ａｆは駆動部３の定数（力／電流）をそれ
ぞれ示しており、この回路における伝達函数ｅ0／α
は、［数１］式で表される。
【数１】ｅ0／α＝（ｍ・Ａｓ・Ｇ2・Ｓ ＋ ｍ・Ａｓ・
Ｇ1）／［ｍＳ2＋（Ｄ＋Ａｆ・Ａｓ・Ｇ2）Ｓ ＋ ｋ ＋
Ａｆ・Ａｓ・Ｇ1］ ここで、Ｓは複素数演算子である。
Ｇ1）／［ｍＳ2＋（Ｄ＋Ａｆ・Ａｓ・Ｇ2）Ｓ ＋ ｋ ＋
Ａｆ・Ａｓ・Ｇ1］ ここで、Ｓは複素数演算子である。
【０００８】このように、従来のサーボ型振動検出器の
加速度出力の取出し回路には、１台の変位検出部４の出
力を変位および速度の信号に変換し、その変位信号およ
び速度信号に基づいて、サーボアンプ５に内蔵されてい
る第１フィルター回路５ａで変位フィードバック量を、
また第２フィルター回路５ｂで速度フィードバック量を
それぞれ設定し（第２フィルター回路５ｂは電気的微分
回路を含む）、各フィードバック量を１台の駆動部２を
介して入力側の比較器Ｐにフィードバックして振子３の
特性（ｍＳ2＋ＤＳ＋ｋ）を修正するフィードバック回
路７が組み込まれている。
加速度出力の取出し回路には、１台の変位検出部４の出
力を変位および速度の信号に変換し、その変位信号およ
び速度信号に基づいて、サーボアンプ５に内蔵されてい
る第１フィルター回路５ａで変位フィードバック量を、
また第２フィルター回路５ｂで速度フィードバック量を
それぞれ設定し（第２フィルター回路５ｂは電気的微分
回路を含む）、各フィードバック量を１台の駆動部２を
介して入力側の比較器Ｐにフィードバックして振子３の
特性（ｍＳ2＋ＤＳ＋ｋ）を修正するフィードバック回
路７が組み込まれている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】サーボ型振動検出器で
は、変位フィードバックをかけることにより、バネなど
の機械的不安定さを取り除くことができて感度等が安定
し、また、速度フィードバックをかけると、大きな減衰
を与えることができ、その結果振動検出器の振動数特性
が図７(ａ)に示した特性から図７(ｂ)示した特性に変化
しダイナミックレンジが広がるなどの利点が得られる。
は、変位フィードバックをかけることにより、バネなど
の機械的不安定さを取り除くことができて感度等が安定
し、また、速度フィードバックをかけると、大きな減衰
を与えることができ、その結果振動検出器の振動数特性
が図７(ａ)に示した特性から図７(ｂ)示した特性に変化
しダイナミックレンジが広がるなどの利点が得られる。
【００１０】ところで、従来のように、１台の変位検出
部から得られた振子の変位に基づいて得られた速度フィ
ードバック信号および変位フィードバック信号を１台の
駆動部を介して入力側にフィードバックする構成では、
変位フィードバックおよび速度フィードバックの各フィ
ードバック量が互いに拘束され、各フィードバック量を
それぞれ独立して設定できない、という問題点がある。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
ある。
部から得られた振子の変位に基づいて得られた速度フィ
ードバック信号および変位フィードバック信号を１台の
駆動部を介して入力側にフィードバックする構成では、
変位フィードバックおよび速度フィードバックの各フィ
ードバック量が互いに拘束され、各フィードバック量を
それぞれ独立して設定できない、という問題点がある。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、ケースと、同
ケース内に設けられた駆動部と、上記ケースにバネを介
して移動可能に設けられた振子と、同振子の変位を検出
する変位検出部および速度を検出する速度検出部と、上
記変位検出部および速度検出部で上記振子の零位置から
の変位および速度がそれぞれ検出されたとき同振子を零
位置に戻す電磁気力を上記駆動部に生じさせる電流を供
給可能なサーボアンプとをそなえるとともに、上記の変
位検出部および速度検出部で検出された上記振子の変位
および速度に基づいて設定された変位フィードバック量
および速度フィードバック量を上記駆動部を介して加速
度の入力側の比較器に変位フィードバックおよび速度フ
ィードバックとしてフィードバックさせるフィードバッ
ク回路をそなえたサーボ型振動検出器において、上記の
変位フィードバックと速度フィードバックとを互いに独
立して行なうべく、上記フィードバック回路を互いに独
立した２系統で構成して課題解決の手段としている。
ケース内に設けられた駆動部と、上記ケースにバネを介
して移動可能に設けられた振子と、同振子の変位を検出
する変位検出部および速度を検出する速度検出部と、上
記変位検出部および速度検出部で上記振子の零位置から
の変位および速度がそれぞれ検出されたとき同振子を零
位置に戻す電磁気力を上記駆動部に生じさせる電流を供
給可能なサーボアンプとをそなえるとともに、上記の変
位検出部および速度検出部で検出された上記振子の変位
および速度に基づいて設定された変位フィードバック量
および速度フィードバック量を上記駆動部を介して加速
度の入力側の比較器に変位フィードバックおよび速度フ
ィードバックとしてフィードバックさせるフィードバッ
ク回路をそなえたサーボ型振動検出器において、上記の
変位フィードバックと速度フィードバックとを互いに独
立して行なうべく、上記フィードバック回路を互いに独
立した２系統で構成して課題解決の手段としている。
【００１２】また、上記独立した２系統のフィードバッ
ク回路を構成すべく、上記の駆動部およびサーボアンプ
をそれぞれ２台ずつ設けて課題解決の手段としている。
ク回路を構成すべく、上記の駆動部およびサーボアンプ
をそれぞれ２台ずつ設けて課題解決の手段としている。
【００１３】本発明では、変位フィードバック回路と速
度フィードバック回路とが独立した２系統の回路で構成
されているため、互いに拘束されることなく変位フィー
ドバック量および速度フィードバック量をそれぞれ独自
に設定できる。
度フィードバック回路とが独立した２系統の回路で構成
されているため、互いに拘束されることなく変位フィー
ドバック量および速度フィードバック量をそれぞれ独自
に設定できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の一実施
形態としてのサーボ型振動検出器について説明すると、
図１はその模式構成図、図２(ａ)はその変位検出部の側
断面図、(ｂ)は図２(ａ)のＡ−Ａ矢視断面図，図３(ａ)
は十字バネ接手の要部分解斜視図，(ｂ)は同分解斜視
図、図４はその加速度出力の取出し回路図である。なお
図１〜４中図５，６と同じ符号はほぼ同一の部材を示し
ている。
形態としてのサーボ型振動検出器について説明すると、
図１はその模式構成図、図２(ａ)はその変位検出部の側
断面図、(ｂ)は図２(ａ)のＡ−Ａ矢視断面図，図３(ａ)
は十字バネ接手の要部分解斜視図，(ｂ)は同分解斜視
図、図４はその加速度出力の取出し回路図である。なお
図１〜４中図５，６と同じ符号はほぼ同一の部材を示し
ている。
【００１５】図１に示すように、この実施形態のサーボ
型振動検出器も、ケース（図示せず）と、ケースに内部
に設けられた駆動部２，振子３，変位検出部４，速度検
出部６およびサーボアンプ５とにより形成されている。
型振動検出器も、ケース（図示せず）と、ケースに内部
に設けられた駆動部２，振子３，変位検出部４，速度検
出部６およびサーボアンプ５とにより形成されている。
【００１６】駆動部２は、マグネット２ａと、振子３に
巻回されてマグネット２ａに対向配置された第１駆動コ
イル21，第２駆動コイル22（以下それぞれ「第１コイル
21」,「第２コイル22」と呼ぶ）とからなる第１および
第２の２基の駆動部２Ａ，２Ｂで構成されている。符号
11は振子３の円筒状軸受を示している。
巻回されてマグネット２ａに対向配置された第１駆動コ
イル21，第２駆動コイル22（以下それぞれ「第１コイル
21」,「第２コイル22」と呼ぶ）とからなる第１および
第２の２基の駆動部２Ａ，２Ｂで構成されている。符号
11は振子３の円筒状軸受を示している。
【００１７】変位検出部４は、図２に示すように、一対
の固定側極板41と、一対の固定側極板41, 41間に介装さ
れた振子側極板31とをそなえるとともに、各固定側極板
41と振子側極板31との各対向面上に、電極（コンデン
サ）45を形成する導体45ａが絶縁板を介してそれぞれ取
り付けられて構成されている。
の固定側極板41と、一対の固定側極板41, 41間に介装さ
れた振子側極板31とをそなえるとともに、各固定側極板
41と振子側極板31との各対向面上に、電極（コンデン
サ）45を形成する導体45ａが絶縁板を介してそれぞれ取
り付けられて構成されている。
【００１８】速度検出部は駆動部と同様に振子に巻回さ
れてマグネット２ａの磁気回路内に配置されたコイル６
ａにより構成されている。
れてマグネット２ａの磁気回路内に配置されたコイル６
ａにより構成されている。
【００１９】振子側極板31は、振子に対して一対の板バ
ネ３ｃ，３ｄを十字状に配設した十字バネ接手で連結さ
れており、一対の板バネ３ｃ，３ｄの幾何学上の交点
（後述の軸線13）を中心にしてシーソーのように動ける
ようになっている。
ネ３ｃ，３ｄを十字状に配設した十字バネ接手で連結さ
れており、一対の板バネ３ｃ，３ｄの幾何学上の交点
（後述の軸線13）を中心にしてシーソーのように動ける
ようになっている。
【００２０】すなわち、図３(ａ),(ｂ)に示すように、
十字バネ接手は円筒状の軸受11に嵌合可能なリング部材
12ａに一端部を固着された板バネ３ｃと、振子側極板31
の円筒状大径部32に嵌合可能なリング部材12ｂに一端部
を固着された板バネ３ｄとが、相互に直角方向に向ける
ようにして、両リング部材12ａ, 12ｂが同一中心軸線13
上に配列されるとともに、各板バネ３ｃ，３ｄの他端
を、図３(ｂ)に示すように、他方のリング部材12ｂ, 12
ａに同一の連結部材14を介して連結されるようにして構
成されている。
十字バネ接手は円筒状の軸受11に嵌合可能なリング部材
12ａに一端部を固着された板バネ３ｃと、振子側極板31
の円筒状大径部32に嵌合可能なリング部材12ｂに一端部
を固着された板バネ３ｄとが、相互に直角方向に向ける
ようにして、両リング部材12ａ, 12ｂが同一中心軸線13
上に配列されるとともに、各板バネ３ｃ，３ｄの他端
を、図３(ｂ)に示すように、他方のリング部材12ｂ, 12
ａに同一の連結部材14を介して連結されるようにして構
成されている。
【００２１】サーボアンプ５も、変位検出部４の出力を
入力される第１サーボアンプ５Ａと、速度検出部６の出
力を入力される第２サーボアンプ５Ｂとで構成されてい
る。そして第１駆動部２Ａと変位検出部４とを整合すべ
く第１駆動コイル21に対する電流制御は第１サーボアン
プ５Ａで行なわれる。
入力される第１サーボアンプ５Ａと、速度検出部６の出
力を入力される第２サーボアンプ５Ｂとで構成されてい
る。そして第１駆動部２Ａと変位検出部４とを整合すべ
く第１駆動コイル21に対する電流制御は第１サーボアン
プ５Ａで行なわれる。
【００２２】第２サーボアンプ５Ｂと第２駆動部２Ｂと
の関係についても同様である。そして、コイル６ａの出
力から振動速度の検出を、また第１駆動コイル21の通電
量ｉ1から振子３に加えられた加速度の検出が行なえる
ようになっている。Ｒ1, Ｒ2はそのための負荷抵抗を示
している。
の関係についても同様である。そして、コイル６ａの出
力から振動速度の検出を、また第１駆動コイル21の通電
量ｉ1から振子３に加えられた加速度の検出が行なえる
ようになっている。Ｒ1, Ｒ2はそのための負荷抵抗を示
している。
【００２３】この実施形態では、上述のように変位検出
部，速度検出部および駆動部ならびにサーボアンプがそ
れぞれ互いに独立して構成されて、２系統の出力を取出
し可能となっており、またそれらのフィードバック回路
も互いに独立した２回路で構成されている。
部，速度検出部および駆動部ならびにサーボアンプがそ
れぞれ互いに独立して構成されて、２系統の出力を取出
し可能となっており、またそれらのフィードバック回路
も互いに独立した２回路で構成されている。
【００２４】すなわち、図４に示すように、変位検出部
４系の回路に、変位検出部４の出力を第１サーボアンプ
５Ａのフィルター回路で変位信号に変換して第１駆動部
２Ａを介して入力側の比較器Ｐに変位フィードバックを
行なう第１フィードバック回路７Ａが設けられており、
また速度検出部６系の回路に速度検出用コイル６ａの出
力を第２サーボアンプ５Ｂで速度信号に変換して第２駆
動部２Ｂを介して入力側の比較器Ｐに速度フィードバッ
クを行なう第２フィードバック回路７Ｂが設けられてい
る。そして両フィードバック回路７Ａ，７Ｂは互いに独
立したフィードバック回路を構成している。
４系の回路に、変位検出部４の出力を第１サーボアンプ
５Ａのフィルター回路で変位信号に変換して第１駆動部
２Ａを介して入力側の比較器Ｐに変位フィードバックを
行なう第１フィードバック回路７Ａが設けられており、
また速度検出部６系の回路に速度検出用コイル６ａの出
力を第２サーボアンプ５Ｂで速度信号に変換して第２駆
動部２Ｂを介して入力側の比較器Ｐに速度フィードバッ
クを行なう第２フィードバック回路７Ｂが設けられてい
る。そして両フィードバック回路７Ａ，７Ｂは互いに独
立したフィードバック回路を構成している。
【００２５】図４に示した各回路における伝達函数を、
出力電圧ｅ01，ｅ02 について解くと、［数２］式，
［数３］式となる。
出力電圧ｅ01，ｅ02 について解くと、［数２］式，
［数３］式となる。
【数２】ｅ01／α＝（ｍ・Ａｓ・Ｇ1）／［ｍＳ2＋（Ｄ
＋Ａｖ・Ｇ2・Ａｆ2）Ｓ＋ｋ＋Ａｓ・Ｇ1・Ａｆ1］
＋Ａｖ・Ｇ2・Ａｆ2）Ｓ＋ｋ＋Ａｓ・Ｇ1・Ａｆ1］
【数３】ｅ02／α＝（ｍ・Ａｖ・Ｇ2・Ｓ）／［ｍＳ2＋
（Ｄ＋Ａｖ・Ｇ2・Ａｆ2）Ｓ＋ｋ＋Ａｓ・Ｇ1・Ａｆ1］
（Ｄ＋Ａｖ・Ｇ2・Ａｆ2）Ｓ＋ｋ＋Ａｓ・Ｇ1・Ａｆ1］
【００２６】ここで、Ｇ1，Ｇ2はそれぞれ第１サーボア
ンプ５Ａ，第２サーボアンプ５Ｂの伝達函数をそれぞれ
表している。また、Ａｖは速度検出部６の定数（速度／
電流）を、Ａｆ1，Ａｆ2は第１駆動部２Ａ，第２駆動部
２Ｂの各定数（力／電流）をそれぞれ表している。
ンプ５Ａ，第２サーボアンプ５Ｂの伝達函数をそれぞれ
表している。また、Ａｖは速度検出部６の定数（速度／
電流）を、Ａｆ1，Ａｆ2は第１駆動部２Ａ，第２駆動部
２Ｂの各定数（力／電流）をそれぞれ表している。
【００２７】このようにして、変位フィードバック回路
と速度フィードバック回路とを互いに独立した回路で構
成しているため、変位フィードバックと速度フィードバ
ックの各フィードバック量を互いに拘束されることな
く、独立して設定できることになる。
と速度フィードバック回路とを互いに独立した回路で構
成しているため、変位フィードバックと速度フィードバ
ックの各フィードバック量を互いに拘束されることな
く、独立して設定できることになる。
【００２８】また、各フィードバック量の設定が互いに
独立して行なえるため、例えば変位フィードバックがサ
ーボアンプの電源電圧等の制約によりかからなくなった
場合でも、速度フィードバックが単独で動作し、より大
きな入力振動を測定することが可能となる。
独立して行なえるため、例えば変位フィードバックがサ
ーボアンプの電源電圧等の制約によりかからなくなった
場合でも、速度フィードバックが単独で動作し、より大
きな入力振動を測定することが可能となる。
【００２９】従来のもの（図６参照）では、フィードバ
ック回路が単一であるめ、上記のような場合、変位，速
度の両フィードバックが同時にかからなくなってしまう
が、この実施形態のものではこのような不都合はなくな
る。
ック回路が単一であるめ、上記のような場合、変位，速
度の両フィードバックが同時にかからなくなってしまう
が、この実施形態のものではこのような不都合はなくな
る。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
振子の変位から直接振動速度を検出する形式のサーボ型
振動検出器において、変位フィードバック回路と速度フ
ィードバック回路とが独立した２系統の回路で構成され
ているため、互いに拘束されることなく変位フィードバ
ック量および速度フィードバック量をそれぞれ独自に設
定できる、という効果が得られる。
振子の変位から直接振動速度を検出する形式のサーボ型
振動検出器において、変位フィードバック回路と速度フ
ィードバック回路とが独立した２系統の回路で構成され
ているため、互いに拘束されることなく変位フィードバ
ック量および速度フィードバック量をそれぞれ独自に設
定できる、という効果が得られる。
【図１】本発明の一実施形態としてのサーボ型振動検出
器の模式構成図。
器の模式構成図。
【図２】(ａ)はその変位検出部の側断面図、(ｂ)は図２
(ａ)のＡ−Ａ矢視断面図。
(ａ)のＡ−Ａ矢視断面図。
【図３】(ａ)は十字バネ接手の要部分解斜視図、(ｂ)は
同分解斜視図。
同分解斜視図。
【図４】同加速度出力の取出し回路図。
【図５】従来のサーボ型振動検出器の模式構成図。
【図６】同加速度出力の取出し回路図。
【図７】(ａ),(ｂ)は同振動検出器の振動数特性を示す
図。
図。
１ ケース ２ 駆動部 ２Ａ 第１駆動部 ２Ｂ 第２駆動部 ２ａ マグネット ２ｂ 駆動コイル ３ 振子 ３ａ バネ ３ｂ ダンパー ３ｃ，３ｄ 板バネ ４ 変位検出部 ４ａ 極板 ５ サーボアンプ ５Ａ 第１サーボアンプ ５Ｂ 第２サーボアンプ ６ 速度検出部 ６ａ 速度検出用コイル ７ フィードバック回路 ７Ａ 第１フィードバック回路 ７Ｂ 第２フィードバック回路 11 軸受 12ａ，12ｂ リング部材 13 軸線 14 連結部材 21 第１駆動コイル 22 第２駆動コイル 31 振子側極板 40 コンデンサ 41 固定側極板 45 第１電極（第１コンデンサ） 46 第２電極（第２コンデンサ） 45ａ，46ａ 導体
Claims (2)
- 【請求項１】 ケースと、同ケース内に設けられた駆動
部と、上記ケースにバネを介して移動可能に設けられた
振子と、同振子の変位を検出する変位検出部および速度
を検出する速度検出部と、上記の変位検出部および速度
検出部で上記振子の零位置からの変位および速度が検出
されたとき同振子を零位置に戻す電磁気力を上記駆動部
に生じさせる電流を供給可能なサーボアンプとをそなえ
たサーボ型振動検出器において、上記の変位検出部およ
び速度検出部で検出された上記振子の変位および速度に
基づいて設定された変位フィードバック量および速度フ
ィードバック量を上記駆動部を介して加速度の入力側の
比較器に変位フィードバックおよび速度フィードバック
としてフィードバックさせるフィードバック回路をそな
え、上記の変位フィードバックと速度フィードバックと
を互いに独立して行なうべく、上記フィードバック回路
が互いに独立した２系統で構成されていることを特徴と
する、サーボ型振動検出器。 - 【請求項２】 上記独立した２系統のフィードバック回
路を構成すべく、上記の駆動部およびサーボアンプがそ
れぞれ２台ずつ設けられていることを特徴とする、請求
項１に記載のサーボ型振動検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33494097A JP3731698B2 (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | サーボ型振動検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33494097A JP3731698B2 (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | サーボ型振動検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11153479A true JPH11153479A (ja) | 1999-06-08 |
| JP3731698B2 JP3731698B2 (ja) | 2006-01-05 |
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ID=18282941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33494097A Expired - Fee Related JP3731698B2 (ja) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | サーボ型振動検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3731698B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003004522A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Akashi Corp | サーボ型振動検出器 |
| JP2015087340A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 加速度・速度検出器及び加速度・速度検出方法 |
| CN111896796A (zh) * | 2020-08-03 | 2020-11-06 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种pfc电路的电流振荡检测装置、方法和电源系统 |
-
1997
- 1997-11-19 JP JP33494097A patent/JP3731698B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2003004522A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Akashi Corp | サーボ型振動検出器 |
| JP4488471B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2010-06-23 | 株式会社ミツトヨ | サーボ型振動検出器 |
| JP2015087340A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 株式会社ミツトヨ | 加速度・速度検出器及び加速度・速度検出方法 |
| CN111896796A (zh) * | 2020-08-03 | 2020-11-06 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种pfc电路的电流振荡检测装置、方法和电源系统 |
| CN111896796B (zh) * | 2020-08-03 | 2021-07-20 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种pfc电路的电流振荡检测装置、方法和电源系统 |
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