JPH11145168A - Resin injection method in flip-chip package - Google Patents

Resin injection method in flip-chip package

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JPH11145168A
JPH11145168A JP32234597A JP32234597A JPH11145168A JP H11145168 A JPH11145168 A JP H11145168A JP 32234597 A JP32234597 A JP 32234597A JP 32234597 A JP32234597 A JP 32234597A JP H11145168 A JPH11145168 A JP H11145168A
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JP
Japan
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resin
substrate
chip package
gap
electronic component
Prior art date
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Application number
JP32234597A
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Japanese (ja)
Inventor
Kouki Kuno
孝希 久野
Hirotaka Okamoto
裕貴 岡本
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Towa Corp
Original Assignee
Towa Corp
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Publication date
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Publication of JPH11145168A publication Critical patent/JPH11145168A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L24/743Apparatus for manufacturing layer connectors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve productivity of a flip-chip package, by forcefully injecting a resin into a gap between an electronic component and a substrate on a flip- chip package in a short time. SOLUTION: A through-hole 6 and an injection hole 10 are connected together, and a resin pressuring mechanism 7 is located at a predetermined position on a substrate 3. Next, a fluid resin 5 is supplied to the inside of a cylinder 8, the fluid resin 5 is pressured inside the cylinder 8 by a piston 9, and the fluid resin 5 is forcefully pressured and injected in a gap between an electronic part 2 and the substrate 3 through a through-hole 6 in the substrate 3. By doing this, the gap between the electronic part and substrate can be filled up in a short time with the resin and then the productivity of the flip-chip package can be improved. Also, voids pulled in to the resin can be efficiently prevented, and the products with high quality and high reliability can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、フリップチップパッ
ケージにおけるIC等の電子部品と基板との隙間に樹脂
を注入充填する(流し込んで充填する)フリップチップ
パッケージにおける樹脂の注入方法の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a method for injecting and filling a resin into a gap between an electronic component such as an IC and a substrate in the flip chip package.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の方法は、図6に示すように、前記
した電子部品90と基板91との電気的接続等を確保するた
めに、例えば、液状樹脂92をディスペンサー93から滴下
して前記した電子部品90と基板91との隙間94に毛細管現
象を利用して自然に前記樹脂92を注入するようにしてい
る。
2. Description of the Related Art In a conventional method, as shown in FIG. 6, for example, a liquid resin 92 is dropped from a dispenser 93 in order to secure an electrical connection between the electronic component 90 and a substrate 91. The resin 92 is spontaneously injected into the gap 94 between the electronic component 90 and the substrate 91 by utilizing the capillary phenomenon.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記液
状樹脂92を滴下して前記した電子部品90と基板91との隙
間に樹脂92を注入する方法は、前記した液状樹脂92を滴
下してから前記隙間94内を樹脂で充填するまでの注入時
間がかなりの長時間になるので、前記したフリップチッ
プパッケージの生産性が低いと云う弊害がある。また、
前記した注入時間が長くなるので、前記液状樹脂92に空
気等を巻き込む機会が多く、前記樹脂にボイド(泡)が
多量に発生して前記隙間94に樹脂を注入して形成される
製品(フリップチップパッケージ)の品質性及び信頼性
を損なうと云う弊害がある。
However, in the method of dropping the liquid resin 92 and injecting the resin 92 into the gap between the electronic component 90 and the substrate 91, the method of dropping the liquid resin 92 and then dropping the liquid resin 92 is described. Since the time required for filling the gap 94 with the resin is considerably long, there is a problem that the productivity of the flip chip package is low. Also,
Since the injection time is long, air and the like are often entangled in the liquid resin 92, and a large amount of voids (bubbles) are generated in the resin, and a product (flip) formed by injecting the resin into the gap 94 is formed. There is a problem that the quality and reliability of the chip package are impaired.

【0004】従って、本発明は、フリップチップパッケ
ージにおける電子部品と基板との隙間に樹脂を注入する
ときに、前記樹脂を短時間で前記隙間に注入し得て前記
したフリップチップパッケージの生産性を向上させるこ
とを目的とする。また、本発明は、フリップチップパッ
ケージにおける電子部品と基板との隙間に樹脂を注入す
るときに、前記樹脂に巻き込まれるボイドを効率良く防
止し得て高品質性及び高信頼性を備えた製品を得ること
を目的とする。
Accordingly, the present invention provides a method of injecting a resin into a gap between an electronic component and a substrate in a flip-chip package in a short time, thereby reducing the productivity of the flip-chip package. The purpose is to improve. Further, the present invention provides a product having high quality and high reliability which can efficiently prevent voids caught in the resin when injecting the resin into the gap between the electronic component and the substrate in the flip chip package. The purpose is to gain.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記した技術的課題を解
決するための本発明に係るフリップチップパッケージに
おける樹脂の注入方法は、フリップチップパッケージに
おける電子部品と基板との隙間に樹脂を注入するフリッ
プチップパッケージにおける樹脂の注入方法であって、
前記隙間に前記樹脂を強制的に圧入する強制圧入工程を
設けたことを特徴とする。
A method for injecting a resin in a flip chip package according to the present invention for solving the above-mentioned technical problem is a method for injecting a resin into a gap between an electronic component and a substrate in a flip chip package. A method for injecting resin into a chip package,
A forced press-fitting step of forcibly press-fitting the resin into the gap is provided.

【0006】また、前記した技術的課題を解決するため
の本発明に係るフリップチップパッケージにおける樹脂
の注入方法は、前記した強制圧入工程が、樹脂を加圧注
入することを特徴とする。
In addition, a method for injecting a resin in a flip chip package according to the present invention for solving the above-mentioned technical problem is characterized in that the resin is forcibly injected in the forcible press-fitting step.

【0007】また、前記した技術的課題を解決するため
の本発明に係るフリップチップパッケージにおける樹脂
の注入方法は、前記した強制圧入工程が、樹脂を吸引注
入することを特徴とする。
Further, a method for injecting a resin into a flip chip package according to the present invention for solving the above-mentioned technical problem is characterized in that the forcible press-fitting step suction-injects the resin.

【0008】また、前記した技術的課題を解決するため
の本発明に係るフリップチップパッケージにおける樹脂
の注入方法は、前記した基板に設けられた貫通孔を通し
て樹脂を強制的に移送することを特徴とする。
A method for injecting a resin into a flip chip package according to the present invention for solving the above-mentioned technical problem is characterized in that the resin is forcibly transferred through a through hole provided in the substrate. I do.

【0009】また、前記した技術的課題を解決するため
の本発明に係るフリップチップパッケージにおける樹脂
の注入方法は、前記した強制圧入工程が、遠心力作用を
利用して樹脂を注入することを特徴とする。
In addition, a method for injecting a resin in a flip chip package according to the present invention for solving the above technical problem is characterized in that the forcible press-in step injects the resin by utilizing a centrifugal force. And

【0010】[0010]

【作用】本発明によれば、フリップチップパッケージに
おける電子部品と基板との隙間に、例えば、樹脂を加圧
することにより、前記樹脂を強制的に圧入して前記隙間
内に樹脂を注入することができる。即ち、前記した電子
部品と基板との隙間に前記樹脂を強制的に圧入させるこ
とができるので、毛細管現象を利用して樹脂を自然に注
入する方法に較べて、樹脂の注入時間を短縮することが
できる。従って、前記隙間に前記樹脂を短時間で注入し
得て前記フリップチップパッケージの生産性を向上させ
ることができる。また、前記隙間に前記樹脂を短時間で
注入することができるので、液状樹脂の滴下にて注入す
る方法に較べて、前記した液状樹脂に空気等を巻き込む
機会が減少する。従って、前記液状樹脂に発生するボイ
ドを効率良く防止し得て高品質性及び高信頼性の製品を
得ることができる。
According to the present invention, for example, by pressing a resin into a gap between an electronic component and a substrate in a flip chip package, the resin is forcibly pressed into the gap to inject the resin into the gap. it can. That is, since the resin can be forcibly pressed into the gap between the electronic component and the substrate, the injection time of the resin can be reduced as compared with the method of injecting the resin naturally using the capillary phenomenon. Can be. Therefore, the resin can be injected into the gap in a short time, and the productivity of the flip chip package can be improved. Further, since the resin can be injected into the gap in a short time, the chances of getting air or the like into the liquid resin are reduced as compared with the method of injecting the liquid resin by dropping. Therefore, voids generated in the liquid resin can be efficiently prevented, and a high quality and highly reliable product can be obtained.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明を実施例図に基づいて詳細に説
明する。図1(1)及び図1(2)に示す実施例につい
て説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The embodiment shown in FIGS. 1A and 1B will be described.

【0012】即ち、本発明の樹脂の注入方法に用いられ
るフリップチップパッケージは、例えば、図1(1)及
び図1(2)に示すように、バンプ1が設けられた電子
部品2と、前記電子部品2を前記バンプ1を介して装着
する基板3と、前記した電子部品2と基板3との隙間4
を充填する樹脂5等とから構成されている。また、前記
した基板3には、前記電子部品2の位置に対応して液状
樹脂移送用の貫通孔6が所要数設けられている。例え
ば、前記した基板3における前記電子部品2の装着位置
の中央に前記貫通孔6を一個設ける構成を採用すること
ができる。
That is, the flip chip package used in the resin injection method of the present invention includes, for example, an electronic component 2 provided with bumps 1 as shown in FIGS. A substrate 3 on which the electronic component 2 is mounted via the bumps 1, and a gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3.
And a resin 5 or the like which is filled with The substrate 3 is provided with a required number of through holes 6 for transferring the liquid resin corresponding to the positions of the electronic components 2. For example, a configuration in which one through hole 6 is provided at the center of the mounting position of the electronic component 2 on the substrate 3 can be adopted.

【0013】また、図1(1)及び図1(2)に示すよ
うに、前記した基板3におけるバンプ1が装着された側
とは反対の側の位置には、例えば、前記液状樹脂5を加
圧する樹脂加圧機構7が設けられると共に、前記樹脂加
圧機構7にて前記液状樹脂5を所要の樹脂加圧力(樹脂
圧)にて前記貫通孔6を通して前記した電子部品2と基
板3との隙間4に注入することができるように構成され
ている。即ち、前記した樹脂加圧機構7は、液状樹脂供
給用のシリンダ8と、液状樹脂加圧用のピストン9と、
前記した貫通孔6に前記液状樹脂5を注入する注入口10
とから構成されている。従って、前記シリンダ8内の液
状樹脂5を前記ピストン9にて加圧することにより、前
記注入口10から前記貫通孔6を通して前記電子部品2と
基板3との隙間4に前記した液状樹脂5を加圧注入する
(強制的に圧入させる)ことができるように構成されて
いる。
As shown in FIGS. 1 (1) and 1 (2), for example, the liquid resin 5 is placed on the side of the substrate 3 opposite to the side on which the bumps 1 are mounted. A resin pressurizing mechanism 7 for pressurizing is provided, and the electronic component 2 and the substrate 3 are connected to the liquid resin 5 by the resin pressurizing mechanism 7 at a required resin pressure (resin pressure) through the through-hole 6. Is configured to be able to be injected into the gap 4. That is, the above-described resin pressing mechanism 7 includes a cylinder 8 for supplying a liquid resin, a piston 9 for pressing the liquid resin,
Injection port 10 for injecting the liquid resin 5 into the through hole 6
It is composed of Therefore, by pressing the liquid resin 5 in the cylinder 8 with the piston 9, the liquid resin 5 is applied to the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 from the injection port 10 through the through hole 6. It is configured so that pressure injection (forced injection) can be performed.

【0014】即ち、図例に示すように、まず、前記した
貫通孔6と注入口10とを接合することにより、前記した
基板3の所定位置に前記樹脂加圧機構7を配置させる。
次に、前記したシリンダ8内に液状樹脂5を供給すると
共に、前記ピストン9で前記シリンダ8内の液状樹脂5
を加圧することにより、前記基板3の貫通孔6を通して
前記した電子部品2と基板3との隙間4に前記液状樹脂
5を所要の樹指圧で強制的に加圧注入することができ
る。即ち、前記した電子部品2と基板3との隙間4に前
記樹脂5を強制的に圧入させて加圧注入することができ
るので、毛細管現象を利用して樹脂を自然に注入する方
法に較べて、樹脂の注入時間を短縮することができる。
従って、前述したように構成したので、前記隙間4に前
記樹脂5を短時間で注入し得て前記フリップチップパッ
ケージの生産性を向上させることができる。また、前記
した電子部品2と基板3との隙間4に前記樹脂5を強制
的に加圧注入することにより、前記隙間4に前記樹脂5
を短時間で注入することができるので、液状樹脂の滴下
にて注入する方法に較べて、前記液状樹脂5に空気等を
巻き込む機会が減少する。従って、前記液状樹脂5に発
生するボイドを効率良く防止し得て高品質性及び高信頼
性を備えた製品を得ることができる。
That is, as shown in the figure, first, the resin pressurizing mechanism 7 is disposed at a predetermined position on the substrate 3 by joining the through hole 6 and the injection port 10.
Next, the liquid resin 5 is supplied into the cylinder 8 and the piston 9 is used to supply the liquid resin 5 in the cylinder 8.
, The liquid resin 5 can be forcibly injected into the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 through the through hole 6 of the substrate 3 at a required tree finger pressure. That is, the resin 5 can be forcibly press-fitted into the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 and can be pressurized and injected, so that the resin is naturally injected using the capillary phenomenon. In addition, the injection time of the resin can be reduced.
Therefore, with the configuration as described above, the resin 5 can be injected into the gap 4 in a short time, and the productivity of the flip chip package can be improved. Further, by forcibly injecting the resin 5 into the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3, the resin 5 is inserted into the gap 4.
Can be injected in a short time, so that the chance of entraining air or the like in the liquid resin 5 is reduced as compared with the method of injecting the liquid resin by dropping. Accordingly, voids generated in the liquid resin 5 can be efficiently prevented, and a product having high quality and high reliability can be obtained.

【0015】また、図1(1)及び図1(2)に示す実
施例において、前記樹脂加圧機構7のシリンダ8内に液
状樹脂5を供給する液状樹脂供給機構11を設ける構成を
採用することにより、前記した樹脂加圧機構7にて連続
して前記した電子部品2と基板3との隙間4に液状樹脂
5を注入することができる。
Further, in the embodiment shown in FIGS. 1 (1) and 1 (2), a configuration is adopted in which a liquid resin supply mechanism 11 for supplying the liquid resin 5 into the cylinder 8 of the resin pressing mechanism 7 is provided. Thereby, the liquid resin 5 can be continuously injected into the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 by the resin pressing mechanism 7.

【0016】次に、図2に示す実施例について説明す
る。なお、図2に示すフリップチップパッケージの基本
的な構成は、図1(1)・図1(2)に示すフリップチ
ップパッケージの基本的な構成と同じであるため、同じ
符号を付す。
Next, the embodiment shown in FIG. 2 will be described. Note that the basic configuration of the flip-chip package shown in FIG. 2 is the same as the basic configuration of the flip-chip package shown in FIGS.

【0017】また、図2に示す基板3におけるバンプ1
が装着された側とは反対の側には、前記基板3に設けら
れた貫通孔6から前記した電子部品2と基板3との隙間
4内の空気等を強制的に吸引排出する真空ポンプ等の減
圧機構12が設けられて構成されている。なお、前記した
貫通孔6は、例えば、前記した基板3における前記電子
部品2の装着位置の中央に一個設ける構成を採用するこ
とができる。また、前記した基板3における電子部品2
を装着した側には、前記した基板3の面に液状樹脂5を
滴下(供給)する液状樹脂の滴下機構13が設けられて構
成されている。
The bump 1 on the substrate 3 shown in FIG.
On the side opposite to the side where is mounted, a vacuum pump or the like for forcibly sucking and discharging air or the like in the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 through the through hole 6 provided in the substrate 3 The pressure reducing mechanism 12 is provided. Note that a configuration in which one through-hole 6 is provided at the center of the mounting position of the electronic component 2 on the substrate 3 can be adopted, for example. The electronic component 2 on the substrate 3
A liquid resin dropping mechanism 13 for dropping (supplying) the liquid resin 5 onto the surface of the substrate 3 is provided on the side where is mounted.

【0018】従って、図2に示すように、まず、前記し
た滴下機構13から液状樹脂5を前記基板3の面における
前記電子部品の外側方周囲に滴下供給する。次に、前記
減圧機構12で前記隙間4内の空気等を前記貫通孔6を通
して強制的に吸引排出することにより、前記した電子部
品2と基板3との隙間4へ前記液状樹脂5の注入を開始
すると共に、前記した隙間4内に前記液状樹脂5を強制
的に吸引注入することができる。即ち、前記減圧機構12
による強制吸引作用を利用することにより、前記した実
施例における前記樹脂加圧機構7による樹脂の加圧作用
と同様に、前記隙間4内に前記液状樹脂5を強制的に圧
入させて吸引注入することができる。従って、前記した
実施例と同様に、前記した電子部品2と基板3との隙間
4に前記液状樹脂5を短時間で注入し得て前記フリップ
チップパッケージの生産性を向上させることができると
共に、前記液状樹脂5に空気等を巻き込む機会が減少さ
せることにより、前記液状樹脂5に発生するボイドを効
率良く防止し得て高品質性及び高信頼性を備えた製品を
得ることができる。
Therefore, as shown in FIG. 2, first, the liquid resin 5 is supplied drop-wise from the above-described dropping mechanism 13 to the outer periphery of the electronic component on the surface of the substrate 3. Next, the liquid resin 5 is injected into the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 by forcibly sucking and discharging air and the like in the gap 4 through the through hole 6 by the pressure reducing mechanism 12. At the same time, the liquid resin 5 can be forcibly injected into the gap 4. That is, the pressure reducing mechanism 12
The liquid resin 5 is forcibly pressed into the gap 4 and suction-injected into the gap 4 in the same manner as the resin pressing operation by the resin pressing mechanism 7 in the above-described embodiment by utilizing the forced suction effect of be able to. Therefore, similarly to the above-described embodiment, the liquid resin 5 can be injected into the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 in a short time, and the productivity of the flip chip package can be improved. By reducing the chance of entraining air or the like in the liquid resin 5, voids generated in the liquid resin 5 can be efficiently prevented, and a product having high quality and high reliability can be obtained.

【0019】また、図2において、前記した電子部品2
と基板3との隙間4内の空気等を、前記貫通孔6を介さ
ず、直接、前記減圧機構12にて吸引排出する構成を採用
しても差し支えない。
In FIG. 2, the electronic component 2
A configuration in which air and the like in the gap 4 between the substrate 3 and the substrate 3 are directly suctioned and discharged by the pressure reducing mechanism 12 without passing through the through hole 6 may be adopted.

【0020】なお、図1(1)・図1(2)・図2に示
す貫通孔6の数と位置は、本発明の趣旨にしたがって、
適宜な数及び適宜な位置に設定することができる。
The number and position of the through holes 6 shown in FIGS. 1 (1), 1 (2) and 2 are determined according to the gist of the present invention.
An appropriate number and an appropriate position can be set.

【0021】次に、図3に示す実施例について説明す
る。なお、図3に示すフリップチップパッケージの基本
的な構成は、前記した各実施例におけるフリップチップ
パッケージの基本的な構成と同じであるため、同じ符号
を付す。
Next, the embodiment shown in FIG. 3 will be described. Note that the basic configuration of the flip chip package shown in FIG. 3 is the same as the basic configuration of the flip chip package in each of the above-described embodiments, and thus the same reference numerals are given.

【0022】また、図3に示す基板3における電子部品
2を装着した側には、液状樹脂5を加圧する液状樹脂の
強制加圧機構14が設けられて構成されると共に、前記強
制加圧機構14の注入口から前記した電子部品2と基板3
との隙間4内に前記液状樹脂5を強制的に加圧注入する
ことができるように構成されている。従って、図3に示
すように、まず、前記した電子部品2と基板3との隙間
4に前記強制加圧機構14の注入口を配置させる。次に、
前記した強制加圧機構14の注入口から前記隙間4内に前
記した液状樹脂5を強制的に加圧注入することができ
る。即ち、前記した隙間4内に前記した液状樹脂5を強
制的に圧入させて加圧注入することができるので、注入
時間を短縮することができる。従って、前記した各実施
例と同様に、前記した隙間4に前記液状樹脂5を短時間
で注入し得て前記フリップチップパッケージの生産性を
向上させることができると共に、前記液状樹脂5に空気
等を巻き込む機会が減少させることにより、前記液状樹
脂5に発生するボイドを効率良く防止し得て高品質性及
び高信頼性を備えた製品を得ることができる。
On the side of the substrate 3 shown in FIG. 3 on which the electronic component 2 is mounted, a liquid resin forced pressing mechanism 14 for pressing the liquid resin 5 is provided. The electronic component 2 and the substrate 3 from the 14 injection ports
The liquid resin 5 can be forcibly injected under pressure into the gap 4 between the liquid resin 5 and the liquid resin 5. Therefore, as shown in FIG. 3, first, the injection port of the forcible pressure mechanism 14 is arranged in the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3. next,
The liquid resin 5 described above can be forcibly injected under pressure into the gap 4 from the injection port of the aforementioned forced pressing mechanism 14. In other words, since the liquid resin 5 can be forcibly pressed into the gap 4 and injected under pressure, the injection time can be shortened. Therefore, similarly to the above-described embodiments, the liquid resin 5 can be injected into the gap 4 in a short time to improve the productivity of the flip chip package, and the liquid resin 5 is filled with air or the like. As a result, the voids generated in the liquid resin 5 can be efficiently prevented, and a product having high quality and high reliability can be obtained.

【0023】次に、図4に示す実施例について説明す
る。なお、図4に示すフリップチップパッケージの基本
的な構成は、前記した各実施例におけるフリップチップ
パッケージの基本的な構成と同じであるため、同じ符号
を付す。
Next, the embodiment shown in FIG. 4 will be described. The basic configuration of the flip-chip package shown in FIG. 4 is the same as the basic configuration of the flip-chip package in each of the above-described embodiments, and thus the same reference numerals are given.

【0024】また、図4に示す実施例には、電子部品を
装着した基板を回転させる回転機構20が設けられると共
に、前記回転機構20は、前記基板3を所定位置に供給セ
ットする所要数の回転板21(回転テーブル)と、回転軸
22と、モータ等の駆動手段(図示なし)とから構成され
ている。従って、図4に示すように、まず、前記した基
板3における電子部品2と基板3との隙間4(の入口)
に液状樹脂5を供給セットする。次に、前記液状樹脂5
を供給セットした基板3を前記回転板21の所定位置に、
前記液状樹脂5の位置を前記回転軸22側に配置した状態
で、供給セットする。次に、前記回転軸22を中心にして
前記回転板21を回転させる(図例では右回り)と共に、
回転による遠心力(作用)を利用して前記液状樹脂5を
前記回転軸22側からの前記回転機構20の外周方向に強制
的に圧入させることにより、前記した電子部品2と基板
3との隙間4内に注入することができる。即ち、前記し
た回転機構20の遠心力による樹脂への押圧作用にて、前
記隙間4内に前記液状樹脂5を強制的に圧入させて注入
することができるので、注入時間を短縮することができ
る。従って、前記した各実施例と同様に、前記した隙間
4に前記液状樹脂5を短時間で注入し得て前記フリップ
チップパッケージの生産性を向上させることができると
共に、前記液状樹脂5に空気等を巻き込む機会が減少さ
せることにより、前記液状樹脂5に発生するボイドを効
率良く防止し得て高品質性及び高信頼性を備えた製品を
得ることができる。
The embodiment shown in FIG. 4 is provided with a rotating mechanism 20 for rotating a board on which electronic components are mounted, and the rotating mechanism 20 is provided with a required number of boards for supplying and setting the board 3 at a predetermined position. Rotating plate 21 (rotary table) and rotating shaft
22 and driving means (not shown) such as a motor. Therefore, as shown in FIG. 4, first, (the entrance of) the gap 4 between the electronic component 2 and the substrate 3 in the substrate 3 described above.
Is supplied with liquid resin 5. Next, the liquid resin 5
Is set at a predetermined position on the rotating plate 21.
The supply setting is performed in a state where the position of the liquid resin 5 is arranged on the rotating shaft 22 side. Next, while rotating the rotating plate 21 about the rotating shaft 22 (clockwise in the example in the figure),
The liquid resin 5 is forcibly pressed into the outer peripheral direction of the rotation mechanism 20 from the rotation shaft 22 side by using the centrifugal force (action) due to the rotation, so that the gap between the electronic component 2 and the substrate 3 is formed. 4 can be injected. That is, the liquid resin 5 can be forcibly pressed into the gap 4 and injected by the pressing action on the resin due to the centrifugal force of the rotation mechanism 20, so that the injection time can be reduced. . Therefore, similarly to the above-described embodiments, the liquid resin 5 can be injected into the gap 4 in a short time to improve the productivity of the flip chip package, and the liquid resin 5 is filled with air or the like. As a result, the voids generated in the liquid resin 5 can be efficiently prevented, and a product having high quality and high reliability can be obtained.

【0025】なお、図5に示すように、例えば、前記基
板3を供給セットした回転板21を垂直方向に傾けた状態
で、図4に示す実施例と同様に、前記回転板21を回転さ
せる構成を採用しても差し支えない。この場合におい
て、図4に示す実施例と同様に、前記した回転機構20に
よる遠心力作用(押圧作用)にて前記隙間4内に前記液
状樹脂5を強制的に圧入させて注入することができるの
で、注入時間を短縮することができる。従って、前記し
た各実施例と同様に、前記フリップチップパッケージの
生産性を向上させることができると共に、前記液状樹脂
5に発生するボイドを効率良く防止し得て高品質性及び
高信頼性を備えた製品を得ることができる。
As shown in FIG. 5, for example, in a state where the rotating plate 21 to which the substrate 3 is supplied and set is inclined in the vertical direction, the rotating plate 21 is rotated in the same manner as in the embodiment shown in FIG. A configuration may be adopted. In this case, similarly to the embodiment shown in FIG. 4, the liquid resin 5 can be forcibly pressed into the gap 4 and injected by the centrifugal force action (pressing action) by the rotation mechanism 20 described above. Therefore, the injection time can be shortened. Therefore, as in the above-described embodiments, the productivity of the flip chip package can be improved, and voids generated in the liquid resin 5 can be efficiently prevented, and high quality and high reliability can be provided. Product can be obtained.

【0026】また、図4及び図5に示す実施例におい
て、前記隙間(4) 内に強制的に圧入される樹脂5が飛
散すること等を防止するために、前記した樹脂5の圧入
方向を案内し、且つ、前記基板3上の電子部品2の側方
に漏れる樹脂を堰き止める堰23(ガイド)を設ける構成
を採用することができる(図4参照)。
In the embodiment shown in FIGS. 4 and 5, in order to prevent the resin 5 forcibly pressed into the gap (4) from scattering or the like, the pressing direction of the resin 5 is changed. It is possible to adopt a configuration in which weirs 23 (guides) are provided for guiding the resin and leaking the resin to the side of the electronic component 2 on the substrate 3 (see FIG. 4).

【0027】本発明は、上述した実施例のものに限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意に且つ適宜に変更・選択して採
用できるものである。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be arbitrarily and appropriately changed and selected as necessary without departing from the spirit of the present invention. It is.

【0028】また、前記したフリップチップパッケージ
における基板3として、例えば、PCボード等のプラス
チック製のシート部材、或いは、リードフレーム、及
び、板状の部材を採用することができる。
Further, as the substrate 3 in the above-mentioned flip chip package, for example, a plastic sheet member such as a PC board, a lead frame, or a plate-like member can be adopted.

【0029】また、前記した各実施例における樹脂5と
して、熱硬化性の樹脂、或いは、熱可塑性の樹脂を採用
することができる。
Further, as the resin 5 in each of the above-described embodiments, a thermosetting resin or a thermoplastic resin can be adopted.

【0030】[0030]

【発明の効果】本発明によれば、フリップチップパッケ
ージにおける電子部品と基板との隙間に樹脂を注入する
ときに、前記樹脂を短時間で前記隙間に注入し得て前記
したフリップチップパッケージの生産性を向上させるこ
とができると云う優れた効果を奏する。
According to the present invention, when a resin is injected into a gap between an electronic component and a substrate in a flip chip package, the resin can be injected into the gap in a short time to produce the flip chip package. It has an excellent effect that the performance can be improved.

【0031】また、本発明によれば、フリップチップパ
ッケージにおける電子部品と基板との隙間に樹脂を注入
するときに、前記樹脂に巻き込まれるボイドを効率良く
防止し得て高品質性及び高信頼性を備えた製品を得るこ
とができると云う優れた効果を奏する。
Further, according to the present invention, when a resin is injected into a gap between an electronic component and a substrate in a flip chip package, voids entrained in the resin can be efficiently prevented, and high quality and high reliability can be achieved. An excellent effect of being able to obtain a product with

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1(1)及び図1(2)は、本発明に係る樹
脂の注入充填方法に用いられるフリップチップパッケー
ジとその機構を概略的に示す概略縦断面図であって、図
1(1)は樹脂の注入前の状態を示し、図1(2)は樹
脂の注入時の状態を示している。
FIGS. 1 (1) and 1 (2) are schematic longitudinal sectional views schematically showing a flip chip package used in a resin injection and filling method according to the present invention and its mechanism. FIG. 1A shows a state before resin injection, and FIG. 1B shows a state at the time of resin injection.

【図2】図2は、本発明に係る他の実施例の樹脂の注入
充填方法に用いられるフリップチップパッケージとその
機構を概略的に示す概略縦断面図であって、樹脂の注入
時の状態を示している。
FIG. 2 is a schematic vertical sectional view schematically showing a flip chip package used in a resin injection and filling method according to another embodiment of the present invention and a mechanism thereof, showing a state at the time of resin injection. Is shown.

【図3】図3は、本発明に係る他の実施例の樹脂の注入
充填方法に用いられるフリップチップパッケージとその
機構を概略的に示す概略縦断面図であって、樹脂の注入
時の状態を示している。
FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view schematically showing a flip chip package used in a resin injection and filling method according to another embodiment of the present invention and a mechanism thereof, showing a state at the time of resin injection; Is shown.

【図4】図4は、本発明に係る他の実施例の樹脂の注入
充填方法に用いられるフリップチップパッケージとその
機構を概略的に示す概略平面図であって、樹脂の注入時
の状態を示している。
FIG. 4 is a schematic plan view schematically showing a flip chip package used in a method for filling and injecting a resin according to another embodiment of the present invention and a mechanism thereof, showing a state at the time of injecting the resin. Is shown.

【図5】図5は、本発明に係る他の実施例の樹脂の注入
充填方法に用いられるフリップチップパッケージとその
機構を概略的に示す概略平面図であって、樹脂の注入時
の状態を示している。
FIG. 5 is a schematic plan view schematically showing a flip-chip package used in a method of filling and filling a resin according to another embodiment of the present invention and a mechanism thereof, showing a state at the time of filling the resin. Is shown.

【図6】図6は、従来の樹脂の注入充填方法に用いられ
るフリップチップパッケージとその機構を概略的に示す
概略縦断面図であって、樹脂の注入時の状態を示してい
る。
FIG. 6 is a schematic longitudinal sectional view schematically showing a flip chip package used in a conventional resin injection and filling method and its mechanism, and shows a state at the time of resin injection.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 バンプ 2 電子部品 3 基板 4 隙間 5 樹脂 6 貫通孔 7 樹脂加圧機構 8 シリンダ 9 ピストン 10 注入口 11 液状樹脂供給機構 12 減圧機構 13 滴下機構 14 強制加圧機構 20 回転機構 21 回転板 22 回転軸 23 堰 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Bump 2 Electronic component 3 Board 4 Gap 5 Resin 6 Through hole 7 Resin pressurizing mechanism 8 Cylinder 9 Piston 10 Inlet 11 Liquid resin supply mechanism 12 Pressure reducing mechanism 13 Dropping mechanism 14 Forced pressurizing mechanism 20 Rotary mechanism 21 Rotating plate 22 Rotation Shaft 23 Weir

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フリップチップパッケージにおける電子
部品と基板との隙間に樹脂を注入するフリップチップパ
ッケージにおける樹脂の注入方法であって、前記隙間に
前記樹脂を強制的に圧入する強制圧入工程を設けたこと
を特徴とするフリップチップパッケージにおける樹脂の
注入方法。
1. A method for injecting a resin into a gap between an electronic component and a substrate in the flip chip package, the method including a step of forcibly inserting the resin into the gap. A method of injecting a resin into a flip chip package.
【請求項2】 強制圧入工程が、樹脂を加圧注入するこ
とを特徴とする請求項1に記載のフリップチップパッケ
ージにおける樹脂の注入方法。
2. The method for injecting a resin into a flip chip package according to claim 1, wherein the forcible press-fitting step includes injecting the resin under pressure.
【請求項3】 強制圧入工程が、樹脂を吸引注入するこ
とを特徴とする請求項1に記載のフリップチップパッケ
ージにおける樹脂の注入方法。
3. The method for injecting a resin into a flip chip package according to claim 1, wherein the forcible press-in step suctions and injects the resin.
【請求項4】 基板に設けられた貫通孔を通して樹脂を
強制的に移送することを特徴とする請求項2、または、
請求項3に記載のフリップチップパッケージにおける樹
脂の注入方法。
4. The method according to claim 2, wherein the resin is forcibly transferred through a through hole provided in the substrate.
A method for injecting a resin into the flip chip package according to claim 3.
【請求項5】 強制圧入工程が、遠心力作用を利用して
樹脂を注入することを特徴とする請求項1に記載のフリ
ップチップパッケージにおける樹脂の注入方法。
5. The method according to claim 1, wherein the forcible press-fitting step uses a centrifugal force to inject the resin.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001267345A (en) * 2000-03-21 2001-09-28 Apic Yamada Corp Resin-sealing apparatus and resin-sealing method
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