JPH11142435A - プローブユニット及びプローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブ要素の先端部の位置合わせが容
易で廉価な構造とすることにある。 【解決手段】 プローブユニットは、複数のブローブ要
素を一端部に有し、配線基板の配線部に接続される接続
部を他端部にするフィルム状基板を含む。フィルム状基
板は、クランク状に曲げられた湾曲部を一端部と他端部
との間に有する。これにより、たとえ強靭性が増大して
いても、湾曲部の両側を押し引きすると、プローブユニ
ットは、湾曲部の曲率が変化するように、湾曲部におい
て弾性変形する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
平板状被検査体の通電試験に用いられるプローブユニッ
ト及びプローブカードに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路、液晶表示パネル等の平
板状被検査体は、一般に、被検査体が仕様書通りに動作
するか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、
プローブカードを用いて電気的特性を測定することによ
り行われる。そのようなプローブカードの１つとして、
弾性変形可能のフィルム状プローブユニットを用いたも
のがある（たとえば、特開平４−３６３６７１号公
報）。

【０００３】このフィルム状プローブユニットは、ばね
性を有する金属層と電気絶縁性を有する樹脂層とを積層
した弾性変形可能のフィルム状基板に配線パターンを集
積回路の製作に用いられているいわゆる印刷配線技術に
より形成し、配線パターンの１以上の配線部を含む領域
をフィンガー状に分離する複数のスリットをフィルム状
基板の一端部に形成して各配線部の一部をプローブ要素
としている。各プローブ要素の先端には、一般に、バン
プすなわち突起が適宜な時機にメッキ、接着等により形
成される。

【０００４】この種のフィルム状プローブユニットは、
配線部の他端部を配線基板の配線部に半田付けし、プロ
ーブ要素の側の部位を配線基板に取り付けられたプロー
ブ取付板に組み付けることにより、Ｚ字状に変形された
状態にプローブカードに組み立てられ、またプローブ要
素の先端の突起を集積回路の平坦な電極部に押圧した状
態で使用される。

【０００５】上記のフィルム状プローブユニットによれ
ば、配線部及びプローブ領域を印刷配線技術により製作
することができるから、金属線から製作した複数のプロ
ーブを用いる板状のプローブカードに比べ、プローブユ
ニット及びプローブカードが廉価になる。

【０００６】この種のフィルム状プローブユニットにお
いては、配線パターンが金属材料層であることから、可
撓性が配線パターンの層数に大きく影響され、配線パタ
ーの層数が多くなるほど、強靭となって弾性変形し難く
なり、その結果プローブカードに組み立てるときＺ字状
に変形させようとしても、変形し難くなる。

【０００７】このため、従来のフィルム状プローブユニ
ットでは、配線パターンを複数層にすると、プローブユ
ニットの配線部を他端部において配線基板の配線部に半
田付けした状態で、Ｚ字状に弾性変形させてプローブ要
素の側の部位をプローブ取付板に組み付けるときに、プ
ローブ要素の先端を配線基板に対し正しく位置決めるこ
とが難しくなり、プローブ要素の先端部の微妙な位置合
わせをすることができず、その結果通電試験時にプロー
ブ要素が被検査体の電極部（端子部）に接触しない。

【０００８】これを防止すべく、プローブ要素の側の部
位をプローブ取付板に組み付けた状態で、Ｚ字状に変形
させてプローブユニットの配線部をその他端部において
配線基板の配線部に半田付けしようとすると、プローブ
ユニットの配線部の他端部を配線基板の配線部に正しく
位置決めることが難しくなり、プローブユニットの配線
部を配線基板の配線部に正しく接続することができな
い。

【０００９】また、従来のフィルム状プローブユニット
は、プローブ要素の先端部又はプローブユニットの配線
部の位置合わせが面倒であることから、各プローブユニ
ットが配線基板に対するプローブ要素の位置合わせをす
るマニピュレータの機能を備える複雑な構造の部材を必
要とするから、それだけ高価になる。

【００１０】

【解決しようとする課題】それゆえに、プローブ要素の
先端部の位置合わせが容易で廉価な構造とすることは重
要である。

【００１１】

【解決手段、作用、効果】本発明のプローブユニット
は、複数のブローブ要素を一端部に有し、配線基板の配
線部に接続される接続部を他端部に有するフィルム状基
板を含む。フィルム状基板は、さらに、厚さ方向にクラ
ンク状に曲げられた湾曲部を一端部と他端部との間に有
する。

【００１２】クランク状の湾曲部は、プローブカードに
組み立てる前、特にプローブユニットの製作時に、プレ
ス加工のような任意な手段により形成することができ
る。そのような湾曲部を有するプローブユニットは、た
とえ、全体的に強靭となって弾性変形し難くなっていて
も、湾曲部の両側を押し引きすると、湾曲部の曲率半径
が大きくなるように又は小さくなるように、湾曲部にお
いて部分的に又は全体的に容易に弾性変形する。

【００１３】このため、湾曲部を有するプローブユニッ
トは、湾曲部の両側を相対的に変位させることができる
から、一端部及び他端部のいずれか一方を配線基板に対
し固定した状態で、他方を変位させることにより、配線
基板に対する他方の位置を調整することができる。

【００１４】上記のように、クランク状の湾曲部をフィ
ルム状基板の一端部と他端部との間に有するフィルム状
プローブユニットは、プローブ要素の先端部の位置合わ
せが容易であるから、配線基板への組み付け作業が容易
になり、プローブカードがそれだけ廉価になる。

【００１５】フィルム状基板は、複数のブローブ要素を
有するフィルム状のプローブ基板と、プローブ要素を配
線基板の配線部に接続するためのフィルム状の接続基板
とを備え、プローブ基板と接続基板とを結合させること
ができる。これにより、プローブ要素を接続基板と別個
に製作することができるから、精密なプローブ要素を容
易に製作することができる。

【００１６】プローブユニットは、湾曲部に対し一端部
側の領域の高さ位置を他端部側の領域の高さ位置より低
くすることができる。これにより、プローブカードに組
み立てた状態において、一端部側の領域は配線基板から
離される。

【００１７】さらに、少なくとも上方に開放しかつ互い
に間隔をおいた複数の穴を有するブロックを一端部側の
領域の上に取り付けることができる。これにより、ブロ
ックの穴を利用して配線基板に対するプローブ要素の位
置決めをすることができるから、マニピュレータの機能
をプローブユニットに設けなくてもよく、したがって構
造が簡単になり、廉価になる。

【００１８】フィルム状基板は、プローブ要素を有する
長方形の領域と、該長方形の領域に続く扇形状の領域で
あって接続部を有する扇形状の領域とを有する形状とす
ることができる。この場合、湾曲部は長方形の領域又は
扇形状の領域を横断させることができる。

【００１９】本発明のプローブカードは、上記のような
複数のプローブユニットと、第１の開口を中央部に有し
かつフィルム状基板の接続部に接続された複数の配線部
を第１の開口の周りに有する配線基板と、第１の開口と
同軸の第２の開口を有しかつ配線基板の上側に組み付け
られた取付板とを含む。プローブユニットは、プローブ
領域の先端を第１の開口の側とした状態に第１の開口の
軸線の周りにあって配線基板の下側に配置される。取付
板は、ブロックの穴に連通する複数の貫通穴を有する。

【００２０】各プローブユニットのプローブ領域は、マ
ニピュレータを取付板又は配線基板に装着し、マニピュ
レータの１以上の位置決め用ピンを取付板の貫通穴及び
ブロックの穴に挿入し、位置決め用ピンを取付版の貫通
穴内で二次元的に変位させ、それによりブロックを変位
させることにより、配線基板に対して位置合わせをする
ことができる。マニピュレータは、その装着位置を変更
することにより、プローブユニットで共通に使用するこ
とができる。

【００２１】上記のプローブカードによれば、プローブ
要素の先端部の位置合わせが容易であるから、配線基板
への組み付け作業が容易になり、したがってプローブユ
ニットの構造が簡単になることとあいまって、廉価にな
る。

【００２２】さらに、第３の開口を中央部に有するスペ
ーサであって第１の開口内に配置されかつ取付板に取り
付けられたスペーサを含み、プローブユニットをブロッ
クにおいてスペーサを介して取付板に装着し、取付板の
貫通穴とブロックの穴とを連通させる複数の連通穴をス
ペーサに形成することができる。これにより、スペーサ
の高さ（厚さ）寸法を調整することにより、配線基板に
対するプローブ要素の位置決めを妨げることなく、プロ
ーブ要素の先端の高さ位置を所定の値に合わせることが
できる。

【００２３】取付板は、さらに、プローブユニットに個
々に対応された複数のねじ穴であって第２の開口に対し
対応するプローブユニットのブロックと反対の側の個所
に形成された複数のねじ穴を有することができる。これ
により、マニピュレータ取付用のねじ部材をそのような
ねじ穴に螺合させることができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１及び図２を参照するに、プロ
ーブユニット１０は、フィルム状のプローブ基板１２
と、プローブ基板１２に結合されたフィルム状の接続基
板１４と、接続基板１４の上に取り付けられた板状のプ
ローブブロック１６とを含む。

【００２５】プローブ基板１２は、ばね性を有する金属
層１８をポリイミドのような電気絶縁性の樹脂層２０の
一方の面に積層しており、また複数の配線部（配線パタ
ーン）２２を樹脂層２０の他方の面に印刷配線技術によ
り形成している。このため、プローブ基板１２は、ある
程度の強靭性及び可撓性を有する。

【００２６】プローブ基板１２は、幅寸法がほぼ一定の
第１の領域と、該第１の領域の後端に続きかつ幅寸法が
後方側に向けて漸次増大する第２の領域と、該第２の領
域の後端に続きかつほぼ一定の幅寸法を有する第３の領
域とを有する。

【００２７】配線部２２は、第１の領域の先端部から第
２の領域を経て第３の領域の後端部まで連続して伸びて
いる。隣り合う配線部２２の間隔は、第１の領域におい
てはほぼ同じであるが、第２領域においては漸次増大
し、第３の領域においてほぼ同じである。

【００２８】プローブ基板１２の第１の領域は、スリッ
ト２４により１以上の配線部２２を含むフィンガー状の
プローブ要素２６に分離されており、したがってプロー
ブ領域として作用する。各プローブ要素２６は、通電試
験時に集積回路の端子部に押圧される接触子として作用
するバンプすなわち突起２８を先端部に有する。

【００２９】プローブ基板１２は、たとえば、金属層１
８を樹脂層２０に一方の面に積層して弾性変形可能のフ
ィルム状部材（フィルム状積層体）を形成し、該フィル
ム状部材の他方の面に配線パターンを印刷配線技術によ
り形成し、第１の領域を複数のスリット２４によりフィ
ンガー状に分離することにより形成することができる。
突起２８は、適宜な時機にメッキ、接着等により形成さ
れる。

【００３０】接続基板１４の配線は、その配線部３０
（図３から図６及び図１０を参照）が多層構造となるよ
うに、ポリイミドのような電気絶縁材料製のベースに印
刷配線技術のような適宜な手法により複数層に形成され
ている。このため、接続基板１４は、ある程度の強靭性
及び可撓性を有する。

【００３１】図１０に示す例では、配線部３０は三層構
造に形成されている。このため、たとえば、中央の配線
部を信号用として用い、その上下の配線部をアース電位
に接続されるアース用として用いることができる。この
場合、信号用の配線部は配線パターンを形成するように
互いに間隔をおいているが、アース用の各配線部は単一
のフィルムの構造に形成されている。

【００３２】接続基板１４は、幅寸法がほぼ同じ長方形
の領域と、該長方形の領域の後端に続きかつ幅寸法が後
端側に向けて漸次増大する扇形状の領域とにより、ほぼ
扇形状に形成されている。配線部３０は、長方形の領域
の先端部から扇形状の領域の後端部まで連続して形成さ
れている。隣り合う信号用配線部３０の間隔及びアース
用各配線部３０の幅寸法は、それぞれ、長方形の領域に
おいてはほぼ同じであるが、扇形状の領域においては後
端側に向けて漸次増大する。

【００３３】接続基板１４は、さらに、各配線部の後端
部に電気的に接続された複数の接続部３２を後端部に有
するとともに、クランク状に曲げられた湾曲部３４を扇
形部に有する。各接続部３２は導電性のスルーホールで
ある。湾曲部３４は、プローブ基板１２の側の高さ位置
が接続部３２の側のそれより低くなるように、所定の曲
率半径を有する形に永久的に変形されており、また、扇
形部の幅方向全体にわたって連続して伸びている。

【００３４】プローブ基板１２と接続基板１４とを結合
する前において、プローブ基板１２の配線部２２は全体
的に露出されており、また、接続基板１４の信号用の配
線部３２は図３（Ａ）に示すように一端部において露出
されている。

【００３５】図３（Ｂ）に示すように、プローブ基板１
２は、配線部２２を下側とした状態で後端部を接続基板
１４の先端部上側に異方導電性フィルム（図示せず）を
間にして重ねられ、熱圧着される。これにより、プロー
ブ基板１２及び接続基板１４は、それぞれ、先端部及び
後端部において互いに結合される。

【００３６】異方導電性フィルムは、厚さ方向に配置さ
れた多数の金属細線等により厚さ方向には導電性を有す
るが、他の方向には導電性を有しない。このため、プロ
ーブ基板１２の配線部２２及び接続基板１４の信号用配
線部３２は、それぞれ、後端部及び先端部において、異
方導電性フィルムにより一対一の形に電気的に接続され
ている。

【００３７】プローブブロック１６は、ほぼＴ字状の形
を有しており、また上方に開放する２組の穴３６，３８
を有する。一方の穴３６は、ねじ穴であり、またプロー
ブ要素２６の長手方向に間隔をおいている。他方の穴３
８は、穴３６の先端側に形成された一般的な穴であり、
またプローブ要素２６の配列方向（プローブ要素の長手
方向と直角の方向）に間隔をおいている。

【００３８】プローブブロック１６は、図５に示すよう
に、穴３８が穴３６より先端側となるように、プローブ
基板１２の上側に接着剤４０により接着されている。

【００３９】プローブユニット１０は、プローブ基板１
２と接続基板１４とを図４に示すように結合させ、次い
でブロック１６を図５に示すようにプローブ基板１２の
上側に接着し、次いで湾曲部３４を図６に示すように接
続基板１４に形成することにより、組み立てることがで
きる。湾曲部３４は、曲げ型を用いるプレス加工により
永久変形の形に形成することができる。

【００４０】しかし、プローブ基板１２と接続基板１４
とを結合させる前に又は湾曲部３４を形成した後に、プ
ローブブロック１６をプローブ基板１２に取り付けても
よい。同様に、プローブ基板１２と接続基板１４とを結
合させる前に又はブロック１６をプローブ基板１２に取
り付ける前に、湾曲部３４を接続基板１４に形成しても
よい。

【００４１】プローブユニット１０は、これが強靭で弾
性変形し難くなっていても、プローブ要素２６の側の端
部と接続部３２の側の端部とを相対的に押す又は引く
と、湾曲部の曲率半径が大きくなるように又は小さくな
るように、湾曲部３４において容易に変形する。このと
きの変形は、弾性変形であり、また湾曲部３４の一部又
は全体に生じる。

【００４２】そのようなプローブユニット１０は、その
一端部及び他端部のいずれか一方を配線基板に対し固定
した状態で、他方を変位させることにより、配線基板に
対する他方の位置を調整し、位置決めることができ、配
線基板に対するプローブ要素２６の先端部の位置合わせ
が容易であるから、配線基板への組み付け作業が容易に
なり、プローブカードがそれだけ廉価になる。

【００４３】また、プローブユニット１０は、プローブ
基板１２を接続基板１４と別個に製作することができる
から、精密なプローブ要素２６を容易に製作することが
できる。しかし、プローブ基板１２と接続基板１４とを
一体的に形成してもよい。

【００４４】図７から図１０を参照するに、プローブカ
ード５０は、上記した構造を有する複数（図示の例で
は、４つ）のプローブユニット１０を用いる。プローブ
カード５０は、４つのプローブユニット１０のほかに、
円板状の配線基板５２と、配線基板５２に組み付けられ
た矩形のプローブ取付板５４と、取付板５４に組み付け
られた板状のスペーサ５６とを含む。

【００４５】配線基板５２は、十字状の開口５８を中央
部に有しかつプローブユニット１０の接続部３２に接続
された複数の接続部６０を開口５８の周りに有し、試験
機に電気的に接続される複数のテスターランド６２を接
続部６０の周りに有し、さらに２層構造の配線部６４を
接続部６０とテスターランド６２との間に有する。

【００４６】図１０に示す例では、下側の配線部６４
は、単一層の形に形成されてアース電位に接続されるア
ース用として用いられ、上側の配線部６４は接続部６０
及びテスターランド６２を一対一の形に接続するように
互いに間隔をおいて半径方向へ伸びている。

【００４７】図１０に示すように、各接続部６０は、導
電性のスルーホールであり、また、対応する配線部６４
に一体的に接続されているとともに、プローブユニット
１０の対応する接続部３２に接続部３２及び６０に挿入
された導電性のピン６５と半田とにより接続されてい
る。

【００４８】プローブ取付版５４は、矩形の開口６６を
有しており、また開口６６が開口５８と同軸になるよう
に各隅角部においてねじ６８により配線基板５２の上側
に組み付けられている。取付板５４は、また、３対の貫
通穴７０，７２，７４を四角形の各辺に対応する個所の
それぞれに有するとともに、ねじ穴７６を４つの各隅角
部に有する。

【００４９】貫通穴７０はプローブブロック１６のねじ
穴３６に対応する位置に形成され、貫通穴７２はブロッ
ク１６の貫通穴３８に対応する位置に形成されている。
貫通穴７４は、貫通穴７０の配置位置を間にして互いに
間隔をおいている。

【００５０】スペーサ５６は、配線基板５２の開口５８
と相似のほぼ十字状の形を有しており、また開口５８内
に配置されている。スペーサ５６も、貫通穴７０及び７
２にそれぞれ対応する２対４組の貫通穴７８及び８０を
有する。取付板５４及びスペーサ５６の各貫通穴７２，
８０は、プローブブロック１６の貫通穴３８より大きい
直径寸法を有する。

【００５１】スペーサ５６は、また、プローブ取付板５
４の開口６６とほぼ同じ形状の開口８２を有しており、
開口８２が開口６６と同軸になりかつ貫通穴７８，８０
が貫通穴７０，７２とほぼ整合するように、取付板５４
の各貫通穴７４に通されたねじ８４により取付板５４の
下側に組み付けられている。

【００５２】各プロ−ブブロック１６は、プローブ要素
の先端部が開口６６，８２の位置に突出する状態にスペ
ーサ５６に重ねられ、取付板５４及びスペーサ５６の貫
通穴７０，７８に通されてねじ穴３６にねじ込まれたね
じ８６によりスペーサ５６を介してプローブ取付板５４
に取り付けられている。

【００５３】スペーサ５６を全てのプローブユニット１
０で共通に利用する代わりに、プローブユニット１０毎
にスペーサ５６を設けてもよい。この場合、各スペーサ
の形状をプローブブロック１６に類似した形状とするこ
とができる。

【００５４】プローブカード５０は、たとえば、各プロ
ーブユニット１０を上記のように予め製作し、プローブ
取付板５４及びスペーサ５６を上記したように配線基板
５２に予め取り付けた状態において、先ず各プローブユ
ニット１０の接続部３２を配線基板５２の対応する接続
部６０にピン６５及び半田により固定し、次いで各プロ
ーブユニット１０のプローブブロック１６をスペーサ５
６を介してプローブ取付板５４の対応する個所にねじ８
６で取り付けることにより、組み立てることができる。

【００５５】プローブユニット１０は、プローブブロッ
ク１６が取付板５４に組み付けられるとき、プローブ要
素の先端が配線基板５２に対し所定の位置になるよう
に、プローブユニット１０毎に位置合わせをされる。各
プローブユニット１０の位置合わせは、プローブブロッ
ク１６がスペーサ５６に対し移動可能な程度にねじ８６
を緩めた状態で、図１１から図１３に示すようにマニピ
ュレータ９０を用いて行われる。

【００５６】マニピュレータ９０は、アーム９２と、ア
ーム９２の先端に下方へ伸びる状態に取り付けられた一
対の位置決めピン９４と、アーム９２を移動させるステ
ージ９６とを備える。ステージ９６は、アーム９２を、
配線基板５２と平行な面内でＸ方向及びＹ方向へ二次元
的に移動させるとともに、配線基板５２に直角の軸線θ
の周りに回転させるＸＹθステージである。

【００５７】マニピュレータ９０は、各位置決めピン９
４を取付板５４及びスペーサ５６の貫通穴７２及び８０
と、それらの下側の位置合わせをすべきプローブブロッ
ク１６の穴３８とに挿入した状態で、ねじ９８をねじ穴
７６にねじ込むことにより取付板５４に組み付けられ
る。

【００５８】プローブユニット１０は、上記状態で、ア
ーム９２に形成された穴１００を介してプローブ要素の
先端位置を目視しつつ、位置決めピン９４をステージ９
６により貫通穴７２，８０に対する位置決めピン９４の
遊びに対応する範囲内で移動させることにより、配線基
板５２に対して正しく位置決めをされ、次いでねじ８６
を締め付けることにより移動不能に組み付けられる。

【００５９】１つのプローブユニット１０の位置合わせ
が終了すると、マニピュレータ９０は、次のプローブユ
ニット１０の位置合わせのために取付板５４への取付位
置を変更される。他のプローブユニットも同様にして位
置合わせをされる。

【００６０】上記のようにプローブカード５０は、１つ
のマニピュレータ９０を全てのプローブユニットで共通
に使用することができるから、マニピュレータの機能を
各プローブユニットに設けなくてもよく、したがってプ
ローブユニットの構造が簡単になり、廉価になる。ま
た、プローブ要素の先端部の位置合わせが容易であり、
配線基板への組み付け作業が容易になり、したがってプ
ローブユニットの構造が簡単になることとあいまって、
より廉価になる。

【００６１】プローブカード５０は、また、プローブユ
ニット１０が湾曲部３４を有するから、プローブユニッ
ト１０の接続部３２が配線基板５２の接続部６０に固定
されていても、プローブブロック１６をマニピュレータ
９０により配線基板５２に対し変位させたとき、プロー
ブユニット１０が変形部３４において弾性変形する。

【００６２】プローブカード５０によれば、スペーサの
高さ寸法を調整することにより、配線基板に対するプロ
ーブ要素の位置決めを妨げることなく、プローブ要素先
端の高さ位置を合わせることができ、その結果プローブ
カード全体の高さ寸法を目的とする値に合わせることが
できる。

【００６３】プローブユニット１０の接続部３２を配線
基板５２の接続部６０に固定した後に、プローブブロッ
ク１６を配線基板５２に組み付ける代わりに、プローブ
ブロック１６を配線基板５２に組み付けた状態で、接続
部３２を接続部６０に固定してもよい。この場合も、プ
ローブユニット１０の接続部３２の側を配線基板５２に
移動させると、プローブユニット１０が湾曲部３４にお
いて弾性変形するから、接続部６０に対する接続部３２
の位置決めが容易になる。

【００６４】なお、プローブ基板１２をフィンガー状に
分離しなくてもよい。また、突起２８を設ける代わり
に、各配線部の先端を被検査体の端子部に接触させる接
触子として用いてもよい。

【００６５】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、集積回路の通電試験に用いるプロー
ブユニット及びプローブカードのみならず、液晶表示パ
ネルのような他の平板状被検査体の通電試験に用いるプ
ローブユニット及びプローブカードにも適用することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブユニットの一実施例を示
す斜視図である。

【図２】図１に示すプローブユニットのプローブ要素部
分の拡大斜視図である。

【図３】図１に示すプローブ要素の組立方法の第１ステ
ップを示す図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面
図である。

【図４】図１に示すプローブ要素の組立方法の第２ステ
ップを示す図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面
図である。

【図５】図１に示すプローブ要素の組立方法の第３ステ
ップを示す図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面
図である。

【図６】図１に示すプローブ要素の組立方法の第４ステ
ップを示す図であって、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面
図である。

【図７】本発明に係るプローブカードの一実施例を示す
平面図である。

【図８】図７に示すプローブカードの底面図である。

【図９】図７の９−９線に沿って得た断面図である。

【図１０】プローブユニット及び配線基板の接続部の接
続状態の一実施例を示す断面図である。

【図１１】図７に示すプローブカードの組み立て方法を
説明するための平面図である。

【図１２】図１１の１２−１２線に沿って得た断面図で
ある。

【図１３】図１２の１３−１３線に沿って得た拡大断面
図である。

【符号の説明】 １０ プローブユニット １２ プローブ基板 １４ 接続基板 １６ プローブブロック １８ 金属層 ２０ 樹脂層 ２２ プローブユニットの配線部 ２４ スリット ２６ プローブ要素 ２８ 突起 ３０ 接続基板の配線部 ３２ プローブユニットの接続部 ３４ 湾曲部 ３６ プローブブロックのねじ穴 ３８ プローブブロックの穴 ５０ プローブカード ５２ 配線基板 ５４ プローブ取付板 ５６ スペーサ ５８ 配線基板の開口 ６０ 配線基板の接続部 ６２ テスターランド ６４ 配線基板の配線部 ７０，７２，７４ 取付板の貫通穴 ７６ マニピュレータ取付用のねじ穴 ７８，８０ スペーサの貫通穴 ８２ スペーサの開口 ９０ マニピュレータ ９４ 位置決めピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新間 福仁 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のブローブ要素を一端部に有し、配
   線基板の配線部に接続される接続部を他端部に有するフ
   ィルム状基板を含み、該フィルム状基板は、さらに、厚
   さ方向にクランク状に曲げられた湾曲部を前記一端部と
   前記他端部との間に有する、プローブユニット。
2. 【請求項２】 前記フィルム状基板は、前記ブローブ要
   素を有するフィルム状のプローブ基板と、前記プローブ
   要素を配線基板の配線部に接続するためのフィルム状の
   接続基板であって前記プローブ基板に結合された接続基
   板とを備える、請求項１に記載のプローブユニット。
3. 【請求項３】 前記一端部側の領域の高さ位置は前記他
   端部側の領域の高さ位置より低い、請求項１又は２に記
   載のプローブユニット。
4. 【請求項４】 さらに、前記一端部側の領域の上に取り
   付けられたブロックを含み、該ブロックは少なくとも上
   方に開放しかつ互いに間隔をおいた複数の穴を有する、
   請求項３に記載のプローブユニット。
5. 【請求項５】 前記フィルム状基板は、前記プローブ要
   素が形成された長方形の領域と、該長方形の領域に続く
   扇形状の領域とを有する、請求項２に記載のプローブユ
   ニット。
6. 【請求項６】 請求項４に記載の複数のプローブユニッ
   トと、第１の開口を中央部に有しかつ前記接続部に接続
   された複数の配線部を前記第１の開口の周りに有する配
   線基板と、前記第１の開口と同軸の第２の開口を有しか
   つ前記配線基板の上側に組み付けられた取付板とを含
   み、前記プローブユニットは前記プローブ領域の先端を
   前記第１の開口の側とした状態に前記第１の開口の軸線
   の周りにあって前記配線基板の下側に配置されており、
   前記取付板は前記ブロックの穴に連通する複数の貫通穴
   を有する、プローブカード。
7. 【請求項７】 さらに、第３の開口を中央部に有するス
   ペーサであって前記第１の開口内に配置されかつ前記取
   付板に取り付けられたスペーサを含み、前記プローブユ
   ニットは前記ブロックにおいて前記スペーサを介して前
   記取付板に装着されており、前記スペーサは前記取付板
   の貫通穴と前記ブロックの穴とを連通させる複数の連通
   穴を有する、請求項６に記載のプローブカード。
8. 【請求項８】 前記取付板は、さらに、前記プローブユ
   ニットに個々に対応された複数のねじ穴であって前記第
   ２の開口に対し対応するプローブユニットの前記ブロッ
   クと反対の側の個所に形成された複数のねじ穴を有す
   る、請求項６又は７に記載のプローブカード。