JPH11142140A - 粗さプローブユニットおよびこれを用いた表面粗さ測定装置 - Google Patents
粗さプローブユニットおよびこれを用いた表面粗さ測定装置Info
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- JPH11142140A JPH11142140A JP30274797A JP30274797A JPH11142140A JP H11142140 A JPH11142140 A JP H11142140A JP 30274797 A JP30274797 A JP 30274797A JP 30274797 A JP30274797 A JP 30274797A JP H11142140 A JPH11142140 A JP H11142140A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 孔の内周面などの表面粗さを迅速にかつ高精
度に測定することができる粗さプローブユニットおよび
それを用いた表面粗さ測定装置を提供する。 【解決手段】 三次元測定機のアームの先端にタッチ信
号プローブと非接触粗さプローブユニット２１とを交換
可能に取り付ける。粗さプローブユニット２１は、非接
触粗さプローブ２８と、この非接触粗さプローブ２８の
粗さ検出方向に対して直交する方向へ粗さプローブ２８
を移動させる直線移動手段（２５，２７，２９）と、非
接触粗さプローブ２８の移動方向と平行な軸を中心とし
て粗さプローブ２８を旋回移動させる旋回移動手段（２
４，３０）とを備える。
度に測定することができる粗さプローブユニットおよび
それを用いた表面粗さ測定装置を提供する。 【解決手段】 三次元測定機のアームの先端にタッチ信
号プローブと非接触粗さプローブユニット２１とを交換
可能に取り付ける。粗さプローブユニット２１は、非接
触粗さプローブ２８と、この非接触粗さプローブ２８の
粗さ検出方向に対して直交する方向へ粗さプローブ２８
を移動させる直線移動手段（２５，２７，２９）と、非
接触粗さプローブ２８の移動方向と平行な軸を中心とし
て粗さプローブ２８を旋回移動させる旋回移動手段（２
４，３０）とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、粗さプローブユニ
ットおよびそれを用いた表面粗さ測定装置に関する。詳
しくは、粗さプローブを直線移動および旋回できるよう
にした粗さプローブユニット、および、その粗さプロー
ブユニットを三次元測定機などに取り付けて被測定物の
測定面の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置に関す
る。
ットおよびそれを用いた表面粗さ測定装置に関する。詳
しくは、粗さプローブを直線移動および旋回できるよう
にした粗さプローブユニット、および、その粗さプロー
ブユニットを三次元測定機などに取り付けて被測定物の
測定面の表面粗さを測定する表面粗さ測定装置に関す
る。
【０００２】
【背景技術】被測定物の測定面の表面粗さを測定する表
面粗さ測定装置としては、被測定物の測定面にスタイラ
スを接触させ、そのタイラスを移動させながらスタイラ
スの変位を電気信号として検出し、その電気信号を処理
して測定面の表面粗さを求める接触式表面粗さ測定機
と、被測定物の測定面にレーザビームを照射し、その反
射率から測定面の表面粗さを求める非接触式表面粗さ測
定機とが知られている。
面粗さ測定装置としては、被測定物の測定面にスタイラ
スを接触させ、そのタイラスを移動させながらスタイラ
スの変位を電気信号として検出し、その電気信号を処理
して測定面の表面粗さを求める接触式表面粗さ測定機
と、被測定物の測定面にレーザビームを照射し、その反
射率から測定面の表面粗さを求める非接触式表面粗さ測
定機とが知られている。
【０００３】ところで、近年、自動車のエンジン部品に
ついては、従来の寸法測定に加え、新たに摺動部などの
表面粗さ測定の要求がある。しかも、それらの測定をイ
ンラインで行える測定システムの構築が要求されてい
る。このような要求に対して、上述した非接触式表面粗
さ測定機または接触式表面粗さ測定機のプローブを三次
元測定機などに取り付けて、インラインで測定を行うこ
とが考えられている。
ついては、従来の寸法測定に加え、新たに摺動部などの
表面粗さ測定の要求がある。しかも、それらの測定をイ
ンラインで行える測定システムの構築が要求されてい
る。このような要求に対して、上述した非接触式表面粗
さ測定機または接触式表面粗さ測定機のプローブを三次
元測定機などに取り付けて、インラインで測定を行うこ
とが考えられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、単純に粗さプ
ローブを三次元測定機などに取り付けただけでは、次の
ような問題がある。通常、粗さ測定では、粗さプローブ
の検出面を測定面に対向させる必要があるが、測定面の
向きが異なる場合、たとえば、孔の内周面の周方向複数
箇所で粗さ測定を行おうとする場合、粗さプローブの検
出面に対して孔の内周面の各測定部位が対向するよう
に、被測定物の向きをその都度変更しなければならない
ので、測定に時間がかかる。しかも、粗さ測定にあたっ
て、粗さプローブを測定面に沿って移動させながら測定
を行う際、その移動を三次元測定機の移動機構によって
行うと、移動に伴う振動の影響を受けやすく高精度な粗
さ測定が期待できない。
ローブを三次元測定機などに取り付けただけでは、次の
ような問題がある。通常、粗さ測定では、粗さプローブ
の検出面を測定面に対向させる必要があるが、測定面の
向きが異なる場合、たとえば、孔の内周面の周方向複数
箇所で粗さ測定を行おうとする場合、粗さプローブの検
出面に対して孔の内周面の各測定部位が対向するよう
に、被測定物の向きをその都度変更しなければならない
ので、測定に時間がかかる。しかも、粗さ測定にあたっ
て、粗さプローブを測定面に沿って移動させながら測定
を行う際、その移動を三次元測定機の移動機構によって
行うと、移動に伴う振動の影響を受けやすく高精度な粗
さ測定が期待できない。
【０００５】本発明の目的は、このような従来の問題を
解消し、とくに孔の内周面などの表面粗さを迅速にかつ
高精度に測定することができる粗さプローブユニットお
よびそれを用いた表面粗さ測定装置を提供することにあ
る。
解消し、とくに孔の内周面などの表面粗さを迅速にかつ
高精度に測定することができる粗さプローブユニットお
よびそれを用いた表面粗さ測定装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の粗さプローブユ
ニットは、測定面の表面粗さを測定する粗さプローブ
と、この粗さプローブの粗さ検出方向に対して略直交す
る方向へ粗さプローブを直線移動させる直線移動手段
と、前記粗さプローブの移動方向と平行な軸を中心とし
て粗さプローブを旋回させる旋回手段とを備えたことを
特徴とする。
ニットは、測定面の表面粗さを測定する粗さプローブ
と、この粗さプローブの粗さ検出方向に対して略直交す
る方向へ粗さプローブを直線移動させる直線移動手段
と、前記粗さプローブの移動方向と平行な軸を中心とし
て粗さプローブを旋回させる旋回手段とを備えたことを
特徴とする。
【０００７】この構成によれば、粗さプローブをその粗
さ検出方向に対して略直交する方向へ移動させる直線移
動手段と、その移動方向と平行な軸を中心として旋回さ
せる旋回手段とを備えているので、旋回手段によって粗
さプローブの検出面の向きを測定面に対向する任意の方
向へ向かせることができ、この状態において、直線移動
手段によって粗さプローブをその粗さ検出方向に対して
略直交する方向へ移動させながら測定を行うことができ
る。従って、孔の内面などの任意の測定面の粗さ測定を
迅速にかつ高精度に行うことができる。
さ検出方向に対して略直交する方向へ移動させる直線移
動手段と、その移動方向と平行な軸を中心として旋回さ
せる旋回手段とを備えているので、旋回手段によって粗
さプローブの検出面の向きを測定面に対向する任意の方
向へ向かせることができ、この状態において、直線移動
手段によって粗さプローブをその粗さ検出方向に対して
略直交する方向へ移動させながら測定を行うことができ
る。従って、孔の内面などの任意の測定面の粗さ測定を
迅速にかつ高精度に行うことができる。
【０００８】以上において、粗さプローブは、接触式粗
さプローブであってもよいが、測定面の表面粗さを非接
触で測定する非接触粗さプローブの方が好ましい。
さプローブであってもよいが、測定面の表面粗さを非接
触で測定する非接触粗さプローブの方が好ましい。
【０００９】また、旋回手段は、粗さプローブの移動方
向と平行な軸を中心として粗さプローブを旋回させるこ
とができる構造であればどのような構成でもよいが、た
とえば、旋回中心軸上に前記粗さプローブを保持しかつ
その旋回中心軸を中心として旋回可能に設けられた旋回
部材と、この旋回部材を旋回させる旋回駆動手段とを備
える構成が好ましい。
向と平行な軸を中心として粗さプローブを旋回させるこ
とができる構造であればどのような構成でもよいが、た
とえば、旋回中心軸上に前記粗さプローブを保持しかつ
その旋回中心軸を中心として旋回可能に設けられた旋回
部材と、この旋回部材を旋回させる旋回駆動手段とを備
える構成が好ましい。
【００１０】また、直線移動手段についても、どのよう
な構成でもよいが、たとえば、旋回部材に旋回中心軸と
同方向へ移動可能に設けられ粗さプローブを保持したス
ライド部材と、このスライド部材を旋回中心軸と同方向
へ移動させるスライド駆動手段と備える構成が好まし
い。
な構成でもよいが、たとえば、旋回部材に旋回中心軸と
同方向へ移動可能に設けられ粗さプローブを保持したス
ライド部材と、このスライド部材を旋回中心軸と同方向
へ移動させるスライド駆動手段と備える構成が好まし
い。
【００１１】本発明の表面粗さ測定装置は、可動部を移
動させる移動機構と、この移動機構の可動部に取り付け
られた粗さプローブユニットとを備え、前記粗さプロー
ブユニットは、測定面の表面粗さを測定する粗さプロー
ブと、この粗さプローブの粗さ検出方向に対して略直交
する方向へ粗さプローブを直線移動させる直線移動手段
と、前記粗さプローブの移動方向と平行な軸を中心とし
て粗さプローブを旋回させる旋回手段とを備えることを
特徴とする。
動させる移動機構と、この移動機構の可動部に取り付け
られた粗さプローブユニットとを備え、前記粗さプロー
ブユニットは、測定面の表面粗さを測定する粗さプロー
ブと、この粗さプローブの粗さ検出方向に対して略直交
する方向へ粗さプローブを直線移動させる直線移動手段
と、前記粗さプローブの移動方向と平行な軸を中心とし
て粗さプローブを旋回させる旋回手段とを備えることを
特徴とする。
【００１２】このような構成によれば、移動機構によっ
て粗さプローブユニットを被測定物の測定面近傍に位置
させたのち、旋回手段によって粗さプローブの検出面の
向きを測定面に対向する任意の方向へ向かせ、この状態
において、直線移動手段によって粗さプローブをその粗
さ検出方向に対して略直交する方向へ移動させながら測
定を行う。従って、インラインでの粗さ測定を実現でき
る。
て粗さプローブユニットを被測定物の測定面近傍に位置
させたのち、旋回手段によって粗さプローブの検出面の
向きを測定面に対向する任意の方向へ向かせ、この状態
において、直線移動手段によって粗さプローブをその粗
さ検出方向に対して略直交する方向へ移動させながら測
定を行う。従って、インラインでの粗さ測定を実現でき
る。
【００１３】以上の構成において、移動機構としては、
ロボットなどでもよいが、可動部を互いに直交する三次
元方向へ移動させる三次元測定機が好ましい。
ロボットなどでもよいが、可動部を互いに直交する三次
元方向へ移動させる三次元測定機が好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図面に基づ
いて説明する。図１は本実施形態の測定装置の斜視図で
ある。同測定装置は、移動機構としての三次元測定機１
を備える。三次元測定機１は、ベース２と、このベース
２の長手方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に設けられたコラ
ム３と、このコラム３に上下方向（Ｚ軸方向）へ昇降可
能に設けられたスライダ４と、このスライダ４に前後方
向へ（Ｙ軸方向）へ進退可能に設けられたアーム５とか
ら構成されている。
いて説明する。図１は本実施形態の測定装置の斜視図で
ある。同測定装置は、移動機構としての三次元測定機１
を備える。三次元測定機１は、ベース２と、このベース
２の長手方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に設けられたコラ
ム３と、このコラム３に上下方向（Ｚ軸方向）へ昇降可
能に設けられたスライダ４と、このスライダ４に前後方
向へ（Ｙ軸方向）へ進退可能に設けられたアーム５とか
ら構成されている。
【００１５】前記アーム５の先端、つまり、互いに直交
するＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動可能に構成された可動部と
してのアーム５の先端部には、被測定物の測定面の表面
粗さを非接触で測定する非接触粗さプローブユニット２
１およびタッチ信号プローブ（図２参照）１１が交換可
能に取り付けできるようになっている。
するＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動可能に構成された可動部と
してのアーム５の先端部には、被測定物の測定面の表面
粗さを非接触で測定する非接触粗さプローブユニット２
１およびタッチ信号プローブ（図２参照）１１が交換可
能に取り付けできるようになっている。
【００１６】前記タッチ信号プローブ１１は、図２に示
すように、前記アーム５の先端に取り付けられるシャン
ク１２Ａを有するプローブ本体１２と、このプローブ本
体１２に前記シャンク１２Ａに対して直交する軸１３を
支点として回動可能に保持されたスタイラス１４とを備
え、スタイラス１４が被測定物に接触するとタッチ信号
が出力されるようになっている。
すように、前記アーム５の先端に取り付けられるシャン
ク１２Ａを有するプローブ本体１２と、このプローブ本
体１２に前記シャンク１２Ａに対して直交する軸１３を
支点として回動可能に保持されたスタイラス１４とを備
え、スタイラス１４が被測定物に接触するとタッチ信号
が出力されるようになっている。
【００１７】前記非接触粗さプローブユニット２１は、
図３に示すように、前記アーム５の先端に取り付けられ
るシャンク２２Ａを有するプローブ本体２２と、このプ
ローブ本体２２にベアリング２３を介して旋回中心軸Ｌ
を中心として旋回可能に設けられた旋回部材２４と、こ
の旋回部材２４に保持部材２５を介して前記旋回中心軸
Ｌ方向へスライド可能に設けられスライド部材２７と、
このスライド部材２７に固定されかつ前記旋回中心軸Ｌ
上に配置された非接触粗さプローブ２８と、前記スライ
ド部材２７をスライドさせるスライド駆動手段２９と、
前記旋回部材２４を旋回中心軸Ｌを中心として旋回させ
る旋回駆動手段３０とから構成されている。
図３に示すように、前記アーム５の先端に取り付けられ
るシャンク２２Ａを有するプローブ本体２２と、このプ
ローブ本体２２にベアリング２３を介して旋回中心軸Ｌ
を中心として旋回可能に設けられた旋回部材２４と、こ
の旋回部材２４に保持部材２５を介して前記旋回中心軸
Ｌ方向へスライド可能に設けられスライド部材２７と、
このスライド部材２７に固定されかつ前記旋回中心軸Ｌ
上に配置された非接触粗さプローブ２８と、前記スライ
ド部材２７をスライドさせるスライド駆動手段２９と、
前記旋回部材２４を旋回中心軸Ｌを中心として旋回させ
る旋回駆動手段３０とから構成されている。
【００１８】前記スライド駆動手段２９は、前記スライ
ド部材２７にそのスライド方向に沿って形成されたラッ
ク３１と、このラック３１に噛合するピニオン３２と、
前記保持部材２５に固定され前記ピニオン３２を回転さ
せるモータ３３とから構成されている。前記旋回駆動手
段３０は、前記プローブ本体２２に前記旋回中心軸Ｌと
同軸上に固定された歯車３４と、この歯車３４に噛合す
るピニオン３５と、前記プローブ本体２２に支持部材３
６を介して支持され前記ピニオン３５を回転させるモー
タ３７とから構成されている。なお、３８はカバーであ
る。
ド部材２７にそのスライド方向に沿って形成されたラッ
ク３１と、このラック３１に噛合するピニオン３２と、
前記保持部材２５に固定され前記ピニオン３２を回転さ
せるモータ３３とから構成されている。前記旋回駆動手
段３０は、前記プローブ本体２２に前記旋回中心軸Ｌと
同軸上に固定された歯車３４と、この歯車３４に噛合す
るピニオン３５と、前記プローブ本体２２に支持部材３
６を介して支持され前記ピニオン３５を回転させるモー
タ３７とから構成されている。なお、３８はカバーであ
る。
【００１９】ここで、前記保持部材２５、スライド部材
２７およびスライド駆動手段２９から、非接触粗さプロ
ーブ２８をその粗さ検出方向に対して略直交する方向へ
移動させる直線移動手段が構成されている。また、旋回
部材２４および旋回駆動手段３０から、非接触粗さプロ
ーブ２８を前記移動方向と平行な軸（旋回中心軸Ｌ）を
中心として旋回させる旋回手段が構成されている。な
お、１００は被測定物、１０１は測定面で、ここでは、
孔の内周面を示している。
２７およびスライド駆動手段２９から、非接触粗さプロ
ーブ２８をその粗さ検出方向に対して略直交する方向へ
移動させる直線移動手段が構成されている。また、旋回
部材２４および旋回駆動手段３０から、非接触粗さプロ
ーブ２８を前記移動方向と平行な軸（旋回中心軸Ｌ）を
中心として旋回させる旋回手段が構成されている。な
お、１００は被測定物、１０１は測定面で、ここでは、
孔の内周面を示している。
【００２０】前記非接触粗さプローブ１１は、図４に示
すように、光軸が相互に３０度の角度で交差する第１お
よび第２の光ファイバ４２，４３と、これら光ファイバ
４２，４３を介して測定面１０１に投光する光源４４
と、前記測定面１０１からの反射光を第１の光ファイバ
４２を介して受光する第１の受光器４５と、前記測定面
１０１からの反射光を第２の光ファイバ４３を介して受
光する第２の受光器４６と、これら第１および第２の受
光器４５，４６の出力Ｆ0 ，Ｆθをそれぞれ増幅するア
ンプ４７，４８と、演算装置４９とから構成されてい
る。
すように、光軸が相互に３０度の角度で交差する第１お
よび第２の光ファイバ４２，４３と、これら光ファイバ
４２，４３を介して測定面１０１に投光する光源４４
と、前記測定面１０１からの反射光を第１の光ファイバ
４２を介して受光する第１の受光器４５と、前記測定面
１０１からの反射光を第２の光ファイバ４３を介して受
光する第２の受光器４６と、これら第１および第２の受
光器４５，４６の出力Ｆ0 ，Ｆθをそれぞれ増幅するア
ンプ４７，４８と、演算装置４９とから構成されてい
る。
【００２１】なお、第１および第２の光ファイバ４２，
４３は、それぞれ光の往路および復路を内外に有する構
成を備え、しかも、第１の光ファイバ４２からの光軸が
測定面１０１に対して垂直になるように配置されてい
る。
４３は、それぞれ光の往路および復路を内外に有する構
成を備え、しかも、第１の光ファイバ４２からの光軸が
測定面１０１に対して垂直になるように配置されてい
る。
【００２２】前記演算装置４９は、前記両アンプ４７，
４８の出力の比ＦD （＝Ｆθ／Ｆ0）を求める割算器５
０と、この割算器５０による割算器出力ＦD を逆対数演
算して表面粗さ（中心線平均粗さ）Ｒａを求める第１の
演算器５１と、この第１の演算器５１によって求められ
た表面粗さデータを平均化して平均値を求める第２の演
算器５２とから構成されている。ここで、第１の演算器
５１において求められる表面粗さＲａは、Ｒａ＝１０
(FD/K-M/K)で与えられる。なお、Ｍ，Ｋは被測定物１０
０の材質や加工条件などによって異なる定数である。
４８の出力の比ＦD （＝Ｆθ／Ｆ0）を求める割算器５
０と、この割算器５０による割算器出力ＦD を逆対数演
算して表面粗さ（中心線平均粗さ）Ｒａを求める第１の
演算器５１と、この第１の演算器５１によって求められ
た表面粗さデータを平均化して平均値を求める第２の演
算器５２とから構成されている。ここで、第１の演算器
５１において求められる表面粗さＲａは、Ｒａ＝１０
(FD/K-M/K)で与えられる。なお、Ｍ，Ｋは被測定物１０
０の材質や加工条件などによって異なる定数である。
【００２３】次に、本実施形態の測定方法を説明する。
被測定物１００の孔の内面の粗さ測定にあたっては、図
３に示すように、粗さプローブユニット２１の粗さプロ
ーブ２８を被測定物１００の孔内に挿入し、粗さプロー
ブ２８の検出面を孔の内面（測定面１０１）に対向させ
る。これには、モータ３７を駆動させる。すると、ピニ
オン３５、歯車３４を介して旋回部材２４が旋回中心軸
Ｌと中心として旋回するので、粗さプローブ２８の検出
面を孔の内面所望位置に対向させる。
被測定物１００の孔の内面の粗さ測定にあたっては、図
３に示すように、粗さプローブユニット２１の粗さプロ
ーブ２８を被測定物１００の孔内に挿入し、粗さプロー
ブ２８の検出面を孔の内面（測定面１０１）に対向させ
る。これには、モータ３７を駆動させる。すると、ピニ
オン３５、歯車３４を介して旋回部材２４が旋回中心軸
Ｌと中心として旋回するので、粗さプローブ２８の検出
面を孔の内面所望位置に対向させる。
【００２４】この状態において、粗さ測定を行う。粗さ
測定では、モータ３３を駆動させる。すると、ピニオン
３２、ラック３１を介してスライド部材２７がスライド
されるから、そのときの粗さプローブ２８からの測定デ
ータを演算処理すれば、孔の内面の粗さ測定を行うこと
ができる。
測定では、モータ３３を駆動させる。すると、ピニオン
３２、ラック３１を介してスライド部材２７がスライド
されるから、そのときの粗さプローブ２８からの測定デ
ータを演算処理すれば、孔の内面の粗さ測定を行うこと
ができる。
【００２５】本実施形態によれば、三次元測定機１のア
ーム５の先端にタッチ信号プローブ１１と非接触粗さプ
ローブユニット２１とを交換可能に取り付けできるよう
にしたので、タッチ信号プローブ１１を用いて被測定物
１００の寸法測定を行い、非接触粗さプローブユニット
２１を用いて被測定物１００の表面粗さを測定すること
ができる。従って、インラインでの高精度測定を容易に
実現できる。
ーム５の先端にタッチ信号プローブ１１と非接触粗さプ
ローブユニット２１とを交換可能に取り付けできるよう
にしたので、タッチ信号プローブ１１を用いて被測定物
１００の寸法測定を行い、非接触粗さプローブユニット
２１を用いて被測定物１００の表面粗さを測定すること
ができる。従って、インラインでの高精度測定を容易に
実現できる。
【００２６】また、非接触粗さプローブユニット２１
は、非接触粗さプローブ２８をその粗さ検出方向に対し
て略直交する旋回中心軸Ｌ方向へ移動させる直線移動手
段と、その旋回中心軸Ｌを中心として旋回させる旋回手
段とを備えているので、旋回手段によって非接触粗さプ
ローブ２８の検出面の向きを測定面に対向する任意の方
向へ向かせ、この状態において直線移動手段によって非
接触粗さプローブ２８を移動させながら粗さ測定するこ
とができる。従って、孔の内面などの任意の測定面の粗
さ測定を迅速にかつ高精度に行うことができる。
は、非接触粗さプローブ２８をその粗さ検出方向に対し
て略直交する旋回中心軸Ｌ方向へ移動させる直線移動手
段と、その旋回中心軸Ｌを中心として旋回させる旋回手
段とを備えているので、旋回手段によって非接触粗さプ
ローブ２８の検出面の向きを測定面に対向する任意の方
向へ向かせ、この状態において直線移動手段によって非
接触粗さプローブ２８を移動させながら粗さ測定するこ
とができる。従って、孔の内面などの任意の測定面の粗
さ測定を迅速にかつ高精度に行うことができる。
【００２７】また、旋回手段は、旋回中心軸Ｌに非接触
粗さプローブ２８を保持しかつその旋回中心軸Ｌを中心
として旋回可能に設けられた旋回部材２４と、この旋回
部材２４を旋回させる旋回駆動手段３０とから構成され
ているから、簡単に構成できる。
粗さプローブ２８を保持しかつその旋回中心軸Ｌを中心
として旋回可能に設けられた旋回部材２４と、この旋回
部材２４を旋回させる旋回駆動手段３０とから構成され
ているから、簡単に構成できる。
【００２８】また、直線移動手段についても、旋回部材
２４に旋回中心軸Ｌと同方向へ移動可能に設けられ非接
触粗さプローブ２８を保持したスライド部材２７と、こ
のスライド部材２７を旋回中心軸Ｌ方向へ移動させるス
ライド駆動手段２９とから構成されているから、簡単に
構成できる。
２４に旋回中心軸Ｌと同方向へ移動可能に設けられ非接
触粗さプローブ２８を保持したスライド部材２７と、こ
のスライド部材２７を旋回中心軸Ｌ方向へ移動させるス
ライド駆動手段２９とから構成されているから、簡単に
構成できる。
【００２９】なお、前記実施形態において、非接触粗さ
プローブ２８の構造、検出方式は、図３および図４で説
明した構造、検出方式に限らず、他の構造、検出方式の
ものであってもよい。あるいは、スタイラスを測定面に
接触させて測定面の表面粗さを測定する接触式粗さプロ
ーブを用いてもよい。また、タッチ信号プローブ１１に
ついては、前記実施形態で説明した図２の構成に限ら
ず、スタイラス１４が測定面に接したときにタッチ信号
を発する構造であれば、他の構造でもよい。
プローブ２８の構造、検出方式は、図３および図４で説
明した構造、検出方式に限らず、他の構造、検出方式の
ものであってもよい。あるいは、スタイラスを測定面に
接触させて測定面の表面粗さを測定する接触式粗さプロ
ーブを用いてもよい。また、タッチ信号プローブ１１に
ついては、前記実施形態で説明した図２の構成に限ら
ず、スタイラス１４が測定面に接したときにタッチ信号
を発する構造であれば、他の構造でもよい。
【００３０】また、移動機構として、アーム５が水平方
向へ突出する構造の三次元測定機１を用いたが、門形構
造の三次元測定機でもよい。あるいは、ロボットなどで
もよい。さらに、移動方向についても、三次元方向に限
らず、一軸方向、または、２軸方向へ移動するものでも
よい。
向へ突出する構造の三次元測定機１を用いたが、門形構
造の三次元測定機でもよい。あるいは、ロボットなどで
もよい。さらに、移動方向についても、三次元方向に限
らず、一軸方向、または、２軸方向へ移動するものでも
よい。
【００３１】
【発明の効果】本発明の粗さプローブユニットおよび表
面粗さ測定装置によれば、孔の内周面などの表面粗さを
迅速にかつ高精度に測定することができる。
面粗さ測定装置によれば、孔の内周面などの表面粗さを
迅速にかつ高精度に測定することができる。
【図１】本発明に係る粗さプローブユニットを用いた表
面粗さ測定装置の一実施形態を示す斜視図である。
面粗さ測定装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】同上実施形態のタッチ信号プローブを示す図で
ある。
ある。
【図３】同上実施形態の非接触粗さプローブユニットの
構成を説明するための図である。
構成を説明するための図である。
【図４】同上実施形態の非接触粗さプローブの回路構成
を説明するための図である。
を説明するための図である。
１ 三次元測定機（移動機構） ５ アーム（可動部） １１ タッチ信号プローブ ２１ 非接触粗さプローブユニット ２２ プローブ本体 ２４ 旋回部材 ２７ スライド部材 ２８ 非接触粗さプローブ ２９ スライド駆動手段 ３０ 旋回駆動手段
Claims (6)
- 【請求項１】 測定面の表面粗さを測定する粗さプロー
ブと、この粗さプローブの粗さ検出方向に対して略直交
する方向へ粗さプローブを直線移動させる直線移動手段
と、前記粗さプローブの移動方向と平行な軸を中心とし
て粗さプローブを旋回させる旋回手段とを備えたことを
特徴とする粗さプローブユニット。 - 【請求項２】 請求項１に記載の粗さプローブユニット
において、前記粗さプローブは、測定面の表面粗さを非
接触で測定する非接触粗さプローブであることを特徴と
する粗さプローブユニット。 - 【請求項３】 請求項２に記載の粗さプローブユニット
において、前記旋回手段は、前記旋回中心軸上に前記粗
さプローブを保持しかつその旋回中心軸を中心として旋
回可能に設けられた旋回部材と、この旋回部材を旋回さ
せる旋回駆動手段とを備えることを特徴とする粗さプロ
ーブユニット。 - 【請求項４】 請求項３に記載の粗さプローブユニット
において、前記直線移動手段は、前記旋回部材に前記旋
回中心軸と同方向へ移動可能に設けられ前記粗さプロー
ブを保持したスライド部材と、このスライド部材を前記
旋回中心軸と同方向へ移動させるスライド駆動手段と備
えることを特徴とする粗さプローブユニット。 - 【請求項５】 可動部を移動させる移動機構と、この移
動機構の可動部に取り付けられた粗さプローブユニット
とを備え、 前記粗さプローブユニットは、測定面の表面粗さを測定
する粗さプローブと、この粗さプローブの粗さ検出方向
に対して略直交する方向へ粗さプローブを直線移動させ
る直線移動手段と、前記粗さプローブの移動方向と平行
な軸を中心として粗さプローブを旋回させる旋回手段と
を備えることを特徴とする表面粗さ測定装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の表面粗さ測定装置にお
いて、前記移動機構は、前記可動部を互いに直交する三
次元方向へ移動させる三次元測定機であることを特徴と
する表面粗さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30274797A JPH11142140A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 粗さプローブユニットおよびこれを用いた表面粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30274797A JPH11142140A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 粗さプローブユニットおよびこれを用いた表面粗さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11142140A true JPH11142140A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17912669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30274797A Withdrawn JPH11142140A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 粗さプローブユニットおよびこれを用いた表面粗さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11142140A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107014333A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-08-04 | 西安交通大学 | 中小口径柱形元件微小孔在位精密测量装置及方法 |
-
1997
- 1997-11-05 JP JP30274797A patent/JPH11142140A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107014333A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-08-04 | 西安交通大学 | 中小口径柱形元件微小孔在位精密测量装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050201 |