JPH1113935A - 電磁弁作動監視装置 - Google Patents

電磁弁作動監視装置

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JPH1113935A
JPH1113935A JP9181889A JP18188997A JPH1113935A JP H1113935 A JPH1113935 A JP H1113935A JP 9181889 A JP9181889 A JP 9181889A JP 18188997 A JP18188997 A JP 18188997A JP H1113935 A JPH1113935 A JP H1113935A
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JP
Japan
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solenoid valve
operation monitoring
monitoring device
pressure
port
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JP9181889A
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Inventor
Katsuhiro Itoi
克広 糸井
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Nok Corp
Original Assignee
Nok Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電磁弁が正確に作動しているか否かを監視
し、電磁弁に作動不具合が発生したときに、これを速や
かに検知して外部に知らせることができ、もって不具合
が発生した電磁弁のみを速やかに交換することが可能と
なる電磁弁作動監視装置41を提供する。 【解決手段】 監視対象である電磁弁の外部に着脱自在
に連結されるボディ42の内部に、電磁弁の出力ポート
に連通する流路45,46と、流路45,46内の圧力
の大きさを検出してこれを信号出力する圧力検出部5
0,52と、電磁弁への作動指示信号を電磁弁と共に入
力するとともに圧力検出部50,52からの圧力検出信
号を入力し、作動指示信号が入力した時から圧力検出信
号が所定値に達する時までの所要時間を計測し、この所
要時間が所定の基準値を超過したときに電磁弁の作動不
具合を外部に知らせる作動監視部53とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁弁の作動を監
視し、電磁弁に作動不具合が発生したときに、これを速
やかに検知して外部に知らせる電磁弁作動監視装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】例えば、流体圧アクチュエータに駆動圧
力を供給する圧力供給配管には、その配管流路を切り換
えるために通常、複数の電磁弁が設置されており、各電
磁弁が作動指示信号を受けて配管流路を切り換え、これ
に基づいてアクチュエータが作動する。したがってアク
チュエータを正確に作動させるには、電磁弁の保守管理
が極めて重要である。
【0003】しかしながら従来は、この保守管理に慎重
である余り、配管中の全ての電磁弁を一定期間毎に新品
と交換しており、これでは保守管理に多大な手間と時間
がかかるとともに経済的にも合理性がない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
み、電磁弁が正確に作動しているか否かを監視し、電磁
弁に作動不具合が発生したときに、これを速やかに検知
して外部に知らせることができ、もって不具合が発生し
た電磁弁のみを速やかに交換することが可能となる電磁
弁作動監視装置を提供することを目的とする。
【0005】また併せて、既存の電磁弁またはマニホー
ルドベースに対して後付けで組み合わせることができ、
もって電磁弁またはマニホールドベースの規格ないし形
状を変更する必要がないとともに、不具合を発生した電
磁弁を廃棄するときに電磁弁作動監視装置を同時に廃棄
する必要がなく、もってこの電磁弁作動監視装置を引き
続き新しい電磁弁と組み合わせて使用することが可能な
電磁弁作動監視装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項1による電磁弁作動監視装置は、監
視対象である電磁弁の外部に着脱自在に連結されるボデ
ィの内部に、前記電磁弁の出力ポートに連通する出力流
路と、前記出力流路内の圧力の大きさを検出してこれを
信号出力する圧力検出部と、前記電磁弁への作動指示信
号を前記電磁弁と共に入力するとともに前記圧力検出部
からの圧力検出信号を入力し、前記作動指示信号が入力
した時から前記圧力検出信号が所定値に達する時までの
所要時間を計測し、前記所要時間が所定の基準値を超過
したときに、前記電磁弁の作動不具合を外部に知らせる
作動監視部とを備えることにした。
【0007】また本発明の請求項2による電磁弁作動監
視装置は、上記した請求項1の電磁弁作動監視装置にお
いて、当該電磁弁作動監視装置が、電磁弁を集積配置す
るマニホールドベースと監視対象である電磁弁との間に
配置されるものであり、当該電磁弁作動監視装置に、前
記マニホールドベースのポートとこれに対応する前記電
磁弁のポートとを連通させる流路が複数設けられている
ことにした。
【0008】上記構成を備えた本発明の請求項1による
電磁弁監視作動装置は、監視対象である電磁弁に接続さ
れて、以下のように作動する。
【0009】すなわち、電磁弁に所定の作動指示信号が
付与されると、電磁弁が切換え作動し、その結果として
所定の出力ポートから圧力が出力される。この圧力は例
えば上記したように、流体圧アクチュエータを作動させ
るための流体圧である。出力ポートと当該電磁弁作動監
視装置の出力流路とが連通しているために、出力ポート
から圧力が出力されると、この圧力が出力流路に入り、
圧力検出部が出力流路内の圧力の大きさを検出してこれ
を圧力検出信号として作動監視部へ信号出力する。
【0010】一方、作動監視部は、電磁弁への作動指示
信号を電磁弁と共に受けて、この作動指示信号が入力し
た時から、圧力検出部からの圧力検出信号が圧力の大き
さとして所定値に達する時までの所要時間を計測し、こ
の計測値を所定の基準値と比較演算する。そしてこの比
較演算の結果として、計測値が基準値を超過していなけ
れば、電磁弁が正確に切換え作動したと判断し、また計
測値が基準値を超過した場合には、電磁弁が正確に切換
え作動しなかったとして、このような状況が発生したこ
とをランプ点灯または信号出力等の手段により外部に知
らせる。
【0011】電磁弁の出力ポートから当該電磁弁作動監
視装置の出力流路に入った圧力は、この出力流路を介し
て、またはこの出力流路と平行に設けられた別の流路を
介して流体圧アクチュエータ等の作動機器に送られる
が、電磁弁がマニホールドベースに設置される場合に
は、更にこのマニホールドベースを介して作動機器に送
られることになる(請求項2)。
【0012】
【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施形態を図面に
したがって説明する。
【0013】第一実施形態・・・当該実施形態は、電磁
弁をマニホールドベースに設置して配管する場合を示し
ている。
【0014】電磁弁をマニホールドベースに設置して配
管する場合は通常、電磁弁がマニホールドベースに直接
ネジ止めされるが、当該実施形態のように電磁弁作動監
視装置が組み合わされる場合には、図1に示すように、
監視対象である電磁弁1とマニホールドベース21の間
に電磁弁作動監視装置41が配置され、通常より長目の
連結ネジ2が用いられて、電磁弁1および電磁弁作動監
視装置41が纏めてマニホールドベース21にネジ止め
される。このため電磁弁作動監視装置41のボディ42
には、連結ネジ2を差し通すための孔43が設けられて
いる。電磁弁1およびマニホールドベース21の規格な
いし形状はそれぞれ、電磁弁作動監視装置41を組み合
わせる以前と比較して何ら変わっていない。電磁弁1の
ボディ3と電磁弁作動監視装置41のボディ42の間に
は、圧力の漏洩を防止するために、各ポートに対応する
孔を開けたシート状のシール材14が挾み込まれる。
【0015】図2に示すように、当該実施形態に係る電
磁弁1は5ポート型の電磁弁であって、箱形を呈するボ
ディ3に、入力ポート4、第一出力ポート5、第二出力
ポート6、第一排出ポート7および第二排出ポート8が
設けられており、複数の弁体部(シール部)10を備え
たスプール9が軸方向に移動することにより、以下のよ
うに流路が切り換えられる。スプール9は、励磁コイル
(図示せず)への通電に伴って図示した位置から図上右
方向に移動し、励磁コイルへの通電を停止すると、これ
に伴って図示した位置に復帰動する。ボディ3には、励
磁コイルへの電気配線13を接続するために、接続端子
(差込みコネクタ)12を差し込む接続端子部(外部コ
ネクタ部)11が設けられている。
【0016】すなわち先ず、励磁コイルに対する非通電
時には、スプール9が図示した位置にあり、入力ポート
4および第一出力ポート5が互いに連通するとともに第
一出力ポート5および第一排出ポート7が互いに遮断さ
れている。また入力ポート4および第二出力ポート6が
互いに遮断されるとともに第二出力ポート6および第二
排出ポート8が互いに連通している。したがってこれに
より例えば、圧力供給源(図示せず)から入力ポート4
および第一出力ポート5を介して流体圧アクチュエータ
(図示せず)に往動用の駆動圧力が供給され、その一方
で、流体圧アクチュエータから第二出力ポート6および
第二排出ポート8を介して外部に復動用の駆動圧力が排
出され、これにより流体圧アクチュエータが往動する。
【0017】また励磁コイルに対する通電時には、スプ
ール9が図示した位置から図上右方向に移動し、入力ポ
ート4および第一出力ポート5が互いに遮断されるとと
もに第一出力ポート5および第一排出ポート7が互いに
連通する。また入力ポート4および第二出力ポート6が
互いに連通するとともに第二出力ポート6および第二排
出ポート8が互いに遮断される。したがってこれにより
例えば、圧力供給源から入力ポート4および第二出力ポ
ート6を介して流体圧アクチュエータに復動用の駆動圧
力が供給され、その一方で、流体圧アクチュエータから
第一出力ポート5および第一排出ポート7を介して外部
に往動用の駆動圧力が排出され、これにより流体圧アク
チュエータが復動する。
【0018】マニホールドベース21は、複数の電磁弁
1を集積設置することにより、複数の電磁弁1への配管
を集中させるもので、樹脂成形、アルミニウム切削加工
または亜鉛ダイキャスト成形等で製作されている。図1
に示したマニホールドベース21はその上に電磁弁1を
二つ設置(搭載)可能となっており、上面に、電磁弁1
の入力ポート4に連通するポート22、第一出力ポート
5に連通するポート23、第二出力ポート6に連通する
ポート24、第一排出ポート7に連通するポート25お
よび第二排出ポート8に連通するポート26ならびに連
結ネジ2をねじ込むネジ孔27が電磁弁1毎に設けら
れ、また側面に、ポート23に連通する配管ポート28
およびポート24に連通する配管ポート29がやはり電
磁弁1毎に設けられている。
【0019】またその端面に、全ての電磁弁1に共通す
るものとして、ポート22に連通する配管ポート30、
ポート25に連通する配管ポート31およびポート26
に連通する配管ポート32が設けられている。図3はこ
のマニホールドベース21および二つの電磁弁1の配管
回路を模式的に示している。尚、当該実施形態におい
て、このマニホールドベース21と電磁弁1の間に電磁
弁作動監視装置41が設置されることは、上記したとお
りである。
【0020】図4は、当該実施形態に係る電磁弁作動監
視装置41の平面を示している。図5はその正面図、図
6は左側面図、図7は右側面図、図8は図5におけるA
−A線断面図、図9は図4におけるB−B線断面図であ
る。
【0021】当該実施形態に係る電磁弁作動監視装置4
1は先ず、電磁弁1に対応して略箱形を呈するボディ4
2を備えており、このボディ42に、マニホールドベー
ス21のポート22と電磁弁1の入力ポート4とを連通
させる入力流路44、マニホールドベース21のポート
23と電磁弁1の第一出力ポート5とを連通させる第一
出力流路45、マニホールドベース21のポート24と
電磁弁1の第二出力ポート6とを連通させる第二出力流
路46、マニホールドベース21のポート25と電磁弁
1の第一排出ポート7とを連通させる第一排出流路4
7、およびマニホールドベース21のポート26と電磁
弁1の第二排出ポート8とを連通させる第二排出流路4
8がそれぞれ上下方向に貫通し、上下面にそれぞれ開口
するように設けられている。また上記したように、連結
ネジ2を差し通すための孔43が同じく上下方向に貫通
し、上下面にそれぞれ開口するように設けられている。
【0022】図8および図9に示すように、第一出力流
路45の中途に分岐路49が設けられており、その先
に、第一出力流路45内の圧力の大きさを検出してこれ
を信号出力する圧力検出部としての圧力センサ50が設
けられている。また同様に、第二出力流路46の中途に
分岐路51が設けられて、その先に、第二出力流路46
内の圧力の大きさを検出してこれを信号出力する圧力検
出部としての圧力センサ52が設けられている。
【0023】ボディ42の内部に圧力センサ50,52
とともに、全体を符号53で示す作動監視部が設けられ
ている。この作動監視部53は、電磁弁1への作動指示
信号(図10におけるソレノイド通電信号)をこの電磁
弁1と共に入力するとともに圧力センサ50,52から
の圧力検出信号を入力し、作動指示信号が入力した時か
ら圧力検出信号が所定値に達する時までの所要時間を積
算タイマーにより計測し、この所要時間が所定の基準値
を超過したときに、これをもって電磁弁1に作動不具合
が発生したことを外部に知らせるものであり、このよう
な機能を奏するべく、電磁弁通電状態監視用端子部5
4,55、電磁弁作動監視回路基板56、警告用のラン
プ57および電磁弁作動不具合信号出力端子部58が備
えられ、また図10に示すブロック構成および電磁弁作
動監視回路が備えられている。
【0024】また当該電磁弁作動監視装置41を駆動用
電源(図示せず)に接続するための電源接続端子部(図
示せず)がボディ42に別に設けられているが、駆動用
の電源としては、小型の電池を当該監視装置41に内蔵
することにしても良い。
【0025】電磁弁通電状態監視用端子部54,55に
は、励磁コイルへの電気配線12から分岐した電気配線
60を接続するように端子59が着脱自在に差し込まれ
るようになっており、これにより電磁弁1への作動指示
信号すなわち電磁弁1への通電状態如何が電磁弁作動監
視回路によって検知される。
【0026】ランプ57および電磁弁作動不具合信号出
力端子部58は、その点灯または信号出力により、電磁
弁1に作動不具合が発生したことを外部に知らせるもの
であるが、何れか一方が選択的に設けられていても良
い。
【0027】上記構成を備えた電磁弁作動監視装置41
は、監視を必要とする電磁弁1に接続され、またこの電
磁弁1とマニホールドベース21の間に介装されて、以
下のように作動する。
【0028】すなわち、入力ポート4に圧力供給源から
圧力が供給されている状態で、電磁弁1の通電状態が変
化せしめられると、電磁弁作動監視回路において積算タ
イマー61(図10参照)が作動し、更に時間が経過す
ると、第一または第二出力ポート5,6に圧力が出力さ
れ、第一または第二出力ポート5,6の内部圧力が上昇
するために、圧力センサ50または52において時系列
的に出力信号(圧力検出信号)が変化する。この圧力セ
ンサ50,52の信号が一定値を越えると、電磁弁作動
監視回路において、それまでに積算された時間が、その
電磁弁1の作動に適切な時間内であるかどうかを検査
し、適切な時間を超過した場合にはランプ57を点灯さ
せ、端子部58に1V程度の電圧を出力する。また適切
な時間内であれば、積算タイマー61をゼロに設定(リ
セット)し、電磁弁1の通電状態が次回変化するまで待
機する。当該実施形態においては、電磁弁1に出力ポー
ト5,6が二つあるため、それぞれについて作動が監視
される。
【0029】したがって、このようにして電磁弁1の作
動を監視する電磁弁作動監視装置41が設置されていれ
ば、以下の効果が奏される。
【0030】すなわち、先ず第一に、電磁弁1が正確に
作動しているか否かを監視し、電磁弁1に作動不具合が
発生したときに、これを速やかに検知して外部に知らせ
ることができる。電磁弁1が正確に作動しているとは上
記したように、電磁弁1の切換え作動が所定の時間内に
行なわれ、かつ出力ポート5,6から実際に圧力が出力
されることである。電磁弁1には、その寿命が近づくに
従って徐々に作動不具合発生の頻度が増加していく傾向
があるが、作動時間が基準値を超過すると電磁弁作動監
視装置41が自動的に警報を発するために、不具合発生
をその初期段階で発見することができる。したがって警
報を発した電磁弁作動監視装置41に対応する電磁弁1
だけを新品と交換することにより、複数の電磁弁1を備
えた圧力供給配管全体を極めて効率良く保守管理するこ
とができる。
【0031】また作動不具合が発生したときに、端子部
58から信号を出力するとともにランプ57が点灯して
外部にこれを知らせるために、作動不具合の発生してい
る電磁弁1を視覚的に認識することができ、交換すべき
電磁弁1を容易に特定することができる。
【0032】また上記したような既存の電磁弁1または
マニホールドベース21に対して電磁弁作動監視装置4
1を後付けで組み合わせることが可能であって、電磁弁
1またはマニホールドベース21の規格ないし形状を全
く変更する必要がない。また電磁弁1が複数設置された
マニホールドベース21上で、その作動を厳密に監視し
なければならない電磁弁1のみに電磁弁作動監視装置4
1を接続すれば良い。また更に、不具合を発生した電磁
弁1を廃棄するときに電磁弁作動監視装置41を同時に
廃棄する必要がなく、この電磁弁作動監視装置41を引
き続き新しい電磁弁1と組み合わせて使用することがで
きる。
【0033】したがって、これらのことから複数の電磁
弁1の作動を監視するのに多くの手間がかからず、監視
作動が正確で、かつコスト的にも有利で経済性にも優れ
た電磁弁作動監視システムを構築することができる。
【0034】上記実施形態に係る電磁弁作動監視装置4
1は、以下のようにその構成を付加変更することが可能
である。
【0035】第二実施形態・・・図11に示すように、
マニホールドベース21が集中配管型コネクタ33を備
えるとともに、電磁弁1がこの集中配線型コネクタ33
に差し込まれるべき接続端子部14を備えている場合
は、電磁弁作動監視装置41に、マニホールドベース2
1の集中配線型コネクタ33の差込み部34に差し込ま
れる接続端子部62が設けられるとともに、電磁弁1の
接続端子部14を差し込む接続端子部62が設けられ、
これにより外部配線無しで、互いが接続される。
【0036】第三実施形態・・・図12および図13に
示すように、電磁弁1が入力ポート4、出力ポート5お
よび排出ポート7を備えた3ポート型の電磁弁1である
場合は、図14ないし図19に示すように、これに対応
して電磁弁作動監視装置41のボディ42に、マニホー
ルドベース21のポート22と電磁弁1の入力ポート4
とを連通させる入力流路44、マニホールドベース21
のポート23と電磁弁1の出力ポート5とを連通させる
出力流路45、およびマニホールドベース21のポート
25と電磁弁1の排出ポート7とを連通させる排出流路
47がそれぞれ上下方向に貫通し、上下面にそれぞれ開
口するように設けられる。
【0037】第四実施形態・・・図20に示すように、
マニホールドベース21を使用せずに電磁弁1を配管す
る場合は、電磁弁作動監視装置41のボディ42に、電
磁弁1の出力ポート5,6に連通する出力流路45,4
6が設けられる。図21に示すようにこの電磁弁1は、
入力ポート4、第一出力ポート5、第二出力ポート6、
第一排出ポート7および第二排出ポート8を備えた5ポ
ート型の電磁弁1であって、第一および第二の二つの出
力ポート5,6を備えており、これに対応して電磁弁作
動監視装置41にも出力流路45,46が二つ設けられ
ている。
【0038】
【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。
【0039】すなわち先ず、上記構成を備えた本発明の
請求項1による電磁弁作動監視装置によれば、電磁弁が
正確に作動しているか否かを監視し、電磁弁に作動不具
合が発生したときに、これを速やかに検知して外部に知
らせることができる。電磁弁には一般に、その寿命が近
づくに従って徐々に作動不具合発生の頻度が増加してい
く傾向があるが、作動時間が基準値を超過すると当該電
磁弁作動監視装置が自動的に警報を発するために、不具
合発生をその初期段階で発見することができる。したが
って警報を発した電磁弁作動監視装置に対応する電磁弁
だけを新品と交換することにより、複数の電磁弁を備え
た圧力供給配管全体を極めて効率良く保守管理すること
ができる。
【0040】また既存の電磁弁またはマニホールドベー
スに対して電磁弁作動監視装置を後付けで組み合わせる
ことが可能であって、電磁弁またはマニホールドベース
の規格ないし形状を全く変更する必要がない。また電磁
弁が複数設置されたマニホールドベース上で、その作動
を厳密に監視しなければならない電磁弁のみに電磁弁作
動監視装置を接続すれば良い。また更に、不具合を発生
した電磁弁を廃棄するときに電磁弁作動監視装置を同時
に廃棄する必要がなく、この電磁弁作動監視装置を引き
続き新しい電磁弁と組み合わせて使用することができ
る。
【0041】したがって、これらのことから複数の電磁
弁の作動を監視するのに多くの手間がかからず、監視作
動が正確で、かつコスト的にも有利で経済性にも優れた
電磁弁作動監視システムを構築することができる。
【0042】またこれに加えて、上記構成を備えた本発
明の請求項2による電磁弁作動監視装置によれば、当該
電磁弁作動監視装置の流路を介してマニホールドベース
のポートと電磁弁のポートを連通させることにより、外
部配管無しで電磁弁とマニホールドベースを接続するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態に係る電磁弁作動監視装
置の装着箇所および装着方法を示す斜視図
【図2】電磁弁の一部切欠した正面図
【図3】マニホールドベースおよび電磁弁の配管説明図
【図4】電磁弁作動監視装置の平面図
【図5】同正面図
【図6】同左側面図
【図7】同右側面図
【図8】図5におけるA−A線断面図
【図9】図4におけるB−B線断面図
【図10】電磁弁作動監視回路のブロック図
【図11】本発明の第二実施形態に係る電磁弁作動監視
装置の装着箇所および装着方法を示す斜視図
【図12】本発明の第三実施形態に係る電磁弁作動監視
装置の装着箇所および装着方法を示す斜視図
【図13】電磁弁の断面図
【図14】電磁弁作動監視装置の平面図
【図15】同正面図
【図16】同左側面図
【図17】同右側面図
【図18】図19におけるC−C線断面図
【図19】図14におけるD−D線断面図
【図20】本発明の第四実施形態に係る電磁弁作動監視
装置の装着箇所および装着方法を示す斜視図
【図21】電磁弁の断面図
【図22】電磁弁作動監視装置の平面図
【図23】同正面図
【図24】同左側面図
【図25】同右側面図
【図26】図27におけるE−E線断面図
【図27】図22におけるF−F線断面図
【符号の説明】
1 電磁弁 2 連結ネジ 3,42 ボディ 4 入力ポート 5,6 出力ポート 7,8 排出ポート 9 スプール 10 弁体部 11,15,62,63 接続端子部 12,59 接続端子 13,60 電気配線 14 シール材 21 マニホールドベース 22,23,24,25,26 ポート 27 ネジ孔 28,29,30,31,32 配管ポート 33 集中配線型コネクタ 41 電磁弁作動監視装置 43 孔 44 入力流路 45,46 出力流路 47,48 排出流路 49,51 分岐路 50,52 圧力センサ(圧力検出部) 53 作動監視部 54,55 電磁弁通電状態監視用端子部 56 電磁弁作動監視回路基板 57 ランプ 58 電磁弁作動不具合信号出力端子部 61 積算タイマー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 監視対象である電磁弁(1)の外部に着
    脱自在に連結されるボディ(42)の内部に、 前記電磁弁(1)の出力ポート(5)(6)に連通する
    出力流路(45)(46)と、 前記出力流路(45)(46)内の圧力の大きさを検出
    してこれを信号出力する圧力検出部(50)(52)
    と、 前記電磁弁(1)への作動指示信号を前記電磁弁(1)
    と共に入力するとともに前記圧力検出部(50)(5
    2)からの圧力検出信号を入力し、前記作動指示信号が
    入力した時から前記圧力検出信号が所定値に達する時ま
    での所要時間を計測し、前記所要時間が所定の基準値を
    超過したときに、前記電磁弁(1)の作動不具合を外部
    に知らせる作動監視部(53)とを備えたことを特徴と
    する電磁弁作動監視装置。
  2. 【請求項2】 請求項1の電磁弁作動監視装置におい
    て、 当該電磁弁作動監視装置(41)が、電磁弁(1)を集
    積配置するマニホールドベース(21)と監視対象であ
    る電磁弁(1)との間に配置されるものであり、 当該電磁弁作動監視装置(41)に、前記マニホールド
    ベース(21)のポート(22)(23)(24)(2
    5)(26)とこれに対応する前記電磁弁(1)のポー
    ト(4)(5)(6)(7)(8)とを連通させる流路
    (44)(45)(46)(47)(48)が複数設け
    られていることを特徴とする電磁弁作動監視装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002213632A (ja) * 2001-01-16 2002-07-31 Smc Corp センサ付き電磁弁
JP2011229693A (ja) * 2010-04-28 2011-11-17 Maezawa Ind Inc 圧力検出機能を有する弁装置
WO2016000805A1 (de) * 2014-07-02 2016-01-07 TRüTZSCHLER GMBH & CO. KG Vorrichtung zum erkennen und ausscheiden von fremdstoffen in oder zwischen fasermaterial bei einer spinnereivorbereitung oder ginnerei
JP2018076901A (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 Ckd株式会社 電磁弁

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