JPH11137652A - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法Info
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- JPH11137652A JPH11137652A JP9309136A JP30913697A JPH11137652A JP H11137652 A JPH11137652 A JP H11137652A JP 9309136 A JP9309136 A JP 9309136A JP 30913697 A JP30913697 A JP 30913697A JP H11137652 A JPH11137652 A JP H11137652A
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- JP
- Japan
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- gas
- ozone
- cooling
- cleaning
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 連続的に効率良くオゾンを発生させることが
でき、被洗浄物を効率良く洗浄することができるように
することにある。 【解決手段】 空気は加圧工程１１により加圧された後
に、除湿工程１２により空気中の水分が除去されて冷却
工程１３により冷却される。除湿工程１２および冷却工
程１３を経て乾燥されかつ冷却された空気は、オゾン発
生工程１４により放電現象によってオゾンが発生する。
オゾンを含む空気は洗浄工程１５において被洗浄物に吹
き付けられる。
でき、被洗浄物を効率良く洗浄することができるように
することにある。 【解決手段】 空気は加圧工程１１により加圧された後
に、除湿工程１２により空気中の水分が除去されて冷却
工程１３により冷却される。除湿工程１２および冷却工
程１３を経て乾燥されかつ冷却された空気は、オゾン発
生工程１４により放電現象によってオゾンが発生する。
オゾンを含む空気は洗浄工程１５において被洗浄物に吹
き付けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は種々の被洗浄物をオ
ゾンを含む空気により洗浄するようにした洗浄技術に関
する。
ゾンを含む空気により洗浄するようにした洗浄技術に関
する。
【０００２】
【従来の技術】食品を殺菌洗浄したり、食品の製造や梱
包のための食品製造装置を殺菌洗浄したり、食品の包装
容器ないし包装物を殺菌洗浄するために、物理的洗浄方
式と化学的洗浄方式とがある。半導体装置や液晶基板の
製造装置にあっては、同様の洗浄方式が用いられてい
る。化学的洗浄方式としては殺菌剤を含む洗浄液を被洗
浄物に吹き付ける方式があるが、食品や食品の包装容器
そして半導体装置などには不適当であるため、オゾンを
含む空気を被洗浄物に吹き付ける技術が開発されてい
る。また、物理的洗浄方式には、被洗浄物に付着した異
物を掻き取ったり、空気を吹き付けて異物を吹き飛ばす
方式がある。
包のための食品製造装置を殺菌洗浄したり、食品の包装
容器ないし包装物を殺菌洗浄するために、物理的洗浄方
式と化学的洗浄方式とがある。半導体装置や液晶基板の
製造装置にあっては、同様の洗浄方式が用いられてい
る。化学的洗浄方式としては殺菌剤を含む洗浄液を被洗
浄物に吹き付ける方式があるが、食品や食品の包装容器
そして半導体装置などには不適当であるため、オゾンを
含む空気を被洗浄物に吹き付ける技術が開発されてい
る。また、物理的洗浄方式には、被洗浄物に付着した異
物を掻き取ったり、空気を吹き付けて異物を吹き飛ばす
方式がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】オゾンを食品やその製
造装置などの被洗浄物に吹き付けると、被洗浄物の表面
に付着した細菌を殺菌することができることから、食品
などの種々の被洗浄物の洗浄に利用されている。しかし
ながら、これまでに開発されたオゾン発生装置は、多量
のオゾンを連続的に発生させることが困難であり、多量
に発生させるには非常に高価な装置となる。また、洗浄
物に対してノズルなどから連続的にオゾンを吹き付ける
ような場合には少量のオゾンしか発生できないと有効な
洗浄を行うことができないという問題点がある。そのた
め、連続的に効率良くオゾンを発生させることが必要と
なっている。
造装置などの被洗浄物に吹き付けると、被洗浄物の表面
に付着した細菌を殺菌することができることから、食品
などの種々の被洗浄物の洗浄に利用されている。しかし
ながら、これまでに開発されたオゾン発生装置は、多量
のオゾンを連続的に発生させることが困難であり、多量
に発生させるには非常に高価な装置となる。また、洗浄
物に対してノズルなどから連続的にオゾンを吹き付ける
ような場合には少量のオゾンしか発生できないと有効な
洗浄を行うことができないという問題点がある。そのた
め、連続的に効率良くオゾンを発生させることが必要と
なっている。
【０００４】本発明の目的は、連続的に効率良くオゾン
を発生させることができ、被洗浄物を効率良く洗浄し得
るようにすることにある。
を発生させることができ、被洗浄物を効率良く洗浄し得
るようにすることにある。
【０００５】本発明の他の目的は、オゾンに加えてイオ
ン化したガスを被洗浄物に吹き付て被洗浄物の帯電をも
防止し得るようにすることにある。
ン化したガスを被洗浄物に吹き付て被洗浄物の帯電をも
防止し得るようにすることにある。
【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【０００８】すなわち、本発明の洗浄方法は、空気を加
圧する加圧工程と、加圧された空気の中の水分を除去す
る除湿工程と、加圧された空気の中の水分を除去する除
湿工程の前あるいは後に空気を冷却する冷却工程と、前
記除湿工程および前記冷却工程を経て乾燥されかつ冷却
された空気を放電してオゾンを発生させるオゾン発生工
程と、オゾンを含む空気を被洗浄物に吹き付ける洗浄工
程とを有することを特徴とする。
圧する加圧工程と、加圧された空気の中の水分を除去す
る除湿工程と、加圧された空気の中の水分を除去する除
湿工程の前あるいは後に空気を冷却する冷却工程と、前
記除湿工程および前記冷却工程を経て乾燥されかつ冷却
された空気を放電してオゾンを発生させるオゾン発生工
程と、オゾンを含む空気を被洗浄物に吹き付ける洗浄工
程とを有することを特徴とする。
【０００９】この発明にあっては、加圧した後に除湿と
冷却が行われた空気をオゾン発生工程において放電させ
ることにより、オゾンを発生させるようにしたので、多
量のオゾンを連続的に発生させることができ、被洗浄物
にオゾンを吹き付ける場合にも確実に被洗浄物を洗浄す
ることができる。また、前記除湿工程と前記冷却工程と
を経て乾燥されかつ冷却された空気の一部を抽出してそ
の抽出された空気を放電してオゾンを発生させるように
することによって、オゾンの濃度を調整することができ
る。
冷却が行われた空気をオゾン発生工程において放電させ
ることにより、オゾンを発生させるようにしたので、多
量のオゾンを連続的に発生させることができ、被洗浄物
にオゾンを吹き付ける場合にも確実に被洗浄物を洗浄す
ることができる。また、前記除湿工程と前記冷却工程と
を経て乾燥されかつ冷却された空気の一部を抽出してそ
の抽出された空気を放電してオゾンを発生させるように
することによって、オゾンの濃度を調整することができ
る。
【００１０】本発明の洗浄方法は、空気を加圧する加圧
工程と、加圧された空気の中の水分を除去する除湿工程
と、除湿された空気を中空糸膜を有するガス分離装置に
より酸素ガスと窒素ガスとに分離する分離工程と、前記
酸素ガスを冷却した後に放電してオゾンを発生させるオ
ゾン発生工程と、前記窒素ガスを放電して窒素ガスイオ
ンを発生させるイオン発生工程と、前記オゾンと前記窒
素ガスイオンの少なくとも何れか一方、あるいは混合し
たガスを被洗浄物に吹き付ける洗浄工程とを有すること
を特徴とする。
工程と、加圧された空気の中の水分を除去する除湿工程
と、除湿された空気を中空糸膜を有するガス分離装置に
より酸素ガスと窒素ガスとに分離する分離工程と、前記
酸素ガスを冷却した後に放電してオゾンを発生させるオ
ゾン発生工程と、前記窒素ガスを放電して窒素ガスイオ
ンを発生させるイオン発生工程と、前記オゾンと前記窒
素ガスイオンの少なくとも何れか一方、あるいは混合し
たガスを被洗浄物に吹き付ける洗浄工程とを有すること
を特徴とする。
【００１１】さらに、本発明の洗浄方法は、空気を加圧
する加圧工程と、加圧された空気の中の水分を除去する
除湿工程と、除湿された空気を中空糸膜を有するガス分
離装置により酸素ガスと窒素ガスとに分離する分離工程
と、前記酸素ガスを冷却する冷却工程と、前記窒素ガス
を加熱する加熱工程と、前記冷却工程と前記加熱工程の
何れか一方から供給されるか、あるいは両方から所定の
割合で供給されたガスを放電してオゾンを含むガスと窒
素イオンを含むガスの何れか一方か、あるいは両方を所
定の割合で含む混合ガスを発生させる放電工程と、放電
工程を経たガスを被洗浄物に吹き付ける洗浄工程とを有
することを特徴とする。
する加圧工程と、加圧された空気の中の水分を除去する
除湿工程と、除湿された空気を中空糸膜を有するガス分
離装置により酸素ガスと窒素ガスとに分離する分離工程
と、前記酸素ガスを冷却する冷却工程と、前記窒素ガス
を加熱する加熱工程と、前記冷却工程と前記加熱工程の
何れか一方から供給されるか、あるいは両方から所定の
割合で供給されたガスを放電してオゾンを含むガスと窒
素イオンを含むガスの何れか一方か、あるいは両方を所
定の割合で含む混合ガスを発生させる放電工程と、放電
工程を経たガスを被洗浄物に吹き付ける洗浄工程とを有
することを特徴とする。
【００１２】本発明にあっては、オゾンを連続的に効率
良く発生させることができるとともに、イオン化したガ
スを被洗浄物に吹き付けることができ、被洗浄物をオゾ
ンで洗浄することができるとともに、イオン化したガス
により被洗浄物の帯電を防止することができる。
良く発生させることができるとともに、イオン化したガ
スを被洗浄物に吹き付けることができ、被洗浄物をオゾ
ンで洗浄することができるとともに、イオン化したガス
により被洗浄物の帯電を防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１４】図１は本発明の一実施の形態である洗浄方
法を具体化した洗浄工程を示す図である。図示するよう
に、空気はまずコンプレッサなどからなる加圧装置を有
する加圧工程１１によって、たとえば、１kgf/cm2 以上
の圧力に加圧される。加圧された空気は、その中の水分
を除去するために除湿装置を有する除湿工程１２に搬送
される。この除湿装置としては、たとえば、中空糸膜を
束ねた除湿装置を使用することができ、中空糸をその一
端部から他端部に案内しながら中空糸の側壁から水蒸気
を外部に排出することにより、他端部から排出される空
気を乾燥空気とすることができる。
法を具体化した洗浄工程を示す図である。図示するよう
に、空気はまずコンプレッサなどからなる加圧装置を有
する加圧工程１１によって、たとえば、１kgf/cm2 以上
の圧力に加圧される。加圧された空気は、その中の水分
を除去するために除湿装置を有する除湿工程１２に搬送
される。この除湿装置としては、たとえば、中空糸膜を
束ねた除湿装置を使用することができ、中空糸をその一
端部から他端部に案内しながら中空糸の側壁から水蒸気
を外部に排出することにより、他端部から排出される空
気を乾燥空気とすることができる。
【００１５】除湿工程１２を経て除湿され乾燥された空
気は、冷却装置を有する冷却工程において冷却されるこ
とになる。冷却装置としては、除湿空気を案内する流路
を冷却液の中に蛇行させた熱交換器を使用することがで
きる。さらには、冷媒が案内される配管の外側に空気を
流すことにより冷却するようにしても良く、その場合に
は空気を冷却することによって凝縮水が空気の中から取
り除かれるので、冷却工程と除湿工程とを同時に行うこ
とができる。また、図１に示す場合には、加圧工程１１
において加圧された空気を除湿工程１２において除湿し
た後に冷却工程１３において冷却するようにしている
が、冷却工程１３において冷却した後に除湿工程１２に
おいて除湿するようにしても良い。
気は、冷却装置を有する冷却工程において冷却されるこ
とになる。冷却装置としては、除湿空気を案内する流路
を冷却液の中に蛇行させた熱交換器を使用することがで
きる。さらには、冷媒が案内される配管の外側に空気を
流すことにより冷却するようにしても良く、その場合に
は空気を冷却することによって凝縮水が空気の中から取
り除かれるので、冷却工程と除湿工程とを同時に行うこ
とができる。また、図１に示す場合には、加圧工程１１
において加圧された空気を除湿工程１２において除湿し
た後に冷却工程１３において冷却するようにしている
が、冷却工程１３において冷却した後に除湿工程１２に
おいて除湿するようにしても良い。
【００１６】加圧工程１１において前述した圧力以上の
圧力となった空気は、除湿されかつ冷却された後に、放
電装置を有するオゾン発生工程１４に送られる。オゾン
発生工程１４においては、空気を加圧された状態で放電
するので、より高い濃度で発生させることができる。こ
こで発生されたオゾンを有する空気は、洗浄工程１５に
おいてノズルなどから被洗浄物に対して吹き付けられ
る。これにより、被洗浄物はノズルなどから吹き付けら
れる空気の噴流によって物理的に洗浄されるとともに、
オゾンにより細菌などを殺菌する化学的洗浄とがなされ
ることになる。
圧力となった空気は、除湿されかつ冷却された後に、放
電装置を有するオゾン発生工程１４に送られる。オゾン
発生工程１４においては、空気を加圧された状態で放電
するので、より高い濃度で発生させることができる。こ
こで発生されたオゾンを有する空気は、洗浄工程１５に
おいてノズルなどから被洗浄物に対して吹き付けられ
る。これにより、被洗浄物はノズルなどから吹き付けら
れる空気の噴流によって物理的に洗浄されるとともに、
オゾンにより細菌などを殺菌する化学的洗浄とがなされ
ることになる。
【００１７】図１に示す場合には、冷却工程１３で処理
された空気の一部をオゾン発生工程１４に送ることな
く、二点鎖線で示すようにバイパス路１６によりバイパ
スさせて、洗浄工程１５に直接供給するようにしてい
る。したがって、この場合には、冷却工程１３を経た空
気の一部を抽出して抽出された空気のみをオゾン発生工
程１４に供給した後に洗浄工程１５に供給し、他の空気
をバイパス路１６により直接洗浄工程１５に供給するよ
うにしており、両方の空気が混合された後に洗浄工程に
供給されることになる。これにより、バイパス路１６を
案内される空気とオゾン発生工程１４に案内される空気
との割合を調整することによって、オゾン濃度を調整す
ることができる。この割合を調整するために、バイパス
路１６に流量調整弁１７を設けるようにしても良く、こ
の弁１７に代えるか、あるいはそれとともに、オゾン発
生工程１４に供給される空気の量を同様の流量調整弁１
７によって調整するようにしても良い。
された空気の一部をオゾン発生工程１４に送ることな
く、二点鎖線で示すようにバイパス路１６によりバイパ
スさせて、洗浄工程１５に直接供給するようにしてい
る。したがって、この場合には、冷却工程１３を経た空
気の一部を抽出して抽出された空気のみをオゾン発生工
程１４に供給した後に洗浄工程１５に供給し、他の空気
をバイパス路１６により直接洗浄工程１５に供給するよ
うにしており、両方の空気が混合された後に洗浄工程に
供給されることになる。これにより、バイパス路１６を
案内される空気とオゾン発生工程１４に案内される空気
との割合を調整することによって、オゾン濃度を調整す
ることができる。この割合を調整するために、バイパス
路１６に流量調整弁１７を設けるようにしても良く、こ
の弁１７に代えるか、あるいはそれとともに、オゾン発
生工程１４に供給される空気の量を同様の流量調整弁１
７によって調整するようにしても良い。
【００１８】このように、図示する洗浄方法にあって
は、加圧された状態の空気を放電電極を有するオゾン発
生装置によって放電させてオゾンを発生させるようにし
たので、オゾン発生効率を向上させることができる。
は、加圧された状態の空気を放電電極を有するオゾン発
生装置によって放電させてオゾンを発生させるようにし
たので、オゾン発生効率を向上させることができる。
【００１９】図２は本発明の他の実施の形態である洗浄
方法を示す図であり、前述した加圧工程１１と同様な加
圧工程２１と、除湿工程１２と同様な除湿工程２２とを
有している。この工程２２を経て加圧されかつ除湿され
た空気は、酸素ガスと窒素ガスとに分離するためのガス
分離工程２３に供給される。このガス分離工程２３に
は、中空糸膜を有するガス分離装置によって、酸素ガス
の濃度が高くなった酸素ガス成分と、窒素ガスの濃度が
高くなった窒素ガス成分とに分離される。
方法を示す図であり、前述した加圧工程１１と同様な加
圧工程２１と、除湿工程１２と同様な除湿工程２２とを
有している。この工程２２を経て加圧されかつ除湿され
た空気は、酸素ガスと窒素ガスとに分離するためのガス
分離工程２３に供給される。このガス分離工程２３に
は、中空糸膜を有するガス分離装置によって、酸素ガス
の濃度が高くなった酸素ガス成分と、窒素ガスの濃度が
高くなった窒素ガス成分とに分離される。
【００２０】中空糸膜を有するガス分離装置としては、
多数の中空糸を束ねた状態として、その一端部から空気
を供給することによって、中空糸の側壁からＯ2 を抽出
するようにしたり、中空糸の側壁からＮ2 ガスを抽出す
ることによって酸素ガスと窒素ガスとに分離することが
できる。何れのガスを抽出するかは、中空糸膜の特性に
よって選択することができる。
多数の中空糸を束ねた状態として、その一端部から空気
を供給することによって、中空糸の側壁からＯ2 を抽出
するようにしたり、中空糸の側壁からＮ2 ガスを抽出す
ることによって酸素ガスと窒素ガスとに分離することが
できる。何れのガスを抽出するかは、中空糸膜の特性に
よって選択することができる。
【００２１】ガス分離工程２３により分離されて主とし
て酸素ガスを高い割合で含む酸素ガスは、冷却工程２４
において冷却された後にオゾン発生工程２５において放
電されてオゾンを含むガスとなる。冷却工程２４は前記
冷却工程１３と同様の冷却装置を有しており、オゾン発
生工程２５は前記オゾン発生工程１４と同様の放電装置
を有している。
て酸素ガスを高い割合で含む酸素ガスは、冷却工程２４
において冷却された後にオゾン発生工程２５において放
電されてオゾンを含むガスとなる。冷却工程２４は前記
冷却工程１３と同様の冷却装置を有しており、オゾン発
生工程２５は前記オゾン発生工程１４と同様の放電装置
を有している。
【００２２】一方、ガス分離工程２３において分離され
主として窒素ガスを高い割合で含む窒素ガスは、加熱工
程２６において加熱された後にイオン発生工程２７に供
給される。このイオン発生工程２７には放電装置が設け
られており、帯電電極をプラスに設定するか、マイナス
に設定するかによって、窒素ガスをプラスイオンに帯電
させたり、マイナスイオンに帯電させることができる。
主として窒素ガスを高い割合で含む窒素ガスは、加熱工
程２６において加熱された後にイオン発生工程２７に供
給される。このイオン発生工程２７には放電装置が設け
られており、帯電電極をプラスに設定するか、マイナス
に設定するかによって、窒素ガスをプラスイオンに帯電
させたり、マイナスイオンに帯電させることができる。
【００２３】オゾン発生工程２５によりオゾン生成され
たガスと、イオン発生工程２７によりイオン化された窒
素ガスとが流路により混合されて洗浄工程２８に供給さ
れるようになっている。したがって、図２に示す場合に
は、被洗浄物に対してオゾンガスを吹き付けることによ
る化学的洗浄と物理的洗浄に加えて、被洗浄物が導電性
部材であって、その部材がプラス極性かマイナス極性に
帯電している場合に、それを除電することもできる。被
洗浄物が何れの極性に帯電しているかによって、窒素ガ
スに対してイオンの極性が選択される。このように、イ
オン化されたガスを被洗浄物に吹き付ける場合には、被
洗浄物が半導体装置や液晶基板などの場合に有効とな
る。
たガスと、イオン発生工程２７によりイオン化された窒
素ガスとが流路により混合されて洗浄工程２８に供給さ
れるようになっている。したがって、図２に示す場合に
は、被洗浄物に対してオゾンガスを吹き付けることによ
る化学的洗浄と物理的洗浄に加えて、被洗浄物が導電性
部材であって、その部材がプラス極性かマイナス極性に
帯電している場合に、それを除電することもできる。被
洗浄物が何れの極性に帯電しているかによって、窒素ガ
スに対してイオンの極性が選択される。このように、イ
オン化されたガスを被洗浄物に吹き付ける場合には、被
洗浄物が半導体装置や液晶基板などの場合に有効とな
る。
【００２４】オゾン発生工程２５と洗浄工程２８とを結
ぶ流路に流量調整弁２９ａを設け、イオン発生工程２７
と洗浄工程２８とを結ぶ流路に流量調整弁２９ｂを設け
ることにより、それぞれの流路から洗浄工程２８に供給
されるガスの割合を調整することができ、さらには一方
の流路からのみのガスを洗浄工程２８に供給することが
できる。
ぶ流路に流量調整弁２９ａを設け、イオン発生工程２７
と洗浄工程２８とを結ぶ流路に流量調整弁２９ｂを設け
ることにより、それぞれの流路から洗浄工程２８に供給
されるガスの割合を調整することができ、さらには一方
の流路からのみのガスを洗浄工程２８に供給することが
できる。
【００２５】図３は本発明のさらに他の実施の形態であ
る洗浄方法を示す図であり、この場合には図２に示す加
圧工程２１と同様の加圧工程３１と、除湿工程２２と同
様の除湿工程３２と、ガス分離工程２３と同様のガス分
離工程３３とを有しており、さらに、冷却工程２４と同
様の冷却工程３４と、加熱工程２６と同様の加熱工程３
６とを有している。
る洗浄方法を示す図であり、この場合には図２に示す加
圧工程２１と同様の加圧工程３１と、除湿工程２２と同
様の除湿工程３２と、ガス分離工程２３と同様のガス分
離工程３３とを有しており、さらに、冷却工程２４と同
様の冷却工程３４と、加熱工程２６と同様の加熱工程３
６とを有している。
【００２６】この場合には、冷却工程３４と加熱工程３
６を経たガスは、それぞれ放電工程３５に送られて、そ
の工程３５に設けられた放電電極によりガスの中に含ま
れる酸素ガスをオゾン化するか、窒素ガスをイオン化す
るかの何れかが行われる。
６を経たガスは、それぞれ放電工程３５に送られて、そ
の工程３５に設けられた放電電極によりガスの中に含ま
れる酸素ガスをオゾン化するか、窒素ガスをイオン化す
るかの何れかが行われる。
【００２７】オゾン化する場合には、加熱工程３６を休
止状態として、冷却された状態のもとでガス中の酸素ガ
スにオゾンを発生させる。ただし、加熱工程３６を作動
状態としてオゾンの発生量を調整するようにしても良
い。また、イオン化させる場合には、冷却工程３４を休
止状態として、全体的に加熱された状態のガスのうち窒
素ガスを放電電極によりプラスあるいはマイナスに帯電
させてイオン化させる。ただし、冷却工程３４を作動状
態としてイオン化される窒素ガスの量を調整するように
しても良い。
止状態として、冷却された状態のもとでガス中の酸素ガ
スにオゾンを発生させる。ただし、加熱工程３６を作動
状態としてオゾンの発生量を調整するようにしても良
い。また、イオン化させる場合には、冷却工程３４を休
止状態として、全体的に加熱された状態のガスのうち窒
素ガスを放電電極によりプラスあるいはマイナスに帯電
させてイオン化させる。ただし、冷却工程３４を作動状
態としてイオン化される窒素ガスの量を調整するように
しても良い。
【００２８】このように、放電現象によって酸素ガスを
オゾン化するか、あるいは窒素ガスをイオン化するかを
選択することによって、被洗浄物に対して洗浄工程３８
でオゾンによって洗浄するか、あいるはイオンによって
帯電を防止するかを選択することができる。
オゾン化するか、あるいは窒素ガスをイオン化するかを
選択することによって、被洗浄物に対して洗浄工程３８
でオゾンによって洗浄するか、あいるはイオンによって
帯電を防止するかを選択することができる。
【００２９】図３に示す場合であっても、放電工程３５
に代えて、図２に示すようなオゾン発生工程２５とイオ
ン発生工程２７とを直列的に接続するようにして、連続
的にオゾンを発生させるとともに、イオン化させるよう
にしても良い。
に代えて、図２に示すようなオゾン発生工程２５とイオ
ン発生工程２７とを直列的に接続するようにして、連続
的にオゾンを発生させるとともに、イオン化させるよう
にしても良い。
【００３０】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３１】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００３２】(1).加圧された状態で空気中の酸素ガスを
オゾンを含むガスにすることができるので、効率的に多
量のオゾンを生成することができる。
オゾンを含むガスにすることができるので、効率的に多
量のオゾンを生成することができる。
【００３３】(2).オゾンを含むガスを被洗浄物に吹き付
けることによって、化学的洗浄と物理的洗浄とを同時に
行うことができる。
けることによって、化学的洗浄と物理的洗浄とを同時に
行うことができる。
【００３４】(3).被洗浄物に対してオゾンと併用あるい
はオゾンに代えてイオン化したガスを吹き付けることが
でき、被洗浄物の帯電を除去することができる。
はオゾンに代えてイオン化したガスを吹き付けることが
でき、被洗浄物の帯電を除去することができる。
【図１】本発明の一実施の形態である洗浄方法を示す概
略図である。
略図である。
【図２】本発明の他の実施の形態である洗浄方法を示す
概略図である。
概略図である。
【図３】本発明のさらに他の実施の形態である洗浄方法
を示す概略図である。
を示す概略図である。
１１，２１，３１ 加圧工程 １２，２２，３２ 除湿工程 １３，２４，３４ 冷却工程 １４，２５ オゾン発生工程 １５，２８，３８ 洗浄工程 １６ バイパス路 ２３，３３ ガス分離工程 ２６，３６ 加熱工程 ３５ 放電工程
Claims (4)
- 【請求項１】 空気を加圧する加圧工程と、加圧された
空気の中の水分を除去する除湿工程と、加圧された空気
の中の水分を除去する除湿工程の前あるいは後に空気を
冷却する冷却工程と、前記除湿工程および前記冷却工程
を経て乾燥されかつ冷却された空気を放電してオゾンを
発生させるオゾン発生工程と、オゾンを含む空気を被洗
浄物に吹き付ける洗浄工程とを有することを特徴とする
洗浄方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の洗浄方法において、前記
除湿工程と前記冷却工程とを経て乾燥されかつ冷却され
た空気の一部を抽出してその抽出された空気を放電して
オゾンを発生させ、抽出されずにバイパスした空気と前
記オゾンを含む空気とを混合して前記洗浄工程において
前記被洗浄物に吹き付けるようにしたことを特徴とする
洗浄方法。 - 【請求項３】 空気を加圧する加圧工程と、加圧された
空気の中の水分を除去する除湿工程と、除湿された空気
を中空糸膜を有するガス分離装置により酸素ガスと窒素
ガスとに分離する分離工程と、前記酸素ガスを冷却した
後に放電してオゾンを発生させるオゾン発生工程と、前
記窒素ガスを放電して窒素ガスイオンを発生させるイオ
ン発生工程と、前記オゾンと前記窒素ガスイオンの少な
くとも何れか一方、あるいは混合したガスを被洗浄物に
吹き付ける洗浄工程とを有することを特徴とする洗浄方
法。 - 【請求項４】 空気を加圧する加圧工程と、加圧された
空気の中の水分を除去する除湿工程と、除湿された空気
を中空糸膜を有するガス分離装置により酸素ガスと窒素
ガスとに分離する分離工程と、前記酸素ガスを冷却する
冷却工程と、前記窒素ガスを加熱する加熱工程と、前記
冷却工程と前記加熱工程の何れか一方から供給される
か、あるいは両方から所定の割合で供給されたガスを放
電してオゾンを含むガスと窒素イオンを含むガスの何れ
か一方か、あるいは両方を所定の割合で含む混合ガスを
発生させる放電工程と、放電工程を経たガスを被洗浄物
に吹き付ける洗浄工程とを有することを特徴とする洗浄
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9309136A JPH11137652A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9309136A JPH11137652A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11137652A true JPH11137652A (ja) | 1999-05-25 |
Family
ID=17989342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9309136A Pending JPH11137652A (ja) | 1997-11-12 | 1997-11-12 | 洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11137652A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100779042B1 (ko) * | 2000-08-24 | 2007-11-27 | 유니챰 가부시키가이샤 | 팬츠형의 일회용 기저귀 |
-
1997
- 1997-11-12 JP JP9309136A patent/JPH11137652A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100779042B1 (ko) * | 2000-08-24 | 2007-11-27 | 유니챰 가부시키가이샤 | 팬츠형의 일회용 기저귀 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040303 |
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|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050224 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061107 |
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| A02 | Decision of refusal |
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