JPH11135993A - Parts mounting device - Google Patents

Parts mounting device

Info

Publication number
JPH11135993A
JPH11135993A JP9316533A JP31653397A JPH11135993A JP H11135993 A JPH11135993 A JP H11135993A JP 9316533 A JP9316533 A JP 9316533A JP 31653397 A JP31653397 A JP 31653397A JP H11135993 A JPH11135993 A JP H11135993A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
work
component
workpiece
component mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9316533A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3781232B2 (en
Inventor
Hiroyoshi Inoue
裕喜 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Victor Company of Japan Ltd filed Critical Victor Company of Japan Ltd
Priority to JP31653397A priority Critical patent/JP3781232B2/en
Publication of JPH11135993A publication Critical patent/JPH11135993A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3781232B2 publication Critical patent/JP3781232B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve attaching accuracy of the upper surface of a first work when the surface is further attached to the reference plane of a second work after parts are mounted on the first work. SOLUTION: A reference plate 45a having a reference plane 45 at the position corresponding to the reference plane of the main body of an optical pickup is provided above a mounting stage, and a work pushing-up mechanism 50 which presses a resin package 14 against the reference plate 45a by pushing up the package 14 is provided below the mounting stage. The mechanism 50 has an upper block 51 and a lower block 52, and a contact probe 53 the upper end of which can be brought into contact with a lead frame 13 when the package 14 is pushed up is provided in the upper block 51. The contact probe 53 is constituted so that the probe 53 may be bent when the package 14 is pushed up and the probe 53 comes into contact with the lead frame 13.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リードレスのチッ
プ部品を基板などのワーク上の所定位置に搭載するため
の部品搭載装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component mounting apparatus for mounting a leadless chip component at a predetermined position on a workpiece such as a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】図27、図28は従来の部品搭載装置を
示し、供給ステーション1と搭載ステーション3が水平
方向に配置されている。供給ステーション1は部品があ
らかじめセットされるxyステージを有し、搭載ステー
ション3は部品が所定位置に搭載される基板などのワー
クがあらかじめセットされるxyステージを有する。ス
テーション1、3の上方にはステーション1、3間を水
平方向に、かつ上下方向に移動可能なヘッド6が配置さ
れ、ヘッド6の先端には図28に示すように供給ステー
ション1における部品を吸着して搭載ステーション3ま
で搬送するための吸着コレット4が取り付けられてい
る。吸着コレット4はθ方向に回転可能である。供給ス
テーション1の上方にはTVカメラ5−1が固定され、
また、搭載ステーション3の上方であってヘッド6の下
方には、ヘッド6を撮像するTVカメラ5−2と搭載ス
テーション3上を撮像するTVカメラ5−3が一体で水
平方向に移動可能に配置されている。
2. Description of the Related Art FIGS. 27 and 28 show a conventional component mounting apparatus, in which a supply station 1 and a mounting station 3 are arranged horizontally. The supply station 1 has an xy stage on which components are set in advance, and the mounting station 3 has an xy stage on which a workpiece such as a substrate on which components are mounted at predetermined positions is set in advance. A head 6 movable horizontally between the stations 1 and 3 and up and down is disposed above the stations 1 and 3, and a tip of the head 6 sucks a component in the supply station 1 as shown in FIG. Then, a suction collet 4 for transporting to the mounting station 3 is attached. The suction collet 4 is rotatable in the θ direction. A TV camera 5-1 is fixed above the supply station 1,
Above the mounting station 3 and below the head 6, a TV camera 5-2 for imaging the head 6 and a TV camera 5-3 for imaging the mounting station 3 are integrally movably arranged in the horizontal direction. Have been.

【0003】このような構成において、部品を供給ステ
ーション1から搭載ステーション3に搬送するとともに
搭載ステーション3側のワークとの位置合わせを行う場
合には、まず、TVカメラ5−1により撮像された供給
ステーション1における映像に基づいて、供給部品がヘ
ッド6の吸着位置に来るように供給ステーション1のス
テージをxy方向に移動させ、次いでヘッド6がこの状
態で下降して供給部品を吸着し、次いで吸着状態で上方
向に移動し、次いで水平方向に移動して搭載ステーショ
ン3の上方位置に待機する。
In such a configuration, when a component is transported from the supply station 1 to the mounting station 3 and the position of the component is aligned with the work on the mounting station 3 side, first, the supply image picked up by the TV camera 5-1 is supplied. Based on the image in the station 1, the stage of the supply station 1 is moved in the xy directions so that the supply component comes to the suction position of the head 6, and then the head 6 descends in this state to suction the supply component, and then suction. In this state, it moves upward, then moves horizontally and waits at a position above the mounting station 3.

【0004】ヘッド6が搭載ステーション3の上方に移
動した状態では、TVカメラ5−2、5−3がヘッド6
と搭載ステーション3の間に移動又は待機しており、こ
の状態では吸着コレット4により支持されている部品と
搭載ステーション3上のワークとの位置合わせを行うた
めに、TVカメラ5−2、5−3により撮像された映像
に基づいて吸着コレット4をθ方向に回転させる。次い
でTVカメラ5−2、5−3をヘッド6と搭載ステーシ
ョン3の間から退避させた後、ヘッド6を下降させるこ
とにより部品をワーク上の所定位置に搭載する。
When the head 6 has been moved above the mounting station 3, the TV cameras 5-2 and 5-3
In this state, the TV cameras 5-2 and 5-5 are moved in order to align the parts supported by the suction collet 4 with the work on the mounting station 3. The suction collet 4 is rotated in the θ direction on the basis of the image captured by 3. Next, after retreating the TV cameras 5-2 and 5-3 from between the head 6 and the mounting station 3, the head 6 is lowered to mount the component at a predetermined position on the work.

【0005】図5は本発明に係る部品搭載装置が搭載す
る部品の一例として、光ピックアップ本体18に取り付
けられる発光/受光アセンブリを示している。この発光
/受光アセンブリはリードフレーム13が封止されてい
る樹脂パッケージ14と、リードフレーム13上に搭載
されるフォトダイオードチップ12と、フォトダイオー
ドチップ12上に搭載されるサブマウント部材11及び
マイクロミラー15と、サブマウント部材11上に搭載
される半導体レーザチップ17と、樹脂パッケージ14
上に搭載されるホログラム素子16により構成されてい
る。
FIG. 5 shows a light emitting / receiving assembly mounted on the optical pickup body 18 as an example of components mounted on the component mounting apparatus according to the present invention. The light emitting / receiving assembly includes a resin package 14 in which a lead frame 13 is sealed, a photodiode chip 12 mounted on the lead frame 13, a submount member 11 mounted on the photodiode chip 12, and a micro mirror. 15, a semiconductor laser chip 17 mounted on the submount member 11, and a resin package 14.
It is composed of a hologram element 16 mounted thereon.

【0006】そして、このように部品搭載が終了したア
センブリは更に、図29に示すように光ピックアップ本
体18に対してその下方の基準面18aに取り付けら
れ、また、光ピックアップ本体18は光ディスクドライ
ブ装置に取り付けられる。光ディスクドライブ装置の完
成状態では、半導体レーザチップ17により出射された
レーザ光がマイクロミラー15の45°の反射面により
反射され、その反射光がホログラム素子16を介して本
体18側の対物レンズ19により集光されてディスクD
の面に照射され、その反射光がホログラム素子16を介
してフォトダイオードチップ12の受光面により受光さ
れる。
[0006] Then, the assembly on which the component mounting is completed is further mounted on a reference surface 18a below the optical pickup main body 18 as shown in FIG. 29, and the optical pickup main body 18 is mounted on an optical disk drive. Attached to. In the completed state of the optical disk drive, the laser light emitted by the semiconductor laser chip 17 is reflected by the 45 ° reflecting surface of the micromirror 15 and the reflected light is transmitted by the objective lens 19 on the main body 18 side via the hologram element 16. Focused disk D
And the reflected light is received by the light receiving surface of the photodiode chip 12 via the hologram element 16.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の部品搭載装置では、最後の搭載部品であるホログラ
ム素子16を搭載する場合に、単に樹脂パッケージ14
上に搭載するのみであるので、樹脂パッケージ14が傾
いた状態でホログラム素子16を搭載すると、光ピック
アップ本体18の基準面18aに対して光軸が傾いた状
態で取り付けられるという問題点がある。
However, in the above-described conventional component mounting apparatus, when the hologram element 16 as the last mounted component is mounted, the hologram element 16 is simply mounted on the resin package 14.
Since the hologram element 16 is mounted with the resin package 14 tilted, there is a problem that the hologram element 16 is mounted with the optical axis tilted with respect to the reference surface 18 a of the optical pickup body 18.

【0008】また、上記従来の部品搭載装置では、ヘッ
ド6が搭載ステーション3の上方位置で一旦停止し、ま
た、カメラ5−2、5−3をヘッド6と搭載ステーショ
ン3の位置まで移動させ、撮像を行って位置合わせを行
い、次いでカメラ5−2、5−3を退避させて搭載を行
うので、部品搭載時間が長くなるという問題点がある。
また、カメラ5−2、5−3が固定されておらず、ヘッ
ド6と搭載ステーション3の間に割り込むのでヘッド6
の上下ストロークが長くなり、したがって、位置合わせ
精度が悪化するという問題点がある。
In the above-mentioned conventional component mounting apparatus, the head 6 temporarily stops at a position above the mounting station 3, and the cameras 5-2 and 5-3 are moved to the positions of the head 6 and the mounting station 3. Since the positioning is performed by taking an image, and then the cameras 5-2 and 5-3 are retracted and mounted, there is a problem that the component mounting time becomes long.
Further, since the cameras 5-2 and 5-3 are not fixed and are interrupted between the head 6 and the mounting station 3, the head 6
However, there is a problem that the vertical stroke becomes longer, so that the positioning accuracy is deteriorated.

【0009】本発明は上記従来の問題点に鑑み、部品搭
載が完了した第1のワークの上面が更に第2のワークの
基準面に取り付けられる場合にその取り付け精度を向上
させることができる部品搭載装置を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned conventional problems, the present invention can improve the mounting accuracy when the upper surface of the first work on which the mounting of components is completed is further mounted on the reference surface of the second work. It is intended to provide a device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ステージの上方において第2のワークの基
準面に対応する位置に基準プレートを設けるとともに、
部品を第1のワーク上に搭載する時にステージの下方か
ら第1のワークを突き上げるようにしたものである。す
なわち本発明によれば、部品搭載が完了した第1のワー
クの上面が更に第2のワークの基準面に取り付けられる
場合に、ステージの上方において前記第2のワークの基
準面に対応する位置に設けられる基準プレートと、部品
を第1のワーク上に搭載する時に、前記ステージの下方
から前記第1のワークを突き上げて前記基準プレートに
押圧するワーク突き上げ手段とを、有する部品搭載装置
が提供される。また本発明によれば、供給される部品が
載置される第1のステージと、x、y、θ方向に移動可
能な第2のステージと、部品が搭載されるワークが載置
される第3のステージと、部品を前記第1のステージか
ら前記第2のステージに搬送して前記第2のステージ上
に載置し、前記第2のステージから前記第3のステージ
に搬送して第1のワーク上に載置する部品搬送手段と、
前記部品が前記第2のステージ上に載置されている時に
前記第2のステージ上の部品位置と前記第3のステージ
上の第1のワーク上の載置位置が位置合わせされるよう
に前記第2のステージをx、y、θ方向に移動させる位
置合わせ手段と、部品搭載が完了した第1のワークの上
面が更に第2のワークの基準面に取り付けられる場合
に、ステージの上方において前記第2のワークの基準面
に対応する位置に設けられる基準プレートと、部品を第
1のワーク上に搭載する時に、前記ステージの下方から
前記第1のワークを突き上げて前記基準プレートに押圧
するワーク突き上げ手段とを、有する部品搭載装置が提
供される。
According to the present invention, in order to achieve the above object, a reference plate is provided above a stage at a position corresponding to a reference surface of a second work.
When the components are mounted on the first work, the first work is pushed up from below the stage. That is, according to the present invention, when the upper surface of the first work on which the component mounting is completed is further attached to the reference surface of the second work, the upper surface of the first work is located above the stage at a position corresponding to the reference surface of the second work. A component mounting apparatus is provided, comprising: a reference plate provided; and a workpiece push-up unit that pushes up the first work from below the stage and presses the reference work against the reference plate when mounting a component on the first work. You. Further, according to the present invention, a first stage on which a component to be supplied is mounted, a second stage movable in x, y, and θ directions, and a second stage on which a workpiece on which the component is mounted is mounted. Stage 3 and the components are transported from the first stage to the second stage and placed on the second stage, and the components are transported from the second stage to the third stage and Component conveying means to be placed on the workpiece,
The position of the component on the second stage and the position of the component on the first work on the third stage are aligned when the component is mounted on the second stage. Positioning means for moving the second stage in the x, y, and θ directions; and when the upper surface of the first work on which the component mounting is completed is further attached to the reference surface of the second work, A reference plate provided at a position corresponding to the reference surface of the second work, and a work for pushing up the first work from below the stage and pressing the first work against the reference plate when a component is mounted on the first work. A component mounting apparatus having push-up means is provided.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図1は本発明に係る部品搭載装置
の一実施形態の要部を示す外観図、図2は図1の部品搭
載装置を示す平面図、図3は図1の部品搭載装置を示す
正面図、図4は図1〜図3の補正ステージによる位置合
わせを動作を示す説明図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is an external view showing a main part of an embodiment of the component mounting apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a plan view showing the component mounting apparatus of FIG. 1, FIG. 3 is a front view showing the component mounting apparatus of FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the operation of positioning by the correction stage shown in FIGS.

【0012】図1〜図3に示すように、供給ステーショ
ン1と、補正ステーション2と搭載ステーション3が左
から右に向かって水平方向に、またこの順番で等間隔で
配置されている。供給ステーション1と搭載ステーショ
ン3はそれぞれxy方向に移動可能な供給ステージ1a
と搭載ステージ3aを有し、補正ステーション2はx、
y、θ方向に移動可能な補正ステージ2aを有する。こ
れらのステーション1、2、3の上方にはそれぞれTV
カメラ5−1、5−2、5−3が固定され、TVカメラ
5−1〜5−3はそれぞれステージ1a〜3a上の部品
を撮像する。
As shown in FIGS. 1 to 3, a supply station 1, a correction station 2, and a mounting station 3 are arranged horizontally from left to right, and at regular intervals in this order. The supply station 1 and the mounting station 3 each include a supply stage 1a movable in the xy directions.
And the correction stage 2 have x,
It has a correction stage 2a movable in the y and θ directions. TVs are located above these stations 1, 2, and 3, respectively.
The cameras 5-1, 5-2, and 5-3 are fixed, and the TV cameras 5-1 to 5-3 image components on the stages 1a to 3a, respectively.

【0013】ステーション1〜3の上方にはまた、支持
部材20が水平方向に延びるように固定され、支持部材
20にはヘッドベース21が水平方向に移動可能に取り
付けられている。ヘッドベース21には2つの吸着コレ
ット4a、4bが上下方向に移動可能に取り付けられ、
この吸着コレット4a、4bの距離は供給ステーション
1及び補正ステーション2の間の距離と補正ステーショ
ン2及び搭載ステーション3の距離に対応している。
A support member 20 is fixed above the stations 1 to 3 so as to extend in the horizontal direction. A head base 21 is attached to the support member 20 so as to be movable in the horizontal direction. Two suction collets 4a and 4b are attached to the head base 21 so as to be vertically movable,
The distance between the suction collets 4a and 4b corresponds to the distance between the supply station 1 and the correction station 2 and the distance between the correction station 2 and the mounting station 3.

【0014】このような構成において、吸着コレット4
aが供給ステーション1と補正ステーション2の間を往
復するとともに吸着コレット4bが補正ステーション2
と搭載ステーション3の間を往復することにより、部品
が供給ステーション1から補正ステーション2に搬送さ
れるとともに補正ステーション2から搭載ステーション
3に搬送される。
In such a configuration, the suction collet 4
a reciprocates between the supply station 1 and the correction station 2, and the suction collet 4b
The parts are conveyed from the supply station 1 to the correction station 2 and from the correction station 2 to the mounting station 3 by reciprocating between the and the mounting station 3.

【0015】このとき、まず、吸着コレット4a、4b
は図1、図2に示すようにTVカメラ5−1〜5−3の
撮像を妨げないように、それぞれ供給ステーション1及
び補正ステーション2の間と補正ステーション2と搭載
ステーション3の間であって上方位置に待機している。
そして、吸着コレット4aの動作について説明すると、
まず、供給ステージ1a上の部品がTVカメラ5−1に
より撮像されてその撮像信号に基づいて供給ステージ1
aがxy方向に移動することにより供給部品が吸着位置
に位置決めされる。次いで吸着コレット4aが供給ステ
ーション1の位置に水平方向に移動した後下降して供給
ステージ1a上の供給部品を吸着し、次いで上昇してそ
れぞれ補正ステーション2の位置に水平方向に移動した
後、図3に示すように下降し、補正ステージ2a上に搭
載する。
At this time, first, the suction collets 4a, 4b
Are located between the supply station 1 and the correction station 2 and between the correction station 2 and the mounting station 3, respectively, so as not to hinder the imaging of the TV cameras 5-1 to 5-3 as shown in FIGS. Waiting in the upper position.
Then, the operation of the suction collet 4a will be described.
First, the components on the supply stage 1a are imaged by the TV camera 5-1 and the supply stage 1
The supply component is positioned at the suction position by moving a in the xy directions. Next, after the suction collet 4a moves to the position of the supply station 1 in the horizontal direction and then descends to suck the supply components on the supply stage 1a, and then moves upward to move to the position of the correction station 2 in the horizontal direction, respectively, As shown in FIG. 3, it is lowered and mounted on the correction stage 2a.

【0016】また、上記のTVカメラ5−1及び吸着コ
レット4aの動作と並行して、補正ステージ2a上の部
品と搭載ステージ3a上の搭載位置がそれぞれTVカメ
ラ5−2、5−3により撮像され、その撮像信号に基づ
いてまず、搭載ステージ3aがxy方向に移動すること
によりワークが位置決めされた後、補正ステージ2aが
移動することにより部品のx、y、θ方向がワーク上の
搭載位置に対して位置合わせされる。次いで吸着コレッ
ト4bが補正ステーション2の位置に水平方向に移動し
た後下降して補正ステージ2a上の部品を吸着し、次い
で上昇して搭載ステーション3の位置に水平方向に移動
した後、図3に示すように下降し、搭載ステージ3a上
のワークの所定位置に搭載する。
In parallel with the operations of the TV camera 5-1 and the suction collet 4a, the components on the correction stage 2a and the mounting positions on the mounting stage 3a are imaged by the TV cameras 5-2 and 5-3, respectively. First, based on the image signal, the work is positioned by moving the mounting stage 3a in the xy directions, and then the x, y, and θ directions of the component are set in the mounting position on the work by moving the correction stage 2a. Is aligned with Next, after the suction collet 4b moves to the position of the correction station 2 in the horizontal direction, it descends to suck the components on the correction stage 2a, and then moves upward to move to the position of the mounting station 3 in the horizontal direction. As shown, it is lowered and mounted on a predetermined position of the work on the mounting stage 3a.

【0017】図4(a)はTVカメラ5−2、5−3に
より撮像された位置合わせ前の映像を示し、補正ステー
ジ2a上の部品の位置と搭載ステージ3a上のワーク上
に搭載すべき位置が異なっている。そこで、補正ステー
ジ2a上の部品の特徴を抽出し、その特徴が搭載ステー
ジ3a上のワーク上に搭載すべき位置と一致するよう
に、図4(b)に示すように補正ステージ2aにより部
品のx、y、θ方向を位置決めする。
FIG. 4 (a) shows an image before the positioning taken by the TV cameras 5-2 and 5-3, and the position of the component on the correction stage 2a and the mounting on the work on the mounting stage 3a. The position is different. Therefore, the characteristics of the component on the correction stage 2a are extracted, and the components are extracted by the correction stage 2a as shown in FIG. 4B so that the characteristic matches the position to be mounted on the work on the mounting stage 3a. Position in the x, y, and θ directions.

【0018】したがって、このような構成によれば、部
品が補正ステージ2aを経由するものの、TVカメラ5
−2、5−3が移動しないので、従来例と比べて大幅に
部品搭載時間を短縮することができ、また、位置合わせ
精度を向上させることができる。また、上記構成によれ
ば、吸着コレット4a、4bが同時に移動してそれぞれ
供給ステーション1から補正ステーション2への部品移
動と補正ステーション2から搭載ステーション3への部
品移動を同時に行うので、部品搭載時間を短縮すること
ができる。なお、部品搭載時間はある程度長くなるが、
吸着コレット4a、4bは1つでもよい。
Therefore, according to such a configuration, although the component goes through the correction stage 2a, the TV camera 5
Since -2 and 5-3 do not move, the component mounting time can be greatly reduced as compared with the conventional example, and the alignment accuracy can be improved. In addition, according to the above configuration, the suction collets 4a and 4b move simultaneously to simultaneously move the components from the supply station 1 to the correction station 2 and the components from the correction station 2 to the mounting station 3, respectively. Can be shortened. Although the component mounting time will be somewhat longer,
The number of the suction collets 4a and 4b may be one.

【0019】上記構成によれば、種々の特徴を有する部
品をワーク上に搭載することができる。図5は本発明に
係る部品搭載装置が搭載する部品の一例として、光ピッ
クアップ本体に取り付けられる発光/受光アセンブリを
示している。この発光/受光アセンブリはリードフレー
ム13が封止されている樹脂パッケージ14と、リード
フレーム13上に搭載されるフォトダイオードチップ1
2と、フォトダイオードチップ12上に搭載されるサブ
マウント部材11及びマイクロミラー15と、サブマウ
ント部材11上に搭載される半導体レーザチップ17
と、樹脂パッケージ14上に搭載されるホログラム素子
16により構成されている。そして、図29に示すよう
にこのようなアセンブリを光ピックアップ本体18に取
り付けた状態では、半導体レーザチップ17により出射
されたレーザ光がマイクロミラー15の45°の反射面
により反射され、その反射光がホログラム素子16を介
して対物レンズ19により集光されてディスクDの面に
照射され、その反射光がホログラム素子16を介してフ
ォトダイオードチップ12の受光面により受光される。
According to the above configuration, parts having various characteristics can be mounted on the work. FIG. 5 shows a light-emitting / light-receiving assembly mounted on an optical pickup main body as an example of components mounted on the component mounting apparatus according to the present invention. The light emitting / receiving assembly includes a resin package 14 in which a lead frame 13 is sealed, and a photodiode chip 1 mounted on the lead frame 13.
2, a submount member 11 and a micromirror 15 mounted on the photodiode chip 12, and a semiconductor laser chip 17 mounted on the submount member 11.
And a hologram element 16 mounted on the resin package 14. When such an assembly is mounted on the optical pickup main body 18 as shown in FIG. 29, the laser light emitted from the semiconductor laser chip 17 is reflected by the 45 ° reflecting surface of the micro mirror 15, and the reflected light Is condensed by the objective lens 19 via the hologram element 16 and is irradiated on the surface of the disk D, and the reflected light is received by the light receiving surface of the photodiode chip 12 via the hologram element 16.

【0020】このような発光/受光アセンブリを組み立
てる場合には、まず、第1の部品搭載装置によりサブマ
ウント部材(以下、SMとも言う。)11をフォトダイ
オードチップ(以下、PDとも言う。)12に切断前の
フォトダイオードウェハー上に搭載し、次いで第2の部
品搭載装置により半導体レーザチップ(以下、LDとも
言う。)17をサブマウント部材11上に搭載し、次い
で第3の部品搭載装置によりマイクロミラー(以下、M
Mとも言う。)15をPDチップ12上に搭載する。次
いでフォトダイオードウェハーをPDチップ12毎にダ
イシングし、次いで第4の部品搭載装置によりこのPD
チップ12を樹脂パッケージ14上に搭載し、次いで第
5の部品搭載装置によりホログラム素子16を樹脂パッ
ケージ14上に搭載する。
When assembling such a light emitting / receiving assembly, first, a submount member (hereinafter, also referred to as SM) 11 is mounted on a photodiode chip (hereinafter, also referred to as PD) 12 by a first component mounting apparatus. The semiconductor laser chip (hereinafter, also referred to as LD) 17 is mounted on the sub-mount member 11 by the second component mounting device, and then mounted by the third component mounting device. Micro mirror (hereinafter M
Also called M. ) 15 is mounted on the PD chip 12. Next, the photodiode wafer is diced for each PD chip 12, and the PD component is then diced by a fourth component mounting apparatus.
The chip 12 is mounted on the resin package 14, and then the hologram element 16 is mounted on the resin package 14 by a fifth component mounting device.

【0021】上記の第1〜第5の部品搭載装置の基本的
な構成は図1〜図3と同一であるが、後述するように搭
載部品に応じて構成がやや異なる。図6は第1の部品搭
載装置を示し、図7に詳しく示すように供給ステージ1
a上にあらかじめ多数のSMチップ11が粘着テープに
より支持されたSMシート31がセットされるととも
に、搭載ステージ3a上にはPDウェハー32がセット
される。なお、PDウェハー32は図7(b)に示すよ
うにPDパレット33により支持され、PDパレット3
3は搭載ステージ3a側の位置決めピン34に対して位
置決めされる。そして、図8に示すようにPDウェハー
32を構成する各PDチップ12上の接着剤があらかじ
め塗布されている搭載位置に各SMチップ11が搭載さ
れる。
The basic structure of the above-described first to fifth component mounting apparatuses is the same as that of FIGS. 1 to 3, but the configuration is slightly different depending on the mounted components as described later. FIG. 6 shows a first component mounting apparatus, and as shown in detail in FIG.
An SM sheet 31 in which a number of SM chips 11 are supported by an adhesive tape in advance is set on a, and a PD wafer 32 is set on the mounting stage 3a. The PD wafer 32 is supported by a PD pallet 33 as shown in FIG.
3 is positioned with respect to the positioning pins 34 on the mounting stage 3a side. Then, as shown in FIG. 8, each SM chip 11 is mounted at a mounting position on the PD chip 12 constituting the PD wafer 32 where an adhesive is applied in advance.

【0022】ここで、図9に示すように多数のSMチッ
プ11(チップ部品)が粘着テープ31aにより支持さ
れたSMシート31から1つのSMチップ11を吸着コ
レット4aにより吸着する場合には、粘着テープ31a
の裏面からピン36を突き当ててSMチップ11を粘着
テープ31aから盛り上げさせて吸着させる方法が知ら
れている。このような方法では、このピン36の先端を
TVカメラ5−1により撮像してピン36の位置と吸着
コレット4aの吸着位置をあらかじめ調整する必要があ
るが、このピン36の先端を単に照明してTVカメラ5
−1により撮像しても画像を得られない。そこで、粘着
テープ31aにより支持されている部品を扱う第1の部
品搭載装置では、図9に示すように供給ステージ1a上
をリング照明(図示37)することによりピン36の先
端を撮像することができる。なお、TVカメラ5−1は
斜めから撮像するようにしてもよい。
Here, as shown in FIG. 9, when a large number of SM chips 11 (chip components) adsorb one SM chip 11 from the SM sheet 31 supported by the adhesive tape 31a by the suction collet 4a, the adhesive is used. Tape 31a
A method is known in which the SM chip 11 is raised from the adhesive tape 31a by abutting a pin 36 from the back surface of the SM chip 11 and sucked. In such a method, it is necessary to take an image of the tip of the pin 36 with the TV camera 5-1 and adjust the position of the pin 36 and the suction position of the suction collet 4a in advance. TV camera 5
No image can be obtained even if the image is taken with -1. Therefore, in the first component mounting apparatus that handles components supported by the adhesive tape 31a, the tip of the pin 36 can be imaged by ring illumination (shown in FIG. 37) on the supply stage 1a as shown in FIG. it can. Note that the TV camera 5-1 may capture an image obliquely.

【0023】図10は第2の部品搭載装置を示し、図1
1(a)に示すように供給ステージ1a上にはあらかじ
め多数のLDチップ17が粘着テープにより支持された
LDシート37がセットされる。また、搭載ステージ3
a上には図11(b)に示すように、第1の部品搭載装
置と同様にPDパレット33により支持されたPDウェ
ハー32がセットされる。そして、図12に示すように
PDウェハー32上に搭載されているSMチップ11上
の接着剤があらかじめ塗布されている搭載位置にLDチ
ップ17が搭載される。この第2の(及び後述する)部
品搭載装置においても同様に、LDチップ17が粘着テ
ープにより支持されているので、供給ステージ1a上を
リング照明するように構成されている。
FIG. 10 shows a second component mounting apparatus, and FIG.
As shown in FIG. 1A, an LD sheet 37 on which a large number of LD chips 17 are supported in advance by an adhesive tape is set on the supply stage 1a. In addition, mounting stage 3
As shown in FIG. 11B, a PD wafer 32 supported by a PD pallet 33 is set on a as shown in FIG. 11B. Then, as shown in FIG. 12, the LD chip 17 is mounted on the mounting position of the SM chip 11 mounted on the PD wafer 32 where the adhesive is applied in advance. Similarly, in the second (and later described) component mounting apparatus, since the LD chip 17 is supported by the adhesive tape, the supply stage 1a is configured to be ring-illuminated.

【0024】ここで、部品は吸着コレット4a、4bに
より吸着された状態でステーション間を搬送するので、
吸着状態の搬送の際に位置合わせ精度が悪化するおそれ
があるが、部品に依っては非常に高精度の位置合わせ精
度はある方向については要求され、他の方向については
要求されない場合がある。LDチップ17はその一例で
あり、図13に示すようにレーザ光の出射方向(Y方
向)については高精度を要求されるが、X方向について
は高精度を要求されない。そこで、この第2の部品搭載
装置では、非常に高精度の位置合わせ精度が要求されな
いX方向に吸着状態で搬送を行う。
Here, since the parts are conveyed between the stations while being sucked by the suction collets 4a and 4b,
Although there is a possibility that the positioning accuracy may be degraded during the conveyance in the suction state, depending on the components, very high positioning accuracy may be required in one direction and may not be required in the other direction. The LD chip 17 is one example, and as shown in FIG. 13, high accuracy is required in the emission direction (Y direction) of the laser beam, but high accuracy is not required in the X direction. Therefore, in the second component mounting apparatus, conveyance is performed in the X direction, in which extremely high positioning accuracy is not required, in a suction state.

【0025】また、位置合わせを行うために基準となる
部品の特徴は、通常、撮像可能な部品の外形や上面のパ
ターンであるが、このような特徴が吸着面とは反対側の
面にある部品もある。このような部品の場合には、ステ
ーション間を移動中に一旦停止して別の第4のカメラに
より部品の反対側の面を撮像して特徴を抽出する方法が
考えられるが、この方法では時間がかかり、また、高価
となる。そこで、例えば搭載部品としてのLDチップ1
7がこのような部品の場合には、図14に示すように補
正ステージ2aを透明なガラスに置き換えるとともに、
TVカメラ5−2を下からガラスを介して部品を撮像し
て特徴を抽出する。
The feature of a component serving as a reference for positioning is usually the outer shape of the imageable component or the pattern of the upper surface. Such a feature is located on the surface opposite to the suction surface. There are also parts. In the case of such a part, a method of temporarily stopping while moving between stations and taking an image of the opposite side of the part with another fourth camera to extract the feature can be considered. And costly. Therefore, for example, the LD chip 1 as a mounting component
In the case where 7 is such a component, the correction stage 2a is replaced with a transparent glass as shown in FIG.
The TV camera 5-2 captures an image of the part from below through the glass to extract the feature.

【0026】また、部品を吸着コレット4a、4bによ
り吸着して搬送する場合には、部品が実際に吸着されて
いるかをカメラにより撮像して確認する必要がある。し
かしながら、LDチップ17は一般に他の部品より非常
に小さいので、図15(a)に示すようにLDチップ1
7を吸着コレット4により真上から吸着すると、別の第
4のTVカメラにより斜めから撮像しなければならなく
なる。そこで、この第2の部品搭載装置では、図15
(b)に示すように吸着コレット4がLDチップ17を
斜め上方から吸着するとともに、吸着コレット4の上の
ヘッド21に垂直方向の開口21aを形成することによ
り、別のTVカメラを設けることなくカメラ5−1〜5
−3により撮像することができる。
When a part is sucked and conveyed by the suction collets 4a and 4b, it is necessary to take an image with a camera to check whether the part is actually sucked. However, since the LD chip 17 is generally much smaller than other components, as shown in FIG.
When the suction collet 4 sucks 7 from directly above, an image must be obliquely picked up by another fourth TV camera. Therefore, in this second component mounting apparatus, FIG.
As shown in (b), the suction collet 4 sucks the LD chip 17 obliquely from above and forms a vertical opening 21a in the head 21 above the suction collet 4 without providing another TV camera. Camera 5-1 to 5
-3.

【0027】また、吸着コレット4は部品を安定して吸
着するためには吸着穴はできるだけ小さくすることが望
ましい。しかしながら、吸着穴をできるだけ小さくし、
かつ吸着穴により吸着されている部品を上から撮像しよ
うとすると、吸着コレット4の外形は図16(a)に示
すように部品の外形より小さくすることには限界がある
ので、その撮像信号は吸着コレット4の垂直面の壁によ
りぼけて部品がとらえにくくなる。また、部品が小さく
なるほど映像を拡大する必要があるが、この場合には被
写界深度が浅くなるのでこの現象は顕著となる。そこ
で、図16(b)に示すように吸着穴により吸着されて
いる部品17の近傍の吸着コレット4の壁面を斜めに形
成することにより、吸着コレット4の壁面によるぼけを
防止して部品を上から確実に撮像することができる。
It is desirable that the suction hole of the suction collet 4 be as small as possible in order to stably suck the parts. However, make the suction hole as small as possible,
Further, when an image of the component sucked by the suction hole is to be taken from above, there is a limit to making the outer shape of the suction collet 4 smaller than the outer shape of the component as shown in FIG. Due to the vertical wall of the suction collet 4, the components are blurred and components are difficult to catch. Also, as the size of the component becomes smaller, the image needs to be enlarged. In this case, since the depth of field becomes shallow, this phenomenon becomes remarkable. Therefore, as shown in FIG. 16B, by forming the wall surface of the suction collet 4 near the component 17 being sucked by the suction hole at an angle, blurring due to the wall surface of the suction collet 4 is prevented, and the component is lifted. Can be reliably captured.

【0028】図17は第3の部品搭載装置を示し、図1
8(a)に示すように供給ステージ1a上にはあらかじ
め多数のMMチップ15が粘着テープにより支持された
MMシート38がセットされる。また、搭載ステージ3
a上には図18(b)に示すように、第1、第2の部品
搭載装置と同様にPDパレット33により支持されたP
Dウェハー32がセットされる。そして、図19に示す
ようにPDウェハー32上に搭載されているPDチップ
12上のあらかじめ接着剤が塗布されている所定位置に
MMチップ15が搭載される。この第3の部品搭載装置
においても同様に、MMチップ15が粘着テープにより
支持されているので、供給ステージ1a上をリング照明
するように構成されている。
FIG. 17 shows a third component mounting apparatus, and FIG.
As shown in FIG. 8A, an MM sheet 38 on which a large number of MM chips 15 are supported in advance by an adhesive tape is set on the supply stage 1a. In addition, mounting stage 3
As shown in FIG. 18 (b), the P supported by the PD pallet 33 is similar to the first and second component mounting devices.
The D wafer 32 is set. Then, as shown in FIG. 19, the MM chip 15 is mounted on the PD chip 12 mounted on the PD wafer 32 at a predetermined position where an adhesive is applied in advance. Similarly, in the third component mounting apparatus, since the MM chip 15 is supported by an adhesive tape, the supply stage 1a is configured to be ring-illuminated.

【0029】ここで、MMチップ15には、LDチップ
17が搭載面と平行に出射するレーザ光を真上に反射す
るために45°の反射面が形成されており、その反射光
の光軸は光ピックアップ本体側の対物レンズと一致しな
ければらない。MMチップ15とLDチップ17の間の
距離がずれると光軸が一致しなくなるが、図20(a)
に示すようにMMチップ15の特徴として先端のライン
を撮像して位置合わせを行うと、MMチップ15の先端
の面取りのバラツキにより光軸が一致しなくなる。
Here, the MM chip 15 is formed with a 45 ° reflecting surface for reflecting the laser light emitted from the LD chip 17 in parallel with the mounting surface, directly above, and the optical axis of the reflected light. Must match the objective lens on the optical pickup body side. When the distance between the MM chip 15 and the LD chip 17 is shifted, the optical axes do not match, but FIG.
As shown in (1), when the position of the tip of the MM chip 15 is imaged as a feature and alignment is performed, the optical axes do not coincide due to the variation in the chamfering of the tip of the MM chip 15.

【0030】そこで、この第3の部品搭載装置の補正ス
テージ2a上には、図20(b)に示すようにLDチッ
プ17に対応する位置に水平方向の稜線ラインを有する
ダミー部品39を配置するとともにダミー部品39の後
方に光源40を配置し、MMチップ15により反射され
るダミー部品39の水平方向の稜線ラインのシルエット
39aをTVカメラ5−2により撮像する。このとき、
ダミー部品39の水平方向の稜線ラインに対するMMチ
ップ15の距離がずれていると、TVカメラ5−2によ
り撮像されるシルエット39aもその分だけずれてお
り、また、θ方向にずれているとシルエット39aもそ
の分だけ回転しているので、このシルエット39aが所
定位置、所定角度になるようにx、y、θ方向の位置合
わせを行う。
Therefore, on the correction stage 2a of the third component mounting apparatus, a dummy component 39 having a horizontal ridge line at a position corresponding to the LD chip 17 is arranged as shown in FIG. At the same time, the light source 40 is arranged behind the dummy component 39, and the TV camera 5-2 captures an image of the silhouette 39a of the horizontal ridge line of the dummy component 39 reflected by the MM chip 15. At this time,
If the distance of the MM chip 15 from the horizontal ridge line of the dummy component 39 is shifted, the silhouette 39a imaged by the TV camera 5-2 is shifted by that amount. 39a is also rotated by that amount, so that the position adjustment in the x, y, and θ directions is performed so that the silhouette 39a is at a predetermined position and a predetermined angle.

【0031】このように第1〜第3の部品搭載装置によ
りそれぞれSMチップ11、LDチップ17、MMチッ
プ15が搭載されたPDウェハー32は接着剤のキュア
工程に送られて各チップ11、17、15が固定され、
次いでダイシング工程に送られてPDウェハー32がP
Dチップ12毎に切断され、次いで第4の部品搭載装置
に送られる。
As described above, the PD wafer 32 on which the SM chip 11, the LD chip 17, and the MM chip 15 are mounted by the first to third component mounting apparatuses is sent to the adhesive curing step, and the respective chips 11, 17 , 15 are fixed,
Next, the wafer is sent to a dicing process,
It is cut for each D chip 12 and then sent to a fourth component mounting apparatus.

【0032】図21は第4の部品搭載装置を示し、図2
2(a)に示すように供給ステージ1a上にはあらかじ
めPDチップ12毎に切断されている状態のPDウェハ
ー32が置かれたダイシングプレート41がセットされ
る。また、搭載ステージ3a上には図22(b)に示す
ようにLFパレット42がセットされ、LFパレット4
2には各々にリードフレーム(LF)13が封止されて
いる多数の樹脂パッケージ14が支持されている。そし
て、図23に示すように樹脂パッケージ14内の搭載位
置にはあらかじめAgペーストが塗布され、次いでこの
塗布位置にPDチップ12が搭載される。LFパレット
42の全ての樹脂パッケージ14に対する搭載が完了す
るとLFパレット42がAgペーストキュア工程に送ら
れてPDチップ12が固定され、次いでLDチップ17
及びPDチップ12の各リードとリードフレーム13の
ワイヤボンディングが行われ、次いで第5の部品搭載装
置に送られる。
FIG. 21 shows a fourth component mounting apparatus, and FIG.
As shown in FIG. 2A, a dicing plate 41 on which a PD wafer 32 cut in advance for each PD chip 12 is set on the supply stage 1a. An LF pallet 42 is set on the mounting stage 3a as shown in FIG.
2 supports a large number of resin packages 14 each having a lead frame (LF) 13 sealed therein. Then, as shown in FIG. 23, an Ag paste is previously applied to a mounting position in the resin package 14, and then the PD chip 12 is mounted at this applying position. When the mounting of the LF pallet 42 on all the resin packages 14 is completed, the LF pallet 42 is sent to an Ag paste curing process to fix the PD chip 12 and then the LD chip 17.
Then, wire bonding of each lead of the PD chip 12 and the lead frame 13 is performed, and then the lead is sent to the fifth component mounting apparatus.

【0033】図24は第5の部品搭載装置を示し、図2
5(a)に示すように供給ステージ1a上にはダイシン
グプレート44がセットされ、ダイシングプレート44
にはあらかじめ多数のホログラム素子(HOE)16が
支持されたHOEシート43が支持されている。また、
搭載ステージ3a上には図25(b)に示すように、樹
脂パッケージ14が支持されているLFパレット42が
セットされる。そして、樹脂パッケージ14内の搭載位
置にはあらかじめ接着剤が塗布され、次いでこの塗布位
置にホログラム素子16が搭載される。
FIG. 24 shows a fifth component mounting apparatus, and FIG.
As shown in FIG. 5A, a dicing plate 44 is set on the supply stage 1a.
Supports an HOE sheet 43 on which a number of hologram elements (HOE) 16 are supported in advance. Also,
As shown in FIG. 25B, an LF pallet 42 supporting the resin package 14 is set on the mounting stage 3a. Then, an adhesive is applied in advance to the mounting position in the resin package 14, and then the hologram element 16 is mounted in this application position.

【0034】ところで、このように部品搭載が終了した
アセンブリは更に、図29に示すように光ピックアップ
本体18に対してその下方の基準面18aに取り付けら
れ、また、光ピックアップ本体18は光ディスクドライ
ブ装置に取り付けられる。光ディスクドライブ装置の完
成状態では、半導体レーザチップ17により出射された
レーザ光がマイクロミラー15の45°の反射面により
反射され、その反射光がホログラム素子16を介して本
体18側の対物レンズ19により集光されてディスクD
の面に照射され、その反射光がホログラム素子16を介
してフォトダイオードチップ12の受光面により受光さ
れる。したがって、樹脂パッケージ14が傾いた状態で
ホログラム素子16を搭載すると、光ピックアップ本体
18の基準面18aに対して光軸が傾いた状態で取り付
けられるので、正常に動作しない。
By the way, the assembly having the components mounted thereon is further mounted on a reference surface 18a below the optical pickup main body 18, as shown in FIG. 29, and the optical pickup main body 18 is mounted on an optical disk drive. Attached to. In the completed state of the optical disk drive, the laser light emitted by the semiconductor laser chip 17 is reflected by the 45 ° reflecting surface of the micromirror 15 and the reflected light is transmitted by the objective lens 19 on the main body 18 side via the hologram element 16. Focused disk D
And the reflected light is received by the light receiving surface of the photodiode chip 12 via the hologram element 16. Therefore, if the hologram element 16 is mounted in a state where the resin package 14 is tilted, the hologram element 16 is mounted in a state where the optical axis is tilted with respect to the reference surface 18 a of the optical pickup main body 18, so that it does not operate normally.

【0035】そこで、この第5の部品搭載装置における
搭載ステージ3aは図26に示すように構成されてい
る。まず、搭載ステージ3aの上方には光ピックアップ
本体18の基準面18aに対応する位置に基準面45a
を有する基準プレート45が取り付けられる。また、搭
載ステージ3aの下方には樹脂パッケージ14を突き上
げて基準プレート45に押圧するワーク突き上げ機構5
0が配置されている。
The mounting stage 3a in the fifth component mounting apparatus is configured as shown in FIG. First, a reference surface 45a is provided above the mounting stage 3a at a position corresponding to the reference surface 18a of the optical pickup body 18.
Is attached. A work push-up mechanism 5 that pushes up the resin package 14 and presses it against the reference plate 45 below the mounting stage 3a.
0 is arranged.

【0036】ワーク突き上げ機構50は上部ブロック5
1と下部ブロック52を有し、上部ブロック51内には
樹脂パッケージ14の突き上げ時に上端がリードフレー
ム13に接触可能なコンタクトプローブ53が設けられ
ている。コンタクトプローブ53は樹脂パッケージ14
の突き上げ時にリードフレーム13に接触して撓むよう
に構成され、ホログラム素子16の搭載時にLDチップ
17と、PDチップ12とリードフレーム13の検査を
行う。
The work lifting mechanism 50 includes the upper block 5
1 and a lower block 52, and a contact probe 53 whose upper end can contact the lead frame 13 when the resin package 14 is pushed up is provided in the upper block 51. The contact probe 53 is a resin package 14
When the hologram element 16 is mounted, the LD chip 17, the PD chip 12, and the lead frame 13 are inspected when the hologram element 16 is mounted.

【0037】上部ブロック51の下方にはプリント基板
54が取り付けられ、プリント基板54の上面にはコン
タクトプローブ53の下端が半田付けされ、下面には不
図示の導電パターンが形成されている。また、この導電
パターンの位置に対応する下部ブロック52にはコンタ
クトピン55が保持され、このコンタクトピン55は不
図示の検査回路に接続されている。また、上部ブロック
51と下部ブロック52にはそれぞれ水平方向に凹部5
1a、52aが形成され、上部ブロック51の凹部51
aは下部ブロック52の凹部52aよりやや上方に(紙
面に対して垂直方向に見て)形成されている。そして、
2つの凹部51a、52aをビス56にて止めると、プ
リント基板54の導電パターンとコンタクトピン55が
押圧される。
A printed circuit board 54 is mounted below the upper block 51. The lower end of the contact probe 53 is soldered to the upper surface of the printed circuit board 54, and a conductive pattern (not shown) is formed on the lower surface. The lower block 52 corresponding to the position of the conductive pattern holds a contact pin 55, and the contact pin 55 is connected to an inspection circuit (not shown). The upper block 51 and the lower block 52 are each provided with a recess 5 in the horizontal direction.
1a and 52a are formed, and the concave portion 51 of the upper block 51 is formed.
a is formed slightly above the concave portion 52a of the lower block 52 (as viewed in a direction perpendicular to the paper surface). And
When the two concave portions 51a and 52a are stopped by the screws 56, the conductive pattern of the printed circuit board 54 and the contact pins 55 are pressed.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
テージの上方において第2のワークの基準面に対応する
位置に基準プレートを設けるとともに、部品を第1のワ
ーク上に搭載する時にステージの下方から第1のワーク
を突き上げるようにしたので、部品搭載が完了した第1
のワークの上面が更に第2のワークの基準面に取り付け
られる場合にその取り付け精度を向上させることができ
る。
As described above, according to the present invention, the reference plate is provided above the stage at a position corresponding to the reference surface of the second work, and the stage is mounted when the component is mounted on the first work. The first work is pushed up from below, so the first
When the upper surface of the work is further mounted on the reference surface of the second work, the mounting accuracy can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る部品搭載装置の一実施形態の要部
を示す外観図である。
FIG. 1 is an external view showing a main part of an embodiment of a component mounting apparatus according to the present invention.

【図2】図1の部品搭載装置を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the component mounting apparatus of FIG. 1;

【図3】図1の部品搭載装置を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing the component mounting apparatus of FIG. 1;

【図4】図1〜図3の補正ステージによる位置合わせを
動作を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an operation of positioning by the correction stage of FIGS. 1 to 3;

【図5】搭載部品の具体例を示す外観図である。FIG. 5 is an external view showing a specific example of a mounted component.

【図6】図5のサブマウントを搭載する場合の部品搭載
装置を示す平面図である。
6 is a plan view showing a component mounting apparatus when the submount of FIG. 5 is mounted.

【図7】図6の部品搭載装置における搭載部品及びワー
クを詳しく示す説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing in detail a mounted component and a work in the component mounting apparatus of FIG. 6;

【図8】図6の部品搭載装置における搭載状態を詳しく
示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a mounting state in the component mounting apparatus of FIG. 6 in detail.

【図9】図6の部品搭載装置におけるリング光源を詳し
く示す説明図である。
FIG. 9 is an explanatory view showing a ring light source in the component mounting apparatus of FIG. 6 in detail.

【図10】図5のLDチップを搭載する場合の部品搭載
装置を示す平面図である。
FIG. 10 is a plan view showing a component mounting apparatus when the LD chip of FIG. 5 is mounted.

【図11】図10の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。
FIG. 11 is an explanatory diagram showing in detail a mounted component and a work in the component mounting apparatus of FIG. 10;

【図12】図10の部品搭載装置における搭載状態を詳
しく示す説明図である。
FIG. 12 is an explanatory diagram showing a mounting state in the component mounting apparatus of FIG. 10 in detail.

【図13】図10の部品搭載装置によるLDチップの搬
送方向を詳しく示す説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram showing in detail a transport direction of an LD chip by the component mounting apparatus of FIG. 10;

【図14】図10の部品搭載装置における補正ステージ
を詳しく示す説明図である。
FIG. 14 is an explanatory diagram showing a correction stage in the component mounting apparatus of FIG. 10 in detail.

【図15】従来例と図10の部品搭載装置におけるヘッ
ドを示す構成図である。
FIG. 15 is a configuration diagram showing a conventional example and a head in the component mounting apparatus of FIG. 10;

【図16】従来例と図10の部品搭載装置における吸着
コレットを示す構成図である。
FIG. 16 is a configuration diagram showing a suction collet in the conventional example and the component mounting apparatus of FIG. 10;

【図17】図5のマイクロミラーチップを搭載する場合
の部品搭載装置を示す平面図である。
FIG. 17 is a plan view showing a component mounting apparatus when the micromirror chip of FIG. 5 is mounted.

【図18】図17の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。
18 is an explanatory diagram showing in detail a mounted component and a work in the component mounting apparatus of FIG. 17;

【図19】図17の部品搭載装置における搭載状態を詳
しく示す説明図である。
FIG. 19 is an explanatory diagram showing a mounting state in the component mounting apparatus of FIG. 17 in detail.

【図20】図17の部品搭載装置における位置合わせ方
法を詳しく示す説明図である。
20 is an explanatory diagram showing in detail a positioning method in the component mounting apparatus of FIG. 17;

【図21】図5のPDチップを搭載する場合の部品搭載
装置を示す平面図である。
FIG. 21 is a plan view showing a component mounting apparatus when the PD chip of FIG. 5 is mounted.

【図22】図21の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。
FIG. 22 is an explanatory diagram showing in detail a mounted component and a work in the component mounting apparatus of FIG. 21;

【図23】図21の部品搭載装置における搭載状態を詳
しく示す説明図である。
FIG. 23 is an explanatory diagram showing a mounting state in the component mounting apparatus of FIG. 21 in detail.

【図24】図5のホログラム素子を搭載する場合の部品
搭載装置を示す平面図である。
24 is a plan view showing a component mounting device when the hologram element of FIG. 5 is mounted.

【図25】図24の部品搭載装置における搭載部品及び
ワークを詳しく示す説明図である。
FIG. 25 is an explanatory diagram showing in detail a mounted component and a work in the component mounting apparatus of FIG. 24;

【図26】図24の部品搭載装置における基準プレート
と突き上げ機構を示す構成図である。
26 is a configuration diagram illustrating a reference plate and a push-up mechanism in the component mounting apparatus of FIG. 24.

【図27】従来の部品搭載装置を示す外観図である。FIG. 27 is an external view showing a conventional component mounting apparatus.

【図28】図27の部品搭載装置による搭載処理を示す
説明図である。
FIG. 28 is an explanatory diagram showing a mounting process by the component mounting apparatus of FIG. 27;

【図29】図5のアセンブリが光ピックアップ本体に取
り付けられた状態を示す説明図である。
FIG. 29 is an explanatory view showing a state where the assembly of FIG. 5 is attached to the optical pickup main body.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a 供給ステージ(第1のステージ) 2a 補正ステージ(第2のステージ) 3a 搭載ステージ(第3のステージ) 4a,4b 吸着コレット(部品搬送手段) 5−1,5−2,5−3 TVカメラ(位置合わせ手
段) 45 基準プレート 45a 基準面 50 突き上げ機構 51 上部ブロック 52 下部ブロック 53 コンタクトプローブ 54 プリント基板 55 コンタクトピン 56 ビス
1a Supply stage (first stage) 2a Correction stage (second stage) 3a Mounting stage (third stage) 4a, 4b Suction collet (component transfer means) 5-1 5-2-5 TV camera (Positioning means) 45 Reference plate 45a Reference surface 50 Push-up mechanism 51 Upper block 52 Lower block 53 Contact probe 54 Printed circuit board 55 Contact pin 56 Screw

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 部品搭載が完了した第1のワークの上面
が更に第2のワークの基準面に取り付けられる場合に、
ステージの上方において前記第2のワークの基準面に対
応する位置に設けられる基準プレートと、 部品を第1のワーク上に搭載する時に、前記ステージの
下方から前記第1のワークを突き上げて前記基準プレー
トに押圧するワーク突き上げ手段とを、 有する部品搭載装置。
When the upper surface of a first work on which components are mounted is further attached to a reference surface of a second work,
A reference plate provided at a position corresponding to a reference surface of the second work above the stage; and when the component is mounted on the first work, the first work is pushed up from below the stage to make the reference work. A component mounting device, comprising: a workpiece push-up means for pressing against a plate.
【請求項2】 供給される部品が載置される第1のステ
ージと、 x、y、θ方向に移動可能な第2のステージと、 部品が搭載されるワークが載置される第3のステージ
と、 部品を前記第1のステージから前記第2のステージに搬
送して前記第2のステージ上に載置し、前記第2のステ
ージから前記第3のステージに搬送して第1のワーク上
に載置する部品搬送手段と、 前記部品が前記第2のステージ上に載置されている時に
前記第2のステージ上の部品位置と前記第3のステージ
上の第1のワーク上の載置位置が位置合わせされるよう
に前記第2のステージをx、y、θ方向に移動させる位
置合わせ手段と、 部品搭載が完了した第1のワークの上面が更に第2のワ
ークの基準面に取り付けられる場合に、ステージの上方
において前記第2のワークの基準面に対応する位置に設
けられる基準プレートと、 部品を第1のワーク上に搭載する時に、前記ステージの
下方から前記第1のワークを突き上げて前記基準プレー
トに押圧するワーク突き上げ手段とを、 有する部品搭載装置。
2. A first stage on which a component to be supplied is mounted, a second stage movable in x, y, and θ directions, and a third stage on which a workpiece on which the component is mounted is mounted. A stage, a part is conveyed from the first stage to the second stage and is placed on the second stage, and a part is conveyed from the second stage to the third stage and the first workpiece is A component transfer unit mounted on the first stage, a component position on the second stage when the component is mounted on the second stage, and a mounting on a first workpiece on the third stage. Positioning means for moving the second stage in the x, y, and θ directions so that the mounting positions are aligned; and the upper surface of the first work on which the components are mounted is further positioned on the reference surface of the second work. When mounted, the second wire above the stage A reference plate provided at a position corresponding to a reference surface of a workpiece; and a workpiece push-up means for pushing up the first workpiece from below the stage and pressing the first workpiece against the reference plate when a component is mounted on the first workpiece. And a component mounting device.
【請求項3】 部品のリードが導通する第1のワークの
導電パターンに接触するコンタクトプローブを前記ワー
ク突き上げ手段に設け、前記ワーク突き上げ手段の突き
上げ時に前記コンタクトプローブを介して第1のワーク
の検査を行うことを特徴とする請求項1又は2記載の部
品搭載装置。
3. A contact probe for contacting a conductive pattern of a first work to which a lead of a component is conducted is provided on the work push-up means, and the first work is inspected via the contact probe when the work push-up means is pushed up. 3. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the component mounting is performed.
【請求項4】 前記ワーク突き上げ手段の上方移動時に
前記コンタクトプローブが前記第1のワークの導電パタ
ーンに接触して撓むように構成されていることを特徴と
する請求項3記載の部品搭載装置。
4. The component mounting apparatus according to claim 3, wherein said contact probe is configured to contact and bend with a conductive pattern of said first workpiece when said workpiece push-up means moves upward.
【請求項5】 前記ワーク突き上げ手段は、 前記コンタクトプローブを保持する上部ブロックと、 前記上部ブロックの下方に取り付けられるとともに上面
に前記コンタクトプローブが半田付けされ、下面に導電
パターンが形成されたプリント基板と、 前記プリント基板の下方に取り付けられるとともに前記
プリント基板の導電パターンに接触するコンタクトピン
を保持する下部ブロックとを、 有することを特徴とする請求項3又は4記載の部品搭載
装置。
5. A printed circuit board comprising: an upper block for holding the contact probe; a work board pushing-up means mounted below the upper block, the contact probe being soldered to an upper surface, and a conductive pattern formed on a lower surface. The component mounting apparatus according to claim 3, further comprising: a lower block attached below the printed board and holding a contact pin that contacts a conductive pattern of the printed board.
【請求項6】 前記上部ブロックと下部ブロックに共に
水平方向に凹部を形成するとともに、前記上部ブロック
の凹部を前記下部ブロックの凹部よりやや上方に形成
し、前記2つの凹部をビス止めすることにより前記プリ
ント基板の導電パターンとコンタクトピンを押圧させる
ことを特徴とする請求項5記載の部品搭載装置。
6. A concave portion is formed in both the upper block and the lower block in a horizontal direction, a concave portion of the upper block is formed slightly above the concave portion of the lower block, and the two concave portions are screwed. The component mounting apparatus according to claim 5, wherein the conductive pattern and the contact pin of the printed board are pressed.
JP31653397A 1997-10-31 1997-10-31 Component mounting device Expired - Fee Related JP3781232B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31653397A JP3781232B2 (en) 1997-10-31 1997-10-31 Component mounting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31653397A JP3781232B2 (en) 1997-10-31 1997-10-31 Component mounting device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11135993A true JPH11135993A (en) 1999-05-21
JP3781232B2 JP3781232B2 (en) 2006-05-31

Family

ID=18078173

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31653397A Expired - Fee Related JP3781232B2 (en) 1997-10-31 1997-10-31 Component mounting device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3781232B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP3781232B2 (en) 2006-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109906029B (en) Electronic component mounting device and electronic component mounting method
EP1003212A2 (en) Method of and apparatus for bonding light-emitting element
JP2000012568A (en) Die bonder
JP2014179561A (en) Bonding head and die bonder equipped with the same
JPH10145094A (en) Parts mounting device
JP2012248728A (en) Die bonder and bonding method
JP2000150970A (en) Light emitting device bonding method and equipment
JP2000183404A (en) Light emitting element array and method and apparatus for bonding it
JP3815637B2 (en) Component mounting device
JP3778676B2 (en) Component mounting device
JP6940207B2 (en) Electronic component mounting device
JP3781232B2 (en) Component mounting device
JP3781233B2 (en) Component mounting device
JP3448960B2 (en) Light emitting device assembling apparatus and assembling method
JP3789232B2 (en) Optical module assembling apparatus and assembling method
US11136202B2 (en) Direct transfer apparatus for electronic components
KR101543843B1 (en) Apparatus for bonding a die on a substrate
JPH0845970A (en) Die bonding device
KR20220150767A (en) Apparatus for inspecting die pick-up collet
JP3393353B2 (en) Electronic component bonding equipment
JP3977372B2 (en) Optical module assembly method
JP2023039867A (en) Component mounting device and component mounting method
JP2007173430A (en) Image processing method and image processor of electronic component
JP2023146172A (en) Position alignment device, position alignment method, bonding device, bonding method, and method for manufacturing semiconductor device
JP2023045540A (en) Joining device and manufacturing method of bonded article

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051202

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060217

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060302

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090317

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110317

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120317

Year of fee payment: 6

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120317

Year of fee payment: 6

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120317

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130317

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140317

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees