JP2000183404A - Light emitting element array and method and apparatus for bonding it - Google Patents

Light emitting element array and method and apparatus for bonding it

Info

Publication number
JP2000183404A
JP2000183404A JP10354910A JP35491098A JP2000183404A JP 2000183404 A JP2000183404 A JP 2000183404A JP 10354910 A JP10354910 A JP 10354910A JP 35491098 A JP35491098 A JP 35491098A JP 2000183404 A JP2000183404 A JP 2000183404A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
emitting element
bonding
chip
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10354910A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyobumi Yamamoto
清文 山本
Hiroshi Maeda
弘 前田
Satoshi Ajino
敏 味埜
Kazuhiro Nishida
和弘 西田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP10354910A priority Critical patent/JP2000183404A/en
Publication of JP2000183404A publication Critical patent/JP2000183404A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/91Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
    • H01L2224/92Specific sequence of method steps
    • H01L2224/922Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
    • H01L2224/9222Sequential connecting processes
    • H01L2224/92242Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
    • H01L2224/92247Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1015Shape
    • H01L2924/10155Shape being other than a cuboid

Landscapes

  • Die Bonding (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the increase in temperature due to generation of heat by a light emitting element to prevent irregular luminance by temperature and emit light stably by bonding a plurality of light emitting elements on respective heat radiation submount members and then bonding the submount members at intervals on a substrate. SOLUTION: A light emitting element array 10 is made by bonding a plurality of LED chips 12 (light emitting elements) on respective heat radiation submount members 14 made of copper, etc., and then bonding the submount members 14 at specified intervals on a substrate 16. Each of the LED chips 12 has a lower electrode and an upper electrode, with the lower electrode fastened on the submount member 14 through silver paste which is a thermosetting conductive adhesive. The submount member 14 constitutes a non-light emitting section of the light emitting element and is provided on its upper face with a chucking section. The LED chip 12 constitutes a light emitting section of the light emitting element and has a gold wire 26 connected to its upper electrode. On the substrate 16, silver paste 28 is applied to bond each submount member 14.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、発光素子を基板上
の所定の位置にボンディングする発光素子アレイ、その
ボンディング方法および装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting element array for bonding a light emitting element to a predetermined position on a substrate, and a bonding method and apparatus therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般的に、画像の読み取り用や出力(記
録)用の光源として、LDまたはLED等を複数個配列
させた発光素子アレイが採用されている。例えば、図1
7に示すように、LEDアレイ1は、基板2上に複数の
LEDチップ(発光素子)3を一方向に向かって等間隔
に配列して構成されている。なお、LEDチップ3は、
銀ペーストを介して基板2上にボンディングされてお
り、各LEDチップ3から金ワイヤ4が導出されてい
る。
2. Description of the Related Art In general, a light emitting element array in which a plurality of LDs or LEDs are arranged is employed as a light source for reading or outputting (recording) an image. For example, FIG.
As shown in FIG. 7, the LED array 1 is configured by arranging a plurality of LED chips (light emitting elements) 3 on a substrate 2 at equal intervals in one direction. In addition, the LED chip 3
The gold wire 4 is led out from each LED chip 3 by being bonded onto the substrate 2 via a silver paste.

【0003】この種のLEDアレイ1では、各LEDチ
ップ3の発光中心間距離が等間隔になるように、各LE
Dチップ3を基板2上に高精度にアライメントする必要
がある。このため、例えば、特開平6−216170号
公報に開示されている自動ダイポンダーが採用されてい
る。この従来技術では、半導体素子とこれが接合される
ワークとの間に固体撮像素子を移動させ、上側の固体撮
像素子で半導体素子のマークを撮影する一方、下側の固
体撮像素子でワークのマークを撮影している。次いで、
処理制御部により半導体素子とワークとの相対的な位置
関係を算出した後、この算出結果に基づいて半導体素子
とワークとの相対位置関係を調整してボンディングを行
っている。
In this type of LED array 1, each LE chip is so arranged that the distance between the light emitting centers of the LED chips 3 is equal.
It is necessary to align the D chip 3 on the substrate 2 with high precision. For this reason, for example, an automatic diponder disclosed in JP-A-6-216170 is employed. In this conventional technique, a solid-state imaging device is moved between a semiconductor device and a work to which the semiconductor device is joined, and an upper solid-state imaging device captures a mark of a semiconductor device, while a lower solid-state imaging device marks a work mark. I'm shooting. Then
After the processing control unit calculates the relative positional relationship between the semiconductor element and the work, the bonding is performed by adjusting the relative positional relationship between the semiconductor element and the work based on the calculation result.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、LED
チップでは、通常、その発光中心と外形形状の中心とに
位置ずれが発生している場合が多い。このため、それぞ
れに設けられたアライメントマークを合わせるようにし
てLEDチップと基板との位置合わせを行ったとして
も、前記LEDチップの発光中心のばらつきに対して有
効に対応することができないという問題がある。
SUMMARY OF THE INVENTION However, LEDs
In a chip, usually, a position shift occurs between the emission center and the center of the outer shape in many cases. For this reason, even if the alignment between the LED chip and the substrate is performed by aligning the alignment marks provided respectively, it is not possible to effectively cope with the variation in the emission center of the LED chip. is there.

【0005】しかも、LEDチップは、特にその外形形
状にばらつきが大きく、このLEDチップの外形形状の
中心位置を認識する際にずれが生じ易い。これにより、
各LEDチップの発光中心を精度よく位置決めすること
は困難であり、高精度なLEDアレイを構成することが
できないという問題が指摘されている。
[0005] In addition, the LED chip has a large variation particularly in its outer shape, and the LED chip is likely to shift when recognizing the center position of the outer shape. This allows
It is difficult to accurately position the emission center of each LED chip, and it has been pointed out that a high-precision LED array cannot be formed.

【0006】本発明はこの種の問題を解決するものであ
り、発光素子の発光中心のばらつきや外形形状のばらつ
きに影響されることがなく、前記発光素子の発光中心を
基板上に高精度かつ容易に位置決めすることが可能な発
光素子アレイ、そのボンディング方法および装置を提供
することを目的とする。
The present invention is intended to solve this kind of problem, and is not affected by variations in the light emission centers and outer shapes of the light emitting elements. It is an object of the present invention to provide a light emitting element array that can be easily positioned, and a bonding method and device therefor.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係る発光素子ア
レイでは、発光素子がサブマウント部材に接合されると
ともに、このサブマウント部材が基板上に所定の間隔毎
にボンディングされている。このため、特にサブマウン
ト部材に放熱性に優れる材料を用いることにより、発光
素子の発熱による温度上昇を抑えて温度による輝度ムラ
を防止し、前記発光素子を安定して発光させることが可
能になる。
In the light emitting element array according to the present invention, the light emitting element is bonded to a submount member, and the submount member is bonded to the substrate at predetermined intervals. Therefore, in particular, by using a material having excellent heat dissipation for the submount member, it is possible to suppress a temperature rise due to heat generation of the light emitting element, prevent luminance unevenness due to temperature, and allow the light emitting element to emit light stably. .

【0008】また、本発明に係る発光素子のボンディン
グ方法および装置では、ボンディング前に、発光素子の
未発光部を保持手段により保持した状態で、この発光素
子の発光部を発光させて前記発光素子の発光中心を認識
する。次いで、この認識された発光中心の座標に基づい
て、保持手段で保持されている発光素子を基板上のボン
ディング位置に位置決めする。
In the method and apparatus for bonding a light emitting element according to the present invention, before the bonding, the light emitting part of the light emitting element is caused to emit light in a state where the non-light emitting part of the light emitting element is held by the holding means. Recognize the emission center of Next, the light emitting element held by the holding means is positioned at the bonding position on the substrate based on the recognized coordinates of the light emission center.

【0009】これにより、発光素子毎に発光中心を確実
に認識することができ、この発光中心のばらつきや外形
形状のばらつきに影響されることがなく、前記発光素子
の発光中心を基板上の所望の位置に対して高精度に位置
決めすることが可能になる。従って、各発光素子の発光
中心間距離を等間隔かつ高精度に位置決めすることがで
き、高品質な発光素子アレイを効率的に製造することが
可能になる。
Thus, the center of light emission can be reliably recognized for each light emitting element, and the center of light emission of the light emitting element can be determined on the substrate without being affected by the variation of the light emitting center or the variation of the outer shape. Position can be positioned with high accuracy. Therefore, the distance between the light emission centers of the respective light emitting elements can be positioned at equal intervals and with high accuracy, and a high quality light emitting element array can be efficiently manufactured.

【0010】しかも、保持手段で発光素子を保持した状
態で、この発光素子の発光中心を認識するため、前記保
持手段により該発光素子を保持する際の位置ずれを確実
に阻止し、前記発光素子を基板上の所望の位置に確実に
位置決めすることができる。
In addition, since the center of light emission of the light emitting element is recognized in a state where the light emitting element is held by the holding means, it is possible to surely prevent the displacement when the light emitting element is held by the holding means. Can be reliably positioned at a desired position on the substrate.

【0011】ここで、発光部は発光チップであり、未発
光部は前記発光チップに接合されるマウント部材であ
る。このため、このサブマウント部材を保持手段によっ
て、例えば、吸着保持することにより、発光素子の位置
決め作業が容易に遂行可能となる。また、発光素子は複
数のチップを連接しており、一つのチップが発光部であ
る一方、その他のチップが未発光部である。従って、未
発光部を保持手段によって、例えば、吸着保持すること
により、発光素子の位置決め作業が円滑に遂行される。
Here, the light emitting portion is a light emitting chip, and the non-light emitting portion is a mount member joined to the light emitting chip. For this reason, the work of positioning the light emitting element can be easily performed by holding and holding the submount member by the holding means, for example. The light emitting element has a plurality of chips connected to each other. One chip is a light emitting portion, and the other chip is a non-light emitting portion. Therefore, the non-light emitting portion is held by the holding means, for example, by suction, whereby the light emitting element positioning operation is smoothly performed.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の第1の実施形態
に係る発光素子アレイ10の概略斜視説明図である。発
光素子アレイ10は、複数のLEDチップ(発光素子)
12と、各LEDチップ12毎に接合される複数のサブ
マウント部材14と、複数の前記サブマウント部材14
が所定の間隔毎にボンディングされる基板16とを備え
る。
FIG. 1 is a schematic perspective explanatory view of a light emitting element array 10 according to a first embodiment of the present invention. The light emitting element array 10 includes a plurality of LED chips (light emitting elements)
12, a plurality of submount members 14 bonded to each LED chip 12, and a plurality of the submount members 14
And a substrate 16 to be bonded at predetermined intervals.

【0013】図2に示すように、LEDチップ12は、
下電極18と上電極20とを有しており、この下電極1
8が熱硬化性導電性接着剤である銀ペースト22を介し
てサブマウント部材14上に固着される。サブマウント
部材14は、導電性および放熱性に優れる材料、例え
ば、銅材料で構成されている。
As shown in FIG. 2, the LED chip 12
A lower electrode 18 and an upper electrode 20 are provided.
8 is fixed on the submount member 14 via a silver paste 22 which is a thermosetting conductive adhesive. The submount 14 is made of a material having excellent conductivity and heat dissipation, for example, a copper material.

【0014】サブマウント部材14は、発光素子の未発
光部を構成しており、その上面部には吸着部24a、2
4bが設けられている。LEDチップ12は、発光素子
の発光部を構成しており、図1に示すように、上電極2
0に金ワイヤ26が接続されている。基板16上には、
各サブマウント部材14をボンディングするために銀ペ
ースト28が設けられている。
The sub-mount member 14 constitutes a non-light-emitting portion of the light-emitting element, and has a suction portion 24a,
4b is provided. The LED chip 12 constitutes a light emitting portion of the light emitting element, and as shown in FIG.
0 is connected to a gold wire 26. On the substrate 16,
A silver paste 28 is provided for bonding each submount member 14.

【0015】図3は、本発明の実施形態に係る発光素子
のボンディング方法を実施するためのボンディング装置
30の概略斜視説明図であり、図4は、前記ボンディン
グ装置30の側面説明図である。なお、以下、LEDチ
ップ12とサブマウント部材14とが接合された部品を
チップユニット32という。
FIG. 3 is a schematic perspective view of a bonding apparatus 30 for performing the method of bonding a light emitting element according to the embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view of the bonding apparatus 30. Hereinafter, a part in which the LED chip 12 and the submount member 14 are joined is referred to as a chip unit 32.

【0016】ボンディング装置30は、チップユニット
32のサブマウント部材14を保持するとともに、前記
チップユニット32を基板16上のボンディング位置に
位置決めするための発光素子保持手段34と、ボンディ
ング前に前記発光素子保持手段34により保持されてい
る前記チップユニット32のLEDチップ12を発光さ
せる発光手段であるプローブ36と、前記LEDチップ
12の発光中心を認識し、前記認識された発光中心の座
標を画像認識するための撮像手段38とを備える。
The bonding apparatus 30 holds the sub-mount member 14 of the chip unit 32 and positions the chip unit 32 at a bonding position on the substrate 16 with light emitting element holding means 34. A probe 36, which is a light emitting unit for emitting light from the LED chip 12 of the chip unit 32 held by the holding unit 34, recognizes the light emission center of the LED chip 12, and recognizes the coordinates of the recognized light emission center. Imaging means 38 for

【0017】ボンディング装置30を構成する定盤42
の上面44には、移動機構46が設けられる。移動機構
46は、第1モータ48を介して直交座標系のY軸方向
に移動可能な第1移動ステージ50と、第2モータ52
を介して前記第1移動ステージ50に対し直交座標系の
X軸方向に移動可能な第2移動ステージ54とを備え
る。
A platen 42 constituting the bonding apparatus 30
A moving mechanism 46 is provided on the upper surface 44 of the device. The moving mechanism 46 includes a first moving stage 50 that can move in the Y-axis direction of a rectangular coordinate system via a first motor 48, and a second motor 52
And a second moving stage 54 that can move in the X-axis direction of the orthogonal coordinate system with respect to the first moving stage 50 through the first moving stage 50.

【0018】第1移動ステージ50は、Y軸方向に延在
して配置される一対のガイドレール56a、56bと、
前記ガイドレール56a、56b間に配置されてY軸方
向に延在するボールねじ58とを備え、このボールねじ
58の一端側に第1モータ48の出力軸が連結される。
ボールねじ58には、Y軸可動テーブル60に設けられ
た図示しないナット部材が螺合しており、このY軸可動
テーブル60がガイドレール56a、56bに支持され
ている。
The first moving stage 50 has a pair of guide rails 56a and 56b extending in the Y-axis direction,
A ball screw 58 disposed between the guide rails 56a and 56b and extending in the Y-axis direction. An output shaft of the first motor 48 is connected to one end of the ball screw 58.
A nut member (not shown) provided on the Y-axis movable table 60 is screwed to the ball screw 58, and the Y-axis movable table 60 is supported by guide rails 56a and 56b.

【0019】Y軸可動テーブル60は、X軸方向に長尺
に構成されており、このY軸可動テーブル60上には、
第2移動ステージ54を構成する一対のガイドレール6
2a、62bと、このガイドレール62a、62b間に
配置されるボールねじ64とがX軸方向に延在して配置
される。ボールねじ64の一端に第2モータ52の出力
軸が連結されるとともに、このボールねじ64がX軸可
動テーブル66に設けられた図示しないナット部材に螺
合している。
The Y-axis movable table 60 is configured to be long in the X-axis direction.
A pair of guide rails 6 constituting the second moving stage 54
2a and 62b and a ball screw 64 arranged between the guide rails 62a and 62b are arranged to extend in the X-axis direction. The output shaft of the second motor 52 is connected to one end of the ball screw 64, and the ball screw 64 is screwed to a nut member (not shown) provided on the X-axis movable table 66.

【0020】X軸可動テーブル66の上面68には、複
数のチップユニット32を配置するチップ配置台72
と、各チップユニット32毎に回転位置を補正するため
のθステージ74と、基板16を吸着保持する基板吸着
台76とが設けられる。θステージ74は、図示しない
アクチュエータを介してZ軸回りに回転自在な回転テー
ブル78を備えている。
On an upper surface 68 of the X-axis movable table 66, a chip placement table 72 on which a plurality of chip units 32 are placed.
And a θ stage 74 for correcting the rotational position for each chip unit 32 and a substrate suction table 76 for suction holding the substrate 16. stage 74 is provided with a rotary table 78 rotatable around the Z axis via an actuator (not shown).

【0021】定盤42の一端側にコラム80が立設さ
れ、このコラム80には、プローブ36を組み込んだ発
光素子保持手段34をZ軸方向に進退可能な第3移動ス
テージ82が設けられる。第3移動ステージ82には、
コラム80の垂直面に固定されたフレーム84が設けら
れ、このフレーム84の上端側に第3モータ86が固着
され、この第3モータ86の出力軸に連結されたボール
ねじ88が、Z軸方向に延在して昇降台90に係合す
る。
A column 80 is provided upright on one end of the surface plate 42. The column 80 is provided with a third moving stage 82 capable of moving the light-emitting element holding means 34 incorporating the probe 36 in the Z-axis direction. In the third moving stage 82,
A frame 84 fixed to the vertical surface of the column 80 is provided, and a third motor 86 is fixed to the upper end of the frame 84. A ball screw 88 connected to the output shaft of the third motor 86 has a Z-axis direction. And engages with the elevating table 90.

【0022】昇降台90には、加圧手段92を介して発
光素子保持手段34が装着される。図5に示すように、
発光素子保持手段34はコレット部材94を備え、この
コレット部材94の先端側にセラミック部材96が設け
られる。コレット部材94は超硬に導電性被膜が施され
ており、その先端部には、吸引口98が形成されるとと
もに、前記吸引口98は、吸引通路100を介して図示
しない負圧発生源に連通している。セラミック部材96
の先端には、同様に吸引口102が設けられ、この吸引
口102が吸引通路104を介して図示しない負圧発生
源に連通している。
The light emitting element holding means 34 is mounted on the elevating table 90 via a pressing means 92. As shown in FIG.
The light emitting element holding means 34 includes a collet member 94, and a ceramic member 96 is provided on the tip side of the collet member 94. The collet member 94 is provided with an ultra-hard conductive coating, and a suction port 98 is formed at the tip thereof. The suction port 98 is connected to a negative pressure source (not shown) through a suction passage 100. Communicating. Ceramic member 96
Similarly, a suction port 102 is provided at the end of the suction port 102, and the suction port 102 communicates with a negative pressure source (not shown) via a suction passage 104.

【0023】セラミック部材96には、プローブ36が
貫通支持されるとともに、このプローブ36がスプリン
グ106を介して前記セラミック部材96に対し進退自
在に装着されている。プローブ36の先端36aは、L
EDチップ12の上電極20に接触してマイナス電極に
接続される一方、コレット部材94は、サブマウント部
材14に接触してプラス電極に接続される。
The probe 36 is supported through the ceramic member 96, and the probe 36 is mounted on the ceramic member 96 via a spring 106 so as to be able to move forward and backward. The tip 36a of the probe 36 is L
The collet member 94 contacts the sub-mount member 14 and is connected to the plus electrode while the upper electrode 20 of the ED chip 12 is in contact with the minus electrode.

【0024】図3に示すように、コラム80には、撮像
手段38を構成するアーム110が設けられ、このアー
ム110の先端には、CCDカメラ112、114がそ
れぞれZ軸方向およびX軸方向に指向して装着される。
CCDカメラ112、114の光軸上には、二焦点光学
系116が設けられている。定盤42の側部には、CC
Dカメラ112、114により撮像された画像が入力さ
れ、画像処理を行ってLEDチップ12の発光中心の座
標を認識するための画像処理部118が並設されてい
る。
As shown in FIG. 3, the column 80 is provided with an arm 110 constituting the imaging means 38. CCD cameras 112 and 114 are provided at the tip of the arm 110 in the Z-axis direction and the X-axis direction, respectively. It is mounted facing.
A bifocal optical system 116 is provided on the optical axes of the CCD cameras 112 and 114. CC on the side of surface plate 42
Images taken by the D cameras 112 and 114 are input, and an image processing unit 118 for performing image processing and recognizing the coordinates of the light emission center of the LED chip 12 is provided in parallel.

【0025】このように構成されるボンディング装置3
0の動作について、図6および図7に示すフローチャー
トに基づいて以下に説明する。
The bonding apparatus 3 configured as described above
The operation of 0 will be described below with reference to the flowcharts shown in FIGS.

【0026】先ず、図2に示すように、サブマウント部
材14の上面に銀ペースト22を介してLEDチップ1
2が固着されることにより、チップユニット32が予め
形成されている。そして、このチップユニット32は、
チップ配置台72上に複数個配置されている(図3参
照)。一方、基板吸着台76上に基板16がセットされ
る。この基板16は、X軸方向のエッジを図示しないス
テーション基準面に合わせて位置決めされており、基板
吸着台76に設けられている図示しない吸着孔から吸引
されることによって、この基板吸着台76上に吸着保持
される。
First, as shown in FIG. 2, the LED chip 1 is placed on the upper surface of the submount member 14 with a silver paste 22 interposed therebetween.
The chip unit 32 is formed in advance by fixing 2. And this chip unit 32
A plurality of chips are arranged on the chip placement table 72 (see FIG. 3). On the other hand, the substrate 16 is set on the substrate suction table 76. The substrate 16 is positioned so that an edge in the X-axis direction is aligned with a station reference plane (not shown), and is sucked from a suction hole (not shown) provided in the substrate suction table 76 so as to be positioned on the substrate suction table 76. Is held by suction.

【0027】そこで、移動機構46が駆動され、チップ
配置台72が撮像手段38のカメラセンタに対応する位
置、すなわち、チップ取り出し位置に配置される(ステ
ップS1)。移動機構46では、第1モータ48が駆動
されることにより、ボールねじ58の回転作用下にY軸
可動テーブル60がY軸方向に移動するとともに、第2
モータ52の駆動作用下にボールねじ64が回転される
ことによって、X軸可動テーブル66がX軸方向に移動
する。従って、第1および第2モータ48、52が駆動
制御されることにより、チップ配置台72の所定の位置
に配置されているチップユニット32がチップ取り出し
位置に対応して配置される。
Then, the moving mechanism 46 is driven, and the chip placement table 72 is placed at the position corresponding to the camera center of the image pickup means 38, that is, at the chip take-out position (step S1). In the moving mechanism 46, by driving the first motor 48, the Y-axis movable table 60 moves in the Y-axis direction under the rotation of the ball screw 58, and
The X-axis movable table 66 moves in the X-axis direction by rotating the ball screw 64 under the driving action of the motor 52. Accordingly, by controlling the driving of the first and second motors 48 and 52, the chip unit 32 arranged at a predetermined position of the chip placement table 72 is arranged corresponding to the chip take-out position.

【0028】次いで、撮像手段38を構成する、例え
ば、CCDカメラ112を介してチップ配置台72上の
所定のLEDチップ12が撮像される(ステップS
2)。CCDカメラ112で撮像されたLEDチップ1
2の画像信号は、画像処理部118に送られて画像処理
が施され、前記LEDチップ12の外形中心が認識され
て該LEDチップ12の補正量(△Xおよび△Y)が演
算される(ステップS3)。
Next, a predetermined LED chip 12 on the chip placement table 72 is imaged via the CCD camera 112 constituting the image pickup means 38 (step S).
2). LED chip 1 imaged by CCD camera 112
The image signal of No. 2 is sent to the image processing unit 118 and subjected to image processing, the center of the outer shape of the LED chip 12 is recognized, and the correction amount (△ X and △ Y) of the LED chip 12 is calculated ( Step S3).

【0029】この画像信号から得られた補正量が、予め
設定されている基準値と比較され(ステップS4)、こ
の補正量が前記基準値よりも大きいと判断されると、ス
テップS5に進んで補正量に対応する移動補正が行われ
る。具体的には、第1モータ48を介して補正量△Yの
移動が行われ、第2モータ52を介して補正量△Xの移
動が行われる。
The correction amount obtained from the image signal is compared with a preset reference value (step S4). If it is determined that the correction amount is larger than the reference value, the process proceeds to step S5. The movement correction corresponding to the correction amount is performed. Specifically, the movement of the correction amount ΔY is performed via the first motor 48, and the movement of the correction amount ΔX is performed via the second motor 52.

【0030】一方、ステップS4で補正量が基準値以下
であると判断されると、ステップS6に進んでコレット
部材94によるチップユニット32の吸着保持が行われ
る。すなわち、第3モータ86の作用下に昇降台90が
下降し、この昇降台90に設けられているコレット部材
94が、位置決めされた前記チップユニット32に当接
する(図8参照)。
On the other hand, if it is determined in step S4 that the correction amount is equal to or less than the reference value, the process proceeds to step S6, where the collet member 94 holds the chip unit 32 by suction. That is, the lifting platform 90 is lowered by the action of the third motor 86, and the collet member 94 provided on the lifting platform 90 contacts the positioned chip unit 32 (see FIG. 8).

【0031】具体的には、図5に示すように、コレット
部材94の先端側に設けられている吸引口98がサブマ
ウント部材14の吸着部24aに配置される一方、セラ
ミック部材96の吸引口102が前記サブマウント部材
14の吸着部24bに配置され、それぞれ図示しない負
圧発生源の作用下に吸引通路100、104を介して前
記サブマウント部材14が吸着される。さらに、第3モ
ータ86が前記とは逆方向に回転し、昇降台90が上方
に移動することにより、コレット部材94と一体的にチ
ップユニット32が上昇する(図9参照)。
More specifically, as shown in FIG. 5, a suction port 98 provided on the distal end side of the collet member 94 is disposed in the suction section 24a of the submount member 14, while a suction port 98 of the ceramic member 96 is provided. The sub-mount member 14 is disposed on the suction portion 24b of the sub-mount member 14, and the sub-mount member 14 is sucked through the suction passages 100 and 104 under the action of a negative pressure source (not shown). Further, when the third motor 86 rotates in the opposite direction to the above, and the elevating table 90 moves upward, the chip unit 32 moves up integrally with the collet member 94 (see FIG. 9).

【0032】そこで、移動機構46の駆動作用下に、θ
ステージ74が撮像手段38のカメラセンタに移動され
た後(ステップS7および図10参照)、昇降台90と
一体的にコレット部材94が下降する。このため、コレ
ット部材94に吸着保持されているチップユニット32
は、θステージ74を構成する回転テーブル78上に移
載される(ステップS8)。コレット部材94は、チッ
プユニット32の吸着を解除した後、昇降台90と一体
的に上昇する一方、撮像手段38を構成するCCDカメ
ラ112により回転テーブル78上のLEDチップ12
が撮像される(ステップS9)。
Then, under the driving action of the moving mechanism 46, θ
After the stage 74 has been moved to the camera center of the imaging means 38 (see step S7 and FIG. 10), the collet member 94 descends integrally with the elevator 90. Therefore, the chip unit 32 sucked and held by the collet member 94
Is transferred onto a rotary table 78 constituting the θ stage 74 (step S8). After releasing the suction of the chip unit 32, the collet member 94 rises integrally with the elevating table 90, while the LED chip 12 on the rotary table 78 is moved by the CCD camera 112 constituting the imaging means 38.
Is imaged (step S9).

【0033】LEDチップ12の撮影画像は、画像処理
部118で画像処理され、このLEDチップ12の外形
エッジが認識されて補正量△θが演算される(ステップ
S10)。この補正量△θが予め設定されている基準値
と比較され(ステップS11)、前記補正量△θが前記
基準値よりも大きいと判断されると、ステップS12に
進んで補正量△θに対応して回転テーブル78の回転補
正が行われる。
The photographed image of the LED chip 12 is subjected to image processing by the image processing section 118, and the outer edge of the LED chip 12 is recognized, and the correction amount Δθ is calculated (step S10). This correction amount △ θ is compared with a preset reference value (step S11), and if it is determined that the correction amount △ θ is larger than the reference value, the process proceeds to step S12, where the correction amount △ θ corresponds to the correction amount △ θ. Then, the rotation of the turntable 78 is corrected.

【0034】θステージ74での補正が終了した後、第
3モータ86の作用下に昇降台90と一体的にコレット
部材94が下降し(ステップS13)、コレット部材9
4がチップユニット32を構成するサブマウント部材1
4を吸着保持する(ステップS14)。そして、コレッ
ト部材94は、チップユニット32を吸着保持した状態
で昇降台90と一体的に上昇する一方、移動機構46の
駆動作用下に、基板吸着台76に吸着保持されている基
板16上のボンディング位置が撮像手段38のカメラセ
ンタに対応して配置される(ステップS15および図1
1参照)。
After the correction in the θ stage 74 is completed, the collet member 94 is lowered integrally with the lift table 90 under the action of the third motor 86 (step S13), and the collet member 9 is moved.
4 is a submount member 1 constituting the chip unit 32
4 is held by suction (step S14). The collet member 94 rises integrally with the elevating table 90 in a state where the chip unit 32 is suction-held, while the driving mechanism of the moving mechanism 46 moves the collet member 94 on the substrate 16 suction-held by the substrate suction table 76. The bonding position is arranged corresponding to the camera center of the imaging means 38 (step S15 and FIG.
1).

【0035】次に、第3モータ86の作用下に昇降台9
0を介してコレット部材94が下降し、このコレット部
材94に吸着保持されているチップユニット32と基板
16との間隔が、例えば、100μmになる位置まで下
降する(ステップS16)。この場合、図5に示すよう
に、コレット部材94およびセラミック部材96により
チップユニット32のサブマウント部材14が吸着保持
された状態で、プローブ36の先端36aがLEDチッ
プ12の上電極20に接触している。
Next, under the action of the third motor 86, the lift 9
0, the collet member 94 is lowered, and the space between the chip unit 32 and the substrate 16 sucked and held by the collet member 94 is lowered to, for example, a position at which the distance becomes 100 μm (step S16). In this case, as shown in FIG. 5, the tip 36a of the probe 36 contacts the upper electrode 20 of the LED chip 12 in a state where the submount member 14 of the chip unit 32 is suction-held by the collet member 94 and the ceramic member 96. ing.

【0036】そこで、プローブ36がマイナス電極に接
続されるとともに、コレット部材94がプラス電極に接
続されてこのプローブ36に電流が供給されると、LE
Dチップ12が発光する(ステップS17)。その際、
図12に示すように、撮像手段38を構成するCCDカ
メラ112がLEDチップ12の発光中心を撮像し、こ
のCCDカメラ112の映像信号は、画像処理部118
に送られて発光中心点Lが認識される(図13参照)。
この発光中心点Lは、LED発光エリアの中心、すなわ
ち、二本の対角線の交点に設定される。
Then, when the probe 36 is connected to the minus electrode and the collet member 94 is connected to the plus electrode to supply a current to the probe 36, LE
The D chip 12 emits light (step S17). that time,
As shown in FIG. 12, a CCD camera 112 constituting the imaging means 38 captures an image of the light emission center of the LED chip 12, and a video signal of the CCD camera 112 is transmitted to an image processing section 118.
And the light emission center point L is recognized (see FIG. 13).
The light emission center point L is set at the center of the LED light emission area, that is, at the intersection of two diagonal lines.

【0037】画像処理部118では、認識された発光中
心点Lとボンディングセンタ(カメラセンタ)との位置
ずれ量に基づく補正量(△X、△Y)が演算される(ス
テップS20)。そして、ステップS21に進んで、こ
の補正量が予め設定されている基準値よりも大きいと判
断されると、ステップS22に進み基板16上のボンデ
ィング位置が補正された後、プローブ電源がOFFされ
(ステップS23)、この基板16上にチップユニット
32がボンディングされる(ステップS24および図1
4参照)。一方、ステップS21で補正量(△X、△
Y)が基準値以下であると判断されると、ステップS2
3からステップS24に進んでチップユニット32が基
板16上にボンディングされる。
The image processing unit 118 calculates a correction amount (ΔX, ΔY) based on the positional deviation amount between the recognized light emission center point L and the bonding center (camera center) (step S20). Then, the process proceeds to step S21, and if it is determined that the correction amount is larger than the preset reference value, the process proceeds to step S22, where the bonding position on the substrate 16 is corrected, and the probe power is turned off ( In step S23, the chip unit 32 is bonded onto the substrate 16 (step S24 and FIG. 1).
4). On the other hand, in step S21, the correction amount ({X, △
If Y) is determined to be less than or equal to the reference value, step S2
From 3, the process proceeds to step S 24, where the chip unit 32 is bonded onto the substrate 16.

【0038】チップ配置台72上に配置されている次の
チップユニット32に対しても、上記と同様にステップ
S6〜S14までの工程が行われる。そして、ステップ
S15では、前回置かれたチップユニット32との間隔
が所定の値になるように、基板吸着台76が一定ピッチ
でX軸方向に移動された後、基板16上の新たなボンデ
ィング位置が設定される。さらに、ステップS16以降
の工程が順次行われることにより、次なるチップユニッ
ト32は、基板16上に前回置かれたチップユニット3
2と互いの発光中心点L間のピッチが一定になるように
位置合わせされた状態でボンディングされる。
Steps S6 to S14 are performed for the next chip unit 32 placed on the chip placement table 72 in the same manner as described above. Then, in step S15, after the substrate suction table 76 is moved in the X-axis direction at a constant pitch so that the distance from the chip unit 32 placed last time becomes a predetermined value, a new bonding position on the substrate 16 is set. Is set. Further, by sequentially performing the processes after step S16, the next chip unit 32 becomes the chip unit 3 placed on the substrate 16 last time.
Bonding is performed in such a manner that the pitch between the light emission center points 2 and the light emission center points L is constant.

【0039】同様にして、所定数のチップユニット32
が、順次、基板16上に各発光中心点L間のピッチが一
定となるようにボンディングされる。次に、基板16上
に所定数のチップユニット32がアライメントされた
後、別工程において、例えば、電気オーブンを用いて銀
ペースト28を加熱硬化させる。
Similarly, a predetermined number of chip units 32
Are sequentially bonded on the substrate 16 so that the pitch between the light emission center points L is constant. Next, after a predetermined number of chip units 32 are aligned on the substrate 16, in another step, the silver paste 28 is heated and cured using, for example, an electric oven.

【0040】この場合、第1の実施形態では、チップユ
ニット32を基板16上にボンディングする前に、この
チップユニット32を構成するLEDチップ12がプロ
ーブ36を介して発光され、このLEDチップ12の発
光中心が撮像される。そして、LEDチップ12の発光
中心点Lの座標が認識(演算)され、この発光中心点L
のずれ量である補正量が演算されて、前記チップユニッ
ト32が基板16上のボンディング位置に位置決めされ
る。
In this case, in the first embodiment, before bonding the chip unit 32 on the substrate 16, the LED chips 12 constituting the chip unit 32 emit light via the probe 36, and The emission center is imaged. Then, the coordinates of the light emission center point L of the LED chip 12 are recognized (calculated), and this light emission center point L
The chip unit 32 is positioned at a bonding position on the substrate 16 by calculating a correction amount which is a deviation amount of the chip unit 32.

【0041】このため、LEDチップ12の外形形状の
ばらつきや発光中心点Lの位置ずれ等に影響されること
がなく、前記発光中心点Lを基板16上の所定の位置に
確実かつ高精度に位置決めすることができる。これによ
り、基板16上にそれぞれの発光中心点Lの間隔を一定
ピッチで位置決めし、複数のチップユニット32がボン
ディングされた高精度な発光素子アレイ10が得られ
る。従って、発光素子アレイ10による書き込み精度や
読み取り精度が大幅に向上するという効果が得られる。
Therefore, the light emission center point L can be reliably and accurately positioned at a predetermined position on the substrate 16 without being affected by variations in the outer shape of the LED chip 12 and a positional shift of the light emission center point L. Can be positioned. As a result, a high-precision light-emitting element array 10 in which a plurality of chip units 32 are bonded to each other is obtained by positioning the intervals between the light-emitting center points L on the substrate 16 at a constant pitch. Therefore, the effect that the writing accuracy and the reading accuracy by the light emitting element array 10 are greatly improved can be obtained.

【0042】さらに、第1の実施形態では、発光部であ
るLEDチップ12と未発光部であるサブマウント部材
14とが接合されたチップユニット32が用いられる。
そして、コレット部材94およびセラミック部材96で
サブマウント部材14が吸着保持された状態で、プロー
ブ36によりLEDチップ12を発光させることが可能
になる。これにより、チップユニット32をコレット部
材94およびセラミック部材96で吸着保持したまま、
LEDチップ12の発光中心点Lの位置補正を行うこと
ができ、前記コレット部材94および前記セラミック部
材96で前記チップユニット32を吸着する際の位置ず
れの発生を確実に阻止することが可能になる。
Further, in the first embodiment, a chip unit 32 in which the LED chip 12 as a light emitting portion and the submount member 14 as a non-light emitting portion are used.
Then, it is possible to cause the LED 36 to emit light by the probe 36 in a state where the sub-mount member 14 is sucked and held by the collet member 94 and the ceramic member 96. As a result, while the chip unit 32 is suction-held by the collet member 94 and the ceramic member 96,
It is possible to correct the position of the light emission center point L of the LED chip 12, and it is possible to reliably prevent the displacement when the chip unit 32 is sucked by the collet member 94 and the ceramic member 96. .

【0043】さらにまた、チップユニット32は、LE
Dチップ12にサブマウント部材14が接合されるとと
もに、このサブマウント部材14が基板16にボンディ
ングされている。このため、サブマウント部材14に放
熱性のよい材料、例えば、銅材料を使用することによ
り、前記LEDチップ12の発熱による温度上昇を有効
に抑えることができ、前記LEDチップ12の発光を安
定化することが可能になる。
Further, the chip unit 32 is
The submount 14 is bonded to the D chip 12 and the submount 14 is bonded to the substrate 16. For this reason, by using a material having good heat dissipation properties, for example, a copper material, for the submount member 14, it is possible to effectively suppress a temperature rise due to heat generation of the LED chip 12, and stabilize light emission of the LED chip 12. It becomes possible to do.

【0044】図15は、本発明の第2の実施形態に係る
発光素子アレイを構成するLEDチップ12aの斜視説
明図である。この第2の実施形態では、サブマウント部
材を不要とし、LEDチップ12a自身が吸着部(未発
光部の下電極)18を持つ構成としたものである。これ
により、サブマウント部材を用いなくても、第1の実施
例と同様に、コレット部材94でLEDチップ12aを
吸着した状態で発光、ボンディングを行うことができ
る。
FIG. 15 is an explanatory perspective view of an LED chip 12a constituting a light emitting element array according to a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, a submount member is not required, and the LED chip 12a itself has a suction portion (lower electrode of a non-light emitting portion) 18. Thus, light emission and bonding can be performed in a state where the LED chip 12a is sucked by the collet member 94, similarly to the first embodiment, without using a submount member.

【0045】図16は、本発明の第3の実施形態に係る
発光素子アレイを構成するチップユニット130の斜視
説明図である。このチップユニット130は、3連チッ
プを構成しており、コレット吸着用LEDチップ(未発
光部)132a、132bと、発光用LEDチップ(発
光部)134とを一体的に備えている。
FIG. 16 is an explanatory perspective view of a chip unit 130 constituting a light emitting element array according to the third embodiment of the present invention. The chip unit 130 is configured as a triple chip, and integrally includes collet suction LED chips (non-light emitting portions) 132a and 132b and a light emitting LED chip (light emitting portion) 134.

【0046】チップユニット130では、1つの発光用
LEDチップ134を発光させる一方、他のコレット吸
着用LEDチップ132a、132bが発光されること
なく吸着保持される。従って、チップユニット130を
使用することにより、図3に示すボンディング装置30
では、θステージ74でコレット吸着用LEDチップ1
32a、132bをコレット部材94等により吸着した
状態で、プローブ36を介して発光用LEDチップ13
4を発光させることができる。これにより、コレット部
材94等でチップユニット130を吸着する際の位置ず
れの発生を確実に阻止し得るという効果がある。
In the chip unit 130, while one light emitting LED chip 134 emits light, the other collet sucking LED chips 132a and 132b are sucked and held without emitting light. Therefore, by using the chip unit 130, the bonding apparatus 30 shown in FIG.
Then, at the θ stage 74, the LED chip 1 for collet suction
In a state where 32a and 132b are adsorbed by the collet member 94 and the like, the light emitting LED chip 13 is
4 can emit light. Accordingly, there is an effect that the occurrence of a positional shift when the chip unit 130 is sucked by the collet member 94 or the like can be reliably prevented.

【0047】なお、本発明の第1〜第3の実施形態で
は、発光素子としてLEDチップ12、12a、132
a、132b、134を用いているが、LEDに限ら
ず、発光中心の位置精度を問題とする微小チップアレイ
全てのボンディングに適応可能である。また、チップユ
ニット130は3連チップ構造を採用しているが、2連
チップ構造あるいは4連以上のチップ構造を採用しても
よい。
In the first to third embodiments of the present invention, the LED chips 12, 12a, 132
Although a, 132b, and 134 are used, the present invention is not limited to the LED, but is applicable to bonding of all microchip arrays in which the position accuracy of the emission center is a problem. Further, the chip unit 130 employs a triple chip structure, but may employ a double chip structure or a four or more chip structure.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明に係る発光素子アレイでは、各発
光素子毎にサブマウント部材が接合され、前記サブマウ
ント部材が所定の間隔毎に基板上にボンディングされる
ため、例えば、前記サブマウント部材を保持部材により
保持した状態で前記発光素子を発光させることができ
る。さらに、サブマウント部材に放熱性のよい材料を使
用することにより、発光素子の温度上昇を抑えて安定し
た発光を行うことが可能になる。
In the light emitting element array according to the present invention, a submount member is bonded to each light emitting element, and the submount members are bonded to the substrate at predetermined intervals. The light emitting element can emit light in a state where is held by the holding member. Further, by using a material having good heat dissipation for the submount member, it becomes possible to suppress a temperature rise of the light emitting element and perform stable light emission.

【0049】また、本発明に係る発光素子のボンディン
グ方法および装置では、ボンディング前に発光素子を発
光させてその発光中心を認識し、この発光中心の座標に
基づいて前記発光素子と基板との位置調整が高精度に遂
行される。このため、外形寸法のばらつき等に影響され
ることがなく、各発光素子の発光中心を基板上の所定の
位置に高精度かつ容易に位置決めすることができる。し
かも、発光素子の未発光部を保持手段により保持した状
態で前記発光素子の発光部を発光させることが可能にな
り、前記保持手段で前記発光素子を保持する際の位置ず
れ等の発生が有効に阻止される。
In the method and the apparatus for bonding a light emitting element according to the present invention, the light emitting element is caused to emit light before bonding, the center of the light emission is recognized, and the position of the light emitting element and the substrate is determined based on the coordinates of the light emission center. The adjustment is performed with high precision. Therefore, the light emission center of each light emitting element can be easily and accurately positioned at a predetermined position on the substrate without being affected by variations in external dimensions. Moreover, it is possible to cause the light emitting portion of the light emitting element to emit light in a state where the non-light emitting portion of the light emitting element is held by the holding means, and it is effective to cause a positional shift or the like when holding the light emitting element by the holding means. Is blocked.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態に係る発光素子アレイ
の概略斜視説明図である。
FIG. 1 is a schematic perspective explanatory view of a light emitting element array according to a first embodiment of the present invention.

【図2】前記発光素子アレイを構成するチップユニット
の斜視説明図である。
FIG. 2 is an explanatory perspective view of a chip unit constituting the light emitting element array.

【図3】本発明の第1の実施形態に係る発光素子のボン
ディング方法を実施するためのボンディング装置の概略
斜視説明図である。
FIG. 3 is a schematic perspective explanatory view of a bonding apparatus for performing the light emitting element bonding method according to the first embodiment of the present invention.

【図4】前記ボンディング装置の側面説明図である。FIG. 4 is an explanatory side view of the bonding apparatus.

【図5】前記ボンディング装置を構成する部品保持手段
の要部縦断面図である。
FIG. 5 is a vertical sectional view of a main part of a component holding means constituting the bonding apparatus.

【図6】前記ボンディング方法を説明するフローチャー
トの前段部分である。
FIG. 6 is a first part of a flowchart illustrating the bonding method.

【図7】前記フローチャートの後段部分である。FIG. 7 is a latter part of the flowchart.

【図8】チップ載置台を位置決めする際の正面説明図で
ある。
FIG. 8 is an explanatory front view when positioning the chip mounting table.

【図9】前記チップ戴置台からチップユニットを取り出
す際の正面説明図である。
FIG. 9 is an explanatory front view when the chip unit is taken out from the chip mounting table.

【図10】θステージを位置決めする際の正面説明図で
ある。
FIG. 10 is an explanatory front view when positioning the θ stage.

【図11】基板吸着台を位置決めする際の正面説明図で
ある。
FIG. 11 is an explanatory front view when positioning the substrate suction table.

【図12】LEDチップが発光した際の撮像画面の説明
図である。
FIG. 12 is an explanatory diagram of an imaging screen when an LED chip emits light.

【図13】前記LEDチップの発光中心点の認識画面の
説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram of a recognition screen of a light emission center point of the LED chip.

【図14】前記チップユニットを基板上にボンディング
する際の正面説明図である。
FIG. 14 is an explanatory front view when the chip unit is bonded on a substrate.

【図15】本発明の第2の実施形態に係る発光素子アレ
イを構成するLEDチップの斜視説明図である。
FIG. 15 is an explanatory perspective view of an LED chip constituting a light emitting element array according to a second embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第3の実施形態に係る発光素子アレ
イを構成するチップユニットの斜視説明図である。
FIG. 16 is an explanatory perspective view of a chip unit constituting a light emitting element array according to a third embodiment of the present invention.

【図17】通常のLEDアレイの斜視説明図である。FIG. 17 is an explanatory perspective view of a normal LED array.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…発光素子アレイ 12、12a、132a、132b、134…LEDチ
ップ 14…サブマウント部材 16…基板 18…下電極 20…上電極 32、130…チップユニット 30…ボンディング
装置 36…プローブ 38…撮像手段 46…移動機構 50、54、82…
移動ステージ 60…Y軸可動テーブル 66…X軸可動テー
ブル 72…チップ配置台 74…θステージ 76…基板吸着台 78…回転テーブル 90…昇降台 94…コレット部材 96…セラミック部材 98、102…吸引
口 106…スプリング 112、114…C
CDカメラ 116…二焦点光学系
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Light emitting element array 12, 12a, 132a, 132b, 134 ... LED chip 14 ... Submount member 16 ... Substrate 18 ... Lower electrode 20 ... Upper electrode 32, 130 ... Chip unit 30 ... Bonding device 36 ... Probe 38 ... Imaging means 46 moving mechanism 50, 54, 82 ...
Moving stage 60 ... Y-axis movable table 66 ... X-axis movable table 72 ... Chip placement table 74 ... θ stage 76 ... Substrate suction table 78 ... Rotating table 90 ... Elevating table 94 ... Collet member 96 ... Ceramic member 98, 102 ... Suction port 106: Spring 112, 114: C
CD camera 116: bifocal optical system

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 味埜 敏 神奈川県南足柄市中沼210番地 富士写真 フイルム株式会社内 (72)発明者 西田 和弘 神奈川県南足柄市中沼210番地 富士写真 フイルム株式会社内 Fターム(参考) 5F041 AA38 AA39 DA02 DA06 DA13 DA20 DA91 DB07 5F047 AA19 CA08 FA15 FA16 FA73 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Satoshi Mino 210 Fuji Naka Photo Film Co., Ltd., Fuji Photo Film Co., Ltd. (Reference) 5F041 AA38 AA39 DA02 DA06 DA13 DA20 DA91 DB07 5F047 AA19 CA08 FA15 FA16 FA73

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の発光素子と、 各発光素子毎に接合される複数のサブマウント部材と、 複数の前記サブマウント部材が所定の間隔毎にボンディ
ングされる基板と、 を備えることを特徴とする発光素子アレイ。
1. A light emitting device comprising: a plurality of light emitting elements; a plurality of submount members joined to each light emitting element; and a substrate to which the plurality of submount members are bonded at predetermined intervals. Light emitting element array.
【請求項2】発光素子を基板上の所定の位置にボンディ
ングするための発光素子のボンディング方法であって、 ボンディング前に、前記発光素子の未発光部を保持手段
により保持した状態で該発光素子の発光部を発光させる
ことにより、前記発光素子の発光中心を認識する工程
と、 前記認識された発光中心の座標に基づいて、前記保持手
段で保持されている前記発光素子を前記基板上のボンデ
ィング位置に位置決めする工程と、 前記発光素子を前記基板上にボンディングする工程と、 を有することを特徴とする発光素子のボンディング方
法。
2. A light emitting element bonding method for bonding a light emitting element to a predetermined position on a substrate, wherein the non-light emitting portion of the light emitting element is held by holding means before bonding. A step of recognizing a light emission center of the light emitting element by causing the light emitting portion to emit light; and bonding the light emitting element held by the holding means on the substrate based on the coordinates of the recognized light emission center. A method for bonding a light emitting device, comprising: positioning the light emitting device on a position; and bonding the light emitting device on the substrate.
【請求項3】請求項2記載のボンディング方法におい
て、前記発光部は発光チップであり、 前記未発光部は前記発光チップに接合されるサブマウン
ト部材であることを特徴とする発光素子のボンディング
方法。
3. The bonding method according to claim 2, wherein said light emitting portion is a light emitting chip, and said non-light emitting portion is a submount member joined to said light emitting chip. .
【請求項4】請求項2記載のボンディング方法におい
て、前記発光素子は複数のチップを連接しており、 いずれか1つのチップを前記発光部とする一方、その他
のチップを前記発光素子を保持するための前記未発光部
とすることを特徴とする発光素子のボンディング方法。
4. The bonding method according to claim 2, wherein the light emitting element is formed by connecting a plurality of chips, and one of the chips is used as the light emitting unit, and the other chip holds the light emitting element. A method for bonding a light emitting element, wherein the non-light emitting portion is used as the light emitting element.
【請求項5】発光素子を基板上の所定の位置にボンディ
ングするための発光素子のボンディング装置であって、 前記発光素子の未発光部を保持するとともに、前記発光
素子を前記基板上のボンディング位置に位置決めするた
めの発光素子保持手段と、 ボンディング前に、前記発光素子保持手段により保持さ
れている該発光素子の発光部を発光させる発光手段と、 前記発光素子の発光中心を認識し、前記認識された発光
中心の座標を画像認識するための撮像手段と、 を備えることを特徴とする発光素子のボンディング装
置。
5. A bonding apparatus for a light emitting element for bonding a light emitting element to a predetermined position on a substrate, the apparatus holding a non-light emitting portion of the light emitting element, and bonding the light emitting element to a bonding position on the substrate. A light emitting element holding means for positioning the light emitting element; a light emitting means for causing a light emitting portion of the light emitting element held by the light emitting element holding means to emit light before bonding; An image pickup means for image-recognizing the coordinates of the light-emitting center thus obtained.
【請求項6】請求項5記載のボンディング装置におい
て、前記発光部は発光チップであり、 前記未発光部は前記発光チップに接合されるサブマウン
ト部材であることを特徴とする発光素子のボンディング
装置。
6. The bonding apparatus according to claim 5, wherein said light emitting portion is a light emitting chip, and said non-light emitting portion is a submount member joined to said light emitting chip. .
【請求項7】請求項5記載のボンディング装置におい
て、前記発光素子は複数のチップを連接しており、 いずれか1つのチップを前記発光部とする一方、その他
のチップを前記発光素子を保持するための前記未発光部
とすることを特徴とする発光素子のボンディング装置。
7. The bonding apparatus according to claim 5, wherein the light emitting element is connected to a plurality of chips, and one of the chips is used as the light emitting unit, and the other chip holds the light emitting element. A bonding device for a light-emitting element, wherein the non-light-emitting portion is a non-light-emitting portion.
JP10354910A 1998-12-14 1998-12-14 Light emitting element array and method and apparatus for bonding it Pending JP2000183404A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10354910A JP2000183404A (en) 1998-12-14 1998-12-14 Light emitting element array and method and apparatus for bonding it

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10354910A JP2000183404A (en) 1998-12-14 1998-12-14 Light emitting element array and method and apparatus for bonding it

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000183404A true JP2000183404A (en) 2000-06-30

Family

ID=18440739

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10354910A Pending JP2000183404A (en) 1998-12-14 1998-12-14 Light emitting element array and method and apparatus for bonding it

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000183404A (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002009380A (en) * 2000-06-21 2002-01-11 Toshiba Corp Bonding device for light emitting element and method therefor
US6369884B1 (en) * 1999-04-12 2002-04-09 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of and apparatus for bonding light-emitting element
JP2011009654A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Fujitsu Ltd Mounting apparatus and mounting method
TWI392123B (en) * 2009-06-29 2013-04-01 Protec Co Ltd Method of manufacturing light emitting diode using submount substrate
JP2015119134A (en) * 2013-12-20 2015-06-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Electronic component mounting system, electronic component mounting method and electronic component mounting device
JP2015126216A (en) * 2013-12-27 2015-07-06 ヤマハ発動機株式会社 Component mounting device
EP2807905B1 (en) 2013-02-28 2015-11-18 A.B. Mikroelektronik Gesellschaft mit beschränkter Haftung Placement method for circuit carrier
WO2016020975A1 (en) * 2014-08-04 2016-02-11 富士機械製造株式会社 Mounting device
US9395054B2 (en) 2012-11-26 2016-07-19 Citizen Electronics Co., Ltd. Light source and lighting device including the same
JP2018529215A (en) * 2015-06-09 2018-10-04 ツェットカーヴェー グループ ゲーエムベーハー Method for positionally accurate mounting of circuit supports
WO2020246339A1 (en) * 2019-06-07 2020-12-10 株式会社ブイ・テクノロジー Bonding device, bonding method, and display device production method

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6369884B1 (en) * 1999-04-12 2002-04-09 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of and apparatus for bonding light-emitting element
JP2002009380A (en) * 2000-06-21 2002-01-11 Toshiba Corp Bonding device for light emitting element and method therefor
JP4537540B2 (en) * 2000-06-21 2010-09-01 株式会社東芝 Light emitting element bonding apparatus and method
JP2011009654A (en) * 2009-06-29 2011-01-13 Fujitsu Ltd Mounting apparatus and mounting method
TWI392123B (en) * 2009-06-29 2013-04-01 Protec Co Ltd Method of manufacturing light emitting diode using submount substrate
US8925188B2 (en) 2009-06-29 2015-01-06 Fujitsu Limited Component mounting apparatus
US9395054B2 (en) 2012-11-26 2016-07-19 Citizen Electronics Co., Ltd. Light source and lighting device including the same
CN108882514A (en) * 2013-02-28 2018-11-23 Ab微电子有限公司 Method for providing and circuit carrier for circuit carrier
US10991632B2 (en) 2013-02-28 2021-04-27 Ab Mikroelektronik Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung Assembly process for circuit carrier and circuit carrier
EP2807905B1 (en) 2013-02-28 2015-11-18 A.B. Mikroelektronik Gesellschaft mit beschränkter Haftung Placement method for circuit carrier
US10672672B2 (en) 2013-02-28 2020-06-02 Ab Mikroelektronik Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung Placement method for circuit carrier and circuit carrier
JP2016181723A (en) * 2013-02-28 2016-10-13 アー.ベー.ミクロエレクトロニク ゲゼルシャフト ミト ベシュレンクテル ハフツング Method of manufacturing circuit carrier, and circuit carrier
US10217675B2 (en) 2013-02-28 2019-02-26 A.B. Mikroelektronik Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung Placement method for circuit carrier and circuit carrier
JP2015119134A (en) * 2013-12-20 2015-06-25 パナソニックIpマネジメント株式会社 Electronic component mounting system, electronic component mounting method and electronic component mounting device
JP2015126216A (en) * 2013-12-27 2015-07-06 ヤマハ発動機株式会社 Component mounting device
JPWO2016020975A1 (en) * 2014-08-04 2017-05-18 富士機械製造株式会社 Mounting device
EP3179523A4 (en) * 2014-08-04 2017-06-14 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Mounting device
CN106537615A (en) * 2014-08-04 2017-03-22 富士机械制造株式会社 Mounting device
US10634325B2 (en) 2014-08-04 2020-04-28 Fuji Corporation Mounting device
WO2016020975A1 (en) * 2014-08-04 2016-02-11 富士機械製造株式会社 Mounting device
US20170227199A1 (en) * 2014-08-04 2017-08-10 Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. Mounting device
US11262056B2 (en) 2014-08-04 2022-03-01 Fuji Corporation Mounting device
US11835207B2 (en) 2014-08-04 2023-12-05 Fuji Corporation Mounting device
JP2018529215A (en) * 2015-06-09 2018-10-04 ツェットカーヴェー グループ ゲーエムベーハー Method for positionally accurate mounting of circuit supports
WO2020246339A1 (en) * 2019-06-07 2020-12-10 株式会社ブイ・テクノロジー Bonding device, bonding method, and display device production method
JP2020202252A (en) * 2019-06-07 2020-12-17 株式会社ブイ・テクノロジー Pasting device, pasting method and method for manufacturing display device
JP7343891B2 (en) 2019-06-07 2023-09-13 株式会社ブイ・テクノロジー Bonding device, bonding method, and display device manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102238649B1 (en) Bonding apparatus of semiconductor chip
US6208419B1 (en) Method of and apparatus for bonding light-emitting element
CN109906029B (en) Electronic component mounting device and electronic component mounting method
US20030046812A1 (en) Chip-mounting device and method of alignment thereof
JP5174583B2 (en) Control method of electronic component mounting apparatus
JPH0746747B2 (en) Semiconductor laser bonding method
JP2000183404A (en) Light emitting element array and method and apparatus for bonding it
JP2000150970A (en) Light emitting device bonding method and equipment
JP2019121796A (en) Use of marker component detached for gradually mounting component onto carrier
JP4328409B2 (en) Light emitting device bonding equipment
KR102379168B1 (en) Bonding apparatus of semiconductor chip
JP2008085322A (en) Mounting apparatus and mounting method
JP2002083827A (en) Manufacturing method and apparatus for semiconductor laser device
JP3747515B2 (en) Chip mounting device
KR20220035085A (en) Bonding apparatus of semiconductor chip
JP3448960B2 (en) Light emitting device assembling apparatus and assembling method
JP3851468B2 (en) Method and apparatus for bonding light emitting components
JP2011181675A (en) Mounting device for circuit component
TW202123392A (en) Electronic component mounting structure, mounting method therefor, led display panel, and led chip mounting method
JP3399334B2 (en) Thermocompression bonding apparatus and thermocompression bonding method for electronic components with bumps
JP4083533B2 (en) Manufacturing method of semiconductor device
KR102220338B1 (en) Apparatus and method of bonding chips
JP2010161293A (en) Treatment device and method using mask
WO2023188500A1 (en) Position alignment device, position alignment method, bonding device, bonding method, and method for manufacturing semiconductor device
JPH0774191A (en) Mounter