JP3977372B2 - Optical module assembly method - Google Patents
Optical module assembly method Download PDFInfo
- Publication number
- JP3977372B2 JP3977372B2 JP2004329962A JP2004329962A JP3977372B2 JP 3977372 B2 JP3977372 B2 JP 3977372B2 JP 2004329962 A JP2004329962 A JP 2004329962A JP 2004329962 A JP2004329962 A JP 2004329962A JP 3977372 B2 JP3977372 B2 JP 3977372B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical element
- substrate
- optical module
- position information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
本発明は、光モジュールの組立てに関し、特に、光モジュール組立ての自動化に適用して有効な技術に関するものである。 The present invention relates to an assembly of an optical module, and more particularly to a technique effective when applied to the automation of assembly of an optical module.
今日の情報化社会では交換される情報の種類も多様化しその量も飛躍的に増大し、大量の情報を伝送する通信手段には更なる大容量化高速化が求められている。このような大容量かつ高速の通信手段として光ファイバーを用いた光通信が重要視されており、光通信ネットワークを拡大し何れは加入者系の末端まで光ファイバーを設置する計画が進行されている。このような光通信の端末装置として、LD(Laser Diode)及びPD(Photo Diode)等の光素子及び光ファイバーを同一基板に固定搭載したハイブリッド構造の光モジュールが用いられている。 In today's information society, the types of information to be exchanged are diversified and the amount thereof is dramatically increased, and communication means for transmitting a large amount of information is required to have a larger capacity and higher speed. Optical communication using an optical fiber is regarded as important as such a large-capacity and high-speed communication means, and plans for expanding the optical communication network and installing an optical fiber up to the end of a subscriber system are in progress. As such an optical communication terminal device, an optical module having a hybrid structure in which an optical element such as an LD (Laser Diode) and a PD (Photo Diode) and an optical fiber are fixedly mounted on the same substrate is used.
このような光モジュールの組立てでは、レーザ光を伝送する光ファイバーを基板に固定し、この光ファイバーにLD或はPDからの光を発光或は受光し、得られる入射パワー或は出射パワーの最大値が得られる位置に位置合わせ固定する方法が採られており、このような実際に光素子を作動させながらアライメントを行う方法はアクティブアライメントと呼ばれている。 In assembling such an optical module, an optical fiber for transmitting laser light is fixed to a substrate, and light from an LD or PD is emitted or received on the optical fiber, and the maximum value of the incident power or output power obtained is A method of aligning and fixing to the obtained position is employed, and such a method of performing alignment while actually operating the optical element is called active alignment.
このような光モジュールの組立てに関しては下記特許文献1にて開示され、また下記非特許文献1に記載されている。 The assembly of such an optical module is disclosed in Patent Document 1 below and described in Non-Patent Document 1 below.
しかしながら、このようなアクティブアライメントでは個々の光モジュール毎に調整が必要となり量産化に向けて大きな障害となっている。このため、光素子を動作させることなく位置合わせを行うパッシブアライメントによって光モジュールを組立てることが望ましいが、現状では必要な位置合わせ精度を得るに到っていない。 However, such active alignment requires adjustment for each individual optical module, which is a major obstacle to mass production. For this reason, it is desirable to assemble the optical module by passive alignment that performs alignment without operating the optical element, but at present, the required alignment accuracy has not been achieved.
またこのような組立てを行っているために、作業の自動化が難しく、今後光モジュールが普及するためには量産性を向上させる必要がある。 Further, since such assembly is performed, it is difficult to automate the work, and it is necessary to improve the mass productivity in order to spread the optical module in the future.
本発明の課題は、光モジュールのパッシブアライメントによる組立てを高精度に行うことが可能な技術を提供することにある。本発明の他の課題は、光モジュールのパッシブアライメントによる組立てを自動化することが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
An object of the present invention is to provide a technique capable of highly accurately assembling an optical module by passive alignment. Another object of the present invention is to provide a technique capable of automating assembly by passive alignment of an optical module.
The above and other problems and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
素子を搭載する基板を固定するステージと、光素子を保持し、この光素子を前記ステージに固定された基板に位置合わせして固着するボンディングユニットとを備えた光モジュール組立装置であって、前記ボンディングユニットは、前記光素子及びステージに固定された基板の位置を認識する検知ユニットによって得られる位置情報に基づいて光素子を基板に対して位置合わせし固着するボンディングヘッドを有し、前記検知ユニットの照明光源は、前記基板に第1の光を照明する第1の照明光源と、前記第1の照明光源とは別に設けられ、かつ前記光素子に第2の光を照明する第2の照明光源とを有する。
Of the inventions disclosed in this application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.
An optical module assembly apparatus comprising: a stage for fixing a substrate on which an element is mounted; and a bonding unit that holds the optical element and aligns and fixes the optical element to the substrate fixed to the stage, The bonding unit includes a bonding head that aligns and fixes the optical element to the substrate based on position information obtained by a detection unit that recognizes the position of the optical element and the substrate fixed to the stage. The illumination light source is provided separately from the first illumination light source that illuminates the substrate with the first light and the first illumination light source, and the second illumination that illuminates the optical element with the second light. A light source.
光素子を搭載する基板を固定するステージと、光素子を保持し、この光素子を前記ステージに固定された基板に位置合わせして固着するボンディングユニットとを備えた光モジュール組立装置であって、前記ボンディングユニットが、前記光素子及びステージに固定された基板の位置を認識する検知ユニットと、この検知ユニットによって得られる位置情報に基づいて光素子を基板に対して位置合わせし固着するボンディングヘッドとを有し、前記検知ユニットの照明光源は、前記光素子の発光面の位置情報を得る光を照明する照明光源を有する。 An optical module assembly apparatus comprising: a stage for fixing a substrate on which an optical element is mounted; and a bonding unit that holds the optical element and aligns and fixes the optical element to the substrate fixed to the stage, A detection unit for recognizing the position of the substrate fixed to the optical element and the stage, and a bonding head for aligning and fixing the optical element to the substrate based on position information obtained by the detection unit; And the illumination light source of the detection unit includes an illumination light source that illuminates light for obtaining positional information of the light emitting surface of the optical element.
上述した手段によれば、パッシブアライメントによって光素子を基板に高精度に固定することができるので、組立て時間が短縮され、自動化も可能となる。このため光モジュールの生産性が向上する。 According to the above-described means, the optical element can be fixed to the substrate with high accuracy by passive alignment, so that the assembly time is shortened and automation is possible. For this reason, the productivity of the optical module is improved.
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
(1)本発明によれば、光モジュールの半導体基板上に光素子をパッシブアライメントによって高精度に位置合わせすることができるという効果がある。
(2)本発明によれば、上記効果(1)により、光モジュールの生産性を短時間で行うことができるという効果がある。
(3)本発明によれば、光モジュールの組立てを自動化することができるという効果がある。
(4)本発明によれば、上記効果(2)(3)により、光モジュールの生産性が向上するという効果がある。
The effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
(1) According to the present invention, there is an effect that the optical element can be aligned with high accuracy by passive alignment on the semiconductor substrate of the optical module.
(2) According to the present invention, the effect (1) has an effect that the productivity of the optical module can be performed in a short time.
(3) According to the present invention, there is an effect that the assembly of the optical module can be automated.
(4) According to the present invention, the effects (2) and (3) have the effect of improving the productivity of the optical module.
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。 Embodiments of the present invention will be described below. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiment, and the repetitive description thereof will be omitted.
図1に示すのは、本発明の一実施の形態である光モジュール組立装置の構成を示す図である。
本実施の形態の光モジュール組立装置は、光素子が搭載される半導体基板1を供給する基板供給手段2と、搭載されるLD3a,PD3b等の光素子3を供給する素子供給手段4と、供給された半導体基板1に光素子3を位置合わせして固着するボンディングユニットと、光素子3の固着が完了した半導体基板1を移送する基板排出手段7とからなっている。ボンディングユニットは、供給された半導体基板1を固定するステージ5と、光素子3を保持し、この光素子3を前記ステージ5に固定された半導体基板1に位置合わせして固着するボンディングヘッド6とを有している。
FIG. 1 shows a configuration of an optical module assembling apparatus according to an embodiment of the present invention.
The optical module assembling apparatus of the present embodiment includes a substrate supply means 2 for supplying a semiconductor substrate 1 on which optical elements are mounted, an element supply means 4 for supplying optical elements 3 such as
基板供給手段としては、ダイシングされた個々の半導体基板1が伸縮性のフィルムによって一体となっているウェハを載置するウェハテーブル8、ウェハテーブル8上の半導体基板1の位置情報を得るためのウェハ認識装置9、前記位置情報に従って半導体基板1を把持し、ステージ5上に移送する基板供給コレット10からなり、作業の進行につれてウェハテーブル8がXY方向に平面移動し供給される半導体基板1を供給位置に移動させる。移動後の供給される半導体基板1の位置をウェハ認識装置9によって位置情報とし、この位置情報に基づいて基板供給コレット10が半導体基板1を取り上げ、ステージ5上に移送する。移送された半導体基板1は直交する2方向(図1では1方向のみ示す)から固定部材11によって押圧され、ステージの側壁12と固定部材11とによってボンディング位置に固定される。
As a substrate supply means, a wafer table 8 on which a wafer in which individual semiconductor substrates 1 that have been diced are integrated by a stretchable film is placed, and a wafer for obtaining positional information of the semiconductor substrate 1 on the wafer table 8 The recognition device 9 includes a substrate supply collet 10 that holds the semiconductor substrate 1 in accordance with the position information and transfers it to the stage 5. As the operation progresses, the wafer table 8 moves in a plane in the XY directions and supplies the supplied semiconductor substrate 1. Move to position. The position of the semiconductor substrate 1 to be supplied after movement is set as position information by the wafer recognition device 9, and the substrate supply collet 10 picks up the semiconductor substrate 1 based on this position information and transfers it onto the stage 5. The transferred semiconductor substrate 1 is pressed by the fixing member 11 from two orthogonal directions (only one direction is shown in FIG. 1), and is fixed to the bonding position by the
素子供給手段4としては、ダイシングされた個々の光素子3が個別に収容されたトレイ13を載置するチップトレイテーブル14、チップトレイテーブル上の光素子の位置情報を得るための素子認識装置15からなり、作業の進行につれてチップトレイテーブル14がXY方向に平面移動し供給される光素子3を供給位置に移動させる。移動後の供給される光素子3の位置を素子認識装置15によって位置情報とし、この位置情報に基づいてボンディングヘッド6が光素子3を吸着し、ステージ5上に移送する。
The element supply means 4 includes a chip tray table 14 on which a
ステージ位置認識装置16としてハロゲンランプ等の赤外線光源17及び検知ユニット18が設けられており、赤外線光源17の光をミラー19によって角度を変えて、半導体基板1の裏面から照射し、半導体基板1を透過して得られた赤外線像から検知ユニット18によって半導体基板1の位置情報を得る。移送された光素子3については可視光光源(後述する)の光によって得られる直視像から検知ユニット18によってその位置情報を得る。
An
こうして得られた位置情報に基づいて、ボンディングヘッド6がXY方向に移動しかつXY方向と直交するZ軸を中心として回動し半導体基板1に対する光素子3の平面位置及び取付け角度の位置合わせを行う。 Based on the position information thus obtained, the bonding head 6 moves in the XY direction and rotates around the Z axis orthogonal to the XY direction to align the planar position and the mounting angle of the optical element 3 with respect to the semiconductor substrate 1. Do.
位置合わせ完了後に、半導体基板1と光素子3とはAu‐Snハンダによってジャンクションダウンで固着される。 After the alignment is completed, the semiconductor substrate 1 and the optical element 3 are fixed to each other by junction with Au—Sn solder.
基板排出手段7としては、光素子3の固着された光モジュール20を移送する基板排出コレット21、移送された光モジュール20を収容するトレイ22を載置するモジュールトレイテーブル23からなり、作業の進行につれてモジュールトレイテーブル23がXY方向に平面移動し移送される光モジュール20の収容位置にモジュールトレイ22を移動させる。
The substrate discharge means 7 includes a
図2は本実施の形態によるボンディングヘッド6を示す縦断面図である。
ボンディングヘッド6は、XY方向に移動可能なアーム24に回転軸受25を介してコレットホルダ26を取付け、このコレットホルダ26に対して中空筒状の鏡筒27が上下方向即ちZ方向の移動及びZ軸を中心とした回動を行う構成となっている。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the bonding head 6 according to this embodiment.
The bonding head 6 has a
鏡筒27は、図2中に断面を示すように、コレットホルダ26に取付けられた2つの軸受けベアリング28と接触し、矢印方向に例えば加圧力調整スプリングのような付勢手段によって付勢されている。従って鏡筒27は常にコレットホルダ26に対して一定の位置関係を保ちながら、コレット回転プーリ29によってZ軸を中心とした回動を行う。
2, the
また、ボンディングヘッド6は鏡筒27の上端に取付けた鍔30と接触するZ軸移動機構(図示せず)によって上下に移動する。
The bonding head 6 is moved up and down by a Z-axis moving mechanism (not shown) that comes into contact with the
鏡筒27の先端にはボンディングコレット31が取付けられており、ボンディングコレット31には光素子の拡大像を得るための対物レンズ32及び光素子を吸着するための真空コレット33が設けられている。真空コレット33は、通常0.3mm乃至0.6mmといった小さな光素子3を取り扱うために、小さな吸着孔を穿った薄い吸着板34と、この吸着板34が真空コレット33内部と外気との圧力差によって変形するのを防止する支持板35とを有している。
A bonding
このボンディングヘッド6では光素子3の位置情報は、ボンディングコレット31の上方に設けた可視光光源36によって真空コレット33に吸着した光素子3を照明し、その像をハーフミラー37に反射して、検知ユニット18である認識用カメラに伝えられることによって得られる。半導体基板1の位置情報は、ステージ5及び半導体基板1を透過した赤外線像が、ボンディングコレット31及び鏡筒27を通ってハーフミラー37に反射し、検知ユニット18である認識用カメラに伝えられることによって得られる。この際に可視光光源36からの光はシャッタ38によって遮断されている。
In this bonding head 6, the position information of the optical element 3 is obtained by illuminating the optical element 3 adsorbed on the
また、位置合わせの段階では半導体基板1と光素子3とが離れているために、認識用カメラの焦点は夫々に異なっており、焦点の変更を行わなければ鮮明な像を得ることができない。このため本実施の形態では焦点補正レンズ39を設けている。通常、半導体基板1の位置に対して光素子3は一定の高さとなっており、焦点補正レンズ39の有無によって、容易に半導体基板1及び光素子3の何れについても鮮明な像を得ることができる。
Further, since the semiconductor substrate 1 and the optical element 3 are separated from each other at the position of alignment, the focus of the recognition camera is different, and a clear image cannot be obtained unless the focus is changed. For this reason, the
本実施の形態では、照明光源36、検知ユニット18及びこれらと検知対象物との光路を調整する光学素子からなる光学系をボンディングヘッド6と一体に構成したが、この光学系をボンディングヘッド6に対して回動又は上下動させる位置調整装置を更に設けてもよい。また、こうした光学系及び位置調整装置をボンディングヘットと一体化せずに独立して設けてもよい。
In the present embodiment, the optical system including the
次に本実施の形態における位置合わせについて、図3を用いてより具体的に説明する。半導体基板1には位置合わせのための4個所のインデクス40及び光ファイバ41固定のためのファイバ溝42が設けられ、LD3a及びPD3bにも夫々2個所に位置合わせのためのインデクス43,44が設けられている。これらのインデクス43を利用して半導体基板1の所定位置に位置を合わせてLD3aを固定する。
Next, the alignment in the present embodiment will be described more specifically with reference to FIG. The semiconductor substrate 1 is provided with four
なお、図中の(a)では、LD3aは光ファイバ41の端面からの反射による損失を防ぐために光ファイバ41の光軸に対してわずか角度をもたせてレーザ光を出射する。従って、LD3a後面からのレーザ光をモニタするPD3bもこのLD3aと同軸線上に固定されている。図中の(b)では、LD3aは工程を簡略化するために光ファイバ41の光軸に対して同軸にレーザ光を出射する。従って、LD3a後面からのレーザ光をモニタするPD3bもこのLD3aと同軸線上に固定されている。
In (a) in the figure, the
半導体基板1のインデクス40及びファイバ溝42は半導体の結晶面によるエッチングの方向性を利用して断面三角形状の溝となっている。このため赤外線光が透過する際に、各インデクス40の斜面によって反射されてしまうために、赤外線光は各インデクス40部分を透過しないので赤外線像では各インデクス40が暗部となって認識されることとなる。
The
光ファイバ41は光素子3取付け後にファイバ溝42に固定されるが、ファイバ溝42が断面三角形状となっているために、上方から光ファイバ41を押圧して固定することによってファイバ溝42と光ファイバ41との位置は精度の高い固定が行われる。
The
また、半導体基板1のインデクス40はファイバ溝42と同一工程にて同一のマスクを用いて行うので、ファイバ溝42と半導体基板1のインデクス40とは常に一定の位置関係が保たれる。
Further, since the
同様に、LD3a及びPD3bのインデクス43,44は発光部或は受光部の素子形成工程によって形成されるので、発光部或は受光部とLD3a及びPD3bのインデクス43,44とは常に一定の位置関係が保たれる。しかしながらLD3aの発光面は劈開によって形成されるために、発光面とLD3aのインデクス43との位置関係は充分な精度で一定の位置関係とはなっていない。また、発光面は赤外線による透過像では明瞭に捕らえることが難しい。
Similarly, since the
このために本実施の形態では可視光光源36を設け、この光源36によって照明し発光面の位置情報を得ている。この発光面の位置情報とLD3aのインデクス43の位置情報に基づいて、LD3aをファイバ溝42に対して一定の位置関係となるべくアーム24の移動及び鏡筒27の回動を行って位置合わせを行い、半導体基板1にLD3aを固定する。この後同様にして、固定されたLD3aの位置情報とPD3bのインデクス44の位置情報に基づいて、PD3bを一定の位置関係となるべく位置合わせを行い、半導体基板1にPD3bを固定する。
For this purpose, in the present embodiment, a visible
次に、このようにして半導体基板1にLD3a及びPD3bを固定した光モジュール20は、パッケージに封止される。図4は光モジュールのパッケージ封止状態を説明する斜視図である。
Next, the
光モジュール20は、セラミック等のパッケージ45に収容固着される。パッケージ45には実装基板に実装される際に光モジュール20の外部端子となるピン46が固定されており、このピン46はパッケージ45に形成された配線47によってパッケージ46内部に設けられた電極48と導通している。
The
一方半導体基板1には複数の配線49が設けられており、この配線49の一端に設けられた電極50とパッケージ45の電極48とがワイヤボンディング等によって導通される。半導体基板1に設けられた配線49の他端は、LD3a或はPD3bと導通される。LD3a及びPD3bは配線49の他端に形成された電極上にジャンクションダウンで固着されており、これによってLD3a或はPD3bの一方の電極が配線49と接続されており、夫々の他方の電極はボンディングワイヤ51等により半導体基板1の配線49の他端に形成された電極52と接続されている。このようにして半導体基板1の固着と配線接続が終了する。
On the other hand, a plurality of
光ファイバ41はパッケージ45の挿入孔53からパッケージ45内に挿入され、半導体基板1のファイバ溝42に押圧され、レジン塗布等の方法によって固定され、このレジン塗布によって挿入孔53も密封される。光ファイバ41の固定後に、パッケージ41はパッケージ41開口をリッド54で覆いリッド54とパッケージ41とをハンダ等によって密封する。
The
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。 Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the above-described embodiment, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Of course.
例えば、光モジュールとしてはLD及びPDが搭載されたものに限定されず、LD或はPDのみを搭載したものにも本発明は適用が可能であり、パッケージとしてもセラミック以外に樹脂封止のものでも適用が可能である。 For example, the optical module is not limited to the one on which LD and PD are mounted, and the present invention can be applied to one on which only LD or PD is mounted. But it can be applied.
1…半導体基板、2…基板供給手段、3…光素子、3a…LD、3b…PD、4…素子供給手段、5…ステージ、6…ボンディングヘッド、7…基板排出手段、8…ウェハテーブル、9…ウェハ認識装置、10…基板供給コレット、11…固定部材、12…側壁、13,22…トレイ、14…チップトレイテーブル、15…素子認識装置、16…ステージ認識装置、17…赤外線光源、18…検知ユニット、19…ミラー、20…光モジュール、21…基板排出コレット、23…モジュールトレイテーブル、24…アーム、25…回転軸受、26…コレットホルダ、27…鏡筒、28…軸受けベアリング、29…コレット回転プーリ、30…鍔、31…ボンディングコレット、32…対物レンズ、33…真空コレット、34…吸着板、35…支持板、36…可視光光源、37…ハーフミラー、38…シャッタ、39…焦点補正レンズ、40,43,44…インデクス、45…パッケージ、46…ピン、47,49…配線、48,50,52…電極、51…ボンディングワイヤ、53…挿入孔、54…リッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Semiconductor substrate, 2 ... Substrate supply means, 3 ... Optical element, 3a ... LD, 3b ... PD, 4 ... Element supply means, 5 ... Stage, 6 ... Bonding head, 7 ... Substrate discharge means, 8 ... Wafer table, DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 ... Wafer recognition apparatus, 10 ... Substrate supply collet, 11 ... Fixing member, 12 ... Side wall, 13, 22 ... Tray, 14 ... Chip tray table, 15 ... Element recognition apparatus, 16 ... Stage recognition apparatus, 17 ... Infrared light source, DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記光素子は、前記光素子の素子形成工程によって形成されるインデクスと、劈開によって形成される発光面とを有し、
前記光素子に照射された光を用いて前記光素子の発光面の位置情報と前記インデクスの位置情報とを得て、前記位置合わせを行うことを特徴とする光モジュールの組立方法。 A stage for fixing the substrate for mounting an optical device, the optical element holding, a method of assembling an optical module for fixing the optical element is aligned to a fixed substrate on the stage,
The optical element has an index formed by an element formation process of the optical element, and a light emitting surface formed by cleavage.
A method of assembling an optical module , wherein the alignment is performed by obtaining position information of a light emitting surface of the optical element and position information of the index using light applied to the optical element.
前記光素子に照射される光は、前記光素子を透過しない光であることを特徴とする光モジュールの組立方法。 In claim 1,
Light irradiated to the optical device is an assembly method of an optical module that being a light not transmitted through the optical element.
前記位置合わせは、前記基板に照射された光を用いて前記基板の位置情報を得て、前記基板の位置情報と、前記光素子の発光面の位置情報と前記インデクスの位置情報とに基づいて行なわれることを特徴とする光モジュールの組立方法。The alignment is performed based on the position information of the substrate, the position information of the light emitting surface of the optical element, and the position information of the index by using the light irradiated on the substrate to obtain the position information of the substrate. An optical module assembling method characterized by being performed.
前記光素子に照射される光は可視光であり、前記基板に照射された光は赤外線であることを特徴とする光モジュールの組立方法。An optical module assembling method, wherein the light applied to the optical element is visible light, and the light applied to the substrate is infrared light.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004329962A JP3977372B2 (en) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | Optical module assembly method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004329962A JP3977372B2 (en) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | Optical module assembly method |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20905898A Division JP3789232B2 (en) | 1998-07-24 | 1998-07-24 | Optical module assembling apparatus and assembling method |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005101643A JP2005101643A (en) | 2005-04-14 |
JP2005101643A5 JP2005101643A5 (en) | 2005-09-15 |
JP3977372B2 true JP3977372B2 (en) | 2007-09-19 |
Family
ID=34464340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004329962A Expired - Fee Related JP3977372B2 (en) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | Optical module assembly method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3977372B2 (en) |
-
2004
- 2004-11-15 JP JP2004329962A patent/JP3977372B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005101643A (en) | 2005-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4143067B2 (en) | System and method for simultaneous precision die bonding of multiple optical elements onto a single substrate | |
EP0404053A2 (en) | Photo-semiconductor module | |
US9679784B2 (en) | Wafer-level packaged optical subassembly and transceiver module having same | |
TWI354914B (en) | Method for locating a light source relative to opt | |
US20170068056A1 (en) | Device mounting apparatus and device mounting method | |
JP2009025458A (en) | Optical module | |
JPH1123914A (en) | Structure for fixing optical element to optical fiber | |
JP3789232B2 (en) | Optical module assembling apparatus and assembling method | |
US7233723B2 (en) | Optoelectronic assembly with coupling features for alignment | |
JP3977372B2 (en) | Optical module assembly method | |
JP2007142371A (en) | Optical module, photoelectric sensor, and method for manufacturing the optical module | |
US7093986B2 (en) | Low cost optical module | |
EP0229557B1 (en) | Method of reciprocally positioning an optical fibre and a semiconductor laser, and positioning apparatus for carrying out this method | |
JPH04241477A (en) | Sub mount for semiconductor device and semiconductor photo device module | |
JP2019186472A (en) | Optical device manufacturing apparatus and optical device manufacturing method | |
JP2016092350A (en) | Electronic component mounting device and electronic component mounting method | |
TW201403157A (en) | Method and apparatus for aligning of opto-electronic components | |
JPH11295561A (en) | Optical semiconductor device and manufacture therefor | |
US6778568B1 (en) | Semiconductor module and method of mounting semiconductor laser element on the same | |
US20190086622A1 (en) | Method for manufacturing optical module, apparatus for manufacturing optical module, and optical module | |
KR100226444B1 (en) | Beam centering system and beam centering method of semiconductor laser module | |
US7004642B2 (en) | Opto-electrical module packaging | |
JPH10197762A (en) | Bidirectional optical module | |
JP2002258118A (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus for optical semiconductor module | |
JP3781233B2 (en) | Component mounting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050608 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060517 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070619 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070620 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100629 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110629 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120629 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120629 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130629 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |