JPH11123648A - Multiple groove roller for wire saw - Google Patents
Multiple groove roller for wire sawInfo
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- JPH11123648A JPH11123648A JP29394697A JP29394697A JPH11123648A JP H11123648 A JPH11123648 A JP H11123648A JP 29394697 A JP29394697 A JP 29394697A JP 29394697 A JP29394697 A JP 29394697A JP H11123648 A JPH11123648 A JP H11123648A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物に砥粒の
存在下でワイヤーを摺動させて溝入れや切断などの加工
を行うワイヤーソーに用いられる多溝ローラに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-groove roller used in a wire saw for performing processing such as grooving and cutting by sliding a wire on a workpiece in the presence of abrasive grains.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シリコンウエハーなどの半導体材料の精
密切断やセラミックス材料の加工などにワイヤーソーが
用いられている。このワイヤーソー１０の基本構成は、
図１に示すように、細いピアノ線等からなるワイヤー１
１が複数のローラ１の間に所定の張力を保って一方向も
しくは往復動自在に支持されており、このワイヤー１１
をシリコン、磁性材料、水晶などの被加工物１２に押し
当て、砥粒を含んだラッピングオイルの存在下で摺動し
て溝入れや切断の加工を行う。上記ローラにはワイヤー
を往復動させるドライブローラＡや被加工物に対してワ
イヤーを支持するヘッドローラＢ，Ｃ等が含まれるが、
いずれのローラにも、その外周面にはワイヤーを装入し
て案内する多数の溝が設けられており、被加工物は溝の
ピッチに応じて加工される。2. Description of the Related Art Wire saws are used for precision cutting of semiconductor materials such as silicon wafers and processing of ceramic materials. The basic configuration of this wire saw 10 is as follows:
As shown in FIG. 1, a wire 1 made of a thin piano wire or the like
1 is supported in one direction or reciprocally while maintaining a predetermined tension between the plurality of rollers 1.
Is pressed against a workpiece 12 such as silicon, magnetic material, crystal, or the like, and is slid in the presence of lapping oil containing abrasive grains to perform grooving or cutting. The rollers include a drive roller A for reciprocating the wire and head rollers B and C for supporting the wire with respect to the workpiece.
Each roller is provided on its outer peripheral surface with a number of grooves for inserting and guiding a wire, and the workpiece is processed in accordance with the pitch of the grooves.
【０００３】従来、多溝ローラはナイロンやウレタン等
の樹脂によって形成されているものが多く、従って溝部
分がワイヤーによる摩耗する。この溝部分の摩耗は均一
ではなくローラの両端部において摩耗が激しい。またロ
ーラ中央部の摩耗は全体としては両端部よりも小さいも
のの必ずしも均一ではなく、場合により一部に摩耗量の
大きな部分が生じることがある。Conventionally, many multi-groove rollers are formed of a resin such as nylon or urethane, so that the groove portions are worn by wires. The wear of the groove portion is not uniform, and the wear is severe at both ends of the roller. Further, although the wear at the roller central portion is smaller than the both end portions as a whole, it is not always uniform, and in some cases, a portion having a large amount of wear may occur.
【０００４】多溝ローラについて摩耗量の具体例を図９
(a)〜(c)に示す。同図のグラフは、樹脂製多溝ローラに
ついて、使用開始から４時間後および２０時間後の溝部
分の摩耗量を示したものである。なお、図９(a)はドラ
イブローラ、(b)(c)はヘッドローラについての測定結果
である。同図に示すように、いずれの場合もローラ両端
部の摩耗量が中央部全体よりも大きいが、長時間使用す
ると溝全体の摩耗量が大きくなり、しかも溝ごとの摩耗
量の相違も大きくなる。なお、本例ではローラ中央部の
溝(溝番号20)の摩耗量が周辺より大きくなっている。FIG. 9 shows a specific example of the amount of wear for a multi-groove roller.
(a) to (c) are shown. The graph in the figure shows the amount of wear of the groove portion of the resin multi-groove roller after 4 hours and 20 hours from the start of use. 9A shows the measurement results for the drive roller, and FIGS. 9B and 9C show the measurement results for the head roller. As shown in the figure, in both cases, the amount of wear at both ends of the roller is larger than that of the entire central portion, but when used for a long time, the amount of wear of the entire groove increases, and the difference in the amount of wear between grooves also increases. . In this example, the wear amount of the groove (groove number 20) at the center of the roller is larger than that of the periphery.
【０００５】[0005]
【発明の解決課題】以上のように、ローラの溝部分の摩
耗量が不均一であると加工精度が低下する問題がある。
特に被加工物にワイヤーが接触するヘッドローラ中央部
の摩耗量が不均一であると加工精度が大きな影響を受け
る。本発明は従来の多溝ローラにおける上記問題を解決
したものであり、ローラ本体部の摩耗量が均一であり、
従って加工精度が高い多溝ローラを提供することを目的
とする。As described above, there is a problem that the processing accuracy is reduced when the wear amount of the groove portion of the roller is not uniform.
In particular, if the amount of wear at the center of the head roller where the wire contacts the workpiece is not uniform, the processing accuracy is greatly affected. The present invention has solved the above-mentioned problem in the conventional multi-groove roller, the wear amount of the roller body is uniform,
Accordingly, it is an object to provide a multi-groove roller having high processing accuracy.
【０００６】[0006]
【課題を解決する手段】すなわち、本発明は、(１)ワイ
ヤーソーに用いられ、ワイヤーが巻装される複数の溝を
表面に有する多溝ローラであって、ローラ端部の溝幅な
いし溝深さがワイヤーを複数回巻き付ける大きさである
ことを特徴とするワイヤーソー用多溝ローラに関する。That is, the present invention relates to (1) a multi-groove roller used on a wire saw and having a plurality of grooves on the surface on which a wire is wound, wherein a groove width or a groove at a roller end is provided. The present invention relates to a multi-slot roller for a wire saw, wherein the depth is large enough to wind a wire a plurality of times.
【０００７】本発明の上記ワイヤーソー用多溝ローラは
以下の態様を含む。 (２)ローラ両端部の溝幅ないし溝深さがワイヤーを複数
回巻き付ける大きさである多溝ローラ。 (３)ローラ端部の溝幅ないし溝深さがローラ本体部の溝
幅ないし溝深さよりも大きい多溝ローラ。 (４)ローラ本体部およびローラ端部の溝幅ないし溝深さ
がワイヤーを複数回巻き付ける大きさである多溝ロー
ラ。 (５)ローラの本体部と端部が分離自在に一体形成されて
おり、ローラ端部の溝幅ないし溝深さがワイヤーを複数
回巻き付ける大きさである多溝ローラ。 (６)ローラ本体部とローラ端部とが異なった材質によっ
て形成されている多溝ローラ。[0007] The multi-slot roller for a wire saw of the present invention includes the following aspects. (2) A multi-groove roller in which the groove width or groove depth at both ends of the roller is large enough to wind the wire a plurality of times. (3) A multi-groove roller in which the groove width or groove depth of the roller end is larger than the groove width or groove depth of the roller body. (4) A multi-groove roller in which the groove width or groove depth of the roller body and the roller end is large enough to wind the wire a plurality of times. (5) A multi-groove roller in which a roller main body and an end are integrally formed so as to be separable, and a groove width or a groove depth of the roller end is large enough to wind a wire a plurality of times. (6) A multi-groove roller in which the roller body and the roller end are formed of different materials.
【０００８】[0008]
【発明の実施形態】以下に本発明を図面に示す実施例を
参照して詳細に説明する。図２(a)(b)はローラ端部にお
けるワイヤーの巻装状態を示す説明図および概略斜視図
であり、図３(a)(b)(c)はその部分断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to embodiments shown in the drawings. FIGS. 2A and 2B are an explanatory view and a schematic perspective view showing a winding state of a wire at a roller end portion, and FIGS. 3A, 3B and 3C are partial sectional views thereof.
【０００９】本発明の多溝ローラ１はワイヤーソー装置
に使用するためのものであって、図示するように、円柱
状の本体部２と端部３を有し、これらの外周表面にワイ
ヤー６が巻装される多数の溝(ワイヤー溝)５が設けられ
ている。本発明の多溝ローラ１は、ローラ端部３の溝幅
ないし溝深さが図示するように、ワイヤー６を複数回巻
き付ける大きさに形成されていることを特徴とする。す
なわち、ローラ端部３の少なくとも１つの溝５は、この
溝５においてワイヤー６が図２(a)のように閉じたルー
プを形成するように多重(少なくとも１回またはそれ以
上)に巻き付けることができる溝幅ないし溝深さを有す
る。ここで、溝幅とは溝5の開口幅Ｗを云い、溝深さと
は溝５の開口表面から溝底に至る垂直長さＤを云う。The multi-groove roller 1 of the present invention is for use in a wire saw device, and has a cylindrical main body portion 2 and end portions 3 as shown in FIG. Are provided with a large number of grooves (wire grooves) 5 around which are wound. The multi-groove roller 1 of the present invention is characterized in that the groove width or groove depth of the roller end portion 3 is formed in a size to wind the wire 6 a plurality of times as shown in the figure. That is, at least one groove 5 of the roller end 3 may be wrapped (at least once or more) so that the wire 6 forms a closed loop as shown in FIG. Have a possible groove width or groove depth. Here, the groove width refers to the opening width W of the groove 5, and the groove depth refers to the vertical length D from the opening surface of the groove 5 to the groove bottom.
【００１０】このように、ローラの端部３、好ましくは
両側端部３a,３bの少なくとも１つの溝５が上記溝幅Ｗ
ないし溝深さＤを有し、該溝５にワイヤー６を多重に巻
装して少なくとも１つの溝で閉じたループを形成するこ
とにより、ワイヤー６がローラ端部を１周またはそれ以
上に亘って接触することになるので、ワイヤー６が他の
部分よりも大きな摩擦力によって支えられており、ワイ
ヤー５の張力の変動が実質的にこの端部３で吸収され、
緩和される。このため、ローラ本体部２でのワイヤー張
力の変動が少なく、溝５の摩耗量が均一になる。一方、
従来の多溝ローラは、ワイヤー６が各溝に１本ずつ巻装
され、開いた状態のループを形成するためワイヤー５は
溝５の外周の一部にしか接触しない。従って、ワイヤー
５の張力の変動が隣接する溝に伝わり易く、ワイヤー本
体部２の溝の摩耗量が不均一になる。As described above, at least one groove 5 at the end portion 3 of the roller, preferably at both end portions 3a and 3b, has the above-mentioned groove width W.
Or having a groove depth D, and wrapping the wire 6 in the groove 5 multiple times to form a loop closed by at least one groove, so that the wire 6 extends around the end of the roller one or more times. The wire 6 is supported by a greater frictional force than the other parts, and the fluctuation of the tension of the wire 5 is substantially absorbed at this end 3,
Be relaxed. For this reason, the fluctuation of the wire tension in the roller body 2 is small, and the wear amount of the groove 5 becomes uniform. on the other hand,
In the conventional multi-groove roller, the wire 6 is wound one by one in each groove and forms a loop in an open state, so that the wire 5 contacts only a part of the outer periphery of the groove 5. Therefore, the fluctuation of the tension of the wire 5 is easily transmitted to the adjacent groove, and the wear amount of the groove of the wire body 2 becomes uneven.
【００１１】ローラ端部の溝の具体的な形状を図３(a)
〜(c)に示す。図中、中央より左側がローラ端部、右側
がローラ本体部である。図３(a)(c)はローラ端部の溝５
ａが逆三角形状であって、ワイヤー６を２段に３回巻装
する溝幅Ｗと溝深さＤを有する例である。また、図３
(b)は溝５ａが浅く、ワイヤー６を並列に３回巻装する
溝幅Ｗを有する例である。FIG. 3A shows the specific shape of the groove at the roller end.
To (c). In the drawing, the left side from the center is the roller end, and the right side is the roller body. FIGS. 3 (a) and 3 (c) show the groove 5 at the end of the roller.
In this example, a is an inverted triangular shape, and has a groove width W and a groove depth D for winding the wire 6 three times in two steps. FIG.
(b) is an example in which the groove 5a is shallow and has a groove width W for winding the wire 6 three times in parallel.
【００１２】ローラ端部の溝５ａと本体部の溝５ｂと
は、図３(a)(b)のように異なった溝幅ないし溝深さに形
成してもよく、図３(c)のように同一の大きさに形成し
ても良い。図３(a)(b)では、本体部の溝５ｂは１本のワ
イヤー６が装入される大きさを有しており、ローラ端部
の溝５ａはワイヤー６を多重に巻装する大きさを有して
いる。また、図３(c)では、ローラ端部と本体部の溝が
いずれもワイヤー６を多重に巻装する大きさを有してい
る。The groove 5a at the roller end and the groove 5b at the main body may be formed to have different groove widths or groove depths as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). As described above, they may be formed in the same size. In FIGS. 3A and 3B, the groove 5b of the main body has a size in which one wire 6 is inserted, and the groove 5a at the end of the roller has a size in which the wire 6 is wound in multiple layers. Have. In FIG. 3C, both the roller end and the groove of the main body have a size that allows the wire 6 to be wrapped in multiple layers.
【００１３】なお、図示する例ではローラ端部の溝幅Ｗ
および溝深さＤが、ワイヤー６を３回巻装できる大きさ
のものを示したが、巻装回数は図示する例に限定されな
い。図２(a)に示すように、１つの溝で閉じたループを
形成するように１回あるいは１回以上巻装できる大きさ
であれば良い。また、端部の溝の数も制限されない。経
済性および技術的効果から、端部の溝数は２〜３本で足
り、その大きさもワイヤーが２〜３回巻装できるもので
あれば良い。In the illustrated example, the groove width W at the roller end is shown.
Although the groove depth D is large enough to wind the wire 6 three times, the number of winding times is not limited to the illustrated example. As shown in FIG. 2 (a), any size may be used as long as it can be wound once or more than once so as to form a closed loop with one groove. Also, the number of grooves at the end is not limited. From the viewpoint of economy and technical effect, the number of grooves at the end portion is sufficient to be two or three, and the size may be any as long as the wire can be wound two or three times.
【００１４】本発明の多溝ローラにおいて、以上の溝幅
Ｗおよび溝深さＤを有する溝５は一方のローラ端部に設
けても良く、あるいは両端部に設けても良い。両端部に
設ければローラ本体部の摩耗量は一層均一になる。な
お、一方の端部に設ける場合にはワイヤー張力を強く受
ける側に設けることが望ましい。また、上記溝５を両端
部に設ける場合、それぞれの溝５の形状は同一でも良
く、あるいは異なっても良い。これらの使用形態は各種
条件に応じて適宜選択すれば良い。In the multi-groove roller of the present invention, the grooves 5 having the above-mentioned groove width W and groove depth D may be provided at one roller end or at both ends. If it is provided at both ends, the amount of wear of the roller body becomes even more uniform. In addition, when providing at one end part, it is desirable to provide on the side which receives wire tension strongly. When the grooves 5 are provided at both ends, the shapes of the grooves 5 may be the same or different. These usage forms may be appropriately selected according to various conditions.
【００１５】本発明の多溝ローラの材質は限定されず、
金属、樹脂、セラミックス等、あるいは前記材料を組み
合わせて用いることができる。セラミックスの種類は限
定されず、例えば、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、
窒化珪素、サーメット、サファイアなどを用いることが
できる。The material of the multi-groove roller of the present invention is not limited.
Metals, resins, ceramics, and the like, or a combination of the above materials can be used. The type of ceramics is not limited, for example, alumina, zirconia, silicon carbide,
Silicon nitride, cermet, sapphire, or the like can be used.
【００１６】以上説明した本発明の多構ローラは本体部
の溝の摩耗が均等で一定しており、従って加工精度に優
れる。本発明の多溝ローラについて溝部分の摩耗量の具
体例を図８(a)〜(c)に示す。同図のグラフは、樹脂製多
溝ローラについて、使用開始から４時間後および１３時
間後の溝部分の摩耗量を示したものである。ローラ端部
の溝の形状およびワイヤーの巻装状態は図３(a)に示す
ものを用いた。なお、図８(a)はドライブローラ、(b)
(c)はヘッドローラについての測定結果である。従来例
の図９のグラフと比較から明らかように、本発明に係る
多溝ローラの本体部の溝の摩耗量は少なく、均一であっ
て一定している。本体部の中央には従来のような異常摩
耗もみられない。The multi-structure roller of the present invention described above has uniform and uniform wear of the grooves in the main body, and therefore has excellent processing accuracy. 8 (a) to 8 (c) show specific examples of the wear amount of the groove portion of the multi-groove roller of the present invention. The graph in the figure shows the wear amount of the groove portion of the resin multi-groove roller after 4 hours and 13 hours from the start of use. The shape of the groove at the roller end and the winding state of the wire used were those shown in FIG. FIG. 8A shows a drive roller, and FIG.
(c) is a measurement result for the head roller. As is clear from the comparison with the graph of FIG. 9 of the conventional example, the amount of wear of the groove of the main body of the multi-groove roller according to the present invention is small, uniform and constant. No abnormal wear is observed in the center of the main body as in the prior art.
【００１７】このように、本発明の多溝ローラは本体部
の摩耗量が少なく、均一である。一方、ローラ端部には
ワイヤーが多重に巻装されるためにワイヤーの張力によ
る負荷が本体部よりも大きく摩耗も激しい。そこで、摩
耗の激しい端部をローラ本体部から着脱自在に一体形成
することにより、多溝ローラの経済性ないし耐久性を高
めることができる。この例を図４〜図７に示す。As described above, the multi-groove roller of the present invention has a small amount of wear on the main body and is uniform. On the other hand, since the wire is wound multiple times at the roller end, the load due to the tension of the wire is greater than that of the main body, and the wear is severe. Therefore, by forming the severely worn end portion detachably and integrally from the roller main body portion, the economy or durability of the multi-groove roller can be improved. This example is shown in FIGS.
【００１８】図４、図５はローラ端部とローラ本体部が
分離自在に一体形成された多溝ローラの概略斜視図であ
り、図４はローラ端部が本体部に取付られて一体形成さ
れた状態を示し、図５は両端部を本体部から外した状態
を各々示す。図示する多溝ローラ１はローラ端部３と本
体部２とが分離自在に一体形成されており、該端部３が
容易に本体部３から取外して交換できるように形成され
ている。図５に示すように、好ましくは、多溝ローラ１
の両側の端部３ａ,３ｂが着脱自在に形成されている。FIGS. 4 and 5 are schematic perspective views of a multi-groove roller in which a roller end and a roller main body are integrally formed so as to be separable, and FIG. 4 is a diagram in which the roller end is attached to the main body and integrally formed. FIG. 5 shows a state in which both ends are removed from the main body. In the illustrated multi-groove roller 1, a roller end 3 and a main body 2 are integrally formed so as to be separable, and the end 3 is formed so that it can be easily removed from the main body 3 and replaced. Preferably, as shown in FIG.
The ends 3a and 3b on both sides of the cover are detachably formed.
【００１９】ローラの端部と本体部との取付状態の例を
図６(a)〜(c)に示す。同図(a)は、本体部２の側端から
突出す回転軸４にローラ端部３を嵌着して本体部２にネ
ジ止めする例であり、同図(b)は回転軸４を有する端部
３を本体部２に同軸にネジ止めする例である。また、同
図(c)は端部３を本体部２の回転軸４に同軸に嵌着して
ピン８により固定した例である。図示する何れの場合
も、ネジ７ないしピン８を外して端部３を本体部２から
取り外すことができる。FIGS. 6 (a) to 6 (c) show examples of the state of attachment between the end of the roller and the main body. FIG. 1A shows an example in which a roller end 3 is fitted to a rotating shaft 4 protruding from a side end of the main body 2 and screwed to the main body 2, and FIG. This is an example in which the end portion 3 having the end portion 3 is coaxially screwed to the main body portion 2. FIG. 3C shows an example in which the end 3 is coaxially fitted to the rotating shaft 4 of the main body 2 and fixed by the pin 8. In any case shown, the end 7 can be removed from the main body 2 by removing the screw 7 or the pin 8.
【００２０】ローラ端部と本体部を分離自在に形成した
上記構成においても、ローラ端部の溝の形状を本発明に
従い、例えば図３と同様に形成することにより、ローラ
本体部の摩耗が均一で加工精度に優れる多溝ローラを得
ることができる。この態様を図７(a)(b)(c)に示す。同
図(a)(b)(c)の溝の形状は図３(a)(b)(c)に示すものと同
じである。すなわち、図７(a)(c)はローラ端部の溝５ａ
が逆三角形状であって、ワイヤー６を２段に３回巻装す
る溝幅Ｗと溝深さＤを有する例であり、また、図７(b)
は溝５ａが浅く、ワイヤー６を並列に３回巻装する溝幅
Ｗを有する例である。本体部２の溝５ｂは端部３の溝５
ａと同一でもよく、異なった大きさでも良い。In the above-described configuration in which the roller end portion and the main body portion are formed so as to be separable, by forming the shape of the groove at the roller end portion in accordance with the present invention, for example, as shown in FIG. Thus, a multi-groove roller excellent in processing accuracy can be obtained. This aspect is shown in FIGS. 7 (a), (b) and (c). The shapes of the grooves in FIGS. 3A, 3B, and 3C are the same as those shown in FIGS. 3A, 3B, and 3C. That is, FIGS. 7A and 7C show the groove 5a at the roller end.
Is an inverted triangular shape, and has a groove width W and a groove depth D in which the wire 6 is wound three times in two steps, and FIG. 7 (b)
Is an example in which the groove 5a is shallow and has a groove width W for winding the wire 6 three times in parallel. The groove 5b of the body 2 is the groove 5 of the end 3.
It may be the same as a or a different size.
【００２１】本体部２と端部３とを分離自在に形成すれ
ば、本体部２と端部３を独立に制作できるので、これら
の溝を互いに異なる形状に形成するのが容易である。ま
た、本体部と端部を異なった材質で形成することができ
る。例えば、ローラ全体を樹脂によって製造すれば安価
であるがローラ端部の溝摩耗が激しく耐久性に乏しいた
め加工精度が低下する。ところが、ローラの本体部と端
部とを分離自在に形成すれば、摩耗の激しい端部を本体
部から取り外して交換できるので多溝ローラの寿命を高
めることができる。また、ローラの溝部分全体をセラミ
ックスで製造すれば耐久性は向上するが高価である。そ
こで、例えば、本体部の少なくとも溝部分をセラミック
スによって形成する一方、摩耗が激しい端部を樹脂によ
って形成すれば、摩耗した端部を随時取り替えて本体部
を継続して使用することができ、経済性の高いローラを
得ることができる。あるいは、比較的摩耗の少ない本体
部を樹脂によって形成し、摩耗の激しい端部を耐久性に
優れたセラミックスによって形成することにより、ロー
ラ全体の耐久性を高めることができる。If the main body 2 and the end 3 are formed so as to be separable, the main body 2 and the end 3 can be manufactured independently, so that it is easy to form these grooves in different shapes. Further, the main body and the end can be formed of different materials. For example, if the whole roller is made of resin, it is inexpensive, but the groove at the end of the roller is severely worn and the durability is poor, so that the processing accuracy is reduced. However, if the main body and the end of the roller are formed to be separable, the end of the multi-groove roller can be prolonged since the end of the roller that is severely worn can be removed and replaced. If the entire groove portion of the roller is made of ceramics, the durability is improved but the cost is high. Therefore, for example, if at least the groove portion of the main body portion is formed of ceramics and the end portion with severe wear is formed of resin, the main body portion can be continuously used by replacing the worn end portion as needed. A roller having high performance can be obtained. Alternatively, the durability of the roller as a whole can be increased by forming the body portion with relatively little wear from resin and forming the end portion with severe wear from ceramics having excellent durability.
【００２２】本発明の上記多溝ローラにおいて、ローラ
端部および本体部に設けられているワイヤー溝の数、溝
のピッチ数など本発明の効果を妨げない構成については
何ら限定されない。また、本発明の多溝ローラは、ワイ
ヤーソー装置において、全てのローラに適用しても良
く、或いは部分的に用いても良い。In the multi-groove roller of the present invention, there is no particular limitation on the configuration which does not hinder the effects of the present invention, such as the number of wire grooves provided on the roller end and the main body, and the number of groove pitches. Further, the multi-groove roller of the present invention may be applied to all rollers or may be partially used in a wire saw device.
【００２３】[0023]
【発明の効果】本発明の多溝ローラは、ローラ本体部の
溝の摩耗が均一であるので加工精度を高めることができ
る。また、ローラ端部と本体部とを分離自在に形成する
ことにより、端部と本体部において形状が異なった溝を
容易に形成することができる。さらに、摩耗の激しいロ
ーラ端部を着脱自在に設けることにより、ローラ端部を
適宜取り替え、摩耗の少ない本体部を引き続いて使用す
ることができるため使用寿命が延び経済性に優れる。こ
の場合、ローラ端部と本体部とを異なった材質で形成す
ることにより経済性および耐久性を更に向上することが
できる。According to the multi-groove roller of the present invention, the processing accuracy can be improved because the wear of the groove of the roller body is uniform. Further, by forming the roller end portion and the main body portion so as to be separable, grooves having different shapes at the end portion and the main body portion can be easily formed. Furthermore, by providing the end of the roller where the abrasion is severely provided, the end of the roller can be appropriately replaced and the main body with less wear can be continuously used, so that the service life is extended and the economy is excellent. In this case, economy and durability can be further improved by forming the roller end and the main body with different materials.
【図１】 ワイヤーソーの基本構成を示す概念図。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a basic configuration of a wire saw.
【図２】 ワイヤーの巻装状態を示す説明図であり、
(ａ)は本発明の巻装状態を示し、(ｂ）は従来の巻装状
態を示す。FIG. 2 is an explanatory view showing a winding state of a wire;
(a) shows the winding state of the present invention, and (b) shows the conventional winding state.
【図３】(ａ)(ｂ)(ｃ) 本発明の多溝ローラの溝部分の
概略断面図。FIGS. 3A, 3B, and 3C are schematic cross-sectional views of a groove portion of the multi-groove roller of the present invention.
【図４】 本発明の多溝ローラの概略を示す外観斜視
図。FIG. 4 is an external perspective view schematically showing a multi-groove roller of the present invention.
【図５】 多溝ローラの本体部から両端部を外した状態
を示す概略斜視図。FIG. 5 is a schematic perspective view showing a state where both ends are removed from a main body of the multi-groove roller.
【図６】(ａ)(ｂ)(ｃ) 本発明に係る多溝ローラの本体
部と端部の取付状態を示す概略斜視図。FIGS. 6A, 6B, and 6C are schematic perspective views showing a mounting state of a main body and an end of the multi-groove roller according to the present invention.
【図７】ローラ端部と本体部が分離自在な多溝ローラに
おける溝部分の概略断面図FIG. 7 is a schematic sectional view of a groove portion in a multi-groove roller in which a roller end portion and a main body portion are separable.
【図８】(ａ)(ｂ)(ｃ) 本発明の多溝ローラＡ〜Ｃの溝
部分の摩耗量を示すグラフ。8 (a), (b) and (c) are graphs showing the amount of wear of the groove portions of the multi-groove rollers A to C of the present invention.
【図９】(ａ)(ｂ)(ｃ) 従来の多溝ローラＡ〜Ｃの溝部
分の摩耗量を示すグラフ。9 (a), (b) and (c) are graphs showing the amount of wear in the groove portions of conventional multi-groove rollers A to C. FIG.
１−多溝ローラ、２−ローラの本体部、３−ローラの端
部、４−回転軸、５−ワイヤー溝、６−ワイヤー、１０
−ワイヤーソー、１１−ワイヤー、１２−被加工物、Ａ
−ドライブローラ、Ｂ，Ｃ−ヘッドローラ1-multi-groove roller, 2-roller body, 3-roller end, 4-rotation shaft, 5-wire groove, 6-wire, 10
-Wire saw, 11-wire, 12-workpiece, A
-Drive rollers, B, C-Head rollers
Claims (6)
装される複数の溝を表面に有する多溝ローラであって、
ローラ端部の溝幅ないし溝深さがワイヤーを複数回巻き
付ける大きさであることを特徴とするワイヤーソー用多
溝ローラ。1. A multi-groove roller for use in a wire saw, the surface of which has a plurality of grooves around which the wire is wound,
A multi-groove roller for a wire saw, wherein a groove width or a groove depth at a roller end is a size to wind a wire a plurality of times.
ヤーを複数回巻き付ける大きさである請求項１に記載の
ワイヤーソー用多溝ローラ。2. The multi-slot roller for a wire saw according to claim 1, wherein a groove width or a groove depth at both end portions of the roller is large enough to wind the wire a plurality of times.
本体部の溝幅ないし溝深さよりも大きい請求項１または
２に記載のワイヤーソー用多溝ローラ。3. The multi-slot roller for a wire saw according to claim 1, wherein a groove width or a groove depth of the roller end is larger than a groove width or a groove depth of the roller body.
いし溝深さがワイヤーを複数回巻き付ける大きさである
請求項１または２に記載のワイヤーソー用多溝ローラ。4. The multi-slot roller for a wire saw according to claim 1, wherein a groove width or a groove depth of the roller body and the roller end is large enough to wind the wire a plurality of times.
形成されており、ローラ端部の溝幅ないし溝深さがワイ
ヤーを複数回巻き付ける大きさである請求項１〜４のい
ずれかに記載のワイヤーソー用多溝ローラ。5. The roller according to claim 1, wherein a main body and an end of the roller are integrally formed so as to be separable, and a groove width or a groove depth of the roller end is large enough to wind a wire a plurality of times. A multi-groove roller for a wire saw according to item 1.
材質によって形成されている請求項５に記載のワイヤー
ソー用多溝ローラ。6. The multi-slot roller for a wire saw according to claim 5, wherein the roller body and the roller end are formed of different materials.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29394697A JPH11123648A (en) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | Multiple groove roller for wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29394697A JPH11123648A (en) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | Multiple groove roller for wire saw |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11123648A true JPH11123648A (en) | 1999-05-11 |
Family
ID=17801229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29394697A Withdrawn JPH11123648A (en) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | Multiple groove roller for wire saw |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11123648A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007175784A (en) * | 2005-12-26 | 2007-07-12 | Kyocera Corp | Wire saw device |
| US20080264228A1 (en) * | 2007-04-25 | 2008-10-30 | Siltronic Ag | Wire Guide Roll For Wire Saw |
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| CN104476687A (en) * | 2014-11-06 | 2015-04-01 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | Multi-wire cutting guide wheel and wiring method |
| CN104526890A (en) * | 2014-12-11 | 2015-04-22 | 河北同光晶体有限公司 | Sheave for multi-line cutting |
-
1997
- 1997-10-27 JP JP29394697A patent/JPH11123648A/en not_active Withdrawn
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| US10245661B2 (en) * | 2007-04-25 | 2019-04-02 | Siltronic Ag | Wire guide roll for wire saw and method |
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