JPH11119204A - Substrate with color filter - Google Patents

Substrate with color filter

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JPH11119204A
JPH11119204A JP28340797A JP28340797A JPH11119204A JP H11119204 A JPH11119204 A JP H11119204A JP 28340797 A JP28340797 A JP 28340797A JP 28340797 A JP28340797 A JP 28340797A JP H11119204 A JPH11119204 A JP H11119204A
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JP
Japan
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substrate
recognition information
cut
mother
color filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP28340797A
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Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Goto
Takehiro Kakinuki
Tetsuo Suzuki
剛広 垣貫
哲哉 後藤
哲男 鈴木
Original Assignee
Toray Ind Inc
東レ株式会社
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate the management of the number of sheets in physical distribution management and inspection stage of substrates by enabling the recognition of the substrates regardless of the states of the substrates no matter the substrates are mother substrates or cut substrates.
SOLUTION: Color filters are formed by providing the surface of the transparent substrate with black matrixes and arraying plural rows of respective colored layers consisting of three primary colors thereon. At the time of forming the black matrices or the respective colored layers on the substrate, a photosensitive paste or nonphotosensitive paste and a photosensitive resist are superposed in a lamination state on the substrate and thereafter the formation of recognition information is executed as well at the time of patterning the laminate to prescribed patterns. The recognition information is used for the execution of system management for the process history of the substrates and assortment at the time of shipping and packing. The information which may be recognized by the recognition information include the kinds of the color filters, IDs, such as date of production, series, surface numbers and serial numbers, the material quality of the substrates, front and rear, up and down, etc., and may be properly selected or may be used in combination according to the purposes of use of the recognition information.
COPYRIGHT: (C)1999,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、LCD用カラーフィルタ付き基板に関するものである。 The present invention relates to relates to a substrate with a color for the LCD filters.

【0002】 [0002]

【従来の技術】LCD用カラーフィルタの製造プロセスでは、基板上に顔料などで着色したポジ型またはネガ型の感光性樹脂、あるいは着色した非感光性樹脂の上に感光性樹脂を積層状態に塗布し、フォトリソグラフィ法によって所望のパターンを形成させる製造方法が主流となっている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Production process of color for an LCD filter, applying positive or negative photosensitive resin colored such pigments onto a substrate, or a photosensitive resin on the colored non-photosensitive resin laminate state and manufacturing method of forming a desired pattern by photolithography is mainly used. しかし、フォトリソグラフィ法による製造方法では、工程数が多く非常に製造コストがかかるという問題点を抱えている。 However, in the manufacturing method according to a photolithography method, it suffers from a problem that the number of steps is more highly produced costly.

【0003】カラーフィルタに使用するマザー基板は、 [0003] The mother substrate used in the color filter,
当初300×400mm程度の基板が用いられていたが、このマザー基板からは10inch級のカラーフィルタを2ピース製造することが可能であった。 It had been used is originally 300 × 400 mm about the substrate, from the mother board was possible to two-piece manufacture color filters 10inch class. その後、 after that,
マザー基板のサイズが360×465mm程度に大判化され、10inch級のカラーフィルタを4ピース製造することが可能となった。 The size of a mother substrate is large-sized into approximately 360 × 465 mm, it has become possible to 4 pieces produce 10inch grade color filters. その結果、製造コストの低減がなされた。 As a result, reduction in manufacturing cost has been made. しかし、カラーフィルタの大画面化が進み、12inch級以上のカラーフィルタが製造の主流をしめるようになった。 However, a large screen of the color filter proceeds, 12inch class or higher color filter has come to occupy the mainstream of production. 360×465mm級の基板では、12inch級のカラーフィルタは2ピースしか製造することができないため、更なるマザー基板の大判化が行われた。 The 360 ​​× 465 mm grade substrate, 12inch grade color filter because it can not be only two pieces for producing large format of further mother substrate is performed.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、マザー基板の大判化により、次のような問題点が生じた。 The object of the invention is to be Solved However, the large format of the mother board, the following problems occur.

【0005】360×465mm級基板までは、アレイ基板とカラーフィルタのマザー基板との間での一体貼りが可能であった。 [0005] up to 360 × 465mm class substrate, were able to paste together between the mother board of the array substrate and the color filter. しかし、さらに大きな基板に対しては一体貼りが不可能であるため、マザー基板を所定サイズにカットする必要性が発生した。 However, since more integral bonding is not possible for a large substrate, the need to cut the mother substrate into a predetermined size has occurred.

【0006】カラーフィルタの製造工程は非常に煩雑で工程数も多い。 [0006] The manufacturing process of the color filter is very complicated and the number of steps often. そのため基板の物流管理や検査工程等で基板の枚葉管理を行う必要がある。 Therefore it is necessary to perform sheet management board in logistics management and inspection processes of the substrate. 360×465mm 360 × 465mm
級の基板までは一体貼りであったため、マザー基板上に認識情報を少なくとも1箇所配置することで、基板の枚葉管理を行うことが可能であった。 Since up to grade substrates were integrally bonded, by placing at least one place recognition information on the mother board, it was possible to carry out the sheet management board.

【0007】しかし、550×650mm級以上の基板については、一体貼りが厳しいため、マザー基板を所定サイズにカットする必要があるが、従来技術ではカット基板の枚葉管理を行うことができない。 [0007] However, for the 550 × 650mm grade or more substrates, for integral bonding is severe, it is necessary to cut the mother substrate into a predetermined size, it is impossible to perform the single wafer management of the cut substrate in the prior art.

【0008】本発明はかかる従来技術の欠点を改良し、 [0008] The present invention is to improve the drawbacks of the prior art,
基板の状態に関係なく枚葉管理が行えるカラーフィルタ付き基板を提供することを目的とする。 And to provide a color filter-bearing substrate capable of performing single wafer management regardless of the state of the substrate.

【0009】 [0009]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するため、本発明においては以下の構成を採用する。 To achieve the above object, according to an aspect of, the present invention adopts the following configurations. すなわち、 (1)カラーフィルタ付き基板を所定サイズにカットする以前の基板をマザー基板と呼び、該マザー基板を所定サイズにカットした1個あるいは複数個の基板をカット基板と呼んだとき、該マザー基板および該カット基板において、該基板の種類およびIDの認識が可能である認識情報を少なくとも1箇所以上具備したカラーフィルタ付き基板。 That is, (1) calls with a color filter substrate and the mother board previous substrate to be cut into a predetermined size, when called with one or cut substrate a plurality of substrates cut the mother substrate into a predetermined size, the mother in the substrate and the cut substrate, a color filter substrate with the recognition information are possible recognition of the type and ID of the substrate equipped least at one location.

【0010】(2)前記マザー基板の種類およびIDを認識するために該マザー基板時に使用する前記認識情報と該マザー基板の基板基準との相対位置、および前記カット基板の種類およびIDを認識するために該カット基板時に使用する前記認識情報と該カット基板の基板基準との相対位置が異なることを特徴とする前記(1)に記載のカラーフィルタ付き基板。 [0010] (2) recognizes the relative position of the substrate reference recognition information and the mother board, and the type and ID of the cut substrate to be used when the mother board in order to recognize the type and ID of the mother board the recognition information and the color filter-bearing substrate according to (1) the relative position of the substrate reference of the cut substrate are different from each other to be used when the cutting board for.

【0011】(3)前記マザー基板上に、該マザー基板に該基板の種類およびIDを認識するために使用する前記認識情報と、該マザー基板がカットされて前記カット基板になったときに該基板の種類およびIDを認識するために使用する前記認識情報とが、該マザー基板の基板中心に対して非対称に配置されていることを特徴とする前記(1)または(2)に記載のカラーフィルタ付き基板。 [0011] (3) the mother on the substrate, and the recognition information used to recognize the type and ID of the substrate to the motherboard, the when the mother substrate becomes the cut substrate is cut color according to (1) or (2) to said recognition information to be used to recognize the type and ID of the substrate, characterized in that it is arranged asymmetrically with respect to the substrate center of the mother substrate substrate with the filter.

【0012】(4)前記マザー基板の種類およびIDを認識するために使用する前記認識情報が前記カット基板外に配置されていることを特徴とする前記(1)、 [0012] (4) the said recognition information to be used to recognize the type and ID of the mother substrate is characterized in that it is arranged outside the cut substrate (1),
(2)または(3)に記載のカラーフィルタ付き基板。 (2) or with a color filter substrate according to (3).

【0013】(5)前記マザー基板上に存在する前記認識情報の個数が、前記カット基板の個数と等しいかまたは多いことを特徴とする前記(1)〜(4)のいずれかに記載のカラーフィルタ付き基板。 [0013] (5) the number of the recognition information present in the mother substrate is a color according to any one of (1) to (4), wherein the or more equal-cut substrate the number of substrate with the filter.

【0014】(6)露光装置またはフォトマスクとして液晶表示基板を用いた露光装置を用いて前記認識情報を形成することを特徴とする前記(1)〜(5)のいずれかに記載のカラーフィルタ付き基板。 [0014] (6) color filter according to any one of the exposure device or the, characterized in that to form the recognition information by using the exposure apparatus using the liquid crystal display substrate as a photomask (1) to (5) board attached.

【0015】(7)前記認識情報が、数字、アルファベット、ひらがな、カタカナ、1次または2次元バーコード、または幾何学記号から選ばれた少なくとも1種から形成されていることを特徴とする前記(1)〜(6)のいずれかに記載のカラーフィルタ付き基板。 [0015] (7) the recognition information, numbers, alphabets, hiragana, katakana, wherein, characterized in that formed from the primary or two-dimensional bar code at least one or selected from the geometrical symbol, ( with a color filter substrate according to any one of 1) to (6).

【0016】 [0016]

【発明の実施の形態】次に本発明の好ましい実施の形態について説明する。 The preferred embodiment of the DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will now be described.

【0017】本発明のカラーフィルタは、透明基板上にブラックマトリックスを設け、さらにその上に3原色からなる各着色層を複数列配列したものである。 [0017] The color filter of the present invention, a black matrix provided on a transparent substrate, in which the respective colored layers of three primary colors further thereon a plurality column array. ブラックマトリックスとしては、樹脂および遮光剤からなる樹脂ブラックマトリックスを用いても、Cr,Ni等の金属やこれらの酸化物からなる不透明膜を用いたものを用いてもよい。 The black matrix, by using a resin black matrix comprising resin and light-shielding agent, Cr, may also be used with non-transparent film made of a metal or an oxide thereof such as Ni. カラーフィルタは3原色からなる各着色層により被覆された画素を1絵素とし、多数の絵素により構成されている。 Color filter pixels covered by the colored layers of three primary colors and one pixel is constituted by a number of picture elements. ここでの、ブラックマトリックスとは、 Here, the black matrix,
各画素間に配列された遮光領域を示し、液晶表示装置の表示コントラストを向上させるために設けられる。 It shows a light-shielding region arranged between each pixel, is provided in order to improve the display contrast of the liquid crystal display device.

【0018】カラーフィルタ用基板として用いられる透明基板としては、特に限定されるものではなく、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸塩ガラス、表面をシリカコートしたソーダライムガラスなどの無機ガラス類、有機プラスチックのフィルムまたはシート等が好適に用いられる。 [0018] The transparent substrate used as a substrate for a color filter, is not particularly limited, inorganic glass such quartz glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, a surface such as soda-lime glass having silica coating, the organic films or sheets of plastic are preferably used.

【0019】基板のサイズは、特に限定されるわけではないが、550×650mm級、600×720mm The size of the substrate is not particularly limited, 550 × 650 mm grade, 600 × 720 mm
級、620×720mm級、650×750mm級、7 Grade, 620 × 720mm class, 650 × 750mm class, 7
50×900mm級、900×1100mm級などの所定のサイズにカットさせた後に、アレイ基板と張り合わせる基板等が好適に用いられる。 50 × 900 mm grade, the after cut to a predetermined size, such as 900 × 1100 mm grade, the substrate or the like for Hariawa the array substrate is suitably used.

【0020】認識情報は、基板上にブラックマトリックスあるいは各着色層を形成させる際に作成する方法が好適に用いられる。 The recognition information is how to create in forming the black matrix or the colored layer on the substrate is preferably used. つまり、基板上に感光性ペーストまたは非感光性ペーストと感光性レジストを積層状態に重ねた後、所定のパターンにパターンニングを行うときに、 That is, after overlapping a photosensitive resist and a photosensitive paste or a non-photosensitive paste in the stacked state on the substrate, when performing patterning into a predetermined pattern,
認識情報の作成をも行う。 Also carried out the creation of the recognition information.

【0021】特に限定されるわけではないが、ブラックマトリックスを作成する際に、ブラックマトリックスを作成する材料を用いて認識情報も形成する手法が好適に用いられる。 [0021] particularly not limited, to create a black matrix, a technique also forms recognition information using a material to create a black matrix is ​​preferably used. ブラックマトリックス用の材料は他の着色層に比べて遮光性が高いため、認識情報のCCD等での読みとりが容易となる。 Since the material for the black matrix high light shielding property as compared with other coloring layer, reading of a CCD or the like of the recognition information is facilitated. また、ブラックマトリックスおよび各着色層以外の材料を用いて、認識情報を作成してもよい。 Further, by using the black matrix and the material other than the colored layers may be created recognition information. 特に限定されるわけではないが、認識情報は露光装置またはフォトマスクとして液晶表示基板を用いた露光装置を用いて形成し、その後現像する方法が好適に用いられる。 Particularly not limited, the recognition information is formed by using an exposure device using a liquid crystal display substrate as an exposure device or a photomask, thereafter method of developing is preferably used.

【0022】認識情報は、基板の工程履歴や出荷・梱包時の仕分けなどのシステム管理を行うために、好適に使用される。 [0022] The recognition information is, in order to perform system management such as sorting at the time of the process history of the substrate or the shipping and packing, are preferably used.

【0023】認識情報によって認識できる情報としては、カラーフィルタの品種、製造年月日、シリーズ、面番号、製造番号等のID、基板の材質、表裏、上下等などがあり、認識情報の使用目的に応じて適宜選択しても、またこれらを組み合わせて用いてもよい。 [0023] as information that can be recognized by the recognition information, varieties of the color filters, manufacturing date, series, surface number, ID, manufacturer number, the material of the substrate, front and back, include up and down like the use of recognition information purposes it may be selected as appropriate, also be used in combination according to.

【0024】これらの情報を認識情報に持たせるため、 [0024] In order to impart to these information recognition information,
数字、アルファベット、ひらがな、カタカナ、1次・2 Numbers, alphabet, hiragana, katakana, primary-2
次元バーコード、幾何学記号等の中で、1種類あるいは複数を組み合わせて認識情報を形成させる方法が好適に用いられる。 Dimensional bar code, in such geometrical symbol, a method of forming a recognition information by combining one or more is suitably used.

【0025】図1および図2に、本発明によって得られたカラーフィルタ付き基板の一例を示す。 [0025] Figures 1 and 2 show an example of a color filter-bearing substrate obtained by the present invention.

【0026】カラーフィルタ付き基板において、カラーフィルタをパターン形成させるときの基板形状をマザー基板1と呼ぶ。 [0026] In the substrate with a color filter, called a substrate shape when for patterning the color filter and the mother substrate 1. マザー基板1を用いてカラーフィルタ2 The color filter 2 by using the mother substrate 1
を作成することで、カット基板に比べて一度に多くのカラーフィルタ2を作成することができ、製造コストの削減が可能となる。 By creating, it is possible to create many color filter 2 at a time as compared with the cut substrate, it is possible to reduce the manufacturing cost.

【0027】しかし、基板の大判化によりカラーフィルタ付き基板とアレイ基板の一体貼りが困難になったため、マザー基板1にてカラーフィルタ2を作成後、所定のガラスサイズにガラスカットする必要性が生じる。 [0027] However, since the integral substrate with a color filter array substrate bonded became difficult, after creating a color filter 2 in the mother board 1, the need to glass cut to a predetermined size of glass is caused by large-sized of the substrate . 所定のガラスサイズに基板をガラスカットする結果、1個あるいは複数個のカット基板1−1〜1−6とよぶカラーフィルタ付き基板と、廃棄部分1a〜1dとよぶ廃棄する部分が発生する。 Results for glass cutting the substrate into a predetermined size of glass, a color filter substrate with called with one or a plurality of cut substrates 1-1 to 1-6, the portion to be discarded is referred to as a waste portion 1a~1d occur.

【0028】認識情報3、4、5の目的から、認識情報3、4、5はマザー基板1およびすべてのカット基板1 [0028] For the purposes of the recognition information 3, 4, 5, recognition information 3, 4, and 5 mother substrate 1 and all of the cut substrate 1
−1〜1−6について少なくとも1個具備するものである。 Those comprising at least one for -1~1-6. 言い換えれば、1個のマザー基板から1個のカット基板を切り出す場合は、マザー基板とカット基板の認識情報を同一にすることが可能である。 In other words, when cutting out the single-cut substrate from one mother substrate can be the same recognition information of the mother substrate and the cut substrate. しかし、2個以上のカット基板を切り出す場合は、マザー基板上に少なくとも2個の認識情報を作成することになる。 However, if the cut out two or more cut substrate will create at least two recognition information on the mother board.

【0029】認識情報3、4、5はカラーフィルタ2を製造する幾つかの過程において、CCDカメラ等の読みとり装置を用いて読み込みを行い、基板のIDを認識することができる。 [0029] In some processes recognition information 3,4,5 for manufacturing a color filter 2 performs reading using a reading device such as a CCD camera, can recognize the ID of the substrate. しかし、CCDカメラを読みとり装置として用いた場合、読みとり領域が狭くなるという問題点が挙げられる。 However, when used as an apparatus which reads a CCD camera, and a problem that reading region is narrowed. また、品種切り替え等で読みとり装置の読み込み位置を変更するのは非常に煩雑なため、品種に関係なく認識情報3、4、5の読みとり装置は同一の位置とすることが好ましい。 Also, since very troublesome to change the reading position of the device is read by the type switching, etc., reading apparatus related to breed without recognition information 3, 4 and 5 is preferably the same position.

【0030】読みとり装置の認識情報3、4、5の読みとり位置を品種によらず同一とするためには、マザー基板1あるいはカット基板1−1〜1−6の基板基準7、 [0030] To the same regardless of the reading position of the identification information 3, 4 and 5 of the reading device to breed, the mother substrate 1 or the substrate reference 7 the cut substrate 1-1 to 1-6,
8と認識情報3、4、5との距離を一定に保てばよい。 8 and the distance between the recognition information 3,4,5 may be kept constant.
ここでいう基板基準7、8とは、例えば認識情報3、 The substrate reference 7, 8 here, for example, identification information 3,
4、5の読みとりを基板のロール搬送時に行う場合、搬送基準位置、つまり基板の川幅に関係なく同一である部分とする。 When performing 4,5 read the when rolling transport of the substrate, the transport reference position is the same regardless ie river substrate portion. 例えば、川幅の変更によって一方の搬送ローラーのみ変更する場合は、他方の搬送ローラーが搬送基準位置となり、また両方の搬送ローラーを均一に変更する場合は、基板の川幅中心が搬送基準位置となる。 For example, to change only one of the transport roller by a change of the river, the other transport roller becomes conveyance reference position, to uniformly change both transport rollers are also river center of the substrate becomes the conveyance reference position.

【0031】また認識情報3、4、5は、カラーフィルタ2およびアレイ基板との張り合わせに使用するマーク類を避けた領域に配置する。 [0031] recognition information 3,4,5 is arranged in a region except the marks, to be used for bonding the color filter 2 and the array substrate.

【0032】そこで、マザー基板の読みとり時(以下、 [0032] Therefore, when the reading of the mother substrate (hereinafter,
単にマザー基板時という)に使用する認識情報3、4、 Simply recognition information 3,4 to be used) that when the mother board,
5は、カット基板1−1〜1−6の領域外、つまり廃棄部分1a〜1dが発生する場合、廃棄部分1a〜1dに認識情報3、4、5を配置する方法も好適に用いられる。 5, the region outside of the cut substrate 1-1 to 1-6, that is, when the disposal portion 1 a to 1 d is generated, is preferably used a method of disposing the recognition information 3,4,5 disposal portion 1 a to 1 d.

【0033】しかし、マザー基板1において廃棄部分1 [0033] However, the disposal part in the mother substrate 1 1
a〜1dが存在しない場合や、1枚のマザー基板1中に作成できる認識情報3、4、5の個数がタクトタイムによって制約されるため、必ずしも廃棄部分1a〜1dに認識情報3、4、5を配置することができない場合もある。 If you a~1d does not exist, because the number of identification information 3, 4 and 5 can be created in one mother substrate 1 is constrained by the tact time, recognition information 3,4 necessarily waste portion 1 a to 1 d, 5 that it may not be to place. その場合はカット基板1−1〜1−6においても使用する認識情報3、4、5をマザー基板時においても使用できるように配置する。 Also in this case arranged to be able to use the recognition information 3, 4 and 5 to be used at the time of the mother board in the cut substrate 1-1 to 1-6 in.

【0034】図1は、廃棄部分1a〜1dは存在するが、タクトタイムによって廃棄部分1a〜1dに認識情報3、4を配置できない一例である。 [0034] Figure 1, waste portions 1a~1d exists but is an example that can not be placed recognition information 3,4 disposal portion 1a~1d by tact time.

【0035】マザー基板1のサイズは、550×65 The size of the mother substrate 1, 550 × 65
0、カット基板1−1〜1−6のサイズは275×21 0, cut the size of the substrate 1-1 to 1-6 is 275 × 21
0mmであり、基板基準7、8はマザー基板1では短辺、カット基板1−1〜1−6では、長辺のセンターラインである。 It is 0 mm, the substrate reference 7,8 in the mother substrate 1 short side, the cut substrate 1-1 to 1-6, a center line of the long sides.

【0036】カット基板時に使用する認識情報3、4の中心は、カット基板1−1〜1−6の基板基準8の右側37.5mmに配置している。 The center of the recognition information 3,4 to be used for cutting the substrate is disposed on the right side 37.5mm substrate reference 8 a cut substrate 1-1 to 1-6. また、マザー基板時に使用する認識情報3の中心は、マザー基板1の基板基準7 The center of the recognition information 3 to be used for the mother substrate, the substrate reference 7 of the mother substrate 1
の左側100mmに配置している。 They are arranged on the left side 100mm of.

【0037】図2は、マザー基板1に使用する認識情報5を、廃棄部分1a〜1dに配置できる一例である。 [0037] Figure 2, the recognition information 5 to be used on the mother substrate 1 is an example that can be placed in the disposal portion 1 a to 1 d. ただし図1と図2は同一の製造ラインを用いて作成するため、マザー基板時に使用する認識情報5についても、カット基板時に使用する認識情報4についても基板基準との関係は図1と同一となっている。 However FIGS. 1 and 2 to create using the same production line, for the recognition information 5 to be used for the mother substrate, and the same relationship as Figure 1 with the substrate reference also recognition information 4 to be used when cutting the substrate going on.

【0038】つまり前記の例から、マザー基板時とカット基板時に使用する認識情報を同一にした場合、マザー基板時に使用する認識情報のマザー基板の基板中心に対する相対位置と、カット基板時に使用する認識情報のカット基板の基板中心に対する相対位置とを異なったものにするものである。 [0038] That the above example, when the recognition information to be used at the time of the mother substrate and the cut substrate in the same, the relative position with respect to the substrate center of the mother substrate recognition information used at the time of the mother board, recognition to be used for cutting a substrate it is intended to be different and the relative position with respect to the substrate center cut substrate information.

【0039】同時に、前記の例から、カット基板をマザー基板上に配置したときに、カット基板時に使用する認識情報は、マザー基板の基板中心に対して、非対称に配置される。 [0039] At the same time, from the examples, when placing the cut substrate on the mother substrate, the recognition information to be used for cutting the substrate, the substrate center of the mother substrate, is arranged asymmetrically.

【0040】図1では、マザー基板時に使用する認識情報としてカット基板時に使用する認識情報3を用いているので、マザー基板上にある認識情報3、4の個数は、 [0040] In Figure 1, because of the use of recognition information 3 to be used for cutting the substrate as the recognition information to be used for the mother substrate, the number of the recognition information 3,4 located on the mother board,
カット基板1−1〜1−6の個数と同一の6個であるが、図2では、マザー基板時に使用する認識情報5を廃棄部分1a〜1dに配置しているので、カット基板1− While the same six and the number of cut substrate 1-1 to 1-6, in FIG 2, since the place recognition information 5 to be used when the mother board to the waste portion 1 a to 1 d, cut substrate 1
1〜1−4の個数よりも1個多い5個となる。 Becomes one more five than the number of 1~1-4. この結果、マザー基板あるいはカット基板においても、枚葉管理を行うことが可能となる。 As a result, even in the mother board or the cut substrate, it is possible to perform the sheet management.

【0041】 [0041]

【実施例】以下、好ましい実施態様を用いて本発明を更に詳しく説明するが、用いた実施態様によって本発明の効力はなんら制限されるものでない。 EXAMPLES Hereinafter, further illustrate the present invention with reference to preferred embodiments, the efficacy of the present invention in embodiments using no be construed as being limited.

【0042】認識情報を樹脂ブラックマトリックス作成時に作成した。 [0042] have created a recognition information when creating resin black matrix.

【0043】(1)黒色ペーストおよび黒色ペースト被膜の作成 3,3´、4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、および、ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサンをN−メチル−2−ピロリドンを溶媒として反応させ、ポリイミド前駆体(ポリアミック酸)溶液を得た。 [0043] (1) black paste and black paste coating created 3,3 ', 4,4'-biphenyl tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether, and bis (3-aminopropyl) tetra the disiloxane is reacted with N- methyl-2-pyrrolidone as a solvent to obtain a polyimide precursor (polyamic acid) solution.

【0044】下記の組成を有するカーボンブラックミルベースをホモジナイザーを用いて、7000rpmで3 [0044] using a homogenizer carbon black mill base having the following composition, 3 7000rpm
0分分散し、ガラスビーズを濾過して、ブラックペーストを調製した。 Dispersed 0 minutes, the glass beads were filtered to prepare a black paste.

【0045】 カーボンブラックミルベース カーボンブラック (MA100、三菱化成(株)製) 4.6部 ポリイミド前駆体溶液 24.0部 N−メチルピロリドン 61.4部 ガラスビーズ 90.0部 550×670mmのサイズの無アルカリガラス(日本電気ガラス(株)製、OA−2)基板上にスピナーを用いて、ブラックペーストを塗布し、オーブン中135℃ [0045] Carbon black mill base Carbon black (MA100, Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 4.6 parts Polyimide precursor solution 24.0 parts N- methylpyrrolidone 61.4 parts of the size of glass beads 90.0 parts 550 × 670 mm (manufactured by Nippon Electric glass (Co.), OA-2) an alkali-free glass using a spinner on a substrate, coated with a black paste, 135 ° C. in an oven
で20分間セミキュアした。 It was semi-cured in 20 minutes. 続いて、ポシ型レジスト(Shipley“Microposit”RC100 Then, Po Shi resist (Shipley "Microposit" RC100
30cp)をスピナーで塗布し、90℃で10分間乾燥した。 30 cp) was applied by a spinner, and dried for 10 minutes at 90 ° C.. レジスト膜厚は1.5μmとした。 The resist film thickness was 1.5μm.

【0046】(2)認識情報および樹脂ブラックマトリックスの作成 ブラックマトリックスをパターニングするための露光を、露光装置(PLA−501F、キャノン(株)製) [0046] (2) the exposure for patterning create black matrix recognition information and a resin black matrix, the exposure apparatus (PLA-501F, manufactured by Canon Inc.)
を用い、フォトマスクを介して行った。 Was used, it was carried out through a photomask.

【0047】次に、認識情報を、フォトマスクとして液晶表示基板を装着した露光装置(2次元コード書き込み装置(タイトラー)、東レエンジニアリング(株)製) Next, the identification information, an exposure apparatus equipped with a liquid crystal display substrate as a photomask (2-dimensional code write device (titler), Toray Engineering Co., Ltd.)
を用いて露光、パターニングした。 Exposure was used to patterning. この露光機では、認識情報を基板上に最大6カ所まで作成することが可能であった。 In this exposure apparatus, the recognition information it was possible to create up to six locations on the substrate.

【0048】認識情報は、数字、アルファベットおよび2次元バーコードから構成されており、基板の種類、カラーフィルタの品種、シリーズ、面番号に関する情報が認識できるようにした。 The recognition information, numbers, are composed of letters and the two-dimensional bar code, the type of substrate, varieties of the color filter, series, information about surface number is to recognize.

【0049】その後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドを2重量%含んだ23℃の水溶液を現像液に用い、基板を現像液にディップさせ、同時に10cm幅を5秒で1往復するように基板を揺動させて、ポジ型レジストの現像とポリイミド前駆体のエッチングを同時に行った。 [0049] Thereafter, using an aqueous solution of tetramethyl ammonium hydroxide 2 weight percent inclusive 23 ° C. in a developing solution, the substrate was dipped in a developer, swinging the substrate to one reciprocation of 10cm width 5 seconds simultaneously by, it was etched developing the polyimide precursor of the positive resist simultaneously. 現像時間は、60秒であった。 The development time was 60 seconds. その後、メチルセルソルブアセテートでポジ型レジストを剥離し、さらに、300℃で30分間キュアし、認識情報および樹脂ブラックマトリクス付き基板を得た。 Thereafter, peeling off the positive resist with methyl cellosolve acetate, further cured for 30 minutes at 300 ° C., to obtain a recognition information and the resin black matrix with the substrate.

【0050】(3)認識情報の配置 認識情報のマークは、4×10mmの大きさとし、読みとり装置には5×5mmの範囲が読みとれるCCDカメラを用いた。 [0050] (3) mark the placement recognition information recognition information, the size Satoshi of 4 × 10 mm, the reader using a CCD camera can read the range of 5 × 5 mm. 認識情報は、数字、アルファベットおよび2次元バーコードから構成されているが、このうち2次元バーコードを用いて認識情報の基板の認識を行った。 Recognition information, numbers, are configured from an alphabet and two-dimensional bar code were aware of the substrate recognition information these using the two-dimensional bar code.
2次元バーコードは2×2mmの大きさであった。 Two-dimensional bar code was the size of 2 × 2 mm.

【0051】読みとり装置はいずれも基板を搬送する搬送ローラ上に設置し、基板の川幅に関係なく、流れ方向の基板中心が同一になるようにした。 The reading device is placed on the conveying roller for conveying a substrate either, regardless of the river of the substrate, the substrate center the flow direction is set to be the same. マザー基板時に使用する認識情報の中心を、川幅方向の基板中心から左側に100mm、かつ流れ方向の先頭部分から20mmの部分に配置した。 The center of the recognition information to be used when the mother substrate, 100 mm to the left from the center of the substrate in the river direction, and disposed from the beginning of the flow direction in the portion of 20 mm. カット基板時に使用する認識情報の中心を、川幅方向の基板中心から右側に37.5mm、かつ流れ方向の先頭部分から10mmの部分に配置した。 The center of the recognition information to be used for cutting a substrate, 37.5 mm to the right from the center of the substrate in the river direction, and disposed from the beginning of the flow direction in the portion of 10 mm.

【0052】 [0052]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタ付き基板を用いることで、マザー基板でもカット基板でも基板の状態に関係なく、基板の認識が可能となる。 [Effect of the Invention] By using the color filter substrate with the present invention, regardless of the state of the substrate at the cut substrate in a mother substrate, it is possible to recognize the substrate. その結果、基板の物流管理や検査工程等での基板の枚葉管理を容易に行うことが可能となる。 As a result, it is possible to perform the sheet management board in logistics management or inspection process of the substrate readily.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明によって作成したカラーフィルタ付き基板の一例を示す概略図である。 It is a schematic diagram showing an example of a color filter substrate with created by the present invention; FIG.

【図2】本発明によって作成したカラーフィルタ付き基板の他の一例を示す概略図である。 It is a schematic diagram showing another example of a color filter substrate with created by the present invention; FIG.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1・・・マザー基板 1−1〜1−6:カット基板 1a〜1d:廃棄部分 2・・・カラーフィルタ、 3・・・マザー基板時およびカット基板時に使用する認識情報、 4・・・カット基板時に使用する認識情報、 5・・・マザー基板時に使用する認識情報 6・・・カットライン、 7・・・マザー基板時の基板基準(搬送のセンターライン)およびカットライン 8・・・カット基板時の基板基準(搬送のセンターライン) 1 ... mother substrate 1-1 to 1-6: Cut the substrate 1 a to 1 d: waste portion 2 ... color filter, 3 ... mother substrate during and recognition information used at the time of cutting the substrate, 4 ... cut recognition information, 5 ... recognition information 6 ... cut line used at the time of the mother substrate, 7 ... mother substrate when the substrate reference (transport centerline) and cut line 8 ... cutting board to be used for the substrate board standard of time (transport of the center line)

Claims (7)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】カラーフィルタ付き基板を所定サイズにカットする以前の基板でをマザー基板と呼び、該マザー基板を所定サイズにカットした1個あるいは複数個の基板をカット基板と呼んだとき、該マザー基板および該カット基板において、該基板の種類およびIDの認識が可能である認識情報を少なくとも1箇所以上具備したカラーフィルタ付き基板。 1. A is called a mother board to a previous substrate to cut the substrate with a color filter to a predetermined size, when called with one or a plurality of cut substrate a substrate cut the mother substrate into a predetermined size, the in the mother substrate and the cut substrate, a color filter substrate with the recognition information are possible recognition of the type and ID of the substrate equipped least at one location.
  2. 【請求項2】前記マザー基板の種類およびIDを認識するために該マザー基板時に使用する前記認識情報と該マザー基板の基板基準との相対位置、および前記カット基板の種類およびIDを認識するために該カット基板時に使用する前記認識情報と該カット基板の基板基準との相対位置が異なることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ付き基板。 Wherein the relative positions of the substrate reference of the recognition information and the mother substrate for use in the mother board upon to recognize the type and ID of the mother board, and to recognize the type and ID of the cut substrate with a color filter substrate according to claim 1 in which the relative positions of the substrate reference of the recognition information and the cut substrate to be used for the cut substrates are different from each other in.
  3. 【請求項3】前記マザー基板上に、該マザー基板に該基板の種類およびIDを認識するために使用する前記認識情報と、該マザー基板がカットされて前記カット基板になったときに該基板の種類およびIDを認識するために使用する前記認識情報とが、該マザー基板の基板中心に対して非対称に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタ付き基板。 In wherein said mother substrate, and the recognition information used to recognize the type and ID of the substrate to the mother substrate, the substrate when said mother substrate becomes the cut substrate is cut wherein the recognition information, the color filter-bearing substrate according to claim 1 or 2, characterized in that it is arranged asymmetrically with respect to the substrate center of the mother substrate to be used for recognizing the type and ID.
  4. 【請求項4】前記マザー基板の種類およびIDを認識するために使用する前記認識情報が前記カット基板外に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のカラーフィルタ付き基板。 4. A color filter according to claim 1, wherein the recognition information to be used to recognize the type and ID of the mother board are arranged outside the cut substrate board attached.
  5. 【請求項5】前記マザー基板上に存在する前記認識情報の個数が、前記カット基板の個数と等しいかまたは多いことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のカラーフィルタ付き基板。 Wherein the number of said recognition information present on the mother substrate, a color filter-bearing substrate according to claim 1, wherein the or more equal-cut substrate number of.
  6. 【請求項6】露光装置またはフォトマスクとして液晶表示基板を用いた露光装置を用いて前記認識情報を形成することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のカラーフィルタ付き基板。 6. The exposure apparatus or a color filter-bearing substrate according to any one of claims 1 to 5, characterized in that to form the recognition information by using the exposure apparatus using the liquid crystal display substrate as a photomask.
  7. 【請求項7】前記認識情報が、数字、アルファベット、 Wherein said recognition information, numbers, alphabet,
    ひらがな、カタカナ、1次または2次元バーコード、または幾何学記号から選ばれた少なくとも1種から形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のカラーフィルタ付き基板。 Hiragana, Katakana, first or two-dimensional bar code or a color filter-bearing substrate according to claim 1, characterized in that it is formed from at least one member selected from the geometric symbols.
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