JPH11119018A - カラーフィルタ用感放射線性組成物 - Google Patents

カラーフィルタ用感放射線性組成物

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JPH11119018A
JPH11119018A JP29054797A JP29054797A JPH11119018A JP H11119018 A JPH11119018 A JP H11119018A JP 29054797 A JP29054797 A JP 29054797A JP 29054797 A JP29054797 A JP 29054797A JP H11119018 A JPH11119018 A JP H11119018A
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JP
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meth
acrylate
indene
copolymer
acid
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JP29054797A
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English (en)
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Koichi Sakurai
幸一 櫻井
Takashi Itano
考史 板野
Yasuyoshi Itano
康美 板野
Hiroaki Nemoto
宏明 根本
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JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 現像時に未露光部の基板上および遮光層上に
残渣や地汚れを生じることがなく、かつ基板および遮光
層への密着性に優れた画素を与え、しかも現像後ポスト
ベークされた画素が耐熱性に優れた新規なカラーフィル
タ用感放射線性組成物を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ用感放射線性組成物は、
(A)着色剤、(B)インデンおよび/またはその置換
誘導体の共重合体を含むアルカリ可溶性樹脂、(C)多
官能性単量体、並びに(D)光重合開始剤を含有するこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタを
形成するためのカラーフィルタ用感放射線性組成物に関
し、より詳しくは、現像性、塗膜物性等に優れたカラー
フィルタを容易に製造することができるカラーフィルタ
用感放射線性組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、感放射線性組成物を用いてカラー
フィルタを製造するに当たっては、基板上あるいは予め
所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、感放射線
性組成物を塗布、乾燥したのち、乾燥した塗膜を所望の
パターンに露光、現像することにより、各色の画素を得
ている。このようにして作製されたカラーフィルタは、
現像の際に、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣
や地汚れを生じやすく、また露光部に形成された画素の
基板あるいは遮光層への密着性が十分ではなく、さらに
は現像後ポストベークされた画素は、塗膜物性に劣ると
いう問題があった。また近年、(1)光重合開始剤、
(2)エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性モ
ノマー、および(3)スチレンもしくはその核置換誘導
体と無水マレイン酸との共重合体に1級アミノ基を有す
るアラルキルアミン化合物と反応させて得られるアルカ
リ可溶性樹脂を含有する光重合性組成物がアルカリ溶解
性を有し、耐現像液性、耐アルカリ性、基板密着性等に
優れたカラーフィルタを形成しうることが開示されてい
る(特開平7−110577号公報)。しかしながら、
この組成物から得られる画素は耐熱性の点で未だ満足で
きない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、良好
な現像性および解像性を示し、形成された画素が塗膜物
性に優れた新規なカラーフィルタ用感放射線性組成物、
具体的には、現像時に放射線未照射部の基板上および遮
光層上に残渣や地汚れを生じることがなく、かつ基板お
よび遮光層への密着性に優れた画素を与え、しかも現像
後ポストベークされた画素が耐熱性に優れた新規なカラ
ーフィルタ用感放射線性組成物を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、(A)着色
剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマ
ーおよび(D)光重合開始剤を含有するカラーフィルタ
用感放射線性組成物において、(B)アルカリ可溶性樹
脂が、下記構造式(1)で表されるインデン系誘導体と
他の共重合可能な単量体との共重合体を含むことを特徴
とするカラーフィルタ用感放射線性組成物、
【0005】
【化1】
【0006】〔構造式(1)において、X1 、X2 、X
3 、X4 、X5 、X6 およびX7 は相互に独立に水素原
子、ハロゲン原子、炭素数1〜4の1価の脂肪族炭化水
素基、炭素数3〜8の1価の脂環族炭化水素基または炭
素数6〜8の1価の芳香族炭化水素基を示す。〕からな
る。本発明でいう「放射線」とは、可視光線、紫外線、
遠紫外線、電子線、X線等を含むものである。
【0007】以下に、本発明について詳細に説明する。(A)着色剤 本発明における着色剤は、色調が特に限定されるもので
はなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選
定され、また有機着色剤でも無機着色剤でもよい。前記
有機着色剤は、具体的には染料、有機顔料、天然色素等
を意味し、また前記無機着色剤は、具体的には無機顔料
のほか、体質顔料と呼ばれる無機塩等を意味するが、カ
ラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められるこ
とから、本発明における着色剤としては、発色性が高
く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着
色剤が好ましく、通常、有機着色剤および/またはカー
ボンブラック、特に好ましくは有機顔料および/または
カーボンブラックが用いられる。前記有機顔料として
は、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society
ofDyers and Colourists 社発行) においてピグメント
(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記
のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されてい
るものを挙げることができる。C.I.ピグメントイエロー
1、C.I.ピグメントイエロー3、C.I.ピグメントイエロ
ー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメント
イエロー14、C.I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグ
メントイエロー16、C.I.ピグメントイエロー17、C.
I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー2
4、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエ
ロー55、C.I.ピグメントイエロー60、C.I.ピグメン
トイエロー61、C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピ
グメントイエロー71、C.I.ピグメントイエロー73、
C.I.ピグメントイエロー74、C.I.ピグメントイエロー
81、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイ
エロー93、C.I.ピグメントイエロー95、C.I.ピグメ
ントイエロー97、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.
ピグメントイエロー100、C.I.ピグメントイエロー1
01、C.I.ピグメントイエロー104、C.I.ピグメント
イエロー106、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.
ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー1
10、C.I.ピグメントイエロー113、C.I.ピグメント
イエロー114、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.
ピグメントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー1
19、C.I.ピグメントイエロー120、C.I.ピグメント
イエロー126、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.
ピグメントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー1
29、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメント
イエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.
ピグメントイエロー151、C.I.ピグメントイエロー1
52、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメント
イエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.
ピグメントイエロー156、C.I.ピグメントイエロー1
66、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメント
イエロー175;C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグ
メントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.
ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ1
6、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレ
ンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメン
トオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピ
グメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、
C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ
49、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオ
レンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメ
ントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73;C.I.
ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメントバイオレッ
ト19、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメ
ントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット3
8;
【0008】C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメント
レッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレ
ッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッ
ド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド
8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド1
0、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド
12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッ
ド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレ
ッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメント
レッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメン
トレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメ
ントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグ
メントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピ
グメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.
ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.
I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド4
8:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメン
トレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.
I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド5
0:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメン
トレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピ
グメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド58:
2、C.I.ピグメントレッド58:4、C.I.ピグメントレ
ッド60:1、C.I.ピグメントレッド63:1、C.I.ピ
グメントレッド63:2、C.I.ピグメントレッド64:
1、C.I.ピグメントレッド81:1、C.I.ピグメントレ
ッド83、C.I.ピグメントレッド88、C.I.ピグメント
レッド90:1、C.I.ピグメントレッド101、C.I.ピ
グメントレッド102、C.I.ピグメントレッド104、
C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレッド1
06、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメントレ
ッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.ピグメ
ントレッド114、C.I.ピグメントレッド122、C.I.
ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド14
4、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメントレッ
ド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピグメン
トレッド151、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピ
グメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、
C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド1
72、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメントレ
ッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメ
ントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.
ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド18
0、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッ
ド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピグメン
トレッド190、C.I.ピグメントレッド193、C.I.ピ
グメントレッド194、C.I.ピグメントレッド202、
C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド2
07、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレ
ッド209、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメ
ントレッド220、C.I.ピグメントレッド224、C.I.
ピグメントレッド226、C.I.ピグメントレッド24
3、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピグメントレッ
ド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメン
トレッド264;
【0009】C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメン
トブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.
I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー6
0;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリー
ン36;C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメント
ブラウン25;C.I.ピグメントブラック1、ピグメント
ブラック7。これらの有機顔料は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。また、前記無機着
色剤の具体例としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭
酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べん
がら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、
酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラッ
ク、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができ
る。これらの無機着色剤は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。
【0010】本発明においては、前記各着色剤は、所望
により、その粒子表面をポリマーで改質して使用するこ
とができる。着色剤表面を改質するポリマーとしては、
例えば、特開平8−259876号公報等に記載された
ポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたは
オリゴマー等を挙げることができる。また、本発明にお
ける着色剤は、所望により、分散剤と共に使用すること
ができる。このような分散剤としては、例えば、カチオ
ン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、
フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。前記界
面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラウリ
ルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、
ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエ
チレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチ
ルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニ
ルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエ
ーテル類;ポリエチレングリコールジラウレート、ポリ
エチレングリコールジステアレート等のポリエチレング
リコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;
脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタ
ン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商品名で、
KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化
学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社
製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)
製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒ
ガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)等を挙げ
ることができる。これらの界面活性剤は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。界面活性剤
の使用量は、着色剤100重量部に対して、通常、50
重量部以下、好ましくは0〜30重量部である。
【0011】(B)アルカリ可溶性樹脂 本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、前記構造式
(1)で表されるインデン系単量体(以下、「インデン
系単量体(1)」という。)と他の共重合可能な単量体
との共重合体(以下、単に「インデン系共重合体」とい
う。)を含むことを特徴とする。構造式(1)におい
て、X1 〜X7 のハロゲン原子としては、例えば、フッ
素原子、塩素原子、臭素原子、よう素原子等を挙げるこ
とができ、炭素数1〜4の1価の脂肪族炭化水素基とし
ては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、
i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec
−ブチル基、t−ブチル基を挙げることができ、炭素数
3〜8の1価の脂環族炭化水素基としては、例えば、シ
クロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、
シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル
基等を挙げることができ、さらに炭素数6〜8の1価の
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、o−
トリル基、m−トリル基、p−トリル基、2,3−キシ
リル基、2,4−キシリル基、2,5−キシリル基、
3,4−キシリル基、3,5−キシリル基、p−エチル
フェニル基等を挙げることができる。
【0012】インデン系単量体の具体例としては、イン
デン、1−クロロインデン、3−クロロインデン、4−
クロロインデン、5−クロロインデン、6−クロロイン
デン、7−クロロインデン、1,1−ジクロロインデ
ン、1,3−ジクロロインデン、1,4−ジクロロイン
デン、1,5−ジクロロインデン、1,6−ジクロロイ
ンデン、1,7−ジクロロインデン、4,5−ジクロロ
インデン、4,6−ジクロロインデン、4,7−ジクロ
ロインデン、4,5,6−トリクロロインデン、5,
6,7−トリクロロインデン、1−メチルインデン、3
−メチルインデン、4−メチルインデン、5−メチルイ
ンデン、6−メチルインデン、7−メチルインデン、
1,1−ジメチルインデン、1,3−ジメチルインデ
ン、1,4−ジメチルインデン、1,5−ジメチルイン
デン、1,7−ジメチルインデン、4,5−ジメチルイ
ンデン、4,6−ジメチルインデン、4,7−ジメチル
インデン、4,5,6−トリメチルインデン、5,6,
7−トリメチルインデン、1−エチルインデン、3−エ
チルインデン、4−エチルインデン、5−エチルインデ
ン、6−エチルインデン、7−エチルインデン、1,3
−ジエチルインデン、1,4−ジエチルインデン、1,
5−ジエチルインデン、1,7−ジエチルインデン、
4,5−ジエチルインデン、4,6−ジエチルインデ
ン、4,7−ジエチルインデン、4,5,6−トリエチ
ルインデン、5,6,7−トリエチルインデン、1−シ
クロヘキシルインデン、3−シクロヘキシルインデン、
4−シクロヘキシルインデン、5−シクロヘキシルイン
デン、6−シクロヘキシルインデン、7−シクロヘキシ
ルインデン、1−フェニルインデン、3−フェニルイン
デン、4−フェニルインデン、5−フェニルインデン、
6−フェニルインデン、7−フェニルインデン等を挙げ
ることができる。これらのインデン系単量体(1)のう
ち、インデン、1−メチルインデン、1−エチルインデ
ン等が好ましく、特にインデンが好ましい。前記インデ
ン系単量体(1)は、単独でまたは2種以上を混合して
使用することができる。
【0013】また、前記他の共重合可能な単量体として
は、前記インデン系単量体(1)と共重合でき、かつ得
られる共重合体がアルカリ可溶性となる限り限定される
ものではないが、特に、1個以上のカルボキシル基を有
するエチレン性不飽和単量体(以下、単に「カルボキシ
ル基含有不飽和単量体」という。)と前記以外の共重合
可能なエチレン性不飽和単量体(以下、単に「他の不飽
和単量体」という。)とからなる単量体混合物が好まし
い。カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例え
ば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロ
ルアクリル酸、エタクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノ
カルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル
酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水
シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸また
はその無水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸また
はその無水物類;こはく酸モノ(2−アクリロイロキシ
エチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチ
ル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、
フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)等の2
価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロ
キシアルキル〕エステル類;ω−カルボキシ−ポリカプ
ロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカ
プロラクトンモノメタクリレート等の両末端カルボキシ
ポリマーのモノ(メタ)アクリレート類等を挙げること
ができる。これらのカルボキシル基含有不飽和単量体
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。
【0014】また、他の不飽和単量体としては、例え
ば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエ
ン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−ク
ロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシス
チレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメ
チルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p
−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジル
グリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエ
ーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳
香族ビニル化合物;メチルアクリレート、メチルメタク
リレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレー
ト、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリ
レート、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタ
クリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタ
クリレート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタ
クリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブ
チルメタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブ
チルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメ
タクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、
3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキ
シブチルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリ
レート、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒド
ロキシブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルア
クリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、ア
リルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルア
クリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシル
アクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニ
ルアクリレート、フェニルメタクリレート、2−メトキ
シエチルアクリレート、2−メトキシエチルメタクリレ
ート、2−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノ
キシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングルコ
ールアクリレート、メトキシジエチレングルコールメタ
クリレート、メトキシトリエチレングルコールアクリレ
ート、メトキシトリエチレングルコールメタクリレー
ト、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メト
キシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジ
プロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピ
レングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレ
ート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジ
エニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリ
レート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアク
リレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメ
タクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;2−ア
ミノエチルアクリレート、2−アミノエチルメタクリレ
ート、2−ジメチルアミノエチルアクリレート、2−ジ
メチルアミノエチルメタクリレート、2−アミノプロピ
ルアクリレート、2−アミノプロピルメタクリレート、
2−ジメチルアミノプロピルアクリレート、2−ジメチ
ルアミノプロピルメタクリレート、3−アミノプロピル
アクリレート、3−アミノプロピルメタクリレート、3
−ジメチルアミノプロピルアクリレート、3−ジメチル
アミノプロピルメタクリレート等の不飽和カルボン酸ア
ミノアルキルエステル類;グリシジルアクリレート、グ
リシジルメタクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジ
ルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸
ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル
類;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ア
リルグリシジルエーテル、メタリルグリシジルエーテル
等の不飽和エーテル類;アクリロニトリル、メタクリロ
ニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニ
リデン等のシアン化ビニル化合物;アクリルアミド、メ
タクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−
ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシ
エチルメタクリルアミド等の不飽和アミド類;マレイミ
ド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレ
イミド等の不飽和イミド類;1,3−ブタジエン、イソ
プレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリス
チレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリ
レート、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブ
チルメタクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖
の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイ
ル基を有するマクロモノマー類等を挙げることができ
る。これらの他の不飽和単量体は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。
【0015】インデン系共重合体としては、インデンと
カルボキシル基含有不飽和単量体と他の不飽和単量体と
の共重合体が好ましく、特に好ましくは、インデンと、
アクリル酸および/またはメタクリル酸を必須成分と
し、場合により、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシ
エチル)および/またはこはく酸モノ(2−メタクリロ
イロキシエチル)を含有するカルボキシル基含有不飽和
単量体と、スチレン、メチルアクリレート、メチルメ
タクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2
−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレ
ート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェニルメタクリレート、N−フェニルマレイミ
ド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタ
クリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも
1種との共重合体(以下、「アルカリ可溶性樹脂
(I)」という。)である。
【0016】アルカリ可溶性樹脂(I)の具体例として
は、(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン共重合
体、(メタ)アクリル酸/インデン/メチル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/インデン/ベンジル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/フ
ェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエ
チル〕/インデン共重合体、(メタ)アクリル酸/イン
デン/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体あるいは(メタ)アクリル酸/インデン/ポリメチル
メタクリレートマクロモノマー共重合体からなる三元共
重合体(以下、「アルカリ可溶性樹脂(Ia)」とい
う。);
【0017】(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン
/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/スチレン/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共
重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン/フ
ェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエ
チル〕/インデン/スチレン共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/インデン/スチレン/N−フェニルマレイミド共
重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン/ポ
リスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/インデン/スチレン/ポリメチルメタクリレートマ
クロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン
/メチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/メチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/イン
デン/メチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)
アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸
モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデ
ン/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)ア
クリル酸/インデン/メチル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレン
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデ
ン/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)ア
クリル酸/インデン/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アク
リロイロキシエチル〕/インデン/2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸
/インデン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/インデン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
レート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/インデン/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、
【0018】(メタ)アクリル酸/インデン/ベンジル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/ベンジ
ル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸
/インデン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェ
ニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/インデ
ン/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/
ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレ
ートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こ
はく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/
インデン/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/インデン/フェニル(メタ)アク
リレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)
アクリル酸/インデン/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/フェニル(メタ)アクリレート/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル〕/インデン/N−フェニルマレイミド
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/ポリス
チレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/インデン/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/N−フェニ
ルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重合体あ
るいは(メタ)アクリル酸/インデン/N−フェニルマ
レイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体からなる四元共重合体(以下、「アルカリ可溶性
樹脂(Ib)」という。);
【0019】(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン
/メチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/ベ
ンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/インデン/スチレン/メチル(メタ)アクリレー
ト/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)
アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロ
キシエチル〕/インデン/スチレン/メチル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/
スチレン/メチル(メタ)アクリレート/N−フェニル
マレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/
スチレン/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレン
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデ
ン/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/インデン/スチレン/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン/
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/インデン/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン
/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/インデン/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン/2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタ
クリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/インデン/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)
アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロ
キシエチル〕/インデン/スチレン/ベンジル(メタ)
アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン
/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェ
ニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/インデ
ン/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリス
チレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/
ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アク
リロイロキシエチル〕/インデン/スチレン/フェニル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸
/インデン/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/スチレン/フェニル(メタ)アクリ
レート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重
合体、
【0020】(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/スチレ
ン/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエ
チル〕/インデン/スチレン/ポリスチレンマクロモノ
マー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2
−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/スチ
レン/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン/N−フ
ェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/インデン/スチレン/N−フ
ェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/メチ
ル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/インデン/メチル(メタ)
アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレ
ート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル〕/インデン/メチル(メタ)アクリレ
ート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/インデン/メチル(メタ)
アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレ
ート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/メチル(メタ)アクリレート/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ポリスチレン
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデ
ン/メチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマ
クロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン
/メチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アク
リレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アク
リロイロキシエチル〕/インデン/メチル(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/インデン/メチル(メタ)アクリ
レート/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニル
マレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/
メチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリ
レート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/インデン/メチル(メタ)アクリレー
ト/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタク
リレートマクロモノマー共重合体、
【0021】(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/メチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/メチル(メ
タ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
インデン/メチル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/インデン/メチル(メタ)ア
クリレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキ
シエチル〕/インデン/メチル(メタ)アクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸
/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチ
ル〕/インデン/メチル(メタ)アクリレート/ポリス
チレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/インデン/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチル
メタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/メチル(メタ)アクリレート/N−
フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重
合体、(メタ)アクリル酸/インデン/メチル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリメチルメ
タクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/インデン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
レート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/こは
く酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/イ
ンデン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/
ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニ
ルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン
/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジ
ル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)ア
クリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/イン
デン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フ
ェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド
共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)ア
クリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/インデン/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アク
リロイロキシエチル〕/インデン/2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重
合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロ
モノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
【0022】(メタ)アクリル酸/インデン/2−ヒド
ロキシエチル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/インデン/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキ
シエチル〕/インデン/ベンジル(メタ)アクリレート
/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)ア
クリル酸/インデン/ベンジル(メタ)アクリレート/
フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミ
ド共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/ベンジル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/インデン/ベンジル(メタ)アクリレート/フ
ェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレー
トマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こは
く酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/イ
ンデン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニル
マレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モ
ノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロ
モノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/
ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレ
ートマクロモノマー共重合体、
【0023】(メタ)アクリル酸/インデン/ベンジル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリ
スチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸
/インデン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェ
ニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノ
マー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2
−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/フェ
ニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/フェニル
(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/インデン/フェニル
(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/インデン/
フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミ
ド/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/インデン/フェニル(メタ)アクリレート/
N−フェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマ
クロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸
モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデ
ン/N−フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノ
マー共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/こはく酸モ
ノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/インデン
/N−フェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレート
マクロモノマー共重合体からなる五元共重合体(以下、
「アルカリ可溶性樹脂(Ic)」という。)等を挙げる
ことができる。
【0024】インデン系共重合体におけるインデン系単
量体(1)の共重合割合は、通常、5〜50重量%、好
ましくは10〜40重量%である。この場合、インデン
系単量体(1)の共重合割合が5重量%未満では、得ら
れる画素の耐熱性が低下する傾向があり、一方50重量
%を超えると、得られる共重合体のアルカリ可溶性が低
下して、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地
汚れを生じるおそれがある。また、インデン系共重合体
がインデン系単量体(1)とカルボキシル基含有不飽和
単量体と他の不飽和単量体との共重合体である場合、カ
ルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、
5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%であり、
他の不飽和単量体の共重合割合は、通常、10〜90重
量%、好ましくは20〜80重量%である。この場合、
カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合が5重量
%未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像
液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50重量
%を超えると、アルカリ現像液による現像時に、形成さ
れた画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たし
やすくなる傾向がある。特にカルボキシル基含有不飽和
単量体を前記特定の共重合割合で含有するインデン系共
重合体は、アルカリ現像液に対して優れた溶解性を有す
るものであり、当該共重合体をバインダーとして用いた
感放射線性組成物は、アルカリ現像液による現像後に未
溶解物が残存することが極めて少なく、基板上の画素を
形成する部分以外の領域における地汚れ、膜残り等が発
生し難く、しかも該組成物から得られる画素は、アルカ
リ現像液に過剰に溶解することがなく、基板に対して、
優れた密着性を有し、基板から脱落するおそれもないも
のとなる。 前記インデン系共重合体は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。
【0025】本発明においては、場合により、前記イン
デン系共重合体と共に、他のアルカリ可溶性樹脂を併用
することもできる。このような他のアルカリ可溶性樹脂
としては、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸
基等の酸性官能基を含有する樹脂を挙げることができ
る。前記他のアルカリ可溶性樹脂のうち、カルボキシル
基を含有する樹脂としては、前記カルボキシル基含有不
飽和単量体と前記他の不飽和単量体との共重合体が好ま
しく、さらに好ましくはアクリル酸および/またはメ
タクリル酸を必須成分とし、場合により、こはく酸モノ
(2−アクリロイロキシエチル)を含有するカルボキシ
ル基含有不飽和単量体と、スチレン、メチルアクリレ
ート、メチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルア
クリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ア
リルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジル
メタクリレート、N−フェニルマレイミド、ポリスチレ
ンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマク
ロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種との共重合
体(以下、「アルカリ可溶性樹脂(II)」という。)で
ある。
【0026】アルカリ可溶性樹脂(II)の具体例として
は、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/
ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタ
クリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベン
ジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体、メタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸/こ
はく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン
/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体、メタクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイ
ロキシエチル)/スチレン/アリルメタクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体等を挙げることができ
る。これらのアルカリ可溶性樹脂(II) は、単独でまた
は2種以上を混合して使用することができる。前記他の
アルカリ可溶性樹脂を使用する際の該樹脂の使用量は、
アルカリ可溶性樹脂の合計量に対して、通常、50重量
%以下、好ましくは30重量%以下である。この場合、
他のアルカリ可溶性樹脂の使用量が50重量%を超える
と、得られる画素の耐熱性が低下する傾向がある。
【0027】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、イ
ンデン系共重合体を必須成分として含むものであるが、
該アルカリ可溶性樹脂を構成する各成分のゲルパーミエ
ーションクロマトグラフィー(GPC;溶出溶媒テトラ
ヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分
子量(以下、単に「重量平均分子量」という。)は、好
ましくは3,000〜300,000、特に好ましくは
5,000〜100,000である。このような特定の
重量平均分子量を有するアルカリ可溶性樹脂を使用する
ことにより、現像性に優れた感放射線性組成物が得ら
れ、それによりシャープなパターンエッジを有する画素
を形成することができるとともに、現像時に基板上の画
素を形成する部分以外の領域における地汚れ、膜残り等
が発生し難くなる。本発明におけるアルカリ可溶性樹脂
の使用量は、(A)着色剤100重量部に対して、通
常、10〜1000重量部、好ましくは20〜500重
量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が
10重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下し
たり、画素が形成される部分以外の領域で地汚れや膜残
りが発生するおそれがあり、一方1000重量部を超え
ると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として
目的とする色濃度を達成することが困難となる場合があ
る。
【0028】(C)多官能性単量体 本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不
飽和結合を有する単量体であり、その例としては、エチ
レングリコール、プロピレングリコール等のアルキレン
グリコールのジアクリレートまたはジメタクリレート
類;ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル等のポリアルキレングリコールのジアクリレートまた
はジメタクリレート類;グリセリン、トリメチロールプ
ロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトー
ル等の3価以上の多価アルコールのポリアクリレートま
たはポリメタクリレート類やそれらのジカルボン酸変性
物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アル
キド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴア
クリレートまたはオリゴメタクリレート類;両末端ヒド
ロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポ
リイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等
の両末端ヒドロキシル化重合体のジアクリレートまたは
ジメタクリレート類や、トリス(2−アクリロイロキシ
エチル)フォスフェート、トリス(2−メタクリロイロ
キシエチル)フォスフェート等を挙げることができる。
【0029】これらの多官能性単量体のうち、3価以上
の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタク
リレート類やそれらのジカルボン酸変性物が好ましく、
具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、こはく酸変性ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、こはく酸変性ペンタエリスリ
トールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテト
ラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリ
レート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、
ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペン
タエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサメタクリレート等を挙げることができ、
特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレートが、画素強度が高く、画素表
面の平滑性に優れ、かつ画素が形成される部分以外の領
域での地汚れや膜残りを発生し難い点で好ましい。前記
多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。本発明における多官能性モノマー
の使用量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に
対して、通常、5〜500重量部、好ましくは20〜3
00重量部である。この場合、多官能性単量体の使用量
が5重量部未満では、画素強度や画素表面の平滑性が低
下する傾向があり、一方500重量部を超えると、例え
ば、アルカリ現像性が低下したり、画素が形成される部
分以外の領域での地汚れや膜残りが発生しやすくなる傾
向がある。
【0030】また本発明においては、前記多官能性単量
体の一部を単官能性単量体に置き換えることもできる。
このような単官能性単量体の具体例としては、ω−カル
ボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カ
ルボキシ−ポリカプロラクトンモノメタクリレート、メ
トキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシ
トリエチレングリコールメタクリレート、メトキシジプ
ロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレ
ングリコールメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−フ
ェノキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ−3−
フェノキシプロピルメタクリレート、こはく酸モノ(2
−アクリロイロキシエチル)、こはく酸(2−メタクリ
ロイロキシエチル)等を挙げることができ、さらに市販
品としてM−5300(商品名、東亞合成(株)製)等
を挙げることができる。これらの単官能性単量体は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
前記単官能性単量体の使用割合は、多官能性単量体と単
官能性単量体との合計に対して、通常、0〜90重量
%、好ましくは0〜50重量%である。
【0031】(D)光重合開始剤 本発明における光重合開始剤とは、露光により分解また
は結合の開裂を生じ、ラジカル、カチオン、アニオン等
の前記(C)多官能性単量体の重合を開始することがで
きる活性種を発生する化合物を意味する。このような光
重合開始剤としては、イミダゾール環を有する化合物、
ベンゾイン結合を有する化合物、他の光ラジカル発生
剤、トリハロメチル基を有する化合物等を挙げることが
できる。前記イミダゾール環を有する化合物の具体例と
しては、下記一般式(2)で表される化合物(以下、
「ビイミダゾール系化合物(2)」という。)、下記一
般式(3)で表される化合物(以下、「ビイミダゾール
系化合物(3)」という。)等を挙げることができる。
【0032】
【化2】
【0033】〔一般式(2)において、Xは水素原子、
ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜4のアルキル基ま
たは炭素数6〜9のアリール基を示し、複数存在するX
は相互に同一でも異なってもよく、Aは−COO-R(但
し、Rは炭素数1〜4のアルキル基または炭素数6〜9
のアリール基を示す。)を示し、複数存在するAは相互
に同一でも異なってもよく、mは1〜3の整数であり、
nは1〜3の整数である。〕
【0034】
【化3】
【0035】〔一般式(3)において、X1 、X2 およ
びX3 は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、ハ
ロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜4のアルキル基また
は炭素数6〜9のアリール基を示す。但し、X1 、X2
およびX3 の2個以上が同時に水素原子をとることはな
い。〕 前記一般式(2)および一般式(3)は、2個のイミダ
ゾール単位が1位または2位で相互に結合した構造を一
般的に表している。したがって、ビイミダゾール系化合
物(1)およびビイミダゾール系化合物(2)は、それ
らの主要骨格が下記式(4)〜(6)に相当する化合物
の単独あるいは2種以上の混合物である。
【0036】
【化4】
【0037】一般式(2)および一般式(3)におい
て、X、X1 、X2 およびX3 のハロゲン原子として
は、例えば、塩素原子、臭素原子、よう素原子等を挙げ
ることができ、炭素数1〜4のアルキル基としては、例
えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロ
ピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル
基、t−ブチル基を挙げることができ、炭素数6〜9の
アリール基としては、例えば、フェニル基、o−トリル
基、m−トリル基、p−トリル基等を挙げることができ
る。また、一般式(2)において、Aの−COO-Rにおけ
るRとしては、X、X1 、X2 およびX3 について例示
した炭素数1〜4のアルキル基および炭素数6〜9のア
リール基と同様の基を挙げることができる。
【0038】ビイミダゾール系化合物(2)およびビイ
ミダゾール系化合物(3)の具体例を示すと、次のとお
りである。ビイミダゾール系化合物(2)としては、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,
5,5’──テトラキス(4−エトキシカルボニルフェ
ニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
キス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エ
トキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェ
ニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラ
キス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−
ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニ
ル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2
−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス
(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エ
チルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4
−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−
ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニル
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エ
トキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール等を挙げるこ
とができる。
【0039】また、ビイミダゾール系化合物(3)とし
ては、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−
ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェ
ニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジメ
チルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,
4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリエチルフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジフェニルフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−
トリフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることが
できる。
【0040】これらのうち、ビイミダゾール系化合物
(2)としては、特に、2,2’−ビス(2−クロルフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エト
キシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール
および2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾールが好ましく、ま
たビイミダゾール系化合物(3)としては、特に、2,
2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,
6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が好ましい。
【0041】ビイミダゾール系化合物(2)およびビイ
ミダゾール系化合物(3)は、溶剤に対する溶解性に優
れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、し
かも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化
反応を十分進行させるとともに、コントラストが高く、
未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の
塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に
対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分さ
れ、画素パターンの欠落、欠損やアンダーカットのない
優れたカラーフィルタを形成することができるものであ
る。
【0042】また、前記ベンゾイン結合を有する化合物
および他の光ラジカル発生剤の具体例としては、2−ヒ
ドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オ
ン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロ
キシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロ
ピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェ
ノン、2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−
モルフォリノ−1−プロパン−1−オン、2−ベンジル
−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニ
ル)ブタン−1−オン、ベンゾフェノン、3,3’−ジ
メチル−4−メトキシベンゾフェノン、2,4−ジエチ
ルチオキサントン、4−アジドベンズアルデヒド、4−
アジドアセトフェノン、4−アジドベンザルアセトフェ
ノン、アジドピレン、4−ジアゾジフェニルアミン、4
−ジアゾ−4’−メトキシジフェニルアミン、4−ジア
ゾ−3’−メトキシジフェニルアミン、ビス(2,6−
ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペン
チルフォスフィンオキサイド、ジベンゾイル、ベンゾイ
ンイソブチルエーテル、N−フェニルチオアクリドン、
トリフェニルピリリウムパークロレート等を挙げること
ができる。また、前記トリハロメチル基を有する化合物
の具体例としては、1,3,5−トリス(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメ
チル)−5−(2’−クロロフェニル)−s−トリアジ
ン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(4’−
クロロフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(ト
リクロロメチル)−5−(2’−メトキシフェニル)−
s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−
5−(4’−メトキシフェニル)−s−トリアジン、2
−(2’−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、2−(4’−メトキシ
スチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、2−(3’,4’−ジメトキシスチリル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−(4’−メトキシナフチル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2’−
ブロモ−4’−メチルフェニル)−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、2−(2’−チオフ
ェニルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン等を挙げることができる。
【0043】前記ベンゾイン結合を有する化合物、他の
光ラジカル発生剤およびトリハロメチル基を有する化合
物のうち、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル
プロパン−1−オン、2−メチル−(4−メチルチオフ
ェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−オ
ン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)ブタン−1−オン等が、形成され
た画素が現像時に基板から脱離し難く、画素強度および
感度も高い点で好ましい。前記ビイミダゾール環を有す
る化合物、ベンゾイン結合を有する化合物、他の光ラジ
カル発生剤およびトリハロメチル基を有する化合物は、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。
【0044】本発明においては、必要に応じて、前記ビ
イミダゾール環を有する化合物、ベンゾイン結合を有す
る化合物、他の光ラジカル発生剤およびトリハロメチル
基を有する化合物と共に、増感剤、硬化促進剤および高
分子化合物からなる光架橋剤あるいは光増感剤(以下、
「高分子光架橋・増感剤」という。)の群から選ばれる
1種以上をさらに併用することもできる。前記増感剤の
具体例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベ
ンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−
ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチ
ルアミノベンゾエート、2−エチルヘキシル−1,4−
ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4’−ジ
エチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチ
ルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマ
リン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等を挙げること
ができる。前記硬化促進剤の具体例としては、2−メル
カプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾチア
ゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2,5−
ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メル
カプト−4,6−ジメチルアミノピリジン、1−フェニ
ル−5−メルカプト−1H−テトラゾール、3−メルカ
プト−4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール等
の連鎖移動剤を挙げることができる。さらに、前記高分
子光架橋・増感剤は、光架橋剤および/または光増感剤
として機能しうる官能基を主鎖および/または側鎖中に
有する高分子化合物であり、その具体例としては、4−
アジドベンズアルデヒドとポリビニルアルコールとの縮
合物、4−アジドベンズアルデヒドとフェノールノボラ
ック樹脂との縮合物、4−アクリロイルフェニルシンナ
モイルエステルの単独重合体あるいは共重合体、1,4
−ポリブタジエン、1,2−ポリブタジエン等を挙げる
ことができる。前記増感剤、硬化促進剤および高分子光
架橋・増感剤のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール
等が、形成された画素が現像時に基板から脱落し難く、
画素強度および感度も高い点で好ましい。
【0045】本発明においては、光重合開始剤として、
ビイミダゾール系化合物(2)およびビイミダゾール系
化合物(3)の群から選ばれる1種以上と、ベンゾフェ
ノン系のベンゾイン結合を有する化合物、ベンゾフェノ
ン系の他の光ラジカル発生剤、ベンゾフェノン系の増感
剤およびチアゾール系の硬化促進剤の群から選ばれる1
種以上とを組み合わせて使用することが特に好ましい。
前記特に好ましい組み合わせの具体例としては、2,
2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、2,2’−ビス(2−クロ
ロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−
エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2,2’−ビ
ス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール/4,4’
−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン/1−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン/2−メルカプトベ
ンゾチアゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、2,2’−ビス(2,4−ジクロ
ロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン/2−ベンジル−2−ジメチル
アミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1
−オン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビ
イミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン/2−
メルカプトベンゾチアゾール、2,2’−ビス(2,4
−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフ
ェニル−1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン/2−ベンジル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)
ブタン−1−オン、2,2’−ビス(2,4−ジブロモ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘキシ
ルフェニルケトン、2,2’−ビス(2,4,6−トリ
クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジメ
チルアミノ)ベンゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン/2−メルカプトベンゾチアゾー
ル等を挙げることができる。
【0046】本発明において、ベンゾイン結合を有する
化合物、他の光ラジカル発生剤およびトリハロメチル基
を有する化合物の合計使用量は、光重合開始剤全体の8
0重量%以下であることが好ましく、また増感剤および
硬化促進剤の合計使用量は、光重合開始剤全体の80重
量%以下であることが好ましく、さらに高分子光架橋・
増感剤の使用量は、ビイミダゾール系化合物(2)およ
びビイミダゾール系化合物(3)の合計100重量部に
対して、通常、200重量部以下、好ましくは0.01
〜200重量部、さらに好ましくは50〜180重量部
である。本発明における光重合開始剤の使用量は、
(C)多官能性単量体100重量部に対して、通常、
0.01〜500重量部、好ましくは1〜300重量
部、特に好ましくは10〜200重量部である。この場
合、光重合開始剤の使用量が0.01重量部未満では、
露光による硬化が不十分となり、画素パターンに欠落、
欠損やアンダーカットを生じるおそれがあり、一方50
0重量部を超えると、形成された画素が現像時に基板か
ら脱落しやすく、また画素が形成される部分以外の領域
で地汚れや膜残りを生じやすくなる。
【0047】添加剤 本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、必要に
応じて種々の添加剤を含有することもできる。このよう
な添加剤としては、例えば、銅フタロシアニン誘導体等
の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤;ガラ
ス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ
エチレングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ(フ
ロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニ
オン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニ
ルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビ
ニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2
−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキ
シシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロ
ピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエト
キシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラ
ン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルト
リメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキ
シシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3
−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メ
ルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;
2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノ
ール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防
止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロ
キシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アル
コキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリ
ル酸ナトリウム等の凝集防止剤;エポキシ化合物、メラ
ミン化合物、ビスアジド化合物等の熱架橋剤等を挙げる
ことができる。
【0048】さらに、本発明のカラーフィルタ用感放射
線性組成物は、(B)アルカリ可溶性樹脂が、アルカリ
可溶性樹脂(I)のようにカルボキシル基を有する場
合、該組成物から形成される塗膜のアルカリ現像液に対
する溶解性をより改善し、かつ現像後の未溶解物の残存
をより抑制するために、有機酸を含有するこもできる。
このような有機酸としては、分子量が1000以下であ
る、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有カルボン
酸が好ましい。前記脂肪族カルボン酸の具体例として
は、ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル
酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル
酸等のモノカルボン酸類;しゅう酸、マロン酸、こはく
酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン
酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマ
ロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこ
はく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカル
ボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマ
ル酸、メサコン酸等のジカルボン酸類;トリカルバリル
酸、アコニット酸、カンホロン酸等のトリカルボン酸類
等を挙げることができる。また、前記フェニル基含有カ
ルボン酸としては、カルボキシル基が直接フェニル基に
結合した芳香族カルボン酸や、カルボキシル基が炭素鎖
を介してフェニル基に結合したカルボン酸等を挙げるこ
とができ、それらの具体例としては、安息香酸、トルイ
ル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族
モノカルボン酸類;フタル酸、イソフタル酸、テレフタ
ル酸等の芳香族ジカルボン酸類;トリメリット酸、トリ
メシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上
の芳香族ポリカルボン酸類や、フェニル酢酸、ヒドロア
トロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこは
く酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマ
ル酸、ウンベル酸等を挙げることができる。これらの有
機酸のうち、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シト
ラコン酸、フマル酸、メサコン酸、フタル酸等の脂肪族
ジカルボン酸類および芳香族ジカルボン酸類が、アルカ
リ溶解性、後述する溶剤に対する溶解性、画素が形成さ
れる部分以外の領域での地汚れや膜残りの防止等の観点
から好ましい。前記有機酸は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。有機酸の使用量は、感
放射線性組成物全体に対して、通常、10重量%以下、
好ましくは5重量%以下、さらに好ましくは1重量%以
下である。この場合、有機酸の使用量が10重量%を超
えると、形成された画素の基板に対する密着性が低下す
る傾向がある。
【0049】溶剤 本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、前記
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性単量体および(D)光重合開始剤を必須成分とし、
必要に応じて前記添加剤成分を含有するが、通常、
(A)着色剤以外の各成分を適当な溶剤に溶解した液状
組成物として調製される。前記溶剤としては、(A)着
色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量
体および(D)光重合開始剤や添加剤成分を分散または
溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を
有するものである限り、適宜に選択して使用することが
できる。このような溶剤としては、例えば、エチレング
リコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノ
エチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピ
ルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエー
テル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエ
チレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコー
ルモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエ
チルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピ
レングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレ
ングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレン
グリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコー
ルモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−
n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−
n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメ
チルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエ
ーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキル
エーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキル
エーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等
のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−
ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステ
ル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチ
ル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、
3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチ
ル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチ
ルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルア
セテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネ
ート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピ
ル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミ
ル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エ
チル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−
ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビ
ン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチ
ル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;ト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピ
ロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジ
メチルアセトアミド等のアミド類等を挙げることができ
る。
【0050】これらの溶剤のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘ
キサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、2−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸
エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキ
シプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、
ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブ
チル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチ
ル、ピルビン酸エチル等が好ましい。前記溶剤は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0051】さらに、前記溶剤と共に、ベンジルエチル
エーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、
イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノー
ル、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジ
ル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジ
エチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロ
ピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセ
テート等の高沸点溶剤を併用することもできる。これら
の高沸点溶剤のうち、γ−ブチロラクトン等が好まし
い。前記高沸点溶剤は、単独でまたは2種以上を混合し
て使用することができる。溶剤の使用量は、特に限定さ
れるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布
性や安定性等の観点から、当該組成物の溶剤を除いた成
分の合計濃度が、通常、5〜50重量%、好ましくは1
0〜40重量%となる量が望ましい。
【0052】カラーフィルタの形成方法 次に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用
いて、カラーフィルタを形成する方法について説明す
る。まず、基板の表面上の画素を形成する部分を区画す
るように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤色の
顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布
したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を
形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して放
射線を露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像し
て、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベーク
することにより、赤色の画素が所定のパターンで配置さ
れた画素アレイを形成する。次いで、緑色または青色の
顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用
い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベー
ク、露光および現像を行い、その後ポストベークを行っ
て、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基
板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色
の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィ
ルタを得る。カラーフィルタを形成する際に使用される
基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボ
ネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミド
イミド、ポリイミド等を挙げることができる。これらの
基板には、所望により、シランカップリング剤等による
薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパ
ッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を
施しておくこともできる。感放射線性組成物の液状組成
物を基板に塗布する際には、回転塗布、流延塗布、ロー
ル塗布等の適宜の塗布法を採用することができる。塗布
厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μ
m、好ましくは0.2〜5.0μm、特に好ましくは
0.2〜3.0μmである。カラーフィルタを作製する
際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫
外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができ
るが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が
好ましい。放射線の照射エネルギー量は、好ましくは1
〜1000mJ/cm2 である。また、前記アルカリ現
像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイ
ドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−
[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシ
クロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好まし
い。前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタ
ノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加す
ることもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗
する。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー
現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現
像法等を適用することができ、現像時間は、常温で5〜
300秒が好ましい。このようにして形成されたカラー
フィルタは、例えば、カラー液晶表示装置、カラー撮像
管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。
【0053】
【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタ用感放射
線性組成物は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性単量体および(D)光重合開始剤を
必須成分として含有するものであるが、特に好ましい組
成物を具体的に例示すると、下記(イ)〜(ヘ)のとお
りである。 (イ) (B)アルカリ可溶性樹脂がアルカリ可溶性樹
脂(I)を含み、(D)光重合開始剤が2,2’−ビス
(2−クロルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
キス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−
ビイミダゾールおよび2,2’−ビス(2−ブロモフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾールの
群から選ばれる1種以上のビイミダゾール系化合物
(2)を含むカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ロ) (B)アルカリ可溶性樹脂がアルカリ可溶性樹
脂(I)を含み、(D)光重合開始剤が2,2’−ビス
(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5、5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビ
イミダゾールおよび2,2’−ビス(2,4,6−トリ
ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾールの群から選ばれる1種以
上のビイミダゾール系化合物(3)を含むカラーフィル
タ用感放射線性組成物。 (ハ) (D)光重合開始剤がさらに、ベンゾフェノン
系のベンゾイン結合を有する化合物、ベンゾフェノン系
の他の光ラジカル発生剤、ベンゾフェノン系の増感剤お
よびチアゾール系の硬化促進剤の群から選ばれる1種以
上を含む前記(イ)または(ロ)のカラーフィルタ用感
放射線性組成物。 (ニ) (B)アルカリ可溶性樹脂(I)がアルカリ可
溶性樹脂(Ia)、アルカリ可溶性樹脂(Ib)および
アルカリ可溶性樹脂(Ic)の群から選ばれる少なくと
も1種の共重合体からなる前記(イ)、(ロ)または
(ハ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ホ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記
(イ)、(ロ)、(ハ)または(ニ)のカラーフィルタ
用感放射線性組成物。 (ヘ) (A)着色剤が有機顔料および/またはカーボ
ンブラックを含む前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)
または(ホ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。
【0054】以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実
施例に限定されるものではない。 比較例1 (A)着色剤としてカーボンブラック100重量部、ア
ルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/2−ヒドロキシ
エチルメタクリレート/ベンジルメタクリレート/ポリ
スチレンマクロモノマー=15/15/60/10(重
量比)共重合体50重量部、(C)多官能性単量体とし
てジペンタエリスリトールヘキサアクリレート40重量
部、(D)光重合開始剤として2,2’−ビス(2,4
−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフ
ェニル−1,2’−ビイミダゾール10重量部と4,
4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン10重量
部と2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン50重量部、
溶剤として3−エトキシプロピオン酸エチル1500重
量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成物を調製
した。この液状組成物を、表面にナトリウムイオンの溶
出を防止するSiO2 膜が形成されたソーダガラス基板
表面上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90
℃で4分間プレベークを行って、膜厚1.3μmの塗膜
を形成した。その後、基板を室温に冷却したのち、高圧
水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に波長
365nmの紫外線を200mJ/cm2 露光した。次
いで、基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水
溶液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄
し、風乾した。その後、250℃で30分間ポストベー
クを行なって、基板上に黒色の画素パターンが形成され
たブラックマトリックスを得た。得られたブラックマト
リクスには、未露光部の基板上に残渣が見られ、かつ画
素パターンに欠落や欠損が認められた。また、得られた
ブラックマトリクスについて、粘着テープによる剥離試
験を行ったところ、画素パターンの剥がれを生じた。さ
らに、得られた画素を昇温させたところ、200℃付近
で重量減少が始まり、300℃では20重量%の重量減
少が認められた。このブラックマトリックスの画素パタ
ーンの状態を、図2に示す。
【0055】
【実施例】
実施例1 比較例1におけるアルカリ可溶性樹脂50重量部に代え
て、アルカリ可溶性樹脂(I)としてメタクリル酸/こ
はく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/インデン
/フェニルメタクリレート/N−フェニルマレイミド=
20/10/20/20/30(重量比)共重合体50
重量部を用いた以外は、比較例1と同様にして、感放射
線性組成物の液状組成物を調製して、ブラックマトリッ
クスを得た。得られたブラックマトリクスには、未露光
部の基板上および遮光層上に残渣や地汚れは見られず、
かつ画素パターンに欠落や欠損は認められなかった。ま
た、得られたブラックマトリクスについて、粘着テープ
による剥離試験を行ったところ、画素パターンの剥がれ
は生じなかった。さらに、得られた画素を昇温させたと
ころ、300℃における重量減少は15重量%以下であ
った。このブラックマトリックスの画素パターンの状態
を、図1に示す。
【0056】
【発明の効果】本発明のカラーフィルター用感放射線性
組成物は、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に
残渣や地汚れを生じることがなく、かつ基板および遮光
層への密着性に優れた画素を与え、しかも現像後ポスト
ベークされた画素は耐熱性に優れており、フォトリソグ
ラフィー法により高精細で高品質の画素を形成すること
ができる。したがって、本発明のカラーフィルター用感
放射線性組成物は、電子工業分野におけるカラー液晶表
示装置用カラーフィルターや固体撮像素子の色分解用カ
ラーフィルターを始めとする各種のカラーフィルターの
製造に極めて好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の感放射線性組成物を用いて形成した
カラーフィルタの画素パターンの状態を示す写真であ
る。
【図2】比較例1の感放射線性組成物を用いて形成した
カラーフィルタの画素パターンの状態を示す写真であ
る。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03F 7/028 G03F 7/028 // C08F 2/50 C08F 2/50 C08L 101/00 C08L 101/00 (72)発明者 根本 宏明 東京都中央区築地二丁目11番24号 日本合 成ゴム株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
    脂、(C)多官能性単量体および(D)光重合開始剤を
    含有するカラーフィルタ用感放射線性組成物において、
    (B)アルカリ可溶性樹脂が、下記構造式(1)で表さ
    れるインデン系単量体と他の共重合可能な単量体との共
    重合体を含むことを特徴とするカラーフィルタ用感放射
    線性組成物。 【化1】 〔構造式(1)において、X1 、X2 、X3 、X4 、X
    5 、X6 およびX7 は相互に独立に水素原子、ハロゲン
    原子、炭素数1〜4の1価の脂肪族炭化水素基、炭素数
    3〜8の1価の脂環族炭化水素基または炭素数6〜8の
    1価の芳香族炭化水素基を示す。〕
JP29054797A 1997-10-08 1997-10-08 カラーフィルタ用感放射線性組成物 Pending JPH11119018A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002202610A (ja) * 2000-11-01 2002-07-19 Shin Etsu Chem Co Ltd レジスト材料及びパターン形成方法

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JP2002202610A (ja) * 2000-11-01 2002-07-19 Shin Etsu Chem Co Ltd レジスト材料及びパターン形成方法

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