JPH11118471A - 金属材料表面性状計測方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置の小型化を図り、安価な費用で金属材料
表面性状を計測する。 【解決手段】 特定波長の励起光を入射角度θ１で照射
することにより、金属材料表面に塗布された油の発する
蛍光の蛍光強度を、前記金属材料表面の法線方向に対し
所定角度以内の方向から測定し、その同じ方向から前記
励起光の反射光強度を測定すると共に、該励起光の反射
角度θ１の正反射光の正反射光強度を測定し、これらの
測定値から塗油量及び表面粗さを算出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属材料表面性状
計測方法及び装置に係り、鋼板等の金属材料を圧延し、
その表面に油を連続塗布する工程における塗油量、表面
粗さを測定する際に用いるのに好適な金属材料表面性状
計測方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】自動車外板や各種缶に用いられる表面処
理鋼板の素材となる冷延鋼板の多くは、冷間圧延され、
連続焼鈍工程を経て形状調整、粗さ付与等のための調質
圧延が行われた後に、防錆油が塗布される。又、一部の
鋼板は表面処理されずに直接製品として出荷されるが、
いずれの場合でも、製品品質を決める要因として、表面
粗さや防錆油の塗布量（塗油量）が挙げられ、それらの
定量的管理は品質保証上重要である。そのため、従来よ
り、鋼板の打抜きサンプルを採取して、触針式粗さ計に
よる粗さ測定や、天秤による重量測定から塗油量を算出
するバッチ測定での管理がなされてきた。

【０００３】しかし、これらの測定方法では、鋼板打抜
きのためにライン速度を低下させた鋼帯溶接部近傍から
のサンプル採取が中心となるため、高速定常部の表面性
状を代表できない。又、打抜き頻度が限られ、バッチ測
定負荷も多大であることから、測定頻度が制限される等
の問題があった。

【０００４】そのため、オンラインでの連続測定を可能
とする装置が開発され、実際の連続焼鈍工程において実
用化されている。

【０００５】例えば、特開平７−２４３９７０号公報
や、ＣＡＭＰ−ＩＳＩＪ，Ｖol９，Ｎo ．５（１９９
６）−１０１３等の文献に、オンライン塗油量計として
Ａｒレーザを用いたレーザ蛍光法による測定装置が開示
されている。又、特公平７−３９９４８号公報や、ＣＡ
ＭＰ−ＩＳＩＪ，Ｖol９，Ｎo ．５（１９９６）−１３
４３等の文献には、オンライン粗さ計として、レーザ光
の反射光強度測定による装置を開発し、粗さ制御への適
用を図ったものが開示されている。

【０００６】これらの装置は、それぞれ単独で使用する
ことも可能であるが、特公平４−１８７６３号公報に開
示されているように、更にそれらを組み合わせることで
塗油量測定の高精度化も可能となる。

【０００７】又、特開平３−７７００３号公報には、下
地鋼板の反射特性の違いによる測定誤差を補正するため
に、励起用レーザ光の鋼板からの反射光の散乱分布を同
時に測定する方法も開示されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、同一の
制御工程において、塗油量計と粗さ計を別々に設置する
と、装置規模も大型となり、又投資費用も高価になると
いう問題がある。

【０００９】又、従来の塗油量計では、励起用レーザ光
源として、寿命や安定性、レーザ出力、価格等の点から
空冷Ａｒレーザを使用していたが、励起波長が青色領域
であり、測定対象の油の吸収、蛍光特性を考慮すると、
より波長の短い紫外波長域を使用した場合に比べ、蛍光
効率が低く測定感度の点で問題がある。

【００１０】本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされ
たものであり、測定精度を向上させつつ、装置の小型化
を図り、設置費用も安価とすることのできる金属材料表
面性状計測方法及び装置を提供することを課題とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、油を塗布した
金属材料表面に入射角度θ１で特定波長の励起光を照射
し、該励起光の照射により生じる油からの蛍光を含む光
を、前記金属材料表面の法線方向に対し所定角度以内の
方向から受光し、該受光した光の内から蛍光強度Ｉｆ
（０）を測定すると共に、前記励起光の反射光強度Ｉｐ
（０）を測定し、前記励起光の正反射方向からの光を受
光し、該正反射方向から受光した光の内から前記励起光
の正反射光強度Ｉｐ（θ１）を測定し、前記蛍光強度Ｉ
ｆ（０）に基づいて、前記金属材料表面に塗布された油
の塗油量を求めると共に、該塗油量、励起光の反射光強
度Ｉｐ（０）及び励起光の正反射光強度Ｉｐ（θ１）に
基づいて、あるいは、蛍光強度Ｉｆ（０）、励起光の反
射光強度Ｉｐ（０）及び励起光の正反射光強度Ｉｐ（θ
１）に基づいて、金属材料表面の表面粗さを求めること
により、前記課題を解決したものである。

【００１２】又、本発明に係る装置は、油を塗布した金
属材料表面に入射角度θ１で特定波長の励起光を照射す
る手段と、該励起光の照射により生じる油からの蛍光を
含む光を、前記金属材料表面の法線方向に対し所定角度
以内の方向から受光する手段と、該受光した光の内から
蛍光強度Ｉｆ（０）を測定する手段と、該受光した光の
内から前記励起光の反射光強度Ｉｐ（０）を測定する手
段と、前記励起光の正反射方向からの光を受光する手段
と、該正反射方向から受光した光の内から前記励起光の
正反射光強度Ｉｐ（θ１）を測定する手段と、前記蛍光
強度Ｉｆ（０）に基づいて、前記金属材料表面に塗布さ
れた油の塗油量を求めると共に、該塗油量、励起光の反
射光強度Ｉｐ（０）及び励起光の正反射光強度Ｉｐ（θ
１）に基づいて、あるいは、蛍光強度Ｉｆ（０）、励起
光の反射光強度Ｉｐ（０）及び励起光の正反射光強度Ｉ
ｐ（θ1 ）に基づいて、金属材料表面の表面粗さを求め
る手段と、を備えるようにして同様に前記課題を解決し
たものである。

【００１３】油が塗布された金属材料表面に特定波長の
励起光を入射角度θ１で照射し、該照射によって生じる
油からの蛍光の強度と、励起光の反射光の強度とを測定
し、塗油量と表面粗さを求めるにあたり、本発明者は、
前記金属材料表面の法線方向に対し所定角度以内の方向
から光を受光し測定した蛍光強度Ｉｆ（０）は、金属材
料表面の表面粗さの影響を受けないこと、及び、前記励
起光の正反射方向から光を受光し測定した励起光の正反
射光強度Ｉｐ（θ１）は、表面粗さ、塗油量、及び金属
材料表面の反射率によって変化すること、を知見して本
発明を完成させたものである。

【００１４】即ち、本発明によれば、油を塗布した鋼板
等の金属材料の表面に特定波長の光を照射して、油から
発せられる蛍光の強度を測定すると同時に、照射した光
の反射光量を前記蛍光の測定を行う際の受光角を含む、
異なる２つ以上の受光角において測定し、これら３つ以
上の測定量を演算することにより金属材料表面の塗油量
と表面粗さ等の表面性状を同時に測定するようにしたた
め、測定精度を向上させ、装置の小型化を図ると共に、
全体価格を安価とすることが可能となった。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を詳細に説明する。

【００１６】図１は、本発明の一実施形態に係る金属材
料表面性状計測装置の概略構成を示すブロック線図であ
る。

【００１７】図１において、符号１０は、鋼板であり、
その表面には防錆油１２が塗布されている。符号１４
は、鋼板１０の表面に励起光を照射するための光源であ
る。光源１４としては、パルスＮ2 （窒素）レーザが用
いられる。これは、波長３３７nm、１２０μＪ／パル
ス、２０Ｈｚである。

【００１８】鋼板上の塗油量を蛍光法を用いて測定する
場合、塗油量が５０〜２００mg／ｍ ² 程度特に、１００
ｍｇ／ｍ² 程度の低塗油量に対して高感度且つ高精度測
定を実現するためには、蛍光効率の高い低波長（紫外波
長域）での励起を行うことが好ましい。従って、各種レ
ーザ光源のうち、発振強度が安定しており、寿命の長い
波長３３７ｎｍの窒素レーザを使用することとしたもの
である。

【００１９】光源１４から発せられた励起光は、中心波
長３３７nm、半値幅１０nmの干渉フィルタ１６を通過
し、ミラー１８で反射した後、レンズ２０を経て測定対
象である鋼板１０に入射角θ１＝７０°で照射される。

【００２０】該励起光の照射を受けて、鋼板１０表面に
塗布された防錆油１２が発する蛍光を受光するために、
前記鋼板１０表面の法線方向に、レンズ２２、ハーフミ
ラー２４、干渉フィルタ２６、レンズ２８及び小型分光
器３０が設置されている。レンズ２２は、防錆油１２の
発する蛍光を平行光にするためのものであり、ハーフミ
ラー２４は一部の光を前記法線方向と直交する方向に反
射すると共に、一部の光をそのまま透過させるものであ
る。干渉フィルタ２６は、中心波長４３５nm、半値幅１
０nmである。これは、前記窒素レーザをパルス発振で使
用した場合、実際の製造プロセスである連続焼鈍工程に
付随した調質圧延及び塗油工程で使用される油に対し
て、蛍光波長のピークが約４３５nmであったためであ
る。そこで、この波長を選択的に検出するために干渉フ
ィルタ２６及び小型分光器３０を組み合わせて蛍光強度
をパルス発振に同期して測定するようにしたものであ
る。

【００２１】これは、実際の製造プロセスでは、異なる
表面粗さ領域の鋼帯を連続して製造する場合が多く、
又、同一の粗さ領域内の鋼帯間でも調質圧延速度の加減
速変化や粗さを付与する圧延ロール摩耗の変化が生じる
ことなどにより表面粗さが経時的に変化するため、蛍光
測定による塗油量測定では粗さ変化の影響を受けにくい
光学系を用いて測定するのが望ましいからである。

【００２２】これにより、鋼板１０表面の塗油量に対応
した信号が得られる。小型分光器の波長は４３５nmに設
定されている。この受光された蛍光の強度Ｉｆ（０）を
測定するために、フォトマルチプライヤ３２が設置され
ている。

【００２３】一方、前記ハーフミラー２４により、前記
法線方向と直交する方向に分岐された光は、ミラー３４
で反射された後、中心波長３３７nm、半値幅１０nmの干
渉フィルタ３６及びレンズ３８を経てＳｉフォトダイオ
ード検出器４０により、前記励起光の反射光強度Ｉｐ
（０）が測定される。

【００２４】又、前記励起光の反射光のうち、反射角θ
1 ＝７０°の正反射光を受光し、その正反射光強度Ｉｐ
（θ１）を測定するためにレンズ４２、中心波長３３７
nm、半値幅１０nmの干渉フィルタ４４、レンズ４６及び
Ｓｉフォトダイオード検出器４８が設けられている。

【００２５】測定された蛍光強度Ｉｆ（０）、反射光強
度Ｉｐ（０）及び正反射光強度Ｉｐ（θ１）は、増幅
器、レーザ発振用パルス発生器を含む電気制御系５０へ
導かれ、レーザ発振に同期して電圧量に変換された後、
Ａ／Ｄ変換器５２を経て演算処理装置５４へ導かれる。
演算処理装置５４は、これらの量から塗油量Ｍ［mg／ｍ
² ］及び粗さＲａ［μｍ］を算出する。又、その結果を
出力するために出力装置５６が設けられている。

【００２６】なお、上記構成においては、蛍光強度Ｉｆ
（０）及び反射光強度Ｉｐ（０）を鋼板１０表面の法線
方向から測定するようにしているが、該法線方向に対し
所定角度以内の方向から測定することにより、十分高精
度な測定が可能となる。

【００２７】粗さ情報を反映するのは主として前記正反
射光強度Ｉｐ（θ１）であり、反射光強度Ｉｐ（０）は
補助的な値となる。粗い面からの反射の空間的拡がりを
測定するために、図２に示すように、θ１に加えてθ２
を０≦θ２＜θ１で測定するようにすればよい。このと
き、θ２がθ１に近すぎると、その拡がりを測定できな
くなるが、θ２＝０であれば、反射光強度Ｉｐ（０）の
測定を蛍光強度Ｉｆ（０）の測定と受光する光学系を共
通にすることができ、装置を小型化することが可能とな
る。

【００２８】又、蛍光強度Ｉｆ（０）の測定において
も、図２に示すθ２を−１０°≦θ２≦１０°の条件で
変化させた場合、測定対象の粗さＲａが０．２〜０．８
μｍの範囲で変化する際の塗油量Ｍの測定誤差ΔＭを調
べた結果、図３に示すような結果が得られた。この場合
の塗油量は最大で３００mg／ｍ² である。従って、−５
°≦θ２≦５°の条件を満たせば、θ２＝０でなくと
も、即ち蛍光強度Ｉｆ（０）の測定を法線方向において
行わなくとも十分高精度な測定が可能となる。

【００２９】以下、本実施形態の作用を説明する。

【００３０】電気制御系５０の発するレーザ発振用パル
スにより、光源１４である窒素レーザから紫外波長域の
励起光が発せられる。この励起光は、干渉フィルタ１６
を通過した後、ミラー１８で反射され、レンズ２０を経
て、鋼板１０の表面に入射角θ１＝７０°で照射され
る。励起光の照射を受けると鋼板１０の表面に塗布され
た防錆油１２は蛍光を発する。

【００３１】この蛍光を、鋼板１０の表面の法線方向に
設置された小型分光器３０等の光学系で受光する。即
ち、まず該蛍光は、レンズ２２により平行光とされ、ハ
ーフミラー２４により、その一部が前記法線方向と直交
する方向に反射されると共に一部がそのままハーフミラ
ー２４を透過し、干渉フィルタ２６を通った後、レンズ
２８により一点に集光され、小型分光器３０により受光
される。小型分光器３０で受光された蛍光は、フォトマ
ルチプライヤ（光電子増倍管）３２により蛍光強度Ｉｆ
（０）が測定される。測定された蛍光強度Ｉｆ（０）は
電気制御系５０へ送られる。

【００３２】又、前記ハーフミラー２４により前記法線
方向と直交する方向に反射された光は、ミラー３４で反
射され、干渉フィルタ３６を通った後、レンズ３８で一
点に集光され、Ｓｉフォトダイオード検出器４０によっ
て受光され、反射光強度Ｉｐ（０）が測定される。測定
された反射光強度Ｉｐ（０）は電気制御系５０へ送られ
る。

【００３３】又、前記励起光の反射光のうち、反射角θ
１＝７０°の正反射光は、レンズ４２により平行光とさ
れ、干渉フィルタ４４を通過した後、レンズ４６によっ
て一点に集光されＳｉフォトダイオード検出器４８によ
り受光され、正反射光強度Ｉｐ（θ１）が測定される。
測定された正反射光強度Ｉｐ（θ１）は、上記他の測定
値と同様に電気制御系５０へ送られる。

【００３４】電気制御系５０は、送られてきたこれらの
測定値、蛍光強度Ｉｆ（０）、反射光強度Ｉｐ（０）、
正反射光強度Ｉｐ（θ１）をレーザ発振に同期して、電
圧量に変換してＡ／Ｄ変換器５２へ送る。Ａ／Ｄ変換器
５２は、電圧量（アナログ量）に変換された前記測定値
をデジタル量に変換して演算処理装置５４へ送る。

【００３５】演算処理装置５４では、デジタル量に変換
された蛍光強度Ｉｆ（０）、反射光強度Ｉｐ（０）、正
反射光強度Ｉｐ（θ１）から塗布量Ｍ及び鋼板１０の表
面粗さＲａを演算する。

【００３６】これらの演算のために、演算処理装置５４
に内蔵される演算式としては、予め各種粗さの鋼板に対
する塗油量を重量法で定量し、その値と触針式粗さ計か
ら求めた粗さの値を基に、本装置で測定される前記蛍光
強度Ｉｆ（０）、反射光強度Ｉｐ（０）、正反射光強度
Ｉｐ（θ１）の値の回帰式を求めて変換式を作成して使
用するようにしている。

【００３７】先ず、蛍光強度Ｉｆ（０）から塗油量Ｍを
求める方法について説明する。

【００３８】図４は、異なる表面粗さの下における、蛍
光強度Ｉｆ（０）と塗油量Ｍとの関係を示すものであ
る。

【００３９】○は、表面粗さＲａが略０．１８μｍの場
合、△は、表面粗さＲａが略０．３５μｍの場合、□
は、表面粗さＲａが略０．８１μｍの場合である。

【００４０】又、図３には、蛍光を測定する方向が鋼板
１０表面の法線方向に対してなす所定角度θ２と塗油量
Ｍの測定誤差ΔＭとの関係が示されている。

【００４１】図４に示すように、表面粗さの影響を受け
ず蛍光強度Ｉｆ（０）と塗油量Ｍとの間には一定の直線
的な関係がある。

【００４２】従って、例えば次の（１）式に示すような
直線関係式を用いて、誤差±２％以内で塗油量Ｍを求め
ることができる。

【００４３】Ｍ＝ａ１・Ｉｆ（０） …（１）

【００４４】但し、ａ１は油の種類に応じて定まる定数
である。この関係は、塗油量Ｍの範囲が変わると直線で
なくなるため、一般には次の（２）式のように表わされ
る。

【００４５】Ｍ＝Ｆ１｛Ｉｆ（０）｝ …（２）

【００４６】ここで、Ｆ１は油の種類毎に予め実験で定
められる関数である。

【００４７】次に、鋼板１０の表面粗さＲａは、前記励
起波長の反射光強度Ｉｐ（０）、正反射光強度Ｉｐ（θ
１）及び上で求めた塗油量Ｍとに基づいて、次の（３）
式により算出される。

【００４８】 Ｒａ＝ｂ１・Ｉｐ（θ１）＋ｂ２・Ｉｐ（０）＋ｂ３・Ｍ …（３）

【００４９】但し、ここでｂ１、ｂ２、ｂ３は定数であ
る。

【００５０】図５は、異なる塗油量Ｍの下における、正
反射光強度Ｉｐ（θ１）と平均粗さＲａとの関係を示す
ものである。図５において、○は、塗油量Ｍが５０〜５
５ｍｇ／ｍ² の場合、△は、塗油量Ｍが９５〜１００
ｍｇ／ｍ² の場合、□は、塗油量Ｍが１４５〜１５０
ｍｇ／ｍ² の場合である。

【００５１】励起波長の反射光強度Ｉｐ（０）、正反射
光強度Ｉｐ（θ１）及び塗油量Ｍの３つを用いて表面粗
さＲａを求める理由は、例えば、図５に示すように、平
均粗さは前記励起波長の反射光強度のうちの正反射光強
度Ｉｐ（θ１）と直線的関係があり、その直線は鋼板１
０の表面の塗油量Ｍによって変わるためである。更に、
正反射光強度Ｉｐ（θ１）の他に励起波長の反射光強度
のうちの鋼板表面の法線方向に対して所定角以内の方向
の反射光強度を測定するのは、金属表面の反射率変動を
補正するためである。

【００５２】図５で塗油量により直線が変わるのは、塗
油量が増加すると励起光の吸収量が増大するからであ
る。

【００５３】（３）式の関係は、金属材料表面の微細な
凹凸形状の不規則性が変わると直線でなくなるため、一
般には次の（４）式のように表わされる。

【００５４】 Ｒａ＝Ｆ２｛Ｉｐ（θ１），Ｉｐ（０），Ｍ｝ …（４）

【００５５】ここで、Ｆ２は代表的な金属材料の表面粗
さや、反射率、油の種類、塗油量を変化させたときの測
定量と粗さの関係を調べて予め実験で定められる。

【００５６】上記（３）式又は（４）式において、塗油
量Ｍの代わりに、測定した前記蛍光強度Ｉｆ（０）を用
いて、（２）式をこれらの式へ代入し、次の（５）式又
は（６）式で求めるようにすることもできる。

【００５７】 Ｒａ＝ｂ１・Ｉｐ（θ１）＋ｂ２・Ｉｐ（０）＋ｂ３・Ｆ１｛Ｉｆ（０）｝ …（５）

【００５８】 Ｒａ＝Ｆ２｛Ｉｐ（θ１），Ｉｐ（０），Ｆ１｛Ｉｆ（０）｝｝ …（６）

【００５９】本実施形態における測定の結果、塗油量と
して２０〜３００mg／ｍ² の範囲において±１０％以
内、粗さとして０．１〜０．５μｍの範囲において±１
０％以内の精度で測定が可能となった。

【００６０】以上説明したとおり、本実施形態によれ
ば、鋼板表面に所定の入射角θ１で励起光を照射するレ
ーザ光源を１つに共通化し、鋼板表面の法線方向に対し
所定角度（前述したように±５°が望ましい）以内の方
向から鋼板表面に塗布された油の発する蛍光強度を測定
すると共に、同じ方向から前記励起光の反射光強度を測
定し、更に励起光の反射角θ１の正反射光強度を測定
し、これらの測定値から塗油量及び表面粗さを算出する
用にしたため、一つの光学装置により塗油量と表面粗さ
が測定できるので、装置を小型化でき設置場所の制約も
少なく、費用も安価にできる。

【００６１】なお、光源に使用するレーザ発振器として
は窒素レーザの他に、ＹＡＧレーザの３倍波を用いた波
長３５５nmのレーザとしてもよい。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したとおり本発明によれば、単
一の光学測定装置により鋼板表面の塗油量及び表面粗さ
を連続的に測定可能になるため、測定精度を向上させる
と共に、装置設置費用を安価にすることが可能となる。
又、装置を小型化できるため、例えばオフライン卓上測
定へも容易に転用可能であり、従来のサンプル切り出し
での品質管理にも利用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る金属材料表面性状計
測装置の概略構成を示すブロック線図

【図２】本実施形態において蛍光強度、反射光強度、正
反射光強度を測定する方法を示す説明図

【図３】同じく、蛍光強度を測定する方向と塗油量の測
定誤差の関係を示す線図

【図４】同じく、異なる表面粗さの下における蛍光強度
と塗油量との関係を示す線図

【図５】同じく、正反射光強度と表面粗さとの関係を示
す線図

【符号の説明】 １０…鋼板 １２…防錆油 １４…光源（パルス窒素レーザ） １６、２６、３６、４４…干渉フィルタ １８、３４…ミラー ２０、２２、２８、３８、４２、４６…レンズ ２４…ハーフミラー ３０…小型分光器 ３２…フォトマルチプライヤ ４０、４８…Ｓｉフォトダイオード検出器 ５０…電気制御系 ５２…Ａ／Ｄ変換器 ５４…演算処理装置 ５６…出力装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】油を塗布した金属材料表面に入射角度θ１
   で特定波長の励起光を照射し、 該励起光の照射により生じる油からの蛍光を含む光を、
   前記金属材料表面の法線方向に対し所定角度以内の方向
   から受光し、 該受光した光の内から蛍光強度Ｉｆ（０）を測定すると
   共に、前記励起光の反射光強度Ｉｐ（０）を測定し、 前記励起光の正反射方向からの光を受光し、 該正反射方向から受光した光の内から前記励起光の正反
   射光強度Ｉｐ（θ１）を測定し、 前記蛍光強度Ｉｆ（０）に基づいて、前記金属材料表面
   に塗布された油の塗油量を求めると共に、 該塗油量、励起光の反射光強度Ｉｐ（０）及び励起光の
   正反射光強度Ｉｐ（θ1 ）に基づいて、あるいは、蛍光
   強度Ｉｆ（０）、励起光の反射光強度Ｉｐ（０）及び励
   起光の正反射光強度Ｉｐ（θ１）に基づいて、金属材料
   表面の表面粗さを求めることを特徴とする金属材料表面
   性状計測方法。
2. 【請求項２】油を塗布した金属材料表面に入射角度θ１
   で特定波長の励起光を照射する手段と、 該励起光の照射により生じる油からの蛍光を含む光を、
   前記金属材料表面の法線方向に対し所定角度以内の方向
   から受光する手段と、 該受光した光の内から蛍光強度Ｉｆ（０）を測定する手
   段と、 該受光した光の内から前記励起光の反射光強度Ｉｐ
   （０）を測定する手段と、 前記励起光の正反射方向からの光を受光する手段と、 該正反射方向から受光した光の内から前記励起光の正反
   射光強度Ｉｐ（θ１）を測定する手段と、 前記蛍光強度Ｉｆ（０）に基づいて、前記金属材料表面
   に塗布された油の塗油量を求めると共に、該塗油量、励
   起光の反射光強度Ｉｐ（０）及び励起光の正反射光強度
   Ｉｐ（θ１）に基づいて、あるいは、蛍光強度Ｉｆ
   （０）、励起光の反射光強度Ｉｐ（０）及び励起光の正
   反射光強度Ｉｐ（θ1 ）に基づいて、金属材料表面の表
   面粗さを求める手段と、 を備えたことを特徴とする金属材料表面性状計測装置。