JPH11111184A - マイクロ波発生装置 - Google Patents
マイクロ波発生装置Info
- Publication number
- JPH11111184A JPH11111184A JP28467197A JP28467197A JPH11111184A JP H11111184 A JPH11111184 A JP H11111184A JP 28467197 A JP28467197 A JP 28467197A JP 28467197 A JP28467197 A JP 28467197A JP H11111184 A JPH11111184 A JP H11111184A
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- Japan
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- filament voltage
- magnetron
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マグネトロンの交換時期を延長させる。
【解決手段】 マイクロ波を発生させるマグネトロン１
と、マグネトロンのフィラメントに電力を供給するフィ
ラメント電源２と、マグネトロンのフィラメントとアノ
ードとの間に電力を供給するアノード電源３と、アノー
ド電源の出力を所定時期にＯＮさせ、所定時期にＯＦＦ
させてマイクロ波出力をＯＮ・ＯＦＦするためのＯＮ・
ＯＦＦ指令信号を発生するアノード電源制御回路４とを
設ける。さらに、マイクロ波出力を検出するマイクロ波
出力検出器５と、マイクロ波出力のＯＮ回数を積算する
ＯＮ回数積算回路６と、ＯＮ回数が設定値を越えたとき
に、フィラメント電圧増加指令信号を出力するＯＮ回数
判定回路７と、ＯＮ回数判定回路の出力に基づいてフィ
ラメント電圧を増加させるフィラメント電圧設定変更回
路８とを設ける。
と、マグネトロンのフィラメントに電力を供給するフィ
ラメント電源２と、マグネトロンのフィラメントとアノ
ードとの間に電力を供給するアノード電源３と、アノー
ド電源の出力を所定時期にＯＮさせ、所定時期にＯＦＦ
させてマイクロ波出力をＯＮ・ＯＦＦするためのＯＮ・
ＯＦＦ指令信号を発生するアノード電源制御回路４とを
設ける。さらに、マイクロ波出力を検出するマイクロ波
出力検出器５と、マイクロ波出力のＯＮ回数を積算する
ＯＮ回数積算回路６と、ＯＮ回数が設定値を越えたとき
に、フィラメント電圧増加指令信号を出力するＯＮ回数
判定回路７と、ＯＮ回数判定回路の出力に基づいてフィ
ラメント電圧を増加させるフィラメント電圧設定変更回
路８とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マルチチャンバに
設けたマイクロ波発生装置に関するものである。
設けたマイクロ波発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】薄膜を形成する装置の１つであるＣＶＤ
装置、また半導体製造装置用エッチング装置などのプラ
ズマ処理装置にマイクロ波によるプラズマを利用したも
のがある。これらの装置には、マイクロ波を発生させる
ためのマグネトロンと、そのフィラメントに電力を供給
するフィラメント電源と、フィラメントとアノードとの
間に電力を供給するアノード電源とから構成されるマイ
クロ波発生装置が設けられている。
装置、また半導体製造装置用エッチング装置などのプラ
ズマ処理装置にマイクロ波によるプラズマを利用したも
のがある。これらの装置には、マイクロ波を発生させる
ためのマグネトロンと、そのフィラメントに電力を供給
するフィラメント電源と、フィラメントとアノードとの
間に電力を供給するアノード電源とから構成されるマイ
クロ波発生装置が設けられている。
【０００３】マイクロ波発生装置に取り付けられたマグ
ネトロンは消耗品であり、寿命が近づけばマイクロ波出
力が不安定になったり、低下したりして、最終的に出力
が停止する。特に、ウエハを処理するマルチチャンバ方
式のプラズマ処理装置では、マイクロ波出力を短時間Ｏ
Ｎ・ＯＦＦさせ、しかもそれが連続的に繰返される。マ
グネトロンをこのような使い方をすると、マグネトロン
の製造メーカが推奨するマグネトロンの交換時期、すな
わちマイクロ波を連続的に発生させたときのフィラメン
ト累積点灯時間よりも遥かに短い累積点灯時間でマイク
ロ波出力が停止する。従来では、この時点でマグネトロ
ンを交換している。
ネトロンは消耗品であり、寿命が近づけばマイクロ波出
力が不安定になったり、低下したりして、最終的に出力
が停止する。特に、ウエハを処理するマルチチャンバ方
式のプラズマ処理装置では、マイクロ波出力を短時間Ｏ
Ｎ・ＯＦＦさせ、しかもそれが連続的に繰返される。マ
グネトロンをこのような使い方をすると、マグネトロン
の製造メーカが推奨するマグネトロンの交換時期、すな
わちマイクロ波を連続的に発生させたときのフィラメン
ト累積点灯時間よりも遥かに短い累積点灯時間でマイク
ロ波出力が停止する。従来では、この時点でマグネトロ
ンを交換している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マグネ
トロンの交換は、上記のマグネトロンの交換時期よりも
短い時期に行っているために、明らかに寿命に至ってい
ないと思われるマグネトロンを廃棄することになり、ラ
ンニングコストの上昇を招くという問題があった。
トロンの交換は、上記のマグネトロンの交換時期よりも
短い時期に行っているために、明らかに寿命に至ってい
ないと思われるマグネトロンを廃棄することになり、ラ
ンニングコストの上昇を招くという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、マグネトロンの交換時期
を延長させたマイクロ波発生装置を提供することにあ
る。
を延長させたマイクロ波発生装置を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、マイクロ波を
発生させるマグネトロンと、マグネトロンのフィラメン
トに電力を供給するフィラメント電源と、マグネトロン
のフィラメントとアノードとの間に電力を供給するアノ
ード電源と、アノード電源の出力を所定時期にＯＮさ
せ、所定時期にＯＦＦさせてマイクロ波出力をＯＮ・Ｏ
ＦＦするためのＯＮ・ＯＦＦ指令信号を発生するアノー
ド電源制御回路とを具備したマイクロ波発生装置に係わ
るものである。
発生させるマグネトロンと、マグネトロンのフィラメン
トに電力を供給するフィラメント電源と、マグネトロン
のフィラメントとアノードとの間に電力を供給するアノ
ード電源と、アノード電源の出力を所定時期にＯＮさ
せ、所定時期にＯＦＦさせてマイクロ波出力をＯＮ・Ｏ
ＦＦするためのＯＮ・ＯＦＦ指令信号を発生するアノー
ド電源制御回路とを具備したマイクロ波発生装置に係わ
るものである。
【０００７】請求項１に記載の発明は、マイクロ波出力
を検出するマイクロ波出力検出器と、マイクロ波出力の
ＯＮ回数を積算するＯＮ回数積算回路と、ＯＮ回数が設
定値を越えたときに、フィラメント電圧増加指令信号を
出力するＯＮ回数判定回路と、ＯＮ回数判定回路の出力
に基づいてフィラメント電圧を増加させるフィラメント
電圧設定変更回路とを設けたものである。
を検出するマイクロ波出力検出器と、マイクロ波出力の
ＯＮ回数を積算するＯＮ回数積算回路と、ＯＮ回数が設
定値を越えたときに、フィラメント電圧増加指令信号を
出力するＯＮ回数判定回路と、ＯＮ回数判定回路の出力
に基づいてフィラメント電圧を増加させるフィラメント
電圧設定変更回路とを設けたものである。
【０００８】請求項２に記載の発明は、ＯＮ・ＯＦＦ指
令信号のＯＮ回数を積算するＯＮ回数積算回路と、ＯＮ
回数が設定値を越えたときに、フィラメント電圧増加指
令信号を出力するＯＮ回数判定回路と、ＯＮ回数判定回
路の出力に基づいてフィラメント電圧を増加させるフィ
ラメント電圧設定変更回路とを設けたものである。
令信号のＯＮ回数を積算するＯＮ回数積算回路と、ＯＮ
回数が設定値を越えたときに、フィラメント電圧増加指
令信号を出力するＯＮ回数判定回路と、ＯＮ回数判定回
路の出力に基づいてフィラメント電圧を増加させるフィ
ラメント電圧設定変更回路とを設けたものである。
【０００９】請求項３に記載の発明は、フィラメント電
圧設定変更回路が、初期フィラメント電圧設定器と、フ
ィラメント電圧増加分設定器と、フィラメント電圧増加
分設定器に設定された初期フィラメント電圧設定値とフ
ィラメント電圧増加分設定器に設定されてフィラメント
電圧増加指令信号が入力されたときに出力されるフィラ
メント電圧増加分設定値とを加算する加算器とからなる
ものである。
圧設定変更回路が、初期フィラメント電圧設定器と、フ
ィラメント電圧増加分設定器と、フィラメント電圧増加
分設定器に設定された初期フィラメント電圧設定値とフ
ィラメント電圧増加分設定器に設定されてフィラメント
電圧増加指令信号が入力されたときに出力されるフィラ
メント電圧増加分設定値とを加算する加算器とからなる
ものである。
【００１０】請求項４に記載の発明は、初期フィラメン
ト電圧設定値が、マグネトロンのフィラメント電圧リデ
ュース曲線の下限値とするものである。
ト電圧設定値が、マグネトロンのフィラメント電圧リデ
ュース曲線の下限値とするものである。
【００１１】上記の発明においては、マイクロ波出力の
ＯＮ・ＯＦＦを重ねると、マグネトロンの表面に不純物
が付着して、フィラメントからの熱電子放出が抑制され
ることになり、この状態はあたかもフィラメントが劣化
して熱電子放出量が減少することと同じ現象であり、こ
の現象がマグネトロンの製造メーカが推奨するマグネト
ロンの交換時期よりも遥かに短い時期に起こっているこ
と、及びマイクロ波出力のＯＮ回数と関連性があること
がわかり、このＯＮ回数が予め定めた値を越えたとき
に、フィラメント電圧を上げて熱電子放出量を復元させ
る。
ＯＮ・ＯＦＦを重ねると、マグネトロンの表面に不純物
が付着して、フィラメントからの熱電子放出が抑制され
ることになり、この状態はあたかもフィラメントが劣化
して熱電子放出量が減少することと同じ現象であり、こ
の現象がマグネトロンの製造メーカが推奨するマグネト
ロンの交換時期よりも遥かに短い時期に起こっているこ
と、及びマイクロ波出力のＯＮ回数と関連性があること
がわかり、このＯＮ回数が予め定めた値を越えたとき
に、フィラメント電圧を上げて熱電子放出量を復元させ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るマイクロ波発
生装置の一実施形態を示すブロック図である。同図にお
いて、１はマイクロ波を発生させるマグネトロン、２は
マグネトロン１のフィラメント電圧を可変設定すること
ができるフィラメント電源、３はマグネトロン１のフィ
ラメント１ａとアノード１ｂとの間に電圧を供給するア
ノード電源、４はアノード電源３の出力を所定時期にＯ
Ｎさせ、所定時期にＯＦＦさせてマイクロ波出力をＯＮ
・ＯＦＦするためのＯＮ・ＯＦＦ指令信号を発生するア
ノード電源制御回路である。５は例えばアノード電源３
の出力電圧を抵抗分圧してマイクロ波出力を検出するマ
イクロ波出力検出器、６はマイクロ波出力のＯＮ回数を
積算するＯＮ回数積算回路、７はＯＮ回数設定器７ａ及
び比較器７ｂからなるＯＮ回数判定回路、８は初期フィ
ラメント電圧設定器８ａ、フィラメント電圧増加分設定
器８ｂ及び加算器８ｃからなるフィラメント電圧設定変
更回路である。
生装置の一実施形態を示すブロック図である。同図にお
いて、１はマイクロ波を発生させるマグネトロン、２は
マグネトロン１のフィラメント電圧を可変設定すること
ができるフィラメント電源、３はマグネトロン１のフィ
ラメント１ａとアノード１ｂとの間に電圧を供給するア
ノード電源、４はアノード電源３の出力を所定時期にＯ
Ｎさせ、所定時期にＯＦＦさせてマイクロ波出力をＯＮ
・ＯＦＦするためのＯＮ・ＯＦＦ指令信号を発生するア
ノード電源制御回路である。５は例えばアノード電源３
の出力電圧を抵抗分圧してマイクロ波出力を検出するマ
イクロ波出力検出器、６はマイクロ波出力のＯＮ回数を
積算するＯＮ回数積算回路、７はＯＮ回数設定器７ａ及
び比較器７ｂからなるＯＮ回数判定回路、８は初期フィ
ラメント電圧設定器８ａ、フィラメント電圧増加分設定
器８ｂ及び加算器８ｃからなるフィラメント電圧設定変
更回路である。
【００１３】上記のように構成されたマイクロ波発生装
置においては、まずマグネトロンの製造メーカが推奨す
るフィラメント電圧リデュース曲線に基づき、所定のマ
イクロ波出力に対応するフィラメント電圧の下限値を初
期フィラメント電圧設定値とし、この値を初期フィラメ
ント電圧設定器８ａに設定して、所定のマイクロ波出力
を発生させる。フィラメント電圧リデュース曲線は、種
類毎に定められており、マイクロ波出力の増加に対する
フィラメント電圧の低減を表すと共に、所定のマイクロ
波出力に対応するフィラメント電圧の上限値及び下限値
を表している。
置においては、まずマグネトロンの製造メーカが推奨す
るフィラメント電圧リデュース曲線に基づき、所定のマ
イクロ波出力に対応するフィラメント電圧の下限値を初
期フィラメント電圧設定値とし、この値を初期フィラメ
ント電圧設定器８ａに設定して、所定のマイクロ波出力
を発生させる。フィラメント電圧リデュース曲線は、種
類毎に定められており、マイクロ波出力の増加に対する
フィラメント電圧の低減を表すと共に、所定のマイクロ
波出力に対応するフィラメント電圧の上限値及び下限値
を表している。
【００１４】つぎに、アノード電源３に所定のＯＮ・Ｏ
ＦＦ指令信号を入力することにより、マイクロ波を所定
期間出力させ、また所定期間停止させることができる。
例えばマイクロ波を２分間出力させて、ウエハに所定の
プラズマ処理を行い、次のウエハが搬送されてくるまで
の間、例えば３０秒間停止させる。このようなＯＮ・Ｏ
ＦＦのパターンを繰返すことにより、次々と搬送されて
くるウエハに対し、次々とプラズマ処理を行う。
ＦＦ指令信号を入力することにより、マイクロ波を所定
期間出力させ、また所定期間停止させることができる。
例えばマイクロ波を２分間出力させて、ウエハに所定の
プラズマ処理を行い、次のウエハが搬送されてくるまで
の間、例えば３０秒間停止させる。このようなＯＮ・Ｏ
ＦＦのパターンを繰返すことにより、次々と搬送されて
くるウエハに対し、次々とプラズマ処理を行う。
【００１５】上記のようなプラズマ処理が行われると、
マイクロ波出力検出器５により検出されたマイクロ波出
力検出信号は、ＯＮ回数積算回路６に入力され、マイク
ロ波出力をＯＮさせたときのマイクロ波出力検出信号が
入力される毎にカウントアップする。
マイクロ波出力検出器５により検出されたマイクロ波出
力検出信号は、ＯＮ回数積算回路６に入力され、マイク
ロ波出力をＯＮさせたときのマイクロ波出力検出信号が
入力される毎にカウントアップする。
【００１６】ＯＮ回数判定回路７は、ＯＮ回数積算回路
６の出力であるカウント値と、ＯＮ回数設定器７ａに設
定されたＯＮ回数設定値とが比較器７ｂに入力されてお
り、カウント値が設定値を越えたときに、フィラメント
電圧増加指令信号を出力する。ＯＮ回数設定値は、例え
ば従来の技術で示したようなマイクロ波出力が停止した
ときの回数とする。
６の出力であるカウント値と、ＯＮ回数設定器７ａに設
定されたＯＮ回数設定値とが比較器７ｂに入力されてお
り、カウント値が設定値を越えたときに、フィラメント
電圧増加指令信号を出力する。ＯＮ回数設定値は、例え
ば従来の技術で示したようなマイクロ波出力が停止した
ときの回数とする。
【００１７】フィラメント電圧設定変更回路８は、フィ
ラメント電圧増加指令信号が入力されると、フィラメン
ト電圧増加分設定器８ｂに設定されたフィラメント電圧
増加分設定値が出力され、その設定値が加算器８ｃに、
初期フィラメント電圧設定器８ａに設定された初期フィ
ラメント電圧設定値とともに入力され、これらの設定値
が加算されて新たなフィラメント電圧設定値を出力す
る。フィラメント電圧増加分設定値は、例えばマグネト
ロンのフィラメント電圧リデュース曲線の上限値から下
限値を差引いた値とする。
ラメント電圧増加指令信号が入力されると、フィラメン
ト電圧増加分設定器８ｂに設定されたフィラメント電圧
増加分設定値が出力され、その設定値が加算器８ｃに、
初期フィラメント電圧設定器８ａに設定された初期フィ
ラメント電圧設定値とともに入力され、これらの設定値
が加算されて新たなフィラメント電圧設定値を出力す
る。フィラメント電圧増加分設定値は、例えばマグネト
ロンのフィラメント電圧リデュース曲線の上限値から下
限値を差引いた値とする。
【００１８】フィラメント電源２は、新たなフィラメン
ト電圧設定値により、フィラメント電圧を増加させる。
その結果、従来ではマイクロ波をＯＮさせる回数が３万
回でマイクロ波出力が停止していたが、１０万回まで延
長させることができたことを検証している。
ト電圧設定値により、フィラメント電圧を増加させる。
その結果、従来ではマイクロ波をＯＮさせる回数が３万
回でマイクロ波出力が停止していたが、１０万回まで延
長させることができたことを検証している。
【００１９】これは、マイクロ波出力のＯＮ・ＯＦＦを
重ねると、マグネトロンの表面に不純物が付着して、フ
ィラメントからの熱電子放出が抑制されることになり、
この状態はあたかもフィラメントが劣化して熱電子放出
量が減少することと同じ現象であるので、フィラメント
電圧を上げれば、熱電子放出量が復元することによるも
のである。
重ねると、マグネトロンの表面に不純物が付着して、フ
ィラメントからの熱電子放出が抑制されることになり、
この状態はあたかもフィラメントが劣化して熱電子放出
量が減少することと同じ現象であるので、フィラメント
電圧を上げれば、熱電子放出量が復元することによるも
のである。
【００２０】上記の実施形態においては、マイクロ波出
力検出器５を設け、その出力であるマイクロ波出力検出
信号をアノード電源３の出力電圧から得てＯＮ回数積算
回路６に入力しているが、このマイクロ波出力検出信号
をアノード電源３の出力電流から得るか、または方向性
結合器を使用して、マイクロ波電圧を変換した電圧から
得てもよい。また、マイクロ波出力検出器を省略するこ
とができる。この場合、アノード電源制御回路４から出
力されるＯＮ・ＯＦＦ指令信号をＯＮ回数積算回路６に
入力する。
力検出器５を設け、その出力であるマイクロ波出力検出
信号をアノード電源３の出力電圧から得てＯＮ回数積算
回路６に入力しているが、このマイクロ波出力検出信号
をアノード電源３の出力電流から得るか、または方向性
結合器を使用して、マイクロ波電圧を変換した電圧から
得てもよい。また、マイクロ波出力検出器を省略するこ
とができる。この場合、アノード電源制御回路４から出
力されるＯＮ・ＯＦＦ指令信号をＯＮ回数積算回路６に
入力する。
【００２１】上記のＯＮ回数設定値は、使用するマグネ
トロンの種類毎に変更する必要がある。また、例えばマ
イクロ波出力が停止したときの回数としたが、好まくは
その回数よりも少ない方が望ましい。このようにすれ
ば、マグネトロンのフィラメントの実際の寿命が来るま
でに、マイクロ波出力を停止させることがないので、装
置の信頼性が向上する。
トロンの種類毎に変更する必要がある。また、例えばマ
イクロ波出力が停止したときの回数としたが、好まくは
その回数よりも少ない方が望ましい。このようにすれ
ば、マグネトロンのフィラメントの実際の寿命が来るま
でに、マイクロ波出力を停止させることがないので、装
置の信頼性が向上する。
【００２２】また、上記の初期フィラメント電圧設定値
は、マグネトロンの製造メーカが推奨するマグネトロン
の種類毎のフィラメント電圧リデュース曲線の下限値と
したが、高い目の値でもよい。
は、マグネトロンの製造メーカが推奨するマグネトロン
の種類毎のフィラメント電圧リデュース曲線の下限値と
したが、高い目の値でもよい。
【００２３】さらに、上記のフィラメント電圧増加分設
定値は、フィラメント電圧リデュース曲線の上限値から
下限値を差引いた値が好ましいが、上記のように、初期
フィラメント電圧設定値をリデュース曲線の下限値より
も高い目の値にした場合、上限値から高い目の値を差引
いた値となる。
定値は、フィラメント電圧リデュース曲線の上限値から
下限値を差引いた値が好ましいが、上記のように、初期
フィラメント電圧設定値をリデュース曲線の下限値より
も高い目の値にした場合、上限値から高い目の値を差引
いた値となる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、マグネ
トロンの交換時期を延長させることができるので、ラン
ニングコストを低減することができる。またＯＮ回数設
定値を適宜に選定することにより、信頼性を向上させる
ことができる。
トロンの交換時期を延長させることができるので、ラン
ニングコストを低減することができる。またＯＮ回数設
定値を適宜に選定することにより、信頼性を向上させる
ことができる。
【００２５】また、請求項２に記載した発明によれば、
特にマイクロ波出力検出器を不要とすることができるの
で、コストを低減することができる。
特にマイクロ波出力検出器を不要とすることができるの
で、コストを低減することができる。
【００２６】さらに、請求項４に記載した発明によれ
ば、フィラメントの劣化を進みにくくすることができ
る。
ば、フィラメントの劣化を進みにくくすることができ
る。
【図１】本発明に係るマイクロ波発生装置の一実施形態
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
１ マグネトロン ２ フィラメント電源 ３ アノード電源 ４ アノード電源制御回路 ５ マイクロ波出力検出器 ６ ＯＮ回数積算回路 ７ ＯＮ回数判定回路 ８ フィラメント電圧設定変更回路
Claims (4)
- 【請求項１】 マイクロ波を発生させるマグネトロン
と、前記マグネトロンのフィラメントに電力を供給する
フィラメント電源と、前記マグネトロンのフィラメント
とアノードとの間に電力を供給するアノード電源と、前
記アノード電源の出力を所定時期にＯＮさせ、所定時期
にＯＦＦさせてマイクロ波出力をＯＮ・ＯＦＦするため
のＯＮ・ＯＦＦ指令信号を発生するアノード電源制御回
路とを具備したマイクロ波発生装置において、 前記マイクロ波出力を検出するマイクロ波出力検出器
と、 前記マイクロ波出力のＯＮ回数を積算するＯＮ回数積算
回路と、 前記ＯＮ回数が設定値を越えたときに、フィラメント電
圧増加指令信号を出力するＯＮ回数判定回路と、 前記ＯＮ回数判定回路の出力に基づいてフィラメント電
圧を増加させるフィラメント電圧設定変更回路とを設け
たマイクロ波発生装置。 - 【請求項２】 マイクロ波を発生させるマグネトロン
と、前記マグネトロンのフィラメントに電力を供給する
フィラメント電源と、前記マグネトロンのフィラメント
とアノードとの間に電力を供給するアノード電源と、前
記アノード電源の出力を所定時期にＯＮさせ、所定時期
にＯＦＦさせてマイクロ波出力をＯＮ・ＯＦＦするため
のＯＮ・ＯＦＦ指令信号を発生するアノード電源制御回
路とを具備したマイクロ波発生装置において、 前記ＯＮ・ＯＦＦ指令信号のＯＮ回数を積算するＯＮ回
数積算回路と、 前記ＯＮ回数が設定値を越えたときに、フィラメント電
圧増加指令信号を出力するＯＮ回数判定回路と、 前記ＯＮ回数判定回路の出力に基づいてフィラメント電
圧を増加させるフィラメント電圧設定変更回路とを設け
たマイクロ波発生装置。 - 【請求項３】 前記フィラメント電圧設定変更回路は、
初期フィラメント電圧設定器と、フィラメント電圧増加
分設定器と、前期フィラメント電圧増加分設定器に設定
された初期フィラメント電圧設定値と前記フィラメント
電圧増加分設定器に設定されて前記フィラメント電圧増
加指令信号が入力されたときに出力されるフィラメント
電圧増加分設定値とを加算する加算器とからなる請求項
１または２に記載のマイクロ波発生装置。 - 【請求項４】 前記初期フィラメント電圧設定値は、マ
グネトロンのフィラメント電圧リデュース曲線の下限値
とする請求項３に記載のマイクロ波発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28467197A JPH11111184A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | マイクロ波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28467197A JPH11111184A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | マイクロ波発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111184A true JPH11111184A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17681482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28467197A Pending JPH11111184A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | マイクロ波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11111184A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114672790A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-06-28 | 广东熹钻技术有限公司 | 一种微波等离子体化学气相沉积系统 |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP28467197A patent/JPH11111184A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114672790A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-06-28 | 广东熹钻技术有限公司 | 一种微波等离子体化学气相沉积系统 |
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