JPH11108623A - Three-dimensional shape measuring instrument - Google Patents
Three-dimensional shape measuring instrumentInfo
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- JPH11108623A JPH11108623A JP9269786A JP26978697A JPH11108623A JP H11108623 A JPH11108623 A JP H11108623A JP 9269786 A JP9269786 A JP 9269786A JP 26978697 A JP26978697 A JP 26978697A JP H11108623 A JPH11108623 A JP H11108623A
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- JP
- Japan
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- signal
- laser beam
- intensity
- frequency
- photodetector
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、船殻部材、橋、構
造部材等の寸法計測等に用いられる３次元形状計測装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a three-dimensional shape measuring apparatus used for measuring dimensions of hull members, bridges, structural members and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般的なレーザ光を用いた３次元形状計
測装置では、（１）パルス方式と、（２）位相差方式と
がある。上記（１）のパルス方式は、パルス状のレーザ
光を照射し、送信光に対する受信光の時間差を測定し、
計測対象までの距離を求め、また、送信方向より計測対
象の方位を決定している。また、（２）の位相差方式で
は、レーザ光に強度変調を加えて計測対象に照射し、送
信光と受信光の位相のずれを測定し、計測対象までの距
離を求め、また、送信方向より計測対象の方位を決定し
ている。2. Description of the Related Art A general three-dimensional shape measuring apparatus using a laser beam includes (1) a pulse method and (2) a phase difference method. The pulse method of the above (1) irradiates a pulsed laser beam, measures the time difference between the received light and the transmitted light,
The distance to the measurement target is obtained, and the direction of the measurement target is determined from the transmission direction. In the phase difference method (2), the laser light is subjected to intensity modulation and irradiated onto a measurement target, the phase shift between the transmission light and the reception light is measured, the distance to the measurement target is determined, and the transmission direction is determined. The direction of the object to be measured is determined.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の３次元形状計測
装置において、距離方向の分解能を上げ、且つ、一度に
広範囲の領域を計測するには、（１）のパルス方式では
パルス幅を狭くし、（２）の位相差方式では、変調周波
数を上げなければならない。In the conventional three-dimensional shape measuring apparatus, in order to increase the resolution in the distance direction and measure a wide range at a time, the pulse width in the pulse method (1) is reduced. , (2), the modulation frequency must be increased.
【０００４】（１）のパルス方式においては、反射光を
測定する手段のクロック高速化、信号の広帯域化を意味
し、装置の複雑化、高価格化に繋がる欠点がある。ま
た、（２）の位相差方式においては、位相のずれが１波
長分以上になると、絶対距離の計測が困難となり、相対
距離計測しかできず、一度に計測する領域が制限され
る。[0004] The pulse method (1) means that the clock of the means for measuring the reflected light is increased in the clock speed and the signal is broadened, resulting in a drawback that the apparatus becomes complicated and the price increases. In the phase difference method (2), when the phase shift is equal to or more than one wavelength, it is difficult to measure the absolute distance, and only the relative distance can be measured, and the area to be measured at one time is limited.
【０００５】これは、高精度、かつ、広範囲領域での計
測は、計測装置を計測対象のそばまで移動させることを
意味し、計測システムの大規模化・高価格化、及び反射
光を測定する手段のクロック高速化、信号の広帯域化を
意味し、且つ、装置の複雑化を意味する。[0005] This means that high-accuracy measurement in a wide area means moving the measuring device to the vicinity of the object to be measured, which increases the size and cost of the measuring system and measures reflected light. This means that the clock speed of the means is increased, the bandwidth of the signal is increased, and the apparatus is complicated.
【０００６】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、簡単な構成でありながら、距離方向の分解
能を上げ、且つ、一度に広範囲の領域を計測することが
できる３次元形状計測装置を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and has a simple structure, but can increase the resolution in the distance direction and can measure a wide area at a time. It is intended to provide a device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係る３次元形状
計測装置は、レーザ光を発生するレーザ装置と、このレ
ーザ装置から出力されるレーザ光を強度変調する変調手
段と、この変調手段により変調されたレーザ光を計測対
象物に照射する手段と、前記計測対象物からのレーザ反
射光を受光する光検出器と、この光検出器を前記レーザ
光の強度変調周波数と僅かに異なる周波数でゲイン強度
変調するゲイン変調手段と、前記光検出器における受光
信号の強度変調周波数とゲイン強度変調周波数との差の
低周波信号を選択する選択手段と、この選択手段により
選択された受光信号を処理して３次元形状を計測する処
理手段とを具備したことを特徴とする。A three-dimensional shape measuring apparatus according to the present invention comprises a laser device for generating a laser beam, a modulating device for modulating the intensity of the laser beam output from the laser device, and a modulating device. Means for irradiating the modulated laser beam to the object to be measured, a photodetector for receiving laser reflected light from the object to be measured, and a photodetector which operates the photodetector at a frequency slightly different from the intensity modulation frequency of the laser beam. Gain modulation means for performing gain intensity modulation; selection means for selecting a low-frequency signal having a difference between the intensity modulation frequency of the light reception signal and the gain intensity modulation frequency in the photodetector; and processing of the light reception signal selected by the selection means And a processing means for measuring a three-dimensional shape.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係る
３次元形状計測装置の構成を示すブロック図である。図
１に示すようにレーザ装置１で発生されたレーザ光２
は、変調器３によってアナログ的にレーザ強度変調がか
けられる。上記変調器３には、レーザ光強度変調用発振
器４より変調用電気信号５が供給される。上記レーザ光
強度変調用発振器４は、例えば数〜数１００ＭＨｚの周
波数で発振可能なものであり、ユーザインターフェース
６を経由して、ユーザ（測定者）から指定された周波数
切替信号７に従って動作する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a three-dimensional shape measuring apparatus according to one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, a laser beam 2 generated by a laser device 1
Is subjected to laser intensity modulation by the modulator 3 in an analog manner. The modulator 3 is supplied with a modulation electric signal 5 from a laser light intensity modulation oscillator 4. The laser light intensity modulation oscillator 4 can oscillate at a frequency of, for example, several to several hundred MHz, and operates via a user interface 6 in accordance with a frequency switching signal 7 specified by a user (measurer).
【０００９】上記変調器３により変調されたレーザ光
は、ハーフミラー８及び集光光学系９を介してｘｙ軸二
次元スキャナー１０によって、任意の仰角・方位角方向
に走査される。このｘｙ軸二次元スキャナー１０は、例
えば２軸の回転装置例えばステッピングモータ等と、ミ
ラー等の光反射機能を有する部材との組合せによって構
成され、スキャナー制御回路１１によって制御される。
このスキャナー制御回路１１は、ユーザインターフェー
ス６を経由して、ユーザ（測定者）から指定されたスキ
ャニング設定信号１２に従ってｘｙ軸二次元スキャナー
１０を制御し、計測対象物１３にレーザ光２ａを照射す
る。また、スキャナー制御回路１１は、ｘｙ軸二次元ス
キャナー１０の位置情報１４をユーザインターフェース
６へ出力する。The laser beam modulated by the modulator 3 is scanned in arbitrary elevation and azimuth directions by an xy-axis two-dimensional scanner 10 via a half mirror 8 and a condensing optical system 9. The xy-axis two-dimensional scanner 10 is configured by a combination of a two-axis rotating device, for example, a stepping motor, and a member having a light reflecting function, such as a mirror, and is controlled by a scanner control circuit 11.
The scanner control circuit 11 controls the xy-axis two-dimensional scanner 10 via the user interface 6 according to the scanning setting signal 12 specified by the user (measurer), and irradiates the measurement target 13 with the laser beam 2a. . Further, the scanner control circuit 11 outputs the position information 14 of the xy-axis two-dimensional scanner 10 to the user interface 6.
【００１０】また、上記変調器３で変調されたレーザ光
は、その一部がハーフミラー８で反射されて光検出器１
５に入射する。この光検出器１５は、ゲイン変調用発振
器１６により、レーザ光出力の強度変調周波数と僅かに
異なる周波数でゲイン強度変調が施されている。例えば
レーザ光の変調周波数を５０ＭＨｚとしたとき、ゲイン
変調の変調周波数は、５０．０３ＭＨｚに設定される。
上記のように光検出器１５で２種の波動の重ね合わせに
よるビートダウンにより、０．０３ＭＨｚの低周波信号
が発生する。この低周波信号は、ローパスフィルタ１７
により取り出され、参照信号１８として位相差検出回路
１９へ送られる。A part of the laser beam modulated by the modulator 3 is reflected by the half mirror 8 and
5 is incident. The photodetector 15 is subjected to gain intensity modulation by a gain modulation oscillator 16 at a frequency slightly different from the intensity modulation frequency of the laser light output. For example, when the modulation frequency of the laser light is 50 MHz, the modulation frequency of the gain modulation is set to 50.03 MHz.
As described above, a low frequency signal of 0.03 MHz is generated by the beatdown by the superposition of two types of waves in the photodetector 15. This low-frequency signal is supplied to a low-pass filter 17.
And sent to the phase difference detection circuit 19 as the reference signal 18.
【００１１】そして、上記計測対象物１３により反射さ
れたレーザ光２ｂは、受光レンズ系２１を経由して集光
され、光検出器２２に入射する。この光検出器２２は、
ゲイン変調用発振器１６により上記光検出器１５と同様
に例えば５０．０３ＭＨｚの周波数で強度変調されてお
り、ビートダウンした結果の０．０３ＭＨｚの低周波信
号を出力する。この光検出器２２から出力される低周波
信号は、ローパスフィルタ２３を経由して受光信号２４
として位相差検出回路１９に入力される。Then, the laser beam 2b reflected by the measurement object 13 is condensed via the light receiving lens system 21 and enters the photodetector 22. This photodetector 22
The intensity is modulated at a frequency of, for example, 50.03 MHz by the gain modulating oscillator 16 in the same manner as the photodetector 15, and outputs a low frequency signal of 0.03 MHz as a result of beat down. The low-frequency signal output from the photodetector 22 passes through a low-pass filter 23 to receive a light-receiving signal 24.
Is input to the phase difference detection circuit 19.
【００１２】位相差検出回路１９は、参照信号１８と受
光信号２４との位相差を検出し、その位相差信号２５を
ユーザインターフェース６へ出力する。このユーザイン
ターフェース６は、スキャナ位置情報１４及び位相差信
号２５に基づいて計測対象物１３の３次元情報を表示装
置２６に出力して表示する。A phase difference detection circuit 19 detects a phase difference between the reference signal 18 and the light receiving signal 24 and outputs a phase difference signal 25 to the user interface 6. The user interface 6 outputs and displays the three-dimensional information of the measurement target 13 to the display device 26 based on the scanner position information 14 and the phase difference signal 25.
【００１３】次に上記実施形態の動作について説明す
る。レーザ装置１で発生されたレーザ光２は、変調器３
に入力され、レーザ光強度変調用発振器４から出力され
る変調用電気信号５に基づいて例えば５０ＭＨｚの周波
数でアナログ的に強度変調される。変調器３により変調
されたレーザ光は、ハーフミラー８及び集光光学系９を
介してｘｙ軸二次元スキャナー１０によって、任意の仰
角・方位角方向に走査される。スキャナー制御回路１１
は、ユーザインターフェース６を経由して、ユーザ（測
定者）から指定されたスキャニング設定信号１２に従っ
てｘｙ軸二次元スキャナー１０を制御し、レーザ光２ａ
を方位角方向及び仰角方向に走査して計測対象物１３に
照射すると共に、ｘｙ軸二次元スキャナー１０の位置情
報１４をユーザインターフェース６へ出力する。Next, the operation of the above embodiment will be described. The laser light 2 generated by the laser device 1 is
The intensity is modulated analogously at a frequency of, for example, 50 MHz based on the modulation electric signal 5 output from the laser light intensity modulation oscillator 4. The laser light modulated by the modulator 3 is scanned in arbitrary elevation and azimuth directions by an xy-axis two-dimensional scanner 10 via a half mirror 8 and a condensing optical system 9. Scanner control circuit 11
Controls the xy-axis two-dimensional scanner 10 via the user interface 6 according to the scanning setting signal 12 designated by the user (measurer), and outputs the laser light 2a
Is scanned in the azimuth and elevation directions to irradiate the measurement target 13, and the position information 14 of the xy-axis two-dimensional scanner 10 is output to the user interface 6.
【００１４】また、上記変調器３で変調されたレーザ光
は、その一部がハーフミラー８で反射されて光検出器１
５に入射する。この光検出器１５は、ゲイン変調用発振
器１６により、レーザ光出力の強度変調周波数と僅かに
異なる周波数でゲイン強度変調が施されているので、そ
の差の低周波信号がローパスフィルタ１７により取り出
され、参照信号１８として位相差検出回路１９へ送られ
る。A part of the laser light modulated by the modulator 3 is reflected by the half mirror 8 and
5 is incident. In the photodetector 15, since the gain modulation is performed by the gain modulation oscillator 16 at a frequency slightly different from the intensity modulation frequency of the laser light output, a low-frequency signal of the difference is extracted by the low-pass filter 17. , As a reference signal 18 to the phase difference detection circuit 19.
【００１５】そして、上記計測対象物１３により反射さ
れたレーザ光２ｂは、受光レンズ系２１を経由して集光
され、光検出器２２に入射する。この光検出器２２は、
ゲイン変調用発振器１６により上記光検出器１５と同じ
周波数で強度変調されており、ビートダウンした結果の
低周波信号がローパスフィルタ２３を経由して受光信号
２４として位相差検出回路１９に入力される。The laser beam 2b reflected by the measurement object 13 is condensed via a light receiving lens system 21 and enters a photodetector 22. This photodetector 22
The intensity is modulated by the gain modulation oscillator 16 at the same frequency as that of the photodetector 15, and the beat-down resulting low-frequency signal is input to the phase difference detection circuit 19 as the light reception signal 24 via the low-pass filter 23. .
【００１６】図２（ａ）〜（ｃ）は、上記計測対象物１
３に照射されるレーザ光出力、光検出器１５，２２のゲ
イン、及び光検出器ローパスフィルタ２３を経由して取
り出される受光信号２４、の各グラフを示したものであ
る。FIGS. 2A to 2C show the measurement object 1 described above.
3 shows respective graphs of a laser light output applied to the light source 3, a gain of the photodetectors 15 and 22, and a light reception signal 24 extracted through the photodetector low-pass filter 23.
【００１７】上記図２（ａ）に示す「レーザ光出力」の
グラフは、縦軸にレーザ光の出力強度、横軸に時間を示
している。このグラフに示されているように、本発明に
おけるレーザ光の出力は、時間的に強度変調を施してい
る。例えば精度数ミリメートルの形状計測装置において
は、通常、数〜数１００ＭＨｚの周波数に相当する強度
変調を用いている。In the graph of "laser light output" shown in FIG. 2A, the vertical axis shows the output intensity of the laser light, and the horizontal axis shows time. As shown in this graph, the output of the laser beam in the present invention is temporally modulated. For example, in a shape measuring device with an accuracy of several millimeters, intensity modulation corresponding to a frequency of several to several hundred MHz is usually used.
【００１８】上記図２（ｂ）に示す「検出器ゲイン」の
グラフは、縦軸に光検出器１５，２２のゲイン強度、横
軸に時間を示している。すなわち、光検出器１５，２２
のゲインが時間的に強度変調されている状態を示してい
る。In the graph of "detector gain" shown in FIG. 2B, the vertical axis shows the gain intensity of the photodetectors 15 and 22, and the horizontal axis shows time. That is, the photodetectors 15, 22
3 shows a state in which the gain is temporally modulated.
【００１９】図２（ｃ）に示す「受光信号」のグラフ
は、縦軸に受光信号強度、横軸に時間を示している。上
記のように強度変調が施されたレーザ光出力、及び、こ
のレーザ光出力の強度変調周波数とは僅かに異なる周波
数でゲイン強度変調が施された光検出器２２を用いた受
光信号は、次式にて示される周波数を有する信号となっ
て観測される。In the graph of "light receiving signal" shown in FIG. 2 (c), the vertical axis shows the light receiving signal intensity and the horizontal axis shows time. The laser light output subjected to the intensity modulation as described above and the light receiving signal using the photodetector 22 having the gain intensity modulated at a frequency slightly different from the intensity modulation frequency of the laser light output are as follows. It is observed as a signal having the frequency shown by the equation.
【００２０】 Ｉ（ｔ）＝Ａｓｉｎ（ωｔ）×ｓｉｎ（ω′ｔ） ＝Ａ′［ｃｏｓ｛（ω＋ω′）ｔ｝ −ｃｏｓ｛（ω−ω′）ｔ｝］ …（１） ここで、Ｉ（ｔ）は受光信号を示しており、ωはレーザ
光出力の強度変調周波数、ω′は光検出器２２のゲイン
強度変調周波数である。また、この際、それぞれの強度
変調信号が有している位相差に関する情報は保存され
る。I (t) = A sin (ωt) × sin (ω′t) = A ′ [cos ｛(ω + ω ′) t｝ −cos ｛(ω−ω ′) t｝] (1) where I (t) represents the light receiving signal, ω is the intensity modulation frequency of the laser light output, and ω ′ is the gain intensity modulation frequency of the photodetector 22. At this time, information on the phase difference of each intensity-modulated signal is stored.
【００２１】そして、例えばレーザ光出力の強度変調周
波数ωを５０ＭＨｚ、光検出器１５，２２のゲイン強度
変調周波数ω′を５０．０３ＭＨｚを選択すると、光検
出器２２により受光された信号Ｉ（ｔ）は、１００．０
３ＭＨｚと、０．０３ＭＨｚの２つの周波数を有する信
号となる。この光検出器２２から出力される２つの周波
数の信号のうち、０．０３ＭＨｚの信号がローパスフィ
ルタ２３を経由して取り出され、受光信号２４として位
相差検出回路１９へ送られる。この位相差検出回路１９
は、受光信号２４と参照信号１８との位相差を検出し、
位相差信号２５としてユーザインターフェース６へ出力
する。このユーザインターフェース６は、上記位相差信
号２５と、ｘｙ軸二次元スキャナー１０による計測対象
物１３への照射位置を示すスキャナ位置情報１４とから
計測対象物１３の３次元形状を求め、表示装置２６に表
示する。For example, when the intensity modulation frequency ω of the laser light output is selected to be 50 MHz and the gain intensity modulation frequency ω ′ of the photodetectors 15 and 22 is selected to be 50.03 MHz, the signal I (t) received by the photodetector 22 is selected. ) Is 100.0
The signal has two frequencies of 3 MHz and 0.03 MHz. Of the two frequency signals output from the photodetector 22, a 0.03 MHz signal is extracted via the low-pass filter 23 and sent to the phase difference detection circuit 19 as a light receiving signal 24. This phase difference detection circuit 19
Detects the phase difference between the received light signal 24 and the reference signal 18,
It is output to the user interface 6 as the phase difference signal 25. The user interface 6 obtains a three-dimensional shape of the measurement target 13 from the phase difference signal 25 and scanner position information 14 indicating an irradiation position of the measurement target 13 by the xy-axis two-dimensional scanner 10, and displays the display device 26. To be displayed.
【００２２】上記信号処理における位相の分解能を０．
１°とすると、５０ＭＨｚに対応する信号では、最小
０．８３ｍｍ（光の速度Ｃは、Ｃ＝３＊１０8 （ｍ／
ｓ）である。また、計測可能距離Ｌは、 Ｌ＝（３＊１０8 ／（５０＊１０6 ））＊（１／２）＝
３（ｍ） である。上式における（１／２）は、計測対象物１３に
より反射された光を処理するので、計測対象物１３まで
の距離は１／２となる。位相の分解能を０．１°とした
場合、最小の計測精度は、 ３（ｍ）／３６００＝０．８３（ｍｍ） の精度での計測が可能になる。The resolution of the phase in the signal processing is set to 0.
Assuming 1 °, a signal corresponding to 50 MHz has a minimum of 0.83 mm (the speed of light C is C = 3 * 10 8 (m /
s). The measurable distance L is L = (3 * 10 8 / (50 * 10 6 )) * (1/2) =
3 (m). Since (1/2) in the above equation processes the light reflected by the measurement target 13, the distance to the measurement target 13 is 1/2. When the phase resolution is 0.1 °, the minimum measurement accuracy can be measured with an accuracy of 3 (m) /3600=0.83 (mm).
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、強
度変調を施したレーザ光出力、及び、このレーザ光出力
の強度変調周波数と僅かに異なる周波数でゲイン強度変
調を施した光検出器を用いることによって、ビートダウ
ン回路等の電気回路や、高速クロックによる位相検波回
路等を用いることなく高精度化が可能であり、３次元形
状計測装置の低価格化並びにシステムの簡便化を図るこ
とができる。As described above in detail, according to the present invention, an intensity-modulated laser beam output, and a photodetector having a gain intensity modulated at a frequency slightly different from the intensity modulation frequency of the laser beam output. By using a detector, it is possible to achieve high accuracy without using an electric circuit such as a beat-down circuit, a phase detection circuit using a high-speed clock, etc., and to reduce the cost of the three-dimensional shape measuring apparatus and to simplify the system. be able to.
【図１】本発明の一実施形態に係る３次元形状計測装置
の構成を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a three-dimensional shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施形態における動作を説明するためのレー
ザ光出力、光検出器ゲイン、受光信号の各グラフを示す
図。FIG. 2 is a view showing respective graphs of a laser beam output, a photodetector gain, and a light receiving signal for explaining an operation in the embodiment.
１ レーザ装置 ２ レーザ光 ３ 変調器 ４ レーザ光強度変調用発振器 ６ ユーザインターフェース ８ ハーフミラー ９ 集光光学系 １０ ｘｙ軸二次元スキャナー １１ スキャナー制御回路 １３ 計測対象物 １５ 光検出器 １６ ゲイン変調用発振器 １７ ローパスフィルタ １９ 位相差検出回路 ２１ 受光レンズ系 ２２ 光検出器 ２３ ローパスフィルタ ２６ 表示装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser apparatus 2 Laser light 3 Modulator 4 Laser light intensity modulation oscillator 6 User interface 8 Half mirror 9 Condensing optical system 10 XY axis two-dimensional scanner 11 Scanner control circuit 13 Measurement object 15 Photodetector 16 Gain modulation oscillator Reference Signs List 17 low-pass filter 19 phase difference detection circuit 21 light receiving lens system 22 photodetector 23 low-pass filter 26 display device
フロントページの続き (72)発明者 吉田 博久 長崎県長崎市深堀町五丁目717番１号 三 菱重工業株式会社長崎研究所内Continuing from the front page (72) Inventor Hirohisa Yoshida 5-717-1 Fukabori-cho, Nagasaki-shi, Nagasaki Pref.
Claims (1)
レーザ装置から出力されるレーザ光を強度変調する変調
手段と、この変調手段により変調されたレーザ光を計測
対象物に照射する手段と、前記計測対象物からのレーザ
反射光を受光する光検出器と、この光検出器を前記レー
ザ光の強度変調周波数と僅かに異なる周波数でゲイン強
度変調するゲイン変調手段と、前記光検出器における受
光信号の強度変調周波数とゲイン強度変調周波数との差
の低周波信号を選択する選択手段と、この選択手段によ
り選択された受光信号を処理して３次元形状を計測する
処理手段とを具備したことを特徴とする３次元形状計測
装置。1. A laser device for generating a laser beam, a modulating unit for modulating the intensity of the laser beam output from the laser device, a unit for irradiating the object to be measured with the laser beam modulated by the modulating unit, A photodetector that receives laser reflected light from the measurement object; gain modulation means for performing gain intensity modulation on the photodetector at a frequency slightly different from an intensity modulation frequency of the laser light; Selecting means for selecting a low-frequency signal having a difference between a signal intensity modulation frequency and a gain intensity modulation frequency; and processing means for processing a light-receiving signal selected by the selecting means and measuring a three-dimensional shape. A three-dimensional shape measuring device characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26978697A JP3546126B2 (en) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 3D shape measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26978697A JP3546126B2 (en) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 3D shape measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108623A true JPH11108623A (en) | 1999-04-23 |
| JP3546126B2 JP3546126B2 (en) | 2004-07-21 |
Family
ID=17477147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26978697A Expired - Fee Related JP3546126B2 (en) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 3D shape measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3546126B2 (en) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2007171193A (en) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Method and instrument for measuring distance |
| JP2013195246A (en) * | 2012-03-19 | 2013-09-30 | Fujitsu Ltd | Range finder and input device |
-
1997
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