JPH1084008A - Burr removing method and device - Google Patents

Burr removing method and device

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Publication number
JPH1084008A
JPH1084008A JP23684996A JP23684996A JPH1084008A JP H1084008 A JPH1084008 A JP H1084008A JP 23684996 A JP23684996 A JP 23684996A JP 23684996 A JP23684996 A JP 23684996A JP H1084008 A JPH1084008 A JP H1084008A
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JP
Japan
Prior art keywords
burr
deburring
burrs
lead
mold
Prior art date
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Application number
JP23684996A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadashi Munakata
忠志 棟方
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Hitachi Ltd
Renesas Semiconductor Package and Test Solutions Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH1084008A publication Critical patent/JPH1084008A/en
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To remove at low cost the burrs formed on the lead frame after a mold sealing operation. SOLUTION: A stopper part 2a, corresponding to the lead part 1a of the lead frame 1, on which a mold sealing process is finished, is formed, and using a burr-removing device, having a frame retaining material 2 which retains the lead frame 1 detouring a mold part 1b and a pressing part 3 with which the mold part 1b is displaced and the lead part 1a is warped by pressing it to the stopper 2a, the burrs 5 are removed by adding stress.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、モールド封止によ
りリードフレームに形成されたバリの除去に適用して有
効な技術に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique which is effective when applied to removal of burrs formed on a lead frame by mold sealing.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体チップの搭載されたリードフレー
ムをモールド封止するときには、リードフレームと金型
の僅かな隙間から樹脂がにじみ出ることがある。また、
アウターリードとダムバーに囲まれた空間には、リード
フレームの厚さ分の樹脂が充填される。これらの樹脂、
つまりバリが特に外装処理後に剥離すると、リードフレ
ームの素地が露出してアウターリードのはんだ濡れ性や
耐食性が損なわれる。したがって、モールド封止工程が
終了したならば、十分にバリを除去する必要がある。
2. Description of the Related Art When a lead frame on which a semiconductor chip is mounted is molded and sealed, resin may ooze out from a slight gap between the lead frame and a mold. Also,
The space surrounded by the outer lead and the dam bar is filled with resin for the thickness of the lead frame. These resins,
That is, if the burrs are peeled off particularly after the exterior treatment, the base material of the lead frame is exposed, and the solder wettability and corrosion resistance of the outer lead are impaired. Therefore, when the mold sealing step is completed, it is necessary to sufficiently remove burrs.

【0003】ここで、たとえば、日経BP社発行、「実
践講座 VLSIパッケージング技術(下)」(1993年
5月31日発行)、 P41〜 P43に記載されているように、
バリ取り法の代表的なものとして、高速円運動する内径
0.2mm程度の細いノズルから圧水をバリに噴射する水圧
ホーニング法がある。
Here, for example, “Practical Course VLSI Packaging Technology (2)” published by Nikkei BP (1993)
May 31), as described on pages 41 to 43,
A typical example of the deburring method is an inner diameter that performs a high-speed circular motion.
There is a hydraulic honing method in which pressurized water is sprayed onto burrs from a thin nozzle of about 0.2 mm.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、この水圧ホー
ニング法によれば、水圧は最低でも 300kg・f/cm2 、最
大では1000kg・ f/cm2 にも達する高いものとなるため、
バリ取り装置は極めて高価で、且つ大きなサイズにな
る。
[SUMMARY OF THE INVENTION However, according to this hydraulic honing, water pressure 300kg · f / cm 2 at a minimum, since the higher also reach 1000kg · f / cm 2 at maximum,
Deburring devices are extremely expensive and large in size.

【0005】これでは、バリ取りコストが嵩み、また、
装置のスペース効率が悪化することになり好ましくな
い。
[0005] In this case, the deburring cost increases, and
It is not preferable because the space efficiency of the device is deteriorated.

【0006】そこで、本発明の目的は、モールド封止後
のリードフレームに形成されたバリを低コストで除去す
ることのできる技術を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a technique capable of removing burrs formed on a lead frame after mold sealing at low cost.

【0007】本発明の他の目的は、モールド封止後のリ
ードフレームに形成されたバリをコンパクトなバリ取り
装置で除去することのできる技術を提供することにあ
る。
Another object of the present invention is to provide a technique capable of removing burrs formed on a lead frame after mold sealing with a compact deburring device.

【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
次のとおりである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0010】すなわち、本発明によるバリ取り方法は、
モールド封止工程の終了したリードフレームのリード部
を反らせ、モールド封止工程にて形成されたバリにあら
かじめストレスを加えてからバリを除去することを特徴
とするものである。
That is, the deburring method according to the present invention comprises:
The lead portion of the lead frame after the mold sealing step is warped, and a burr formed in the mold sealing step is stressed in advance and then removed.

【0011】このバリ取り方法において、バリにストレ
スを加えると同時に、バリに噴流で圧力を加えるように
してもよい。この場合、間欠的に圧力を加えるようにす
ることが望ましい。
In this deburring method, a pressure may be applied to the burr at the same time as a pressure is applied to the burr. In this case, it is desirable to apply pressure intermittently.

【0012】また、本発明によるバリ取り方法は、モー
ルド封止工程の終了したリードフレームのリード部を反
らせてモールド封止工程にて形成されたバリにストレス
を加えつつバリを除去することを特徴とするものであ
る。
Further, the method of removing burrs according to the present invention is characterized in that the burrs are removed while warping the lead portions of the lead frame after the mold sealing step to apply stress to the burrs formed in the mold sealing step. It is assumed that.

【0013】これらのバリ取り方法において、バリの除
去は、アルカリ溶液中で電解をかけて発生するH2 ガス
でバリを浮かせて除去する電解法、有機溶剤でバリを膨
潤させて除去する化学処理法、圧水をバリに噴射して除
去する水圧ホーニング法、研磨剤混合水溶液をバリに高
圧噴射して除去する液体ホーニング法、乾式研磨剤また
はブラシでバリを除去するドライホーニング法、の少な
くとも何れか一つの方法を用いて行うことができる。
In these deburring methods, the burrs are removed by electrolysis in an alkaline solution to remove the burrs with H 2 gas generated by electrolysis, and chemical treatment in which the burrs are swollen and removed by an organic solvent. At least one of a hydraulic honing method in which a pressurized water is sprayed onto a burr to remove the burr, a liquid honing method in which an abrasive mixed aqueous solution is sprayed in a burr at a high pressure, and a dry honing method in which a burr is removed with a dry abrasive or a brush. This can be done using one method.

【0014】本発明によるバリ取り装置は、モールド封
止工程の終了したリードフレームのリード部に対向する
ストッパ部が形成され、リードフレームのモールド部を
回避するようにしてリードフレームを保持するフレーム
保持材と、モールド部を変位させてリード部をストッパ
部に押しつけ、リード部を反らせてリードフレームに形
成されたバリにストレスを加える押圧部とを有すること
を特徴とするものである。
In the deburring apparatus according to the present invention, a stopper portion is formed opposite to the lead portion of the lead frame after the mold sealing step, and the lead frame is held so as to avoid the mold portion of the lead frame. And a pressing portion for displacing the mold portion, pressing the lead portion against the stopper portion, and warping the lead portion to apply a stress to a burr formed on the lead frame.

【0015】このバリ取り装置において、ストッパ部は
リード部の両側に形成し、押圧部によりモールド部を相
互に異なる方向に変位させてリード部を各ストッパ部に
それぞれ押し付けるようにすることができる。
In this deburring apparatus, the stopper portions are formed on both sides of the lead portion, and the pressing portions displace the mold portions in mutually different directions so that the lead portions are pressed against the respective stopper portions.

【0016】また、フレーム保持材を内部が中空のパイ
プ材で構成し、ストッパ部にはバリに向かって噴射体が
噴出する噴出孔を形成することができる。噴射体は間欠
的に噴出することが望ましい。
Further, the frame holding member may be formed of a hollow pipe material, and the stopper may have an ejection hole for ejecting the ejection body toward the burr. It is desirable that the ejector ejects intermittently.

【0017】上記した手段によれば、良好なバリ浮かし
効果が得られてバリ取りを容易に行うことができる。こ
れにより、大きなパワーを有する高価な装置は必要なく
なり、低コストでバリの除去を行うことができる。ま
た、コンパクトな装置で済むことから、装置のスペース
効率を向上させることができる。
According to the above-described means, a good deburring effect can be obtained, and deburring can be easily performed. As a result, an expensive device having a large power is not required, and burrs can be removed at low cost. Further, since only a compact device is required, the space efficiency of the device can be improved.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明す
るための全図において同一の部材には同一の符号を付
し、その繰り返しの説明は省略する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In all the drawings for describing the embodiments, the same members are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

【0019】図1は本発明の一実施の形態であるバリ取
り装置を示す正面図、図2は図1の側面図、図3はリー
ドフレームに形成されたバリを示す説明図、図4は図1
のバリ取り装置により除去されるバリを示す説明図であ
る。
FIG. 1 is a front view showing a deburring apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of FIG. 1, FIG. 3 is an explanatory view showing burrs formed on a lead frame, and FIG. FIG.
It is explanatory drawing which shows the burr removed by the deburring apparatus of FIG.

【0020】本実施の形態では、たとえば4方向に延び
るリード部1aが形成された面実装型のQFP(Quad F
lat Package)タイプのリードフレーム1であり、モール
ド封止工程の終了したリードフレーム1の4箇所には、
半導体チップを樹脂封止したモールド部1bが形成され
ている。但し、本発明では種々のリードフレームを適用
することができ、本実施の形態に示すQFPに限定され
るものではない。
In this embodiment, for example, a surface mount type QFP (Quad FQ) having lead portions 1a extending in four directions is formed.
lat Package) type lead frame 1, and four places of the lead frame 1 after the mold sealing process are completed.
A molded portion 1b in which a semiconductor chip is sealed with a resin is formed. However, in the present invention, various lead frames can be applied, and the present invention is not limited to the QFP described in the present embodiment.

【0021】バリ取り装置は、耐食性を有するたとえば
SUSからなるフレーム保持材2を有している。このフ
レーム保持材2はモールド部1bを回避するようにして
リード部1aに対向して形成されたストッパ部2aを備
えている。図2に示すように、このストッパ部2aはリ
ード部1aの両側に形成されており、これら2つのスト
ッパ部2aを結ぶ連結部2bにリードフレーム1の端部
を当接させ、ストッパ部2aで左右を規制して、倒立し
た姿勢で保持している。但し、ストッパ部2aはリード
部1aの片側にのみ形成されていてもよい。この場合、
ストッパ部2aのない側には、リードフレーム1を支え
て転倒を防止する姿勢規制部が設けられる。
The deburring apparatus has a frame holding member 2 made of, for example, SUS having corrosion resistance. The frame holding member 2 has a stopper portion 2a formed to face the lead portion 1a so as to avoid the mold portion 1b. As shown in FIG. 2, the stopper 2a is formed on both sides of the lead 1a, and the end of the lead frame 1 is brought into contact with a connecting portion 2b connecting these two stoppers 2a. The right and left sides are regulated, and it is held in an inverted posture. However, the stopper 2a may be formed only on one side of the lead 1a. in this case,
On the side where the stopper 2a is not provided, a posture restricting portion for supporting the lead frame 1 and preventing the lead frame 1 from falling is provided.

【0022】各モールド部1bの両側に位置するように
して、モールド部1bに向かって突出形成された押圧突
起3a(図2)を有する押圧部3が設けられている。こ
の押圧部3は、リードフレーム1に沿うようにしてその
下方に設けられた軸部4に取り付けられて揺動するよう
になっている。したがって、押圧部3の押圧突起3aが
揺動してモールド部1bに当接すると、モールド部1b
はその表面と垂直な方向に変位する。そして、変位する
モールド部1bによってリード部1aはストッパ部2a
に押し付けられ、さらに変位すると反りが発生すること
になる。これにより、図3に示すように、リード部1a
のモールド部1b寄りに形成されたバリ5や、リード部
1aとダムバー1cとに囲まれた空間に形成されたバリ
5にストレスが加わる。
Pressing portions 3 having pressing protrusions 3a (FIG. 2) projecting toward the mold portions 1b are provided on both sides of each of the mold portions 1b. The pressing portion 3 is attached to a shaft portion 4 provided below the lead frame 1 along the lead frame 1 so as to swing. Therefore, when the pressing protrusion 3a of the pressing portion 3 swings and comes into contact with the mold portion 1b, the molding portion 1b
Is displaced in a direction perpendicular to its surface. The lead portion 1a is moved to the stopper portion 2a by the displaced mold portion 1b.
, And warping occurs when further displaced. As a result, as shown in FIG.
The burrs 5 formed near the mold portion 1b and the burrs 5 formed in the space surrounded by the lead portion 1a and the dam bar 1c are stressed.

【0023】また、押圧部3が反対方向に揺動すると、
モールド部1bは前回とは反対側の押圧突起3aに押さ
れてリード部1aの反対面が他方のストッパ部2aに押
し付けられ、反対方向の反りが発生する。
When the pressing portion 3 swings in the opposite direction,
The mold portion 1b is pressed by the pressing protrusion 3a on the opposite side to the previous one, and the opposite surface of the lead portion 1a is pressed against the other stopper portion 2a, and warpage occurs in the opposite direction.

【0024】なお、押圧部3はリード部1aが反るよう
にモールド部1bを変位させることができるようになっ
ていれば足り、必ずしも本実施の形態のように揺動運動
しなくてもよい。また、前述のようにストッパ部2aが
リード部1aの片側にしか形成されていない場合には、
押圧突起3aもまた、リード部1aがストッパ部2aに
押し付けられる片側にのみ形成される。
The pressing portion 3 only needs to be capable of displacing the mold portion 1b so that the lead portion 1a is warped, and does not necessarily have to swing as in this embodiment. . When the stopper 2a is formed only on one side of the lead 1a as described above,
The pressing protrusion 3a is also formed only on one side where the lead portion 1a is pressed against the stopper portion 2a.

【0025】フレーム保持材2は内部が中空となったパ
イプ材で構成されている。そして、ストッパ部2aには
バリ5に向かって気体や液体などの噴射体6が噴出する
噴出孔7(図4)が形成されている。したがって、リー
ド部1aの反りによってストレスの加えられたバリ5
は、噴射体6によって強制的にリードフレーム1から剥
離されることになる。なお、バリ5がより効果的に剥離
されるよう、噴射体6は間欠的に噴出させるのがよい。
但し、このような噴流は必ずしも必要なく、前述したリ
ード部1aの反りによるストレスのみでバリ5を除去す
るようにしてもよい。
The frame holding member 2 is made of a hollow pipe material. The stopper portion 2a is provided with an ejection hole 7 (FIG. 4) through which an ejection body 6 such as a gas or a liquid is ejected toward the burr 5. Therefore, the burr 5 stressed by the warpage of the lead portion 1a
Is forcibly separated from the lead frame 1 by the ejector 6. It is preferable that the ejector 6 be ejected intermittently so that the burr 5 is more effectively peeled off.
However, such a jet is not always necessary, and the burr 5 may be removed only by the stress caused by the warpage of the lead portion 1a.

【0026】ここで、フレーム保持材2を電解の電極と
することによって電解装置としての機能をも付与し、ア
ルカリ溶液中に浸漬して発生するH2 ガスによってバリ
5の剥離を確実にすることもできる。この場合には、噴
射体6はたとえばエアや不活性ガスなどアルカリ溶液に
悪影響を及ぼさない気体を用いることが望ましい。な
お、電解によるバリ取りは、バリ5にストレスを加えた
後に行ってもよく、あるいはストレスを加えつつ行って
もよい。
Here, by using the frame holding member 2 as an electrode for electrolysis, a function as an electrolysis apparatus is also provided, and the H 2 gas generated by immersion in an alkaline solution ensures the separation of the burr 5. Can also. In this case, it is desirable to use a gas that does not adversely affect the alkaline solution, such as air or an inert gas, for example. The deburring by electrolysis may be performed after applying stress to the burr 5, or may be performed while applying stress.

【0027】以上の構成を有するバリ取り装置により、
リードフレーム1に形成されたバリ5は次のようにして
除去される。
With the deburring apparatus having the above configuration,
The burrs 5 formed on the lead frame 1 are removed as follows.

【0028】先ず、モールド封止工程の終了したリード
フレーム1を用意し、これをリード部1aがストッパ部
2aに対向するようにしてフレーム保持材2にセットす
る。
First, a lead frame 1 for which a mold sealing step has been completed is prepared, and the lead frame 1 is set on the frame holding member 2 such that the lead portion 1a faces the stopper portion 2a.

【0029】次に、図4に示すように、押圧部3を揺動
させて押圧突起3aによりモールド部1bを図面左側に
変位させ、リード部1aをストッパ部2aに押し付けて
これに反りを発生させる。この結果、モールド部1bか
ら延びるようにしてリード部1aに密着したバリ5にス
トレスが加わり、図4においてリード部1aの右側に形
成されたバリ5にはそのネック部にクラックが入り、左
側に形成されたバリ5はリード部1aとの密着面が剥離
する。なお、モールド部1bを反対側に変位させてリー
ド部1aに反対方向の反りを発生させると、左側に形成
されたバリ5にクラックが入り、右側に形成されたバリ
5はリード部1aと剥離する。
Next, as shown in FIG. 4, the pressing portion 3 is swung to displace the mold portion 1b to the left side in the drawing by the pressing protrusion 3a, and the lead portion 1a is pressed against the stopper portion 2a to generate warpage. Let it. As a result, stress is applied to the burrs 5 that extend from the mold portion 1b and adhere to the leads 1a, and the burrs 5 formed on the right side of the leads 1a in FIG. The formed burr 5 is separated from the contact surface with the lead portion 1a. When the mold portion 1b is displaced to the opposite side to cause the lead portion 1a to be warped in the opposite direction, the burr 5 formed on the left side is cracked, and the burr 5 formed on the right side is separated from the lead portion 1a. I do.

【0030】さらに、リード部1aの反りによってスト
レスが加えられて変形したバリ5に対し、図示するよう
に、噴出孔7から噴射体6を吹き付けることにより、バ
リ5には一層大きなストレスが加えられる。
Further, as shown in the drawing, a greater stress is applied to the burr 5 by spraying the ejector 6 from the ejection hole 7 to the burr 5 deformed by applying stress due to the warpage of the lead portion 1a. .

【0031】このようにしてモールド封止工程で形成さ
れたバリ5にストレスを加えた後、バリ5の除去を行
う。除去には、電解法、化学処理法、水圧ホーニング
法、液体ホーニング法、ドライホーニング法などが用い
られる。
After stress is applied to the burrs 5 formed in the mold sealing step in this way, the burrs 5 are removed. For removal, an electrolytic method, a chemical treatment method, a hydraulic honing method, a liquid honing method, a dry honing method, or the like is used.

【0032】ここで、電解法とは、バリ取り装置をアル
カリ溶液中に浸漬し、たとえばフレーム保持材2である
電極に電解をかけてH2 ガスを発生させ、このH2 ガス
でバリ5を浮かせて除去するものである。また、化学処
理法とは、たとえばNメチルピロリドンなどの有機溶剤
中にリードフレーム1を浸漬し、化学的にバリ5を膨潤
させて除去するものである。水圧ホーニング法とは、圧
水噴射方式によりバリ5を除去するもので、前もってス
トレスの加えられたバリ5は50〜 100kg・ f/cm2 程度の
極めて低い水圧で完全に除去することが可能になる。液
体ホーニング法とは、研磨剤の混合された水溶液をバリ
5に高圧噴射してこれを除去するものである。そして、
ドライホーニング法とは、乾式研磨剤やブラシなどでバ
リ5を除去するものである。
[0032] Here, the electrolytic method, dipping the deburring device in an alkaline solution, for example, the electrode is a frame holding member 2 over the electrolyte to generate H 2 gas, burr 5 This H 2 gas Float and remove. In the chemical treatment method, for example, the lead frame 1 is immersed in an organic solvent such as N-methylpyrrolidone to chemically swell and remove the burrs 5. The hydraulic honing method removes burrs 5 by a pressurized water injection method. The burrs 5 to which stress has been applied in advance can be completely removed with an extremely low water pressure of about 50 to 100 kg · f / cm 2. Become. In the liquid honing method, an aqueous solution in which an abrasive is mixed is ejected at a high pressure to burrs 5 to remove the same. And
The dry honing method is to remove the burrs 5 with a dry abrasive or a brush.

【0033】なお、バリ除去はこれらのうちの何れか一
つを用いて行われるが、複数の除去手段を必要に応じて
組み合わせて用いることもできる。つまり、バリ除去は
前述した除去手段の少なくとも何れか一つの方法を用い
て行うことができる。また、このようにストレスを加え
た後にバリ5を除去するのではなく、ストレスを加えつ
つ除去するようにしてもよい。
Although the deburring is performed by using any one of these, a plurality of removing means may be used in combination as required. That is, the burrs can be removed by using at least one of the above-described removing means. Instead of removing the burrs 5 after applying the stress, the burrs 5 may be removed while applying the stress.

【0034】このように、本実施の形態のバリ取り技術
によれば、リード部1aを反らせることでバリ5に前も
ってストレスを加えておき、あるいはストレスを加えつ
つ、これを除去するようにしているので、バリ取りを容
易に行うことができる。これにより、たとえば水圧ホー
ニング法の場合でも50〜 100kg・ f/cm2 程度の低い水圧
でバリ5を除去することが可能になる。
As described above, according to the deburring technique of the present embodiment, the lead portion 1a is warped to apply a stress to the burr 5 in advance, or to remove the burr 5 while applying the stress. Therefore, deburring can be easily performed. Thus, for example, even in the case of the hydraulic honing method, the burr 5 can be removed with a low water pressure of about 50 to 100 kg · f / cm 2 .

【0035】したがって、大きなパワーを有する高価な
装置は必要なくなり、低コストでバリ5の除去を行うこ
とができる。また、コンパクトな装置で済むことから、
装置のスペース効率を向上させることができる。
Therefore, an expensive device having a large power is not required, and the burr 5 can be removed at low cost. In addition, since a compact device is enough,
The space efficiency of the device can be improved.

【0036】以上、本発明者によってなされた発明をそ
の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前
記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸
脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもな
い。
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiment, the invention is not limited to the embodiment, and various modifications may be made without departing from the gist of the invention. It goes without saying that it is possible.

【0037】たとえば、本実施の形態においては、リー
ドフレームを倒立させてバリにストレスをかけている
が、寝かせた状態で上下方向からストレスをかけるよう
にしてもよい。
For example, in the present embodiment, the burr is stressed by inverting the lead frame. However, the burr may be stressed from above and below in a lying state.

【0038】[0038]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以
下のとおりである。
The effects obtained by typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

【0039】(1).本発明のバリ取り技術によれば、リー
ド部を反らせてバリに前もってストレスを加えておき、
あるいはストレスを加えつつ、これを除去するようにし
ているので、良好なバリ浮かし効果が得られてバリ取り
を容易に行うことができる。
(1) According to the deburring technique of the present invention, the lead portion is warped to apply stress to the burr in advance,
Alternatively, since this is removed while applying a stress, a good burr floating effect can be obtained, and deburring can be easily performed.

【0040】(2).前記した(1) により、大きなパワーを
有する高価な装置は必要なくなり、低コストでバリの除
去を行うことができる。
(2) According to the above (1), an expensive device having a large power is not required, and burrs can be removed at low cost.

【0041】(3).また、前記した(1) により、コンパク
トな装置で済むことから、装置のスペース効率を向上さ
せることができる。
(3) According to the above (1), since a compact device is sufficient, the space efficiency of the device can be improved.

【0042】(4).本発明のバリ取り技術を水圧ホーニン
グ法と併用した場合には、50〜 100kg・ f/cm2 程度の低
い水圧の装置でも十分に且つ速やかにバリを除去するこ
とができる。本発明によれば、従来の水圧ホーニングと
比べ、装置価格および処理時間は何れも50%程度削減す
ることができた。
(4) When the deburring technique of the present invention is used together with the hydraulic honing method, it is possible to sufficiently and quickly remove burrs even with a device having a low water pressure of about 50 to 100 kg · f / cm 2. it can. According to the present invention, both the apparatus cost and the processing time can be reduced by about 50% as compared with the conventional hydraulic honing.

【0043】(5).ストレスを加えることによるバリ浮か
しと並行してバリ取りを行うようにすれば、バリ取りに
要する時間を一層短縮することができる。
(5) If the deburring is performed in parallel with the deburring by applying a stress, the time required for the deburring can be further reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態であるバリ取り装置を示
す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing a deburring apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の側面図である。FIG. 2 is a side view of FIG.

【図3】リードフレームに形成されたバリを示す説明図
である。
FIG. 3 is an explanatory view showing burrs formed on a lead frame.

【図4】図1のバリ取り装置により除去されるバリを示
す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing burrs removed by the deburring apparatus of FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リードフレーム 1a リード部 1b モールド部 1c ダムバー 2 フレーム保持材 2a ストッパ部 2b 連結部 3 押圧部 3a 押圧突起 4 軸部 5 バリ 6 噴射体 7 噴出孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lead frame 1a Lead part 1b Mold part 1c Dam bar 2 Frame holding material 2a Stopper part 2b Connection part 3 Press part 3a Press protrusion 4 Shaft part 5 Burr 6 Injector 7 Jet hole

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 モールド封止工程の終了したリードフレ
ームのリード部を反らせて前記モールド封止工程にて形
成されたバリにあらかじめストレスを加え、その後、前
記バリを除去することを特徴とするバリ取り方法。
1. A burr formed by warping a lead portion of a lead frame after a mold sealing step to apply a stress to burrs formed in the mold sealing step in advance, and thereafter removing the burrs. How to take.
【請求項2】 請求項1記載のバリ取り方法において、
前記バリにストレスを加えると同時に、前記バリに噴流
で圧力を加えることを特徴とするバリ取り方法。
2. The deburring method according to claim 1, wherein
A deburring method, wherein a stress is applied to the burr and a pressure is applied to the burr by a jet.
【請求項3】 請求項2記載のバリ取り方法において、
前記バリには間欠的に圧力を加えることを特徴とするバ
リ取り方法。
3. The deburring method according to claim 2,
A deburring method, wherein intermittent pressure is applied to the burr.
【請求項4】 モールド封止工程の終了したリードフレ
ームのリード部を反らせて前記モールド封止工程にて形
成されたバリにストレスを加えつつ前記バリを除去する
ことを特徴とするバリ取り方法。
4. A method for removing burrs, wherein the burrs are removed while warping a lead portion of a lead frame after the mold sealing step to apply stress to burrs formed in the mold sealing step.
【請求項5】 請求項1〜4の何れか一項に記載のバリ
取り方法において、前記バリの除去は、(a)アルカリ
溶液中で電解をかけて発生するH2 ガスで前記バリを浮
かせて除去する電解法、(b)有機溶剤で前記バリを膨
潤させて除去する化学処理法、(c)圧水を前記バリに
噴射して除去する水圧ホーニング法、(d)研磨剤混合
水溶液を前記バリに高圧噴射して除去する液体ホーニン
グ法、(e)乾式研磨剤またはブラシで前記バリを除去
するドライホーニング法、の少なくとも何れか一つの方
法を用いて行うことを特徴とするバリ取り方法。
5. The deburring method according to claim 1, wherein the burr is removed by (a) floating the burr with H 2 gas generated by electrolysis in an alkaline solution. (B) a chemical treatment method in which the burr is removed by swelling with an organic solvent, (c) a hydraulic honing method in which pressurized water is injected into the burr to remove the burr, and A deburring method characterized by using at least one of a liquid honing method in which the burrs are sprayed with high pressure to remove the burrs, and (e) a dry honing method in which the burrs are removed with a dry abrasive or a brush. .
【請求項6】 モールド封止工程の終了したリードフレ
ームのリード部に対向するストッパ部が形成され、前記
リードフレームのモールド部を回避するようにして前記
リードフレームを保持するフレーム保持材と、 前記モールド部を変位させて前記リード部を前記ストッ
パ部に押しつけ、前記リード部を反らせて前記リードフ
レームに形成されたバリにストレスを加える押圧部とを
有することを特徴とするバリ取り装置。
6. A frame holding member for holding a lead frame so as to avoid a mold portion of the lead frame, wherein a stopper portion is formed opposite to the lead portion of the lead frame after the mold sealing step. A deburring device, comprising: a pressing portion for displacing a mold portion to press the lead portion against the stopper portion, and warping the lead portion to apply stress to a burr formed on the lead frame.
【請求項7】 請求項6記載のバリ取り装置において、
前記ストッパ部は前記リード部の両側に形成され、前記
押圧部は前記モールド部を相互に異なる方向に変位させ
て前記リード部を前記各ストッパ部にそれぞれ押し付け
ることを特徴とするバリ取り装置。
7. The deburring apparatus according to claim 6, wherein
The deburring device is characterized in that the stoppers are formed on both sides of the lead, and the pressing unit displaces the mold in different directions to press the leads against the stoppers.
【請求項8】 請求項6または7記載のバリ取り装置に
おいて、前記フレーム保持材は内部が中空となったパイ
プ材で構成されるとともに前記ストッパ部には前記バリ
に向かって噴射体が噴出する噴出孔が形成されているこ
とを特徴とするバリ取り装置。
8. The deburring apparatus according to claim 6, wherein the frame holding member is formed of a pipe material having a hollow inside, and an ejector is ejected toward the burr at the stopper portion. A deburring device having an ejection hole.
【請求項9】 請求項8記載のバリ取り装置において、
前記噴射体は間欠的に噴出されることを特徴とするバリ
取り装置。
9. The deburring apparatus according to claim 8, wherein
A deburring device, wherein the ejector is ejected intermittently.
JP23684996A 1996-09-06 1996-09-06 Burr removing method and device Pending JPH1084008A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002310068A (en) * 2001-04-16 2002-10-23 Matsushita Refrig Co Ltd Compressor intake valve device and compressor for refrigeration-air conditioning
TWI471926B (en) * 2012-01-20 2015-02-01 Astjetec Co Ltd Deflash apparatus for strip-shaped elements

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