JPH1076408A - 多層被覆硬質工具 - Google Patents
多層被覆硬質工具Info
- Publication number
- JPH1076408A JPH1076408A JP25238596A JP25238596A JPH1076408A JP H1076408 A JPH1076408 A JP H1076408A JP 25238596 A JP25238596 A JP 25238596A JP 25238596 A JP25238596 A JP 25238596A JP H1076408 A JPH1076408 A JP H1076408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride
- film
- layer
- cutting
- hard tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
削速度が更に速くなる傾向にあり、熱処理後の高硬度材
を直接加工する多層被覆硬質工具を提供することを目的
とする。 【解決手段】 Ti窒化物、炭窒化物からなる層とTi
A1の窒化物、炭窒化物からなる層をイオンプレーティ
ング法により4層以上被覆するとともに、X線回折にお
ける(111)面の強度をI(111)、(200)面
の強度をI(200)としたとき、Tiの窒化物もしく
は炭窒化物層のI(200)/I(111)の値が1以
上であり、TiとA1の窒化物もしくは炭窒化物層のI
(200)/I(111)の値が1以上であり、層膜厚
を1μmから15μmで構成する。
Description
有する多層被覆硬質工具に関する。
ーティングに対し、近年A1を含有させ、耐摩耗性、耐
酸化性を向上させる研究がなされ、特公平4−5364
2号、特公平5−67705号に代表されるように、A
1の添加効果を認める事例も種々存在する。また、人工
格子(超格子)を形成して、皮膜の特性を改善した事例
も認められる(例として、特開平7−97679号)。
これらの発明により、従来一般的であったTiNやTi
CN皮膜がA1を含有する皮膜へと改良がなされつつあ
る。
切削加工においては、高能率を得るため切削速度が更に
速くなる傾向にあり、また、金型加工においても、従来
は熱処理前の軟らかい鋼を切削していた場合が多いが、
熱処理後の高硬度材を直接加工する事例が増えつつある
のが現状である。
切削においては、A1の添加は皮膜の耐酸化性を向上さ
せ、TiNやTiCN皮膜よりは耐摩耗性を向上させし
めるものの、今だ十分に満足のいくものではない。その
理由は、一般的にイオンプレーティングにより形成され
た皮膜は、圧縮残留応力を有し、この圧縮残留応力は、
皮膜の膜厚が厚くなるに伴い増加する。皮膜は圧縮残留
応力の増加に伴い、その密着性は劣化し、従って現状で
は、使用に耐え得る皮膜の厚さは、せいぜい5μmが限
界である。その為イオンプレーティングにより被覆され
た工具は、化学蒸着法(CVD)により蒸着された10
〜15μmの膜厚を有する被覆工具に比べ、耐摩耗性が
劣ることは否定できない事実であった。また、人工格子
の形成により、皮膜の硬さが向上することは事実であ
り、耐摩耗性の向上は認められるものの、このような硬
い皮膜はヤング率とも高く、皮膜が非常に高い圧縮残留
応力を有し、せいぜい3〜5μmを形成するのが限界で
ある。また、このような人工格子皮膜は、高い圧縮残留
応力を有するために密着性に大きな課題を有するもので
ある。
レーティング皮膜において、残留圧縮応力を低減し、厚
膜化を実現し、その結果耐摩耗性を向上せしめる研究を
行った結果、配向性の異なる2種の皮膜を積層すること
により、残留圧縮応力は増加することなく、厚膜化が実
現できるという知見を得るに至った。
皮膜は結晶成長において優先成長方位を有し、その結
果、柱状の結晶構造を持つ皮膜が形成される。1つの柱
状の結晶粒子を取り出して見れば、一定方位に強い結晶
成長が認められる単結晶であり、内部欠陥は極めて少な
い。このような結晶が連続して成膜することが、皮膜の
厚さの増加に伴い残留圧縮応力が増加する原因である。
本発明者等は、優先成長方位のそれぞれ異なる2種の皮
膜を積層することにより、皮膜と皮膜の界面に多くの格
子欠陥を導入する技術を開発するに至った。つまり、
(111)面に配向するTiの窒化物、炭窒化物と(2
00)面に配向するTiとA1の窒化物、炭窒化物を積
層することにおいて界面は不連続となり、エピタキシャ
ル成長が抑制され、多くの格子欠陥が導入される。この
多くの格子欠陥は、皮膜の残留圧縮応力を緩和するよう
に成長中に再配列し、結果、皮膜の残留応力を抑制し、
厚膜化を可能にするものである。例えば、(200)に
配向するTiA1Nを0.5μm形成すると残留応力
は、1.2GPaであり、この皮膜を10μm形成する
と残留圧縮応力は、8GPaを越え著しく密着性が劣化
する。一方(200)に配向するTiA1Nを0.5μ
m、(111)に配向するTiNを0.5μm形成し、
この積層において層膜10μmの皮膜を形成した場合
は、驚くべき事にその残留圧縮応力は、せいぜい2GP
aである。
能であり、その結果被覆工具に非常に高い耐摩耗性を付
与することが可能である。
中に皮膜表面に発生したクラックは、結晶成長方向の異
なる皮膜の界面において、その伝播が抑制される傾向に
ある。つまり、クラック先端に発生する応力集中を界面
の多数の格子欠陥が緩和し、クラックの伝播に対し高い
抵抗を示す。同時にクラックは、更に進展する場合、界
面に沿って伝播し基体への伝播、強いては刃先の欠損を
大巾に抑制するものである。従って、本発明による多層
被覆硬質工具は、厚膜化により高い耐摩耗性を有すると
共に、クラックが伝播し難いため、同時に高い靭性を有
するものである。従って、皮膜が厚いときのみならず、
比較的薄い場合においても工具寿命を向上させることは
言うまでもない。
る。TiとA1の窒化物、炭窒化物のI(200)/I
(111)の値を1以上とした理由は、この皮膜が(1
11)面に強く配向すればするほど高い圧縮応力を有す
るようになるため、好ましくなく、(200)面に配向
した方が、この皮膜自体の残留圧縮応力が低いため、
(200)に面に配向すべく1以上とした。
(200)面に配向したTiとA1の窒化物、炭窒化物
層との積層において、界面に格子欠陥を導入するため、
前記TiとA1の窒化物、炭窒化物と反対に(111)
面に配向させなければならず、I(200)/I(11
1)の値は1以下とした。また、皮膜はその膜厚が1μ
m以下であると耐摩耗性向上に対して効果が無く、15
μmを越えると密着性の劣化をきたすため、1μmから
15μmとした。
る。
2、4枚刃の市販高速度鋼ラフィングエンドミルにアー
クイオンプレーティング法により、Tiターゲット、T
iA1ターゲット(Ti/A1=50/50)を用い、
表1に示す皮膜を形成した。比較工具として同じアーク
イオンプレーティング法により、TiN、TiA1N皮
膜を形成した。超硬合金インサートにおいては、切削条
件1に基づきフライス切削を行い、逃げ面摩耗値が0.
3mmに達するまでの切削長さを求め、それを寿命とし
た。
削条件2に基づき切削を行い、逃げ面摩耗値が0.2m
mに達するまでの切削長さを求め、それを寿命とした。
その結果を表1に併記する。
−TN)を用い、被削材DAC(HRC40)、切削速
度100(m/min)、送り0.1(mm/刃)、切
り込み(2mm)である。
い、被削材DAC(HRC10)、切削速度50(m/
min)、送り0.07(mm/刃)、軸方向切り込み
量18mm、径方向切り込み量6mm、切削油なし、ダ
ウンカット(Down Cut)である。
は、10μm以上の厚膜化においても残留応力が抑制さ
れるため、皮膜の剥離や刃先のチッピングは認められ
ず、安定した長時間の切削が可能である。
での厚膜化が容易に可能となり、また厚膜化にさいし、
結晶成長方向を特定することによりクラックが伝播し難
く、高い靭性を有する多層皮膜を得ることが出来、また
比較的薄い場合においても工具寿命を向上させることが
出来る。
Claims (3)
- 【請求項1】 Ti窒化物もしくは炭窒化物からなる層
とTiA1の窒化物もしくは、炭窒化物からなる層を4
層以上被覆した多層被覆硬質工具において、X線回折に
おける(111)面の強度をI(111)、(200)
面の強度をI(200)としたとき、Tiの窒化物もし
くは炭窒化物層のI(200)/I(111)の値が1
以下であり、TiとA1の窒化物もしくは炭窒化物層の
I(200)/I(111)の値が1以上であり、被覆
皮膜の総膜厚が1μmから15μmであることを特徴と
する多層被覆硬質工具。 - 【請求項2】 請求項1記載の多層被覆硬質工具におい
て、基体が超硬合金インサートであることを特徴とする
多層被覆硬質工具。 - 【請求項3】 請求項1記載の多層被覆硬質工具におい
て、基体が高速度鋼エンドミルであることを特徴とする
多層被覆硬質工具。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25238596A JP3705382B2 (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 多層被覆硬質工具 |
PCT/CH1997/000321 WO1998010120A1 (de) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | Verschleissschutz-beschichtetes werkstück |
ES97936553T ES2192690T3 (es) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | Pieza con recubrimiento protector frente al desgaste. |
EP97936553A EP0925386B1 (de) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | Verschleissschutz-beschichtetes werkstück |
AT97936553T ATE233832T1 (de) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | Verschleissschutz-beschichtetes werkstück |
US09/242,707 US6395379B1 (en) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | Workpiece with wear-protective coating |
KR10-1999-7001800A KR100512269B1 (ko) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | 내마모층으로 코팅된 공작물 |
BR9711680A BR9711680A (pt) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | Pe-a revestida para antidesgaste |
DE59709451T DE59709451D1 (de) | 1996-09-03 | 1997-09-03 | Verschleissschutz-beschichtetes werkstück |
US10/101,579 US6558749B2 (en) | 1996-09-03 | 2002-03-20 | Method for manufacturing a workpiece with wear-protective coating |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25238596A JP3705382B2 (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 多層被覆硬質工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1076408A true JPH1076408A (ja) | 1998-03-24 |
JP3705382B2 JP3705382B2 (ja) | 2005-10-12 |
Family
ID=17236593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25238596A Expired - Fee Related JP3705382B2 (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 多層被覆硬質工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3705382B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008162008A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-17 | Sandvik Intellectual Property Ab | 被覆された切削工具 |
JP2011513594A (ja) * | 2008-03-12 | 2011-04-28 | ケンナメタル インコーポレイテッド | 硬質材料で被覆された物体 |
JP2014505369A (ja) * | 2011-02-01 | 2014-02-27 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 基板テーブル、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 |
RU2700344C1 (ru) * | 2019-02-05 | 2019-09-16 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | СПОСОБ УПРОЧНЕНИЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА ОСАЖДЕНИЕМ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМЫ Ti - Al |
-
1996
- 1996-09-03 JP JP25238596A patent/JP3705382B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008162008A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-17 | Sandvik Intellectual Property Ab | 被覆された切削工具 |
US8206812B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-06-26 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cutting tool |
CN103847205A (zh) * | 2006-12-15 | 2014-06-11 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 涂层切削刀具及其制造方法 |
JP2011513594A (ja) * | 2008-03-12 | 2011-04-28 | ケンナメタル インコーポレイテッド | 硬質材料で被覆された物体 |
JP2014505369A (ja) * | 2011-02-01 | 2014-02-27 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 基板テーブル、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 |
US9329497B2 (en) | 2011-02-01 | 2016-05-03 | Asml Netherlands B.V. | Substrate table, lithographic apparatus and device manufacturing method |
RU2700344C1 (ru) * | 2019-02-05 | 2019-09-16 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | СПОСОБ УПРОЧНЕНИЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА ОСАЖДЕНИЕМ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМЫ Ti - Al |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3705382B2 (ja) | 2005-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3452726B2 (ja) | 多層被覆硬質工具 | |
JP3382781B2 (ja) | 多層被覆硬質工具 | |
US6558749B2 (en) | Method for manufacturing a workpiece with wear-protective coating | |
JP3031907B2 (ja) | 多層膜被覆部材 | |
JP3598074B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
EP2638993A1 (en) | Surface-coated cutting tool | |
EP3170919A1 (en) | Coated cutting tool | |
JP3392115B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
JP2004106183A (ja) | 硬質皮膜被覆工具及びその製造方法 | |
JPH09295204A (ja) | 表面被覆スローアウェイインサート | |
JP3001849B2 (ja) | 被覆硬質工具 | |
JP3404012B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
KR102318298B1 (ko) | 절삭공구용 경질피막 | |
EP4041931A1 (en) | A coated cutting tool | |
JP3705381B2 (ja) | 多層被覆硬質工具 | |
JPH05177413A (ja) | 被覆サーメット切削工具及びその製造方法 | |
JP2002346811A (ja) | 被覆焼結体工具 | |
JPH1076408A (ja) | 多層被覆硬質工具 | |
JP2019155569A (ja) | 硬質被覆層が優れた耐酸化性・耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2019155570A (ja) | 硬質被覆層が優れた耐酸化性・耐溶着性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP3445899B2 (ja) | 表面被覆エンドミル | |
JP3586216B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
JPH11320214A (ja) | 被覆硬質工具 | |
JP3358696B2 (ja) | 高強度被覆体 | |
JP2000309864A (ja) | 多層膜被覆部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050208 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050713 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050715 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050720 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050802 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051017 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20051017 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080805 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090805 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100805 Year of fee payment: 5 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110805 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110805 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110805 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110805 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120805 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130805 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |