JPH1071467A - Inert atmosphere soldering device - Google Patents
Inert atmosphere soldering deviceInfo
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- JPH1071467A JPH1071467A JP8227177A JP22717796A JPH1071467A JP H1071467 A JPH1071467 A JP H1071467A JP 8227177 A JP8227177 A JP 8227177A JP 22717796 A JP22717796 A JP 22717796A JP H1071467 A JPH1071467 A JP H1071467A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、不活性雰囲気中で
はんだ付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inert atmosphere soldering apparatus for performing soldering in an inert atmosphere.
【０００２】[0002]
【従来の技術】チャンバ内に窒素ガスなどを供給するこ
とにより保たれた不活性雰囲気中で基板に噴流式はんだ
付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置は、チャンバ内
部の酸素濃度を低く抑えるためチャンバ内部の不活性雰
囲気と外部の大気との混合を防ぐように密閉空間ではん
だ付けが行われるから、チャンバ内部の雰囲気温度が高
くなり、大気中ではんだ付けを行う開放形はんだ付け装
置と比較して基板上面の搭載部品の温度上昇が大きくな
る傾向にある。2. Description of the Related Art An inert atmosphere soldering apparatus that performs a jet-flow soldering process on a substrate in an inert atmosphere maintained by supplying a nitrogen gas or the like into a chamber is a method for suppressing the oxygen concentration inside the chamber to be low. Since soldering is performed in a closed space so as to prevent mixing of the inert atmosphere inside and the outside air, the temperature of the atmosphere inside the chamber rises, and compared to open type soldering equipment that solders in the atmosphere. Therefore, the temperature rise of the mounted components on the substrate upper surface tends to increase.
【０００３】このため、開放形はんだ付け装置と比較し
て温度上昇の大きい不活性雰囲気はんだ付け装置におい
ては、熱的に弱い部品が搭載されている場合や、基板上
面の表面実装部品に再溶融のおそれがある場合は問題と
なる。[0003] For this reason, in an inert atmosphere soldering apparatus in which the temperature rise is larger than that of an open type soldering apparatus, when a thermally weak component is mounted or when the surface mounting component on the upper surface of the substrate is re-melted. If there is a risk, there is a problem.
【０００４】また、チャンバ内部の不活性雰囲気は停滞
しているため、はんだ付け時に煙状に発生するフラック
スヒュームなどの不純物蒸気も、チャンバ内部に充満す
ることになり、チャンバ内部にはこの汚れが堆積し、定
期的に清掃を行う必要がある。In addition, since the inert atmosphere inside the chamber is stagnant, impurity vapors such as flux fume generated in the form of smoke at the time of soldering are also filled inside the chamber, and this dirt is deposited inside the chamber. They accumulate and require periodic cleaning.
【０００５】そこで、はんだ付け装置の運転中も、チャ
ンバ内の不活性雰囲気をフィルタリング（浄化処理）す
る必要がある。Therefore, it is necessary to filter (purify) the inert atmosphere in the chamber even during the operation of the soldering apparatus.
【０００６】従来の雰囲気フィルタリング手段として
は、特開平６−１９８４２５号公報に示されるように、
触媒を用いて可燃成分を燃焼除去するものや、図６に示
されるように、溶融はんだ噴流ノズル1a，1bを内蔵した
噴流式はんだ槽２の上部に被嵌されたチャンバ３内の不
活性雰囲気を、粉塵除去用のエアフィルタ４を経てブロ
ア５により循環させることにより、不活性ガス中の不純
物をエアフィルタ４にて濾過するものがある。As a conventional atmosphere filtering means, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-198425,
One that burns and removes combustible components using a catalyst, and, as shown in FIG. 6, an inert atmosphere in a chamber 3 that is fitted over an upper part of a jet-type solder bath 2 that incorporates molten solder jet nozzles 1a and 1b. Is circulated by a blower 5 through an air filter 4 for removing dust, whereby impurities in an inert gas are filtered by the air filter 4.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】従来の触媒によるフィ
ルタリングでは、燃焼反応により発生する熱により、浄
化処理された不活性ガスが温度上昇するため、これをチ
ャンバ内に戻すことにより、チャンバ内部の不活性雰囲
気温度を結果的に上昇させる問題がある。In the conventional filtering using a catalyst, since the temperature of the purified inert gas increases due to the heat generated by the combustion reaction, the inert gas is returned to the inside of the chamber. There is a problem that the temperature of the active atmosphere is increased as a result.
【０００８】同様に、従来のエアフィルタ４により濾過
する場合も、管路６やブロア５などで発生する摩擦熱な
どにより不活性ガスが温度上昇する傾向があり、チャン
バ３内の不活性雰囲気の温度を結果的に上昇させる問題
がある。Similarly, when the air is filtered by the conventional air filter 4, the temperature of the inert gas tends to rise due to frictional heat generated in the pipe 6, the blower 5, and the like. There is a problem of raising the temperature as a result.
【０００９】一方、基板の上面側には耐熱性の弱い部品
や、比較的融点の低いはんだにより表面実装された部品
があり、このような場合は実装部品の熱破壊やはんだ再
溶融などの問題が生ずる。On the other hand, on the upper surface side of the substrate, there are components having low heat resistance and components which are surface-mounted with solder having a relatively low melting point. In such a case, there are problems such as thermal destruction of the mounted components and remelting of the solder. Occurs.
【００１０】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、チャンバ内部を不活性雰囲気に保つ不活性ガスを
冷却しながら、そのフィルタリングを効率良く行うこと
により、従来の問題点を解決することを目的とするもの
である。The present invention has been made in view of the above points, and solves the conventional problems by efficiently filtering an inert gas which keeps the interior of the chamber in an inert atmosphere while cooling the same. The purpose is to do so.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された発
明は、チャンバにより保たれた不活性雰囲気中でコンベ
ヤにより搬送されるワークにはんだ付けを行う不活性雰
囲気はんだ付け装置において、チャンバ内に不活性ガス
を供給する給気部と、チャンバ内の不活性ガスを排気す
る排気部と、排気部から排気された不活性ガスを冷却し
ながら不活性ガス中に混入した不純物を分離除去して不
活性ガスのみを給気部に循環する冷却浄化器とを具備し
た不活性雰囲気はんだ付け装置である。According to a first aspect of the present invention, there is provided an inert atmosphere soldering apparatus for soldering a workpiece conveyed by a conveyor in an inert atmosphere maintained by a chamber. An air supply section for supplying an inert gas to the chamber, an exhaust section for exhausting the inert gas in the chamber, and separating and removing impurities mixed in the inert gas while cooling the inert gas exhausted from the exhaust section. And a cooling purifier that circulates only an inert gas to an air supply section.
【００１２】そして、チャンバの排気部から排気された
不活性ガスを、冷却浄化器により冷却しながら効率良く
フィルタリングして、不活性ガス中の不純物を分離除去
し、冷却された不活性ガスのみをチャンバの給気部に戻
す。Then, the inert gas exhausted from the exhaust part of the chamber is efficiently filtered while being cooled by the cooling purifier to separate and remove impurities in the inert gas, and only the cooled inert gas is removed. Return to the chamber air supply.
【００１３】請求項２に記載された発明は、請求項１記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における給気部が、ワ
ークの一側部上にこの一側部と対向した不活性ガス吹出
ノズルを有し、排気部が、ワークの他側部上で開口した
不活性ガス吸引口を有するものである。According to a second aspect of the present invention, in the inert atmosphere soldering apparatus according to the first aspect, the air supply unit is provided on one side of the work with an inert gas blowing nozzle facing the one side. And an exhaust unit having an inert gas suction port opened on the other side of the work.
【００１４】そして、冷却浄化器により低温化された不
活性ガスは、給気部の不活性ガス吹出ノズルからワーク
の一側部に吹付けられ、ワークの他側部上で開口した不
活性ガス吸引口での吸引力により、ワーク面に沿って幅
方向に移動し、不活性ガス吸引口に吸込まれる。The inert gas cooled down by the cooling / purifying device is blown to one side of the work from an inert gas blowing nozzle of the air supply section, and is opened on the other side of the work. Due to the suction force at the suction port, it moves in the width direction along the work surface and is sucked into the inert gas suction port.
【００１５】請求項３に記載された発明は、請求項２記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における、不活性ガス
吹出ノズルと対向するワークの一側部が、ワーク幅の変
更があっても幅方向に移動しない幅方向不変位置に位置
するものである。According to a third aspect of the present invention, in the inert atmosphere soldering apparatus according to the second aspect, one side of the work facing the inert gas blowing nozzle has a width even if the width of the work is changed. It is located at a constant position in the width direction that does not move in the direction.
【００１６】そして、ワーク幅の変更があっても、不活
性ガス吹出ノズルから吹出された不活性ガスは、常にワ
ークの一側部に吹付けられ、この一側部から他側部へ供
給される。Even if the width of the work is changed, the inert gas blown from the inert gas blowing nozzle is always blown to one side of the work, and supplied from one side to the other side. You.
【００１７】請求項４に記載された発明は、請求項１記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における冷却浄化器
が、循環送風機により不活性ガスが移動する不活性ガス
移動室部と、冷却送風機により冷却風が移動する冷却風
移動室部とを、熱交換面板を介して隣接させたものであ
る。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an inert atmosphere soldering apparatus according to the first aspect, wherein the cooling and purifying device comprises an inert gas moving chamber in which an inert gas moves by a circulating blower, and a cooling blower. The cooling air moving chamber portion in which the cooling air moves moves adjacent to each other via a heat exchange face plate.
【００１８】そして、不活性ガス移動室部で移動する高
温の不活性ガスと、冷却風移動室部で移動する低温の冷
却風とを熱交換面板で熱交換させ、不活性ガスを空冷す
ることにより、不活性ガス中に含まれるフラックスヒュ
ームなどの不純物蒸気をミスト化またはパウダー化させ
る。Then, the high-temperature inert gas moving in the inert gas transfer chamber and the low-temperature cooling air moving in the cooling air transfer chamber are heat-exchanged by the heat exchange face plate to air-cool the inert gas. As a result, impurity vapor such as flux fume contained in the inert gas is converted into mist or powder.
【００１９】請求項５に記載された発明は、請求項４記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における不活性ガス移
動室部が、少なくとも不活性ガス入口に対向する位置で
配置したフィルタを有するものである。According to a fifth aspect of the present invention, in the inert atmosphere soldering apparatus according to the fourth aspect, the inert gas moving chamber has a filter arranged at least at a position facing the inert gas inlet. is there.
【００２０】そして、不活性ガス入口に対向するフィル
タに不活性ガスを直接当てることにより、不活性ガス中
に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気をこの
フィルタで効率良くミスト化して捕捉除去するととも
に、不活性ガスを不活性ガス移動室部の全断面に拡散さ
せ、このフィルタより後方での除去効率も上げる。Then, by directly applying the inert gas to the filter opposite to the inert gas inlet, impurity fumes such as flux fumes contained in the inert gas are efficiently mist-formed and trapped and removed by this filter. The inert gas is diffused in the entire cross section of the inert gas transfer chamber, and the removal efficiency behind this filter is also increased.
【００２１】請求項６に記載された発明は、請求項４記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における不活性ガス移
動室部が、不活性ガスの撹拌、冷却およびガス通路断面
積の拡大の少なくとも一つのためのフィンを有するもの
である。According to a sixth aspect of the present invention, in the inert atmosphere soldering apparatus according to the fourth aspect, the inert gas moving chamber is provided with at least one of stirring and cooling of the inert gas and expansion of the gas passage cross-sectional area. It has a fin for one.
【００２２】そして、不活性ガス移動室部のフィンによ
り、ガス通路断面積を拡大させて不活性ガスを断熱膨張
させることにより不活性ガス中に含まれる不純物蒸気の
ミスト化またはパウダー化を促進させるとともに、フィ
ンにより不活性ガスを撹拌することにより、不活性ガス
温度の均一化を図り、不活性ガス中に含まれる不純物を
フィン面または壁面で捕捉する慣性集塵作用を促進さ
せ、熱交換面板から不活性ガス移動室部に突出するフィ
ンにより不活性ガスを冷却する。The fins of the inert gas transfer chamber expand the gas passage cross-sectional area and adiabatically expand the inert gas, thereby promoting mist or powdering of impurity vapor contained in the inert gas. At the same time, the inert gas is agitated by the fins, thereby making the temperature of the inert gas uniform, promoting the inertial dust collection effect of trapping impurities contained in the inert gas on the fin surface or wall surface, and The inert gas is cooled by fins projecting into the inert gas transfer chamber from the fin.
【００２３】請求項７に記載された発明は、請求項４記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における冷却送風機
が、冷却風移動室部の下部から上部へ冷却風を移動さ
せ、循環送風機が、不活性ガス移動室部の上部から下部
へ不活性ガスを移動させ、不活性ガス移動室部が、その
下部に不活性ガス中より分離除去された不純物を回収す
る回収箱を備えたものである。According to a seventh aspect of the present invention, in the inert atmosphere soldering apparatus according to the fourth aspect, the cooling blower moves the cooling air from the lower part to the upper part of the cooling air moving chamber, and the circulating blower does not work. The inert gas is moved from the upper part to the lower part of the active gas moving chamber part, and the inert gas moving chamber part is provided with a collecting box at the lower part for collecting impurities separated and removed from the inert gas.
【００２４】そして、不活性ガス移動室部を下降する不
活性ガスは、下方ほど低温の温度分布となっている冷却
風移動室部より、下降するほど強い冷却作用を受け、不
活性ガス中に含まれる不純物蒸気のパウダー化が急速に
進行し、パウダー化した不純物はそのまま回収箱に回収
される。The inert gas that descends in the inert gas transfer chamber receives a stronger cooling action as it descends from the cooling air transfer chamber that has a lower temperature distribution as it goes down. Powdering of the contained impurity vapors proceeds rapidly, and the powdered impurities are directly collected in the collection box.
【００２５】請求項８に記載された発明は、請求項４記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における熱交換面板
が、不活性ガス移動室部に対し開閉可能に設けられたも
のである。According to an eighth aspect of the present invention, in the inert atmosphere soldering apparatus according to the fourth aspect, the heat exchange face plate is provided so as to be openable and closable with respect to the inert gas moving chamber.
【００２６】そして、不活性ガス移動室部内の壁面など
を清掃するときは、熱交換面板を開くことにより、不活
性ガス移動室部を外部に開放する。When cleaning the wall or the like in the inert gas transfer chamber, the heat exchange face plate is opened to open the inert gas transfer chamber to the outside.
【００２７】請求項９に記載された発明は、請求項４記
載の不活性雰囲気はんだ付け装置における循環送風機
が、ファンとこのファンの軸を駆動するモータとの間に
低温不活性ガスの供給を受ける断熱軸受部を有するもの
である。According to a ninth aspect of the present invention, in the inert atmosphere soldering apparatus according to the fourth aspect, the circulating blower supplies a low-temperature inert gas between the fan and a motor that drives a shaft of the fan. It has a heat-insulating bearing part for receiving.
【００２８】そして、断熱軸受部に低温不活性ガスを供
給することにより、ファンとモータとの間を冷却してモ
ータ側からファン側への熱伝導を遮断するとともに、断
熱軸受部内に生じた不活性ガス圧により、外部の大気が
断熱軸受部を経てファン側へ吸込まれることを防ぐ。By supplying a low-temperature inert gas to the heat-insulating bearing portion, the space between the fan and the motor is cooled to shut off heat conduction from the motor side to the fan side, and the heat generated in the heat-insulating bearing portion. The active gas pressure prevents external air from being sucked into the fan through the heat-insulating bearing portion.
【００２９】[0029]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図５を参照しながら説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
This will be described with reference to FIGS.
【００３０】図１に示されるように、噴流式はんだ槽11
の上部にチャンバ12が被嵌されている。さらに、噴流式
はんだ槽11およびチャンバ12などは、装置本体13により
密閉されている。As shown in FIG. 1, the jet type solder bath 11
The chamber 12 is fitted on the upper part of the chamber. Further, the jet-type solder bath 11 and the chamber 12 are hermetically sealed by the apparatus main body 13.
【００３１】噴流式はんだ槽11は、溶融はんだ供給ダク
ト14の一側部にはんだ吸込口15を持つポンプ機構16が設
けられ、溶融はんだ供給ダクト14の他側部に溶融はんだ
噴流ノズル（以下、単に噴流ノズルという）17が設けら
れ、そして、ポンプ機構16によりダクト14内に供給さ
れ、噴流ノズル17から噴流した溶融はんだＳは、ワーク
としての部品実装基板（以下、単に基板Ｐという）には
んだ付けを行う。The jet-type solder bath 11 is provided with a pump mechanism 16 having a solder suction port 15 on one side of a molten solder supply duct 14, and a molten solder jet nozzle (hereinafter, referred to as a nozzle) on the other side of the molten solder supply duct 14. A molten nozzle S, which is supplied into the duct 14 by the pump mechanism 16 and is jetted from the jet nozzle 17, is soldered to a component mounting board (hereinafter, simply referred to as a board P) as a work. Make the attachment.
【００３２】この基板Ｐを搬送するコンベヤ21は、噴流
ノズル17の上部一側上に固定ガイドレール22を配設する
とともに、噴流ノズル17の上部他側上に固定ガイドレー
ル22に対しワーク幅の変更に応じて平行に移動可能の可
動ガイドレール23を配設し、これらの各ガイドレール2
2，23にそれぞれ無端回行する一対の搬送チェン24，25
を摺動自在に嵌装し、これらの搬送チェン24，25に所定
ピッチで搬送爪26，27を取付け、一側の搬送爪26と他側
の搬送爪27とにより基板Ｐを挟持しながら移動する。The conveyor 21 for transporting the substrate P is provided with a fixed guide rail 22 on one side of the upper part of the jet nozzle 17 and a work width of the fixed guide rail 22 on the other side of the upper part of the jet nozzle 17. A movable guide rail 23 that can be moved in parallel according to the change is provided, and each of these guide rails 2
A pair of transport chains 24 and 25 that endlessly rotate to 2 and 23, respectively.
Are slidably fitted, and transport claws 26, 27 are attached to the transport chains 24, 25 at a predetermined pitch, and the substrate P is moved while being pinched by the transport claws 26 on one side and the transport claws 27 on the other side. I do.
【００３３】前記チャンバ12は、下端開口縁12a をはん
だ槽11内の溶融はんだ面Saに挿入したので、図示されな
い窒素タンクなどから図示されない補給管路を経てチャ
ンバ12内に補給された窒素（Ｎ2 ）ガスなどの不活性ガ
スにより形成された不活性雰囲気を維持することができ
る。Since the lower end opening edge 12a of the chamber 12 is inserted into the molten solder surface Sa in the solder bath 11, nitrogen (N) supplied into the chamber 12 from a nitrogen tank (not shown) or the like via a supply pipe (not shown) is supplied. 2 ) An inert atmosphere formed by an inert gas such as a gas can be maintained.
【００３４】このように、チャンバ12により保たれた不
活性雰囲気中でコンベヤ21により搬送される基板Ｐには
んだ付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置において、
チャンバ12内にて固定ガイドレール22の上側に、不活性
ガスＧを循環供給するための給気部31を配置するととも
に、チャンバ12内にて可動ガイドレール23の上側に、不
活性ガスＧを循環排気するための排気部32を配置する。As described above, in the inert atmosphere soldering apparatus for soldering the substrate P conveyed by the conveyor 21 in the inert atmosphere maintained by the chamber 12,
An air supply section 31 for circulating and supplying the inert gas G is disposed above the fixed guide rail 22 in the chamber 12, and the inert gas G is supplied above the movable guide rail 23 in the chamber 12. An exhaust unit 32 for circulating exhaust is arranged.
【００３５】給気部31は、基板Ｐの一側部上にこの一側
部と対向した不活性ガス吹出ノズル33を有し、また、排
気部32は、基板Ｐの他側部上で開口した不活性ガス吸引
口34を有している。The air supply section 31 has an inert gas blowing nozzle 33 on one side of the substrate P facing the one side, and the exhaust section 32 has an opening on the other side of the substrate P. It has an inert gas suction port 34.
【００３６】不活性ガス吹出ノズル33は、固定ガイドレ
ール22側の搬送爪26により保持された基板Ｐの一側部と
対向する位置に設けられている。すなわち、不活性ガス
吹出ノズル33と対向する基板Ｐの一側部は、基板幅の変
更があっても幅方向に移動しない幅方向不変位置に位置
する。The inert gas blowing nozzle 33 is provided at a position facing one side of the substrate P held by the transfer claw 26 on the fixed guide rail 22 side. In other words, one side of the substrate P facing the inert gas blowing nozzle 33 is located at a constant width direction position that does not move in the width direction even when the substrate width is changed.
【００３７】さらに、不活性ガスＧの外部循環系では排
気部32と給気部31との間に位置する冷却浄化器35を、装
置本体13の背面側に設置する。この冷却浄化器35は、排
気部32の上部に設けられた排気口36から排気ホース37を
経て排気された不活性ガスＧを受入れ、チャンバ12内で
温度上昇した不活性ガスＧを冷却しながら不活性ガスＧ
中に混入した不純物を分離除去して、不活性ガスＧのみ
を給気ホース38により給気部に設けられた給気口39へ循
環するものである。Further, in the external circulation system of the inert gas G, a cooling purifier 35 located between the exhaust part 32 and the air supply part 31 is installed on the back side of the apparatus main body 13. The cooling purifier 35 receives the inert gas G exhausted from the exhaust port 36 provided at the upper part of the exhaust part 32 via the exhaust hose 37, and cools the inert gas G whose temperature has increased in the chamber 12 while cooling. Inert gas G
The impurities mixed therein are separated and removed, and only the inert gas G is circulated by the air supply hose 38 to the air supply port 39 provided in the air supply section.
【００３８】図２および図３に示されるように、前記冷
却浄化器35は、装置本体13の後扉41に取付けられ不活性
ガスＧが下降移動する不活性ガス移動室部42と、冷却風
Ａが上昇移動する冷却風移動室部43とを、熱交換面板44
を介して隣接させたものである。As shown in FIGS. 2 and 3, the cooling purifier 35 is provided with an inert gas moving chamber 42 which is attached to the rear door 41 of the apparatus main body 13 and in which the inert gas G moves downward, and a cooling wind. A and the heat exchange face plate 44
Are adjacent to each other.
【００３９】不活性ガス移動室部42の上部には後扉41の
内側に開口された不活性ガス入口45が設けられ、この不
活性ガス入口45にチャンバ12の排気部32から引出された
排気ホース37が連通接続される。An inert gas inlet 45 opened inside the rear door 41 is provided at an upper portion of the inert gas transfer chamber 42, and the inert gas inlet 45 is provided with an exhaust gas drawn from the exhaust portion 32 of the chamber 12. A hose 37 is connected for communication.
【００４０】一方、不活性ガス移動室部42の下部には後
扉41の内側に開口された不活性ガス出口46が設けられ、
この不活性ガス出口46に循環送風機47の吸込口48が接続
されている。この循環送風機47の吐出口49は、給気ホー
ス38によりチャンバ12の給気部31に連通接続される。On the other hand, an inert gas outlet 46 opened inside the rear door 41 is provided below the inert gas transfer chamber 42,
A suction port 48 of a circulating blower 47 is connected to the inert gas outlet 46. The discharge port 49 of the circulating blower 47 is connected to the air supply section 31 of the chamber 12 by an air supply hose 38.
【００４１】不活性ガス移動室部42の内部には、不活性
ガス入口45に対向する位置に、不活性ガス移動室部42の
全断面を斜めに横断する形で設置された上部フィルタ51
が設けられている。Inside the inert gas transfer chamber 42, an upper filter 51 is installed at a position facing the inert gas inlet 45 so as to obliquely cross the entire cross section of the inert gas transfer chamber 42.
Is provided.
【００４２】この上部フィルタ51は、パンチングメタル
板などのフレーム内にスポンジ状またはマット状のエア
フィルタ材を設けたものであり、このエアフィルタ材に
衝突した不純物蒸気をミスト化する機能、ミスト粒子を
効率良く捕捉除去する粗取り機能、不活性ガス入口45か
ら不活性ガス移動室部42に吸込まれた不活性ガスＧを全
断面に拡散させる圧力分布の均一化機能などを有してい
る。The upper filter 51 has a sponge-like or mat-like air filter material provided in a frame such as a punched metal plate. The upper filter 51 has a function of converting mist of the impurity vapor impinging on the air filter material into a mist. Function to efficiently capture and remove the gas, and a function of equalizing the pressure distribution for diffusing the inert gas G sucked into the inert gas transfer chamber 42 from the inert gas inlet 45 over the entire cross section.
【００４３】このフィルタ51の取付部52より斜め下方へ
フィン53を突設し、このフィン53の上側および下側にて
熱交換面板44より斜め下方へフィン54，55を突設し、さ
らに、不活性ガス移動室部42の内壁面部42a から斜め下
方へ突設したフィン56と、このフィン56の下側にて熱交
換面板44より斜め下方へ突設したフィン57との組合せを
不活性ガス移動室部42内の上中下３段にそれぞれ設置す
る。Fins 53 project diagonally downward from the mounting portion 52 of the filter 51, and fins 54, 55 project diagonally downward from the heat exchange face plate 44 above and below the fins 53. The combination of a fin 56 projecting obliquely downward from the inner wall surface portion 42a of the inert gas transfer chamber 42 and a fin 57 projecting obliquely downward from the heat exchange face plate 44 below the fin 56 is used as an inert gas. It is installed in the upper, middle, and lower three tiers in the moving chamber 42, respectively.
【００４４】フィン56は、斜め下方へ突設された傾斜部
56a と、この傾斜部56a の下側にて熱交換面板44と平行
の絞り板部56b とが一体に形成され、絞り板部56b と熱
交換面板44との間に狭いガス通路58を形成している。な
お、全てのフィン53〜57が、不活性ガス移動室部42の一
側板と他側板との間の全幅にわたって設けられている。The fin 56 has an inclined portion projecting obliquely downward.
56a and a throttle plate portion 56b parallel to the heat exchange face plate 44 below the inclined portion 56a are integrally formed, and a narrow gas passage 58 is formed between the throttle plate portion 56b and the heat exchange face plate 44. ing. Note that all the fins 53 to 57 are provided over the entire width between one side plate and the other side plate of the inert gas transfer chamber 42.
【００４５】左方から突出されたフィン56は、主として
不活性ガスＧを撹拌することにより、不活性ガスＧの温
度を均一化する機能と、フィン56などの表面および裏面
にフラックスヒュームなどの不純物蒸気から生じたミス
ト粒子やパウダー粒子を付着させる慣性集塵機能とを有
するとともに、不活性ガスＧを傾斜部56a により絞り板
部56b に沿った狭いガス通路58に導いた後に狭いガス通
路58から大きな空間59にガス通路断面積を急激に拡大さ
せる構造により、不活性ガスＧを断熱膨張させて不純物
蒸気のミスト化またはパウダー化を促進させる機能も有
している。The fins 56 projecting from the left side have a function of making the temperature of the inert gas G uniform by mainly stirring the inert gas G, and a function such as flux fume or the like on the front and back surfaces of the fins 56 and the like. In addition to having an inertial dust collecting function for adhering mist particles and powder particles generated from the vapor, the inert gas G is introduced into the narrow gas passage 58 along the throttle plate portion 56b by the inclined portion 56a, and then the inert gas G is removed from the narrow gas passage 58. The structure in which the cross-sectional area of the gas passage is rapidly expanded in the space 59 also has a function of adiabatically expanding the inert gas G to promote mist or powder of the impurity vapor.
【００４６】一方、熱交換面板44より斜め下方へ突設し
たフィン54，55，57は、不活性ガスＧを撹拌する機能に
加えて、不活性ガスＧを冷却する冷却フィンとしての機
能を有する。On the other hand, the fins 54, 55 and 57 projecting obliquely downward from the heat exchange face plate 44 have a function as a cooling fin for cooling the inert gas G in addition to a function for stirring the inert gas G. .
【００４７】不活性ガス移動室部42の下部に設けられた
フィン56は、狭いガス通路58の反対側が不活性ガス出口
46に連通する折返部61となっており、この折返部61に下
部フィルタ62を配置する。この下部フィルタ62は、上部
フィルタ51と同様のエアフィルタ材を取付ける。The fin 56 provided at the lower portion of the inert gas transfer chamber 42 has an inert gas outlet on the opposite side of the narrow gas passage 58.
A turn-back portion 61 communicating with 46 is provided, and a lower filter 62 is disposed in the turn-back portion 61. The lower filter 62 has the same air filter material as the upper filter 51 mounted thereon.
【００４８】この下部フィルタ62と対向する不活性ガス
移動室部42の底板部に、不活性ガス中より分離除去され
たフラックスヒュームなどのパウダーを回収する回収箱
63を着脱自在に設置する。A collection box for collecting powder such as flux fume separated and removed from the inert gas is provided on the bottom plate of the inert gas transfer chamber 42 facing the lower filter 62.
63 is installed detachably.
【００４９】不活性ガス移動室部42の底板部より下側に
て後扉41に取付板64を介して冷却送風機65が取付けられ
ている。この冷却送風機65は、図３に示されるように冷
却風移動室部43の全幅にわたって長尺に設けられたクロ
スフローファンである。A cooling blower 65 is mounted on the rear door 41 via a mounting plate 64 below the bottom plate of the inert gas transfer chamber 42. The cooling blower 65 is a cross flow fan that is provided to be long over the entire width of the cooling air moving chamber 43 as shown in FIG.
【００５０】この冷却送風機65の空気吹出口は、冷却風
移動室部43の下端に開口された空気吹込口66に臨んでい
る。冷却風移動室部43の上端には空気吹出口67が開口さ
れている。すなわち、冷却風移動室部43では、冷却送風
機65により空気吹込口66から吹込まれた室温（２０〜２
５℃）の空気が冷却風として上昇する。The air outlet of the cooling blower 65 faces an air inlet 66 opened at the lower end of the cooling air moving chamber 43. An air outlet 67 is opened at the upper end of the cooling air moving chamber 43. That is, in the cooling air moving chamber 43, the room temperature (20 to 2) blown from the air blowing port 66 by the cooling blower 65.
5 ° C.) air rises as cooling air.
【００５１】前記循環送風機47は、ケーシング71の裏側
に、後扉41に取付けられたモータ取付板72を介して電動
モータ73のモータ本体を取付け、この電動モータ73の回
転軸にケーシング71の内部で回転自在に軸支されたファ
ン74を接続する。電動モータ73とファン74との間には冷
却ガスの供給を受ける断熱軸受部75を設ける。ファン74
は、回転することにより、その中央部に不活性ガスＧを
吸引して、外周部より不活性ガスＧを吐出する。The circulating blower 47 has a motor body of an electric motor 73 mounted on the rear side of the casing 71 via a motor mounting plate 72 mounted on the rear door 41, and a rotating shaft of the electric motor 73 inside the casing 71. Is connected to the fan 74 which is rotatably supported. Between the electric motor 73 and the fan 74, a heat-insulating bearing portion 75 for receiving a supply of cooling gas is provided. Fan 74
Rotates, thereby sucking the inert gas G into the center thereof and discharging the inert gas G from the outer periphery.
【００５２】そして、この循環送風機47は、不活性ガス
Ｇを吸引することにより、チャンバ12の排気部32から排
気ホース37を経て不活性ガス移動室部42の上部に不活性
ガスＧを吸込み、不活性ガス移動室部42の上部から下部
へ不活性ガスＧを移動させ、不活性ガス移動室部42の下
部から吸出した不活性ガスＧを給気ホース38を経てチャ
ンバ12の給気部31へ加圧供給する。The circulating blower 47 sucks the inert gas G to suck the inert gas G from the exhaust part 32 of the chamber 12 to the upper part of the inert gas transfer chamber part 42 through the exhaust hose 37, The inert gas G is moved from the upper part to the lower part of the inert gas transfer chamber part 42, and the inert gas G sucked from the lower part of the inert gas transfer chamber part 42 is supplied to the air supply part 31 of the chamber 12 through the air supply hose 38. Pressure supply.
【００５３】図３に示されるように、冷却浄化器35の冷
却風移動室部43の内部は、縦方向の整流板76により複数
に仕切られ、冷却送風機65から冷却風移動室部43内に吹
込まれた冷却風が円滑に吹抜けることにより、この冷却
風による冷却作用が効率良く行われるようになってい
る。As shown in FIG. 3, the inside of the cooling air moving chamber 43 of the cooling purifier 35 is partitioned into a plurality of parts by a vertical rectifying plate 76, and the cooling air is supplied from the cooling blower 65 into the cooling air moving chamber 43. Since the blown cooling wind smoothly blows through, the cooling action by the cooling wind is performed efficiently.
【００５４】熱交換面板44は、冷却風移動室部43と一体
に設けられているが、不活性ガス移動室部42に対し開閉
自在に設けられている。すなわち、図３に示されるよう
に、不活性ガス移動室部42と冷却風移動室部43との一側
間には複数のヒンジ77が設けられ、反対側間には複数の
止金78が設けられている。The heat exchange face plate 44 is provided integrally with the cooling air moving chamber 43, but is provided so as to be openable and closable with respect to the inert gas moving chamber 42. That is, as shown in FIG. 3, a plurality of hinges 77 are provided between one side of the inert gas transfer chamber 42 and the cooling air transfer chamber 43, and a plurality of stoppers 78 are provided between the opposite sides. Is provided.
【００５５】そして、この止金78を外すことにより、ヒ
ンジ77を支点に冷却風移動室部43と一体の熱交換面板44
を不活性ガス移動室部42から開くことができ、これによ
り、不活性ガス移動室部42の内部、熱交換面板44の対向
壁面および全てのフィン53〜57を外部に開放することが
できるので、これらに付着したフラックスヒュームなど
の不純物を容易に清掃することができる。Then, by removing the stopper 78, the heat exchange face plate 44 integrated with the cooling air moving chamber 43 with the hinge 77 as a fulcrum.
Can be opened from the inert gas transfer chamber portion 42, whereby the interior of the inert gas transfer chamber portion 42, the opposing wall surface of the heat exchange face plate 44 and all the fins 53 to 57 can be opened to the outside. In addition, impurities such as flux fume adhered to these can be easily cleaned.
【００５６】図４（Ａ）から（Ｂ）に示されるように、
装置本体13の背面側に設けられた後扉41はヒンジ81によ
り開閉自在に軸支されており、この後扉41が開かれる
と、排気ホース37、給気ホース38および電動モータ73の
電源コード82が後扉41と共に引出される。As shown in FIGS. 4A and 4B,
A rear door 41 provided on the back side of the apparatus main body 13 is supported by a hinge 81 so as to be openable and closable, and when the rear door 41 is opened, a power cord of an exhaust hose 37, an air supply hose 38, and an electric motor 73 is provided. 82 is pulled out together with the rear door 41.
【００５７】この後扉41が開かれた状態では、循環送風
機47を後扉41から容易に取外すことができるので、循環
送風機47のメンテナンスも容易に行える。When the rear door 41 is open, the circulation blower 47 can be easily removed from the rear door 41, so that maintenance of the circulation blower 47 can be easily performed.
【００５８】図５は、循環送風機47のファン74と駆動モ
ータ73との間に位置する断熱軸受部75を示し、ファン74
の軸83を保持する一対のベアリング84が嵌着された軸孔
空間85に対して、低温（室温）の窒素ガスなどの不活性
ガスｇを供給するためのガス供給孔86を穿設し、また、
ベアリング84よりファン74側にオイルシールなどのシー
ル部材87を嵌着する。なお、ファン74の軸83はカップリ
ング88によりモータ軸89と連結されている。FIG. 5 shows a heat-insulating bearing portion 75 located between the fan 74 of the circulating blower 47 and the drive motor 73.
A gas supply hole 86 for supplying an inert gas g such as nitrogen gas at a low temperature (room temperature) is bored in a shaft hole space 85 in which a pair of bearings 84 holding the shaft 83 are fitted. Also,
A seal member 87 such as an oil seal is fitted on the fan 74 side from the bearing 84. The shaft 83 of the fan 74 is connected to a motor shaft 89 by a coupling 88.
【００５９】そして、断熱軸受部75のガス供給孔86に低
温不活性ガスｇを供給することにより、ファン74とモー
タ73との間を冷却して、モータ73側からファン74側への
熱伝導を遮断するとともに、断熱軸受部75の軸孔空間85
に加圧供給された不活性ガスにより、外部の空気がこの
軸孔空間85を経てファン74側へ吸込まれることを防いで
いる。Then, by supplying the low-temperature inert gas g to the gas supply holes 86 of the heat-insulating bearing portion 75, the space between the fan 74 and the motor 73 is cooled, and the heat conduction from the motor 73 to the fan 74 is performed. And the shaft hole space 85 of the heat-insulated bearing part 75
The inert gas supplied under pressure prevents the outside air from being sucked into the fan 74 through the shaft hole space 85.
【００６０】次に、図示された実施形態の作用を説明す
る。Next, the operation of the illustrated embodiment will be described.
【００６１】図１に示されるように、冷却浄化器35によ
り低温化された不活性ガスＧは、チャンバ12の給気部31
に供給され、この給気部31の不活性ガス吹出ノズル33か
ら基板Ｐの一側部に吹付けられる。このとき、基板幅の
変更があっても、不活性ガス吹出ノズル33から吹出され
た不活性ガスＧは、常に基板Ｐの一側部の決められた場
所に吹付けられ、基板Ｐの他側部上で開口した排気部32
の不活性ガス吸引口34での吸引力により、基板Ｐ面に沿
って基板Ｐの幅方向に移動し、排気部32の不活性ガス吸
引口34に吸込まれる。As shown in FIG. 1, the inert gas G whose temperature has been lowered by the cooling / purifying unit 35 is supplied to the air supply unit 31 of the chamber 12.
And is blown from the inert gas blowing nozzle 33 of the air supply unit 31 to one side of the substrate P. At this time, even if the width of the substrate is changed, the inert gas G blown out from the inert gas blowing nozzle 33 is always blown to a predetermined location on one side of the substrate P, and the other side of the substrate P Exhaust part 32 opened on the part
Is moved in the width direction of the substrate P along the surface of the substrate P, and is sucked into the inert gas suction port 34 of the exhaust unit 32.
【００６２】このように、給気は基板Ｐの上面に向けら
れ、基板Ｐの上面に沿って低温化された不活性ガスＧが
流れるので、基板Ｐの上面に搭載された部品の周辺の雰
囲気温度を低下させることで、搭載部品の温度上昇を抑
えることができる。As described above, the air supply is directed to the upper surface of the substrate P, and the inert gas G at a low temperature flows along the upper surface of the substrate P, so that the atmosphere around the components mounted on the upper surface of the substrate P By lowering the temperature, an increase in the temperature of the mounted component can be suppressed.
【００６３】また、チャンバ12の上部に配置された排気
部32の不活性ガス吸引口34は、発生するフラックスヒュ
ームなどの不純物蒸気を効率良く吸引することができ
る。In addition, the inert gas suction port 34 of the exhaust part 32 arranged at the upper part of the chamber 12 can efficiently suck impurity fumes such as generated flux fume.
【００６４】さらに、チャンバ12の排気部32から排気さ
れた不活性ガスＧは、冷却浄化器35により冷却されなが
ら浄化処理（フィルタリング）され、不活性ガスＧ中か
らフラックスヒュームなどの不純物が分離除去され、冷
却された不活性ガスＧのみがチャンバ12の給気部31に戻
される。Further, the inert gas G exhausted from the exhaust part 32 of the chamber 12 is purified (filtered) while being cooled by the cooling purifier 35, and impurities such as flux fume are separated and removed from the inert gas G. Only the cooled inert gas G is returned to the air supply section 31 of the chamber 12.
【００６５】その際に、冷却浄化器35では、不活性ガス
移動室部42で移動する高温の不活性ガスＧと、冷却風移
動室部43で移動する低温の冷却風Ａとを主として熱交換
面板44で熱交換させ、不活性ガスＧを空冷することによ
り、不活性ガスＧ中に含まれるフラックスヒュームなど
の不純物蒸気を効率良くミスト化またはパウダー化さ
せ、不活性ガスＧ中から分離除去する。At this time, the cooling purifier 35 mainly exchanges heat between the high temperature inert gas G moving in the inert gas moving chamber 42 and the low temperature cooling air A moving in the cooling air moving chamber 43. By performing heat exchange with the face plate 44 and air-cooling the inert gas G, impurity vapors such as flux fumes contained in the inert gas G are efficiently converted into mist or powder and separated and removed from the inert gas G. .
【００６６】この不純物を不活性ガスＧ中から分離除去
するメカニズムは、不活性ガス入口45に対向するフィル
タ51に不活性ガスＧを直接当てることにより、不活性ガ
スＧ中に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気
をこのフィルタ51で効率良くミスト化して不活性ガスＧ
から濾過分離するとともに、不活性ガスＧを不活性ガス
移動室部42の全断面に拡散させ、このフィルタ51より後
方での除去効率も上げる。The mechanism for separating and removing the impurities from the inert gas G is as follows. The inert gas G is directly applied to the filter 51 opposed to the inert gas inlet 45 so that the flux fume and the like contained in the inert gas G Mist is efficiently converted into mist by this filter 51 and the inert gas G
, And the inert gas G is diffused to the entire cross section of the inert gas transfer chamber 42, and the removal efficiency behind the filter 51 is also increased.
【００６７】さらに、不活性ガス移動室部42に突出した
フィン53，56により、ガス通路断面積を絞った後に拡大
させ、不活性ガスＧを断熱膨張させる作用を繰返すこと
により、不活性ガスＧ中に含まれる不純物蒸気のミスト
化またはパウダー化を促進させるとともに、フィン53〜
57により不活性ガスＧを撹拌することにより、不活性ガ
ス温度の均一化を図るとともに、不活性ガスＧ中に含ま
れる不純物をフィン面または壁面で捕捉する慣性集塵作
用を促進させ、また、熱交換面板44およびこの熱交換面
板44から不活性ガス移動室部42に突出するフィン54，5
5，57により不活性ガスＧを効率良く冷却することによ
り、不活性ガスＧ中に含まれる不純物蒸気のミスト化ま
たはパウダー化を促進させる。Further, the fins 53 and 56 protruding into the inert gas transfer chamber 42 narrow the gas passage cross-sectional area and then expand it, thereby repeating the adiabatic expansion of the inert gas G, thereby repeating the inert gas G operation. It promotes the formation of mist or powder of the impurity vapor contained therein,
By agitating the inert gas G by 57, the inert gas temperature is made uniform, and the inert gas collection action of trapping impurities contained in the inert gas G on the fin surface or the wall surface is promoted. Heat exchange face plate 44 and fins 54, 5 projecting from the heat exchange face plate 44 to the inert gas transfer chamber 42.
By efficiently cooling the inert gas G by 5, 57, mist or powder of the impurity vapor contained in the inert gas G is promoted.
【００６８】また、不活性ガス移動室部42を下降する不
活性ガスＧは、下方ほど低温の温度分布となっている冷
却風移動室部43より、下降するほど強い冷却作用を受け
て、不活性ガスＧ中に含まれる不純物蒸気のパウダー化
が急速に進行し、パウダー化した不純物はそのまま不活
性ガスＧの流れにより各フィン53〜57の斜面を滑り落ち
るように移動し、回収箱63に回収される。The inert gas G descending in the inert gas moving chamber 42 receives a stronger cooling action as it descends from the cooling air moving chamber 43 having a lower temperature distribution. Powdering of the impurity vapor contained in the active gas G rapidly progresses, and the powdered impurity moves as it flows down the slopes of the fins 53 to 57 by the flow of the inert gas G and is collected in the collection box 63. Is done.
【００６９】回収箱63の上側では、不活性ガスＧの流れ
が１８０°反転するため、不活性ガスＧより重い不純物
のパウダー粒子は、不活性ガスＧの流れから遠心分離さ
れ、また、下部フィルタ62により不活性ガスＧから確実
に濾過分離されて、回収箱63に落下する。この回収箱63
は、不活性ガス移動室部42から熱交換面板44を開いたと
きに取出して空のものと交換する。Above the recovery box 63, the flow of the inert gas G is reversed by 180 °, so that powder particles of impurities heavier than the inert gas G are centrifuged from the flow of the inert gas G, and the lower filter The gas is reliably separated from the inert gas G by the filter 62 and falls into the collection box 63. This collection box 63
Is taken out when the heat exchange face plate 44 is opened from the inert gas transfer chamber 42 and replaced with an empty one.
【００７０】[0070]
【実施例】以上の実施形態における冷却浄化器35は、冷
却風として使用する室内空気の温度が２０℃のとき、排
気部32から循環風量０．６ｍ3 ／分で吸引した９０℃の
不活性ガスを、給気部31に戻す際は４０℃に低下させ
て、フラックスヒュームを確実にパウダー化できること
が確認されている。実際の基板Ｐに搭載された部品の温
度も約１０℃低下したことが確認されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The cooling purifier 35 in the above embodiment is a 90 ° C. inert gas sucked from the exhaust unit 32 at a circulating air flow rate of 0.6 m 3 / min when the temperature of indoor air used as cooling air is 20 ° C. It has been confirmed that when returning the gas to the air supply section 31, the temperature is lowered to 40 ° C., and the flux fume can be reliably turned into powder. It has been confirmed that the temperature of the components mounted on the actual board P also dropped by about 10 ° C.
【００７１】[0071]
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、チャンバ
の排気部から排気された不活性ガスを冷却浄化器によっ
て冷却しながら、不活性ガス中の不純物を効率良く分離
除去でき、チャンバ内部で発生する不純物蒸気による汚
れの清掃に要する負担を軽減できる。また、冷却された
不活性ガスのみをチャンバの給気部に戻すから、チャン
バ内部の不活性雰囲気の温度上昇を効果的に抑制でき、
ワークの温度上昇による問題を解決できる。According to the first aspect of the present invention, impurities in the inert gas can be efficiently separated and removed while the inert gas exhausted from the exhaust part of the chamber is cooled by the cooling purifier. The burden required for cleaning dirt due to the impurity vapor generated in the step can be reduced. Also, since only the cooled inert gas is returned to the air supply section of the chamber, the temperature rise of the inert atmosphere inside the chamber can be effectively suppressed,
The problem caused by the temperature rise of the work can be solved.
【００７２】請求項２記載の発明によれば、冷却浄化器
により低温化された不活性ガスが、給気部の不活性ガス
吹出ノズルからワークの一側部に吹付けられ、ワークの
他側部上で開口した不活性ガス吸引口での吸引力によ
り、ワーク面に沿って幅方向に移動し、不活性ガス吸引
口に吸込まれるから、ワークの上面を効率良く冷却で
き、例えば基板上面に耐熱性の弱い部品や、比較的融点
の低いはんだにより表面実装された部品がであっても、
実装部品の熱破壊やはんだ再溶融などのおそれを防止で
きるとともに、はんだ付け時にワークから発生する不純
物蒸気の排気も効率良く行うことができる。According to the second aspect of the present invention, the inert gas cooled down by the cooling / purifying device is blown to one side of the work from the inert gas blowing nozzle of the air supply section, and the other side of the work is blown. Due to the suction force of the inert gas suction port opened on the part, it moves in the width direction along the work surface and is sucked into the inert gas suction port, so that the upper surface of the work can be cooled efficiently, for example, the upper surface of the substrate Even if there are parts with low heat resistance or parts surface-mounted with relatively low melting point solder,
It is possible to prevent the risk of thermal destruction of the mounted components and remelting of the solder, and also to efficiently exhaust impurity vapor generated from the work during soldering.
【００７３】請求項３記載の発明によれば、不活性ガス
吹出ノズルと対向するワークの一側部が幅方向不変位置
に位置するから、不活性ガス吹出ノズルの位置を変えな
くても、ワーク幅の変更に対応できる利点がある。According to the third aspect of the present invention, since one side of the work facing the inert gas blowing nozzle is located at the invariable position in the width direction, the work can be maintained without changing the position of the inert gas blowing nozzle. There is an advantage that the width can be changed.
【００７４】請求項４記載の発明によれば、不活性ガス
移動室部で移動する高温の不活性ガスと、冷却風移動室
部で移動する低温の冷却風とを熱交換面板で熱交換さ
せ、不活性ガスを空冷することにより、不活性ガス中に
含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気を効率良
くミスト化またはパウダー化させることができ、単なる
エアフィルタよりも優れた回収効率が得られる。According to the fourth aspect of the present invention, the heat exchange between the high-temperature inert gas moving in the inert gas moving chamber and the low-temperature cooling air moving in the cooling air moving chamber is performed by the heat exchange face plate. By air cooling the inert gas, impurity vapors such as flux fumes contained in the inert gas can be efficiently turned into mist or powder, and a higher recovery efficiency than a simple air filter can be obtained.
【００７５】請求項５記載の発明によれば、不活性ガス
移動室部の不活性ガス入口に対向するフィルタに不活性
ガスを直接当てることにより、不活性ガス中に含まれる
フラックスヒュームなどの不純物蒸気をこのフィルタで
効率良くミスト化して捕捉除去できる。また、不活性ガ
ス入口にてフィルタに不活性ガスを当てることにより、
不活性ガス移動室部に流入した直後の不活性ガスを不活
性ガス移動室部の全断面に拡散させることができるか
ら、このフィルタより後方での不純物除去効率も向上で
きる。According to the fifth aspect of the present invention, by directly applying the inert gas to the filter opposite to the inert gas inlet of the inert gas transfer chamber, impurities such as flux fumes contained in the inert gas are contained. Vapors can be efficiently converted into mist and captured and removed by this filter. Also, by applying inert gas to the filter at the inert gas inlet,
Since the inert gas immediately after flowing into the inert gas transfer chamber can be diffused to the entire cross section of the inert gas transfer chamber, the efficiency of removing impurities behind the filter can be improved.
【００７６】請求項６記載の発明によれば、不活性ガス
移動室部のフィンにより、ガス通路断面積の拡大に基づ
く不活性ガスの断熱膨張により不活性ガス中に含まれる
不純物蒸気のミスト化またはパウダー化を促進できる。
また、フィンにより不活性ガスを撹拌することにより、
不活性ガス温度の均一化と、不活性ガス中に含まれる不
純物の慣性集塵作用とを促進できる。さらに、不活性ガ
スの冷却作用も促進できる。According to the sixth aspect of the present invention, the fins of the inert gas transfer chamber portion convert the impurity vapor contained in the inert gas into a mist by adiabatic expansion of the inert gas based on the expansion of the gas passage cross-sectional area. Alternatively, powdering can be promoted.
Also, by stirring the inert gas with the fins,
It is possible to promote the uniformization of the temperature of the inert gas and the inertial dust collecting action of impurities contained in the inert gas. Further, the cooling action of the inert gas can be promoted.
【００７７】請求項７記載の発明によれば、不活性ガス
移動室部を下降する不活性ガスが、下方ほど低温の温度
分布となっている冷却風移動室部より、下降するほど強
い冷却作用を受けるから、不活性ガス中に含まれる不純
物蒸気は下降するほどパウダー化が急速に進行し、パウ
ダー化した不純物をそのまま回収箱に回収できる。According to the seventh aspect of the present invention, the lower the inert gas moving down the inert gas moving chamber is from the cooling air moving chamber having a lower temperature distribution, the stronger the cooling action is. Therefore, as the impurity vapor contained in the inert gas descends, the powdering proceeds more rapidly as it descends, and the powdered impurity can be recovered in the recovery box as it is.
【００７８】請求項８記載の発明によれば、熱交換面板
が、不活性ガス移動室部に対し開閉可能に設けられたか
ら、熱交換面板を開くことにより、不活性ガス移動室部
の全面を外部に開放でき、不活性ガス移動室部内の壁面
やフィンなどを簡単に清掃することができ、メンテナン
スの容易な冷却浄化器を提供できる。According to the eighth aspect of the present invention, since the heat exchange face plate is provided so as to be openable and closable with respect to the inert gas transfer chamber portion, the heat exchange face plate is opened to cover the entire surface of the inert gas transfer chamber portion. A cooling purifier that can be opened to the outside, can easily clean walls and fins in the inert gas transfer chamber, and can be easily maintained can be provided.
【００７９】請求項９記載の発明によれば、循環送風機
が、ファンとこのファンの軸を駆動するモータとの間に
低温不活性ガスの供給を受ける断熱軸受部を有するか
ら、断熱軸受部に供給された低温不活性ガスによりファ
ンとモータとの間を冷却してモータ側からファン側への
熱伝導を遮断するとともに、断熱軸受部内に生じた不活
性ガス圧により、外部の大気が断熱軸受部を経てファン
側へ吸込まれることを防止できる。According to the ninth aspect of the present invention, since the circulating blower has the heat-insulating bearing for receiving the supply of the low-temperature inert gas between the fan and the motor for driving the shaft of the fan, The supplied low-temperature inert gas cools the space between the fan and motor to cut off heat conduction from the motor side to the fan side. It can be prevented from being sucked into the fan through the section.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の不活性雰囲気はんだ付け装置の一実施
形態を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an inert atmosphere soldering apparatus according to the present invention.
【図２】同上はんだ付け装置の冷却浄化器を示す断面図
である。FIG. 2 is a sectional view showing a cooling purifier of the soldering apparatus.
【図３】同上冷却浄化器の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the cooling and purifying device.
【図４】（Ａ）は同上冷却浄化器の後扉への取付状態を
示す斜視図、（Ｂ）はその後扉を開いた状態の斜視図で
ある。FIG. 4A is a perspective view showing a state in which the same cooling purifier is attached to a rear door, and FIG. 4B is a perspective view showing a state where the door is opened thereafter.
【図５】同上冷却浄化器における循環送風機の軸受部分
を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a bearing portion of a circulating blower in the cooling and purifying device.
【図６】従来の不活性雰囲気はんだ付け装置を示す断面
図である。FIG. 6 is a sectional view showing a conventional inert atmosphere soldering apparatus.
Ｐ ワークとしての部品実装基板 Ｇ 不活性ガス Ａ 冷却風 12 チャンバ 21 コンベヤ 31 給気部 32 排気部 33 不活性ガス吹出ノズル 34 不活性ガス吸引口 35 冷却浄化器 42 不活性ガス移動室部 43 冷却風移動室部 44 熱交換面板 45 不活性ガス入口 47 循環送風機 51 フィルタ 53〜57 フィン 63 回収箱 65 冷却送風機 73 モータ 74 ファン 75 断熱軸受部 83 軸 P Component mounting board as workpiece G Inert gas A Cooling air 12 Chamber 21 Conveyor 31 Air supply unit 32 Exhaust unit 33 Inert gas blowing nozzle 34 Inert gas suction port 35 Cooling purifier 42 Inert gas transfer chamber 43 Cooling Wind transfer chamber section 44 Heat exchange face plate 45 Inert gas inlet 47 Circulating blower 51 Filter 53 to 57 Fin 63 Recovery box 65 Cooling blower 73 Motor 74 Fan 75 Insulated bearing 83 Shaft
Claims (9)
でコンベヤにより搬送されるワークにはんだ付けを行う
不活性雰囲気はんだ付け装置において、 チャンバ内に不活性ガスを供給する給気部と、 チャンバ内の不活性ガスを排気する排気部と、 排気部から排気された不活性ガスを冷却しながら不活性
ガス中に混入した不純物を分離除去して不活性ガスのみ
を給気部に循環する冷却浄化器とを具備したことを特徴
とする不活性雰囲気はんだ付け装置。1. An inert atmosphere soldering apparatus for soldering a workpiece conveyed by a conveyor in an inert atmosphere maintained by a chamber, comprising: an air supply unit for supplying an inert gas into the chamber; An exhaust unit that exhausts the inert gas from the exhaust gas, and a cooling and purification unit that separates and removes impurities mixed in the inert gas while cooling the inert gas exhausted from the exhaust unit and circulates only the inert gas to the air supply unit. And an inert atmosphere soldering apparatus comprising:
部と対向した不活性ガス吹出ノズルを有し、排気部は、
ワークの他側部上で開口した不活性ガス吸引口を有する
ことを特徴とする請求項１記載の不活性雰囲気はんだ付
け装置。2. The air supply section has an inert gas blowing nozzle on one side of the work facing the one side, and the exhaust section has
The inert atmosphere soldering apparatus according to claim 1, further comprising an inert gas suction port opened on the other side of the work.
の一側部は、ワーク幅の変更があっても幅方向に移動し
ない幅方向不変位置に位置することを特徴とする請求項
２記載の不活性雰囲気はんだ付け装置。3. The work according to claim 2, wherein one side of the work facing the inert gas blowing nozzle is located at a constant width direction position that does not move in the width direction even when the work width is changed. Inert atmosphere soldering equipment.
ガスが移動する不活性ガス移動室部と、冷却送風機によ
り冷却風が移動する冷却風移動室部とを、熱交換面板を
介して隣接させたことを特徴とする請求項１記載の不活
性雰囲気はんだ付け装置。4. A cooling purifier is provided such that an inert gas moving chamber portion in which an inert gas moves by a circulating blower and a cooling air moving chamber portion in which a cooling wind moves by a cooling blower are adjacent via a heat exchange face plate. 2. The inert atmosphere soldering apparatus according to claim 1, wherein the soldering is performed.
性ガス入口に対向する位置で配置したフィルタを有する
ことを特徴とする請求項４記載の不活性雰囲気はんだ付
け装置。5. The inert atmosphere soldering apparatus according to claim 4, wherein the inert gas transfer chamber has a filter arranged at least at a position facing the inert gas inlet.
拌、冷却およびガス通路断面積の拡大の少なくとも一つ
のためのフィンを有することを特徴とする請求項４記載
の不活性雰囲気はんだ付け装置。6. The inert atmosphere solder according to claim 4, wherein the inert gas transfer chamber has fins for at least one of stirring, cooling, and enlarging the cross-sectional area of the gas passage. Mounting device.
ら上部へ冷却風を移動させ、循環送風機は、不活性ガス
移動室部の上部から下部へ不活性ガスを移動させ、不活
性ガス移動室部は、その下部に不活性ガス中より分離除
去された不純物を回収する回収箱を備えたことを特徴と
する請求項４記載の不活性雰囲気はんだ付け装置。7. A cooling blower moves cooling air from a lower portion to an upper portion of the cooling air moving chamber portion, and a circulating blower moves the inert gas from the upper portion to the lower portion of the inert gas moving chamber portion. 5. The inert atmosphere soldering apparatus according to claim 4, wherein the transfer chamber includes a recovery box at a lower portion for recovering impurities separated and removed from the inert gas.
し開閉可能に設けられたことを特徴とする請求項４記載
の不活性雰囲気はんだ付け装置。8. The inert atmosphere soldering apparatus according to claim 4, wherein the heat exchange face plate is provided so as to be openable and closable with respect to the inert gas moving chamber.
を駆動するモータとの間に低温不活性ガスの供給を受け
る断熱軸受部を有することを特徴とする請求項４記載の
不活性雰囲気はんだ付け装置。9. The inert atmosphere solder according to claim 4, wherein the circulating blower has a heat-insulating bearing portion for receiving a supply of a low-temperature inert gas between the fan and a motor that drives a shaft of the fan. Mounting device.
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| JP2009260097A (en) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Tottori Univ | Facility for modifying into nitrogen reflow furnace |
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1996
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