JPH1062492A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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JPH1062492A
JPH1062492A JP8214840A JP21484096A JPH1062492A JP H1062492 A JPH1062492 A JP H1062492A JP 8214840 A JP8214840 A JP 8214840A JP 21484096 A JP21484096 A JP 21484096A JP H1062492 A JPH1062492 A JP H1062492A
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Katsutoshi Akagi
勝俊 赤木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve an AC performance test that requires neither expensive LSI testing machines nor measures against noise required for executing a high- frequency test. SOLUTION: An output signal 111 of a selector 105 is distributed to a test information generation part 201, a test result judgment part 204, and a logic circuit 203 that is a circuit to be tested as an operation clock when performing a self-diagnosis test of the logic circuit 203 that is a circuit to be tested. Further, the output signal 111 of the selector 105 is inputted to a frequency-divider 107, and the frequency-divider 107 outputs a signal 131 obtained by dividing the clock signal to an output terminal Fo . Output signals 141, 151, 161, and 171 of a clock generator 106 and a selector control signal 121 inputted from an input terminal Sc are inputted to the selector 105 and either output signal 141, 151, 161, or 171 is selected and outputted to the output signal 111 according to the setting from the outside of a semiconductor.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は組込型自己診断回路
を有する半導体集積回路に関するものである。
The present invention relates to a semiconductor integrated circuit having a built-in self-diagnosis circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の半導体製造技術の微細化、高集積
化に伴い、半導体集積回路の外部端子から内部回路のR
AMなどの機能ユニットまでの論理段数が飛躍的に増加
している。そのため外部端子からテストパターンを入力
する試験方法では、十分な故障検出率を持つテストパタ
ーン作成は困難である。また、多くの機能ユニットを試
験する場合に、試験時間を短縮するために、複数の機能
ユニット試験を並列実行する場合もあるが、外部端子数
の物理的制限のため、並列度の向上にも限界が有る。さ
らに各機能ユニットから外部端子まで試験用の信号を分
配するための配線領域も集積回路のレイアウトの自由度
を減少させる一因となる。以上の様な理由から、半導体
集積回路のテスト容易化手法として、組込型自己診断回
路を半導体集積回路に内蔵する手法が採用されることが
多い。
2. Description of the Related Art In accordance with recent miniaturization and high integration of semiconductor manufacturing technology, an external terminal of a semiconductor integrated circuit has been changed from an external terminal to an internal circuit.
The number of logic stages up to a functional unit such as an AM has increased dramatically. Therefore, it is difficult to create a test pattern having a sufficient failure detection rate by a test method in which a test pattern is input from an external terminal. In addition, when testing many functional units, multiple functional unit tests may be executed in parallel to reduce the test time.However, due to the physical limitation of the number of external terminals, the parallelism can be improved. There is a limit. Further, a wiring area for distributing a test signal from each functional unit to an external terminal also contributes to a reduction in the degree of freedom of the layout of the integrated circuit. For the reasons described above, a method of incorporating a built-in self-diagnosis circuit in a semiconductor integrated circuit is often adopted as a method of facilitating test of the semiconductor integrated circuit.

【0003】図4に、組込型自己診断回路を有する半導
体集積回路の例を示す。図4は特開平1−245169
号公報で提案されている組込型自己診断回路を有する半
導体集積回路の例である。以下、図4を用いて被試験回
路である論理回路203の試験方法について簡単に説明
する。
FIG. 4 shows an example of a semiconductor integrated circuit having a built-in self-diagnosis circuit. FIG.
1 is an example of a semiconductor integrated circuit having a built-in self-diagnosis circuit proposed in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. HEI 10-163, 1988. Hereinafter, a method of testing the logic circuit 203 as the circuit under test will be briefly described with reference to FIG.

【0004】入力信号21i(i=0〜n)と試験情報
生成部201の試験パターン出力信号22iは各々試験
切替部202に入力される。試験切替部201の出力信
号23iは論理回路203に入力される。論理回路20
3の出力信号24iは端子Toの出力となるとともに試
験結果判定部204に入力される。試験開始指示入力S
tは試験情報生成部201、試験切替部202、試験結
果判定部204に入力される。試験結果判定部204の
出力Ttは試験出力端子から出力される。試験開始指示
入力Stが有効でない場合、試験切替部202は端子入
力信号21iを試験切替部202の出力信号23iとし
て出力しておりLSIは通常の動作を行っている。試験
開始指示入力Stが有効になると試験情報生成部201
から試験パターン信号22iが出力され、試験切替部2
02は入力信号22iを23iとして出力し試験結果判
定部204は入力信号24iの良否を判定後、試験出力
端子Ttへ出力する。なお、動作クロックはクロック入
力端子CLKから入力され、試験情報生成部201、被
試験対象の論理回路203、試験結果判定部204にク
ロックを供給する。
[0004] An input signal 21i (i = 0 to n) and a test pattern output signal 22i of the test information generation unit 201 are input to a test switching unit 202, respectively. The output signal 23i of the test switching unit 201 is input to the logic circuit 203. Logic circuit 20
The third output signal 24i becomes the output of the terminal To and is input to the test result determination unit 204. Test start instruction input S
t is input to the test information generation unit 201, the test switching unit 202, and the test result determination unit 204. The output Tt of the test result determination section 204 is output from a test output terminal. When the test start instruction input St is not valid, the test switching unit 202 outputs the terminal input signal 21i as the output signal 23i of the test switching unit 202, and the LSI performs a normal operation. When the test start instruction input St becomes valid, the test information generation unit 201
Outputs a test pattern signal 22i from the test switching unit 2
02 outputs the input signal 22i as 23i, and the test result determination section 204 determines whether the input signal 24i is good or not, and outputs it to the test output terminal Tt. The operation clock is input from a clock input terminal CLK, and supplies a clock to the test information generation unit 201, the logic circuit under test 203, and the test result determination unit 204.

【0005】以上説明したように、図4では、論理回路
203をLSI内部に組み込まれた自己診断回路によっ
て試験している。
As described above, in FIG. 4, the logic circuit 203 is tested by the self-diagnosis circuit built in the LSI.

【0006】また、特開平5−241882号公報で
は、線形帰還シフト・レジスタ(LFSR)を用いて試
験ベクトルを生成し、さらにLFSRに被試験回路の出
力を取り込んで試験シグネチャの生成を行い被試験回路
出力結果の圧縮をし、その試験シグネチャを試験ベクト
ルとして利用する手法が提案されている。これにより、
試験ベクトル作成を簡便にするとともに、試験結果の判
定も簡便にしている。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-241882, a test vector is generated using a linear feedback shift register (LFSR), and the output of a circuit under test is taken into the LFSR to generate a test signature. There has been proposed a method of compressing a circuit output result and using the test signature as a test vector. This allows
In addition to simplifying the creation of test vectors, the determination of test results is also simplified.

【0007】さらに特開平4−208880号公報で
は、テスト結果の良否判定のための機能も半導体集積回
路内に取り込んでおり、良否判定の簡易化やテスト端子
数の削減等を実現している。
Further, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-208880, a function for judging pass / fail of test results is incorporated in the semiconductor integrated circuit, thereby simplifying pass / fail judgment and reducing the number of test terminals.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来技術
の組込型自己診断回路においては、被試験回路および自
己診断回路の動作クロックは、外部から、供給されてい
る。一般的にはLSI試験機で試験を行うため、LSI
試験機から動作クロックが供給される。したがって、単
純な機能試験にとどまらず、AC性能の試験や、スピー
ド選別、ランク分けなどを行う場合には、LSI試験機
から被試験集積回路に供給するクロックの周波数を所望
の値に設定する必要がある。
In the above-described prior art built-in self-diagnosis circuit, the operation clocks of the circuit under test and the self-diagnosis circuit are supplied from outside. In general, an LSI tester is used for testing.
An operation clock is supplied from the tester. Therefore, when performing not only a simple functional test but also an AC performance test, speed selection, rank classification, etc., it is necessary to set the frequency of the clock supplied from the LSI tester to the integrated circuit under test to a desired value. There is.

【0009】一方、近年の半導体集積回路の高速化に伴
い、高周波数領域でのスピード試験への要求はますます
増えており、さらに汎用のメモリ製品の様にAC性能の
ランク分けを要求される製品も増加の傾向にある。
On the other hand, with the recent increase in the speed of semiconductor integrated circuits, there is an increasing demand for speed tests in a high frequency region, and further, a rank classification of AC performance is required as in general-purpose memory products. Products are also on the rise.

【0010】ところが一般的に、高周波、高精度のLS
I試験機は、設計工数大、高価部品使用などの理由によ
り、低周波、低精度のLSI試験機に比して高価であ
る。また、低周波領域での試験に比して、高周波領域で
の試験では、バイパスコンデンサの付加や信号線のシー
ルド等の十分なノイズ対策が必要とされるため、試験治
具の設計や試験環境の設定などに注意が必要である。
However, generally, high frequency, high precision LS
The I tester is more expensive than a low-frequency, low-accuracy LSI tester because of the large number of design steps and the use of expensive components. Also, compared to the test in the low frequency range, the test in the high frequency range requires sufficient noise countermeasures such as adding a bypass capacitor and shielding the signal line. It is necessary to pay attention to the setting of.

【0011】以上から高周波領域での試験を必要とする
半導体集積回路は、LSI試験機のコストを含め、試験
に要するコストが高くなるという問題がある。
As described above, a semiconductor integrated circuit that requires a test in a high frequency range has a problem that the cost required for the test including the cost of an LSI tester is increased.

【0012】さらには、従来技術に見られるような動作
クロックを外部から供給する方法では、一般的には、被
試験回路のみならず半導体集積回路全体に分配されてい
るクロックを使用する場合が多いが、その場合、被試験
回路以外の論理回路も動作してしまい、試験時の電力消
費やノイズ量の増大を招くという問題が有る。
Further, in a method of supplying an operation clock from the outside as in the prior art, a clock distributed to not only the circuit under test but also the entire semiconductor integrated circuit is generally used in many cases. However, in that case, there is a problem that a logic circuit other than the circuit under test also operates, which causes an increase in power consumption and noise amount during the test.

【0013】また、従来方式においては、複数の機能ユ
ニットを同時に試験する場合は、本来機能ユニット毎に
要求されるAC性能が異なる場合でも、最も厳しい要求
性能にあわせた試験となってしまうため、他の機能ユニ
ットにとっては、オーバースペットとなり、良品コスト
を押し上げることになる。
In the conventional method, when a plurality of functional units are tested at the same time, even if the AC performance originally required for each functional unit is different, the test conforms to the strictest required performance. For other functional units, it becomes an over spet, which increases the cost of non-defective products.

【0014】また、前述した3つの従来例以外にも、半
導体集積回路内部にクロック発生器を内蔵している半導
体集積回路の例もあるが、いずれもAC性能試験を目的
としたものでは無い、または、半導体集積回路特有の製
造バラツキの為、所望の周波数での試験を実施すること
は非常に困難である。
In addition to the three conventional examples described above, there are examples of a semiconductor integrated circuit in which a clock generator is built in the semiconductor integrated circuit. However, none of them is intended for an AC performance test. Alternatively, it is very difficult to perform a test at a desired frequency due to a manufacturing variation peculiar to a semiconductor integrated circuit.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、組込型
自己診断回路を有する半導体集積回路において、異なる
周波数のクロック信号を発生する複数のクロック発生器
と、前記複数のクロック発生器の出力から一つを選択す
るセレクタと、前記セレクタで選択されたクロック信号
を分周出力する分周回路を有し、前記セレクタで選択さ
れたクロック信号を被試験回路である論理回路の自己診
断試験を行う際の動作クロックとして使用することを特
徴とする半導体集積回路が得られる。
According to the present invention, in a semiconductor integrated circuit having a built-in self-diagnosis circuit, a plurality of clock generators for generating clock signals of different frequencies, A self-diagnosis test for a logic circuit, which is a circuit under test, including a selector for selecting one of the outputs and a frequency dividing circuit for dividing and outputting the clock signal selected by the selector; A semiconductor integrated circuit characterized in that the semiconductor integrated circuit is used as an operation clock when performing the operation.

【0016】又、本発明によれば、組込型自己診断回路
を有する半導体集積回路において、クロック発生器と、
前記クロック発生器から出力されるクロック信号を分周
出力する分周回路を有し、前記クロック発生器の動作電
源を他の回路部分と分離する構成であって、前記クロッ
ク信号を被試験回路である論理回路の自己診断試験を行
う際の動作クロックとして使用することを特徴とする半
導体集積回路が得られる。
According to the present invention, in a semiconductor integrated circuit having a built-in self-diagnosis circuit, a clock generator;
A frequency dividing circuit for dividing and outputting a clock signal output from the clock generator, wherein an operation power supply of the clock generator is separated from other circuit parts, and the clock signal is transmitted to a circuit under test by a circuit under test. A semiconductor integrated circuit characterized in that it is used as an operation clock when performing a self-diagnosis test of a certain logic circuit is obtained.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態について説明する。図1に本発明の第1の実施の形
態を示す。図1は、被試験回路である論理回路203の
AC性能試験を行い、低速品と高速品のランク分けを行
う自己診断回路を有する半導体集積回路の例である。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows an example of a semiconductor integrated circuit having a self-diagnosis circuit for performing an AC performance test on a logic circuit 203 as a circuit under test and performing a ranking of low-speed products and high-speed products.

【0018】図1において、被試験回路である論理回路
203の試験方法は、動作クロックとしてセレクタ10
5の出力信号111を用いる点以外は、従来技術の項で
説明した図4の例と同様である。以下では、主に上記し
た従来技術との差異について説明する。
In FIG. 1, a test method of a logic circuit 203 which is a circuit under test uses a selector 10 as an operation clock.
5 is the same as the example of FIG. 4 described in the section of the prior art except that the output signal 111 of FIG. The following mainly describes differences from the above-described conventional technology.

【0019】図1において、被試験回路である論理回路
203の自己診断試験を行う際の動作クロックとして、
セレクタ105の出力信号111が、試験情報生成部2
01と試験結果判定部204および被試験回路である論
理回路203に分配されている。さらにセレクタ105
の出力信号111は、分周器107の入力信号となり、
分周器107はクロック信号を分周した信号131を、
出力端子Foへ出力する。また、クロック発生器106
(A,B,C,D)の出力信号141,151,16
1,171と、入力端子Scから入力されるセレクタ制
御信号121が、セレクタ105の入力信号となってお
り、半導体外部からの設定によって、141,151,
161,171のいずれかを選択して、111に出力し
ている。クロック発生器106は試験実施時以外は動作
を停止するように、制御信号181を入力端子Fcから
入力している。これにより、外部装置(通常はLSI試
験機)から動作クロックを供給することなく自己診断試
験が可能となる。
In FIG. 1, as an operation clock for performing a self-diagnosis test of a logic circuit 203 as a circuit under test,
The output signal 111 of the selector 105 is supplied to the test information generator 2
01 and the test result determination unit 204 and the logic circuit 203 which is the circuit under test. Further, the selector 105
Is an input signal of the frequency divider 107,
The frequency divider 107 converts the frequency of the clock signal into a signal 131,
Output to the output terminal Fo. Also, the clock generator 106
Output signals 141, 151, 16 of (A, B, C, D)
1, 171 and the selector control signal 121 input from the input terminal Sc are input signals of the selector 105, and 141, 151,
One of 161 and 171 is selected and output to 111. The clock generator 106 receives a control signal 181 from the input terminal Fc so as to stop the operation except during the test. This enables a self-diagnosis test without supplying an operation clock from an external device (usually an LSI tester).

【0020】また、半導体集積回路内部で発生するクロ
ック信号141,151,161,171は製造バラツ
キの影響を受けて、発生する周波数値もバラツキを見せ
る。そこで、図1においては、実デバイスでのクロック
信号周波数値をFo端子を通して観察することで、試験
速度の補正を行い、低速品と高速品への適切なランク分
けを容易に行うことが可能となる。なお、従来技術の項
で述べたように、高周波信号を観測するためには、ノイ
ズ対策などを考慮する必要があるため、分周器107を
介することによって、クロック信号を容易に観測可能な
低周波信号に変換している。
The clock signals 141, 151, 161, and 171 generated inside the semiconductor integrated circuit are affected by manufacturing variations, and the generated frequency values also show variations. Therefore, in FIG. 1, it is possible to correct the test speed by observing the clock signal frequency value of the actual device through the Fo terminal, and to easily perform appropriate ranking into low-speed products and high-speed products. Become. As described in the section of the prior art, in order to observe a high-frequency signal, it is necessary to consider noise countermeasures and the like. Is converted to a frequency signal.

【0021】次に、図2を用いて、製造バラツキによる
試験速度の補正とランク分けについて簡単に説明する。
まずランク分けの基準についてであるが、図1の半導体
集積回路において、被試験回路である論理回路203が
周波数200MHz以上で動作する場合は高速品とし、
200MHz未満でしか動作しない場合は低速品と定義
する。
Next, referring to FIG. 2, a brief description will be given of the correction of the test speed and the ranking according to the manufacturing variation.
First, with regard to the criteria for ranking, in the semiconductor integrated circuit of FIG. 1, when the logic circuit 203, which is the circuit under test, operates at a frequency of 200 MHz or more, a high-speed product is used.
If it operates only at less than 200 MHz, it is defined as a low-speed product.

【0022】図1、2において、半導体集積回路の内部
クロック発生回路A、B、C、及びDの発生するクロッ
ク信号の周波数の設計上の中心値を、それぞれ50MH
z、100MHz、200MHz、及び400MHzと
する。
In FIGS. 1 and 2, the designed center values of the frequencies of the clock signals generated by the internal clock generation circuits A, B, C, and D of the semiconductor integrated circuit are 50 MHz, respectively.
z, 100 MHz, 200 MHz, and 400 MHz.

【0023】ところが、半導体の製造バラツキにより、
実デバイスでのクロック信号の周波数間はバラツキを見
せる。一般的なCMOS形半導体集積回路等の例を参考
に、ここでは設計の中心値に対して、0.5〜2倍程度
にバラツクと仮定する。
However, due to variations in semiconductor manufacturing,
Variations occur between the frequencies of the clock signals in the actual device. Referring to an example of a general CMOS type semiconductor integrated circuit or the like, here, it is assumed that the variation is about 0.5 to 2 times the central value of the design.

【0024】クロック発生器Aの場合を例にとると、ク
ロック発生器Aの出力クロック信号は設計中心値が50
MHzであるため、最もも速度の遅い最悪値としては2
5MHz程度の値を示し、最も速度の速い最良値として
は100MHz程度の値を示す。
Taking the case of the clock generator A as an example, the output clock signal of the clock generator A has a design center value of 50.
MHz, the worst value with the slowest speed is 2
A value of about 5 MHz is shown, and a value of about 100 MHz is shown as the best value with the highest speed.

【0025】以下、クロック発生器B,C,Dも同様で
ある。したがって、セレクタ105の設定によって、ク
ロック発生器Dの出力クロック信号171が選択されて
いる状態で試験を実行した場合は、最悪の場合を考えて
も200MHz以上の高周波での試験が実施されている
と言える。よってDが選択されている状態での試験結果
が良であれば、そのデバイスは高速品にランクされる。
Hereinafter, the same applies to the clock generators B, C and D. Therefore, when the test is executed in a state where the output clock signal 171 of the clock generator D is selected by the setting of the selector 105, the test is performed at a high frequency of 200 MHz or more even in the worst case. It can be said. Therefore, if the test result in a state where D is selected is good, the device is ranked as a high-speed product.

【0026】逆に、Aが選択されている場合は最良の場
合を考えても、100MHzでの試験に通ったに過ぎ
ず、もしもAが選択されている場合のみ試験結果が良で
あり、他のクロック発生器が選択されている場合には試
験結果が否である場合は、そのデバイスは低速品にラン
クされる。
Conversely, when A is selected, even if the best case is considered, only the test at 100 MHz passes, and the test result is good only when A is selected. If the test result is negative if this clock generator is selected, then the device is ranked as slow.

【0027】そして、上述したような場合以外の場合で
は、試験実施時に選択されているクロック発生器の種類
と、良否の結果、および分周出力から分周比をもとに逆
算される、実デバイスでのクロック周波数の情報から、
高速品と低速品のランク分けを実施する。
In cases other than the case described above, the type of the clock generator selected at the time of the test, the result of pass / fail, and the frequency division output are back calculated based on the frequency division ratio. From the clock frequency information on the device,
High-speed products and low-speed products are ranked.

【0028】次に本発明の第2の実施の形態について説
明する。図3に本発明の第2の実施の形態を示す。製造
バラツキに起因するクロック信号の周波数バラツキを、
クロック発生器106にのみ、電源電圧を供給する電源
端子Vcに与える電圧を調整することで補正している。
なお、電源端子Vcから供給される電源電圧はクロック
発生器106にのみ供給され、他の回路部分とは電源線
が分離されている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. The frequency variation of the clock signal caused by the manufacturing variation
Only the clock generator 106 is corrected by adjusting the voltage applied to the power supply terminal Vc that supplies the power supply voltage.
The power supply voltage supplied from the power supply terminal Vc is supplied only to the clock generator 106, and the power supply line is separated from other circuit parts.

【0029】また、ひとつの半導体集積回路内に、図2
または図3で示されるようなAC性能試験可能な自己診
断回路を、各機能ユニット毎に準備することにより、各
機能ユニット毎に要求されるクロック周波数での試験を
実施し、かつ、試験対象以外のユニットに関しては消費
電力およびノイズ削減のため、動作を停止することが容
易に可能となる。
In one semiconductor integrated circuit, FIG.
Alternatively, by preparing a self-diagnosis circuit capable of performing an AC performance test as shown in FIG. 3 for each functional unit, a test is performed at a clock frequency required for each functional unit, and a test target other than the test target is executed. The operation of the unit can be easily stopped to reduce power consumption and noise.

【0030】なお、以上述べた実施の形態でのAC性能
試験およびランク分けは、特に高周波、高精度を要求さ
れる高価なLSI試験機を必要とせず、低周波、低精度
の安価なLSI試験機または、周波数カウンタと簡単な
試験治具で、容易に実施可能である。
The AC performance test and ranking in the above-described embodiment do not require an expensive LSI tester which requires high frequency and high precision, and a low frequency and low precision inexpensive LSI test. It can be easily implemented with a machine or a frequency counter and a simple test jig.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、特
に高周波、高精度を要求される高価なLSI試験機を必
要とせず、低周波、低精度の安価なLSI試験機また
は、周波数カウンタと簡単な試験治具が有れば、容易に
AC性能試験およびランク分けが可能である。
As described above, according to the present invention, an inexpensive low-frequency, low-accuracy LSI tester or high-frequency With a counter and a simple test jig, an AC performance test and ranking can be easily performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態を示したブロック図
である。
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】第1の実施の形態のAC性能ランク分けについ
て説明したブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram illustrating AC performance ranking according to the first embodiment.

【図3】本発明の第2の実施の形態を示したブロック図
である。
FIG. 3 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】従来例を示したブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

105 セレクタ 107 分周器 201 試験情報生成部 202 試験切替部 203 論理回路 204 試験結果判定部 105 selector 107 frequency divider 201 test information generation unit 202 test switching unit 203 logic circuit 204 test result determination unit

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 組込型自己診断回路を有する半導体集積
回路において、異なる周波数のクロック信号を発生する
複数のクロック発生器と、前記複数のクロック発生器の
出力から一つを選択するセレクタと、前記セレクタで選
択されたクロック信号を分周出力する分周回路を有し、
前記セレクタで選択されたクロック信号を被試験回路で
ある論理回路の自己診断試験を行う際の動作クロックと
して使用することを特徴とする半導体集積回路。
1. A semiconductor integrated circuit having a built-in self-diagnosis circuit, comprising: a plurality of clock generators for generating clock signals of different frequencies; a selector for selecting one of outputs from the plurality of clock generators; A frequency divider circuit for dividing and outputting the clock signal selected by the selector,
A semiconductor integrated circuit, wherein a clock signal selected by the selector is used as an operation clock when a self-diagnosis test is performed on a logic circuit to be tested.
【請求項2】 組込型自己診断回路を有する半導体集積
回路において、クロック発生器と、前記クロック発生器
から出力されるクロック信号を分周出力する分周回路を
有し、前記クロック発生器の動作電源を他の回路部分と
分離する構成であって、前記クロック信号を被試験回路
である論理回路の自己診断試験を行う際の動作クロック
として使用することを特徴とする半導体集積回路。
2. A semiconductor integrated circuit having a built-in self-diagnosis circuit, comprising: a clock generator; and a frequency divider for dividing and outputting a clock signal output from the clock generator. A semiconductor integrated circuit having a configuration in which an operation power supply is separated from another circuit portion, wherein the clock signal is used as an operation clock when a self-diagnosis test is performed on a logic circuit to be tested.
【請求項3】 請求項1または請求項2記載の構成を持
つ自己診断回路および被試験回路の組み合わせを複数有
して構成されていることを特徴とする半導体集積回路。
3. A semiconductor integrated circuit comprising a plurality of combinations of a self-diagnosis circuit and a circuit under test having the configuration according to claim 1 or 2.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007225414A (en) * 2006-02-23 2007-09-06 Yokogawa Electric Corp Inspection method and device of semiconductor device

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