JPH1062397A

JPH1062397A - 超音波検査装置

Info

Publication number: JPH1062397A
Application number: JP8221027A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Kanetani; 章宏金谷; Akito Kozuru; 章人小鶴; Tamotsu Noda; 保野田; Hajime Watanabe; 肇渡邊; Hirotoshi Kino; 裕敏木野; Yoshihiko Takishita; 芳彦瀧下; Fumito Iwasaki; 史十岩崎; Yoshio Akutsu; 義夫阿久津; Tadatoshi Shimamura; 忠利島村
Original assignee: Kyushu Electric Power Co Inc
Current assignee: Kyushu Electric Power Co Inc
Priority date: 1996-08-22
Filing date: 1996-08-22
Publication date: 1998-03-06

Abstract

(57)【要約】【課題】ハンドヘルドスキャナを使用することなく検
査を行うことができる超音波検査装置を提供すること。【解決手段】掃引タイマ３２は掃引開始スイッチ３３
の指令により所定の時間間隔で掃引パルスをマーカ発生
器３１と座標変換制御部３０１へ出力する。画像表示部
１４の表示面に対応するフレームメモリ３０２のアドレ
スは掃引パルスの出力毎に１つずつ順にシフトされてゆ
き、その都度、マーカ発生器３１からはマーカデータ
が、座標変換制御部３０１からはアレイ探触子２により
被検体２０を扇形に電子走査したデータがフレームメモ
リ３０２に書き込まれ、表示される。検査員は、表示画
面のマーカの移動に合わせてアレイ探触子２を被検体２
０の表面で移動させれば、移動時点での超音波データが
フレームメモリに採取される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子的に走査され
る多数のアレイ振動子が配列されたアレイ探触子を被検
体表面で移動させ、この移動により得られた超音波反射
信号を表示部に表示する超音波検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】アレイ探触子を扇形状に配置し、これら
の所定数を選択し、それぞれを所定の時間遅延させて励
振させることにより１つの超音波ビームを発生させ、各
アレイ振動子に戻ってきた各反射信号を所定の時間遅延
させて加算することにより当該１つの超音波ビームの反
射信号を得、このような動作を、アレイ振動子の上記選
択を電子的スイッチングでずらせながら行い、これによ
り、超音波ビームで電子的走査を行って当該操作領域の
超音波反射信号を得る超音波検査装置は、特開平１−１
２６５４３号公報等に提示されて公知である。このよう
な超音波検査装置を図により説明する。

【０００３】図４は従来の超音波検査装置のブロック図
である。この図で、１は超音波により検査される被検体
を示す。２はアレイ振動子が扇形状に配列されたアレイ
探触子である。３はアレイ探触子２を支持し、これを被
検体１の表面上で矢印Ａ方向に移動させるハンドヘルド
スキャナ、３ａ、３ｂ、３ｃはハンドヘルドスキャナ３
の各関節に取り付けられた角度検出用エンコーダ、４は
ハンドヘルドスキャナ３を支持するマグネットスタンド
である。このようなハンドヘルドスキャナは例えば、特
開平４−１２２６９号公報に開示されている。

【０００４】５は送信駆動回路であり、アレイ探触子２
のｎ個の各アレイ振動子にそれぞれ接続されたパルサ５
Ｐ₁ 〜５Ｐ_n で構成されている。６は送信遅延制御回路
であり、パルサ５Ｐ₁ 〜５Ｐ_n のうちの所定の複数のパ
ルサを順次選択するとともに、選択された各パルサが出
力するアレイ振動子の励振信号を所定の時間遅延させる
機能を有する。７は受信回路であり、増幅器を有するレ
シーバ７Ｒ₁ 〜７Ｒ_nで構成されている。８は選択され
ている各アレイ振動子に接続された各レシーバからの超
音波反射信号を遅延させる受信遅延回路、９は受信遅延
回路８の遅延を制御する受信遅延制御回路である。１０
は遅延された各反射信号を加算する加算器、１１は加算
された反射信号をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器
である。

【０００５】１２はハンドヘルドスキャナ３の各エンコ
ーダ３ａ、３ｂ、３ｃからの信号に基づいてアレイ探触
子２の座標位置を演算しこの座標位置信号を出力する座
標信号発生回路、１３は超音波反射信号に応じた超音波
画像を表示する画像表示部である。１４は座標変換回路
であり、画像表示部１３の表示位置に対応付けられたア
ドレスを有するフレームメモリ、Ａ／Ｄ変換器１１から
入力された反射信号のデータを格納するラインメモリ、
後述する所要の演算を行う座標変換演算部等を備えてい
る。なお、この超音波検査装置の制御部分は図示しない
基準パルス発生部から出力されるクロック信号により作
動する。

【０００６】被検体１を検査する場合、検査員はアレイ
探触子２を、ハンドヘルドスキャナ３の各関節を曲げる
ことにより被検体１の表面に沿って矢印Ａ方向に直線移
動させる。この間、アレイ探触子２では上記電子走査が
行われ、順次扇形に放射される各超音波ビームの反射信
号がＡ／Ｄ変換器１１でディジタル値に変換されて座標
変換回路１４に入力される。当該反射信号は１ビーム毎
に座標変換回路１４のラインメモリに一旦格納され、ラ
インメモリに格納されたビームデータの時間情報（距離
情報）を、座標変換演算部によりビームの屈折角に応じ
てＸ、Ｙ軸の座標情報に変換してフレームメモリの当該
座標に対応するアドレス格納する。

【０００７】ところで、座標変換演算部による上記変換
のための演算は相当の時間を要するので、通常、当該演
算に代えて他の手段が採用されている。この手段を図５
により説明する。図５は扇形に放射された超音波ビーム
の反射信号のデータの座標変換手段を説明する図であ
る。図５の（ａ）はアレイ探触子２から被検体４に放射
された各超音波ビームを示し、各ビームには予め番号が
付される。この番号が図でＢ₁ 〜Ｂ_n で示されている。
図５の（ｂ）は座標変換回路１４に設けられた上記ライ
ンメモリＭ_L を示し、I 〜VIIIは当該ラインメモリＭ_L
のアドレスを示す。又、図５の（ｃ）は、同じく座標変
換回路１４に設けられた上記フレームメモリＭ_F を示
し、符号Ｘ₁ …………は座標信号発生回路１２から出力
される各座標に対応するフレームメモリＭ_F のＸ軸のア
ドレスを、Ｙ₁ …………はＹ軸のアドレスを示す。

【０００８】今、ビームＢ₁ の反射信号がＡ／Ｄ変換器
１１によりディジタルデータに変換されると、これらデ
ータはラインメモリＭ_L に一旦格納される。格納された
各データが図５の（ｂ）に符号ａ〜ｈで示されている。
ここでは、ビーム番号とラインメモリＭ_L のアドレスと
で特定されるフレームメモリＭ_F のアドレスを予めデー
タテーブルに作成しておき、ラインメモリＭ_L に格納さ
れたデータをそれぞれ特定されたフレームメモリＭ_F の
アドレスに格納する手段が採られる。上記データテーブ
ルＴ_D を図５の（ｄ）に示す。例えば、図示のようにビ
ーム番号Ｂ₁ のアドレスI に対応するフレームメモリＭ
_F のアドレスは「Ｘ₁₀、Ｙ₁ 」、ビーム番号Ｂ₁ のアド
レスIIに対応するフレームメモリＭ_F のアドレスは「Ｘ
₉ 、Ｙ₂」というように特定されている。したがって、
ラインメモリＭ_L にデータが格納されるとデータテーブ
ルＴ_D が参照され、ラインメモリＭ_L の各データはフレ
ームメモリＭ_F の対応するアドレスに直ちに格納される
ことになる。図５の（ｃ）にビームＢ₁ の各データａ〜
ｈの格納状態が示されている。このようにして、座標変
換演算部による上記変換のための演算を省き、高速なデ
ータ処理を行うことができる。

【０００９】なお、上記のデータ処理は各ビーム毎に行
われ、又、アレイ探触子２の移動毎に行われる。このた
め、フレームメモリＭ_F のあるアドレスには、アレイ探
触子２の移動によりデータが重複する場合が生じるが、
その場合には、例えば、既に格納されているデータと今
回格納しようとしているデータとを比較して大きな方の
データを当該アドレスに格納する手段が採られる。

【００１０】このようにして、各ビームの反射信号のデ
ータが順次フレームメモリＭ_F に格納され、格納された
データは画像表示部１３に送信されて直ちに画像表示さ
れる。これにより、検査員はアレイ探触子２を移動させ
ながら、その位置の超音波反射信号の画像を観察するこ
とができる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の超音波検査
装置は、被検体１の位置情報を得るためハンドヘルドス
キャナ３を使用しているので、例えば発電設備における
各種配管のような大型の被検体の検査を行う場合には、
ハンドヘルドスキャナ３のストロークが不足し、ある範
囲の検査を行った後、次の範囲の検査を行うべくハンド
ヘルドスキャナ３の位置を移動させなければならず、移
動毎にハンドヘルドスキャナ３の位置決めを行わなけれ
ばならず、使い勝手が極めて悪いという問題があった。
これを避けるためには、広い範囲の検査を行うことがで
きる専用のハンドヘルドスキャナを用意しなければなら
ず、コストの面で問題がある。又、被検体１の周囲の配
管や機器の設置状態によっては、曲折するハンドヘルド
スキャナを使用することが困難な場合も生じる。

【００１２】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、ハンドヘルドスキャナを使用することなく
検査を行うことができる超音波検査装置を提供すること
にある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１の発明は、多数のアレイ振動子が配列され
たアレイ探触子を用い、前記アレイ振動子の複数を選択
し、この選択をずらしてゆき、各選択毎に当該選択され
たアレイ振動子により発生する超音波ビームの反射信号
を採取し、この反射信号の採取を前記アレイ探触子を被
検体表面に沿って移動させながら行い、採取された反射
信号の像を画像表示部に表示する超音波検査装置におい
て、所定間隔のクロック信号を発生する掃引タイマと、
前記アレイ探触子に付設され前記掃引タイマのクロック
信号の出力開始を指令する指令手段と、前記画像表示部
の表示面に対応するフレームメモリと、前記掃引タイマ
のクロック信号と同期して前記フレームメモリのアドレ
スをシフトさせて各反射信号を当該フレームメモリに順
次格納する制御手段とを設けたことを特徴とする。

【００１４】又、請求項２の発明は、請求項１記載の超
音波検査装置において、マーカ発生器と、このマーカ発
生器から出力されるマーカを前記掃引タイマのクロック
信号と同期して前記フレームメモリのシフトされた所定
領域に格納するマーカ制御手段とを設けたことを特徴と
する。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。図１は本発明の実施の形態に係る
超音波検査装置のブロック図である。この図で、図４に
示す部分と同一又は等価な部分には同一符号を付して説
明を省略する。２０は本実施の形態における被検体、２
０ｆは被検体２０の欠陥部を示す。３０は図４に示す座
標変換回路１４に対応する座標変換部であり、座標変換
制御部３０１、フレームメモリ３０２を備えている。な
お、座標変換部３０内のラインメモリやその他の構成要
素の図示は省略する。フレームメモリ３０２は後述する
マーカデータを格納する領域３０２Ｍおよび超音波デー
タを格納する領域３０２Ｓを有する。これら各領域３０
２Ｍ、３０２Ｓは共通のアドレスにより特定される。３
１は画像表示部１４に表示する特定形状のマーカのキャ
ラクタを発生するマーカ発生器、３２は前述の基準パル
ス発生部から出力されるクロック信号に基づいて所定の
時間間隔でパルスを出力する掃引タイマである。３３は
掃引タイマ３２にパルス出力を開始させる掃引開始スイ
ッチである。なお、本実施の形態では、後述するように
上記マーカを検査員の目印として画像表示部の画面の一
方端から他方端まで移動させて行く動作を行わせるもの
であり、上記掃引タイマ３２、掃引開始スイッチ３３の
「掃引」はマーカが画面を一方端から他方端に移動して
ゆく状態を意味する。

【００１６】次に本実施の形態の動作を図２に示すタイ
ムチャートおよび図３に示す表示画面を参照して説明す
る。被検体２０の検査を行うべく、検査員はアレイ探触
子２を被検体２０の表面の検査範囲の一端に位置せし
め、掃引開始スイッチ３３をＯＮとする。なお、掃引開
始スイッチ３３をＯＮする前に装置を作動させてアレイ
探触子２の電子走査を行わせてもよいし、掃引開始スイ
ッチ３３をＯＮすると同時に電子走査を開始させてもよ
い。この掃引開始スイッチ３３のＯＮにより掃引開始ス
イッチ３３から出力されるパルスが図２の（ａ）にパル
スＰ_STとして示されている。

【００１７】パルスＰ_STが掃引タイマ３２に入力される
と、掃引タイマ３２からは図２の（ｂ）に示すように所
定の時間間隔で掃引パルスＰ_SW1 、Ｐ_SW2 、…………が
出力される。掃引パルスＰ_SW1 により、マーカ発生器３
１からマーカデータが出力され、このマーカデータは、
図２の（ｃ）に示すように、フレームメモリ３０２のマ
ーカデータ領域３０２Ｍの最初のアドレス「Ｘ₁ 、Ｙ
₀ 」に格納される（書き込まれる）。なお、図２の
（ｃ）はフレームメモリ３０２を示す図であり、マーカ
データの一例として逆三角形状（▽）のキャラクタが示
されている。

【００１８】一方、掃引パルスＰ_SW1 は座標変換部３０
の座標変換制御部３０１に入力され、これにより座標変
換制御部３０１が作動して、図５に示す手段で、その時
点での電子走査の各ビームのデータを、ラインメモリか
ら、フレームメモリ３０２の超音波データ領域３０２Ｓ
の対応するアドレスに書き込む。即ち、仮に電子走査が
当該時点以前に実施されていても、超音波データのフレ
ームメモリ３０２への書き込みはアドレスが指定されな
いのでなされず、最初の掃引パルスＰ_SW1 の入力により
初めて実行される。ここで、この掃引パルスＰ_SW1 の発
生時点において、アレイ探触子２は検査範囲の一端に位
置しており、この位置のＸ軸座標がフレームメモリ３０
２のＸ軸のアドレスＸ₁ に相当する場合、電子走査によ
る超音波データは、アドレス「Ｘ₁ 、Ｙ₁ 」を中心に扇
形に拡がって書き込まれることになる。

【００１９】掃引パルスＰ_SW1 の出力後、所定時間経過
して掃引パルスＰ_SW2 が出力されると、マーカ発生器３
１および座標変換制御部３０１はそれぞれフレームメモ
リ３０２のＸ軸のアドレスを１つシフトさせてアドレス
Ｘ₂ を選択し、マーカ発生器３１はマーカデータをアド
レス「Ｘ₂ 、Ｙ₀ 」に書き込み、座標変換制御部３０１
はアドレス「Ｘ₂ 、Ｙ₁ 」を中心としてその時点での電
子走査による超音波データを対応するアドレスに書き込
む。即ち、掃引パルスは、Ｘ軸のアドレスを１つシフト
させる機能を有する。

【００２０】図示の例では、マーカ発生器３１は、マー
カデータを出力する機能と、フレームメモリ３０２のア
ドレスをシフトさせて指定する機能と、マーカデータを
指定したアドレスへ書き込む機能とを有する。しかし、
マーカ発生器３１にはマーカデータを出力する機能だけ
を負担させ、他の２つの機能は座標変換制御部３０１に
負担させることもできる。この場合、マーカ発生器３１
から出力されるマーカデータは座標変換制御部３０１に
入力される。

【００２１】このようにして、新たに掃引パルスが掃引
タイマ３１から出力される度に、フレームメモリ３０２
の新たなＸ軸のアドレスにマーカデータが書き込まれて
ゆき、かつ、当該アドレスに対応する被検体２０上の位
置にアレイ探触子２が位置しているものと仮定してその
時点での電子走査による超音波データがフレームメモリ
３０２の該当するアドレスに書き込まれてゆく。

【００２２】フレームメモリ３０２にデータが書き込ま
れると、これらデータは直ちに、フレームメモリ３０２
の各アドレスに対応する画像表示部１４の表示画面に表
示される。この表示の態様を図３により説明する。図３
は画像表示部の表示画面を示す図である。この図で、１
４Ｄは表示画面を示す。表示画面１４Ｄ上には、アレイ
探触子２の位置を示すＸ軸と被検体２０の深さ方向を示
すＹ軸より成る座標が表示されている。最初の掃引パル
スＰ_SW1 が出力されると、上述のようにフレームメモリ
３０２にマーカデータおよび電子走査により得られる超
音波データが書き込まれ、これらデータは直ちに表示画
面１４Ｄに表示される。このときのマーカ表示が符号Ｍ
₁ で示され、アレイ探触子２の電子走査のビームがＢ₁₁
〜Ｂ_n1で示されている。マーカは時間とともに順次表示
画面右方向に移動してゆく。図では、移動中のある時点
におけるマーカが符号Ｍ_j で示され、その時点でのアレ
イ探触子２の電子走査のビームがＢ_1j〜Ｂ_njで示されて
いる。この時点では、それまでにフレームメモリ３０２
の領域３０２Ｓに書き込まれた超音波データにより被検
体の超音波像２０Ｄ、欠陥部２０ｆの超音波像２０ｆ_D
が図示の実線で示すように表示されることになる。

【００２３】このように、掃引パルスの出力毎に、マー
カが表示画面１４Ｄ上で左方から右方へと順次移動して
ゆき、超音波データが表示されてゆく。そして、掃引タ
イマ３１に設定された時間ｔ秒後に掃引が終了し、表示
画面１４Ｄ上には被検体２０の検査範囲の超音波像が表
示される。この動作は、実際に検査員がアレイ探触子２
を被検体２０の表面上で移動させるのとは無関係に実行
されるので、表示される超音波像は実際の超音波像と必
ずしも一致するものではない。しかし、検査員はマーカ
の表示を見ることができるので、移動しているマーカの
位置が画面横軸のどの辺りであるか、即ち、当該画面横
軸に相当する被検体２０の表面の検査範囲のどの辺りで
あるかを把握することができ、表示画面１４Ｄに表示さ
れるマーカの移動に合わせてアレイ探触子２を移動させ
れば、表示される超音波像と実際の超音波像とはほぼ一
致することとなり、検査上の支障は生じない。

【００２４】以下に、各種の数値の判り易い一例を挙げ
る。電子走査のビーム数：72本電子走査の角度： 140度基準パルス発生部のクロック信号の繰り返し周波数： 4
ｋＨｚ表示画面の横軸方向のドット数： 512 ドット間の間隔： 0.5ｍｍ被検体の検査範囲の横軸方向の距離： 250ｍｍ上記の例において、基準パルス発生部のクロック信号の
繰り返し周波数が 4ｋＨｚであるので、アレイ探触子２
の電子走査においては、 250μｓｅｃで１つのビームが
出力され、ビーム数は72本であるので電子走査に要する
時間は約0.02ｓｅｃ（250×72＝18000μｓｅｃ＝ 0.018
ｓｅｃ≒0.02ｓｅｃ）となる。一方、検査員が 250ｍｍ
の検査範囲を10ｓｅｃで検査するものとすると、アレイ
探触子２の移動速度は25ｍｍ／ｓｅｃとなり、これは50
ドット／ｓｅｃとなる。したがって、掃引パルスの周波
数は50Ｈｚ（50パルス／ｓｅｃ）に選定すればよい。な
お、この場合、１ドットの移動は0.02ｓｅｃ（1／50）
で行われるので、１掃引パルス毎に１回の電子走査が行
われることになる。

【００２５】なお、実際には 250ｍｍの検査範囲に対し
ては10〜30ｓｅｃ程度でアレイ探触子２の移動が行わ
れ、30ｓｅｃの場合、電子走査は次の掃引パルスが出力
されるまでの間に 3回行われることになる。しかし、電
子走査が何回行われても、その間に、次の掃引パルス
（マーカデータ）が出力されない限り、又はアレイ探触
子２に急激な移動がない限り、フレームメモリ３０２の
データはほとんど変化せず、何等の支障もない。又、マ
ーカの移動速度は上記の例では50ドット／ｓｅｃであ
り、この速度によるドット間の非連続的な移動は、人の
目にはほとんど連続的な移動に見え、その1／3の速度で
も多少チラツク程度であり、検査員の観察に格別の支障
は生じない。

【００２６】このように、本実施の形態では、各掃引パ
ルスによりフレームメモリのアドレスを１つずつシフト
させ、その都度、マーカデータと超音波データを書き込
み、これを画像表示部に表示させるようにしたので、ハ
ンドヘルドスキャナを使用しなくても、広い範囲の超音
波検査を行うことができる。又、表示されたマーカを目
印にしてアレイ探触子を移動させることにより、容易に
正確な超音波データを採取することができる。

【００２７】なお、上記実施の形態の説明では、扇形の
電子走査の例について説明したが、直線走査にも適用す
ることができるのは当然である。又、マーカを表示する
例について説明したが、検査員がある程度の熟練者であ
れば、被検体の検査範囲に対して定められた移動時間
で、ほぼ等速度にアレイ探触子を移動させることがで
き、この場合、マーカが不必要となるのは明らかであ
る。

【００２８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、指令手
段により掃引タイマのクロック信号の出力開始を指令
し、掃引タイマのクロック信号によりフレームメモリの
アドレスを１つずつシフトさせてゆき、シフト毎に各超
音波ビームの反射信号をフレームメモリに順次格納する
ようにしたので、ハンドヘルドスキャナを使用しなくて
も、広い範囲の超音波検査を行うことができる。又、マ
ーカを表示するようにすれば、容易に正確な超音波デー
タを採取することができる。さらに、掃引開始スイッチ
をアレイ探触子に付設したことにより、アレイ探触子の
移動と超音波像の表示がほぼ同時に開始でき、正確な超
音波データが採取できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る超音波検査装置のブ
ロック図である。

【図２】図１に示す動作を説明するタイムチャートであ
る。

【図３】図１に示す画像表示部の表示画面を示す図であ
る。

【図４】従来の超音波検査装置のブロック図である。

【図５】図４に示す装置のデータ格納手段を説明する図
である。

【符号の説明】

２アレイ探触子２０被検体２０ｆ欠陥部３０座標変換回路３１マーカ発生回路３２掃引タイマ３０１座標変換制御部３０２フレームメモリ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者野田保福岡県福岡市南区塩原二丁目１番47号九州電力株式会社総合研究所エネルギー研究室内 (72)発明者渡邊肇福岡県福岡市南区塩原二丁目１番47号九州電力株式会社総合研究所エネルギー研究室内 (72)発明者木野裕敏茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内 (72)発明者瀧下芳彦茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内 (72)発明者岩崎史十茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内 (72)発明者阿久津義夫茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内 (72)発明者島村忠利茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多数のアレイ振動子が配列されたアレイ
探触子を用い、前記アレイ振動子の複数を選択し、この
選択をずらしてゆき、各選択毎に当該選択されたアレイ
振動子により発生する超音波ビームの反射信号を採取
し、この反射信号の採取を前記アレイ探触子を被検体表
面に沿って移動させながら行い、採取された反射信号の
像を画像表示部に表示する超音波検査装置において、所
定間隔のクロック信号を発生する掃引タイマと、前記ア
レイ探触子に付設され前記掃引タイマのクロック信号の
出力開始を指令する指令手段と、前記画像表示部の表示
面に対応するフレームメモリと、前記掃引タイマのクロ
ック信号と同期して前記フレームメモリのアドレスをシ
フトさせて各反射信号を当該フレームメモリに順次格納
する制御手段とを設けたことを特徴とする超音波検査装
置。
【請求項２】請求項１記載の超音波検査装置におい
て、マーカ発生器と、このマーカ発生器から出力される
マーカを前記掃引タイマのクロック信号と同期して前記
フレームメモリのシフトされた所定領域に格納するマー
カ制御手段とを設けたことを特徴とする超音波検査装
置。
【請求項３】請求項１又は請求項２において、前記掃
引タイマのクロック信号の時間間隔は、前記アレイ探触
子の予想移動速度に基づいて決定されることを特徴とす
る超音波検査装置。