JPH106211A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH106211A5
JPH106211A5 JP1996166405A JP16640596A JPH106211A5 JP H106211 A5 JPH106211 A5 JP H106211A5 JP 1996166405 A JP1996166405 A JP 1996166405A JP 16640596 A JP16640596 A JP 16640596A JP H106211 A5 JPH106211 A5 JP H106211A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
plate
polishing pad
glass plate
shaped material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP1996166405A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH106211A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP16640596A priority Critical patent/JPH106211A/ja
Priority claimed from JP16640596A external-priority patent/JPH106211A/ja
Publication of JPH106211A publication Critical patent/JPH106211A/ja
Publication of JPH106211A5 publication Critical patent/JPH106211A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP16640596A 1996-06-26 1996-06-26 研磨パッドおよび板状材の研磨方法 Withdrawn JPH106211A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16640596A JPH106211A (ja) 1996-06-26 1996-06-26 研磨パッドおよび板状材の研磨方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16640596A JPH106211A (ja) 1996-06-26 1996-06-26 研磨パッドおよび板状材の研磨方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH106211A JPH106211A (ja) 1998-01-13
JPH106211A5 true JPH106211A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2004-07-15

Family

ID=15830818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16640596A Withdrawn JPH106211A (ja) 1996-06-26 1996-06-26 研磨パッドおよび板状材の研磨方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH106211A (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002047462A (ja) * 2000-07-31 2002-02-12 Nitto Denko Corp 両面接着テープ、及びこれを用いた研磨材の固定方法
JP2007268658A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Tmp Co Ltd 研磨シート及び研磨方法
JP5710353B2 (ja) 2011-04-15 2015-04-30 富士紡ホールディングス株式会社 研磨パッド及びその製造方法
JP5687118B2 (ja) 2011-04-15 2015-03-18 富士紡ホールディングス株式会社 研磨パッド及びその製造方法
JP5687119B2 (ja) 2011-04-15 2015-03-18 富士紡ホールディングス株式会社 研磨パッド及びその製造方法
JP2013049112A (ja) * 2011-08-31 2013-03-14 Kyushu Institute Of Technology ポリシングパッド及びその製造方法
JP5945874B2 (ja) 2011-10-18 2016-07-05 富士紡ホールディングス株式会社 研磨パッド及びその製造方法
CN117086735B (zh) * 2023-10-17 2024-01-05 成都中科卓尔智能科技集团有限公司 一种抛光设备及抛光方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7500904B2 (en) Glass substrate for information recording medium and method for producing same
US6325709B1 (en) Rounded surface for the pad conditioner using high temperature brazing
JP3605927B2 (ja) ウエハーまたは基板材料の再生方法
TWI303406B (en) Diamond conditioning of soft chemical mechanical planarization/polishing (cmp) polishing pads
US7429209B2 (en) Method of polishing a glass substrate for use as an information recording medium
KR20060050007A (ko) 폴리싱 패드 컨디셔너와 그 제조 및 재생 방법
JP2001047357A (ja) 研磨剤粒子を含むスラリーにより基板を化学機械研磨するために使用される研磨パッド
JP2010257562A (ja) 磁気ディスク用基板及びその製造方法
TW471996B (en) Method and apparatus for conditioning grinding stones
CN1579014A (zh) 晶片的研磨方法及晶片研磨用研磨垫
JPH106211A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JPH10296610A (ja) 研磨方法
JP3975047B2 (ja) 研磨方法
US6287175B1 (en) Method of mirror-finishing a glass substrate
JPH106211A (ja) 研磨パッドおよび板状材の研磨方法
JP4778130B2 (ja) エッジポリッシング装置及びエッジポリッシング方法
JP2005251851A (ja) 研磨パッドおよび研磨方法
JP2010250893A (ja) 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び固定砥粒ツールの表面修正方法
JPH1058306A (ja) 研磨布のドレッシング装置および研磨布ドレッシング用砥石
JPH0911119A (ja) ガラス板研磨パッドとガラス板の研磨方法
JPH1148129A (ja) 研磨パッド及び板状材の研磨方法
JPH0768469A (ja) ガラス板用研削加工シート
JPH1148128A (ja) 研磨パッド及びこれを用いた板状材の研磨方法
CN104625939A (zh) 玻璃基板的制造方法
JP5483530B2 (ja) 磁気ディスク用基板の製造方法