JPH1062069A - 棒状ワークの高温加熱装置 - Google Patents
棒状ワークの高温加熱装置Info
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- JPH1062069A JPH1062069A JP22257296A JP22257296A JPH1062069A JP H1062069 A JPH1062069 A JP H1062069A JP 22257296 A JP22257296 A JP 22257296A JP 22257296 A JP22257296 A JP 22257296A JP H1062069 A JPH1062069 A JP H1062069A
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- JP
- Japan
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- heaters
- work
- temperature heating
- heat
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの長さ方向に温度差を付けて加熱する
ことができ、これにより局部加熱が可能であり、かつ、
ヒータ電力及びパージガス量を低減してランニングコス
トを下げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減
することができる棒状ワークの高温加熱装置を提供す
る。 【解決手段】 高温加熱炉１が、上下方向に分割されそ
れぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱ヒータ１２
と、ヒータ間に設置された熱遮蔽板１４とを備え、各ヒ
ータをゾーンコントロールしてワーク６を局部的に輻射
加熱する。
ことができ、これにより局部加熱が可能であり、かつ、
ヒータ電力及びパージガス量を低減してランニングコス
トを下げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減
することができる棒状ワークの高温加熱装置を提供す
る。 【解決手段】 高温加熱炉１が、上下方向に分割されそ
れぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱ヒータ１２
と、ヒータ間に設置された熱遮蔽板１４とを備え、各ヒ
ータをゾーンコントロールしてワーク６を局部的に輻射
加熱する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、棒状の原材料を非
酸化状態で１４００℃〜２５００℃の高温に加熱する棒
状ワークの高温加熱装置に関する。
酸化状態で１４００℃〜２５００℃の高温に加熱する棒
状ワークの高温加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックス，シリコーンなどの非鉄材
料を１４００℃〜２５００℃（例えば約２３００℃程
度）の高温まで加熱するために、図３に例示する高温加
熱装置が従来から用いられている。この高温加熱装置
は、中空円筒形の加熱炉１内に、中空円筒形のチューブ
２，ヒータ３，断熱材４，等をほぼ同心に配置したもの
であり、抵抗加熱によりヒータ３を発熱させて加熱炉１
内を高温に加熱保持し、吊りロッド５に吊り下げられた
棒状の被加熱物６（ワーク）を加熱炉１の軸心に沿って
下降させてワークを所定の温度（例えば１４００℃〜１
７００℃）まで加熱し、次いで加熱炉１の下方にワーク
を取り出し次工程に供給するようになっている。かかる
高温加熱装置は、棒状のワーク６を大気圧下で順次供給
し、高温加熱したワーク６を次工程でそのまま／或いは
冷却して加工することができ、稼働性が高い特徴を有し
ている。
料を１４００℃〜２５００℃（例えば約２３００℃程
度）の高温まで加熱するために、図３に例示する高温加
熱装置が従来から用いられている。この高温加熱装置
は、中空円筒形の加熱炉１内に、中空円筒形のチューブ
２，ヒータ３，断熱材４，等をほぼ同心に配置したもの
であり、抵抗加熱によりヒータ３を発熱させて加熱炉１
内を高温に加熱保持し、吊りロッド５に吊り下げられた
棒状の被加熱物６（ワーク）を加熱炉１の軸心に沿って
下降させてワークを所定の温度（例えば１４００℃〜１
７００℃）まで加熱し、次いで加熱炉１の下方にワーク
を取り出し次工程に供給するようになっている。かかる
高温加熱装置は、棒状のワーク６を大気圧下で順次供給
し、高温加熱したワーク６を次工程でそのまま／或いは
冷却して加工することができ、稼働性が高い特徴を有し
ている。
【０００３】上述した高温加熱装置には、１４００℃〜
２５００℃の高温での使用を可能にするために、ヒータ
３及び断熱材４にカーボン（例えば、高純度グラファイ
ト）が用いられる。また、高温におけるカーボンヒータ
３及びカーボン断熱材４の酸化を防ぐために、加熱炉１
内に窒素ガスを連続パージし、加熱炉１の内部を正圧に
保持し、外気が流入しないようにしている。
２５００℃の高温での使用を可能にするために、ヒータ
３及び断熱材４にカーボン（例えば、高純度グラファイ
ト）が用いられる。また、高温におけるカーボンヒータ
３及びカーボン断熱材４の酸化を防ぐために、加熱炉１
内に窒素ガスを連続パージし、加熱炉１の内部を正圧に
保持し、外気が流入しないようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の高温加
熱装置では、加熱炉全体がほぼ均一の高温になっている
ため、ワークの長さ方向の温度がほぼ均一となり、長さ
方向に温度差を付けて加熱できない問題点があった。そ
のため、局部加熱が必要な場合でも、ワーク全体を高温
加熱せざるを得ない問題点があった。また、このため、
ヒータの消費電力が大きくなってランニングコストが高
くなり、かつ、ヒータの消耗が激しく、かつ部分的に損
傷してもヒータ全体を交換する必要がある問題点があっ
た。
熱装置では、加熱炉全体がほぼ均一の高温になっている
ため、ワークの長さ方向の温度がほぼ均一となり、長さ
方向に温度差を付けて加熱できない問題点があった。そ
のため、局部加熱が必要な場合でも、ワーク全体を高温
加熱せざるを得ない問題点があった。また、このため、
ヒータの消費電力が大きくなってランニングコストが高
くなり、かつ、ヒータの消耗が激しく、かつ部分的に損
傷してもヒータ全体を交換する必要がある問題点があっ
た。
【０００５】また、従来の高温加熱装置では、加熱炉全
体が高温に加熱されているために、酸化が激しく、加熱
中に相当量のパージガスを流しても、カーボンヒータ３
及びカーボン断熱材４の酸化を十分防ぐことができず、
ヒータ及び断熱材の消耗が激しい問題点があった。
体が高温に加熱されているために、酸化が激しく、加熱
中に相当量のパージガスを流しても、カーボンヒータ３
及びカーボン断熱材４の酸化を十分防ぐことができず、
ヒータ及び断熱材の消耗が激しい問題点があった。
【０００６】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、ワー
クの長さ方向に温度差を付けて加熱することができ、こ
れにより局部加熱が可能な棒状ワークの高温加熱装置を
提供することにある。また、本発明の別の目的は、ヒー
タ電力及びパージガス量を低減してランニングコストを
下げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減する
ことができる棒状ワークの高温加熱装置を提供すること
にある。
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、ワー
クの長さ方向に温度差を付けて加熱することができ、こ
れにより局部加熱が可能な棒状ワークの高温加熱装置を
提供することにある。また、本発明の別の目的は、ヒー
タ電力及びパージガス量を低減してランニングコストを
下げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減する
ことができる棒状ワークの高温加熱装置を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上下に
開口部を有し内部を通る棒状ワークを加熱する高温加熱
炉と、前記上部開口部から下部開口部までワークを吊り
下げて下降させる吊りロッドと、高温加熱炉内を不活性
ガスでパージするガスパージ装置とを備えた棒状ワーク
の高温加熱装置において、前記高温加熱炉は、上下方向
に分割されそれぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱
ヒータと、該ヒータ間に設置された熱遮蔽板と、を備
え、これによりヒータをゾーンコントロールしてワーク
を局部的に輻射加熱する、ことを特徴とする棒状ワーク
の高温加熱装置が提供される。
開口部を有し内部を通る棒状ワークを加熱する高温加熱
炉と、前記上部開口部から下部開口部までワークを吊り
下げて下降させる吊りロッドと、高温加熱炉内を不活性
ガスでパージするガスパージ装置とを備えた棒状ワーク
の高温加熱装置において、前記高温加熱炉は、上下方向
に分割されそれぞれ独立して制御される複数の抵抗加熱
ヒータと、該ヒータ間に設置された熱遮蔽板と、を備
え、これによりヒータをゾーンコントロールしてワーク
を局部的に輻射加熱する、ことを特徴とする棒状ワーク
の高温加熱装置が提供される。
【０００８】上記本発明の構成によれば、複数の抵抗加
熱ヒータが上下方向に分割され、それぞれ独立して制御
され、かつその間の輻射伝熱を遮蔽する熱遮蔽板が設置
されているので、各ヒータの内側に位置するワークをそ
れぞれ独立して輻射加熱することができ、これによりワ
ークの長さ方向に温度差を付け、かつ局部加熱を行うこ
とができる。なお、この際に、局部加熱部以外を上下の
ヒータにより予熱又は後熱することができる。また、局
部加熱により、必要部分以外のヒータ電力を低減してラ
ンニングコストを下げ、かつ、温度低下によりヒータ寿
命を伸ばすことができる。更に、局部加熱部のヒータは
従来通り消耗するが、この部分のみの交換で足り、ヒー
タ全体の消耗を低減することができる。
熱ヒータが上下方向に分割され、それぞれ独立して制御
され、かつその間の輻射伝熱を遮蔽する熱遮蔽板が設置
されているので、各ヒータの内側に位置するワークをそ
れぞれ独立して輻射加熱することができ、これによりワ
ークの長さ方向に温度差を付け、かつ局部加熱を行うこ
とができる。なお、この際に、局部加熱部以外を上下の
ヒータにより予熱又は後熱することができる。また、局
部加熱により、必要部分以外のヒータ電力を低減してラ
ンニングコストを下げ、かつ、温度低下によりヒータ寿
命を伸ばすことができる。更に、局部加熱部のヒータは
従来通り消耗するが、この部分のみの交換で足り、ヒー
タ全体の消耗を低減することができる。
【０００９】上記本発明の好ましい実施形態によれば、
前記複数のヒータの内側に、薄肉中空円筒形の耐熱チュ
ーブを備え、該チューブの上下端が上下の開口部とそれ
ぞれほぼ同径に形成されている。この構成により、炉内
を流れるパージガスの流れを同一方向（下向き）の層流
にすることができ、内部でのパージガスの乱れを低減し
て、異物のワークへの付着を低減し、かつ少量のパージ
ガスにより、高温におけるカーボンヒータ３及びカーボ
ン断熱材４の酸化を十分防ぐことができ、ヒータ及び断
熱材の消耗を低減することができる。
前記複数のヒータの内側に、薄肉中空円筒形の耐熱チュ
ーブを備え、該チューブの上下端が上下の開口部とそれ
ぞれほぼ同径に形成されている。この構成により、炉内
を流れるパージガスの流れを同一方向（下向き）の層流
にすることができ、内部でのパージガスの乱れを低減し
て、異物のワークへの付着を低減し、かつ少量のパージ
ガスにより、高温におけるカーボンヒータ３及びカーボ
ン断熱材４の酸化を十分防ぐことができ、ヒータ及び断
熱材の消耗を低減することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付して使用する。図１は、本発
明による高温加熱装置の全体構成図である。この図にお
いて、高温加熱装置１０は、上下に開口部１ａ，１ｂを
有し内部を通る被加熱物６（ワーク）を加熱する高温加
熱炉１と、上部開口部１ａから下部開口部１ｂまでワー
ク６を吊り下げて下降させる吊りロッド５と、高温加熱
炉１内を不活性ガス（例えば窒素ガス）でパージするガ
スパージ装置７とを備えている。また、高温加熱炉１の
内部には、中心軸を囲んで断熱材４が配置され、放熱を
防止するようになっている。この断熱材４は、１４００
℃〜２５００℃の高温に耐えるようにカーボン断熱材
（例えば、高純度グラファイト）であるのがよい。かか
る構成は、図３に示した従来の高温加熱装置と同様であ
る。
を図面を参照して説明する。なお、各図において共通す
る部分には同一の符号を付して使用する。図１は、本発
明による高温加熱装置の全体構成図である。この図にお
いて、高温加熱装置１０は、上下に開口部１ａ，１ｂを
有し内部を通る被加熱物６（ワーク）を加熱する高温加
熱炉１と、上部開口部１ａから下部開口部１ｂまでワー
ク６を吊り下げて下降させる吊りロッド５と、高温加熱
炉１内を不活性ガス（例えば窒素ガス）でパージするガ
スパージ装置７とを備えている。また、高温加熱炉１の
内部には、中心軸を囲んで断熱材４が配置され、放熱を
防止するようになっている。この断熱材４は、１４００
℃〜２５００℃の高温に耐えるようにカーボン断熱材
（例えば、高純度グラファイト）であるのがよい。かか
る構成は、図３に示した従来の高温加熱装置と同様であ
る。
【００１１】本発明の高温加熱炉１０は更に、上下方向
に分割され、それぞれ独立して制御される複数の抵抗加
熱ヒータ１２と、ヒータ１２間に設置された熱遮蔽板１
４と、を備えている。抵抗加熱ヒータ１２は、中空円筒
形のカーボンヒータであり、その内面が棒状のワーク６
の表面から等間隔を隔てている。ヒータ１２は、それぞ
れ独立した電流端子１２ａを有し、この電流端子１２ａ
を介してヒータ１２に必要な加熱用電流１３を流し、抵
抗加熱により１０００℃〜２０００℃以上に加熱するよ
うになっている。従って、ヒータ１２からワーク６への
伝熱は、輻射加熱が主体となる。
に分割され、それぞれ独立して制御される複数の抵抗加
熱ヒータ１２と、ヒータ１２間に設置された熱遮蔽板１
４と、を備えている。抵抗加熱ヒータ１２は、中空円筒
形のカーボンヒータであり、その内面が棒状のワーク６
の表面から等間隔を隔てている。ヒータ１２は、それぞ
れ独立した電流端子１２ａを有し、この電流端子１２ａ
を介してヒータ１２に必要な加熱用電流１３を流し、抵
抗加熱により１０００℃〜２０００℃以上に加熱するよ
うになっている。従って、ヒータ１２からワーク６への
伝熱は、輻射加熱が主体となる。
【００１２】また、熱遮蔽板１４は、ワーク６を中心を
通すように形成された中空円板状の断熱材であり、カー
ボン断熱材４と同一のもの（例えば、高純度グラファイ
ト）を用いることができる。なお、図１において、１８
は、水冷ジャケットを有する熱遮蔽チャンバーであり、
高温加熱炉１０から上方への輻射熱を遮蔽するようにな
っている。また、１９は同じく水冷ジャケットを有する
冷却チャンバーであり、ワーク６の温度を１０００℃〜
１４００℃まで下げるようになっている。
通すように形成された中空円板状の断熱材であり、カー
ボン断熱材４と同一のもの（例えば、高純度グラファイ
ト）を用いることができる。なお、図１において、１８
は、水冷ジャケットを有する熱遮蔽チャンバーであり、
高温加熱炉１０から上方への輻射熱を遮蔽するようにな
っている。また、１９は同じく水冷ジャケットを有する
冷却チャンバーであり、ワーク６の温度を１０００℃〜
１４００℃まで下げるようになっている。
【００１３】上述した構成により、抵抗加熱により各ヒ
ータ１２を発熱させて加熱炉１内を高温に保持し、吊り
ロッド５に吊り下げられた棒状のワーク６を加熱炉１の
軸心に沿って下降させてワークを所定の温度（例えば１
４００℃〜１７００℃）まで加熱し、次いで加熱炉１の
下方にワーク６を取り出し、次工程に供給することがで
きる。
ータ１２を発熱させて加熱炉１内を高温に保持し、吊り
ロッド５に吊り下げられた棒状のワーク６を加熱炉１の
軸心に沿って下降させてワークを所定の温度（例えば１
４００℃〜１７００℃）まで加熱し、次いで加熱炉１の
下方にワーク６を取り出し、次工程に供給することがで
きる。
【００１４】また、複数の抵抗加熱ヒータ１２が上下方
向に分割され、それぞれ独立して制御され、かつその間
の輻射伝熱を遮蔽する熱遮蔽板１４が設置されているの
で、各ヒータ１２の内側に位置するワーク６をそれぞれ
独立して輻射加熱することができ、これによりワーク６
の長さ方向に温度差を付け、かつ局部加熱を行うことが
できる。なお、この際に、局部加熱部以外を上下のヒー
タ１２により予熱又は後熱することができる。また、局
部加熱により、必要部分以外のヒータ電力を低減してラ
ンニングコストを下げ、かつ、温度低下によりヒータの
寿命を伸ばすことができる。更に、局部加熱部のヒータ
は従来通り消耗するが、この部分のみの交換で足り、ヒ
ータ全体の消耗を低減することができる。
向に分割され、それぞれ独立して制御され、かつその間
の輻射伝熱を遮蔽する熱遮蔽板１４が設置されているの
で、各ヒータ１２の内側に位置するワーク６をそれぞれ
独立して輻射加熱することができ、これによりワーク６
の長さ方向に温度差を付け、かつ局部加熱を行うことが
できる。なお、この際に、局部加熱部以外を上下のヒー
タ１２により予熱又は後熱することができる。また、局
部加熱により、必要部分以外のヒータ電力を低減してラ
ンニングコストを下げ、かつ、温度低下によりヒータの
寿命を伸ばすことができる。更に、局部加熱部のヒータ
は従来通り消耗するが、この部分のみの交換で足り、ヒ
ータ全体の消耗を低減することができる。
【００１５】図２は、本発明による高温加熱装置の別の
構成図である。この図において、本発明の高温加熱装置
１０は更に、複数のヒータ１２の内側に、薄肉中空円筒
形の耐熱チューブ１６を備えている。この耐熱チューブ
１６は、例えば高純度グラファイトからなる。またこの
チューブ１６の上下端１６ａ，１６ｂが上下の開口部１
ａ，１ｂとそれぞれほぼ同径に形成されている。更にこ
のチューブ１６は、スリット等の切欠き部が少なく、か
つ内部が滑らかに形成されている。
構成図である。この図において、本発明の高温加熱装置
１０は更に、複数のヒータ１２の内側に、薄肉中空円筒
形の耐熱チューブ１６を備えている。この耐熱チューブ
１６は、例えば高純度グラファイトからなる。またこの
チューブ１６の上下端１６ａ，１６ｂが上下の開口部１
ａ，１ｂとそれぞれほぼ同径に形成されている。更にこ
のチューブ１６は、スリット等の切欠き部が少なく、か
つ内部が滑らかに形成されている。
【００１６】この構成により、ガスパージ装置７から流
す不活性ガスの流量を調節し、炉内を流れるパージガス
の流れを同一方向（下向き）の層流にすることができ、
内部でのパージガスの乱れを低減して、異物のワーク６
への付着を低減し、かつ少量のパージガスにより、高温
におけるカーボンヒータ３及びカーボン断熱材４の酸化
を十分防ぐことができ、ヒータ及び断熱材の消耗を低減
することができる。
す不活性ガスの流量を調節し、炉内を流れるパージガス
の流れを同一方向（下向き）の層流にすることができ、
内部でのパージガスの乱れを低減して、異物のワーク６
への付着を低減し、かつ少量のパージガスにより、高温
におけるカーボンヒータ３及びカーボン断熱材４の酸化
を十分防ぐことができ、ヒータ及び断熱材の消耗を低減
することができる。
【００１７】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更でき
ることは勿論である。
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更でき
ることは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】上述したように、本発明の高温加熱装置
は、ワークの長さ方向に温度差を付けて加熱することが
でき、これにより局部加熱が可能であり、かつ、ヒータ
電力及びパージガス量を低減してランニングコストを下
げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減するこ
とができる、等の優れた効果を有する。
は、ワークの長さ方向に温度差を付けて加熱することが
でき、これにより局部加熱が可能であり、かつ、ヒータ
電力及びパージガス量を低減してランニングコストを下
げ、かつ、ヒータ等のカーボン部材の消耗を低減するこ
とができる、等の優れた効果を有する。
【図１】本発明による高温加熱装置の全体構成図であ
る。
る。
【図２】本発明による高温加熱装置の別の構成図であ
る。
る。
【図３】従来の高温加熱装置の構成図である。
１ 高温加熱炉 １ａ，１ｂ 開口部 ２ チューブ ３ ヒータ（カーボンヒータ） ４ 断熱材（カーボン断熱材） ５ 吊りロッド ６ 被加熱物（棒状ワーク） ７ ガスパージ装置 １０ 高温加熱装置 １２ 抵抗加熱ヒータ １４ 熱遮蔽板 １６ チューブ １８ 熱遮蔽チャンバー １９ 冷却チャンバー
フロントページの続き (72)発明者 毛利 元治 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニアリ ングセンター内 (72)発明者 佐藤 博之 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニアリ ングセンター内 (72)発明者 島田 忠克 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 山村 和市 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 剱持 惣一郎 東京都千代田区大手町二丁目６番１号 信 越化学工業株式会社本社内 (72)発明者 鈴木 晃彦 東京都千代田区大手町二丁目６番１号 信 越化学工業株式会社本社内
Claims (2)
- 【請求項１】 上下に開口部を有し内部を通る棒状ワー
クを加熱する高温加熱炉と、前記上部開口部から下部開
口部までワークを吊り下げて下降させる吊りロッドと、
高温加熱炉内を不活性ガスでパージするガスパージ装置
とを備えた棒状ワークの高温加熱装置において、 前記高温加熱炉は、上下方向に分割されそれぞれ独立し
て制御される複数の抵抗加熱ヒータと、該ヒータ間に設
置された熱遮蔽板と、を備え、これによりヒータをゾー
ンコントロールしてワークを局部的に輻射加熱する、こ
とを特徴とする棒状ワークの高温加熱装置。 - 【請求項２】 前記複数のヒータの内側に、薄肉中空円
筒形の耐熱チューブを備え、該チューブの上下端が上下
の開口部とそれぞれほぼ同径に形成されている、ことを
特徴とする請求項１に記載の高温加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22257296A JPH1062069A (ja) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | 棒状ワークの高温加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22257296A JPH1062069A (ja) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | 棒状ワークの高温加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062069A true JPH1062069A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16784575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22257296A Pending JPH1062069A (ja) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | 棒状ワークの高温加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1062069A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10021089B4 (de) * | 1999-04-28 | 2004-12-30 | Nsk Ltd. | Käfig für Wälzlager |
| CN103822470A (zh) * | 2012-11-16 | 2014-05-28 | 丹阳市江南工业炉有限公司 | 小型加热炉 |
| CN105758182A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-07-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种对开式辐射加热炉及炉体 |
| CN109708461A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-03 | 宁夏昇力恒真空设备有限公司 | 内胆加热带用绝缘外置式安装组件及高温烧结炉 |
-
1996
- 1996-08-23 JP JP22257296A patent/JPH1062069A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10021089B4 (de) * | 1999-04-28 | 2004-12-30 | Nsk Ltd. | Käfig für Wälzlager |
| CN103822470A (zh) * | 2012-11-16 | 2014-05-28 | 丹阳市江南工业炉有限公司 | 小型加热炉 |
| CN105758182A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-07-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种对开式辐射加热炉及炉体 |
| CN109708461A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-03 | 宁夏昇力恒真空设备有限公司 | 内胆加热带用绝缘外置式安装组件及高温烧结炉 |
| CN109708461B (zh) * | 2019-02-01 | 2020-10-02 | 宁夏昇力恒真空设备有限公司 | 内胆加热带用绝缘外置式安装组件及高温烧结炉 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040428 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070115 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070515 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |