JPH1045252A - ウェハ移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】発塵がなく、狭小スペースにも設置可能で、か
つスムーズな動作が得られるウェハ移動装置を提供す
る。 【解決手段】固定部材２と、直線移動可能に保持された
駆動部材４と、駆動部材４を駆動する駆動手段と、ウェ
ハ保持体１０が設けられた出力部材８と、直線移動可能
に保持された伝達部材６とを有し、駆動部材４、伝達部
材６には所定の軸を中心に回転可能なプーリ１２，１４
がそれぞれ設けられ、固定部材２、駆動部材４、伝達部
材６および出力部材８の各部材はプーリ１２，１４を介
して連結ロープＲ1 ，Ｒ2 によって連結され、各部材
は、駆動部材４の移動に伴って所定の方向に連動し、出
力部材８に設けられたウェハ保持体１０が所定の方向に
直線移動するものとした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハカセットに
収容されたウェハを、ウェハカセットに形成された挿入
孔からウェハ保持体を挿入して当該ウェハをウェハカセ
ットから取り出し、当該ウェハを所望の位置に移すウェ
ハ移動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ウェハカセットに収納されたウェ
ハを、取り出して所望の位置に移動させるには、例え
ば、図３に示すような、突き上げ機構を有する移動装置
１０１を用いていた。図３に示す移動装置１０１は、移
動装置１０１の上方に設けられたウェハカセットＣに収
容されたウェハＷをウェハ保持体１０２の保持部１０２
ａによって保持し、このウェハ保持体１０２を突き上げ
機構により矢印Ａ方向に突き上げる。上記の突き上げ機
構は、ウェハ保持体１０２が先端に設けられ、鉛直方向
に移動可能に保持された出力部材１０６と、鉛直方向に
移動可能に保持された伝達部材１０４および１０５と、
固定部材１０３と、モータＭとから基本的に構成されて
いる。

【０００３】固定部材１０３、伝達部材１０４，１０５
および出力部材１０６には、それぞれ２つのスプロケッ
ト１０３ａ，１０３ｂ、１０４ａ，１０４ｂ、１０５
ａ，１０５ｂおよび１０６ａ，１０６ｂが設けられてい
る。これらのスプロケットには順次チェーン１１１が巻
き付けられており、このチェーン１１１の両端部１１０
は駆動部材１０６に固定されているとともに、所定の張
力をもってモータＭの回転軸に掛けられている。

【０００４】この装置においては、モータＭの所定の方
向の回転に伴い、伝達部材１０４，１０５および出力部
材１０６は連動して、図４に示すような突き上げ動作を
とる。これにより、ウェハＷは、図４に示すように、ウ
ェハカセットＣ上に持ち上げられ、所望の位置に移動さ
れる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
移動装置１０１においては、チェーン１１１と各スプロ
ケットは、通常、金属材料から形成されている。このた
め、チェーン１１１と各スプロケットとの接触によって
金属粉等の塵が発生する。この塵がウェハに付着するの
を防止する必要があるが、移動装置１０１は上記のよう
な部材が鉛直方向に移動する構造を有しているため、上
記の塵が外部へ飛散するのを防止するためのカバーを駆
動部に設けることが難しいという問題があった。このた
め、上記の塵がウェハに付着して歩留りが低下するとい
う問題があった。

【０００６】また、移動装置１０１は、比較的大きいた
め、狭小スペースへの設置が困難であるという問題があ
った。さらに、チェーン駆動であるため、チェーン１１
１の張力を調整しないと、チェーンがスプロケットから
外れることがあり、また、チェーンを使用していること
から、各部材のスムーズな動作が得られず、振動によっ
てウェハが破損することがあるという問題があった。

【０００７】本発明は、かかる従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、発塵がなく、狭小スペースにも設置
可能で、かつスムーズな動作が得られるウェハ移動装置
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係るウェハ移動
装置は、直線移動可能なウェハ保持体によってウェハを
保持し、当該ウェハを所望の位置に移動するウェハ移動
装置であって、連結ロープの一端が固定される固定部材
と、直線移動可能に保持された駆動部材と、前記駆動部
材を駆動する駆動手段と、前記ウェハ保持体が設けら
れ、かつ前記駆動部材と平行に直線移動可能に保持され
た出力部材と、前記駆動部材と前記出力部材との間に並
列に配設され、かつ直線移動可能に保持された少なくと
も一の伝達部材とを有し、前記駆動部材および伝達部材
の各部材には所定の軸を中心に回転可能なプーリがそれ
ぞれ設けられ、前記固定部材、前記駆動部材、前記伝達
部材および前記出力部材の各部材のうち、隣り合う３つ
の部材の中央に位置する部材に設けられたプーリを介し
て両側に位置する部材間が連結ロープによってそれぞれ
連結され、前記伝達部材および前記出力部材は、前記駆
動部材の移動に伴って所定の方向に連動し、前記出力部
材に設けられた前記ウェハ保持体が所定の方向に直線移
動する。

【０００９】本発明に係るウェハ移動装置は、好ましく
は、前記駆動部材、伝達部材および前記出力部材の各部
材は鉛直方向に配置され、前記連結ロープには前記各部
材の重量によって張力が発生する。

【００１０】本発明に係るウェハ移動装置は、好ましく
は、前記プーリおよび前記連結ロープは合成繊維によっ
てコーティングされている。

【００１１】本発明に係るウェハ移動装置は、好ましく
は、前記ウェハ保持体は、ウェハを収容するウェハ収容
体の底部に形成された挿入孔から収容されたウェハを保
持し直線移動して、当該ウェハを所望の位置に移動す
る。

【００１２】本発明に係るウェハ移動装置では、固定部
材、駆動部材、伝達部材および出力部材の各部材間が、
駆動部材および伝達部材に設けられたプーリを介して連
結ロープによって連結されている。このため、駆動手段
によって駆動部材を所定の方向に駆動すると、伝達部材
および出力部材が所定の方向に連動し、出力部材に設け
られたウェハ保持体が所定の方向に直線運動することに
なる。このとき、駆動力の伝達に回転自在のプーリおよ
び連結ロープを使用しているため、当該プーリと連結ロ
ープとの間に摩擦がほとんど生じることがなく、発塵が
抑制されることになる。加えて、従来のようなチェーン
駆動ではないため、各部材の動作が滑らかなものとな
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るウェハ移動装
置の実施の形態について図面を参照して詳細に説明す
る。図１は、本発明に係るウェハ移動装置の一実施形態
を示す概略構成図であって、図１（ａ）は左側面図であ
り、図１（ｂ）は正面図であり、図１（ｃ）は右側面図
である。ウェハ移動装置１は、固定部材２、駆動部材
４、伝達部材６および出力部材８が鉛直方向に並列に設
けられている。

【００１４】出力部材８は、鉛直方向に移動可能に保持
されているとともに、その先端部にウェハ保持体１０が
設けられている。ウェハ保持体１０には、扇状の複数の
溝からなる保持部１０ａが形成されており、この保持部
１０ａに複数のウェハＷが所定間隔をもって保持される
ことになる。

【００１５】伝達部材６は、鉛直方向に移動可能に保持
されているとともに、図１（ｃ）に示すように、先端部
に回転軸１４ａを中心に回転自在にプーリ１４が設けら
れている。

【００１６】駆動部材４は、鉛直方向に移動可能に保持
されているとともに、図１（ａ）に示すように、先端部
に回転軸１２ａを中心に回転自在にプーリ１２が設けら
れている。また、駆動部材４は、連結部材１８と連結さ
れており、この連結部材１８には雌ねじが形成され、回
転軸１６に形成された雄ねじと噛み合わさって、連結部
材１８が軸方向に移動するようになっている。固定部材
２は、台座４０に固定されているとともに、連結部材１
８を回転軸１６の方向に案内する機能を果たしている。

【００１７】回転軸１６の下端部にはプーリ２２が固定
され、台座４０上に固定されたモータＭの回転軸に設け
られたプーリ２４とベルトＢによって連結されている。

【００１８】図１（ａ）に示すように、上記の固定部材
２の連結部２ａと伝達部材６の連結部６ａとは、駆動部
材４に設けられたプーリ１２を介して連結ロープＲ1 に
よっ２１て連結されている。図１（c ）に示すように、
上記の駆動部材４の連結部４ａと出力部材８の連結部ａ
８とは、伝達部材６に設けられたプーリ１４を介して連
結ロープＲ2 によって連結されている。したがって、連
結ロープＲ1 およびＲ2 には、上記各部材の重量に応じ
た張力が発生しており、連結ロープＲ1 およびＲ2 の張
力を調整する必要がない。なお、プーリ１２、１４およ
び連結ロープＲ1 ，Ｒ2 は、例えば、ポリアミド系合成
繊維によって表面をコーティングしたものを使用するこ
とができる。

【００１９】一方、ウェハ移動装置１の上方には、ウェ
ハカセットＣが設置されており、このウェハカセットＣ
内に複数のウェハＷが収容されるが、ウェハＷは、ウェ
ハカセットＣ内に所定の間隔で形成された複数の溝に収
まるようになっている。ウェハカセットＣの底部にはウ
ェハ保持体１０が挿入される図示しない挿入用孔が形成
され、挿入用孔からウェハ保持体１０が挿入されること
によって、ウェハカセットＣに収容されたウェハＷがウ
ェハ保持体１０によって突き上げられるかたちで移動す
ることになる。

【００２０】次に、上記のように構成されるウェハ移動
装置１の動作について説明する。まず、図１に示す状態
から、モータＭを所定の方向に回転させると、プーリ２
４、ベルトＢおよびプーリ２２を介して回転軸１６が回
転する。回転軸１６の回転により、図２に示すように、
連結部材１８が上方向に移動するため、これとともに駆
動部材４が上方向に移動する。駆動部材４の上方向への
移動により、プーリ１２を介して連結ロープＲ1 の伝達
部材６側の連結端が引き上げられることになる。これに
より、伝達部材６に駆動部材４からの駆動力が伝達さ
れ、伝達部材６が上方に移動することになる。このとき
の伝達部材６の移動量は駆動部材４の移動量の２倍の移
動量となる。

【００２１】伝達部材６の移動に伴って、伝達部材６と
出力部材８との相対的な位置関係も変化することとな
る。すなわち、駆動部材４と出力部材８とは伝達部材６
に設けられたプーリ１４を介して連結ロープＲ2 によっ
て連結されているため、駆動部材４と伝達部材６との間
の相対的位置の変化分だけ出力部材８が伝達部材６に対
して上方向に移動することになる。したがって、駆動部
材４が台座４０から高さｈの位置まで移動すると、出力
部材８は３倍の高さ３ｈまで上昇することになる。

【００２２】出力部材８は上昇すると、ウェハ保持体１
０によってウェハＷが保持され、当該ウェハＷが突き上
げられるが、モータＭの回転量を制御することにより、
所望の位置に当該ウェハＷを上昇させることができる。

【００２３】このような移動動作中においては、プーリ
１２および１４は、軸１２ａ，１４ａを中心に回転自在
となっており、また連結ロープＲ1 ，Ｒ2 には所定の張
力が発生しているため、プーリ１２，１４と連結ロープ
Ｒ1 ，Ｒ2 との間には摺動による摩擦がほとんど発生し
ない。したがって、従来のように、チェーンと各スプロ
ケットとの接触によって金属粉等の塵が発生するという
ことが防止される。加えて、プーリ１２，１４および連
結ロープＲ1 ，Ｒ2 の表面には、上記したように、合成
繊維がコーティングされており、さらに一層発塵しにく
いものとなっている。このため、塵がウェハＷに付着し
て歩留りが低下するという問題が解消される。

【００２４】また、上記したように出力部材８、伝達部
材６、駆動部材４等の部材が移動する部分での発塵の発
生が防止されるため、この部分以外のモータＭ、回転軸
１６等の位置が固定された部分にのみ、塵が外部へ飛散
するのを防止ためのカバーを設ければよく、また固定さ
れた部分へのカバーの取付は容易に行うことができる。

【００２５】また、本実施形態にかかるウェハ移動装置
１によれば、プーリ１２，１４と連結ロープＲ1 ，Ｒ2
とを有する駆動部の構造が比較的簡素であり、装置の小
型化が可能である。したがって、本実施形態にかかるウ
ェハ移動装置１は、出力部材８の移動ストロークが比較
的大きくとれるため、狭小スペースにおいてウェハＷを
比較的高い位置まで移動させたい場合等に適している。

【００２６】さらに、本実施形態にかかるウェハ移動装
置１によれば、出力部材８の移動にプーリ１２，１４お
よび連結ロープＲ1 ，Ｒ2 を用いているため、出力部材
８の動きがスムーズとなり、ウェハ保持体１０に保持さ
れたウェハＷが振動等によって破損することがない。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るウェ
ハ移動装置によれば、ウェハＷを移動する際に発塵する
ことがなく、ウェハの歩留りの低下を防止することがで
きる。また、本発明に係るウェハ移動装置は構造が比較
的簡素であり、装置の小型化が可能である。さらに、出
力部材８の移動ストロークが比較的大きくとれるため、
狭小スペースにおいてウェハを比較的高い位置まで移動
させたい場合等に適している。さらに、本発明に係るウ
ェハ移動装置によれば、出力部材８の移動にプーリおよ
び連結ロープを用いているため、各部材の動きがスムー
ズとなり、ウェハ保持体に保持されたウェハが振動等に
よって破損することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウェハ移動装置の一実施形態を示
す概略構成図であって、図１（ａ）は左側面図であり、
図１（ｂ）は正面図であり、図１（ｃ）は右側面図であ
る。

【図２】図１に示すウェハ移動装置が動作した状態を示
す説明図であって、図１（ａ）は左側面図であり、図１
（ｂ）は正面図であり、図１（ｃ）は右側面図である。

【図３】従来のウェハ移動装置の一例を示す概略構成図
であ

【図４】図３に示すウェハ移動装置が動作した状態を示
す説明図である。

【符号の説明】

１…ウェハ移動装置、２…固定部材、２ａ…連結部、４
…駆動部材、４ａ…連結部、６…伝達部材、６ａ…連結
部、８…出力部材、８ａ…連結部、１０…ウェハ保持
体、１２…プーリ、１４…プーリ、１６…回転軸、１８
…連結部材、２２，２４…プーリ、４０…台座、Ｍ…モ
ータ、Ｂ…ベルト、Ｃ…ウェハカセット、Ｒ1 ，Ｒ2 …
連結ロープ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】直線移動可能なウェハ保持体によってウェ
   ハを保持し、当該ウェハを所望の位置に移動するウェハ
   移動装置であって、 連結ロープの一端が固定される固定部材と、 直線移動可能に保持された駆動部材と、 前記駆動部材を駆動する駆動手段と、 前記ウェハ保持体が設けられ、かつ前記駆動部材と平行
   に直線移動可能に保持された出力部材と、 前記駆動部材と前記出力部材との間に並列に配設され、
   かつ直線移動可能に保持された少なくとも一の伝達部材
   とを有し、 前記駆動部材および伝達部材の各部材には所定の軸を中
   心に回転可能なプーリがそれぞれ設けられ、前記固定部
   材、前記駆動部材、前記伝達部材および前記出力部材の
   各部材のうち、隣り合う３つの部材の中央に位置する部
   材に設けられたプーリを介して両側に位置する部材間が
   連結ロープによってそれぞれ連結され、前記伝達部材お
   よび前記出力部材は、前記駆動部材の移動に伴って所定
   の方向に連動し、前記出力部材に設けられた前記ウェハ
   保持体が所定の方向に直線移動するウェハ移動装置。
2. 【請求項２】前記駆動部材、伝達部材および前記出力部
   材の各部材は鉛直方向に配置され、前記連結ロープには
   前記各部材の重量によって張力が発生する請求項１に記
   載のウェハ移動装置。
3. 【請求項３】前記プーリおよび前記連結ロープは合成繊
   維によってコーティングされている請求項１に記載のウ
   ェハ移動装置。
4. 【請求項４】前記ウェハ保持体は、ウェハを収容するウ
   ェハ収容体の底部に形成された挿入孔から収容されたウ
   ェハを保持し直線移動して、当該ウェハを所望の位置に
   移動する請求項１に記載のウェハ移動装置。