JPH1038655A - コリオリ式質量流量センサ - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 妨害に起因する励振による測定結果の改変を
できる限り抑える。 【解決手段】 振動系の振動の電磁励振装置が設けら
れていて、該励振装置が励振電流源から供給される、少
なくとも1つの低抵抗の励振コイル、永久磁石を備えた
鉄心および可動子を備えており、並列回路の形式により
励振コイルと連結されたコンデンサが設けられており、
その容量が、励振コイルのインダクタンスに依存して、
コンデンサと励振コイルによって形成された電気的な並
列共振回路の共振周波数が振動系の機械的な共振周波数
にほぼ等しいように選択されている、コリオリ式質量流
量センサ。
できる限り抑える。 【解決手段】 振動系の振動の電磁励振装置が設けら
れていて、該励振装置が励振電流源から供給される、少
なくとも1つの低抵抗の励振コイル、永久磁石を備えた
鉄心および可動子を備えており、並列回路の形式により
励振コイルと連結されたコンデンサが設けられており、
その容量が、励振コイルのインダクタンスに依存して、
コンデンサと励振コイルによって形成された電気的な並
列共振回路の共振周波数が振動系の機械的な共振周波数
にほぼ等しいように選択されている、コリオリ式質量流
量センサ。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、それぞれ入口側と
出口側の接続部材を用いて管路内に挿入されるコリオリ
式質量流量センサに関する。
出口側の接続部材を用いて管路内に挿入されるコリオリ
式質量流量センサに関する。
【0002】
【従来の技術】コリオリ原理により作動する質量流量測
定装置では、測定は周知のように、振動系に属する、少
なくとも1つの直線形または曲線形の振動する測定管を
貫流する被測定流体がコリオリ力を受けることに基づ
く。これによって測定管は入口側の区間において出口側
の区間とは位相シフトをもって振動する。この位相シフ
トの量が質量流量の基準である。
定装置では、測定は周知のように、振動系に属する、少
なくとも1つの直線形または曲線形の振動する測定管を
貫流する被測定流体がコリオリ力を受けることに基づ
く。これによって測定管は入口側の区間において出口側
の区間とは位相シフトをもって振動する。この位相シフ
トの量が質量流量の基準である。
【0003】位相シフトは振動センサによって検出さ
れ、振動センサは機械的な振動をこれを大きさと位相に
よって表す電気的な量に割当て、これから質量流量が電
気的に測定される。
れ、振動センサは機械的な振動をこれを大きさと位相に
よって表す電気的な量に割当て、これから質量流量が電
気的に測定される。
【0004】測定管(単数または複数)の上記の振動の
励起は、たいていは例えばUS−A(米国特許)第52
18873号、同第5531126号、WO−A(世界
知的所有権機構国際公開)第88/02475号、同第
93/03336号に詳細に記載されているような、永
久磁石、鉄心、場合により可動子および少なくとも1つ
の励振コイルを有する励振装置によって行われる。
励起は、たいていは例えばUS−A(米国特許)第52
18873号、同第5531126号、WO−A(世界
知的所有権機構国際公開)第88/02475号、同第
93/03336号に詳細に記載されているような、永
久磁石、鉄心、場合により可動子および少なくとも1つ
の励振コイルを有する励振装置によって行われる。
【0005】励振コイルは、例えば米国特許第4801
097号に位相同期ループとして記載されているように
励振電流源からコイル電流を供給され、これによりコイ
ル電流の周波数は被測定流体の濃度に依存する、振動系
の瞬間的な機械的な共振周波数へロックされ、したがっ
てこれら両周波数は一般に同一である。
097号に位相同期ループとして記載されているように
励振電流源からコイル電流を供給され、これによりコイ
ル電流の周波数は被測定流体の濃度に依存する、振動系
の瞬間的な機械的な共振周波数へロックされ、したがっ
てこれら両周波数は一般に同一である。
【0006】特に米国特許第5531126号に記載の
形式の、測定管とダミー管とを備えた質量流量センサで
は機械的な振動系−共振周波数は振動系の動作周波数か
ら少し(例えば数ヘルツ)異なる。
形式の、測定管とダミー管とを備えた質量流量センサで
は機械的な振動系−共振周波数は振動系の動作周波数か
ら少し(例えば数ヘルツ)異なる。
【0007】もし振動系が、例えば接続された管路から
出る、この振動系の共振周波数に等しい周波数を含む妨
害振動によって励振された場合、励振電流による励振に
加えられる、これら妨害に起因する励振は測定結果を誤
らせる(改変する)。
出る、この振動系の共振周波数に等しい周波数を含む妨
害振動によって励振された場合、励振電流による励振に
加えられる、これら妨害に起因する励振は測定結果を誤
らせる(改変する)。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題はこの改
変をできる限り最適に抑えることである。
変をできる限り最適に抑えることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明によれば、それぞれ入口側と出口側の接続
部材を用いて管路内に挿入されるコリオリ式質量流量セ
ンサにおいて、操作中被測定流体によって貫流される少
なくとも1つの測定管を備えた振動系が設けられてお
り、振動系の振動の電磁励振装置が設けられていて、該
励振装置が励振電流源から給電される、少なくとも1つ
の低抵抗の励振コイル、永久磁石を備えた鉄心および可
動子を備えており、並列回路の形式により励振コイルと
連結されたコンデンサが設けられており、その容量が、
励振コイルのインダクタンスに依存して、コンデンサと
励振コイルによって形成された電気的な並列共振回路の
共振周波数が振動系の機械的な共振周波数にほぼ等しい
ように選択されており、かつ入口側および出口側の振動
のために各1つのセンサが設けられており、センサがそ
れぞれ等距離をおいて測定管の中央と入口側ないしは出
口側の接続部材との間に配置されている。
めに、本発明によれば、それぞれ入口側と出口側の接続
部材を用いて管路内に挿入されるコリオリ式質量流量セ
ンサにおいて、操作中被測定流体によって貫流される少
なくとも1つの測定管を備えた振動系が設けられてお
り、振動系の振動の電磁励振装置が設けられていて、該
励振装置が励振電流源から給電される、少なくとも1つ
の低抵抗の励振コイル、永久磁石を備えた鉄心および可
動子を備えており、並列回路の形式により励振コイルと
連結されたコンデンサが設けられており、その容量が、
励振コイルのインダクタンスに依存して、コンデンサと
励振コイルによって形成された電気的な並列共振回路の
共振周波数が振動系の機械的な共振周波数にほぼ等しい
ように選択されており、かつ入口側および出口側の振動
のために各1つのセンサが設けられており、センサがそ
れぞれ等距離をおいて測定管の中央と入口側ないしは出
口側の接続部材との間に配置されている。
【0010】本発明の有利な第1の実施形によれば、コ
ンデンサが単一の励振コイルに並列接続されている。
ンデンサが単一の励振コイルに並列接続されている。
【0011】本発明の有利な第2の実施形によれば、一
次コイルとしての励振コイルおよび二次コイルが鉄心上
に配置されており、かつコンデンサが二次コイルと並列
接続されている。
次コイルとしての励振コイルおよび二次コイルが鉄心上
に配置されており、かつコンデンサが二次コイルと並列
接続されている。
【0012】本発明の有利な第3の実施形によれば、鉄
心は巻き鉄心である。
心は巻き鉄心である。
【0013】
【発明の効果】本発明の利点は、励振コイルがこれに連
結されたコンデンサと一緒に、供給される励振電流のた
めの並列共振回路を形成することであり、それによりそ
の共振周波数の範囲内に電流ピークが現れ、この電流ピ
ークは供給される励振電流に比較してきわめて増大せし
められた励起力を生む。
結されたコンデンサと一緒に、供給される励振電流のた
めの並列共振回路を形成することであり、それによりそ
の共振周波数の範囲内に電流ピークが現れ、この電流ピ
ークは供給される励振電流に比較してきわめて増大せし
められた励起力を生む。
【0014】本発明のもう1つの利点は、機械的な妨害
振動(特に振動系の機械的な共振周波数に等しい周波数
を持つもの)が、励振コイルへ連結され、かつこれを橋
絡するコンデンサによって著しく減衰されることであ
る。これは、上記のように並列共振回路へ給電する励振
電流源とは対照的に、妨害信号源の電気当量によって励
振コイルとコンデンサとによって形成された直列共振回
路の低インピーダンスの給電が行われ、したがって励振
コイルの低抵抗およびそれによって生じる低い直列共振
抵抗のために実際にほとんど短絡回路への給電が行わ
れ、その結果妨害周波数信号は実際に短絡され、かつ測
定結果は変造され得ないことに因る。
振動(特に振動系の機械的な共振周波数に等しい周波数
を持つもの)が、励振コイルへ連結され、かつこれを橋
絡するコンデンサによって著しく減衰されることであ
る。これは、上記のように並列共振回路へ給電する励振
電流源とは対照的に、妨害信号源の電気当量によって励
振コイルとコンデンサとによって形成された直列共振回
路の低インピーダンスの給電が行われ、したがって励振
コイルの低抵抗およびそれによって生じる低い直列共振
抵抗のために実際にほとんど短絡回路への給電が行わ
れ、その結果妨害周波数信号は実際に短絡され、かつ測
定結果は変造され得ないことに因る。
【0015】
【発明の実施の形態】図1の電気的な回路図(一部が同
時にコリオリ式質量流量センサの振動系の励振装置の等
価回路を成す)は励振コイル15ないしは251+25
2ないしは35のオーム抵抗Rおよび抵抗に直列に位置
したこの励振コイルのインダクタンスLを示す。
時にコリオリ式質量流量センサの振動系の励振装置の等
価回路を成す)は励振コイル15ないしは251+25
2ないしは35のオーム抵抗Rおよび抵抗に直列に位置
したこの励振コイルのインダクタンスLを示す。
【0016】抵抗RとインダクタンスLを含むこの直列
回路にはさらに妨害信号源SQが直列に位置し、妨害信
号源は等価回路によれば妨害電圧uを表し、これは、振
動系が上記の妨害振動によって励振されると常に励振コ
イル内に誘導される。すなわち励振装置は妨害電圧uを
発生する交流発電機として働く。
回路にはさらに妨害信号源SQが直列に位置し、妨害信
号源は等価回路によれば妨害電圧uを表し、これは、振
動系が上記の妨害振動によって励振されると常に励振コ
イル内に誘導される。すなわち励振装置は妨害電圧uを
発生する交流発電機として働く。
【0017】上記3つの、励振コイルに配設されたパラ
メータR、L、SQからなる直列回路にはキャパシタン
スCのコンデンサが並列接続されている。この並列回路
は励振電流源6から上記の振動系の機械的な共振周波数
に等しい周波数を持つ励振電流iを供給される。このよ
うな振動系は以下で図8から図11に関連して詳説され
る。励振電流iは励振コイル内でコイル電流iLを形成
する。
メータR、L、SQからなる直列回路にはキャパシタン
スCのコンデンサが並列接続されている。この並列回路
は励振電流源6から上記の振動系の機械的な共振周波数
に等しい周波数を持つ励振電流iを供給される。このよ
うな振動系は以下で図8から図11に関連して詳説され
る。励振電流iは励振コイル内でコイル電流iLを形成
する。
【0018】励振電流源6としてはコリオリ式質量流量
計の公知技術で記載された装置が使用される(例えば上
記の米国特許第4801897号参照)。
計の公知技術で記載された装置が使用される(例えば上
記の米国特許第4801897号参照)。
【0019】コンデンサのキャパシタンスCは、キャパ
シタンスCおよびインダクタンスLによって形成された
電気的な並列共振回路の共振周波数(以下電気的な共振
周波数として示される)が振動系の機械的な共振周波数
にほぼ等しくなるように設計されなければならない。
シタンスCおよびインダクタンスLによって形成された
電気的な並列共振回路の共振周波数(以下電気的な共振
周波数として示される)が振動系の機械的な共振周波数
にほぼ等しくなるように設計されなければならない。
【0020】この設計では、LC−振動回路の共振−回
路周波数に関する公知の式:Ω2=LC- 1が基になっ
ている;これからCについてC=(Ω2L)- 1が得ら
れる。この場合Ω=2πfであり、fはLC−振動回路
の(電気的な)共振周波数である。
路周波数に関する公知の式:Ω2=LC- 1が基になっ
ている;これからCについてC=(Ω2L)- 1が得ら
れる。この場合Ω=2πfであり、fはLC−振動回路
の(電気的な)共振周波数である。
【0021】コリオリ式質量流量計ではたいていは振動
系の機械的な動作周波数fbはその機械的な共振周波数
fmに等しいものに選択される、それというのもその場
合には少なくとも駆動エネルギーが必要ドイツ連邦共和
国特許出願公開(DE−A)第るからである。しかし振
動系の動作周波数と共振周波数のこの等価(fb=
fm)は必須ではなく、振動系は共振周波数fmとは数
ヘルツの周波数差だけ異なる動作周波数fbでもって励
振されてもよい。
系の機械的な動作周波数fbはその機械的な共振周波数
fmに等しいものに選択される、それというのもその場
合には少なくとも駆動エネルギーが必要ドイツ連邦共和
国特許出願公開(DE−A)第るからである。しかし振
動系の動作周波数と共振周波数のこの等価(fb=
fm)は必須ではなく、振動系は共振周波数fmとは数
ヘルツの周波数差だけ異なる動作周波数fbでもって励
振されてもよい。
【0022】互いに等しい動作周波数と共振周波数を用
いての操作でもまた上記の周波数差をもってしての操作
でも機械的な共鳴周波数を付加的に励起する妨害の影響
はコンデンサによって抑えられ、ないしは弱められる。
いての操作でもまた上記の周波数差をもってしての操作
でも機械的な共鳴周波数を付加的に励起する妨害の影響
はコンデンサによって抑えられ、ないしは弱められる。
【0023】図2に断面図で示された電磁励振装置1の
第1の実施形では、励振装置は有利には円筒形であり、
カップ底111を有する軟磁性のコイルカップ11、永
久磁石12を備えた鉄心13、軟磁性の可動子14およ
び低抵抗の励振コイル15を備えている。鉄心13上に
励振コイル15が巻付けられている。永久磁石12は北
極Nと南極Sとを有し、かつ鉄心13とコイルカップ1
1のカップ底111との間に配置されている。
第1の実施形では、励振装置は有利には円筒形であり、
カップ底111を有する軟磁性のコイルカップ11、永
久磁石12を備えた鉄心13、軟磁性の可動子14およ
び低抵抗の励振コイル15を備えている。鉄心13上に
励振コイル15が巻付けられている。永久磁石12は北
極Nと南極Sとを有し、かつ鉄心13とコイルカップ1
1のカップ底111との間に配置されている。
【0024】コイルカップ11および鉄心13の永久磁
石12とは反対側の端部は整列しており、かつ可動子1
4に対してエアギャップ16を維持している。励振コイ
ル15が上記の励振電流iを供給されると、可動子に対
して力Fが働く。
石12とは反対側の端部は整列しており、かつ可動子1
4に対してエアギャップ16を維持している。励振コイ
ル15が上記の励振電流iを供給されると、可動子に対
して力Fが働く。
【0025】コイルが磁界内を移動する電流力計形の励
振装置とは異なり、電磁励振装置の力Fに関してはマク
スウェルによれば、力Fは永久磁石12の一定の磁気誘
導B12と励振コイル15によって発生される交番磁気
誘導(または変動する磁気誘導Wechselinduktion)B
15の和の二乗に比例する、が該当する:F〜(B12
+B15)2=B12 2+2B12B15+B15 2 振動励起を可能にする交番力F≒はしかし単に中央の項
2B12B15のみによって決定される、それというの
も項B12 2は一定であり、かつB15 2は交流誘導B
15を発生する励振電流iの倍の周波数を持つからであ
る。励振電流の周波数fiは上記のように機械的な共振
周波数fmまたは振動系の共振に近い動作周波数fbに
等しいものに選択される。したがって項B15 2の周波
数はfiの2倍であり、sin2=0.5(1−cos
4πfi)が該当し、したがって共振周波数ないしは動
作周波数から離れており;そのため項B15 2は無視し
得る。
振装置とは異なり、電磁励振装置の力Fに関してはマク
スウェルによれば、力Fは永久磁石12の一定の磁気誘
導B12と励振コイル15によって発生される交番磁気
誘導(または変動する磁気誘導Wechselinduktion)B
15の和の二乗に比例する、が該当する:F〜(B12
+B15)2=B12 2+2B12B15+B15 2 振動励起を可能にする交番力F≒はしかし単に中央の項
2B12B15のみによって決定される、それというの
も項B12 2は一定であり、かつB15 2は交流誘導B
15を発生する励振電流iの倍の周波数を持つからであ
る。励振電流の周波数fiは上記のように機械的な共振
周波数fmまたは振動系の共振に近い動作周波数fbに
等しいものに選択される。したがって項B15 2の周波
数はfiの2倍であり、sin2=0.5(1−cos
4πfi)が該当し、したがって共振周波数ないしは動
作周波数から離れており;そのため項B15 2は無視し
得る。
【0026】したがって交番力F≒についてはF≒〜2
B12B15が得られる。この結果交番力F≒が大きく
なればなるほど、永久磁石12の誘導B12も大きく選
択されなければならない。
B12B15が得られる。この結果交番力F≒が大きく
なればなるほど、永久磁石12の誘導B12も大きく選
択されなければならない。
【0027】図3に断面図で示された電磁励振装置2の
第2の実施形では、励振装置は扁平であり、U字形の軟
磁性の巻き鉄心23、その両脚部231,232の各端
部に配置された各1つの永久磁石221,222、軟磁
性の可動子24、脚部231上に巻付けられた低抵抗の
第1の部分コイル251並びに脚部232上に巻付けら
れた低抵抗の第2の部分コイル252を備えている。
第2の実施形では、励振装置は扁平であり、U字形の軟
磁性の巻き鉄心23、その両脚部231,232の各端
部に配置された各1つの永久磁石221,222、軟磁
性の可動子24、脚部231上に巻付けられた低抵抗の
第1の部分コイル251並びに脚部232上に巻付けら
れた低抵抗の第2の部分コイル252を備えている。
【0028】両部分コイル251,252は同方向に直
列に接続されており、したがって図2の励振コイル15
に相当する励振コイルを形成する。永久磁石221ない
しは222と可動子24との間には各1つのエアギャッ
プ261ないしは262が存在し、これらのエアギャッ
プを越えてマクスウェルの力がそれぞれ働く。
列に接続されており、したがって図2の励振コイル15
に相当する励振コイルを形成する。永久磁石221ない
しは222と可動子24との間には各1つのエアギャッ
プ261ないしは262が存在し、これらのエアギャッ
プを越えてマクスウェルの力がそれぞれ働く。
【0029】図4に断面図で示された電磁励振装置2の
第3の実施形では、励振装置は再び円筒形をしていて、
軟磁性の円筒形のコイルカップ31を備えており、その
カップ底311の内面上に永久磁石32が固定されてい
る。永久磁石は北磁極Nおよび南磁極Sを有している。
したがって図4では永久磁石32の北極Nの外面はカッ
プ底11に接触している。
第3の実施形では、励振装置は再び円筒形をしていて、
軟磁性の円筒形のコイルカップ31を備えており、その
カップ底311の内面上に永久磁石32が固定されてい
る。永久磁石は北磁極Nおよび南磁極Sを有している。
したがって図4では永久磁石32の北極Nの外面はカッ
プ底11に接触している。
【0030】電磁励振装置3はさらに軟磁性の、ヘッド
プレート331を持った縦断面T字形の鉄心33を備
え、ヘッドプレートは永久磁石32に、すなわち図4で
はその南極Sの外面に平らに当接している。
プレート331を持った縦断面T字形の鉄心33を備
え、ヘッドプレートは永久磁石32に、すなわち図4で
はその南極Sの外面に平らに当接している。
【0031】ヘッドプレート331はコイルカップ31
の内面とこのヘッドプレート331の周面との間に第1
のエアギャップ361を維持している。鉄心33はさら
に円筒形の足部332を有し、足部には低抵抗の励振コ
イル35が巻付けられている。
の内面とこのヘッドプレート331の周面との間に第1
のエアギャップ361を維持している。鉄心33はさら
に円筒形の足部332を有し、足部には低抵抗の励振コ
イル35が巻付けられている。
【0032】鉄心33およびコイルカップ31の各端面
は整列しており、かつ可動子34に対して第2のエアギ
ャップ362を維持している。永久磁石32はコイルカ
ップ31、足部332および励振コイルの縦軸線の方向
に磁化される。可動子34と第2のエアギャップ362
との間にマクスウェルの力が働く。
は整列しており、かつ可動子34に対して第2のエアギ
ャップ362を維持している。永久磁石32はコイルカ
ップ31、足部332および励振コイルの縦軸線の方向
に磁化される。可動子34と第2のエアギャップ362
との間にマクスウェルの力が働く。
【0033】図3による第2の実施形および図4による
第3の実施形でもマクスウェルの力は永久磁石221,
222ないしは永久磁石32の一定の磁気誘導と励振コ
イル25ないしは35によって発生された交番磁気誘導
の和の二乗に比例する。
第3の実施形でもマクスウェルの力は永久磁石221,
222ないしは永久磁石32の一定の磁気誘導と励振コ
イル25ないしは35によって発生された交番磁気誘導
の和の二乗に比例する。
【0034】図4による第3の実施形では励振コイル3
5自体によって発生された交番磁界に対して永久磁石3
2は、この永久磁石32の長さ寸法に等しい幅のエアギ
ャップに等価であり、そのために励振コイルは高い磁気
抵抗を持つ磁気回路に給電しなければならない。
5自体によって発生された交番磁界に対して永久磁石3
2は、この永久磁石32の長さ寸法に等しい幅のエアギ
ャップに等価であり、そのために励振コイルは高い磁気
抵抗を持つ磁気回路に給電しなければならない。
【0035】しかし鉄心33の特別な構成によって、鉄
心33内の励振コイル35によって発生される交番磁界
は永久磁石32を含まない磁気回路内に形成され得るの
で、この磁気回路の磁気抵抗は例えば第1の実施形の場
合よりも著しく小さい。
心33内の励振コイル35によって発生される交番磁界
は永久磁石32を含まない磁気回路内に形成され得るの
で、この磁気回路の磁気抵抗は例えば第1の実施形の場
合よりも著しく小さい。
【0036】励振コイル35によって給電される磁気回
路は、すなわち単に鉄心33のヘッドプレート331と
足部332、開口側に位置したコイルカップ31の部
分、可動子34および両エアギャップ361,362か
ら成っている。付加的に永久磁石32は自己の磁気回路
を有し、これはすなわちコイルカップ31の底部311
および隣接部分並びにヘッドプレート331および第1
のエアギャップ361を介して閉じられている。
路は、すなわち単に鉄心33のヘッドプレート331と
足部332、開口側に位置したコイルカップ31の部
分、可動子34および両エアギャップ361,362か
ら成っている。付加的に永久磁石32は自己の磁気回路
を有し、これはすなわちコイルカップ31の底部311
および隣接部分並びにヘッドプレート331および第1
のエアギャップ361を介して閉じられている。
【0037】図5は、有利には円筒形の励振装置4の形
の、図2による励振装置1の発展形を示し、詳細には励
振コイル15は一次コイル451として構成されてお
り、一次コイルは変圧器の形式の低抵抗の二次コイル4
52と協働する。
の、図2による励振装置1の発展形を示し、詳細には励
振コイル15は一次コイル451として構成されてお
り、一次コイルは変圧器の形式の低抵抗の二次コイル4
52と協働する。
【0038】さらに励振装置4は、カップ底部411を
持つ軟磁性のコイルカップ41、永久磁石42を含む鉄
心43、軟磁性の可動子44を備えている。鉄心43に
両コイル451,452が巻付けられている。永久磁石
42は北極Nと南極Sを有していて、鉄心43とコイル
カップ41の底部411との間に配置されている。
持つ軟磁性のコイルカップ41、永久磁石42を含む鉄
心43、軟磁性の可動子44を備えている。鉄心43に
両コイル451,452が巻付けられている。永久磁石
42は北極Nと南極Sを有していて、鉄心43とコイル
カップ41の底部411との間に配置されている。
【0039】鉄心43およびコイルカップ41の永久磁
石42とは反対側の端部は整列しており、かつ可動子4
4に対してエアギャップ46を維持している。一次コイ
ル451へ上記の励振電流iを供給すると、やはり可動
子に対して上記の力Fが働く。
石42とは反対側の端部は整列しており、かつ可動子4
4に対してエアギャップ46を維持している。一次コイ
ル451へ上記の励振電流iを供給すると、やはり可動
子に対して上記の力Fが働く。
【0040】図6は、有利には扁平の励振装置5の形の
図3による励振装置2の発展形を示し、詳細には励振コ
イル25は一次コイル551として構成されており、一
次コイルは変圧器の形式の低抵抗の二次コイル552と
協働する。
図3による励振装置2の発展形を示し、詳細には励振コ
イル25は一次コイル551として構成されており、一
次コイルは変圧器の形式の低抵抗の二次コイル552と
協働する。
【0041】さらに励振装置5はU字形の軟磁性の巻鉄
心53、その両脚部531,532の各端部に配置され
た各1つの永久磁石521,522および軟磁性の可動
子54を備えている。脚部531には一次コイル551
が巻付けられており、かつ脚部532には低抵抗の二次
コイル552が巻付けられている。永久磁石521ない
しは522と可動子54との間には各1つのエアギャッ
プ561ないしは562が存在しており、これらを介し
てマクスウェルの力が有効になる。
心53、その両脚部531,532の各端部に配置され
た各1つの永久磁石521,522および軟磁性の可動
子54を備えている。脚部531には一次コイル551
が巻付けられており、かつ脚部532には低抵抗の二次
コイル552が巻付けられている。永久磁石521ない
しは522と可動子54との間には各1つのエアギャッ
プ561ないしは562が存在しており、これらを介し
てマクスウェルの力が有効になる。
【0042】図7の電気回路図は同時に図5ないしは図
6の励振装置5ないしは6の等価回路図であり、二次側
に二次コイル452ないしは552の低抵抗の抵抗R2
とこれに直列に位置したこの二次コイルのインダクタン
スL2を示す。抵抗R2とインダクタンスL2から成る
この直列回路にはキャパシタンスCのコンデンサが並列
に接続されている。
6の励振装置5ないしは6の等価回路図であり、二次側
に二次コイル452ないしは552の低抵抗の抵抗R2
とこれに直列に位置したこの二次コイルのインダクタン
スL2を示す。抵抗R2とインダクタンスL2から成る
この直列回路にはキャパシタンスCのコンデンサが並列
に接続されている。
【0043】一次側に一次コイル451ないしは551
のオーム抵抗R1がこの一次コイルのインダクタンスL
1に直列に位置している。相互インダクタンスMが得ら
れる、それというのも一次コイル451,551および
二次コイル452ないしは552は各鉄心43ないしは
53によって磁気的に互いに連結されるからである。こ
の連結によってキャパシタンスCのコンデンサは一次側
と連結され、かつこれに変圧器のように並列接続され
る。
のオーム抵抗R1がこの一次コイルのインダクタンスL
1に直列に位置している。相互インダクタンスMが得ら
れる、それというのも一次コイル451,551および
二次コイル452ないしは552は各鉄心43ないしは
53によって磁気的に互いに連結されるからである。こ
の連結によってキャパシタンスCのコンデンサは一次側
と連結され、かつこれに変圧器のように並列接続され
る。
【0044】抵抗R1およびインダクタンスL1の一次
側の直列回路は励振電流源7から、コリオリ式質量流量
センサの振動系の機械的な共振周波数に等しい周波数を
持つ励振電流iを供給される。
側の直列回路は励振電流源7から、コリオリ式質量流量
センサの振動系の機械的な共振周波数に等しい周波数を
持つ励振電流iを供給される。
【0045】コンデンサのキャパシタンスCは、キャパ
シタンスCとインダクタンスL2によって形成される並
列共振回路の電気的な共振周波数が振動系の機械的な共
振周波数にほぼ等しくなるように設定されなければなら
ない。すなわち電気的な共振周波数と機械的な共振周波
数とは、共振周波数で1kHzのオーダー内で例えば数
ヘルツであってよい共振周波数差だけ僅かに互いに異な
っている。
シタンスCとインダクタンスL2によって形成される並
列共振回路の電気的な共振周波数が振動系の機械的な共
振周波数にほぼ等しくなるように設定されなければなら
ない。すなわち電気的な共振周波数と機械的な共振周波
数とは、共振周波数で1kHzのオーダー内で例えば数
ヘルツであってよい共振周波数差だけ僅かに互いに異な
っている。
【0046】図4の励振装置でも、図4の励振コイル3
5を一次コイルとして付加的に二次コイルを設けること
によりコンデンサの変圧器様の連結を配量することがで
きる。
5を一次コイルとして付加的に二次コイルを設けること
によりコンデンサの変圧器様の連結を配量することがで
きる。
【0047】図2から図6による励振装置または他の励
振装置は、操作中被測定流体によって貫流される少なく
とも1つの測定管を含み、かつコリオリ原理により働く
質量流量測定装置の部分である振動系の励振に用いられ
る。振動系は各可動子14,24,34,54を用いて
各励振装置1,2,3,4,5へ機械的に連結される。
振装置は、操作中被測定流体によって貫流される少なく
とも1つの測定管を含み、かつコリオリ原理により働く
質量流量測定装置の部分である振動系の励振に用いられ
る。振動系は各可動子14,24,34,54を用いて
各励振装置1,2,3,4,5へ機械的に連結される。
【0048】図8から図11には4つの異なるタイプの
コリオリ式質量流量センサが示されており、これらはそ
れぞれ励振装置(例えば図2から図6による)によって
振動を励起され得る。したがって図8から図11では励
振装置はただ略示されているにすぎず、各構造は明確に
図示されていない。
コリオリ式質量流量センサが示されており、これらはそ
れぞれ励振装置(例えば図2から図6による)によって
振動を励起され得る。したがって図8から図11では励
振装置はただ略示されているにすぎず、各構造は明確に
図示されていない。
【0049】図8は唯一の測定管401を備えた質量流
量センサ40の部分的に断面された略示図であり、フラ
ンジ402,403を介して図示されていない、質量流
量を測定される流体が流れる管路と接続される。
量センサ40の部分的に断面された略示図であり、フラ
ンジ402,403を介して図示されていない、質量流
量を測定される流体が流れる管路と接続される。
【0050】測定管401は端部でエンドピース44
1,442によって、支持管として構成された支持フレ
ーム404内に取付けられており、したがって測定管は
図8に示されているように直線である場合にはバーのよ
うに励振せしめることが可能である。
1,442によって、支持管として構成された支持フレ
ーム404内に取付けられており、したがって測定管は
図8に示されているように直線である場合にはバーのよ
うに励振せしめることが可能である。
【0051】そのためには電磁励振装置10が配設のコ
イルカップでもって支持フレーム404の(より詳しく
は長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定されて
いる。可動子104がコイルばね80として構成された
部材を介して測定管401と機械的に結合されている。
さらに可動子104はダイヤフラム81およびダイヤフ
ラムホルダー82を介して支持フレーム404と機械的
に結合されている。。したがって可動子104は振動可
能であり、かつその振動はコイルばね80によって測定
管401へ伝達される。
イルカップでもって支持フレーム404の(より詳しく
は長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定されて
いる。可動子104がコイルばね80として構成された
部材を介して測定管401と機械的に結合されている。
さらに可動子104はダイヤフラム81およびダイヤフ
ラムホルダー82を介して支持フレーム404と機械的
に結合されている。。したがって可動子104は振動可
能であり、かつその振動はコイルばね80によって測定
管401へ伝達される。
【0052】ここでは振動系は測定管401とコイルば
ね80と可動子104とダイヤフラム21とを備えてい
る。可動子104は測定管401とは逆位相で振動する
物体の作用を持つ。
ね80と可動子104とダイヤフラム21とを備えてい
る。可動子104は測定管401とは逆位相で振動する
物体の作用を持つ。
【0053】支持フレーム404の、励振装置10の固
定箇所とは反対の側には測定管401の中央からそれぞ
れ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のためのセン
サ406,407が固定されている。
定箇所とは反対の側には測定管401の中央からそれぞ
れ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のためのセン
サ406,407が固定されている。
【0054】測定管401は図8に見られるように直線
であってよく、また図平面に垂直な平面内で多少強く湾
曲していてよい;例えば測定管401はU字形またはΩ
字形に湾曲していてよい。
であってよく、また図平面に垂直な平面内で多少強く湾
曲していてよい;例えば測定管401はU字形またはΩ
字形に湾曲していてよい。
【0055】この場合には励振装置10はUまたはΩの
頂部に作用すると有利であり、かつ支持フレーム404
はこの箇所まで延びている。湾曲した、特にU字形また
はΩ字形の測定管401はここで図8の縦軸線9と一致
する軸線を中心にして曲げ振動を行う。振動センサは、
各エンドピースと頂点との間に位置する測定管部分に配
設される。
頂部に作用すると有利であり、かつ支持フレーム404
はこの箇所まで延びている。湾曲した、特にU字形また
はΩ字形の測定管401はここで図8の縦軸線9と一致
する軸線を中心にして曲げ振動を行う。振動センサは、
各エンドピースと頂点との間に位置する測定管部分に配
設される。
【0056】図9は唯一の測定管501を備えた質量流
量センサ50の部分的に断面された略示図であり、フラ
ンジ502,503を介してやはり図示されていない、
質量流量を測定される流体が流れる管路と接続される。
量センサ50の部分的に断面された略示図であり、フラ
ンジ502,503を介してやはり図示されていない、
質量流量を測定される流体が流れる管路と接続される。
【0057】測定管501は端部でエンドピース54
1,542によって、支持管として構成された支持フレ
ーム504内に取付けられており、したがって測定管
が、図9に示されており、かつこの第2のタイプのもの
については唯一合理的な形状であるように直線である場
合には、バーのように励振せしめることが可能である。
1,542によって、支持管として構成された支持フレ
ーム504内に取付けられており、したがって測定管
が、図9に示されており、かつこの第2のタイプのもの
については唯一合理的な形状であるように直線である場
合には、バーのように励振せしめることが可能である。
【0058】そのためには電磁励振装置10が配設のコ
イルカップでもって支持フレーム504の(より詳しく
は長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定されて
いる。配設の可動子104は、直線の測定管501に平
行に延びた直線のダミー管505として構成され、かつ
節プレート(Knotenplatte)508,509を用いて測
定管501と機械的に結合された部材に固定されてい
る。したがって可動子104は振動可能に固定され、か
つその振動はダミー管505を介して測定管501へ伝
達される。この例では振動系は測定管501とダミー管
505と可動子104とから成る。
イルカップでもって支持フレーム504の(より詳しく
は長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定されて
いる。配設の可動子104は、直線の測定管501に平
行に延びた直線のダミー管505として構成され、かつ
節プレート(Knotenplatte)508,509を用いて測
定管501と機械的に結合された部材に固定されてい
る。したがって可動子104は振動可能に固定され、か
つその振動はダミー管505を介して測定管501へ伝
達される。この例では振動系は測定管501とダミー管
505と可動子104とから成る。
【0059】支持フレーム504の、励振装置10の固
定箇所とは反対の側には測定管501の中央からそれぞ
れ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のためのセン
サ506,507が固定されている。
定箇所とは反対の側には測定管501の中央からそれぞ
れ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のためのセン
サ506,507が固定されている。
【0060】図10は唯一の測定管601を備えた質量
流量センサ60の部分的に断面された略示図であり、フ
ランジ602,603を介してやはり図示されていな
い、質量流量を測定される流体が流れる管路と接続され
る。
流量センサ60の部分的に断面された略示図であり、フ
ランジ602,603を介してやはり図示されていな
い、質量流量を測定される流体が流れる管路と接続され
る。
【0061】測定管601は端部でエンドピース64
1,642によって、支持管として構成された支持フレ
ーム604内に取付けられており、したがって測定管
が、図10に示されており、かつこの第3のタイプのも
のについては唯一合理的な形状であるように直線である
場合には、バーのように励振せしめることが可能であ
る。
1,642によって、支持管として構成された支持フレ
ーム604内に取付けられており、したがって測定管
が、図10に示されており、かつこの第3のタイプのも
のについては唯一合理的な形状であるように直線である
場合には、バーのように励振せしめることが可能であ
る。
【0062】そのためには電磁励振装置10が配設のコ
イルカップでもって支持フレーム604の(より詳しく
は長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定されて
いる。配設の可動子104は、直線の測定管601に同
軸的なダミー管605として構成され、かつ端部プレー
ト608,609を用いて測定管601と機械的に結合
された部材に固定されている。したがって可動子104
は振動可能に固定され、かつその振動はダミー管605
を介して測定管601へ伝達される。この例では振動系
は測定管601と同軸的なダミー管605と可動子10
4とから成る。
イルカップでもって支持フレーム604の(より詳しく
は長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定されて
いる。配設の可動子104は、直線の測定管601に同
軸的なダミー管605として構成され、かつ端部プレー
ト608,609を用いて測定管601と機械的に結合
された部材に固定されている。したがって可動子104
は振動可能に固定され、かつその振動はダミー管605
を介して測定管601へ伝達される。この例では振動系
は測定管601と同軸的なダミー管605と可動子10
4とから成る。
【0063】支持フレーム604の、励振装置10の固
定箇所とは反対の側には測定管601の中央からそれぞ
れ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のためのセン
サ606,607が固定されている。
定箇所とは反対の側には測定管601の中央からそれぞ
れ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のためのセン
サ606,607が固定されている。
【0064】図9ないしは図10の質量流量センサの原
理的な構造はWO−A95/03528号の図1ないし
は図2の装置に相当する。
理的な構造はWO−A95/03528号の図1ないし
は図2の装置に相当する。
【0065】図11は2つの平行な測定管701,70
1′を備えた質量流量センサ70の部分的に断面された
略示図であり、この質量流量センサ70はフランジ70
2,703を介してやはり図示されていない、質量流量
を測定される流体が流れる管路と接続される。
1′を備えた質量流量センサ70の部分的に断面された
略示図であり、この質量流量センサ70はフランジ70
2,703を介してやはり図示されていない、質量流量
を測定される流体が流れる管路と接続される。
【0066】測定管701,701′は端部でエンドピ
ース741,742によって、支持管として構成された
支持フレーム704内に取付けられており、したがって
測定管が直線である場合には、バーのように励振せしめ
ることが可能である。
ース741,742によって、支持管として構成された
支持フレーム704内に取付けられており、したがって
測定管が直線である場合には、バーのように励振せしめ
ることが可能である。
【0067】そのためには第1の電磁励振装置10が配
設のコイルカップでもって支持フレーム704の(より
詳しくは長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定
されている。配設の可動子104は測定管701に固定
されている。
設のコイルカップでもって支持フレーム704の(より
詳しくは長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定
されている。配設の可動子104は測定管701に固定
されている。
【0068】支持フレーム704の、励振装置10の固
定箇所とは反対の側には第2の電磁励振装置10′が配
設のコイルカップでもって支持フレーム704の(より
詳しくは長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定
されている。配設の可動子104′は測定管701′に
固定されている。
定箇所とは反対の側には第2の電磁励振装置10′が配
設のコイルカップでもって支持フレーム704の(より
詳しくは長手側の中央の)壁内に挿入され、ここに固定
されている。配設の可動子104′は測定管701′に
固定されている。
【0069】したがって可動子104,104′は振動
可能に固定され、かつその振動はそれぞれ測定管70
1,701′へ伝達される。この例では振動系は2つの
測定管701,701′と2つの可動子104,10
4′とから成る。
可能に固定され、かつその振動はそれぞれ測定管70
1,701′へ伝達される。この例では振動系は2つの
測定管701,701′と2つの可動子104,10
4′とから成る。
【0070】さらに支持フレーム704の、励振装置1
0の固定箇所とは反対の側には測定管701′の中央か
らそれぞれ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のた
めのセンサ706,707が固定されている。
0の固定箇所とは反対の側には測定管701′の中央か
らそれぞれ距離を置いて2つの、測定管の振動測定のた
めのセンサ706,707が固定されている。
【0071】2つの測定管701,701′は2つの励
振装置10,10′を用いて、測定管が直線である場合
には図平面内で互いに振動する、すなわち互いに向う、
または互いに離れる運動を行うように励振せしめられ
る。
振装置10,10′を用いて、測定管が直線である場合
には図平面内で互いに振動する、すなわち互いに向う、
または互いに離れる運動を行うように励振せしめられ
る。
【0072】2つの測定管701,701′は図11に
見られるように直線であってよく、また図平面に垂直な
平面内で多少強く湾曲していてよい;例えば測定管70
1,701′はU字形またはΩ字形に湾曲していてよ
い。
見られるように直線であってよく、また図平面に垂直な
平面内で多少強く湾曲していてよい;例えば測定管70
1,701′はU字形またはΩ字形に湾曲していてよ
い。
【0073】この場合には励振装置10,10′はUま
たはΩの頂部に作用すると有利であり、かつ支持フレー
ム704はこの箇所まで延びている。湾曲した、特にU
字形またはΩ字形の測定管はここで図11の測定管70
1,701′の各縦軸線と一致する各軸線を中心にして
曲げ振動を行う。振動センサは、各エンドピースと各頂
点との間に位置する各測定管の部分に配設される。
たはΩの頂部に作用すると有利であり、かつ支持フレー
ム704はこの箇所まで延びている。湾曲した、特にU
字形またはΩ字形の測定管はここで図11の測定管70
1,701′の各縦軸線と一致する各軸線を中心にして
曲げ振動を行う。振動センサは、各エンドピースと各頂
点との間に位置する各測定管の部分に配設される。
【0074】特に図8から図10に基づいて説明された
3つのタイプの質量流量センサでは、上記のように振動
系の動作周波数がその機械的な共振周波数から少し異な
っている。この振動系が、接続された管路から発した妨
害振動によってその共振周波数で励振されると、この振
動は測定結果を誤らせる。
3つのタイプの質量流量センサでは、上記のように振動
系の動作周波数がその機械的な共振周波数から少し異な
っている。この振動系が、接続された管路から発した妨
害振動によってその共振周波数で励振されると、この振
動は測定結果を誤らせる。
【0075】この変造は本発明によれば、上記のキャパ
シタンスCのコンデンサが並列回路の形式により励振コ
イルに連結され、有利には直接励振コイルに並列接続さ
れていることによって無効にされる。キャパシタンスC
は、励振コイルのインダクタンスに応じて、コンデンサ
と励振コイルによって形成された電気的な直列共振回路
の共振周波数が振動系の機械的な共振周波数にほぼ等し
くなるように選択される。
シタンスCのコンデンサが並列回路の形式により励振コ
イルに連結され、有利には直接励振コイルに並列接続さ
れていることによって無効にされる。キャパシタンスC
は、励振コイルのインダクタンスに応じて、コンデンサ
と励振コイルによって形成された電気的な直列共振回路
の共振周波数が振動系の機械的な共振周波数にほぼ等し
くなるように選択される。
【0076】これにより、妨害信号源(図1で妨害振動
が妨害電圧uを発生する)の電気当量がこの直列共振回
路の低直列共振−インピーダンスに、すなわち実際にほ
とんど短絡に“出会い(see)”、その結果妨害周波数
信号が測定結果をもはや誤らせることはない。
が妨害電圧uを発生する)の電気当量がこの直列共振回
路の低直列共振−インピーダンスに、すなわち実際にほ
とんど短絡に“出会い(see)”、その結果妨害周波数
信号が測定結果をもはや誤らせることはない。
【0077】したがって機械的な振動、特に機械的な共
振周波数に相当する周波数を持つものは並列に連結され
た、特に並列接続されたコンデンサを備えた励振装置に
よって著しく抑えられる。
振周波数に相当する周波数を持つものは並列に連結され
た、特に並列接続されたコンデンサを備えた励振装置に
よって著しく抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】配設の励振電流源を備えた励振装置の電気回路
図である。
図である。
【図2】励振装置の第1の実施例の断面図である。
【図3】励振装置の第2の実施例の断面図である。
【図4】励振装置の第3の実施例の断面図である。
【図5】励振装置の第1の実施例の発展形の断面図であ
る。
る。
【図6】励振装置の第2の実施例の発展形の断面図であ
る。
る。
【図7】図5および図6に構成の電気回路図である。
【図8】唯一の測定管を備える第1のタイプの質量流量
センサと使用された励振装置を一部断面して示した図で
ある。
センサと使用された励振装置を一部断面して示した図で
ある。
【図9】唯一の直線の測定管とこれに平行なダミー管と
を備える第2のタイプの質量流量センサと使用された励
振装置を一部断面して示した図である。
を備える第2のタイプの質量流量センサと使用された励
振装置を一部断面して示した図である。
【図10】唯一の直線の測定管とこれに同軸のダミー管
とを備える第3のタイプの質量流量センサと使用された
励振装置を一部断面して示した図である。
とを備える第3のタイプの質量流量センサと使用された
励振装置を一部断面して示した図である。
【図11】2つの平行な測定管を備える第4のタイプの
質量流量センサと使用された励振装置を一部断面して示
した図である。
質量流量センサと使用された励振装置を一部断面して示
した図である。
1,2,3,4,10 励振装置、 6,7 励振電流
源、 12;221,222;32;42;521,5
22 永久磁石、 13,23,33,43,53 鉄
心、 14,24,34,44,54,104 可動
子、 15;251,252;35 励振コイル、 4
0,50,60,70 コリオリ式質量流量センサ、
401;501;601;701,701′ 測定管、
402,403;502,503;602,603;
702,703)フランジ、 406,407;50
6,507;606,607;706,707 センサ
源、 12;221,222;32;42;521,5
22 永久磁石、 13,23,33,43,53 鉄
心、 14,24,34,44,54,104 可動
子、 15;251,252;35 励振コイル、 4
0,50,60,70 コリオリ式質量流量センサ、
401;501;601;701,701′ 測定管、
402,403;502,503;602,603;
702,703)フランジ、 406,407;50
6,507;606,607;706,707 センサ
フロントページの続き (72)発明者 クリスティアン マット ドイツ連邦共和国 レーラッハ トゥムリ ンガー シュトラーセ 294アー
Claims (4)
- 【請求項1】 それぞれ入口側と出口側の接続部材(4
02,403;502,503;602,603;70
2,703)を用いて管路内に挿入されるコリオリ式質
量流量センサ(40,50,60,70)において、 操作中被測定流体によって貫流される少なくとも1つの
測定管(401;501;601;701,701′)
を備えた振動系が設けられており、 振動系の振動のための電磁的な励振装置(1,2,3,
4,10)が設けられていて、該励振装置が励振電流源
(6,7)によって給電される、少なくとも1つの低抵
抗の励振コイル(15;251,252;35)、永久
磁石(12;221,222;32;42;521,5
22)を備えた鉄心(13,23,33,43,53)
および可動子(14,24,34,44,54,10
4)を備えており、 並列回路の形式により励振コイルと連結されたコンデン
サが設けられており、その容量(C)が、励振コイルの
インダクタンス(L)に依存して、コンデンサと励振コ
イルによって形成された電気的な並列共振回路の共振周
波数が振動系の機械的な共振周波数にほぼ等しいように
選択されており、かつ入口側および出口側の振動のため
に各1つのセンサ(406,407;506,507;
606,607;706,707)が設けられており、
センサがそれぞれ等距離をおいて測定管の中央と入口側
ないしは出口側の接続部材との間に配置されていること
を特徴とする、コリオリ式質量流量センサ。 - 【請求項2】 コンデンサが唯一の励振コイルに並列接
続されている、請求項1記載のコリオリ式質量流量セン
サ。 - 【請求項3】 一次コイル(L1)としての励振コイル
および二次コイル(L2)が鉄心に配置されており、か
つコンデンサが二次コイルに並列接続されている、請求
項1記載のコリオリ式質量流量センサ。 - 【請求項4】 鉄心が巻鉄心(23,53)である、請
求項1記載のコリオリ式質量流量センサ。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP96106697 | 1996-04-27 | ||
EP19970810059 EP0803713B1 (de) | 1996-04-27 | 1997-02-04 | Coriolis-Massedurchflussaufnehmer |
DE97810059.2 | 1997-02-04 | ||
DE96106697.4 | 1997-02-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1038655A true JPH1038655A (ja) | 1998-02-13 |
JP2831629B2 JP2831629B2 (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=26141896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11055097A Expired - Fee Related JP2831629B2 (ja) | 1996-04-27 | 1997-04-28 | コリオリ式質量流量センサ |
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---|---|
EP (1) | EP0803713B1 (ja) |
JP (1) | JP2831629B2 (ja) |
CN (1) | CN1068115C (ja) |
DE (1) | DE59700779D1 (ja) |
DK (1) | DK0803713T3 (ja) |
ES (1) | ES2140196T3 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007041009A (ja) * | 1999-11-01 | 2007-02-15 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量コントローラ |
CN111183112A (zh) * | 2017-09-26 | 2020-05-19 | 罗伯特·博世有限公司 | 具有干扰模式的抑制的mems设备以及相应的运行方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999051946A1 (de) | 1998-04-03 | 1999-10-14 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Verfahren zum massedurchfluss-messen und entsprechende aufnehmer |
EP1253409A1 (de) * | 2001-04-26 | 2002-10-30 | Endress + Hauser Flowtec AG | Magnetkreisanordnung für einen Messwertaufnehmer |
DE10312796A1 (de) * | 2003-03-21 | 2004-09-30 | Endress + Hauser Flowtec Ag, Reinach | Magnetkreisanordnung für einen Meßaufnehmer |
US7051598B2 (en) | 2003-03-21 | 2006-05-30 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Magnetic circuit arrangement for a sensor |
DE10351311B3 (de) * | 2003-10-31 | 2005-06-30 | Abb Patent Gmbh | Coriolis-Massendurchflussmessgerät |
DE102012011934B4 (de) * | 2012-06-18 | 2014-07-10 | Krohne Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Resonazmesssystems und diesbezügliche Resonanzmesssystem |
CN104541136B (zh) * | 2012-06-18 | 2018-07-27 | 克洛纳测量技术有限公司 | 用来操作共振测量系统的方法 |
DE102013102708A1 (de) * | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßwandler vom Vibrationstyp sowie damit gebildetes Meßsystem |
DE102013102711A1 (de) * | 2013-03-18 | 2014-09-18 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßwandler vom Vibrationstyp sowie damit gebildetes Meßsystem |
EP2938973B1 (de) | 2012-12-30 | 2023-05-03 | Endress+Hauser Flowtec AG | Messwandler vom vibrationstyp sowie damit gebildetes messsystem |
US9546890B2 (en) | 2012-12-30 | 2017-01-17 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Measuring transducer of vibration-type as well as measuring system formed therewith |
DE102019105736B3 (de) * | 2019-03-07 | 2020-06-25 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät mit Coriolis-Messaufnehmer |
DE102019107601A1 (de) | 2019-03-25 | 2020-10-01 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät |
DE102019119231B4 (de) * | 2019-07-16 | 2023-06-22 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Coriolis-Messaufnehmer und Coriolis-Messgerät mit Coriolis-Messaufnehmer |
CN110907010B (zh) * | 2019-12-16 | 2020-12-08 | 中国人民解放军国防科技大学 | 基于流激共振的贮箱内推进剂剩余量测量装置及测量方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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FR2598801A1 (fr) * | 1986-05-13 | 1987-11-20 | Assistance Indle Dauphinoise A | Debitmetre massique a elasticite multimodale |
DE8712331U1 (ja) | 1986-09-26 | 1988-01-28 | Flowtec Ag, Reinach, Basel, Ch | |
US4738144A (en) | 1986-10-03 | 1988-04-19 | Micro Motion, Inc. | Drive means for oscillating flow tubes of parallel path coriolis mass flow rate meter |
EP0448913B1 (de) * | 1990-03-30 | 1994-02-16 | Endress + Hauser Flowtec AG | Nach dem Coriolisprinzip arbeitendes Massendurchfluss-Messgerät |
BR9206318A (pt) | 1991-08-01 | 1995-10-24 | Micro Motion Inc | Medidor de fluxo de massa de efeito coriolis |
ES2133570T3 (es) | 1993-07-21 | 1999-09-16 | Flowtec Ag | Sensor del caudal segun el principio de coriolis. |
-
1997
- 1997-02-04 ES ES97810059T patent/ES2140196T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-04 EP EP19970810059 patent/EP0803713B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-04 DE DE59700779T patent/DE59700779D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-04 DK DK97810059T patent/DK0803713T3/da active
- 1997-04-25 CN CN 97109734 patent/CN1068115C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-04-28 JP JP11055097A patent/JP2831629B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2007041009A (ja) * | 1999-11-01 | 2007-02-15 | Emerson Electric Co | コリオリ質量流量コントローラ |
JP4522985B2 (ja) * | 1999-11-01 | 2010-08-11 | エマーソン エレクトリック カンパニー | コリオリ質量流量コントローラ |
CN111183112A (zh) * | 2017-09-26 | 2020-05-19 | 罗伯特·博世有限公司 | 具有干扰模式的抑制的mems设备以及相应的运行方法 |
CN111183112B (zh) * | 2017-09-26 | 2023-11-14 | 罗伯特·博世有限公司 | 具有干扰模式的抑制的mems设备以及相应的运行方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN1068115C (zh) | 2001-07-04 |
ES2140196T3 (es) | 2000-02-16 |
CN1168970A (zh) | 1997-12-31 |
EP0803713B1 (de) | 1999-12-01 |
JP2831629B2 (ja) | 1998-12-02 |
EP0803713A1 (de) | 1997-10-29 |
DE59700779D1 (de) | 2000-01-05 |
DK0803713T3 (da) | 2000-04-03 |
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