JPH1037957A - 磁気軸受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オートチューニング装置を有する磁気軸受装
置Ａにて、２つのうち１つのタッチダウンベアリング
（第２ＴＤ９）を２つの電磁石２，３の間に配置し、そ
の両電磁石２，３で磁気浮上体１をその長手方向が略水
平となるように各ＴＤ８，９の中心位置で浮上保持させ
る場合に、各位置センサ５，６の出力ゼロ点を各ＴＤ
８，９中心にそれぞれ一致させるためのオートチューニ
ングを正確に行いつつ、その磁気軸受装置Ａ全体を小形
化する。 【解決手段】 第１ＴＤ８、両電磁石２，３並びに磁気
浮上体１の重心の各位置、第１電磁石２における磁気浮
上体１を下降させようとする下降磁力、第２電磁石３に
おける磁気浮上体１を上昇させようとする上昇磁力及び
磁気浮上体１の質量が所定の関係を満たすように構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁力により浮上保
持される回転軸等のような磁気浮上体の浮上位置を調整
するオートチューニング装置を有する磁気軸受装置に関
する技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種の磁気軸受装置は、図５
に示すように、磁気浮上体（２１）の長手方向に離れて
配設され、磁気浮上体（２１）を、磁力によりその長手
方向と略直角方向に浮上保持させる２つの電磁石（２
２），（２２）と、磁気浮上体（２１）の浮上位置をそ
れぞれ検出する２つの位置センサ（２５），（２５）
と、磁気浮上体（２１）が上記各電磁石（２２）や各位
置センサ（２５）に当接しないようにその浮上方向の移
動を規制する２つのタッチダウンベアリング（２８），
（２８）（以下、ＴＤという）とが備えられている。こ
の両ＴＤ（２８），（２８）は、通常、上記両電磁石
（２２），（２２）よりも磁気浮上体（２１）の両端側
に配置されている。そして、各ＴＤ（２８）の中心位置
で磁気浮上体（２１）を浮上保持させるために、上記各
位置センサ（２５）の出力ゼロ点をその各位置センサ
（２５）に近い側の各ＴＤ（２８）の中心位置にそれぞ
れ一致させるように、各位置センサ（２５）の位置を調
整するようになっている。すなわち、上記両電磁石（２
２），（２２）の磁力により磁気浮上体（２１）をある
浮上方向に移動させて両ＴＤ（２８），（２８）に接触
させたときの上記各位置センサ（２５）の出力と、磁気
浮上体（２１）を上記浮上方向と反対方向に移動させて
両ＴＤ（２８），（２８）に接触させたときの上記各位
置センサ（２５）の出力とから上記各ＴＤ（２８）の中
心位置を求め、上記各位置センサ（２５）の出力ゼロ点
が各ＴＤ（２８）の中心位置に一致するように各位置セ
ンサ（２５）をそれぞれ移動させるようになっている。
その後、各出力センサ（２５）の出力ゼロ点を磁気浮上
体（２１）の目標浮上位置とすることで、その磁気浮上
体（２１）を両ＴＤ（２８），（２８）の中心位置で浮
上保持させることができるようになっている。

【０００３】また、例えば特開平２−１０７８１５号公
報に示されているように、各位置センサの位置をその出
力ゼロ点が各ＴＤの中心位置に一致するように調整する
のではなく、各ＴＤの中心位置に相当するときの位置セ
ンサの出力値を求め、その出力値を目標浮上位置とする
ようにゼロ点から補正を行って磁気浮上体をＴＤの中心
位置で浮上させるようにすることが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、両ＴＤを、
上記のように、２つの電磁石よりも磁気浮上体の両端側
に配置すると、磁気軸受装置全体が大きくなる。そのた
め、一方のＴＤ（第１ＴＤ）をそのままにして、他方の
ＴＤ（第２ＴＤ）を両電磁石の間に配置することが考え
られる。この場合、磁気浮上体をある浮上方向に移動さ
せて両ＴＤに接触させようとすると、両電磁石の磁力等
の条件により、磁気浮上体が両ＴＤに同じ側で接触する
ときと、互いに反対側で接触するときとがある。すなわ
ち、第１ＴＤと第２ＴＤとの間にある電磁石（第１電磁
石）の磁力が他方の電磁石（第２電磁石）よりも弱い
と、磁気浮上体は、第２ＴＤを支点として傾き、その第
２ＴＤと接触している側と反対側で第１ＴＤと接触す
る。一方、第２電磁石の磁力が第１電磁石よりも弱い
と、磁気浮上体は傾くことなく同じ側で両ＴＤに接触す
ることになる。このため、磁気浮上体の動きが１つに決
まらず、磁気浮上体がその上側で第１ＴＤと接触してい
るのか下側で接触しているのかを判断することができ
ず、オートチューニングを正確に行うことができない。

【０００５】そこで、磁気浮上体を常に両ＴＤと互いに
反対側で接触させるようにすれば、磁気浮上体の動きが
１つに決まる。そのためには、両電磁石に互いに逆向き
の磁力を発生させて磁気浮上体を強制的に傾かせること
が考えられる。

【０００６】しかし、磁気浮上体を強制的に傾かせる場
合、磁気浮上体をその長手方向が略水平となるように浮
上保持させるものでは、磁気浮上体を第１ＴＤとは下側
で、また第２ＴＤとは上側でそれぞれ接触させようとす
るとき、第２電磁石のみの磁力で磁気浮上体の重力及び
第１電磁石の磁力に抗してその磁気浮上体の第２電磁石
側端部を上昇させる必要があるため、第２電磁石のサイ
ズが大きくなり、磁気軸受装置の小形化には不利であ
る。

【０００７】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、２つのうち１つのＴ
Ｄを２つの電磁石の間に配置し、その両電磁石で磁気浮
上体をその長手方向が略水平となるように各ＴＤの中心
位置で浮上保持させる場合に、磁気軸受装置の構造を改
良することによって、オートチューニングを正確に行い
つつ、電磁石のサイズアップを防止し、磁気軸受装置全
体を小形化することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、第１ＴＤ、両電磁石並びに磁気浮
上体の重心の各位置、第１電磁石における磁気浮上体を
下降させようとする下降磁力、第２電磁石における磁気
浮上体を上昇させようとする上昇磁力及び磁気浮上体の
質量が所定の関係を満たすように構成した。

【０００９】具体的には、請求項１の発明では、図１に
示すように、オートチューニング装置を有する磁気軸受
装置であって、水平方向に離れて配置され、磁気浮上体
（１）を、下降させようとする下降磁力と上昇させよう
とする上昇磁力とのバランスにより該磁気浮上体（１）
の長手方向が略水平となるように浮上保持させる第１及
び第２電磁石（２），（３）と、上記磁気浮上体（１）
の浮上位置をそれぞれ検出する２つの位置センサ
（５），（６）と、上記第１電磁石（２）に対して上記
第２電磁石と反対側に配置され、上記磁気浮上体（１）
の浮上方向の移動を規制する第１タッチダウンベアリン
グ（８）と、上記第１及び第２電磁石（２），（３）間
に配置され、上記磁気浮上体（１）の浮上方向の移動を
規制する第２タッチダウンベアリング（９）とを備え、
第１電磁石（２）における上記下降磁力をＦ１、第２電
磁石（３）における上記上昇磁力をＦ２、磁気浮上体
（１）の質量をｍ、重力加速度をｇとし、第１タッチダ
ウンベアリング（８）からの水平方向距離で、磁気浮上
体（１）における上記下降磁力Ｆ１の作用点までをＬ
１、上記上昇磁力Ｆ２の作用点までをＬ２、磁気浮上体
（１）の重心までをＬ３としたとき、 Ｆ２×Ｌ２＞ｍ×ｇ×Ｌ３＋Ｆ１×Ｌ１ の関係を満たすように構成する。

【００１０】この発明により、第１電磁石（２）に磁気
浮上体（１）を下降させようとする下降磁力Ｆ１を、ま
た第２電磁石（３）に磁気浮上体（１）を上昇させよう
とする上昇磁力Ｆ２をそれぞれ発生させると、磁気浮上
体（１）における第１ＴＤ（８）回りのモーメントは、
第２電磁石（３）により磁気浮上体（１）の第２電磁石
（３）側端部を上昇させようとするモーメントが、第１
電磁石（２）及び磁気浮上体（１）の重力により磁気浮
上体（１）の第２電磁石（３）側端部を下降させようと
するモーメントよりも大きいので、磁気浮上体（１）
は、その第２電磁石（３）側端部が上昇するように第１
ＴＤ（８）回りに回転し、第２ＴＤ（９）とは上側で、
また第１ＴＤ（８）とは下側でそれぞれ接触する。一
方、第１電磁石（２）に磁気浮上体（１）を上昇させよ
うとする上昇磁力を、また第２電磁石（３）に磁気浮上
体（１）を下降させようとする下降磁力をそれぞれ発生
させると、両電磁石（２），（３）の各磁力は第２ＴＤ
（９）回りに磁気浮上体（１）の第１電磁石（２）側端
部を上昇させるモーメントとして働く。そして、第２Ｔ
Ｄ（９）から磁気浮上体（１）重心までの距離は両電磁
石（２），（３）までの距離よりも極めて小さいので、
磁気浮上体（１）の重力がそのモーメントと反対方向の
モーメントとして作用するとしても、磁気浮上体（１）
の重力によるモーメントは極めて小さく、磁気浮上体
（１）は、その第１電磁石（２）側端部が上昇するよう
に第２ＴＤ（９）回りに回転する。その結果、磁気浮上
体（１）を第２ＴＤ（９）とは下側で、また第１ＴＤ
（８）とは上側でそれぞれ接触させることができ、各Ｔ
Ｄ（８），（９）に上下反対側で接触させたときにその
各ＴＤ（８），（９）にそれぞれ近い側の位置センサ
（５），（６）の出力から各ＴＤ（８），（９）の中心
位置を正確に求めることができる。したがって、第２電
磁石（３）の磁力を大きくしなくても、第１ＴＤ（８）
や両電磁石（２），（３）の位置等を所定の範囲とする
ことで、オートチューニングを正確に行うことができ
る。よって、第２電磁石（３）のサイズアップを防ぎ、
磁気軸受装置全体を小形化することができる。

【００１１】請求項２の発明では、請求項１の発明にお
いて、磁気浮上体（１）は、ターボ分子ポンプにおける
ポンプロータを回転一体に取付固定した回転軸とする。

【００１２】このことで、ターボ分子ポンプでは、回転
軸の一端に重量の大きなポンプロータが回転一体に取付
固定されているので、サイズの大きな電磁石が必要とな
るが、第１ＴＤ（８）や両電磁石（２），（３）の位置
等を所定の範囲とすることで、第２電磁石（３）を小形
化することができ、ターボ分子ポンプ全体の小形化を図
ることができる。よって、この磁気軸受装置の有効な利
用を図ることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係るオ
ートチューニング装置を有する磁気軸受装置（Ａ）を模
式的に示す。（１）はターボ分子ポンプ内に設けられて
いる磁気浮上体としての回転軸であり、この回転軸
（１）の右端部に、図示しないが、回転翼を形成したポ
ンプロータが回転一体に取付固定されている。このた
め、ポンプロータを含めた回転軸（１）の重心位置は、
この回転軸（１）の左右方向中央よりも右側にずれてい
る。

【００１４】上記回転軸（１）の左右方向中央よりも左
側には第１電磁石（２）が、また回転軸（１）の右端部
には第２電磁石（３）がそれぞれ水平方向に離れて配置
されている。この第１及び第２電磁石（２），（３）
は、図２に示すように、回転軸（１）の周囲を囲むよう
に８歯のコア（４），（４），…が等間隔に設けられ、
各コア（４）に電磁コイル（１０），（１０），…が多
層に巻き付けられている。また、図２に一点鎖線で示す
ように、回転軸（１）の上下左右部にそれぞれ隣り合っ
て位置する２歯分のコア（４），（４）で磁路を形成
し、その磁力により回転軸（１）を上下左右方向にそれ
ぞれ吸引することができるようになっている。そして、
各２歯分のコア（４），（４）における回転軸（１）を
上下左右方向に移動させようとする各磁力のバランスに
より回転軸（１）の長手方向が略水平となるように回転
軸（１）を各電磁石（２），（３）内で浮上保持させる
ようになっている。

【００１５】上記第１電磁石（２）の左側近傍には第１
位置センサ（５）が、また上記第２電磁石（３）の右側
近傍には第２位置センサ（６）がそれぞれ配置されてい
る。これら第１及び第２位置センサ（５），（６）は、
図２に示すように、上記第１及び第２電磁石（２），
（３）における磁路を形成する２歯のコア（４），
（４）間にそれぞれ配置した上下左右の４つの検出部
（７），（７）…を有する。この各位置センサ（５），
（６）は、その４つの検出部（７），（７）…によって
回転軸（１）の上下左右方向の浮上位置を検出し、回転
軸（１）が各位置センサ（５），（６）の中心位置つま
り４つの検出部（７），（７）…の中心位置にあると
き、各位置センサ（５），（６）の出力はゼロとなるよ
うになっている。

【００１６】上記第１電磁石（２）に対して第２電磁石
（３）と反対側には第１ＴＤ（８）が、また上記第１電
磁石（２）と第２電磁石（３）との間には第２ＴＤ
（９）がそれぞれ配置され、これら第１及び第２ＴＤ
（８），（９）は、上記回転軸（１）と僅かな隙間を有
して略嵌合するベアリングであり、回転軸（１）の浮上
方向の移動を規制して回転軸（１）が両電磁石（２），
（３）及び両位置センサ（５），（６）に当接しないよ
うになっている。そして、後述の如く、第１及び第２Ｔ
Ｄ（８），（９）の中心位置が上記第１及び第２位置セ
ンサ（５），（６）の中心位置つまり出力ゼロ点にそれ
ぞれ一致するように両位置センサ（５），（６）の位置
が調整され、回転軸（１）は各ＴＤ（８），（９）の中
心位置で浮上保持されるようになっている。尚、第２Ｔ
Ｄ（９）は、ポンプロータを含めた回転軸（１）の重心
位置よりも第２電磁石（３）側に位置するように設けら
れている。

【００１７】この磁気軸受装置（Ａ）は、第１電磁石
（２）の下部２歯分のコア（４），（４）による回転軸
（１）を下降させようとする磁気吸引力（下降磁力）を
Ｆ１、第２電磁石（３）の上部２歯分のコア（４），
（４）による回転軸（１）を上昇させようとする磁気吸
引力（上昇磁力）をＦ２、ポンプロータを含む回転軸
（１）の質量をｍ、重力加速度をｇとし、上記第１ＴＤ
（８）からの水平方向距離で、回転軸（１）における上
記下降磁力Ｆ１の作用点までをＬ１、上記上昇磁力Ｆ２
の作用点までをＬ２、磁気浮上体の重心までをＬ３とし
たとき、以下の数式１の関係を満たすように構成されて
いる。

【００１８】

【数１】

【００１９】ここで、上記第２電磁石（３）における上
昇磁力の最大値は、上部２歯分のコアの磁路断面積をＡ
２、飽和磁束密度をＢ２、透磁率をμとすると、数式２
のようになる。

【００２０】

【数２】

【００２１】そして、上記数式１に数式２を代入し、数
式１のＦ１×Ｌ１を無視すると、以下の数式３が得ら
れ、この関係を満たすように第２電磁石（３）が構成さ
れている。

【００２２】

【数３】

【００２３】以上の構成からなる磁気軸受装置（Ａ）に
おいて、第１及び第２ＴＤ（８），（９）の中心位置が
上記第１及び第２位置センサ（５），（６）の中心位置
である出力ゼロ点にそれぞれ一致するように両位置セン
サ（５），（６）の位置を調整するオートチューニング
の方法を説明する。先ず、第１電磁石（２）の下部２歯
分のコア（４），（４）に回転軸（１）を下降させよう
とする下降磁力Ｆ１を、また第２電磁石（３）の上部２
歯分のコア（４），（４）に回転軸（１）を上昇させよ
うとする上昇磁力Ｆ２をそれぞれ発生させる。すると、
回転軸（１）における第１ＴＤ（８）回りのモーメント
は、数式１より、回転軸（１）の第２電磁石（３）側端
部を上昇させようとするモーメント（図１で反時計回り
方向のモーメント）が、回転軸（１）の第２電磁石
（３）側端部を下降させようとするモーメント（図１で
時計回り方向のモーメント）よりも大きいので、回転軸
（１）はその第２電磁石（３）側端部が上昇するように
第１ＴＤ（８）回りに回転し、図３に示すように、第２
ＴＤ（９）とは上側で、また第１ＴＤ（８）とは下側で
それぞれ接触する。このとき、第１及び第２位置センサ
（５），（６）がそれぞれ出力する出力値を記憶してお
く。

【００２４】続いて、図４に示すように、第１電磁石
（２）の上部２歯分のコア（４），（４）に回転軸
（１）を上昇させようとする上昇磁力を、また第２電磁
石（３）の下部２歯分のコア（４），（４）に回転軸
（１）を下降させようとする下降磁力をそれぞれ発生さ
せると、両電磁石（２），（３）の各磁力が第２ＴＤ
（９）回りに回転軸（１）の第１電磁石（２）側端部を
上昇させるモーメント（図４で時計回り方向のモーメン
ト）として働く。そして、第２ＴＤ（９）からの回転軸
（１）重心までの距離は両電磁石（２），（３）までの
距離よりも極めて小さいので、その時計回り方向のモー
メントは、回転軸（１）の重力による反時計回り方向の
モーメントよりも大きい。このことで、回転軸（１）は
第２ＴＤ（９）回りに反時計回り方向に回転し、第２Ｔ
Ｄ（９）とは下側で、また第１ＴＤ（８）とは上側でそ
れぞれ接触する。このとき、第１及び第２位置センサ
（５），（６）がそれぞれ出力する出力値を記憶する。

【００２５】尚、上記各出力値を記憶する際、第２位置
センサ（６）の位置が第２ＴＤ（９）から離れているこ
とにより、回転軸（１）が傾く分、その回転軸（１）の
第２センサ（６）部分の変位量と第２ＴＤ（９）部分で
の変位量とが異なるので、その異なる分を第２センサ
（６）の出力値に対し補正を行って記憶することが望ま
しい。

【００２６】次に、左右方向についても上記上下方向と
同様に行い、回転軸（１）をその左右両側で各ＴＤ
（８），（９）に接触させたときの各センサ（５），
（６）がそれぞれ出力する出力値を記憶する。

【００２７】そして、各位置センサ（５），（６）毎に
記憶した各出力値から各位置センサ（５），（６）にそ
れぞれ近い側に位置する各ＴＤ（８），（９）の中心位
置を求め、この中心位置に各位置センサ（５），（６）
の出力ゼロ点を一致させるように各位置センサ（５），
（６）を上下左右方向にそれぞれ移動させる。このこと
で、第１及び第２ＴＤ（８），（９）の中心位置を上記
第１及び第２位置センサ（５），（６）の中心位置であ
る出力ゼロ点にそれぞれ一致させることができる。

【００２８】上述の如く、両位置センサ（５），（６）
の位置を調整した後、ターボ分子ポンプを作動させる
と、回転軸（１）は磁気軸受装置（Ａ）の両電磁石
（２），（３）によって浮上保持された状態で回転し、
ポンプロータの回転翼によって所定の動作がなされる。
このとき、両電磁石（２），（３）における上下左右方
向に回転軸（１）を移動させようとする各磁力のバラン
スによって、各位置センサ（５），（６）の出力がゼロ
となるように回転軸（１）の位置が制御される。このこ
とで、回転軸（１）は各ＴＤ（８），（９）の中心位置
に浮上保持され、各ＴＤ（８），（９）への片当たりを
防止することができる。

【００２９】したがって、上記実施形態では、数式１の
関係を満たすように磁気軸受装置（Ａ）を構成したこと
により、第２電磁石（３）の磁気吸引力を大きくしなく
ても、第１ＴＤ（８）や両電磁石（２），（３）の位置
等を所定の範囲とすることで、オートチューニングを正
確に行うことができる。よって、第２電磁石（３）のサ
イズを大きくする必要がなく、磁気軸受装置（Ａ）全体
を小形化することができる。

【００３０】また、ターボ分子ポンプにおけるポンプロ
ータを回転一体に取付固定した回転軸（１）を磁気浮上
体としたことにより、回転軸（１）の一端に重量の大き
なポンプロータが回転一体に取付固定されていても、オ
ートチューニングのためにサイズの大きな電磁石を必要
とせず、ターボ分子ポンプ全体を小形化することができ
る。よって、この磁気軸受装置（Ａ）を有効に利用する
ことができる。

【００３１】尚、上記実施形態では、第２位置センサ
（６）の位置が、第２ＴＤ（９）から離れた位置に配置
したが、第２ＴＤ（９）と第２電磁石（３）との間に配
置してもよい。この場合、第２ＴＤ（９）の位置に近く
なるため、上記のように、補正を行う必要はなくなる。

【００３２】また、上記実施形態では、磁気浮上体
（１）を、ターボ分子ポンプにおけるポンプロータを回
転一体に取付固定した回転軸としたが、本発明は、工作
機械の磁気軸受型スピンドルのロータや磁気浮上搬送装
置の磁気浮上体にも適用することができる。

【００３３】さらに、第２ＴＤ（９）を回転軸（１）重
心よりも第２電磁石（３）側に配置したが、数式１を満
たしさえすれば、第２ＴＤ（９）と回転軸（１）重心と
の位置関係はどのようになっていてもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、オートチューニング装置を有する磁気軸受装置
にて、第２ＴＤを両電磁石の間に配置し、その両電磁石
で磁気浮上体をその長手方向が略水平となるように各Ｔ
Ｄの中心位置で浮上保持させる場合に、第１ＴＤ、両電
磁石並びに磁気浮上体の重心の各位置、第１電磁石にお
ける磁気浮上体を下降させようとする下降磁力、第２電
磁石における磁気浮上体を上昇させようとする上昇磁力
及び磁気浮上体の質量が所定の関係を満たすように構成
したことにより、第２電磁石のサイズアップを防止し、
磁気軸受装置全体の小形化を図ることができる。

【００３５】請求項２の発明によると、磁気浮上体を、
ターボ分子ポンプにおけるポンプロータを回転一体に取
付固定した回転軸としたことにより、この磁気軸受装置
の有効な利用を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るオートチューニング装
置を有する磁気軸受装置を模式的に示す構成図である。

【図２】図１のIIーII線断面図である。

【図３】オートチューニング時に回転軸を第１ＴＤ回り
に反時計回り方向に回転させた状態を示す図１相当図で
ある。

【図４】オートチューニング時に回転軸を第２ＴＤ回り
に時計回り方向に回転させた状態を示す図１相当図であ
る。

【図５】従来のオートチューニング装置を有する磁気軸
受装置を模式的に示す構成図である。

【符号の説明】

（Ａ） 磁気軸受装置 （１） 磁気浮上体 （２） 第１電磁石 （３） 第２電磁石 （５） 第１位置センサ （６） 第２位置センサ （７） 第１タッチダウンベアリング（第１ＴＤ） （８） 第２タッチダウンベアリング（第２ＴＤ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】オートチューニング装置を有する磁気軸受
   装置であって、 水平方向に離れて配置され、磁気浮上体（１）を、下降
   させようとする下降磁力と上昇させようとする上昇磁力
   とのバランスにより該磁気浮上体（１）の長手方向が略
   水平となるように浮上保持させる第１及び第２電磁石
   （２），（３）と、 上記磁気浮上体（１）の浮上位置をそれぞれ検出する２
   つの位置センサ（５），（６）と、 上記第１電磁石（２）に対して上記第２電磁石と反対側
   に配置され、上記磁気浮上体（１）の浮上方向の移動を
   規制する第１タッチダウンベアリング（８）と、 上記第１及び第２電磁石（２），（３）間に配置され、
   上記磁気浮上体（１）の浮上方向の移動を規制する第２
   タッチダウンベアリング（９）とを備え、 第１電磁石（２）における上記下降磁力をＦ１、第２電
   磁石（３）における上記上昇磁力をＦ２、磁気浮上体
   （１）の質量をｍ、重力加速度をｇとし、第１タッチダ
   ウンベアリング（８）からの水平方向距離で、磁気浮上
   体（１）における上記下降磁力Ｆ１の作用点までをＬ
   １、上記上昇磁力Ｆ２の作用点までをＬ２、磁気浮上体
   （１）の重心までをＬ３としたとき、 Ｆ２×Ｌ２＞ｍ×ｇ×Ｌ３＋Ｆ１×Ｌ１ の関係を満たすように構成したことを特徴とする磁気軸
   受装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の磁気軸受装置において、 磁気浮上体（１）は、ターボ分子ポンプにおけるポンプ
   ロータを回転一体に取付固定した回転軸であることを特
   徴とする磁気軸受装置。