JPH1035600A - 真空チャンバ - Google Patents
真空チャンバInfo
- Publication number
- JPH1035600A JPH1035600A JP8195927A JP19592796A JPH1035600A JP H1035600 A JPH1035600 A JP H1035600A JP 8195927 A JP8195927 A JP 8195927A JP 19592796 A JP19592796 A JP 19592796A JP H1035600 A JPH1035600 A JP H1035600A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- optical path
- theodolite
- vacuum chamber
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B64—AIRCRAFT; AVIATION; COSMONAUTICS
- B64G—COSMONAUTICS; VEHICLES OR EQUIPMENT THEREFOR
- B64G7/00—Simulating cosmonautic conditions, e.g. for conditioning crews
- B64G2007/005—Space simulation vacuum chambers
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チャンバノズルが必ずしも都合の良い位置に
なくても供試体のアライメントを測定可能とし、供試体
の熱歪等の測定精度を向上させる。 【解決手段】 真空チャンバ１に配設されたチャンバノ
ズル２にはガラス３が組み込まれており、供試体４には
アライメント用のミラー５が取付けられている。セオド
ライト６は真空チャンバ１の外部からガラス３を介して
ミラー５のアライメントを測定する。光路変換部７はチ
ャンバノズル２に取付けられ、セオドライト６からの照
射光の光軸１１を光路変換部７内のリフレクタ８，９に
よって９０゜ずつ反射させてセオドライト６からの照射
光の光路を変える。リフレクタ９は矢印Ａ，Ｂの方向に
夫々平行移動し、光路変換部７の全体は光軸１１回りに
矢印Ｃの方向に回転する。
なくても供試体のアライメントを測定可能とし、供試体
の熱歪等の測定精度を向上させる。 【解決手段】 真空チャンバ１に配設されたチャンバノ
ズル２にはガラス３が組み込まれており、供試体４には
アライメント用のミラー５が取付けられている。セオド
ライト６は真空チャンバ１の外部からガラス３を介して
ミラー５のアライメントを測定する。光路変換部７はチ
ャンバノズル２に取付けられ、セオドライト６からの照
射光の光軸１１を光路変換部７内のリフレクタ８，９に
よって９０゜ずつ反射させてセオドライト６からの照射
光の光路を変える。リフレクタ９は矢印Ａ，Ｂの方向に
夫々平行移動し、光路変換部７の全体は光軸１１回りに
矢印Ｃの方向に回転する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空チャンバに関
し、特に人工衛星またはそれに搭載される光学センサ等
の熱真空試験用の真空チャンバに関する。
し、特に人工衛星またはそれに搭載される光学センサ等
の熱真空試験用の真空チャンバに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の真空チャンバは人工衛星
が打ち上げられた後に受ける宇宙環境（高真空、低温
等）を模擬するための装置で、人工衛星またはそれに搭
載される光学センサ等をその中に設置し、それらの機能
や性能を評価する試験（熱真空試験等）に使われてい
る。
が打ち上げられた後に受ける宇宙環境（高真空、低温
等）を模擬するための装置で、人工衛星またはそれに搭
載される光学センサ等をその中に設置し、それらの機能
や性能を評価する試験（熱真空試験等）に使われてい
る。
【０００３】上記の人工衛星に搭載する光学センサの熱
真空試験においては、真空チャンバ内の光学センサ等が
熱歪等によって微小な動きをする（アライメントが変化
する）ので、それを外部からモニタする必要がある。
真空試験においては、真空チャンバ内の光学センサ等が
熱歪等によって微小な動きをする（アライメントが変化
する）ので、それを外部からモニタする必要がある。
【０００４】そのモニタ方法としては、光学センサ等に
おけるアライメントの変化をモニタしたい部分にミラー
を取付け、チャンバノズルのガラスを介して外部からセ
オドライトで測定する方法がある。ここで、セオドライ
ト（経緯儀）とは光学的に物体の方位角、仰角を測定す
る装置を示している。
おけるアライメントの変化をモニタしたい部分にミラー
を取付け、チャンバノズルのガラスを介して外部からセ
オドライトで測定する方法がある。ここで、セオドライ
ト（経緯儀）とは光学的に物体の方位角、仰角を測定す
る装置を示している。
【０００５】この方法の場合、光学センサ等を設置する
際にはチャンバノズルの外部から光学センサ等に取付け
たミラーを測定することができる（チャンバノズルとミ
ラーとが正対する）位置に合わせる必要がある。
際にはチャンバノズルの外部から光学センサ等に取付け
たミラーを測定することができる（チャンバノズルとミ
ラーとが正対する）位置に合わせる必要がある。
【０００６】すなわち、図４に示すように、真空チャン
バ１に配設されたチャンバノズル２にはガラス３が組み
込まれており、試験対象の光学センサ等（以下、供試体
とする）４にはアライメント用のミラー５が取付けられ
ている。
バ１に配設されたチャンバノズル２にはガラス３が組み
込まれており、試験対象の光学センサ等（以下、供試体
とする）４にはアライメント用のミラー５が取付けられ
ている。
【０００７】セオドライト６は真空チャンバ１外部から
ガラス３を介してミラー５のアライメントを測定する
が、ミラー５とチャンバノズル２との位置を対向させる
必要があるため、供試体４の設置位置がチャンバノズル
２の位置によって限定されてしまう。
ガラス３を介してミラー５のアライメントを測定する
が、ミラー５とチャンバノズル２との位置を対向させる
必要があるため、供試体４の設置位置がチャンバノズル
２の位置によって限定されてしまう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の真空チ
ャンバでは、内部に載置された光学センサ等に取付けら
れたミラーからの反射光軸を外部からセオドライトで測
定する場合、ガラス付きのチャンバノズルから見て真正
面にあるミラーしか測定できないので、光学センサ等を
チャンバノズルの位置に合わせて設置しなければならな
い。つまり、光学センサの設置位置がチャンバノズルの
位置によって限定されてしまう。
ャンバでは、内部に載置された光学センサ等に取付けら
れたミラーからの反射光軸を外部からセオドライトで測
定する場合、ガラス付きのチャンバノズルから見て真正
面にあるミラーしか測定できないので、光学センサ等を
チャンバノズルの位置に合わせて設置しなければならな
い。つまり、光学センサの設置位置がチャンバノズルの
位置によって限定されてしまう。
【０００９】また、熱真空試験中における光学センサ等
の熱歪を調べるためには、光学センサ等にミラーを数箇
所取付け、そのミラーに対してアライメントを測定する
ことが望ましいが、複数のミラーに対するアライメント
を測定するためには複数のセオドライトとチャンバノズ
ルとが必要になる。
の熱歪を調べるためには、光学センサ等にミラーを数箇
所取付け、そのミラーに対してアライメントを測定する
ことが望ましいが、複数のミラーに対するアライメント
を測定するためには複数のセオドライトとチャンバノズ
ルとが必要になる。
【００１０】しかしながら、チャンバノズルの数は熱的
・光学的理由により制限があり、一般的には２〜３個程
度しか設置することができず、また複数のチャンバノズ
ルが必ずしも都合の良い位置（チャンバノズルから真正
面にミラーが見える位置）にあるとは限らない。
・光学的理由により制限があり、一般的には２〜３個程
度しか設置することができず、また複数のチャンバノズ
ルが必ずしも都合の良い位置（チャンバノズルから真正
面にミラーが見える位置）にあるとは限らない。
【００１１】そこで、本発明の目的は上記の問題点を解
消し、チャンバノズルが必ずしも都合の良い位置になく
ても光学センサ等のアライメントを測定することが可能
となり、光学センサ等の熱歪等の測定精度を向上させる
ことができる真空チャンバを提供することにある。
消し、チャンバノズルが必ずしも都合の良い位置になく
ても光学センサ等のアライメントを測定することが可能
となり、光学センサ等の熱歪等の測定精度を向上させる
ことができる真空チャンバを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明による真空チャン
バは、内部に載置された供試体に対して熱真空試験を行
う際に、前記熱真空試験による前記供試体のアライメン
トの変化をセオドライトでモニタするためのチャンバノ
ズルを備えた真空チャンバであって、内部に配設されか
つ前記チャンバノズルを介して入射される前記セオドラ
イトからの照射光の方向を可変する光路変換機構を備え
ている。
バは、内部に載置された供試体に対して熱真空試験を行
う際に、前記熱真空試験による前記供試体のアライメン
トの変化をセオドライトでモニタするためのチャンバノ
ズルを備えた真空チャンバであって、内部に配設されか
つ前記チャンバノズルを介して入射される前記セオドラ
イトからの照射光の方向を可変する光路変換機構を備え
ている。
【００１３】上記の如く、真空チャンバに取付けたチャ
ンバノズルの内側にセオドライトの光の方向を変える光
路変換機構を設ける。これによって、１つのチャンバノ
ズルから測定できる範囲が広がるので、光学センサ等の
設置位置がチャンバノズルの位置に制限されない。
ンバノズルの内側にセオドライトの光の方向を変える光
路変換機構を設ける。これによって、１つのチャンバノ
ズルから測定できる範囲が広がるので、光学センサ等の
設置位置がチャンバノズルの位置に制限されない。
【００１４】また、１つのチャンバノズルから広範囲に
ある複数のミラーに対してアライメントを測定でき、光
学センサ等の複数箇所に取付けたミラーについてアライ
メントを測定する場合にチャンバノズルの位置がそれら
のミラーに対して夫々都合の良い位置（チャンバノズル
から真正面にミラーが見える位置）になくても測定が可
能となる。よって、光学センサ等における熱歪等の測定
精度が向上する。
ある複数のミラーに対してアライメントを測定でき、光
学センサ等の複数箇所に取付けたミラーについてアライ
メントを測定する場合にチャンバノズルの位置がそれら
のミラーに対して夫々都合の良い位置（チャンバノズル
から真正面にミラーが見える位置）になくても測定が可
能となる。よって、光学センサ等における熱歪等の測定
精度が向上する。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施例について
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例を示
す構成図である。図において、真空チャンバ１に配設さ
れたチャンバノズル２にはガラス３が組み込まれてお
り、試験対象の光学センサ等（以下、供試体とする）４
にはアライメント用のミラー５が取付けられている。
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例を示
す構成図である。図において、真空チャンバ１に配設さ
れたチャンバノズル２にはガラス３が組み込まれてお
り、試験対象の光学センサ等（以下、供試体とする）４
にはアライメント用のミラー５が取付けられている。
【００１６】セオドライト６は真空チャンバ１外部から
ガラス３を介してミラー５のアライメントを測定する
が、ミラー５とチャンバノズル２との位置を対向させる
必要があるため、供試体４の設置位置がチャンバノズル
２の位置によって限定されてしまう。
ガラス３を介してミラー５のアライメントを測定する
が、ミラー５とチャンバノズル２との位置を対向させる
必要があるため、供試体４の設置位置がチャンバノズル
２の位置によって限定されてしまう。
【００１７】そこで、本発明の一実施例ではセオドライ
ト６からの照射光の光路を変えるために、チャンバノズ
ル２に光路変換部７を取付けている。光路変換部７はセ
オドライト６からの照射光の光軸１１を光路変換部７内
のリフレクタ８，９によって９０゜ずつ反射させて光路
を変えている。
ト６からの照射光の光路を変えるために、チャンバノズ
ル２に光路変換部７を取付けている。光路変換部７はセ
オドライト６からの照射光の光軸１１を光路変換部７内
のリフレクタ８，９によって９０゜ずつ反射させて光路
を変えている。
【００１８】また、リフレクタ９は矢印Ａ，Ｂの方向に
夫々平行移動可能となっており、かつ光路変換部７の本
体（リフレクタ８，９間の光路）は光軸１１回りに矢印
Ｃの方向に回転可能となっている。これによって、光路
変換部７の回転可能な範囲内で対向するミラー５につい
てセオドライト６で測定可能となるので、供試体４の設
置位置がチャンバノズル２の位置に制限されることはな
い。
夫々平行移動可能となっており、かつ光路変換部７の本
体（リフレクタ８，９間の光路）は光軸１１回りに矢印
Ｃの方向に回転可能となっている。これによって、光路
変換部７の回転可能な範囲内で対向するミラー５につい
てセオドライト６で測定可能となるので、供試体４の設
置位置がチャンバノズル２の位置に制限されることはな
い。
【００１９】図２は図１の光路変換部７の斜視図であ
る。図において、光路変換部７はリフレクタ８，９と、
レール１２ａ，１２ｂと、モータ部１３，１４とから構
成されている。
る。図において、光路変換部７はリフレクタ８，９と、
レール１２ａ，１２ｂと、モータ部１３，１４とから構
成されている。
【００２０】セオドライト６からの照射光が光軸１１に
沿って光路変換部７に入射されると、その照射光はリフ
レクタ８で９０゜反射されてリフレクタ９に入射され、
リフレクタ９でさらに９０゜反射されてミラー５の方向
に出射される。
沿って光路変換部７に入射されると、その照射光はリフ
レクタ８で９０゜反射されてリフレクタ９に入射され、
リフレクタ９でさらに９０゜反射されてミラー５の方向
に出射される。
【００２１】ここで、リフレクタ９はモータ部１３によ
ってレール１２ａ，１２ｂに沿って矢印Ａ，Ｂの方向に
平行移動され、光路変換部７の本体（リフレクタ８，９
間の光路）はモータ部１４によって光軸１１回りに回転
可能となっている。
ってレール１２ａ，１２ｂに沿って矢印Ａ，Ｂの方向に
平行移動され、光路変換部７の本体（リフレクタ８，９
間の光路）はモータ部１４によって光軸１１回りに回転
可能となっている。
【００２２】ここで、モータ部１３は図示せぬピニオン
・ラック機構を駆動することでリフレクタ９をレール１
２ａ，１２ｂに沿って矢印Ａ，Ｂの方向に平行移動す
る。また、モータ部１４は図示せぬギア機構を駆動する
ことで光路変換部７の本体を光軸１１回りに回転させ
る。
・ラック機構を駆動することでリフレクタ９をレール１
２ａ，１２ｂに沿って矢印Ａ，Ｂの方向に平行移動す
る。また、モータ部１４は図示せぬギア機構を駆動する
ことで光路変換部７の本体を光軸１１回りに回転させ
る。
【００２３】図３は図１の光路変換部７の本体の回転に
よる測定可能範囲を示す図である。図において、Ｄはチ
ャンバノズル２側から見た光路変換部７の本体の回転動
作による測定可能範囲を示している。
よる測定可能範囲を示す図である。図において、Ｄはチ
ャンバノズル２側から見た光路変換部７の本体の回転動
作による測定可能範囲を示している。
【００２４】リフレクタ９は矢印Ａ，Ｂの方向に平行移
動し、かつ光路変換部７の本体は光軸１１回り（θ方
向）に回転するので、斜線部がアライメント測定可能な
範囲Ｄとなる。よって、リフレクタ９を矢印Ａ，Ｂの方
向に平行移動させることで、光路変換部７の本体による
最大円周の範囲内にあるミラー５について真空チャンバ
１の外部からセオドライト６で測定することができ、供
試体４の設置位置がチャンバノズル２の位置に制限され
ることはない。
動し、かつ光路変換部７の本体は光軸１１回り（θ方
向）に回転するので、斜線部がアライメント測定可能な
範囲Ｄとなる。よって、リフレクタ９を矢印Ａ，Ｂの方
向に平行移動させることで、光路変換部７の本体による
最大円周の範囲内にあるミラー５について真空チャンバ
１の外部からセオドライト６で測定することができ、供
試体４の設置位置がチャンバノズル２の位置に制限され
ることはない。
【００２５】このように、真空チャンバ１に取付けたガ
ラス３付きのチャンバノズル２の内側にセオドライト６
の光の方向を変える光路変換機構７を設けることによっ
て、１つのチャンバノズル２から測定できる範囲が広が
るので、供試体４の設置位置がチャンバノズル２の位置
に制限されない。
ラス３付きのチャンバノズル２の内側にセオドライト６
の光の方向を変える光路変換機構７を設けることによっ
て、１つのチャンバノズル２から測定できる範囲が広が
るので、供試体４の設置位置がチャンバノズル２の位置
に制限されない。
【００２６】また、１つのチャンバノズル２から広範囲
にある複数のミラー５に対してアライメントを測定で
き、供試体４の複数箇所に取付けたミラー５についてア
ライメントを測定する場合にチャンバノズル２の位置が
それらのミラー５に対して夫々都合の良い位置（チャン
バノズル２から真正面にミラー５が見える位置）になく
ても測定が可能となる。よって、供試体４における熱歪
等の測定精度を向上させることができる。
にある複数のミラー５に対してアライメントを測定で
き、供試体４の複数箇所に取付けたミラー５についてア
ライメントを測定する場合にチャンバノズル２の位置が
それらのミラー５に対して夫々都合の良い位置（チャン
バノズル２から真正面にミラー５が見える位置）になく
ても測定が可能となる。よって、供試体４における熱歪
等の測定精度を向上させることができる。
【００２７】この場合、１つのチャンバノズル２から、
１台のセオドライト６で広範囲にある複数のミラー５を
測定することができるので、供試体４に対する試験（熱
真空試験）を効率的に遂行することができる。
１台のセオドライト６で広範囲にある複数のミラー５を
測定することができるので、供試体４に対する試験（熱
真空試験）を効率的に遂行することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、内
部に載置された供試体に対して熱真空試験を行う際に熱
真空試験による供試体のアライメントの変化をセオドラ
イトでモニタするためのチャンバノズルを備えた真空チ
ャンバにおいて、内部に配設されかつチャンバノズルを
介して入射されるセオドライトからの照射光の方向を可
変する光路変換機構を備えることによって、チャンバノ
ズルが必ずしも都合の良い位置になくても供試体のアラ
イメントを測定することが可能となり、供試体の熱歪等
の測定精度を向上させることができるという効果があ
る。
部に載置された供試体に対して熱真空試験を行う際に熱
真空試験による供試体のアライメントの変化をセオドラ
イトでモニタするためのチャンバノズルを備えた真空チ
ャンバにおいて、内部に配設されかつチャンバノズルを
介して入射されるセオドライトからの照射光の方向を可
変する光路変換機構を備えることによって、チャンバノ
ズルが必ずしも都合の良い位置になくても供試体のアラ
イメントを測定することが可能となり、供試体の熱歪等
の測定精度を向上させることができるという効果があ
る。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】図１の光路変換部の斜視図である。
【図３】図１の光路変換部の本体の回転による測定可能
範囲を示す図である。
範囲を示す図である。
【図４】従来例の構成を示す図である。
１ 真空チャンバ ２ チャンバノズル ３ ガラス ４ 供試体 ５ アライメント用のミラー ６ セオドライト ７ 光路変換部 ８，９ リフレクタ １１ 光軸 １２ａ，１２ｂ レール １３，１４ モータ部
Claims (3)
- 【請求項１】 内部に載置された供試体に対して熱真空
試験を行う際に、前記熱真空試験による前記供試体のア
ライメントの変化をセオドライトでモニタするためのチ
ャンバノズルを備えた真空チャンバであって、内部に配
設されかつ前記チャンバノズルを介して入射される前記
セオドライトからの照射光の方向を可変する光路変換機
構を有することを特徴とする真空チャンバ。 - 【請求項２】 前記光路変換機構は、前記セオドライト
からの照射光をその光軸に対して直角に反射する第１の
反射鏡と、前記第１の反射鏡で反射された光をその光軸
に対して直角にかつ前記供試体の方向に反射する第２の
反射鏡とを含むことを特徴とする請求項１記載の真空チ
ャンバ。 - 【請求項３】 前記第１の反射鏡から前記第２の反射鏡
への光路を前記照射光の光軸を中心として回転する回転
手段と、前記第１の反射鏡と前記第２の反射鏡との間隔
を可変する可変手段とを含むことを特徴とする請求項２
記載の真空チャンバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8195927A JPH1035600A (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 真空チャンバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8195927A JPH1035600A (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 真空チャンバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1035600A true JPH1035600A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16349299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8195927A Withdrawn JPH1035600A (ja) | 1996-07-25 | 1996-07-25 | 真空チャンバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1035600A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414689B1 (ko) * | 2000-08-14 | 2004-01-13 | 한국항공우주연구원 | 위성체 추진장치 얼라인먼트 측정용 타켓 미러의 고정장치 |
| JP2013117066A (ja) * | 2011-07-07 | 2013-06-13 | Ulvac Japan Ltd | 光路形成装置並びにこれを備えた撮像装置、変位測定装置及び検出装置 |
| CN108759869A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-11-06 | 上海卫星工程研究所 | 高精度星敏感器支架热变形试验系统 |
-
1996
- 1996-07-25 JP JP8195927A patent/JPH1035600A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414689B1 (ko) * | 2000-08-14 | 2004-01-13 | 한국항공우주연구원 | 위성체 추진장치 얼라인먼트 측정용 타켓 미러의 고정장치 |
| JP2013117066A (ja) * | 2011-07-07 | 2013-06-13 | Ulvac Japan Ltd | 光路形成装置並びにこれを備えた撮像装置、変位測定装置及び検出装置 |
| CN108759869A (zh) * | 2018-06-20 | 2018-11-06 | 上海卫星工程研究所 | 高精度星敏感器支架热变形试验系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |