JPH10335A - 有害ガス除去方法 - Google Patents
有害ガス除去方法Info
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- JPH10335A JPH10335A JP8151284A JP15128496A JPH10335A JP H10335 A JPH10335 A JP H10335A JP 8151284 A JP8151284 A JP 8151284A JP 15128496 A JP15128496 A JP 15128496A JP H10335 A JPH10335 A JP H10335A
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- JP
- Japan
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- gas
- harmful
- gases
- peat moss
- harmful gas
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/40—Capture or disposal of greenhouse gases of CO2
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 これまで除去することが困難であった気体中
の非金属酸化物からなる有害ガスを簡便に除去する方法
を提供する。 【解決手段】 気体をピートモスに接触させることで、
気体中に含有する非金属酸化物からなる有害ガス、特
に、一酸化炭素及び／又は二酸化炭素を気体中から除去
する。
の非金属酸化物からなる有害ガスを簡便に除去する方法
を提供する。 【解決手段】 気体をピートモスに接触させることで、
気体中に含有する非金属酸化物からなる有害ガス、特
に、一酸化炭素及び／又は二酸化炭素を気体中から除去
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有害ガス除去方法
に関し、詳しくは、気体をピートモスに接触させること
で気体中の非金属酸化物からなる有害ガスを簡便に除去
する方法に関する。
に関し、詳しくは、気体をピートモスに接触させること
で気体中の非金属酸化物からなる有害ガスを簡便に除去
する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種工場や事業所、焼却施設等から出さ
れる排ガスや自動車の排気ガス等は、煤煙や粉塵等の他
に各種有害ガスを含んでおり、これらによる大気汚染が
以前より問題となっている。この様な状況の中、大気環
境を維持するために排ガス中の有害ガスを除去する方法
や装置が種々開発されてきている。しかし、上記排ガス
中の有害ガス中には非金属酸化物からなる有害ガスも多
く含まれるが、その非金属酸化物の中でも一酸化炭素、
二酸化炭素等の炭素酸化物は、微量では人体への影響も
少ないことから、これまで特に規制されてはおらず炭素
酸化物の除去装置等も開発されてはいなかった。しか
し、近年、二酸化炭素が地球温暖化の原因とされ、これ
ら炭素酸化物も規制の対象となるに至っている。
れる排ガスや自動車の排気ガス等は、煤煙や粉塵等の他
に各種有害ガスを含んでおり、これらによる大気汚染が
以前より問題となっている。この様な状況の中、大気環
境を維持するために排ガス中の有害ガスを除去する方法
や装置が種々開発されてきている。しかし、上記排ガス
中の有害ガス中には非金属酸化物からなる有害ガスも多
く含まれるが、その非金属酸化物の中でも一酸化炭素、
二酸化炭素等の炭素酸化物は、微量では人体への影響も
少ないことから、これまで特に規制されてはおらず炭素
酸化物の除去装置等も開発されてはいなかった。しか
し、近年、二酸化炭素が地球温暖化の原因とされ、これ
ら炭素酸化物も規制の対象となるに至っている。
【０００３】さらに、大気環境への配慮と同時に、室
内、特に、病院、公共施設等において、例えば、厚生
省、住宅環境衛生管理基準である二酸化炭素１０００ｐ
ｐｍ以下、一酸化炭素１０ｐｐｍ（１日）以下、塵埃
０．１５ｍｇ／ｍ3以下等を目標値として、タバコの煙
や燃料由来の一酸化炭素、二酸化炭素等を除去するな
ど、室内の空気浄化の要求が高まっている。この様な要
求を基に、現在、室内向けにも空気清浄器が市販されて
いるが、これらのほとんどはフィルターを利用してフィ
ルターの孔径以上の粒子を排除する方法で空気中の様々
な塵埃（タバコの煙、花粉、バクテリア、カビ等）を除
くものであり、一酸化炭素や二酸化炭素を簡便に除去で
きるような有害ガスの除去方法はこれまでに報告されて
おらず、その開発が望まれていた。
内、特に、病院、公共施設等において、例えば、厚生
省、住宅環境衛生管理基準である二酸化炭素１０００ｐ
ｐｍ以下、一酸化炭素１０ｐｐｍ（１日）以下、塵埃
０．１５ｍｇ／ｍ3以下等を目標値として、タバコの煙
や燃料由来の一酸化炭素、二酸化炭素等を除去するな
ど、室内の空気浄化の要求が高まっている。この様な要
求を基に、現在、室内向けにも空気清浄器が市販されて
いるが、これらのほとんどはフィルターを利用してフィ
ルターの孔径以上の粒子を排除する方法で空気中の様々
な塵埃（タバコの煙、花粉、バクテリア、カビ等）を除
くものであり、一酸化炭素や二酸化炭素を簡便に除去で
きるような有害ガスの除去方法はこれまでに報告されて
おらず、その開発が望まれていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記観点か
らなされたものであり、これまで除去することが困難で
あった気体中の非金属酸化物からなる有害ガスを簡便に
除去する方法を提供することを課題とする。
らなされたものであり、これまで除去することが困難で
あった気体中の非金属酸化物からなる有害ガスを簡便に
除去する方法を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意研究を重ねた結果、気体をピート
モスに接触させることで気体中に含まれる一酸化炭素や
二酸化炭素が簡便に除去できることを見出し、本発明を
完成するに至った。
を解決するために鋭意研究を重ねた結果、気体をピート
モスに接触させることで気体中に含まれる一酸化炭素や
二酸化炭素が簡便に除去できることを見出し、本発明を
完成するに至った。
【０００６】すなわち本発明は、気体をピートモスに接
触させることで気体中に含有する非金属酸化物からなる
有害ガスを除去する有害ガス除去方法である。本発明の
有害ガス除去方法に用いるピートモスは特に制限され
ず、ピートモスであれば何れも本発明に用いることが可
能である。また、本発明の有害ガス除去方法において、
ピートモスに有害ガス含有の気体を接触させる方法につ
いても、特に制限されるものではない。
触させることで気体中に含有する非金属酸化物からなる
有害ガスを除去する有害ガス除去方法である。本発明の
有害ガス除去方法に用いるピートモスは特に制限され
ず、ピートモスであれば何れも本発明に用いることが可
能である。また、本発明の有害ガス除去方法において、
ピートモスに有害ガス含有の気体を接触させる方法につ
いても、特に制限されるものではない。
【０００７】この様な本発明の有害ガスの除去方法が適
用される非金属酸化物からなる有害ガスとしては、一定
濃度を越えて空気中に存在すると人体に悪影響を与える
ような非金属酸化物からなるガス、具体的には、一酸化
炭素、二酸化炭素等を挙げることができる。
用される非金属酸化物からなる有害ガスとしては、一定
濃度を越えて空気中に存在すると人体に悪影響を与える
ような非金属酸化物からなるガス、具体的には、一酸化
炭素、二酸化炭素等を挙げることができる。
【０００８】また、本発明の有害ガス除去方法において
は、ピートモスに、備長炭、竹炭等の炭やこれを処理し
た活性炭、または乾燥茶葉等を加えて混合し、この混合
物に気体を接触させることで、ピートモスによる有害ガ
スの除去効果を高めたり、あるいは有害ガスの除去と共
に気体の脱臭、消臭、脱塵等を行うことも可能である。
は、ピートモスに、備長炭、竹炭等の炭やこれを処理し
た活性炭、または乾燥茶葉等を加えて混合し、この混合
物に気体を接触させることで、ピートモスによる有害ガ
スの除去効果を高めたり、あるいは有害ガスの除去と共
に気体の脱臭、消臭、脱塵等を行うことも可能である。
【０００９】本発明の有害ガス除去方法においては、気
体をピートモスに接触させるという簡便な方法で気体中
に含有する非金属酸化物からなる有害ガス、特に、一酸
化炭素及び／又は二酸化炭素を気体中から除去すること
が可能であるが、さらに、本発明の有害ガス除去方法と
これ以外の従来の各種気体の清浄化方法、例えば、不織
布フィルター、イオン清浄、エレクトレットフィルタ
ー、紫外線照射等と組み合わせて用いることで、より効
果的な気体の清浄化を図ることも可能である。
体をピートモスに接触させるという簡便な方法で気体中
に含有する非金属酸化物からなる有害ガス、特に、一酸
化炭素及び／又は二酸化炭素を気体中から除去すること
が可能であるが、さらに、本発明の有害ガス除去方法と
これ以外の従来の各種気体の清浄化方法、例えば、不織
布フィルター、イオン清浄、エレクトレットフィルタ
ー、紫外線照射等と組み合わせて用いることで、より効
果的な気体の清浄化を図ることも可能である。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。本発明の有害ガス除去方法においては、気体をピ
ートモスに接触させることで、気体中に含有する非金属
酸化物からなる有害ガスを除去するが、ピートモスに気
体を接触させる方法として、具体的には、底がピートモ
スを通過させない程度の大きさのメッシュになった気体
不透過性材料からなる筒等にピートモスを詰め、筒の上
は開放にしておき上から浄化しようとする気体を筒に送
り込んでピートモス層を通す等の方法を挙げることがで
きる。
する。本発明の有害ガス除去方法においては、気体をピ
ートモスに接触させることで、気体中に含有する非金属
酸化物からなる有害ガスを除去するが、ピートモスに気
体を接触させる方法として、具体的には、底がピートモ
スを通過させない程度の大きさのメッシュになった気体
不透過性材料からなる筒等にピートモスを詰め、筒の上
は開放にしておき上から浄化しようとする気体を筒に送
り込んでピートモス層を通す等の方法を挙げることがで
きる。
【００１１】本発明の有害ガス除去方法において、ピー
トモスに気体を接触させる方法として、より具体的に
は、図１に示す様な装置を用いた方法を挙げることがで
きる。図１は、前述の様に本発明の有害ガス除去方法を
実施するための装置の一例を示す図（断面図）である。
この有害ガス除去装置１０には、気体の挿入口１及び排
出口２を有する筺体３内に、ピートモス層５を保持する
有害ガス除去部６と、この有害ガス除去部６に前記挿入
口１から気体を導く第１の気体通路４と、有害ガス除去
部６を通過した気体を前記排出口に導く第２の気体通路
７とが設けられている。また、気体挿入口１から有害ガ
ス除去部６に気体を導く第１の気体通路４の途中に、フ
ァン８が設けられており、有害ガス除去装置１０外部か
らの気体の取り入れを強制的に行う構造となっている。
有害ガス除去部６は円筒状であり、上部と底部はナイロ
ンメッシュ９になっていて、内部にはピートモスが充填
されピートモス層５が形成されている。
トモスに気体を接触させる方法として、より具体的に
は、図１に示す様な装置を用いた方法を挙げることがで
きる。図１は、前述の様に本発明の有害ガス除去方法を
実施するための装置の一例を示す図（断面図）である。
この有害ガス除去装置１０には、気体の挿入口１及び排
出口２を有する筺体３内に、ピートモス層５を保持する
有害ガス除去部６と、この有害ガス除去部６に前記挿入
口１から気体を導く第１の気体通路４と、有害ガス除去
部６を通過した気体を前記排出口に導く第２の気体通路
７とが設けられている。また、気体挿入口１から有害ガ
ス除去部６に気体を導く第１の気体通路４の途中に、フ
ァン８が設けられており、有害ガス除去装置１０外部か
らの気体の取り入れを強制的に行う構造となっている。
有害ガス除去部６は円筒状であり、上部と底部はナイロ
ンメッシュ９になっていて、内部にはピートモスが充填
されピートモス層５が形成されている。
【００１２】上記の様な機構の装置では、気体の挿入口
１からファン８の作用により装置外部より有害ガスを含
有する気体が挿入され、上記第１の気体通路４を経て有
害ガス除去部６の上部からピートモス層５に送り込まれ
る。このピートモス層５を通過することで気体中から一
酸化炭素、二酸化炭素等の非金属酸化物よりなる有害ガ
スが除去され、この有害ガスが除去された気体は有害ガ
ス除去部６の底部から第２の気体通路７を経て気体排出
口２から装置外部に排出される。
１からファン８の作用により装置外部より有害ガスを含
有する気体が挿入され、上記第１の気体通路４を経て有
害ガス除去部６の上部からピートモス層５に送り込まれ
る。このピートモス層５を通過することで気体中から一
酸化炭素、二酸化炭素等の非金属酸化物よりなる有害ガ
スが除去され、この有害ガスが除去された気体は有害ガ
ス除去部６の底部から第２の気体通路７を経て気体排出
口２から装置外部に排出される。
【００１３】ここで、上記方法においては気体を有害ガ
ス除去部に送り込むためのファンの替わりにガス循環ブ
ロアー等も利用可能である。また、上記有害ガス除去部
には、ピートモス層とともに従来の各種空気清浄材であ
る、不織布フィルター、活性炭層、エレクトレットフィ
ルター層等を積層等のかたちで設けてもよく、さらに、
この様な有害ガス除去部を取り外し可能なカセットタイ
プにして用いればメンテナンスも容易である。また、こ
の様な本発明の有害ガス除去方法を実施できる装置とイ
オン清浄のための装置等を組み合わせて用いることも可
能である。
ス除去部に送り込むためのファンの替わりにガス循環ブ
ロアー等も利用可能である。また、上記有害ガス除去部
には、ピートモス層とともに従来の各種空気清浄材であ
る、不織布フィルター、活性炭層、エレクトレットフィ
ルター層等を積層等のかたちで設けてもよく、さらに、
この様な有害ガス除去部を取り外し可能なカセットタイ
プにして用いればメンテナンスも容易である。また、こ
の様な本発明の有害ガス除去方法を実施できる装置とイ
オン清浄のための装置等を組み合わせて用いることも可
能である。
【００１４】
【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。ピート
モス２００ｇを試料として用いて、以下の方法でタバコ
を燃焼させた空気中の二酸化炭素及び一酸化炭素の除去
試験を室温で行った。
モス２００ｇを試料として用いて、以下の方法でタバコ
を燃焼させた空気中の二酸化炭素及び一酸化炭素の除去
試験を室温で行った。
【００１５】試験装置を図２に示すが、外観は寸法４０
ｃｍ×４０ｃｍ×４０ｃｍの立方体密閉型ボックス（内
容積は０．０６４ｍ3以下）であり、その内部はタバコ
燃焼室１２と吐出室１４に分かれ、タバコ燃焼室１２内
にはガス循環ブロアー１１（フルタ耐熱ブロアーＢＬＷ
５０−０２１型、最大風量２．９Ｌ／ｍｉｎ）が吐出空
気を吐出室１４に送り込むかたちで備えられ、タバコ燃
焼室１２と外部との連絡口として、タバコ挿入口１３、
並びに排ガス分析用孔１６を備えるものであり、試料の
装着部１５は、タバコ燃焼室１２と吐出室１４の境界部
分に設けられている。この装置では、試験時には、ガス
循環ブロアー１１によりガスがタバコ燃焼室１２から吐
出室１４、試料装着部１５を通過してタバコ燃焼室１２
へと循環し、循環ガスが必ず試料装着部を通過する様な
構造となっている。
ｃｍ×４０ｃｍ×４０ｃｍの立方体密閉型ボックス（内
容積は０．０６４ｍ3以下）であり、その内部はタバコ
燃焼室１２と吐出室１４に分かれ、タバコ燃焼室１２内
にはガス循環ブロアー１１（フルタ耐熱ブロアーＢＬＷ
５０−０２１型、最大風量２．９Ｌ／ｍｉｎ）が吐出空
気を吐出室１４に送り込むかたちで備えられ、タバコ燃
焼室１２と外部との連絡口として、タバコ挿入口１３、
並びに排ガス分析用孔１６を備えるものであり、試料の
装着部１５は、タバコ燃焼室１２と吐出室１４の境界部
分に設けられている。この装置では、試験時には、ガス
循環ブロアー１１によりガスがタバコ燃焼室１２から吐
出室１４、試料装着部１５を通過してタバコ燃焼室１２
へと循環し、循環ガスが必ず試料装着部を通過する様な
構造となっている。
【００１６】試料のセッティングは、試料をフィルター
型のケーシングに入れて試料装着部に装着することで行
われた。また、二酸化炭素濃度の測定は、二酸化炭素分
析用検知管（北川式）を、排ガス分析用吸収口に差し込
み、所定時間吸入保持する方法を用いた。同様に一酸化
炭素濃度を測定する試験では、上記二酸化炭素分析用検
知管（北川式）の替わりに、一酸化炭素分析用検知管
（北川式）を用いて、それ以外は二酸化炭素の場合と同
様の測定方法をとった。
型のケーシングに入れて試料装着部に装着することで行
われた。また、二酸化炭素濃度の測定は、二酸化炭素分
析用検知管（北川式）を、排ガス分析用吸収口に差し込
み、所定時間吸入保持する方法を用いた。同様に一酸化
炭素濃度を測定する試験では、上記二酸化炭素分析用検
知管（北川式）の替わりに、一酸化炭素分析用検知管
（北川式）を用いて、それ以外は二酸化炭素の場合と同
様の測定方法をとった。
【００１７】試験方法であるが、まず試験を始める前に
装置内を十分換気し清浄な状態にした。この装置に上記
ピートモス試料２００ｇをセットした後、タバコ（ハイ
ライト）４本に着火し、これをタバコ挿入口より装置内
のタバコ燃焼室に入れ、直ちに蓋をした。その直後にガ
ス循環ブロアーの運転を開始し、これをスタート時とし
て、所定時間毎に上記二酸化炭素分析用検知管で二酸化
炭素ガス濃度の経時変化を測定した。この試験を２回行
い、さらに、比較のため試料を全く用いなかった場合に
ついても同様の試験を行った。次に、上記と同様にし
て、ピートモス試料２００ｇを用いた場合２回について
と、試料なしの場合で一酸化炭素濃度の経時変化の測定
を行った。
装置内を十分換気し清浄な状態にした。この装置に上記
ピートモス試料２００ｇをセットした後、タバコ（ハイ
ライト）４本に着火し、これをタバコ挿入口より装置内
のタバコ燃焼室に入れ、直ちに蓋をした。その直後にガ
ス循環ブロアーの運転を開始し、これをスタート時とし
て、所定時間毎に上記二酸化炭素分析用検知管で二酸化
炭素ガス濃度の経時変化を測定した。この試験を２回行
い、さらに、比較のため試料を全く用いなかった場合に
ついても同様の試験を行った。次に、上記と同様にし
て、ピートモス試料２００ｇを用いた場合２回について
と、試料なしの場合で一酸化炭素濃度の経時変化の測定
を行った。
【００１８】結果を二酸化炭素に関しては表１（試料を
装填した時）、表２（試料を装填していない時）及び図
３に、一酸化炭素に関しては表３及び図４に示す。な
お、図３及び図４は、縦軸にそれぞれ二酸化炭素の濃度
（％）、一酸化炭素の濃度（％）をとり、横軸に経過時
間（分）をとったグラフであり、□は試料（２００ｇ）
を装填した時の２回の測定の平均値のプロットを、■は
試料を装填していない時の測定値のプロットを示すもの
である。
装填した時）、表２（試料を装填していない時）及び図
３に、一酸化炭素に関しては表３及び図４に示す。な
お、図３及び図４は、縦軸にそれぞれ二酸化炭素の濃度
（％）、一酸化炭素の濃度（％）をとり、横軸に経過時
間（分）をとったグラフであり、□は試料（２００ｇ）
を装填した時の２回の測定の平均値のプロットを、■は
試料を装填していない時の測定値のプロットを示すもの
である。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【表２】
【００２１】
【表３】
【００２２】これらの結果から、ピートモスにタバコの
煙が蔓延した空気を通過させると、その空気中に含有す
る一酸化炭素及び二酸化炭素がよく除去されることがわ
かった。
煙が蔓延した空気を通過させると、その空気中に含有す
る一酸化炭素及び二酸化炭素がよく除去されることがわ
かった。
【００２３】
【発明の効果】本発明の有害ガス除去方法によれば、こ
れまで除去することが困難であった気体中の非金属酸化
物、例えば、一酸化炭素、二酸化炭素等からなる有害ガ
スを簡便に除去することができる。
れまで除去することが困難であった気体中の非金属酸化
物、例えば、一酸化炭素、二酸化炭素等からなる有害ガ
スを簡便に除去することができる。
【図１】 本発明の有害ガス除去方法を実施するための
装置の一例の断面図を示す図。
装置の一例の断面図を示す図。
【図２】 試験装置を示す図。ａは斜視図、ｂは断面図
である。
である。
【図３】 ピートモス試料でタバコ燃焼空気を処理した
時の二酸化炭素濃度の経時変化を示す図。
時の二酸化炭素濃度の経時変化を示す図。
【図４】 ピートモス試料でタバコ燃焼空気を処理した
時の一酸化炭素濃度の経時変化を示す図。
時の一酸化炭素濃度の経時変化を示す図。
１・・・気体挿入口 ２・・・気体排出口 ３・・・筺体 ４・・・第１の気体通路 ５・・・ピートモス層 ６・・・有害ガス除去部 ７・・・第２の気体通路 ８・・・ファン ９・・・ナイロンメッシュ １０・・・有害ガス除去装置 １１・・・ガス循環ブロアー １２・・・タバコ燃焼室 １３・・・タバコ挿入口 １４・・・吐出室 １５・・・試料装着部 １６・・・排ガス分析用孔 → ・・・空気の流れ
Claims (2)
- 【請求項１】 気体をピ−トモスに接触させることで、
気体中に含有する非金属酸化物からなる有害ガスを除去
する有害ガス除去方法。 - 【請求項２】 有害ガスが一酸化炭素及び／又は二酸化
炭素である請求項１記載の有害ガス除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8151284A JPH10335A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 有害ガス除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8151284A JPH10335A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 有害ガス除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10335A true JPH10335A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15515327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8151284A Pending JPH10335A (ja) | 1996-06-12 | 1996-06-12 | 有害ガス除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10335A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6287948B1 (en) | 1999-12-10 | 2001-09-11 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device and method for making pattern data |
-
1996
- 1996-06-12 JP JP8151284A patent/JPH10335A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6287948B1 (en) | 1999-12-10 | 2001-09-11 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device and method for making pattern data |
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