JPH10335594A - 抵抗トリミング回路及びそのトリミング方法 - Google Patents
抵抗トリミング回路及びそのトリミング方法Info
- Publication number
- JPH10335594A JPH10335594A JP9155797A JP15579797A JPH10335594A JP H10335594 A JPH10335594 A JP H10335594A JP 9155797 A JP9155797 A JP 9155797A JP 15579797 A JP15579797 A JP 15579797A JP H10335594 A JPH10335594 A JP H10335594A
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- JP
- Japan
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- trimming
- circuit
- fuse
- resistance
- resistor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来の抵抗トリミング回路においては、トリミ
ングにより一度調整を行うと、再調整ができなかった。
再調整可能な抵抗トリミング回路を提供するする。 【解決手段】抵抗回路の一部に、トリミング用回路部分
を設けてなる抵抗トリミング回路において、該トリミン
グ用回路部分を、ヒューズとダイオードとの並列回路で
構成した。最初のトリミングは、ヒューズの溶断・オー
プン化により行い、２回目のトリミングは、ダイオード
の破壊電圧印加によるショート化により行う。
ングにより一度調整を行うと、再調整ができなかった。
再調整可能な抵抗トリミング回路を提供するする。 【解決手段】抵抗回路の一部に、トリミング用回路部分
を設けてなる抵抗トリミング回路において、該トリミン
グ用回路部分を、ヒューズとダイオードとの並列回路で
構成した。最初のトリミングは、ヒューズの溶断・オー
プン化により行い、２回目のトリミングは、ダイオード
の破壊電圧印加によるショート化により行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路等
において、抵抗値の調整用に設けられる抵抗トリミング
回路に関する。
において、抵抗値の調整用に設けられる抵抗トリミング
回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体集積回路においては、ウエ
ハープロセスにて作り込まれた拡散抵抗等の抵抗値を事
後の工程で調整可能とするために、抵抗トリミング回路
と称せられる抵抗値調整用の回路が広く用いられてい
る。
ハープロセスにて作り込まれた拡散抵抗等の抵抗値を事
後の工程で調整可能とするために、抵抗トリミング回路
と称せられる抵抗値調整用の回路が広く用いられてい
る。
【０００３】図２に、従来の抵抗トリミング回路の使用
例を示す。本例は、半導体集積回路において、基準電圧
の調整回路に用いた場合のものである。
例を示す。本例は、半導体集積回路において、基準電圧
の調整回路に用いた場合のものである。
【０００４】図中、１は電源端子、２は基準電圧端子、
３は接地端子、Ｒ０は抵抗トリミング回路の等価抵抗
（又は抵抗値）、Ｒ１〜Ｒ５及びＲ１ａ〜Ｒ５ａはそれ
ぞれ抵抗（又は抵抗値）、Ｆ１〜Ｆ５はそれぞれヒュー
ズ、Ｔ１〜Ｔ７はそれぞれ調整端子を示す。
３は接地端子、Ｒ０は抵抗トリミング回路の等価抵抗
（又は抵抗値）、Ｒ１〜Ｒ５及びＲ１ａ〜Ｒ５ａはそれ
ぞれ抵抗（又は抵抗値）、Ｆ１〜Ｆ５はそれぞれヒュー
ズ、Ｔ１〜Ｔ７はそれぞれ調整端子を示す。
【０００５】図２（ａ）の破線で囲んだ部分（点Ａ、Ｂ
間）が、ここで述べる抵抗トリミング回路であり、図２
（ｂ）はその等価回路を可変抵抗Ｒ０として示したもの
である。
間）が、ここで述べる抵抗トリミング回路であり、図２
（ｂ）はその等価回路を可変抵抗Ｒ０として示したもの
である。
【０００６】本抵抗トリミング回路は、図示のように、
抵抗Ｒ、トランジスタＴｒよりなる回路に直列に接続さ
れており、上記トランジスタＴｒのベース電圧（即、基
準電圧端子２の電圧：Ｖｒｅｆ）を調整するために設け
られている。
抵抗Ｒ、トランジスタＴｒよりなる回路に直列に接続さ
れており、上記トランジスタＴｒのベース電圧（即、基
準電圧端子２の電圧：Ｖｒｅｆ）を調整するために設け
られている。
【０００７】本抵抗トリミング回路は、基本的には直列
に分割された抵抗Ｒ１〜Ｒ５からなっており、これら抵
抗のそれぞれには、抵抗Ｒ１ａ〜Ｒ５ａとヒューズＦ１
〜Ｆ５との直列回路が並列に設けられている。
に分割された抵抗Ｒ１〜Ｒ５からなっており、これら抵
抗のそれぞれには、抵抗Ｒ１ａ〜Ｒ５ａとヒューズＦ１
〜Ｆ５との直列回路が並列に設けられている。
【０００８】各抵抗は拡散により作られ、また各ヒュー
ズは低抵抗の拡散抵抗又はアルミニウム配線で構成され
ている。各ヒューズＦの両端には、調整端子Ｔが設けら
れいる。
ズは低抵抗の拡散抵抗又はアルミニウム配線で構成され
ている。各ヒューズＦの両端には、調整端子Ｔが設けら
れいる。
【０００９】各調整端子Ｔも、電源端子１、基準電圧端
子２、接地端子３と同様にパッドで形成されており、こ
れら各端子への電気接続は全てパッドにプローブを立て
ることで行われる。
子２、接地端子３と同様にパッドで形成されており、こ
れら各端子への電気接続は全てパッドにプローブを立て
ることで行われる。
【００１０】トリミングは、トリミングしようとするヒ
ューズに、両端の調整端子を通して、溶断電流を流し、
その部分を溶断、オープン状態にすることにより行う。
ューズに、両端の調整端子を通して、溶断電流を流し、
その部分を溶断、オープン状態にすることにより行う。
【００１１】トリミング前の抵抗値Ｒ０は、 Ｒ０＝１／［（１／Ｒ１）＋（１／Ｒ１ａ）］＋１／
［（１／Ｒ２）＋（１／Ｒ２ａ）］＋・・・・・＋１／
［（１／Ｒ５）＋（１／Ｒ５ａ）］ と表せるが、例えば調整端子Ｔ１、Ｔ２間に溶断電流を
流しヒューズＦ１を溶断すると、Ｒ１両端間の抵抗値
は、１／［（１／Ｒ１）＋（１／Ｒ１ａ）］から、Ｒ１
へと変化し、その変化分だけＲ０が大きい値に変えられ
る。
［（１／Ｒ２）＋（１／Ｒ２ａ）］＋・・・・・＋１／
［（１／Ｒ５）＋（１／Ｒ５ａ）］ と表せるが、例えば調整端子Ｔ１、Ｔ２間に溶断電流を
流しヒューズＦ１を溶断すると、Ｒ１両端間の抵抗値
は、１／［（１／Ｒ１）＋（１／Ｒ１ａ）］から、Ｒ１
へと変化し、その変化分だけＲ０が大きい値に変えられ
る。
【００１２】同様にして他のヒューズも溶断によりトリ
ミングできるので、その組み合わせによりＲ０を多様に
調整することができる。
ミングできるので、その組み合わせによりＲ０を多様に
調整することができる。
【００１３】抵抗トリミング回路の抵抗Ｒ０を調整する
ことによりトランジスタＴｒのエミッタ電流が変えら
れ、その結果、ベースに接続されている基準電圧端子２
の電圧が調整される。
ことによりトランジスタＴｒのエミッタ電流が変えら
れ、その結果、ベースに接続されている基準電圧端子２
の電圧が調整される。
【００１４】上記の例は、トリミング用回路部分として
ヒューズを用いた場合であるが、トリミング用回路部分
としてツェナーダイオードを用いた抵抗トリミング回路
も用いられている。
ヒューズを用いた場合であるが、トリミング用回路部分
としてツェナーダイオードを用いた抵抗トリミング回路
も用いられている。
【００１５】その場合のトリミングの方式は、ヒューズ
の場合と正反対で、ツェナーダイオードに破壊電圧をか
け、ツェナーダイオードをショート化することによりト
リミングが行われる。
の場合と正反対で、ツェナーダイオードに破壊電圧をか
け、ツェナーダイオードをショート化することによりト
リミングが行われる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】図２に示したような抵
抗トリミング回路により抵抗値の調整が可能であるが、
一度ヒューズを溶断した調整端子間については、それを
再調整して回復させることは不可能であった。
抗トリミング回路により抵抗値の調整が可能であるが、
一度ヒューズを溶断した調整端子間については、それを
再調整して回復させることは不可能であった。
【００１７】上述のような基準電圧調整用の抵抗トリミ
ング回路においては、基準電圧への合わせ込みが不十分
であった場合や、トリミング作業中のトラブルにより間
違ったトリミングをした場合など、一旦トリミングした
ものを元通りに復帰させることができず、そのダイスが
不良品となってしまうという問題があった。
ング回路においては、基準電圧への合わせ込みが不十分
であった場合や、トリミング作業中のトラブルにより間
違ったトリミングをした場合など、一旦トリミングした
ものを元通りに復帰させることができず、そのダイスが
不良品となってしまうという問題があった。
【００１８】このような問題は、トリミング用の回路素
子としてツェナーダイオードを用いる場合にも同様に存
在する。本発明は、上記問題点を解消した、再調整可能
な抵抗トリミング回路を提供しようとするものである。
子としてツェナーダイオードを用いる場合にも同様に存
在する。本発明は、上記問題点を解消した、再調整可能
な抵抗トリミング回路を提供しようとするものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、抵抗回路の一部に、トリミング用回路部
分を設けた抵抗トリミング回路において、トリミング用
回路部分を、ヒューズとダイオードとの並列回路で構成
したものである。
成するために、抵抗回路の一部に、トリミング用回路部
分を設けた抵抗トリミング回路において、トリミング用
回路部分を、ヒューズとダイオードとの並列回路で構成
したものである。
【００２０】最初のトリミングは、ヒューズに溶断電流
を流して該ヒューズをオープン状態にすることにより行
い、２回目のトリミングは、ダイオードに破壊電圧を印
加して該ダイオードをショート状態にすることにより行
うことで、再調整が可能となる。
を流して該ヒューズをオープン状態にすることにより行
い、２回目のトリミングは、ダイオードに破壊電圧を印
加して該ダイオードをショート状態にすることにより行
うことで、再調整が可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施例の回路
図を示す。トリミング用回路部分以外の部分の構成は、
図２の従来例のものと同じである。
図を示す。トリミング用回路部分以外の部分の構成は、
図２の従来例のものと同じである。
【００２２】本実施例では、ヒューズＦ１〜Ｆ５と並列
にそれぞれツェナーダイオードＤ１〜Ｄ５が設けられて
いる。これらツェナーダイオードも、ヒューズと同様そ
れぞれの調整端子Ｔ１〜Ｔ７を用いてトリミングするこ
とができる。
にそれぞれツェナーダイオードＤ１〜Ｄ５が設けられて
いる。これらツェナーダイオードも、ヒューズと同様そ
れぞれの調整端子Ｔ１〜Ｔ７を用いてトリミングするこ
とができる。
【００２３】本発明の抵抗トリミング回路では、同じ調
整端子対を用いて２回のトリミングが可能となるが、以
下のようにして行う。
整端子対を用いて２回のトリミングが可能となるが、以
下のようにして行う。
【００２４】Ｒ１、Ｒ１ａの並列回路を調整する場合、
最初のトリミングは、従来例で述べた方法と同様である
が、調整端子Ｔ１、Ｔ２間に、例えば電流約１００ｍＡ
を流し、ヒューズを溶断して回路をオープンにする。こ
の結果、この部分の抵抗値はＲ１となる。
最初のトリミングは、従来例で述べた方法と同様である
が、調整端子Ｔ１、Ｔ２間に、例えば電流約１００ｍＡ
を流し、ヒューズを溶断して回路をオープンにする。こ
の結果、この部分の抵抗値はＲ１となる。
【００２５】２回目のトリミングは、上記回路部分を再
調整し、元のＲ１、Ｒ１ａ並列回路に復帰させようとす
る場合に行う。
調整し、元のＲ１、Ｒ１ａ並列回路に復帰させようとす
る場合に行う。
【００２６】この場合のトリミングは、調整端子Ｔ１、
Ｔ２間、すなわちツェナーダイオードＤ１に、例えば約
７ボルトの逆電圧（パルス電圧）を印加してジャンクシ
ョン破壊を起こさせ、約５００ｍＡのパルス電流を流
す。
Ｔ２間、すなわちツェナーダイオードＤ１に、例えば約
７ボルトの逆電圧（パルス電圧）を印加してジャンクシ
ョン破壊を起こさせ、約５００ｍＡのパルス電流を流
す。
【００２７】上記処理によりツェナーダイオードはショ
ート状態となり、その結果ヒューズが存在したときと等
価な並列回路に復帰させることができる。
ート状態となり、その結果ヒューズが存在したときと等
価な並列回路に復帰させることができる。
【００２８】本発明の抵抗トリミング回路を利用する場
合、最初のトリミングはヒューズの溶断で行うことにな
るが、一般にヒューズは通常利用される抵抗に比べ、抵
抗値を無視できるほどの低い抵抗値に作られるので、そ
の溶断電流を流すのに必要な印加電圧は、上記ツェナー
ダイオードの破壊電圧に比べて十分小さい。そのため、
最初のトリミング（ヒューズの溶断）の際に、ツェナー
ダイオードが傷つけられるおそれは全くない。
合、最初のトリミングはヒューズの溶断で行うことにな
るが、一般にヒューズは通常利用される抵抗に比べ、抵
抗値を無視できるほどの低い抵抗値に作られるので、そ
の溶断電流を流すのに必要な印加電圧は、上記ツェナー
ダイオードの破壊電圧に比べて十分小さい。そのため、
最初のトリミング（ヒューズの溶断）の際に、ツェナー
ダイオードが傷つけられるおそれは全くない。
【００２９】上記実施例では、トリミング用回路部分に
ツェナーダイオードを用いた場合を示したが、破壊電圧
の印加によりショート化が可能なダイオードであれば、
ツェナーダイオードに限らず、同様に用いることができ
る。
ツェナーダイオードを用いた場合を示したが、破壊電圧
の印加によりショート化が可能なダイオードであれば、
ツェナーダイオードに限らず、同様に用いることができ
る。
【００３０】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の抵抗ト
リミング回路においては、トリミング用回路部分を、ヒ
ューズとダイオードとの並列回路で構成したので、最初
のトリミングを低電圧の印加で、ヒューズの溶断により
行なっておけば、過電圧の印加によるダイオードのショ
ート化により、再トリミングが可能となる。
リミング回路においては、トリミング用回路部分を、ヒ
ューズとダイオードとの並列回路で構成したので、最初
のトリミングを低電圧の印加で、ヒューズの溶断により
行なっておけば、過電圧の印加によるダイオードのショ
ート化により、再トリミングが可能となる。
【００３１】従って、実施例のような基準電圧調整回路
に本発明の抵抗トリミング回路を用いた場合、最初のト
リミングの結果、基準電圧への合わせ込みが不十分であ
った場合、また、トリミング作業中のトラブルにより間
違ったトリミングをした場合など、それらへの対応が可
能となる。
に本発明の抵抗トリミング回路を用いた場合、最初のト
リミングの結果、基準電圧への合わせ込みが不十分であ
った場合、また、トリミング作業中のトラブルにより間
違ったトリミングをした場合など、それらへの対応が可
能となる。
【００３２】本発明の抵抗トリミング回路は、再トリミ
ングが可能であるため、抵抗値の調整、修正、延いては
回路の電圧値、電流値などの調整、修正がより容易とな
り、歩留りの向上、電圧合わせ込みの精度向上等に役立
てることができる。
ングが可能であるため、抵抗値の調整、修正、延いては
回路の電圧値、電流値などの調整、修正がより容易とな
り、歩留りの向上、電圧合わせ込みの精度向上等に役立
てることができる。
【図１】本発明における抵抗トリミング回路の一実施例
を示す回路図である。
を示す回路図である。
【図２】従来の抵抗トリミング回路の例を示す回路図で
ある。
ある。
１：電源端子 ２：基準電圧端子 ３：接地端子 Ｄ１〜Ｄ５：ツェナーダイオード Ｆ１〜Ｆ５：ヒューズ Ｒ１〜Ｒ５：抵抗 Ｒ１ａ〜Ｒ５ａ：抵抗 Ｔ１〜Ｔ７：調整端子
Claims (3)
- 【請求項１】 抵抗回路の一部に、トリミング用回路部
分を設けてなる抵抗トリミング回路において、該トリミ
ング用回路部分を、ヒューズとダイオードとの並列回路
で構成したことを特徴とする抵抗トリミング回路。 - 【請求項２】 トリミングすべき抵抗を直列に分割し、
各分割抵抗を請求項１の抵抗トリミング回路で構成する
とともに、該分割抵抗を選択的にトリミングするための
調整端子を各トリミング用回路部分の両端に設けたこと
を特徴とする抵抗トリミング回路。 - 【請求項３】 最初のトリミングは、ヒューズに溶断電
流を流して該ヒューズをオープン状態にすることにより
行い、２回目のトリミングは、ダイオードに破壊電圧を
印加して該ダイオードをショート状態にすることにより
行うことを特徴とする、請求項１の抵抗トリミング回路
のトリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9155797A JPH10335594A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 抵抗トリミング回路及びそのトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9155797A JPH10335594A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 抵抗トリミング回路及びそのトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10335594A true JPH10335594A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15613659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9155797A Pending JPH10335594A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 抵抗トリミング回路及びそのトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10335594A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6469943B2 (en) | 2001-01-23 | 2002-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching circuit and semiconductor device |
| US7259703B2 (en) * | 2004-03-25 | 2007-08-21 | Texas Instruments Incorporated | Device for recording laser trim progress and for detecting laser beam misalignment |
| US7505350B2 (en) | 2006-02-03 | 2009-03-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Voltage reset circuits for a semiconductor memory device using option fuse circuit |
| JP2009212415A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Ricoh Co Ltd | トリミング回路 |
-
1997
- 1997-05-29 JP JP9155797A patent/JPH10335594A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6469943B2 (en) | 2001-01-23 | 2002-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching circuit and semiconductor device |
| US7259703B2 (en) * | 2004-03-25 | 2007-08-21 | Texas Instruments Incorporated | Device for recording laser trim progress and for detecting laser beam misalignment |
| US7505350B2 (en) | 2006-02-03 | 2009-03-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Voltage reset circuits for a semiconductor memory device using option fuse circuit |
| JP2009212415A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Ricoh Co Ltd | トリミング回路 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |