JPH10321455A - Manufacture of chip type electronic part - Google Patents

Manufacture of chip type electronic part

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Publication number
JPH10321455A
JPH10321455A JP9125355A JP12535597A JPH10321455A JP H10321455 A JPH10321455 A JP H10321455A JP 9125355 A JP9125355 A JP 9125355A JP 12535597 A JP12535597 A JP 12535597A JP H10321455 A JPH10321455 A JP H10321455A
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JP
Japan
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alloy
content
type electronic
chip
electrode
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Pending
Application number
JP9125355A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshinari Kashiwagi
吉成 柏木
Keiichi Nakao
恵一 中尾
Ryo Kimura
涼 木村
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide various chip type electronic parts in which terminal electrode structures of various chip type electronic parts are made to be in common with one another, a method for manufacturing the chip type electronic part superior in electric characteristics at low cost is realized, and stability of an exterior appearance form of a terminal electrode and protection of an environment by making Pb free are realized. SOLUTION: Electrode paste made by mixing glass frit, organic vehicle and metal powder is applied to both end parts 14 and 15 of a capacitor element 16, and an electrode is formed by baking at a temperature 600-900 deg.C to form a base electrode layer 17, and paste, which comprises Bi salt and Sn or at least one alloy powder selected out of Sn-Ag alloy, Sn-Cu alloy, Sn-Zn alloy, Sn-In alloy, Sn-Ag-Cu alloy, Sn-Ag-In alloy, Sn-Zn-Cu alloy and Sn-Zn-In alloy, is applied on the base electrode layer 17, and then reaction of the Bi salt and the metal is performed at a temperature 200 deg.C or above, thereby an Sn-Bi alloy layer 18 having a thickness 0.1 μm or more is formed to form a terminal electrode.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器に利用
される各種チップ型電子部品の製造方法に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing various chip-type electronic components used in various electronic devices.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、携帯電話、ムービー、ノート型パ
ソコンなどの小型電子機器の小型化、高性能化に伴い、
このような小型電子機器に用いられるチップ型電子部品
の小型化、高性能化が求められている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization and high performance of small electronic devices such as mobile phones, movies, and notebook computers,
There is a demand for miniaturization and high performance of chip type electronic components used in such small electronic devices.

【0003】このようなニーズに対応するため現状のチ
ップ型電子部品は、電子部品素子を内部に構成し、引き
出し部から端子電極へ接続する構造をとることにより小
型化を実現している。このような構造はチップ型電子部
品の中でも特にセラミック電子部品において一般的に用
いられている。
In order to respond to such needs, current chip-type electronic components have been downsized by forming an electronic component element therein and connecting the lead portion to a terminal electrode. Such a structure is generally used in ceramic electronic components especially among chip electronic components.

【0004】このセラミック材料を基材に用いた各種チ
ップ型電子部品、例えば、チップ抵抗器、チップコンデ
ンサ、チップコイルなどの単体部品、あるいは水晶振動
子、SAWフィルタ、LCフィルタ、RCネットワーク
などの複合部品の端子電極は、通常、セラミック基材の
所定の端部にガラスフリット、金属粉末、有機ビヒクル
を混練してなる貴金属ペースト(通常、Ag,Ag−P
dなどのペーストが用いられる)を数10μmの厚みに
印刷塗布した後、400〜900℃の温度条件にて焼成
し、抵抗、キャパシタンス、インダクタンスなどの各機
能素子部と接続形成して形成されている。そして、この
電極層のままでは実装時にはんだ食われが発生するた
め、はんだ耐熱性に優れたNi層を上記電極層の上に被
覆した後、はんだ濡れ性を高めるために、はんだ合金層
あるいはSn層を形成することが行われており、このN
i層、はんだ層、Sn層を形成する方法としては一般的
に電気メッキ法が用いられている。
[0004] Various chip-type electronic components using the ceramic material as a base material, for example, a single component such as a chip resistor, a chip capacitor, a chip coil, or a composite such as a quartz oscillator, a SAW filter, an LC filter, and an RC network. The terminal electrode of the component is usually a noble metal paste (usually Ag, Ag-P) obtained by kneading a glass frit, a metal powder, and an organic vehicle at a predetermined end of a ceramic base material.
d, etc.) is printed and applied to a thickness of several tens of μm, and then fired at a temperature of 400 to 900 ° C. to form a connection with each functional element portion such as resistance, capacitance, and inductance. I have. Then, since solder erosion occurs at the time of mounting if this electrode layer is used, a Ni layer having excellent solder heat resistance is coated on the electrode layer, and then a solder alloy layer or Sn A layer is formed, and this N
As a method for forming the i-layer, the solder layer, and the Sn layer, an electroplating method is generally used.

【0005】このような従来の方法により、作製された
チップ型電子部品の代表的な1例として、角チップ抵抗
器の断面図を図2に示す。図2において21は96%ア
ルミナ基板、22はAg系厚膜電極による一対の上面電
極層、23は酸化ルテニウム系厚膜抵抗体による抵抗
層、24はガラスによる保護層、25はAg系厚膜の側
面(下地)電極層、26はNiめっき層、27ははんだ
めっき層である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a square chip resistor as a typical example of a chip type electronic component manufactured by such a conventional method. In FIG. 2, 21 is a 96% alumina substrate, 22 is a pair of upper electrode layers made of an Ag thick film electrode, 23 is a resistance layer made of a ruthenium oxide thick film resistor, 24 is a protective layer made of glass, and 25 is an Ag thick film. Is a side (base) electrode layer, 26 is a Ni plating layer, and 27 is a solder plating layer.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
アメリカやヨーロッパ諸国を中心として環境保護問題の
1つとして、鉛(Pb)による環境汚染が問題となって
おり、上記のような構造や製造方法では課題がある。例
えば、製品が廃棄された場合、電極部に用いているはん
だめっき層27に含まれるPbが酸性雨により溶出し、
地下に浸透して地下水等を汚染するといった問題があ
る。このような課題を解決するためには、Pbを使用せ
ず端子電極の形成を行う必要があり、代替材料として、
Snめっきが考えられている。しかしながら、Snめっ
きに関してはウィスカーの発生により、長期保存が困難
であるといった課題がある。さらに、Snめっき膜を形
成する際には、電気めっき法あるいは無電解めっき法に
よりNi層、Sn層の形成を行うが、無電解めっき法は
電極の上だけに選択的にめっき層を形成することが困難
であり、レジスト塗布などの工程を得なければならない
ので、コスト、めっき膜の密着性、安定性の観点から、
あまり大規模な量産ラインでは採用されていない。
However, in recent years,
As one of the environmental protection problems mainly in the United States and European countries, environmental pollution due to lead (Pb) has become a problem, and there is a problem in the above-described structure and manufacturing method. For example, when the product is discarded, Pb contained in the solder plating layer 27 used for the electrode part is eluted by acid rain,
There is a problem that it penetrates underground and contaminates groundwater and the like. In order to solve such a problem, it is necessary to form a terminal electrode without using Pb.
Sn plating has been considered. However, Sn plating has a problem that it is difficult to store it for a long time due to the generation of whiskers. Furthermore, when forming a Sn plating film, a Ni layer and a Sn layer are formed by an electroplating method or an electroless plating method. In the electroless plating method, a plating layer is selectively formed only on an electrode. Since it is difficult to obtain a process such as resist coating, from the viewpoint of cost, adhesion of plating film, and stability,
It is not used in very large-scale production lines.

【0007】一方、電気めっき法は端子電極の上だけに
選択的にめっきできることから、角チップ抵抗器、積層
セラミックコンデンサなど主要なチップ型電子部品のN
i層、はんだ/Sn層の形成に広く用いられているが、
電気めっき法により形成されたSn層は表面が粗く、酸
化されやすいため耐湿性に課題がある。
On the other hand, the electroplating method allows selective plating only on the terminal electrodes. Therefore, the electroplating method is used for the main chip-type electronic components such as square chip resistors and multilayer ceramic capacitors.
Widely used for forming i-layer and solder / Sn layer,
The Sn layer formed by the electroplating method has a problem in moisture resistance because the surface is rough and easily oxidized.

【0008】本発明は以上のような従来の欠点を除去
し、信頼性に富み安価で量産性に優れ、さらに電極をP
bフリーにすることで環境保護を実現するチップ型電子
部品を提供することを目的とするものである。
The present invention eliminates the above-mentioned drawbacks of the prior art, is highly reliable, is inexpensive, has excellent mass productivity, and further has the advantage that the electrode is made of P
It is an object of the present invention to provide a chip-type electronic component that realizes environmental protection by making it b-free.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のチップ型電子部品の製造方法は、電子部品素
子の両端に、ガラスフリット、有機ビヒクル、金属粉を
混練してなる電極ペーストを塗布し、600〜900℃
の温度で焼成して下地電極を形成した後、前記電極層上
にBi塩とSnあるいはSn合金からなるペーストを塗
布した後に、200℃以上の温度でBi塩と金属の反応
を行うことにより、厚さ0.01μm以上のSn−Bi
系合金層を形成して端子電極を形成する方法としたもの
であり、外観形状の安定性、耐湿性の向上、はんだ濡れ
性の優れたPbフリーの電極の実現を可能にすることが
できる。
In order to solve the above-mentioned problems, a method of manufacturing a chip-type electronic component according to the present invention is directed to an electrode paste obtained by kneading glass frit, an organic vehicle, and metal powder at both ends of an electronic component element. 600-900 ° C
After forming a base electrode by baking at a temperature of the following, after applying a paste made of Bi salt and Sn or Sn alloy on the electrode layer, by reacting Bi salt and metal at a temperature of 200 ℃ or more, Sn-Bi with a thickness of 0.01 μm or more
This is a method in which a terminal electrode is formed by forming a system alloy layer, and it is possible to realize a Pb-free electrode having excellent external shape stability, improved moisture resistance, and excellent solder wettability.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、電子部品素子の両端に、ガラスフリット、有機ビヒ
クル、金属粉を混練してなる電極ペーストを塗布し、6
00〜900℃の温度で焼成して電極を形成した後、前
記電極層上にBi塩とSnあるいはSn合金から選ばれ
る少なくとも1種類以上の金属からなるペーストを塗布
した後に、200℃以上の温度でBi塩と金属の反応を
行うことにより、厚さ0.01μm以上のSn−Bi系
の合金層を形成して端子電極を形成したものであり、セ
ラミック素体と接合する下地電極層を、ガラスフリット
と導電性金属粉から構成することにより、セラミック素
体との十分な接着強度を持たせ、その上にSnあるいは
Sn合金とBiの反応を利用してSn−Bi系の合金膜
を被覆することによって、めっき品並の外観形状の安定
性、耐湿性の向上及び製品実装時のはんだ(Pbフリー
はんだ)濡れ性に優れた端子電極を実現し、さらに、P
bフリー電極による環境保護を実現したものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION According to the first aspect of the present invention, an electrode paste formed by kneading a glass frit, an organic vehicle, and a metal powder is applied to both ends of an electronic component element.
After firing at a temperature of 00 to 900 ° C. to form an electrode, a paste made of Bi salt and at least one metal selected from Sn or Sn alloy is applied on the electrode layer, and then heated to a temperature of 200 ° C. or higher. By performing a reaction between the Bi salt and the metal in the above, a Sn-Bi-based alloy layer having a thickness of 0.01 μm or more is formed to form a terminal electrode, and a base electrode layer to be joined to the ceramic body is By using glass frit and conductive metal powder, it has sufficient adhesion strength to the ceramic body, and is coated with a Sn-Bi alloy film using the reaction of Sn or Sn alloy with Bi. By doing so, it is possible to realize a terminal electrode that has the same appearance and shape stability as a plated product, improved moisture resistance, and excellent solder (Pb-free solder) wettability during product mounting.
This realizes environmental protection by b-free electrodes.

【0011】請求項2に記載の発明は、電極ペーストと
してCu、Ni、Ag−Pd合金のうち少なくとも1つ
の金属粉または合金粉を用いたものであり、セラミック
素体との十分な接着強度を持たせることができる。
According to a second aspect of the present invention, at least one metal powder or alloy powder of Cu, Ni, or Ag-Pd alloy is used as the electrode paste, and sufficient adhesive strength with the ceramic body is obtained. You can have.

【0012】請求項3に記載の発明は、Ag−Pd合金
において、Pd含有量を10%以上とすることによって
はんだくわれを防止したものである。
According to a third aspect of the present invention, in the Ag-Pd alloy, the Pd content is set to 10% or more to prevent solder cracking.

【0013】請求項4に記載の発明は、Sn合金とし
て、Ag含有率が5wt%以下のSn−Ag合金を用い
ることにより、耐湿性を向上し、従来の共晶はんだと同
等の特性を有し、しかもPbフリーによる環境保護を実
現する作用を有する。さらに、Sn−Agを主成分とし
ているため、熱疲労特性に優れるといった作用も有す
る。
According to a fourth aspect of the present invention, the use of a Sn—Ag alloy having an Ag content of 5 wt% or less as a Sn alloy improves moisture resistance and has characteristics equivalent to those of a conventional eutectic solder. In addition, it has the effect of realizing Pb-free environmental protection. Furthermore, since it contains Sn-Ag as a main component, it also has an effect of being excellent in thermal fatigue characteristics.

【0014】請求項5に記載の発明は、Sn合金とし
て、Cu含有率が1wt%以下のSn−Cu合金を用い
ることにより、耐湿性を向上し、従来の共晶はんだと同
等の特性を有し、しかもPbフリーによる環境保護を実
現する作用を有する。さらに、Sn−Cuを主成分とし
ているため、熱疲労特性に優れた高融点Pbフリーはん
だを実現する作用も有する。
According to a fifth aspect of the present invention, the use of a Sn—Cu alloy having a Cu content of 1 wt% or less as the Sn alloy improves moisture resistance and has characteristics equivalent to those of a conventional eutectic solder. In addition, it has the effect of realizing Pb-free environmental protection. Furthermore, since Sn-Cu is a main component, it also has an effect of realizing a high melting point Pb-free solder having excellent thermal fatigue characteristics.

【0015】請求項6に記載の発明は、Sn合金とし
て、Zn含有率が15wt%以下のSn−Zn合金を用
いることにより、耐湿性を向上し、従来の共晶はんだと
同等の特性を有し、しかもPbフリーによる環境保護を
実現する作用を有する。さらに、Sn−Znを主成分と
しているため機械的特性に優れるといった作用を有す
る。
According to a sixth aspect of the present invention, the use of a Sn—Zn alloy having a Zn content of 15 wt% or less as a Sn alloy improves moisture resistance and has characteristics equivalent to those of a conventional eutectic solder. In addition, it has the effect of realizing Pb-free environmental protection. Furthermore, since Sn-Zn is a main component, it has an effect of being excellent in mechanical properties.

【0016】請求項7に記載の発明は、Sn合金とし
て、In含有率が52wt%以下のSn−In合金を用
いることにより、耐湿性を向上し、従来の共晶はんだと
同等の特性を有し、しかもPbフリーによる環境保護を
実現する作用を有する。さらに、Inの添加によるPb
フリーはんだの低融点化の作用を有する。
According to a seventh aspect of the present invention, the use of a Sn—In alloy having an In content of 52 wt% or less as a Sn alloy improves moisture resistance and has characteristics equivalent to those of a conventional eutectic solder. In addition, it has the effect of realizing Pb-free environmental protection. Further, Pb due to the addition of In
It has the effect of lowering the melting point of free solder.

【0017】請求項8に記載の発明は、Sn合金とし
て、Ag含有率が5wt%以下、Cu含有率が1wt%
以下のSn−Ag−Cu合金を用いることにより、耐湿
性を向上し、従来の共晶はんだと同等の特性を有し、し
かもPbフリーによる環境保護を実現する作用を有す
る。さらに、熱疲労特性に優れ、経時変化が非常に少な
いといった作用を有する。
According to the present invention, the Sn alloy has an Ag content of 5 wt% or less and a Cu content of 1 wt%.
The use of the following Sn-Ag-Cu alloy improves moisture resistance, has the same characteristics as conventional eutectic solder, and has the effect of realizing Pb-free environmental protection. Furthermore, it has the effect of being excellent in thermal fatigue characteristics and having very little change over time.

【0018】請求項9に記載の発明は、Sn合金とし
て、Ag含有率が5wt%以下、Zn含有率が30wt
%以下のSn−Ag−Zn合金を用いることにより、耐
湿性を向上し、従来の共晶はんだと同等の特性を有し、
しかもPbフリーによる環境保護を実現する作用を有す
る。さらに、熱疲労特性及び機械的特性に優れるといっ
た作用を有する。
According to a ninth aspect of the present invention, the Sn alloy has an Ag content of 5 wt% or less and a Zn content of 30 wt%.
% Or less of Sn-Ag-Zn alloy improves moisture resistance and has the same characteristics as conventional eutectic solder.
Moreover, it has an effect of realizing environmental protection by Pb-free. Further, it has an effect of being excellent in thermal fatigue properties and mechanical properties.

【0019】請求項10に記載の発明は、Sn合金とし
て、Ag含有率が5wt%以下、In含有率が30wt
%以下のSn−Ag−In合金を用いることにより、耐
湿性を向上し、従来の共晶はんだと同等の特性を有し、
しかもPbフリーによる環境保護を実現する作用を有す
る。さらに、Inの添加による低融点化と共に熱疲労特
性に優れるといった作用を有する。
According to a tenth aspect of the present invention, the Sn alloy has an Ag content of 5 wt% or less and an In content of 30 wt%.
% Of Sn-Ag-In alloy is used to improve the moisture resistance and have the same characteristics as the conventional eutectic solder.
Moreover, it has an effect of realizing environmental protection by Pb-free. Further, it has the effect of lowering the melting point by adding In and having excellent thermal fatigue characteristics.

【0020】請求項11に記載の発明は、Sn合金とし
て、Cu含有率が1wt%以下、Zn含有率が15wt
%以下のSn−Cu−Zn合金を用いることにより、耐
湿性を向上し、従来の共晶はんだと同等の特性を有し、
しかもPbフリーによる環境保護を実現する作用を有す
る。さらに、熱疲労特性及び機械的特性に優れた高融点
Pbフリーはんだを実現する作用を有する。
[0020] According to the present invention, the Sn alloy has a Cu content of 1 wt% or less and a Zn content of 15 wt% or less.
% Of Sn-Cu-Zn alloy improves moisture resistance and has the same characteristics as conventional eutectic solder.
Moreover, it has an effect of realizing environmental protection by Pb-free. Further, it has the effect of realizing a high melting point Pb-free solder having excellent thermal fatigue properties and mechanical properties.

【0021】請求項12に記載の発明は、Sn合金とし
て、Cu含有率が1wt%以下、In含有率が30wt
%以下のSn−Cu−In合金を用いることにより、請
求項9に記載の発明と同等の作用を有する。
According to a twelfth aspect of the present invention, the Sn alloy has a Cu content of 1 wt% or less and an In content of 30 wt%.
%, The use of the Sn-Cu-In alloy at the same level or less has the same effect as the ninth aspect of the present invention.

【0022】請求項13に記載の発明は、Sn合金とし
て、Zn含有率が15wt%以下、In含有率が30w
t%以下のSn−Zn−In合金を用いることにより、
耐湿性を向上し、従来の共晶はんだと同等の特性を有
し、しかもPbフリーによる環境保護を実現する作用を
有する。さらに、Inの添加による低融点化と共に機械
的特性に優れるといった作用を有する。
According to a thirteenth aspect of the present invention, the Sn alloy has a Zn content of 15 wt% or less and an In content of 30 w%.
By using an Sn-Zn-In alloy of t% or less,
It has improved moisture resistance, has the same characteristics as conventional eutectic solders, and has the effect of realizing Pb-free environmental protection. Further, it has the effect of lowering the melting point by adding In and having excellent mechanical properties.

【0023】(実施の形態1)以下、本発明の一実施の
形態について図面を参照しながら説明する。
Embodiment 1 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0024】図1に本発明の一実施の形態を示すチップ
型電子部品として積層セラミックコンデンサの断面図を
示した。以下、図1を用いて積層セラミックコンデンサ
の製造方法について述べる。
FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor as a chip-type electronic component showing an embodiment of the present invention. Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor will be described with reference to FIG.

【0025】チタン酸バリウムを主体とする誘電体材料
を用いて、ドクターブレード法により数μm〜数10μ
mの膜厚でグリーンシート11を形成する。そのグリー
ンシート11の表面に、パラジウムを主体とする電極ペ
ーストを用いてスクリーン印刷法にて内部電極12を形
成する。次に、内部電極12を形成した誘電体シート1
3を、内部電極12が両端部14,15から導出するよ
うに複数枚積層し、コンデンサ素子寸法の個片に切断す
る。
Using a dielectric material mainly composed of barium titanate, several μm to several tens μm by a doctor blade method.
The green sheet 11 is formed with a thickness of m. An internal electrode 12 is formed on the surface of the green sheet 11 by a screen printing method using an electrode paste mainly composed of palladium. Next, the dielectric sheet 1 on which the internal electrodes 12 are formed
3 are laminated in such a manner that the internal electrodes 12 extend from both ends 14 and 15, and cut into individual pieces each having a capacitor element size.

【0026】次に、100〜1400℃の温度で焼成し
て形成したコンデンサ素子16の内部電極12をバレル
研磨などの方法により、両端部14,15に露出させ、
外部電極と電気的に接続形成する。
Next, the internal electrodes 12 of the capacitor element 16 formed by firing at a temperature of 100 to 1400 ° C. are exposed at both ends 14 and 15 by a method such as barrel polishing.
It is electrically connected to external electrodes.

【0027】具体的には、ガラスフリット、ビヒクル、
Cu粉で構成されるペーストを、コンデンサ素子16の
両端部14,15に塗布する。その後、900℃で焼成
し下地電極層17とした。次に、Bi含有率が10wt
%のBi塩ペーストとSn−Ag共晶合金粉が1:2の
重量比で構成されたペーストを塗布した後、220℃、
5分の条件で熱処理を行った。この処理により、前記B
i塩中のBiイオンとSnの間でイオン化傾向の差によ
り置換が起こり析出したBiがSn−Ag粉に対して拡
散することによりSn(95)−Ag(3.5)−Bi
(5)の3元合金膜が得られた。
Specifically, glass frit, vehicle,
A paste composed of Cu powder is applied to both end portions 14 and 15 of the capacitor element 16. Thereafter, the resultant was baked at 900 ° C. to form a base electrode layer 17. Next, the Bi content was 10 wt.
% Bi salt paste and a Sn-Ag eutectic alloy powder in a weight ratio of 1: 2, and then applied at 220 ° C.
Heat treatment was performed for 5 minutes. By this processing, B
Substitution occurs due to the difference in ionization tendency between the Bi ion and Sn in the i-salt, and the precipitated Bi diffuses into the Sn-Ag powder, so that Sn (95) -Ag (3.5) -Bi
The ternary alloy film of (5) was obtained.

【0028】同様な方法により、Bi塩にSn−Cu共
晶合金粉、Sn−Zn共晶合金粉、Sn−In(10)
合金粉、Sn−Ag(3.5)−Cu(0.7)合金
粉、Sn−Ag(3.5)−Zn(9)合金粉、Sn−
Ag(3.5)−In(10)合金粉、Sn−Cu
(0.7)−Zn(9)合金粉、Sn−Cu(0.7)
−In(10)合金粉、Sn−Zn(9)−In(1
0)合金粉を混合させて熱処理を行い、それぞれSn−
Bi(5)−Cu(0.7)合金膜、Sn−Bi(5)
−Zn(9)合金膜、Sn−Bi(5)−In(10)
合金膜、Sn−Ag(3.5)−Bi(5)−Cn
(0.7)合金膜、Sn−Ag(3.5)−Bi(5)
−Zn(9)合金膜、Sn−Ag(3.5)−Bi
(5)−In(10)合金膜、Sn−Bi(5)−Cu
(0.7)−Zn(9)合金膜、Sn−Bi(5)−C
u(0.7)−In(10)合金膜、Sn−Bi(5)
−Zn(9)−In(10)合金膜を得た。
According to the same method, Sn-Cu eutectic alloy powder, Sn-Zn eutectic alloy powder, Sn-In (10)
Alloy powder, Sn-Ag (3.5) -Cu (0.7) alloy powder, Sn-Ag (3.5) -Zn (9) alloy powder, Sn-
Ag (3.5) -In (10) alloy powder, Sn-Cu
(0.7) -Zn (9) alloy powder, Sn-Cu (0.7)
-In (10) alloy powder, Sn-Zn (9) -In (1
0) Heat treatment is performed by mixing the alloy powders and Sn-
Bi (5) -Cu (0.7) alloy film, Sn-Bi (5)
-Zn (9) alloy film, Sn-Bi (5) -In (10)
Alloy film, Sn-Ag (3.5) -Bi (5) -Cn
(0.7) Alloy film, Sn-Ag (3.5) -Bi (5)
-Zn (9) alloy film, Sn-Ag (3.5) -Bi
(5) -In (10) alloy film, Sn-Bi (5) -Cu
(0.7) -Zn (9) alloy film, Sn-Bi (5) -C
u (0.7) -In (10) alloy film, Sn-Bi (5)
A -Zn (9) -In (10) alloy film was obtained.

【0029】なお、本実施の形態においてBi塩ペース
トと金属粉の組成比を1:2として行ったが、この組成
比を変更させることによって、合金膜組成を変化させる
ことができること及びBi塩中のBi及びSn合金粉の
組成を変化させることにより、種々の組成のSn−Bi
系の合金膜が得られることは言うまでもない。
In the present embodiment, the composition ratio of the Bi salt paste and the metal powder is set to 1: 2. However, by changing the composition ratio, the composition of the alloy film can be changed and the Bi salt content can be changed. By changing the composition of the Bi and Sn alloy powders, Sn-Bi of various compositions can be obtained.
Needless to say, a system alloy film can be obtained.

【0030】また、合金膜を形成する際に、従来の共晶
はんだ(m.p183℃)と同等な融点であることが必
要とされるため、組成としてはPhase DiagramsよりA
g含有率が5wt%以下、Cu含有率が1wt%以下、
Zn含有率が15wt%以下、In含有率が30wt%
以下のSn合金であることが望ましい。
In forming an alloy film, it is necessary that the melting point is equivalent to that of a conventional eutectic solder (mp 183 ° C.).
g content is 5 wt% or less, Cu content is 1 wt% or less,
Zn content is 15 wt% or less, In content is 30 wt%
The following Sn alloy is desirable.

【0031】BiとSnの置換を行う理由としては、P
bの代替材料として考えられる主成分としてはSnのみ
であり、そのSnと置換反応が可能な低融点材料として
はBi以外に考えられないためである。
The reason why Bi and Sn are substituted is that P
This is because Sn is the only main component that can be considered as a substitute material for b, and Bi is not considered as a low melting point material that can be substituted with Sn.

【0032】また、本実施の形態において、下地電極に
Cuを主体とする電極を用いたが、Cuの場合はんだ食
われが発生するため、電極厚みはできるだけ厚いことが
望ましい。
In this embodiment, an electrode mainly composed of Cu is used as the base electrode. However, in the case of Cu, solder erosion occurs. Therefore, it is desirable that the electrode thickness is as large as possible.

【0033】一方、Niを用いた場合は、はんだ食われ
が発生しないため、電極をより薄く形成できるため、さ
らに良好な電極が形成できる。
On the other hand, when Ni is used, since the solder is not eroded, the electrode can be formed thinner, so that a more excellent electrode can be formed.

【0034】以上の方法にて作製された積層セラミック
コンデンサを実装して、従来のはんだめっき、Snめっ
きを比較試料として評価した結果を(表1)に示した。
これらの結果より、はんだ濡れ性、耐湿性において従来
のはんだめっき及びSnめっき品と同様もしくはそれ以
上の特性が得られた。
Table 1 shows the results of mounting the multilayer ceramic capacitor manufactured by the above method and evaluating the conventional solder plating and Sn plating as comparative samples.
From these results, characteristics similar to or better than those of conventional solder plating and Sn plating products were obtained in solder wettability and moisture resistance.

【0035】[0035]

【表1】 [Table 1]

【0036】以上のように、本実施の形態の方法にて形
成されたSn−Ag−Bi合金層は、無電解メッキなど
のようにレジスト処理することがなく、量産性に優れ
る。また、端子電極の表面は非常に緻密な合金膜により
覆われているので、Snめっき層に比べて耐湿性に優
れ、めっき品並の外観形状の安定性が得られるととも
に、実装時のはんだ濡れ性に優れるという特徴をも有し
ている。さらに、Pbを使用しない合金膜で形成するた
め環境保護の実現が可能になる。
As described above, the Sn—Ag—Bi alloy layer formed by the method of the present embodiment is excellent in mass productivity because it is not subjected to resist treatment unlike electroless plating. In addition, since the surface of the terminal electrode is covered with a very dense alloy film, the terminal electrode has excellent moisture resistance as compared with the Sn plating layer, and has the same appearance and shape stability as a plated product, and also has a solder wettability during mounting. It also has the characteristic of having excellent properties. Furthermore, since it is formed of an alloy film not using Pb, environmental protection can be realized.

【0037】なお、本実施の形態において、Sn合金と
してSn−Ag−Bi合金膜、Sn−Bi−Cu合金
膜、Sn−Bi−Zn合金膜、Sn−Bi−In合金
膜、Sn−Ag−Bi−Cu合金膜、Sn−Ag−Bi
−Zn合金膜、Sn−Ag−Bi−In合金膜、Sn−
Bi−Cu−Zn合金膜、Sn−Bi−Cu−In合金
膜、Sn−Bi−In−Zn合金膜を形成したが、Sn
を主成分とし、融点が180〜230℃の合金膜につい
ても同様な効果が得られることは言うまでもない。
In the present embodiment, Sn-Ag-Bi alloy film, Sn-Bi-Cu alloy film, Sn-Bi-Zn alloy film, Sn-Bi-In alloy film, Sn-Ag- Bi-Cu alloy film, Sn-Ag-Bi
-Zn alloy film, Sn-Ag-Bi-In alloy film, Sn-
A Bi—Cu—Zn alloy film, a Sn—Bi—Cu—In alloy film, and a Sn—Bi—In—Zn alloy film were formed.
It is needless to say that a similar effect can be obtained also with an alloy film having as a main component and having a melting point of 180 to 230 ° C.

【0038】(実施の形態2)次に絶縁処理された35
μmφの銅線を直径1mmφのフェライトボビンに所望の
ターン数まで巻き回された後、エポキシ樹脂にて射出成
形されたチップコイルの一対の端面に前記銅線の端部が
露出した構造を基本として、次に下地電極を形成するた
めの準備工程として、上記成形体の端子電極を形成する
箇所を露出させる。露出された端子電極の形成を実施の
形態1,2と同じ方法にて下地電極、Sn−Bi系合金
層18の順にて形成した。
(Embodiment 2) Next, the insulated 35
After winding a μmφ copper wire around a 1mmφ ferrite bobbin to the desired number of turns, the structure is based on a structure in which the ends of the copper wire are exposed on a pair of end surfaces of a chip coil injection-molded with epoxy resin. Next, as a preparation step for forming a base electrode, a portion of the molded body where a terminal electrode is to be formed is exposed. The exposed terminal electrode was formed in the same manner as in the first and second embodiments, in the order of the base electrode and the Sn—Bi-based alloy layer 18.

【0039】上記のような銅線を切断加工して端子とす
るような構造を両端部に有したチップ型電子部品の構造
においても、本発明の端子電極構造および製造方法にて
端子電極が形成できることが確認できた。
In the structure of a chip-type electronic component having a structure in which a terminal is formed by cutting a copper wire as described above, the terminal electrode is formed by the terminal electrode structure and the manufacturing method of the present invention. It was confirmed that it was possible.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば下地電極を導電性金属粉末とガラスフリットと
から構成し、Bi塩とSnまたはSn合金の置換反応に
よるSn−Bi系合金層の形成を行うことにより、接着
強度が優れ、めっき品並の優れた外観形状とはんだ濡れ
性に優れた端子電極が得られ、チップ型電子部品の品質
が飛躍的に改善されるとともに、低コスト化も可能とす
る。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the base electrode is composed of the conductive metal powder and the glass frit, and the Sn-Bi alloy is formed by the substitution reaction between the Bi salt and Sn or the Sn alloy. By forming the layer, it is possible to obtain a terminal electrode having excellent adhesive strength, excellent appearance shape comparable to a plated product and excellent solder wettability, and dramatically improving the quality of chip-type electronic components, Cost reduction is also possible.

【0041】さらには、それぞれの実施の形態の中で述
べてきたように、この方法は各種チップ型電子部品の端
子構造を共通の構造、そして製造ラインにて構成するこ
とができるために設備費、材料の共通化が可能となるな
どの特徴を有するものである。
Further, as described in each of the embodiments, this method enables the terminal structure of various chip-type electronic components to be configured with a common structure and a manufacturing line, so that equipment costs are reduced. , And the material can be used in common.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の積層コンデンサの構造
を示す断面図
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a multilayer capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来の角チップ抵抗器の構造を示す断面図FIG. 2 is a sectional view showing the structure of a conventional square chip resistor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 グリーンシート 12 内部電極 13 誘電体シート 14,15 両端部 16 コンデンサ素子 17 下地電極層 18 Sn−Bi系合金層 21 96%アルミナ基板 22 上面電極層 23 抵抗層 24 保護層 25 側面電極層 26 Niめっき層 27 はんだめっき層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Green sheet 12 Internal electrode 13 Dielectric sheet 14, 15 Both ends 16 Capacitor element 17 Base electrode layer 18 Sn-Bi alloy layer 21 96% alumina substrate 22 Top electrode layer 23 Resistive layer 24 Protective layer 25 Side electrode layer 26 Ni Plating layer 27 Solder plating layer

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子部品素子の両端に、ガラスフリッ
ト、有機ビヒクル、金属粉を混練してなる電極ペースト
を塗布し、600〜900℃の温度で焼成して電極を形
成した後、前記電極層上にBi塩とSnあるいはSn合
金からなるペーストを塗布した後に、200℃以上の温
度でBi塩と金属の反応を行わせることにより、厚さ
0.01μm以上のSn−Bi系合金層を形成して端子
電極を形成するチップ型電子部品の製造方法。
An electrode paste formed by kneading a glass frit, an organic vehicle, and a metal powder is applied to both ends of an electronic component element and fired at a temperature of 600 to 900 ° C. to form an electrode. After applying a paste made of Bi salt and Sn or Sn alloy thereon, a reaction between the Bi salt and the metal is performed at a temperature of 200 ° C. or more to form a Sn—Bi-based alloy layer having a thickness of 0.01 μm or more. A method for manufacturing a chip-type electronic component in which a terminal electrode is formed.
【請求項2】 電極ペーストとしてCu、Ni、Ag−
Pd合金のうち少なくとも1つの金属粉または合金粉を
用いる請求項1に記載のチップ型電子部品の製造方法。
2. An electrode paste comprising Cu, Ni, Ag-
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein at least one metal powder or alloy powder among Pd alloys is used.
【請求項3】 Ag−Pd合金として、Pd含有量が1
0%以上である請求項2に記載のチップ型電子部品の製
造方法。
3. An Ag—Pd alloy having a Pd content of 1
The method for producing a chip-type electronic component according to claim 2, wherein the content is 0% or more.
【請求項4】 Sn合金として、Ag含有率が5wt%
以下のSn−Ag合金を用いる請求項1に記載のチップ
型電子部品の製造方法。
4. The Sn alloy has an Ag content of 5 wt%.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein the following Sn-Ag alloy is used.
【請求項5】 Sn合金として、Cu含有率が1wt%
以下のSn−Cu合金を用いる請求項1に記載のチップ
型電子部品の製造方法。
5. The Sn alloy has a Cu content of 1 wt%.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein the following Sn-Cu alloy is used.
【請求項6】 Sn合金として、Zn含有率が15wt
%以下のSn−Zn合金を用いる請求項1に記載のチッ
プ型電子部品の製造方法。
6. The Sn alloy has a Zn content of 15 wt.
2. The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein the Sn-Zn alloy is used in an amount of not more than 5%.
【請求項7】 Sn合金として、In含有率が30wt
%以下のSn−In合金を用いる請求項1に記載のチッ
プ型電子部品の製造方法。
7. The Sn alloy has an In content of 30 wt.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein the Sn-In alloy is used in an amount of not more than 5%.
【請求項8】 Sn合金として、Ag含有率が5wt%
以下、Cu含有率が1wt%以下のSn−Ag−Cu合
金を用いる請求項1に記載のチップ型電子部品の製造方
法。
8. The Sn alloy has an Ag content of 5 wt%.
2. The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein a Sn-Ag-Cu alloy having a Cu content of 1 wt% or less is used.
【請求項9】 Sn合金として、Ag含有率が5wt%
以下、Zn含有率が15wt%以下のSn−Ag−Zn
合金を用いる請求項1に記載のチップ型電子部品の製造
方法。
9. The Sn alloy has an Ag content of 5 wt%.
Hereinafter, Sn-Ag-Zn having a Zn content of 15 wt% or less.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein an alloy is used.
【請求項10】 Sn合金として、Ag含有率が5wt
%以下、In含有率が30wt%以下のSn−Ag−I
n合金を用いる請求項1に記載のチップ型電子部品の製
造方法。
10. An Sn alloy having an Ag content of 5 wt.
% Or less, and the In content is 30 wt% or less.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein an n-alloy is used.
【請求項11】 Sn合金として、Cu含有率が1wt
%以下、Zn含有率が15wt%以下のSn−Cu−Z
n合金を用いる請求項1に記載のチップ型電子部品の製
造方法。
11. The Sn alloy has a Cu content of 1 wt.
% Or less, and Sn-Cu-Z having a Zn content of 15% by weight or less.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein an n-alloy is used.
【請求項12】 Sn合金として、Cu含有率が1wt
%以下、In含有率が30wt%以下のSn−Cu−I
n合金を用いる請求項1に記載のチップ型電子部品の製
造方法。
12. The Sn alloy has a Cu content of 1 wt.
% Or less, Sn-Cu-I having an In content of 30% by weight or less.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein an n-alloy is used.
【請求項13】 Sn合金として、Zn含有率が15w
t%以下、In含有率が30wt%以下のSn−Zn−
In合金を用いる請求項1に記載のチップ型電子部品の
製造方法。
13. The Sn alloy has a Zn content of 15 watts.
t-% or less, and the In content is 30 wt% or less.
The method for manufacturing a chip-type electronic component according to claim 1, wherein an In alloy is used.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001143960A (en) * 1999-11-17 2001-05-25 Murata Mfg Co Ltd Ceramic electronic component and its mounting structure
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