JPH10319160A - 導波管 - Google Patents
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- JPH10319160A JPH10319160A JP9127599A JP12759997A JPH10319160A JP H10319160 A JPH10319160 A JP H10319160A JP 9127599 A JP9127599 A JP 9127599A JP 12759997 A JP12759997 A JP 12759997A JP H10319160 A JPH10319160 A JP H10319160A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】真空容器内の圧力が上昇した場合に、真空窓に
かかる圧力を真空容器側と高周波入力側との双方で同一
とすることにより、真空窓の不具合の発生を防止する。 【解決手段】真空容器２に高周波を伝送させる伝送路の
途中に真空窓４を気密に挿入した導波管において、真空
窓４によって仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波
入力側とを連通するバイパス配管１２を設け、このバイ
パス配管１２に破裂板を有する安全装置１３を設けた。
かかる圧力を真空容器側と高周波入力側との双方で同一
とすることにより、真空窓の不具合の発生を防止する。 【解決手段】真空容器２に高周波を伝送させる伝送路の
途中に真空窓４を気密に挿入した導波管において、真空
窓４によって仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波
入力側とを連通するバイパス配管１２を設け、このバイ
パス配管１２に破裂板を有する安全装置１３を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば高周波で真
空容器内のプラズマを加熱する核融合装置において、真
空容器に高周波のエネルギーを入射させるために用いら
れる導波管に関する。
空容器内のプラズマを加熱する核融合装置において、真
空容器に高周波のエネルギーを入射させるために用いら
れる導波管に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６に導波管の従来例として核融合装置
の導波管の断面図を示す。図６に示すように、導波管１
は核融合装置の真空容器２に高周波発振器３から発振さ
れた高周波を伝送するものである。この導波管１の途中
には真空窓４が配置されており、この真空窓４を配置し
たことにより真空容器２内および導波管１の真空容器２
側は真空に保持される一方、導波管１の高周波入力側は
大気圧となっている。真空窓４は、導波管１の途中の内
周面に挿入して気密に接合され、これにより真空容器２
側と高周波発振器３側との間の真空シール機能が保持さ
れる。
の導波管の断面図を示す。図６に示すように、導波管１
は核融合装置の真空容器２に高周波発振器３から発振さ
れた高周波を伝送するものである。この導波管１の途中
には真空窓４が配置されており、この真空窓４を配置し
たことにより真空容器２内および導波管１の真空容器２
側は真空に保持される一方、導波管１の高周波入力側は
大気圧となっている。真空窓４は、導波管１の途中の内
周面に挿入して気密に接合され、これにより真空容器２
側と高周波発振器３側との間の真空シール機能が保持さ
れる。
【０００３】真空容器２の内側には冷却配管５が設けら
れ、この冷却配管５中に真空容器２を冷却するために冷
却水６を流している。そして、冷却配管５の破断による
冷却水６の浸入事故による圧力上昇を想定し、真空容器
２には圧力緩和配管７が連結され、この圧力緩和配管７
の真空容器２側の開口部に真空容器を保護する破裂板を
有する安全装置８が取り付けられるとともに、圧力緩和
配管７の排出側に圧力緩和タンク９が設置されている。
れ、この冷却配管５中に真空容器２を冷却するために冷
却水６を流している。そして、冷却配管５の破断による
冷却水６の浸入事故による圧力上昇を想定し、真空容器
２には圧力緩和配管７が連結され、この圧力緩和配管７
の真空容器２側の開口部に真空容器を保護する破裂板を
有する安全装置８が取り付けられるとともに、圧力緩和
配管７の排出側に圧力緩和タンク９が設置されている。
【０００４】したがって、真空容器２内の圧力が上昇し
た場合には、安全装置８の破裂板が破裂することによ
り、真空容器２内に生成した水蒸気１０が圧力緩和配管
７を通り、圧力緩和タンク９内に収容された冷却水１１
中に放出され、冷却されることにより凝縮し、真空容器
２の圧力を低下させる。これにより、真空容器２が耐圧
値を超えて破壊するのを防止している。
た場合には、安全装置８の破裂板が破裂することによ
り、真空容器２内に生成した水蒸気１０が圧力緩和配管
７を通り、圧力緩和タンク９内に収容された冷却水１１
中に放出され、冷却されることにより凝縮し、真空容器
２の圧力を低下させる。これにより、真空容器２が耐圧
値を超えて破壊するのを防止している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の導波管１を備えた核融合装置では、真空容器２
内で圧力上昇が生じ、安全装置８の破裂板が破裂した
後、圧力緩和タンク９内で水蒸気１０を凝縮させるため
に時間がかかるため、真空容器２内の圧力は上昇する。
この真空容器２内の圧力上昇により、真空窓４は耐圧値
が真空容器２に比べて低いため、不具合が発生するおそ
れがある。
た従来の導波管１を備えた核融合装置では、真空容器２
内で圧力上昇が生じ、安全装置８の破裂板が破裂した
後、圧力緩和タンク９内で水蒸気１０を凝縮させるため
に時間がかかるため、真空容器２内の圧力は上昇する。
この真空容器２内の圧力上昇により、真空窓４は耐圧値
が真空容器２に比べて低いため、不具合が発生するおそ
れがある。
【０００６】したがって、真空窓４に不具合が発生する
と、真空容器２側と高周波発振器３側との間の真空シー
ル機能が損なわれて真空容器２が大気圧となり、真空容
器２の内側を真空に保持することができなくなるおそれ
があるという課題がある。
と、真空容器２側と高周波発振器３側との間の真空シー
ル機能が損なわれて真空容器２が大気圧となり、真空容
器２の内側を真空に保持することができなくなるおそれ
があるという課題がある。
【０００７】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、真空容器内の圧力が上昇した場合に、真空窓に
かかる圧力を真空容器側と高周波入力側との双方で同一
とすることにより、真空窓の不具合の発生を防止するこ
との可能な導波管を提供することを目的とする。
もので、真空容器内の圧力が上昇した場合に、真空窓に
かかる圧力を真空容器側と高周波入力側との双方で同一
とすることにより、真空窓の不具合の発生を防止するこ
との可能な導波管を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の請求項１は、真空容器に高周波を伝送
させる伝送路の途中に真空窓を気密に挿入した導波管に
おいて、前記真空窓によって仕切られた伝送路の真空容
器側と高周波入力側とを連通するバイパス配管を設け、
このバイパス配管に破裂板を有する安全装置を設けたこ
とを特徴とする。
ために、本発明の請求項１は、真空容器に高周波を伝送
させる伝送路の途中に真空窓を気密に挿入した導波管に
おいて、前記真空窓によって仕切られた伝送路の真空容
器側と高周波入力側とを連通するバイパス配管を設け、
このバイパス配管に破裂板を有する安全装置を設けたこ
とを特徴とする。
【０００９】請求項２は、請求項１記載の導波管におい
て、バイパス配管の径は、この導波管で伝送する高周波
のカットオフ周波数以下となるように設定されたことを
特徴とする。
て、バイパス配管の径は、この導波管で伝送する高周波
のカットオフ周波数以下となるように設定されたことを
特徴とする。
【００１０】請求項３は、請求項１記載の導波管におい
て、破裂板を有する安全装置を挟んだ前後両側にバルブ
を設けたことを特徴とする。
て、破裂板を有する安全装置を挟んだ前後両側にバルブ
を設けたことを特徴とする。
【００１１】請求項４は、請求項１記載の導波管におい
て、破裂板を有する安全装置に圧力検知器による破断機
構を設けたことを特徴とする。
て、破裂板を有する安全装置に圧力検知器による破断機
構を設けたことを特徴とする。
【００１２】請求項５は、請求項１記載の導波管におい
て、真空窓によって仕切られた伝送路の高周波入力側に
気体注入機構を設けたことを特徴とする。
て、真空窓によって仕切られた伝送路の高周波入力側に
気体注入機構を設けたことを特徴とする。
【００１３】請求項６は、請求項５記載の導波管におい
て、気体注入機構から注入される気体の量を調整する流
量調整弁を設けたことを特徴とする。
て、気体注入機構から注入される気体の量を調整する流
量調整弁を設けたことを特徴とする。
【００１４】請求項７は、請求項５または６記載の導波
管において、伝送路の真空容器側と高周波入力側とを連
通するバイパス配管を設け、このバイパス配管に逆止弁
を設けたことを特徴とする。
管において、伝送路の真空容器側と高周波入力側とを連
通するバイパス配管を設け、このバイパス配管に逆止弁
を設けたことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１６】図１は本発明に係る導波管の第１実施形態
を示す断面図であり、通常圧力時を示すものである。な
お、従来の構成と同一または対応する部分には図６と同
一の符号を用いて説明する。
を示す断面図であり、通常圧力時を示すものである。な
お、従来の構成と同一または対応する部分には図６と同
一の符号を用いて説明する。
【００１７】図１に示すように、導波管１は核融合装置
の真空容器２に高周波発振器３から発振された高周波を
伝送する伝送路を構成し、この導波管１の途中には真空
窓４が気密に挿入されている。この真空窓４により真空
容器２内および導波管１の真空容器２側は真空に保持さ
れる一方、導波管１の高周波入力側は大気圧となってい
る。
の真空容器２に高周波発振器３から発振された高周波を
伝送する伝送路を構成し、この導波管１の途中には真空
窓４が気密に挿入されている。この真空窓４により真空
容器２内および導波管１の真空容器２側は真空に保持さ
れる一方、導波管１の高周波入力側は大気圧となってい
る。
【００１８】真空容器２の内側には冷却水６を流すため
の冷却配管５が設けられ、また真空容器２には圧力緩和
配管７が連結され、この圧力緩和配管７の真空容器２側
の開口部に真空容器を保護する破裂板を有する安全装置
８が取り付けられるとともに、圧力緩和配管７の排出側
に圧力緩和タンク９が設置されている。
の冷却配管５が設けられ、また真空容器２には圧力緩和
配管７が連結され、この圧力緩和配管７の真空容器２側
の開口部に真空容器を保護する破裂板を有する安全装置
８が取り付けられるとともに、圧力緩和配管７の排出側
に圧力緩和タンク９が設置されている。
【００１９】さらに、導波管１において、真空窓４によ
って仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波入力側と
は、バイパス配管１２により連通され、このバイパス配
管１２内に破裂板を有する第２の安全装置１３が設置さ
れている。バイパス配管１２の径は、伝送する高周波の
カットオフ周波数よりも小さくなるような径に設定され
ており、バイパス配管１２における第２の安全装置１３
を挟んだ前後両側には、それぞれバルブ１４，１４が配
置されている。
って仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波入力側と
は、バイパス配管１２により連通され、このバイパス配
管１２内に破裂板を有する第２の安全装置１３が設置さ
れている。バイパス配管１２の径は、伝送する高周波の
カットオフ周波数よりも小さくなるような径に設定され
ており、バイパス配管１２における第２の安全装置１３
を挟んだ前後両側には、それぞれバルブ１４，１４が配
置されている。
【００２０】次に、第１実施形態の作用を説明する。
【００２１】真空容器２内で圧力上昇が生じ、安全装置
８の破裂板が破裂した後、圧力緩和タンク９内の冷却水
１１で水蒸気１０を凝縮させるために時間がかかるた
め、真空容器２内の圧力は引き続き上昇する。
８の破裂板が破裂した後、圧力緩和タンク９内の冷却水
１１で水蒸気１０を凝縮させるために時間がかかるた
め、真空容器２内の圧力は引き続き上昇する。
【００２２】この場合、第１実施形態では、真空窓４に
よって仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波入力側
とを連通するバイパス配管１２を設け、このバイパス配
管１２に第２の安全装置１３を設けたことにより、真空
容器２内の圧力上昇時に、この圧力を第２の安全装置１
３の破裂板を破裂させてバイパス配管１２から逃がし、
真空窓４にかかる圧力を真空容器２側と高周波入力側の
双方で同一とし、真空窓４の破壊を防ぐことができる。
よって仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波入力側
とを連通するバイパス配管１２を設け、このバイパス配
管１２に第２の安全装置１３を設けたことにより、真空
容器２内の圧力上昇時に、この圧力を第２の安全装置１
３の破裂板を破裂させてバイパス配管１２から逃がし、
真空窓４にかかる圧力を真空容器２側と高周波入力側の
双方で同一とし、真空窓４の破壊を防ぐことができる。
【００２３】また、バイパス配管１２の径が伝送する高
周波のカットオフ周波数より小さくなるように設定され
ているため、高周波の伝播に悪影響を与えることがな
い。さらに、第２の安全装置１３の定期点検、取り替え
の際は、前後両側のバルブ１４，１４を閉めることによ
り、真空容器２の真空状態を損なうことなく、作業を行
うことが可能となる。
周波のカットオフ周波数より小さくなるように設定され
ているため、高周波の伝播に悪影響を与えることがな
い。さらに、第２の安全装置１３の定期点検、取り替え
の際は、前後両側のバルブ１４，１４を閉めることによ
り、真空容器２の真空状態を損なうことなく、作業を行
うことが可能となる。
【００２４】図２は本発明に係る導波管の第２実施形態
を示す断面図、図３は第２実施形態の破裂板を有する第
２の安全装置１３に取り付けられた破断機構を示す拡大
断面図である。なお、前記第１実施形態と同一の部分に
は同一の符号を付して説明する。以下の各実施形態も同
様である。
を示す断面図、図３は第２実施形態の破裂板を有する第
２の安全装置１３に取り付けられた破断機構を示す拡大
断面図である。なお、前記第１実施形態と同一の部分に
は同一の符号を付して説明する。以下の各実施形態も同
様である。
【００２５】図２に示すように、第２実施形態は、真空
容器２内で圧力上昇が生じたときの真空窓４への差圧を
緩和するものであり、導波管１において、真空窓４によ
って仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波入力側と
は、バイパス配管１２により連通され、このバイパス配
管１２内に第２の安全装置１３が設置されている。
容器２内で圧力上昇が生じたときの真空窓４への差圧を
緩和するものであり、導波管１において、真空窓４によ
って仕切られた伝送路の真空容器２側と高周波入力側と
は、バイパス配管１２により連通され、このバイパス配
管１２内に第２の安全装置１３が設置されている。
【００２６】また、バイパス配管１２における第２の安
全装置１３を挟んだ前後両側には、それぞれバルブ１
４，１４が配置されている。そして、第２の安全装置１
３には、圧力検知器による破断機構１５が取り付けられ
ている。
全装置１３を挟んだ前後両側には、それぞれバルブ１
４，１４が配置されている。そして、第２の安全装置１
３には、圧力検知器による破断機構１５が取り付けられ
ている。
【００２７】この破断機構１５は、図３に示すようにバ
ルブ１４，１４が配置されたバイパス配管１２の範囲に
おいて、第２の安全装置１３を挟んだ前後両側を連通す
るように設置された安全装置バイパス管１６を有し、こ
のバイパス管１６には圧力検知器１７の検知信号に基づ
いて作動するバルブ１８が設置されている。そして、圧
力検知器１７は、第２の安全装置１３の前側（真空容器
２側）の圧力を検知している。
ルブ１４，１４が配置されたバイパス配管１２の範囲に
おいて、第２の安全装置１３を挟んだ前後両側を連通す
るように設置された安全装置バイパス管１６を有し、こ
のバイパス管１６には圧力検知器１７の検知信号に基づ
いて作動するバルブ１８が設置されている。そして、圧
力検知器１７は、第２の安全装置１３の前側（真空容器
２側）の圧力を検知している。
【００２８】次に、第２実施形態の作用を説明する。
【００２９】図２において、真空容器２内への冷却水６
に浸入による圧力上昇により、バイパス配管１２内の第
２の安全装置１３の破裂板が破壊する。この時、真空容
器保護破裂板式安全装置８は既に開いている。したがっ
て、水蒸気１０はバイパス配管１２を通り、導波管１の
真空窓４に対して高周波入力側に流入する。
に浸入による圧力上昇により、バイパス配管１２内の第
２の安全装置１３の破裂板が破壊する。この時、真空容
器保護破裂板式安全装置８は既に開いている。したがっ
て、水蒸気１０はバイパス配管１２を通り、導波管１の
真空窓４に対して高周波入力側に流入する。
【００３０】しかし、バイパス配管１２内の第２の安全
装置１３が圧力上昇に対して何らかの理由で開かなかっ
た場合は、破断機構１５が作動する。すなわち、図３に
示すように圧力検知器１７がその上昇した圧力を検知
し、この検知信号に基づいて安全装置バイパス管１６の
バルブ１８が開くようになっている。
装置１３が圧力上昇に対して何らかの理由で開かなかっ
た場合は、破断機構１５が作動する。すなわち、図３に
示すように圧力検知器１７がその上昇した圧力を検知
し、この検知信号に基づいて安全装置バイパス管１６の
バルブ１８が開くようになっている。
【００３１】このように第２実施形態によれば、破裂板
式安全装置１３に圧力検知器１７による破断機構１５を
設けたことにより、真空窓４の真空容器側と高周波入力
側での圧力が等しくなり、真空窓４の破壊を防止するこ
とができる。
式安全装置１３に圧力検知器１７による破断機構１５を
設けたことにより、真空窓４の真空容器側と高周波入力
側での圧力が等しくなり、真空窓４の破壊を防止するこ
とができる。
【００３２】図４は本発明にかかる導波管の第３実施形
態を示す断面図である。この実施形態も真空容器２内の
圧力上昇が生じたときの真空窓４への差圧を緩和するも
のである。
態を示す断面図である。この実施形態も真空容器２内の
圧力上昇が生じたときの真空窓４への差圧を緩和するも
のである。
【００３３】第３実施形態では、図４に示すように真空
容器２内の圧力を測定する圧力計１９を有する一方、導
波管１における真空窓４によって仕切られた伝送路の高
周波入力側に気体注入機構２０が設けられ、この気体注
入機構２０から高周波入力側の伝送路に注入される気体
２１の量は、流量調整弁２２によって調整される。この
流量調整弁２２の開度は、圧力計１９の測定信号に基づ
いて調整される。
容器２内の圧力を測定する圧力計１９を有する一方、導
波管１における真空窓４によって仕切られた伝送路の高
周波入力側に気体注入機構２０が設けられ、この気体注
入機構２０から高周波入力側の伝送路に注入される気体
２１の量は、流量調整弁２２によって調整される。この
流量調整弁２２の開度は、圧力計１９の測定信号に基づ
いて調整される。
【００３４】次に、第３実施形態の作用を説明する。
【００３５】真空容器２に対して真空容器２側の圧力計
１９が圧力上昇を感知することにより、気体注入機構２
０が作動し、この気体注入機構２０から導波管１の高周
波入力側へ気体２１の注入を行う。
１９が圧力上昇を感知することにより、気体注入機構２
０が作動し、この気体注入機構２０から導波管１の高周
波入力側へ気体２１の注入を行う。
【００３６】この気体注入においては、導波管１の高周
波入力側と真空容器２内の圧力が等しくなるように流量
調整弁２２を用いて注入を行う。注入する気体２１とし
ては、不活性ガスが用いられる。
波入力側と真空容器２内の圧力が等しくなるように流量
調整弁２２を用いて注入を行う。注入する気体２１とし
ては、不活性ガスが用いられる。
【００３７】このように第３実施形態によれば、真空窓
４によって仕切られた伝送路の高周波入力側に気体注入
機構２０を設けたことにより、真空窓４の真空容器２側
と高周波入力側での圧力が等しくなり、真空窓４の破壊
を防止することができる。また、注入する気体２１とし
て不活性ガスを用いたことにより、高周波発振器３側を
清浄に保つことができる。
４によって仕切られた伝送路の高周波入力側に気体注入
機構２０を設けたことにより、真空窓４の真空容器２側
と高周波入力側での圧力が等しくなり、真空窓４の破壊
を防止することができる。また、注入する気体２１とし
て不活性ガスを用いたことにより、高周波発振器３側を
清浄に保つことができる。
【００３８】図５は本発明に係る導波管の第４実施形態
を示す断面図である。この実施形態は、真空容器２の凝
縮による圧力低下時の真空窓４への差圧を緩和するもの
である。
を示す断面図である。この実施形態は、真空容器２の凝
縮による圧力低下時の真空窓４への差圧を緩和するもの
である。
【００３９】図５に示すように、第４実施形態では、第
３実施形態の構成に加え、真空窓４によって仕切られた
伝送路の真空容器２側と高周波入力側とを連通するバイ
パス配管２３が設けられ、このバイパス配管２３に逆止
弁２４が介装されている。
３実施形態の構成に加え、真空窓４によって仕切られた
伝送路の真空容器２側と高周波入力側とを連通するバイ
パス配管２３が設けられ、このバイパス配管２３に逆止
弁２４が介装されている。
【００４０】次に、第４実施形態の作用を説明する。
【００４１】気体注入機構２０の動作による真空窓４へ
の差圧緩和終了後、真空容器２の圧力緩和タンク９内で
の凝縮が進行し、真空容器２内の圧力が減少した場合に
は、導波管１の高周波入力側の圧力の方が真空容器２側
に比べ高くなり、バイパス配管２３内の逆止弁２４が開
く。この時、気体２１の流れは、導波管１の高周波入力
側からバイパス配管２３を通り、導波管１の真空容器２
側に流入する。
の差圧緩和終了後、真空容器２の圧力緩和タンク９内で
の凝縮が進行し、真空容器２内の圧力が減少した場合に
は、導波管１の高周波入力側の圧力の方が真空容器２側
に比べ高くなり、バイパス配管２３内の逆止弁２４が開
く。この時、気体２１の流れは、導波管１の高周波入力
側からバイパス配管２３を通り、導波管１の真空容器２
側に流入する。
【００４２】このように第４実施形態によれば、伝送路
の真空容器２側と高周波入力側を連通するバイパス配管
２３を設け、このバイパス配管２３に逆止弁２４を設け
たことにより、真空窓４の真空容器２側と高周波入力側
での圧力が等しくなり、真空窓４の破壊を防止すること
ができる。
の真空容器２側と高周波入力側を連通するバイパス配管
２３を設け、このバイパス配管２３に逆止弁２４を設け
たことにより、真空窓４の真空容器２側と高周波入力側
での圧力が等しくなり、真空窓４の破壊を防止すること
ができる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、真空容器に高周波を伝送させる伝送路の途中
に真空窓を気密に挿入した導波管において、真空窓によ
って仕切られた伝送路の真空容器側と高周波入力側とを
連通するバイパス配管を設け、このバイパス配管に破裂
板を有する安全装置を設けたことにより、真空容器内の
圧力上昇時に、真空窓にかかる圧力を真空容器側と高周
波入力側との双方で同一とすることができ、その結果、
真空窓の破壊を防ぐことができる。
によれば、真空容器に高周波を伝送させる伝送路の途中
に真空窓を気密に挿入した導波管において、真空窓によ
って仕切られた伝送路の真空容器側と高周波入力側とを
連通するバイパス配管を設け、このバイパス配管に破裂
板を有する安全装置を設けたことにより、真空容器内の
圧力上昇時に、真空窓にかかる圧力を真空容器側と高周
波入力側との双方で同一とすることができ、その結果、
真空窓の破壊を防ぐことができる。
【００４４】請求項２によれば、請求項１記載の導波管
において、バイパス配管の径は、伝送する高周波のカッ
トオフ周波数以下となるように設定することにより、バ
イパス配管による導波管内の高周波の伝播に悪影響を与
えることがなくなる。
において、バイパス配管の径は、伝送する高周波のカッ
トオフ周波数以下となるように設定することにより、バ
イパス配管による導波管内の高周波の伝播に悪影響を与
えることがなくなる。
【００４５】請求項３によれば、請求項１記載の導波管
において、破裂板を有する安全装置を挟んだ前後両側に
バルブを設けたことにより、破裂板を有する安全装置の
定期点検、取り替えの際に前後両側のバルブを閉めるこ
とで、真空容器の真空状態を損なうことなく、作業を行
うことが可能となる。
において、破裂板を有する安全装置を挟んだ前後両側に
バルブを設けたことにより、破裂板を有する安全装置の
定期点検、取り替えの際に前後両側のバルブを閉めるこ
とで、真空容器の真空状態を損なうことなく、作業を行
うことが可能となる。
【００４６】請求項４によれば、請求項１記載の導波管
において、破裂板を有する安全装置に圧力検知器による
破断機構を設けたことにより、バイパス配管内の破裂板
式安全装置が圧力上昇時に何らかの理由で開かなかった
場合でも、破断機構が作動し、真空窓にかかる圧力を真
空容器側と高周波入力側との双方で同一とすることがで
き、その結果、真空窓の破壊を防ぐことができる。
において、破裂板を有する安全装置に圧力検知器による
破断機構を設けたことにより、バイパス配管内の破裂板
式安全装置が圧力上昇時に何らかの理由で開かなかった
場合でも、破断機構が作動し、真空窓にかかる圧力を真
空容器側と高周波入力側との双方で同一とすることがで
き、その結果、真空窓の破壊を防ぐことができる。
【００４７】請求項５によれば、請求項１記載の導波管
において、真空窓によって仕切られた伝送路の高周波入
力側に気体注入機構を設けたことにより、真空容器内の
圧力上昇時に、真空窓にかかる真空容器側と高周波入力
側との差圧を小さくすることができ、その結果、真空窓
の破壊を防ぐことができる。
において、真空窓によって仕切られた伝送路の高周波入
力側に気体注入機構を設けたことにより、真空容器内の
圧力上昇時に、真空窓にかかる真空容器側と高周波入力
側との差圧を小さくすることができ、その結果、真空窓
の破壊を防ぐことができる。
【００４８】請求項６によれば、請求項５記載の導波管
において、気体注入機構から注入される気体の量を調整
する流量調整弁を設けたことにより、真空容器内の圧力
上昇時に、真空窓にかかる圧力を真空容器側と高周波入
力側との双方で同一とすることができ、その結果、真空
窓の破壊を防ぐことができる。
において、気体注入機構から注入される気体の量を調整
する流量調整弁を設けたことにより、真空容器内の圧力
上昇時に、真空窓にかかる圧力を真空容器側と高周波入
力側との双方で同一とすることができ、その結果、真空
窓の破壊を防ぐことができる。
【００４９】請求項７によれば、請求項５または６記載
の導波管において、伝送路の真空容器側と高周波入力側
とを連通するバイパス配管を設け、バイパス配管に逆止
弁を設けたことにより、真空容器内の凝縮による圧力低
下時に、真空窓にかかる圧力を真空容器側と高周波入力
側との双方で同一とすることができ、その結果、真空窓
の破壊を防ぐことができる。
の導波管において、伝送路の真空容器側と高周波入力側
とを連通するバイパス配管を設け、バイパス配管に逆止
弁を設けたことにより、真空容器内の凝縮による圧力低
下時に、真空窓にかかる圧力を真空容器側と高周波入力
側との双方で同一とすることができ、その結果、真空窓
の破壊を防ぐことができる。
【図１】本発明に係る導波管の第１実施形態を示す断面
図。
図。
【図２】本発明に係る導波管の第２実施形態を示す断面
図。
図。
【図３】本発明に係る導波管の第２実施形態における破
裂板を有する安全装置に取り付けられた破断機構を示す
拡大断面図。
裂板を有する安全装置に取り付けられた破断機構を示す
拡大断面図。
【図４】本発明に係る導波管の第３実施形態を示す断面
図。
図。
【図５】本発明に係る導波管の第４実施形態を示す断面
図。
図。
【図６】従来の導波管を示す断面図。
１ 導波管 ２ 真空容器 ３ 高周波発振器 ４ 真空窓 ５ 冷却配管 ６ 冷却水 ７ 圧力緩和配管 ８ 安全装置 ９ 圧力緩和タンク １０ 水蒸気 １１ 冷却水 １２ バイパス配管 １３ 第２の安全装置 １４ バルブ １５ 破断機構 １６ 安全装置バイパス管 １７ 圧力検知器 １８ バルブ １９ 圧力計 ２０ 気体注入機構 ２１ 気体 ２２ 流量調整弁 ２３ バイパス配管 ２４ 逆止弁
Claims (7)
- 【請求項１】 真空容器に高周波を伝送させる伝送路の
途中に真空窓を気密に挿入した導波管において、前記真
空窓によって仕切られた伝送路の真空容器側と高周波入
力側とを連通するバイパス配管を設け、このバイパス配
管に破裂板を有する安全装置を設けたことを特徴とする
導波管。 - 【請求項２】 請求項１記載の導波管において、バイパ
ス配管の径は、この導波管で伝送する高周波のカットオ
フ周波数以下となるように設定されたことを特徴とする
導波管。 - 【請求項３】 請求項１記載の導波管において、破裂板
を有する安全装置を挟んだ前後両側にバルブを設けたこ
とを特徴とする導波管。 - 【請求項４】 請求項１記載の導波管において、破裂板
を有する安全装置に圧力検知器による破断機構を設けた
ことを特徴とする導波管。 - 【請求項５】 請求項１記載の導波管において、真空窓
によって仕切られた伝送路の高周波入力側に気体注入機
構を設けたことを特徴とする導波管。 - 【請求項６】 請求項５記載の導波管において、気体注
入機構から注入される気体の量を調整する流量調整弁を
設けたことを特徴とする導波管。 - 【請求項７】 請求項５または６記載の導波管におい
て、伝送路の真空容器側と高周波入力側とを連通するバ
イパス配管を設け、このバイパス配管に逆止弁を設けた
ことを特徴とする導波管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9127599A JPH10319160A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | 導波管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9127599A JPH10319160A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | 導波管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10319160A true JPH10319160A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=14964079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9127599A Pending JPH10319160A (ja) | 1997-05-16 | 1997-05-16 | 導波管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10319160A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1428287A4 (en) * | 2001-08-16 | 2005-11-02 | Communications & Power Industries Inc | WAVE GUIDE WINDOW FOR PREVENTING DAMAGE DUE TO THE PRESENCE OF FOREIGN OBJECTS |
-
1997
- 1997-05-16 JP JP9127599A patent/JPH10319160A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1428287A4 (en) * | 2001-08-16 | 2005-11-02 | Communications & Power Industries Inc | WAVE GUIDE WINDOW FOR PREVENTING DAMAGE DUE TO THE PRESENCE OF FOREIGN OBJECTS |
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