JPH10311445A - ガス制御バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化が容易で、耐久性、信頼性の高いガス
制御バルブを提供する。 【解決手段】 ガス制御バルブ１は、第１ポート流路６
５と第２ポート流路６６の間に形成された弁座５９と、
この弁座５９に当接または離間するダイヤフラム５４と
弁体５８からなるダイヤフラム弁体と、弁体５８を弁閉
方向に付勢するピストンロッド５３と、ピストンロッド
５３と組み付けられこのピストンロッド５３を弁閉方向
に付勢するピストン５２とを有しており、ピストン５２
とピストンロッド５３とは、ピストン貫通孔５２ａとロ
ッド膨出部５３ａとが係合しており、ピストン５２のリ
ング状突起部５２ｃをプレスかしめ加工することにより
一体化している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス制御バルブに
関し、特に好適には半導体製造工程で使用されるプロセ
スガス等のガスの流通を制御するための小型のガス制御
バルブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造工程において、シリコ
ン等のウェハーの処理が数枚のウェハーを同時に処理す
る枚葉処理の形態の他、一枚毎に処理する単数処理を行
う場合が増加している。これに伴い各種の処理装置の大
きさを小さくすることが求められ、処理に使用されるエ
ッチングガス等のプロセスガスの流通を制御するための
ガス制御バルブも、小型のものが求められている。

【０００３】図３は、従来のガス制御バルブ１００を示
す縦断面図である。このバルブ１００の弁座部材（バル
ブボディ）１６３は、図中左側に開口する第１ポート１
２８および右側に開口する第２ポート１２９を有する。
弁座部材１６３の略中央部まで延在した第１ポート１２
８は図中上方に折れ曲がって第１ポート垂直流路部１２
１ａを形成し、弁座部材の上面に突出して略有底円筒状
に形成された突出部１６３ａ内の底部に開口している。
また、第２ポート１２９は、弁座部材１６３の中央やや
右寄りまで延在して上方に折れ曲がり第２ポート垂直流
路部１２０ａを形成し同様に突出部１６３ａ内の底部に
開口している。

【０００４】弁座部材１６３の突出部１６３ａ内の底部
に形成されたリング状の弁座１５９の上方には、ダイヤ
フラム１５４を介して弁体１５８が当接または離間可能
に保持されダイヤフラム弁体を形成している。すなわ
ち、突出部１６３ａの外周に形成された雄ねじに螺合す
る中間部材１５７によって図中下方に押圧されるダイヤ
フラム固定ブラケット１５６と、弁座部材１６３とでダ
イヤフラム１５４の外周が固定されている。なお、弁体
１５８と弁座１５９の間にダイヤフラム１５４を介在さ
せているのは、ガスの漏れを防止するためである。

【０００５】中間部材１５７の中央部にあけた貫通孔に
は、ピストンロッド１５３が摺動可能に保持されてい
る。また、このピストンロッド１５３の軸方向略中央に
は、ピストン１５２にあけたピストン貫通孔１５２ａに
貫挿されており、ロッド膨出部１５３ａの上面とピスト
ン顎部１５２ｂとが係合する。さらに、ピストンロッド
１５３のピストン上面１５２ｃ近傍に形成したロッド溝
１５３ｂにＥ型リング（Ｅ型止め輪）１７２を差込んで
抜け防止をすることで、ピストンロッド１５３とピスト
ン１５２とは一体になって上下動するようにされてい
る。

【０００６】中間部材１５７の上方には、パイロット弁
シリンダ１５１が中間部材１５７と螺合して固設されて
いる。パイロット弁シリンダ１５１の内側には、ピスト
ン１５２、さらにこのピストン１５２を介して、ピスト
ンロッド１５３や弁体１５８を下向き（弁閉方向）に付
勢するための復帰バネ１５５が取り付けられている。ま
た、パイロット弁シリンダ１５１の中心部には、図中上
面に開口する駆動空気用ポート１６０が形成されてい
る。ピストンロッド１５３の中心軸には、ピストンロッ
ドの上端からロッド膨出部１５３ａよりも下方に達する
深さでロッド中心孔１５３ｃが形成され、さらに、ロッ
ド膨出部１５３ａの直下には、ピストンロッドを径方向
（図中左右方向）に貫通しロッド中心孔１５３ｃを横断
する連通孔１５３ｄが形成されている。これにより、中
間部材１５７の上面とピストン１５２の下面がなす空間
が連通孔１５３ｄ、ロッド中心孔１５３ｃを通じて駆動
空気用ポート１６０に連通するようにされている。

【０００７】このガス制御バルブ１００は、駆動空気用
ポート１６０に圧縮空気が送られていない状態では、ピ
ストン１５２、ピストンロッド１５３が復帰バネ１５５
により下向きに付勢されており、ピストンロッド１５３
が弁体１５８を図中下方に押圧して、ダイヤフラム１５
４を介して弁座１５９に弁体１５８を当接させている。
なお、ダイヤフラム１５４を介して弁体１５８にはプロ
セスガスやパージガス等によるガス圧がかかり、弁体１
５８を押し上げようとしている。しかし、復帰バネ１５
５の付勢する力が強いため、弁体１５８はガス圧に逆ら
って弁座１５９に当接され、従って、第１ポート１２８
（第１ポート垂直流路部１２１ａ）と第２ポート１２９
（第２ポート垂直流路部１２０ａ）とは遮断されてい
る。

【０００８】次に、駆動空気用ポート１６０に圧縮空気
が送られると、ピストン１５２、ピストンロッド１５３
が上向きに移動する。そして、ダイヤフラム１５４およ
び弁体１５８が、プロセスガスやパージガス等のガス圧
力により上向きに移動させられ、第１ポート１２８と第
２ポート１２９とが連通してガスが流通する。このよう
にポート１６０に送る圧縮空気を制御することにより、
ダイヤフラム弁体（ダイヤフラム１５４，弁体１５８）
の開閉を行い、第１ポート１２８と第２ポート１２９と
のガスの流通を制御することができることとなる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ガス制御バルブには、次のような問題があった。 （１）図３に示すような従来のガス制御バルブでは、ピ
ストン１５２からピストンロッド１５３が抜けるのを防
止して両者を一体化するのを、ロッド溝１５３ｂとこの
溝に差し込まれたＥ型リング１７２によって行ってい
る。小型のガス制御バルブではピストンロッド１５３の
径が小さくなるため、ロッド溝１５３ｂに差し込まれる
Ｅ型リング１７２も小さいものを使用することとなる。
しかし、Ｅ型リング１７２は寸法が小さくなると、扱い
にくくなり組み付けが面倒である。その上、ロッド溝１
５３ｂに差し込む際に、ねじれ状に変形してロッド溝１
５３ｂに完全にはまらなかったり、Ｅリング両腕間の間
隔が所定の値よりも大きく変形して外れやすくなる場合
があった。このような場合には、ピストン１５２やピス
トンロッド１５３の上下動により応力や衝撃がＥ型リン
グ１７２に掛かると、Ｅ型リングがピストンロッド１５
３から外れ、ピストン１５２からピストンロッド１５３
が抜けて所望の動作が出来なくなる不具合を生じる。ま
た、繰り返し動作においてＥ型リング１７２に耐せん断
荷重よりも大きい衝撃が掛かった場合にもＥ型リングが
外れる同様な不具合を生じる恐れがあった。

【００１０】（２）ピストン１５２とピストンロッド１
５３との間には、駆動空気ポート１６０から送られた圧
縮空気が漏れないようにシールする目的でピストン−ピ
ストンロッド間Ｏリング１７０がピストン貫通孔１５２
ａ内に挿入されているが、Ｏリング１７０をピストンロ
ッド１５３に通す必要があり組み付けが面倒であった。
本発明は上記問題点を解決し、ピストンとピストンロッ
ドとをＥ型リング等の止め輪を用いることなく抜け止め
を行って両者を一体化し、小型化が容易で、耐久性、信
頼性の高いガス制御バルブを提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、ポート間を連通する流路に
形成された弁座と、弁座に当接または離間する弁体と、
該弁体を弁閉方向に付勢するピストンロッドと、該ピス
トンロッドに組み付けられ該ピストンロッドを弁閉方向
に付勢するピストンと、を有するガス制御バルブにおい
て、上記ピストンに形成された貫通孔に貫挿された上記
ピストンロッドが該ピストンの一部のかしめ加工により
前記ピストンと一体化してなることを特徴とするガス制
御バルブを要旨とする。

【００１２】ここで、弁体には、弁体と弁座との間にダ
イヤフラムを介在させたダイヤフラム弁体をも含む。本
発明によれば、ピストンの一部をかしめ加工することに
よりピストンとピストンロッドとを一体化しているの
で、Ｅ型リングのような止め輪を用いる必要がなく、止
め輪を差し込む溝を形成する必要もない。確実に加工で
きるので小型化が容易で、繰り返し動作により止め輪が
外れることもないので、ピストンロッドがピストンから
抜けることなく信頼性の高いガス制御バルブとすること
ができる。

【００１３】さらに、上記目的を達成するために請求項
２に記載の発明は、前記ピストンロッドが膨出部を有
し、前記ピストンの弁体側の貫通孔端と該ピストンロッ
ドの膨出部とが係合し、かつ、該膨出部と貫通孔端とが
係合密着するように前記かしめ加工を施してなることを
特徴とする請求項１に記載のガス制御バルブを要旨とす
る。

【００１４】ここで、ピストンロッドの膨出部は、ピス
トンロッドの軸線に対して径方向に膨出してピストンの
貫通孔より径大とされ、この貫通孔と係合する形状であ
ればよく、例えば、径方向外形が円板あるいは角板の鍔
状に外周全体にわたって形成される場合が挙げられる。
このほか、一文字あるいは十文字形状のように一部膨出
していてもよく、さらには、軸方向（鍔の厚み方向）に
テーパが付された形状などとしても良い。本発明によれ
ば、ピストンロッドとピストンの貫通孔が弁体側で係合
しているので、ピストンがピストンロッドを弁閉方向に
付勢する力が確実にピストンロッドに伝えられる。一
方、ピストンの弁開方向への移動に伴いピストンロッド
が追従するときには、かしめ加工した部分に応力が掛か
る。しかし、追従に必要な力は弁体を押し上げようとす
るガス圧から得られるので、かしめ部分に掛かる応力は
比較的小さいため、かしめ部分のゆるみや変形は生じな
い。したがって、このような方向からかしめ加工を施し
たものは、高い耐久性を得られる。

【００１５】さらに、上記目的を達成するために請求項
３に記載の発明は、前記ピストンロッドの前記貫挿部分
の寸法と前記ピストンの貫通孔の寸法とは、しまりばめ
または中間ばめの関係となる寸法とされていることを特
徴とする請求項１または２に記載のガス制御バルブを要
旨とする。

【００１６】しまりばめや中間ばめとなる寸法関係とさ
れていると、しめしろを有する関係であれば、ピストン
とピストンロッドとは抜けにくく、両者間にガタを生じ
ない。また、すきまを生ずる関係であっても両者のすき
まはごくわずかでありガタはほとんど生じない。このた
め、ピストンロッドがスムーズに摺動でき、弁体を垂直
に押圧することができるので、弁体が弁座と片当たりす
ることが無く、弁閉時に確実にシールすることができ
る。また、ピストンの貫通孔とピストンロッドとの間
に、すきまが生じないか、生じても小さいので、Ｏリン
グが無くとも両者間の気密を保つことができ、部品点数
を減らすことができ、組み付けも容易となる。

【００１７】さらに、上記目的を達成するために請求項
４に記載の発明は、前記ピストンロッドの貫挿部分と前
記ピストンの貫通孔との間には、ピストンロッドとピス
トンとを接着する接着剤が配されていることを特徴とす
る請求項１〜３のいずれかに記載のガス制御バルブを要
旨とする。

【００１８】本発明によれば、接着剤によりピストンロ
ッドとピストンがより強固に一体化するので耐久性が高
くなる。また、ピストンロッドとピストンの貫通孔との
間のシールがより完全となる。ここで、接着剤は、ピス
トンやピストンロッドの材質、すきまの大きさ等を考慮
して適宜選択すればよいが、嫌気性接着剤を用いると、
接着面に塗布するだけで足りるので適用が容易であり、
すきま内で硬化し、すきまに適用されたときシール性が
高いので、確実にシールできる点で好ましい。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るガス制御バル
ブについて具体化した実施の形態を図１および２を参照
しつつ詳細に説明する。図１は本発明の実施形態に係る
パイロット型ガス制御バルブの縦断面図であり、図２
は、このガス制御バルブに使用するピストン（図２
ａ）、ピストンロッド（図２ｂ）および両者を組み付け
た状態（図２ｃ）の縦断面図である。ガス制御バルブ１
のバルブボディ１６は、図示しない第１ポートおよび第
２ポートを有し、第１ポート垂直流路部２１ａおよび第
２ポート垂直流路部２０ａがバルブボディ上面１６ａに
開口している。

【００２０】このバルブボディ１６の上面１６ａには、
ボルト６４によって弁座部材６３が締結されている。こ
の弁座部材６３の略中央に形成された第１ポート流路６
５とその脇に形成された第２ポート流路６６は、リング
状の第１シール部材６１および第２シール部材６２を介
して、両ポート間および外部とのシールを保ちつつ、そ
れぞれバルブボディ１６の第１ポート垂直流路部２１ａ
および第２ポート垂直流路部２０ａに連通している。

【００２１】弁座部材６３の上面には、略有底円筒状に
形成された突出部６３ａが形成され、この突出部６３ａ
内の底部には第１ポート流路６５と第２ポート流路６６
とが開口している。第１ポート流路６５と第２ポート流
路６６の開口の間を遮るようにこの突出部６３ａの底部
にリング状の弁座５９が設けられ、この弁座５９の上方
には、ダイヤフラム５４を介して弁体５８が当接または
離間可能に保持されダイヤフラム弁体を形成している。
すなわち、突出部６３ａの内周に形成された雌ねじに螺
合する中間部材５７によって図中下方に押圧されるダイ
ヤフラム固定ブラケット５６と、弁座部材６３とでダイ
ヤフラム５４の外周が固定されている。これにより、第
１、第２ポート間を流通するガスが上方に漏れることが
防止される。中間部材５７の中央部にあけた貫通孔５７
ａには、ピストンロッド５３が上下方向に摺動可能に貫
挿、保持されている。このピストンロッド５３にはピス
トン５２が組み付けられ、両者は一体化されている。

【００２２】中間部材５７の上方には、パイロット弁シ
リンダ５１が中間部材５７と螺合して固設されている。
パイロット弁シリンダ５１の内側には、ピストン５２さ
らにこのピストン５２を介してピストンロッド５３や弁
体５８を下向き（弁閉方向）に付勢するための復帰バネ
５５が取り付けられている。また、パイロット弁シリン
ダ５１の中心軸に沿って、図中上面に開口する駆動空気
用ポート６０が形成されている。また、ピストンロッド
５３の中心軸には、ピストンロッド５３の図中上端から
ロッド膨出部５３ａよりも下方に達する深さでロッド中
心孔５３ｃが形成され、さらに、ロッド膨出部５３ａの
直下には、ピストンロッドを径方向（図中左右方向）に
貫通しロッド中心孔５３ｃを横断する連通孔５３ｄが形
成されている。これにより、中間部材５７の上面とピス
トン５２の下面がなす空間が連通孔５３ｄ、ロッド中心
孔５３ｃを通じて駆動空気用ポート６０に連通するよう
にされている。

【００２３】このように構成されたガス制御バルブ１
は、駆動空気用ポート６０から圧縮空気が送られていな
い状態では、弁閉状態となる。即ち、ピストン５２、ピ
ストンロッド５３が復帰バネ５５により下向き（弁閉方
向）に付勢されているため、ピストンロッド５３が弁体
５８を図中下方に押圧して、第１または第２ポート内の
プロセスガス等のガス圧に抗して、ダイヤフラム５４を
介して弁座５９に弁体５８を当接させる。従って、第１
ポート垂直流路部２１ａと第２ポート垂直流路部２０ａ
とは遮断（シール）されている。

【００２４】次に、駆動空気用ポート６０から、ロッド
中心孔５３ｃ、連通孔５３ｄを通じて中間部材５７の上
面とピストン５２の下面がなす空間Ｖ内に圧縮空気が送
られると、ピストン５２およびピストンロッド５３が上
向きに移動する。そして、ダイヤフラム５４および弁体
５８が、プロセスガスやパージガス等のガス圧力により
上向きに移動させられ、第１ポート流路６５と第２ポー
ト流路６６とが連通して第１ポートと第２ポート間をガ
スが流通する。このように駆動空気用ポート６０に送る
圧縮空気を制御することにより、ダイヤフラム弁体（ダ
イヤフラム５４、弁体５８）の開閉を行い、第１ポート
と第２ポートとのガスの流通を制御することができるこ
ととなる。

【００２５】ここで、ピストン５２、ピストンロッド５
３および両者の組み付けについて詳細に説明する。ピス
トン５２は、図２（ａ）に示すように略円盤状で、高力
アルミ合金からなり、中央にはピストン貫通孔５２ａが
形成されている。このピストン貫通孔５２ａは後述する
ピストンロッド５３の貫挿部５３ｂとのはめあわせのた
め、精密な寸法（内径寸法）で形成される。また、この
貫通孔５２ａの図中下方側（弁体側）端部を階段状に径
大とすることで、ピストン顎部（貫通孔端部）５２ｂを
形成すると共に、リング状突起部５２ｄを形成してい
る。また、ピストン５２の外周側面にはＯリングをはめ
込んでパイロット弁シリンダ５１の内周との間でシール
を保つように側面凹部５２ｅが形成されている。

【００２６】一方、ピストンロッド５３はステンレス鋼
からなり、その中央部には、ロッド５３の全周にわたっ
て鍔状に膨出するロッド膨出部５３ａが形成され、ピス
トン貫通孔５２ａにロッド５３が貫挿されたときに、ロ
ッド膨出部５３ａの上面とピストン顎部５２ｂとが係合
するようにされている。この膨出部５３ａの形状は、図
中上面がピストン顎部５３ｂと密着するように平面とさ
れ、一方、下面は下方が細くなるテーパ状とされてい
る。また、ロッド５３をピストン貫通孔５２ａに貫挿さ
せたときに、貫通孔５２ａとこれに対応する貫挿部５３
ｂは、しまりばめもしくは中間ばめとなる寸法で製作さ
れている。

【００２７】このようなピストン５２のピストン貫通孔
５２ａにピストンロッド５３を挿入し、膨出部５３ａの
上面をピストン顎部５２ｂに密着、係合させる。なお、
挿入時には、ピストン５２の貫通孔５２ａとロッド５３
の貫挿部５３ｂとの実寸法関係によっては、しめしろが
存在することとなり挿入困難な場合や、すきまが生じた
としてもわずかであるために挿入抵抗が大きい場合があ
るので、圧入により貫通孔５２ａにロッド５３を挿入す
る。このようにすることで、ピストン５２からロッド５
３が抜けにくくなる。しかも、両者の間にガタが生じな
いか、生じたとしても少ないので、ロッド５３がスムー
ズに摺動できるほか、弁体５８を図中下方にまっすぐ押
圧するので、弁体５８と弁座５９との片当たりが防止で
きるので、第１ポートと第２ポートとの間のシールが確
実にできる。

【００２８】なお、挿入前に、ピストン貫通孔５２ａ
内、ロッド貫挿部５３ｂ、またはこの両者に嫌気性接着
剤（図示しない）を塗布してから挿入するとよい。ピス
トン貫通孔５２ａとロッド貫挿部５３ｂの間の滑りを良
くなり圧入が容易となるうえ、嫌気性接着剤は空気を遮
断されると硬化するので塗布して挿入するだけで足りる
からである。また、ピストン５２とロッド５３とを一体
化する共に、両者間のすきまを埋めて強固なシール材と
なるからである。

【００２９】ついで、プレスかしめ加工により、ピスト
ン５２のリング状突起部５２ｄの先端が径小となり、ロ
ッド膨出部５３ａを突起部５２ｄが包むように、突起部
５２ｄをかしめ変形させる。これにより、ピストン顎部
５２ｂとロッド膨出部５３ａとが係合しかつ密着するよ
うにかしめ加工による応力が掛かり、ピストン５２とピ
ストンロッド５３が一体化される。このようにすると、
Ｅ型リングのような止め輪が不要であり、止め輪が外れ
ることによってロッドがピストンから抜けることもなく
なる。また、プレス等のかしめ加工によりかしめるの
で、小さなＥ型リングをロッド溝に差し込むような面倒
な作業が不要となる。

【００３０】上記実施形態においては、ダイヤフラムと
弁体とからなるダイヤフラム弁体を用いた例を示した
が、ダイヤフラムを用いないガス制御バルブに適用して
も良い。 また、駆動用の圧縮空気を駆動空気用ポート
からロッドに形成したロッド中心孔、連通孔を経由して
バルブ内部に導入した例を示したが、これに限定され
ず、パイロット弁シリンダや中間部材などの側面に駆動
空気用ポートを設け圧縮空気を導入するようにしても良
い。本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更して
適用可能である。

【００３１】

【発明の効果】以上に詳述したように、請求項１に記載
の発明によれば、Ｅ型リングのような止め輪を用いる必
要がなく、加工が確実に行えるので小型化が容易で、繰
り返し動作によりピストンロッドがピストンから抜ける
ことなく信頼性の高いガス制御バルブとすることができ
る。また、請求項２に記載の発明によれば、ピストンが
ピストンロッドを弁閉方向に付勢する力が確実にピスト
ンロッドに伝えられ、一方、かしめ部分のゆるみや変形
は生じないので、高い耐久性が得られる。さらに、請求
項３に記載の発明によれば、ピストンとピストンロッド
とは抜けにくくよりなり強固に一体化する。また、両者
間にガタを生じないかほとんど生じないので、弁体を垂
直に押圧すして、弁体と弁座との片当たりを防ぎ、弁閉
時に確実なシールができる。また、請求項４に記載の発
明によれば、接着剤によりピストンロッドとピストンが
より強固に一体化するので耐久性が高くなる。また、ピ
ストンロッドとピストンの貫通孔との間のシールがより
完全となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態にかかるパイロット型ガス制
御バルブの縦断面図である。

【図２】図１のガス制御バルブに使用する、（ａ）ピス
トン、（ｂ）ピストンロッド、および（ｃ）両者を組み
付けた状態の縦断面図である。

【図３】従来のガス制御バルブの縦断面図である。

【符号の説明】 １ ガス制御バルブ １６ バルブボディ ２０ａ 第２ポート垂直流路部 ２１ａ 第１ポート垂直流路部 ５１ パイロット弁シリンダ ５２ ピストン ５２ａ ピストン貫通孔 ５２ｂ ピストン顎部 ５２ｄ リング状突起部 ５３ ピストンロッド ５３ａ ロッド膨出部 ５３ｂ 貫挿部 ５３ｃ ロッド中心孔 ５３ｄ 連通孔 ５４ ダイヤフラム ５５ 復帰バネ ５６ ダイヤフラム固定ブラケット ５７ 中間部材 ５８ 弁体 ５９ 弁座 ６０ 駆動空気用ポート ６３ 弁座部材 ６５ 第１ポート流路 ６６ 第２ポート流路

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポート間を連通する流路に形成された弁
   座と、弁座に当接または離間する弁体と、該弁体を弁閉
   方向に付勢するピストンロッドと、該ピストンロッドに
   組み付けられ該ピストンロッドを弁閉方向に付勢するピ
   ストンと、を有するガス制御バルブにおいて、 上記ピストンに形成された貫通孔に貫挿された上記ピス
   トンロッドが該ピストンの一部のかしめ加工により前記
   ピストンと一体化してなることを特徴とするガス制御バ
   ルブ。
2. 【請求項２】 前記ピストンロッドが膨出部を有し、前
   記ピストンの弁体側の貫通孔端と該ピストンロッドの膨
   出部とが係合し、かつ、該膨出部と貫通孔端とが係合密
   着するように前記かしめ加工を施してなることを特徴と
   する請求項１に記載のガス制御バルブ。
3. 【請求項３】 前記ピストンロッドの前記貫挿部分の寸
   法と前記ピストンの貫通孔の寸法とは、しまりばめまた
   は中間ばめの関係となる寸法とされていることを特徴と
   する請求項１または２に記載のガス制御バルブ。
4. 【請求項４】 前記ピストンロッドの貫挿部分と前記ピ
   ストンの貫通孔との間には、ピストンロッドとピストン
   とを接着する接着剤が配されていることを特徴とする請
   求項１〜３のいずれかに記載のガス制御バルブ。