JPH1030947A - 超音波計測装置およびこれを含む流れ計測装置 - Google Patents
超音波計測装置およびこれを含む流れ計測装置Info
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- JPH1030947A JPH1030947A JP8184598A JP18459896A JPH1030947A JP H1030947 A JPH1030947 A JP H1030947A JP 8184598 A JP8184598 A JP 8184598A JP 18459896 A JP18459896 A JP 18459896A JP H1030947 A JPH1030947 A JP H1030947A
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Abstract
振動子14の交流受信信号を複数周期にわたってしきい
値と比較する比較手段19と、振動子14の送信から比
較手段14による検出ごとの複数の伝搬時間を計測する
計時手段21と、計時手段21の計測値の平均値より伝
搬時間を算出する時間演算手段22とを備えたものであ
る。これによって1回の超音波の送受信によって何度も
比較手段で比較を行なった計測値が得られるので、その
平均値を求めることによって高精度な伝搬時間の測定値
が短時間で得られ、低消費電力で計測を行うことができ
る。
Description
ガスなどの流量を計測する超音波計測装置およびこれを
含む流れ計測装置に関するものである。
8に示すように、流体管路1の一部に超音波振動子2と
3を流れの方向に相対して設け、スタート手段4で計時
手段5の計時を開始するとともに、トリガ手段6から送
信手段7でバースト信号送出し、振動子1から流れ方向
に超音波を発生させ、この超音波を振動子2で受信し、
増幅手段8と比較手段9で検出すると繰り返し手段10
を介して遅延手段11で遅延時間を設けて再び振動子1
から超音波を発生させ、この繰り返しを所定回数行った
ときに計時手段を停止させ時間を計測する。また逆に切
換手段12で振動子を切り換え、振動子2から流れに逆
らって超音波を発生し振動子1で受信させ、この繰り返
し時間をカウンタで計測し、このカウンタの差から時間
を求め流量演算手段13で流量を演算していた。また計
時手段5は、一定の周波数の発振器の信号をカウンタで
計測し時間を求めていた。
超音波計測装置では、流量精度を高めるために何度も繰
り返して測定を行い、その累積時間により伝搬時間を求
め流量を算出していた。よって流量の計測のために長い
測定時間が必要になり消費電力量が増大していた。この
ため低消費電力で高精度な計測値を得ることが課題にな
っていた。
するために、超音波信号を送受信する振動子と、前記振
動子の交流受信信号を複数周期にわたってしきい値と比
較する比較手段と、前記振動子の送信から前記比較手段
による検出ごとの複数の伝搬時間を計測する計時手段
と、前記計時手段の計測値の平均値より伝搬時間を算出
する時間演算手段とを備え、超音波信号の伝搬時間を測
定するものである。上記発明によれば、低消費電力であ
りながら高精度の流量値を得ることができる。
る振動子と、前記振動子の交流受信信号を複数周期にわ
たってしきい値と比較する比較手段と、前記振動子の送
信から前記比較手段による検出ごとの複数の伝搬時間を
計測する計時手段と、前記計時手段の計測値の平均値よ
り伝搬時間を算出する時間演算手段とを備えたものであ
る。そして1回の超音波の送受信によって何度も比較手
段で比較を行うので、その平均値によって高精度な伝搬
時間の測定値が短時間で得られ、低消費電力で計測を行
うことができる。
計測値を記憶する記憶手段を有し、前記計時手段の計測
値から算出された周期と平均周期から算出された値との
差が所定値以上であるとき、その計時手段の計測値をを
除外して新たな平均値を算出するものである。そして、
異常な計測値を未然に排除して平均値を求めるので、よ
り高精度の伝搬時間が得ることができる。
を記憶する記憶手段を有し、前記計時手段の計測値と平
均値から算出された値との差が所定値以上の計測値が少
なくとも全計測個数の20%以上であるとき、その計時
手段の計測値を無効とするものである。そして、何らか
の異常が発生して計測値のかなりの割合が不適切な値を
示したときには、その計測値をすべて無効にするので、
大きな誤差を未然に防止できる。
を記憶する記憶手段を有し、前記計時手段の計測値から
算出される周期とあらかじめ設定されている基準周期と
を比較し、その値の差が所定値以上であるとき、その計
時手段の計測値を無効とするものである。そして、異常
が発生して計測値全体が不適切な値を示したとき、その
計測値をすべて無効にするので、大きな誤差を未然に防
止できる。
して計時手段の値を記憶するラッチ回路と、ラッチ後に
前記ラッチ回路の値を読み込むマイコンから構成される
ので、平均値を求めることや異常な計測値を排除できる
ので、高精度な伝搬時間を算出することができる。ま
た、記憶手段は、比較手段の信号と同期して計時手段の
値を次々と記憶する複数のラッチ回路から構成されるも
のである。そしてラッチ回路によってすべての計測値を
ハードウェアに記憶しているので、低速のマイコンで信
号処理できるのでより低消費電力化が可能である。
測個数のうち任意の個数で平均値を算出するものであ
る。そして超音波の受信信号が受信直後に周期が変動す
るような振動子の特性であっても、安定している周期の
箇所のみ選んで演算を行うことにより、いろいろな振動
子に対応して高精度な計測を行うことができる。
い、比較手段より得られる計時手段の計測個数よりも送
信バースト信号の波数を大きくするものである。そし
て、振動子の特性により送信周期と受信周期とが異なる
場合にも受信の周期の影響を弱めることができ、高精度
な測定を行うことができる。
さいときその計測値を無効とするものである。そして、
異常な計測によって所定の計測が行われなかったことを
未然に判別して計測値を破棄するので、異常な誤差を未
然に防止できる。
がり時と立ち下がり時をそれぞれ検出するものである。
そして、1周期に2回の比較手段の計測を行うことによ
り、平均化の精度が向上し、より高精度な伝搬時間の計
測が可能になる。
がり時とで同一の伝達遅延時間の比較素子からなるもの
である。そして、立ち上がりと立ち下がりで比較手段で
の誤差が少なくなるので、高精度な伝搬時間の測定が行
える。
%以内の振動子で構成されたものである。そして、振動
子の送信と受信の周波数の差が小さいので、受信直後の
超音波信号の周期が安定しており、バラツキの少ない伝
搬時間の計測が可能である。
成され、受信信号は前記発振器の周期の整数倍より所定
時間外れた周期に設定されたものである。そして、比較
手段の信号入力時の発振器の位相を少しずらすことによ
り、発振器の周波数を高めることなく高い分解能の時間
計測値を得ることができ、発振器の低周波数化とカウン
タの桁数の低減により消費電力化が可能になる。
較手段より得られる計時手段の計測個数で除した値とし
たものである。そして、超音波信号の周期とあわせてカ
ウンタ用発振器の周期を適切にすることにより、比較手
段の信号入力する度に発振器の位相が少しずつずれて、
発振器の周波数の分解能が計測個数倍に高まることにな
り、発振器の低周波数化とカウンタの桁数の低減により
消費電力化が可能になる。
と、振動子の送信から比較手段の任意の検出時点までの
伝搬時間を計測する第2計時手段とを備えたものであ
る。そして、概略の伝搬時間を第2計時手段で求め、短
時間の高分解能の時間計測を計時手段で行うので、計時
手段のカウンタ、記憶手段のラッチの桁数が小さくな
り、低消費電力化と低コスト化が同時に達成される。
波の発振器であるものである。そして、第2計時手段の
発振器の低消費電力化が可能になるものである。
前記振動子の交流受信信号をしきい値と複数周期にわた
って比較する比較手段と、前記比較手段の最初の信号に
より再び送信する繰り返し手段と、繰り返し開始から終
了までの伝搬時間を計測する計時手段と、繰り返し終了
時に比較手段の検出ごとに得られた複数の前記計時手段
の計測値の平均値より伝搬時間を算出する時間演算手段
とを備えたものである。そして、超音波の繰り返しと比
較手段の複数回の時間計測を併用することにより、きわ
めて高精度の伝搬時間精度を得ることができる。
振動子間での超音波の反射の影響を受けずに伝搬時間の
計測ができるので、反射防止のための遅延時間を設ける
必要が無く、遅延時間の誤差が発生せず、かつ部品点数
を少なくすることができる。
する第1振動子及び第2振動子と、前記振動子の送受信
の切換手段と、前記振動子の交流受信信号をしきい値と
複数周期にわたって比較する比較手段と、前記振動子の
送信から前記比較手段による検出ごとの複数の伝搬時間
を計測する計時手段と、前記計時手段の計測値の平均値
より伝搬時間を算出する時間演算手段と、前記時間演算
手段の値に基づいて流速及び流量を算出する流れ演算手
段を備えたものである。そして、1回当たりの超音波伝
搬時間の計測精度を高めることで、微小な流量であって
も短時間で計測が行えるので低消費電力か化がはから
れ、ガスメータ計量メータのような屋外に設置される器
具であっても、電池によって10年以上の長期にわたっ
て電池交換なしに連続運転ができる。
て説明する。 (実施例1)図1は本発明の実施例1の超音波計測装置
を距離計に応用したブロック図である。また図2は超音
波受信信号と比較信号の波形図である。
送信するし反射信号を受信する振動子15と、この振動
子15の送受信を切り換える切換手段16がある。17
はスタート回路18の信号を受けて振動子15にバース
ト信号を送る送信回路、19は振動子15からの受信信
号を増幅する増幅回路20の信号をしきい値と比較して
信号を出力する比較手段であり、この比較手段20の信
号が入力されたときの時間を測定する計時手段21の値
によって時間演算手段22で時間を算出し、距離を求め
る。スタート回路18でスターと信号を送出すると、送
信回路17でバースと信号を切換手段16を介して振動
子15に送信し、振動子15から超音波信号が検出物体
14に向けて送信される。スタート回路18はこのとき
同時に計時手段21のタイマをリセットする。この超音
波信号は検出物体から反射して音速で振動子15に伝わ
り受信される。このとき事前に切換手段16は振動子1
5から増幅回路側に切り換えられており、増幅された超
音波信号は切換手段19でしきい値で比較され図2に示
すような比較信号を出力する。この比較信号が計時手段
21に入力される度に計時手段21はその時点の時間を
計測し、図2に示した例ではt0からt7までの8回の
時間を計測し、この平均値を時間演算手段22で演算
し、伝搬時間として出力し、そのときの温度や検出した
信号の波数から信号が到着した時間の補正などを行って
距離を算出する。
てあり、波形のレベルが変動しても時間の検出の誤差を
少なくしている。比較信号の出力の開始は、受信信号が
あるレベルを超えてから行ったり、あるいはその崩落線
を別の比較手段で検出しそのレベルを検出した後に行
う。
音波計測装置のブロック図である。実施例1と異なると
ころは、計時手段21の値を記憶する記憶手段23を有
し、比較手段19の各信号の周期と平均周期を算出し、
各周期と平均周期との差が設定された値と比べ大きいも
のは異常値として破棄し、残った正常値の計測値のみを
改めて平均して伝搬時間を算出するものである。
20%以上であるときには全計測値を無効にするもので
ある。
求められているか、あるいはあらかじめ測定されて既知
の値であり、その固有の周期に比べ大きく異なった周期
を計測値として得た場合にもその計測値を無効とする。
音波計測装置のブロック図であり、実施例1と異なると
ころは、計時手段21の計測値の記憶手段23として、
ラッチ回路24とマイコン25(I/Oインターフェー
ス25aを含む)を使用したことにある。この場合時間
演算手段22はマイコン25に含ませることができる。
ラッチ回路24は比較手段19からの信号が入力される
度に計時手段21の信号をラッチし、同時にマイコン2
5にラッチ回路24のデータを読むようにさせる。
量計測装置のブロック図であり、実施例3と異なるとこ
ろは、ラッチ回路が24aから24dまでの複数個(図
の場合4個)有しており、比較手段19で入力される度
に計時手段21の計測値をすべてラッチする。図2の信
号では8個のラッチが必要である。このようにラッチさ
れたデータは次のデータが入力されるまで変化しないか
らマイコン25は緊急にそのデータを読む必要はない。
号波形を示したもので、比較手段21の入力信号の任意
の入力を選んで平均化するもので、後述するように送信
信号と受信信号が若干異なることから、振動子によって
は受信を開始したときには周期が不安定になることがあ
るので、あらかじめ安定な周期の位置を例えばt0、t
2、t4、t6のように求めておき、その周期のデータ
のみ計測値を選定して平均値を求める。
音波計測装置のブロック図であり、実施例1と異なると
ころは、送信回路17のバースト送信の波数をバースト
可変手段26で可変にしたものである。このバースト波
数は図8に示すように比較手段19で計時される計測値
の個数より多くすると最後まで強制的に駆動するので、
時間的に遅れて到着する受信波(例えばt4以降の受信
波)の波形でもその周期は安定している。
音波計測装置のブロック図であり、実施例1と異なると
ころは、比較手段19の個数をカウンタ27で計数し、
設定手段28であらかじめ設定した数に達しない場合に
は、すなわち計測異常として計測値を無効にするもので
ある。
超音波計測装置の振動子の信号波形図であり、実施例1
と異なるところは、比較波形の立ち上がりと立ち下がり
と両方で時間を計時するもので、t0とt0'のように
実施例1に比べ2倍のデータ量得ることができる。この
とき比較手段19の比較素子は図11に示すように信号
がしきい値を越えてから動作するまでの時間(動作遅延
時間)を立ち上がり時(tu)と立ち下がり時(td)
とをほぼ同一に作動する。
振動子の特性図であり、実施例1と異なるところは、振
動子15を共振型(図のA)から非共振(図のB)にし
た点にある。一般に振動子は送信周波数と受信周波数と
が異なり、受信開始のときには、送信周波数と受信周波
数との間で不安定なものとなり、共振型は周波数の差が
faと大きいので変動が大きくなり、非共振型は周波数
の差がfbと小さいので安定である。fbは中心周波数
に対して5%以内が好ましい。
A’のような共振点から離れた周波数で送信すると周波
数の安定した受信波が得られる。
0の超音波計測装置のブロック図であり、実施例1と異
なるところは、計時手段21として発振器21aとカウ
ンタ21bを使用した点にある。このとき発振器21a
の周波数は比較手段19の出力との位相の関係が、図1
4に示すように比較出力の入力の度に少しずつ異なると
発振器21aが低周波数であっても高い分解能を得るこ
とができる。
1の超音波計測装置のブロック図であり、実施例1と異
なるところは、発振器29aとカウンタ29bからなる
第2計時手段29によって概略の伝搬時間を求める点に
ある。第2計時手段29によって概略の時間が求まって
いると計時手段21は比較的短い時間ののみ計測すれば
よいので、カウンタ21bとラッチ24aから24dは
桁数の小さいものを使うことができる。発振器29aは
概略時間を求めるだけであるので低周波数のものが使用
できる。
2の超音波計測装置のブロック図であり、実施例1と異
なるところは、超音波送信から受信までを何回か繰り返
す繰り返し手段30有している点にある。この繰り返し
手段30は比較手段19の信号を受けると再度送信し、
何度も繰り返し時間精度を上げることができる。何度も
繰り返すと3回目に反射波の影響を受けるので送信時に
遅延時間を設ける必要がある。繰り返し2回では反射波
の影響がない。
3の流れ計測装置のブロック図であり、実施例1と異な
るところは、流路の流量を測定する点にある。そのため
振動子を流れの上流側15aと下流側15bに対抗して
設け、その振動子の送受信の切換を行ってそれぞれの伝
搬時間の差を算出して流速を求める。計時手段21以外
は従来例と同一であるので詳しい説明は省略する。計時
手段21はいくつかの計測値の平均を算出し、時間演算
手段22で求められた値から流れ演算手段31で流速や
流量を求める。
流量計測装置によれば次の効果が得られる。
振動子と、振動子の交流受信信号を複数周期にわたって
しきい値と比較する比較手段と、振動子の送信から前記
比較手段による検出ごとの複数の伝搬時間を計測する計
時手段と、計時手段の計測値の平均値より伝搬時間を算
出する時間演算手段とを備えたので、高精度な伝搬時間
の測定値が短時間で得られ、低消費電力で計測を行うこ
とができる。
計測値を記憶する記憶手段を有し、計時手段の計測値か
ら算出された周期と平均周期から算出された値との差が
所定値以上であるとき、その計時手段の計測値をを除外
して新たな平均値を算出するので、より高精度の伝搬時
間が得ることができる。
を記憶する記憶手段を有し、計時手段の計測値と平均値
から算出された値との差が所定値以上の計測値が少なく
とも全計測個数の20%以上であるとき、その計時手段
の計測値を無効とするので、大きな誤差を未然に防止で
きる信頼性が高い。
を記憶する記憶手段を有し、計時手段の計測値から算出
される周期とあらかじめ設定されている基準周期とを比
較し、その値の差が所定値以上であるとき、その計時手
段の計測値を無効とするので、大きな誤差を未然に防止
でき信頼性が高い。
して計時手段の値を記憶するラッチ回路と、ラッチ後に
ラッチ回路の値を読み込むマイコンから構成されるの
で、平均値を求めることや異常な計測値を排除できるの
で、高精度な伝搬時間を算出することができる。
して計時手段の値を次々と記憶する複数のラッチ回路か
ら構成されるので、低速のマイコンで信号処理できるの
でより低消費電力化が可能である。
測個数のうち任意の個数で平均値を算出するので、いろ
いろな振動子に対応して高精度な計測を行うことができ
る。
い、比較手段より得られる計時手段の計測個数よりも送
信バースト信号の波数を大きくするので、振動子の特性
により送信周期と受信周期とが異なる場合にも受信の周
期の影響を弱めることができ、高精度な測定を行うこと
ができる。
さいときその計測値を無効とするので、異常な計測によ
って所定の計測が行われなかったことを未然に判別して
計測値を破棄し、異常な誤差を未然に防止できる。
上がり時と立ち下がり時をそれぞれ検出するので、1周
期に2回の比較手段の計測を行うことにより、平均化の
精度が向上し、より高精度な伝搬時間の計測が可能にな
る。
下がり時とで同一の伝達遅延時間の比較素子からなるの
で、立ち上がりと立ち下がりで比較手段での誤差が少な
くなり、高精度な伝搬時間の測定が行える。
5%以内の振動子で構成されたので、受信直後の超音波
信号の周期が安定しており、バラツキの少ない伝搬時間
の計測が可能である。
構成され、受信信号は前記発振器の周期の整数倍より所
定時間外れた周期に設定されたの、発振器の低周波数化
とカウンタの桁数の低減により消費電力化が可能にな
る。
比較手段より得られる計時手段の計測個数で除した値と
したので、発振器の周波数の分解能が計測個数倍に高ま
ることになり、発振器の低周波数化とカウンタの桁数の
低減により消費電力化が可能になる。
段と、振動子の送信から比較手段の任意の検出時点まで
の伝搬時間を計測する第2計時手段とを備えたので、計
時手段のカウンタ、記憶手段のラッチの桁数が小さくな
り、低消費電力化と低コスト化が同時に達成される。
周波の発振器であるので、第2計時手段の発振器の低消
費電力化が可能になるものである。
と、振動子の交流受信信号をしきい値と複数周期にわた
って比較する比較手段と、比較手段の最初の信号により
再び送信する繰り返し手段と、繰り返し開始から終了ま
での伝搬時間を計測する計時手段と、繰り返し終了時に
比較手段の検出ごとに得られた複数の計時手段の計測値
の平均値より伝搬時間を算出する時間演算手段とを備え
たので、超音波の繰り返しと比較手段の複数回の時間計
測を併用することにより、きわめて高精度の伝搬時間精
度を得ることができる。
で、振動子間での超音波の反射の影響を受けずに伝搬時
間の計測ができるので、反射防止のための遅延時間を設
ける必要が無く、遅延時間の誤差が発生せず、かつ部品
点数を少なくすることができる。
信する第1振動子及び第2振動子と、振動子の送受信の
切換手段と、振動子の交流受信信号をしきい値と複数周
期にわたって比較する比較手段と、振動子の送信から比
較手段による検出ごとの複数の伝搬時間を計測する計時
手段と、計時手段の計測値の平均値より伝搬時間を算出
する時間演算手段と、時間演算手段の値に基づいて流速
及び流量を算出する流れ演算手段を備えたので、微小な
流量であっても短時間で計測が行えるので低消費電力化
がはかられ、電池によって10年以上の長期にわたって
電池交換なしに連続運転ができる。
図
図
を示すブロック図
を示すブロック図
図
図
図
形図
の特性図
詳細を示すブロック図
詳細を示すブロック図
ック図
ク図
Claims (19)
- 【請求項1】超音波信号を送受信する振動子と、前記振
動子の交流受信信号を複数周期にわたってしきい値と比
較する比較手段と、前記振動子の送信から前記比較手段
による検出ごとの複数の伝搬時間を計測する計時手段
と、前記計時手段の計測値の平均値より伝搬時間を算出
する時間演算手段とを備えた超音波計測装置。 - 【請求項2】時間演算手段は、複数の計時手段の計測値
を記憶する記憶手段を有し、前記計時手段の計測値から
算出された周期と平均周期から算出された値との差が所
定値以上であるとき、その計時手段の計測値を除外して
新たな平均値を算出する請求項1記載の超音波計測装
置。 - 【請求項3】時間演算手段は、計時手段の計測値を記憶
する記憶手段を有し、前記計時手段の計測値と平均値か
ら算出された値との差が所定値以上の計測値が少なくと
も全計測個数の20%以上であるとき、その計時手段の
計測値を無効とする請求項1記載の超音波計測装置。 - 【請求項4】時間演算手段は、計時手段の計測値を記憶
する記憶手段を有し、前記計時手段の計測値から算出さ
れる周期とあらかじめ設定されている基準周期とを比較
し、その値の差が所定値以上であるとき、その計時手段
の計測値を無効とする請求項1記載の超音波計測装置。 - 【請求項5】記憶手段は、比較手段の信号と同期して計
時手段の値を記憶するラッチ回路と、ラッチ後に前記ラ
ッチ回路の値を読み込むマイコンから構成される請求項
2、3または4記載の超音波計測装置。 - 【請求項6】記憶手段は、比較手段の信号と同期して計
時手段の値を次々と記憶する複数のラッチ回路から構成
される請求項2、3または4記載の超音波計測装置。 - 【請求項7】比較手段より得られる計時手段の計測個数
のうち任意の個数で平均値を算出する請求項1記載の超
音波計測装置。 - 【請求項8】送信信号としてバースト信号を用い、比較
手段より得られる計時手段の計測個数よりも送信バース
ト信号の波数を大きくする請求項1記載の超音波計測装
置。 - 【請求項9】計時手段の計測個数が設定値より小さいと
きその計測値を無効とする請求項1記載の超音波計測装
置。 - 【請求項10】比較手段は、交流受信信号の立ち上がり
時と立ち下がり時をそれぞれ検出する請求項1記載の超
音波計測装置。 - 【請求項11】比較手段は、立ち上がり時と立ち下がり
時とで同一の伝達遅延時間の比較素子からなる請求項1
0記載の超音波計測装置。 - 【請求項12】送信周波数と受信周波数との差が5%以
内の振動子で構成された請求項1記載の超音波計測装
置。 - 【請求項13】計時手段は、発振器とカウンタで構成さ
れ、受信信号は前記発振器の周期の整数倍より所定時間
外れた周期に設定された請求項1記載の超音波計測装
置。 - 【請求項14】所定時間は、発振器周期の値を比較手段
より得られる計時手段の計測個数で除した値である請求
項13記載の超音波計測装置。 - 【請求項15】比較手段の周期を計測する計時手段と、
振動子の送信から比較手段の任意の検出時点までの伝搬
時間を計測する第2計時手段とを備えた請求項1記載の
超音波計測装置。 - 【請求項16】第2計時手段は、計時手段より低周波の
発振器である請求項15記載の超音波計測装置。 - 【請求項17】超音波信号を送受信する振動子と、前記
振動子の交流受信信号をしきい値と複数周期にわたって
比較する比較手段と、前記比較手段の最初の信号により
再び送信する繰り返し手段と、繰り返し開始から終了ま
での伝搬時間を計測する計時手段と、繰り返し終了時に
比較手段の検出ごとに得られた複数の前記計時手段の計
測値の平均値より伝搬時間を算出する時間演算手段とを
備えた超音波計測装置。 - 【請求項18】繰り返し回数を2回とする請求項17記
載の超音波計測装置。 - 【請求項19】流路に設けられ超音波信号を送受信する
第1振動子及び第2振動子と、前記振動子の送受信の切
換手段と、前記振動子の交流受信信号をしきい値と複数
周期にわたって比較する比較手段と、前記振動子の送信
から前記比較手段による検出ごとの複数の伝搬時間を計
測する計時手段と、前記計時手段の計測値の平均値より
伝搬時間を算出する時間演算手段と、前記時間演算手段
の値に基づいて流速及び流量を算出する流れ演算手段を
備えた流れ計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18459896A JP3651124B2 (ja) | 1996-07-15 | 1996-07-15 | 超音波計測装置およびこれを含む流れ計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-07-15 JP JP18459896A patent/JP3651124B2/ja not_active Expired - Lifetime
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