JPH10307255A - High-resolution image forming lens system - Google Patents

High-resolution image forming lens system

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JPH10307255A
JPH10307255A JP9132946A JP13294697A JPH10307255A JP H10307255 A JPH10307255 A JP H10307255A JP 9132946 A JP9132946 A JP 9132946A JP 13294697 A JP13294697 A JP 13294697A JP H10307255 A JPH10307255 A JP H10307255A
Authority
JP
Japan
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lens
image
positive
aberration
object side
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9132946A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kimiko Shibayama
きみ子 芝山
Yukio Mori
征雄 森
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To excellently compensate distortion aberration, to improve off-axis image forming performance in a low frequency area and to make image side numerical aperture N.A. much larger by providing 1st to 8th lenses in order from an object side and arranging a diaphragm and the respective lenses to be telecentric on an image side. SOLUTION: This system is provided with the positive 1st lens, the positive 2nd lens and the positive 3rd lens whose convex surface faces to the object side in order from the object side. The negative 4th lens is arranged adjacently to the 3rd lens and has shape that the concave surface faces to the image side. Then, the system is provided with the diaphragm. The next negative 5th lens has shape that the concave surface faces to the object side, and the positive 6th lens is arranged adjacently to the 5th lens and has shape that the convex surface faces to the image side. Then, the system is provided with the positive 7nd lens and the positive 8th lens. The diaphragm and the respective lenses are arranged to be telecentric on the image side. By such constitution, the distortion aberration is compensated by the 1st lens and the coma aberration in an off-axis meridional direction is compensated by the 2nd lens.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガウス型結像レン
ズ、特に、像側テレセントリックであり開口数N.A.
(Numerical Aperture)で定まる解
像力まで必要とする高解像な結像レンズ系に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Gauss-type imaging lens, and more particularly to an image-side telecentric lens having a numerical aperture N.P. A.
The present invention relates to a high-resolution imaging lens system that requires a resolution determined by (Numerical Aperture).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ガウス型結像レンズとしては、例
えば、特開平3−72310号公報に開示されたレンズ
などが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a Gaussian type imaging lens, for example, a lens disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-72310 is known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来の、ガウス型結像
レンズのレンズ構成図を図13に示す。図13の光学系
では絞りを挟んで物体側に3枚のレンズ、像側に4枚の
レンズ構成である。この構成では、開口数N.Aで定ま
る理論的な解像力を有する像側にテレセントリックな高
解像レンズであって、歪曲収差、低周波数領域での軸外
結像性能、像側N.A.のさらなる拡大等を同時に達成
することは困難であり問題であった。
FIG. 13 shows a lens configuration diagram of a conventional Gaussian type imaging lens. The optical system shown in FIG. 13 has three lenses on the object side and four lenses on the image side with a diaphragm interposed therebetween. In this configuration, the numerical aperture N. A is a telecentric high-resolution lens having an image resolution having a theoretical resolution determined by A. Distortion, off-axis imaging performance in a low frequency region, A. It was difficult and problematic to achieve further expansion of the system at the same time.

【0004】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
もので、良好に歪曲収差が補正され、かつ低周波数領域
での軸外結像性能を向上させると共に、像側開口数N.
Aをさらに大きくしたガウス型結像レンズを提供する事
を目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it has been found that distortion is well corrected, off-axis imaging performance in a low frequency region is improved, and an image-side numerical aperture N.I.
It is an object of the present invention to provide a Gaussian imaging lens in which A is further increased.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の高解像結像レン
ズ系は、物体側より順に、最も物体側に配置されて正の
屈折力を有する第1レンズと、正の屈折力を有する第2
レンズと、物体側に凸面を向けた形状を有する正の第3
レンズと、前記第3レンズに隣接して配置されて、像側
に凹面を向けた形状を有する負の第4レンズと、絞り
と、物体側に凹面を向けた形状を有する負の第5レンズ
と、前記第5レンズに隣接して配置されて、像側に凸面
を向けた形状を有する正の第6レンズと、正の屈折力を
有する第7レンズと、正の屈折力を有する第8レンズと
を備え、前記絞りおよび前記各レンズは、像側にテレセ
ントリックとなるように配置されることを特徴としてい
る。
SUMMARY OF THE INVENTION A high-resolution imaging lens system according to the present invention has, in order from the object side, a first lens which is disposed closest to the object side and has a positive refractive power, and a first lens which has a positive refractive power. Second
A positive third lens having a shape with a convex surface facing the object side;
A lens, a fourth negative lens disposed adjacent to the third lens and having a concave surface facing the image side, an aperture, and a fifth negative lens having a concave surface facing the object side A sixth lens having a shape with a convex surface facing the image side, a seventh lens having a positive refractive power, and an eighth lens having a positive refractive power disposed adjacent to the fifth lens. And a lens, wherein the stop and the lenses are arranged to be telecentric on the image side.

【0006】なお、本発明で言う像側テレセントリック
とは、像空間(最像側のレンズ面から像面までの空間)
における主光線の光軸となす角度が±2度以内であるも
のをいう。
Incidentally, the image side telecentric in the present invention is an image space (a space from the lens surface on the most image side to the image surface).
In which the angle between the principal ray and the optical axis is within ± 2 degrees.

【0007】かかる構成により、第1レンズにより歪曲
収差を補正する事ができ、高解像力を有するレンズを達
成できる。また、第2レンズにより軸外メリジオナル方
向のコマ収差を補正することができ、画角、開口数を大
きくとることができる。
With such a configuration, distortion can be corrected by the first lens, and a lens having high resolution can be achieved. Further, coma in the off-axis meridional direction can be corrected by the second lens, and the angle of view and the numerical aperture can be increased.

【0008】また、本発明では像側にテレセントリック
な光学系とするために、絞りを後続する光学系の前側焦
点位置に配置することが望ましい。
In the present invention, in order to make the optical system telecentric on the image side, it is desirable to dispose the stop at the front focal position of the following optical system.

【0009】また、本発明の高解像結像レンズ系は、 0.26<(f1/f)・β<1.0 の条件を満足することが望ましい。ここで、f1は前記
第1レンズの焦点距離、fは前記結像レンズ系全体の焦
点距離、βは前記結像レンズ系全体の結像倍率の絶対値
をそれぞれ表している。
It is preferable that the high-resolution imaging lens system of the present invention satisfies the following condition: 0.26 <(f1 / f) · β <1.0. Here, f1 represents the focal length of the first lens, f represents the focal length of the entire imaging lens system, and β represents the absolute value of the imaging magnification of the entire imaging lens system.

【0010】かかる条件式は、所定の結像倍率において
レンズ系全体に占める第1正レンズの屈折力配分の好適
な範囲を定めている。条件式の下限を下回るときは、第
1正レンズの屈折力が強くなりすぎ、結像性能の劣化を
招くため好ましくない。逆に、上限値を超えると歪曲収
差補正の効果が無くなるため好ましくない。
This conditional expression defines a preferable range of the distribution of the refractive power of the first positive lens in the entire lens system at a predetermined imaging magnification. If the lower limit of the conditional expression is not reached, the refractive power of the first positive lens becomes too strong, which leads to deterioration of the imaging performance. Conversely, when the value exceeds the upper limit, the effect of distortion correction is lost, which is not preferable.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。 (第1実施例)図1に本発明の第1実施例のレンズ構成
の断面図を示す。第1実施例にかかる光学系は、倍率β
=1/5、開口数NA=0.2、イメージサイズ15m
mφである。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a sectional view of a lens structure according to a first embodiment of the present invention. The optical system according to the first embodiment has a magnification β
= 1/5, numerical aperture NA = 0.2, image size 15m
mφ.

【0012】第1凸レンズL1がガウス型結像レンズの
物体側に有為な空気間隔を隔てて付加されていると共
に、これに後続する第2凸レンズは物体側に凸のメニス
カス形状となっている。従来技術との差異を明確にする
ために、図13に示す従来例と比較しながら本発明の第
1実施例を説明する。
A first convex lens L1 is added to the object side of the Gaussian type imaging lens with a significant air gap, and a second convex lens subsequent to the first convex lens L1 has a meniscus shape convex to the object side. . In order to clarify the difference from the prior art, the first embodiment of the present invention will be described in comparison with the conventional example shown in FIG.

【0013】図13において、最物体側の単凸レンズ
は、軸上球面収差の補正と軸外諸収差、特に歪曲収差の
補正のために、形状を両凸レンズの形にせざるを得な
い。このため軸外性能の内、メリジオナル方向のコマ収
差の補正を十分に行うことができず、低周波数領域での
光学的MTF(Modulation Transfe
rFunction)の劣下を生ずる原因となり問題で
あった。
In FIG. 13, the single-convex lens on the most object side has to be shaped as a biconvex lens in order to correct axial spherical aberration and various off-axis aberrations, particularly distortion. For this reason, coma aberration in the meridional direction cannot be sufficiently corrected among the off-axis performances, and an optical MTF (Modulation Transfer) in a low frequency region is not provided.
rFunction), which is a problem.

【0014】これに対して、図1に示す本発明の第1実
施例においては、第1凸レンズL1が付加されているた
めに、該第1凸レンズL1に主として歪曲収差の補正の
役割を分担させることが可能となっている。さらに、従
来例の先頭単凸レンズに相当する第2凸レンズL2は、
主として軸外のメリジオナル方向のコマ収差の補正をす
るためのものである。このため、歪曲収差の良好な補正
と共に、全周波数領域における光学的MTFを理論的な
値の近くにまで補正することが可能である。
On the other hand, in the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, since the first convex lens L1 is added, the first convex lens L1 mainly plays a role of correcting distortion. It has become possible. Further, the second convex lens L2 corresponding to the top single convex lens of the conventional example is
This is mainly for correcting coma aberration in the off-axis meridional direction. For this reason, it is possible to correct the optical MTF in all frequency regions to a value close to a theoretical value, together with good correction of distortion.

【0015】第1実施例の光学系の諸元値及び収差係数
を表1に、従来例の光学系の諸元値及び収差係数を表7
に掲げる。表1において、面番号は光線の進行する方向
に沿った物体側からのレンズ面の順序を、rは曲率半径
を、dは各レンズ面間隔を、nはg線(λ=435.8
nm)に対する屈折率をそれぞれ表している。さらに、
D0は物点距離を、Rは物像間距離を、fbは後側焦点
位置を、βは結像倍率を、fは結像レンズ系全体の焦点
距離を、f1は第1レンズの焦点距離をそれぞれ示して
いる。以下、他の表においても同様である。
Table 1 shows the specification values and aberration coefficients of the optical system of the first embodiment, and Table 7 shows the specification values and aberration coefficients of the conventional optical system.
Listed in In Table 1, the surface numbers indicate the order of the lens surfaces from the object side along the traveling direction of the light rays, r indicates the radius of curvature, d indicates the distance between the lens surfaces, and n indicates the g-line (λ = 435.8).
nm). further,
D0 is the object point distance, R is the object-image distance, fb is the rear focal position, β is the imaging magnification, f is the focal length of the entire imaging lens system, and f1 is the focal length of the first lens. Are respectively shown. Hereinafter, the same applies to other tables.

【0016】[0016]

【表1】 [Table 1]

【0017】表1の収差係数のうち第4面のコマ収差の
係数(−0.00324)と表7の従来光学系のうち第
2面のコマ収差の係数(−0.17705)を比較する
と明らかなように、本発明の第1実施例ではコマ収差が
大幅に軽減されている。このことは、3次収差係数の最
下欄に示すコマ収差の合計値をみても明らかである。
A comparison between the coma aberration coefficient (−0.00324) of the fourth surface among the aberration coefficients in Table 1 and the coma aberration coefficient (−0.17705) of the second surface in the conventional optical system shown in Table 7 is shown below. As is apparent, the coma aberration is greatly reduced in the first embodiment of the present invention. This is apparent from the total value of the coma aberration shown in the lowermost column of the third-order aberration coefficient.

【0018】また、第1実施例の光学系の諸収差図を図
2に示す。球面収差を示す収差図において、実線は球面
収差量を示し、破線は正弦条件違反量を示している。さ
らに、像面湾曲を示す収差図において、実線はサジタル
像面を示し、破線はメリジオナル像面を示している。
FIG. 2 shows various aberration diagrams of the optical system according to the first embodiment. In the aberration diagram showing the spherical aberration, the solid line indicates the spherical aberration amount, and the broken line indicates the sine condition violation amount. Further, in the aberration diagram showing the curvature of field, a solid line indicates a sagittal image plane, and a broken line indicates a meridional image plane.

【0019】諸収差図から明らかなように、軸上球面収
差及び軸外諸収差、特に歪曲収差を良好に補正したう
え、さらにメリジオナル像面のコマ収差も補正できてい
る。従って、本実施例では、歪曲収差を良好に補正しつ
つ、かつ低周波領域での軸外結像性能を向上させること
が可能である。
As is clear from the aberration diagrams, not only the on-axis spherical aberration and off-axis various aberrations, especially the distortion, but also the coma of the meridional image plane can be corrected. Therefore, in this embodiment, it is possible to satisfactorily correct the distortion and improve the off-axis imaging performance in the low frequency region.

【0020】さらに、第1実施例の条件対応値を以下に
示す。
Further, the values corresponding to the conditions of the first embodiment are shown below.

【0021】結像倍率β=−0.2 f1/f=3.77 (f1/f)・β=0.754Imaging magnification β = −0.2 f1 / f = 3.77 (f1 / f) · β = 0.754

【0022】なお、従来例における条件対応値を、特開
昭50−34823号公報に開示された発明について以
下に示す。
The condition corresponding values in the conventional example are shown below for the invention disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 50-34823.

【0023】結像倍率β=−0.1 f1/f=2.1 (f1/f)・β=0.21Imaging magnification β = −0.1 f1 / f = 2.1 (f1 / f) · β = 0.21

【0024】(第2実施例)本発明の第2実施例のレン
ズ構成を図3に示す。第2実施例はイメージサイズの拡
大を図った例であり、その仕様は倍率β=1/2、開口
数NA=0.1、イメージサイズφ=30mmである。
(Second Embodiment) FIG. 3 shows a lens configuration of a second embodiment of the present invention. The second embodiment is an example in which the image size is enlarged, and its specifications are a magnification β = 1 /, a numerical aperture NA = 0.1, and an image size φ = 30 mm.

【0025】第2実施例の光学系の諸元値及び収差係数
を表2に掲げる。
Table 2 shows the specification values and aberration coefficients of the optical system of the second embodiment.

【0026】[0026]

【表2】 [Table 2]

【0027】表2の収差係数のうち第4面のコマ収差の
係数と表7の従来光学系のうち第2面のコマ収差の係数
を比較すると明らかなように、本発明の第1実施例では
コマ収差が大幅に軽減されている。このことは、3次収
差係数の最下欄に示すコマ収差の合計値をみても明らか
である。
As is apparent from a comparison between the coma aberration coefficient of the fourth surface among the aberration coefficients in Table 2 and the comatic aberration coefficient of the second surface in the conventional optical system shown in Table 7, the first embodiment of the present invention is evident. In the figure, coma is greatly reduced. This is apparent from the total value of the coma aberration shown in the lowermost column of the third-order aberration coefficient.

【0028】また、第2実施例の光学系の諸収差図を図
4に示す。諸収差図から明らかなように、軸上球面収差
及び軸外諸収差、特に歪曲収差を良好に補正したうえ、
さらにメリジオナル像面のコマ収差も補正できている。
従って、本実施例では、歪曲収差を良好に補正しつつ、
かつ低周波領域での軸外結像性能を向上させることが可
能である。
FIG. 4 shows various aberration diagrams of the optical system according to the second embodiment. As is clear from the various aberration diagrams, the on-axis spherical aberration and off-axis various aberrations, in particular, the distortion are well corrected,
Furthermore, coma of the meridional image plane can be corrected.
Therefore, in this embodiment, while favorably correcting the distortion,
In addition, it is possible to improve off-axis imaging performance in a low frequency region.

【0029】さらに、第2実施例の条件対応値を以下に
示す。
Further, the condition corresponding values of the second embodiment are shown below.

【0030】結像倍率β=−0.5 f1/f=1.62 (f1/f)・β=0.81Imaging magnification β = −0.5 f1 / f = 1.62 (f1 / f) · β = 0.81

【0031】(第3実施例)本発明の第3実施例のレン
ズ構成を図5に示す。第3実施例も第2実施例と同様に
イメージサイズの拡大を図った例であり、その仕様は倍
率β=1/10、開口数NA=0.25、イメージサイ
ズφ=8.4mmである。
(Third Embodiment) FIG. 5 shows a lens configuration of a third embodiment of the present invention. The third embodiment is also an example in which the image size is enlarged similarly to the second embodiment, and the specifications are a magnification β = 1/10, a numerical aperture NA = 0.25, and an image size φ = 8.4 mm. .

【0032】第3実施例の光学系の諸元値及び収差係数
を表3に掲げる。
Table 3 shows the specification values and aberration coefficients of the optical system of the third embodiment.

【0033】[0033]

【表3】 [Table 3]

【0034】表3の収差係数のうち第4面のコマ収差の
係数と表7の従来光学系のうち第2面のコマ収差の係数
を比較すると明らかなように、本発明の第3実施例では
コマ収差が大幅に軽減されている。このことは、3次収
差係数の最下欄に示すコマ収差の合計値をみても明らか
である。
As is apparent from a comparison between the coma aberration coefficient of the fourth surface among the aberration coefficients shown in Table 3 and the comatic aberration coefficient of the second surface in the conventional optical system shown in Table 7, the third embodiment of the present invention is evident. In the figure, coma is greatly reduced. This is apparent from the total value of the coma aberration shown in the lowermost column of the third-order aberration coefficient.

【0035】また、第3実施例の光学系の諸収差図を図
6に示す。諸収差図から明らかなように、軸上球面収差
及び軸外諸収差、特に歪曲収差を良好に補正したうえ、
さらにメリジオナル像面のコマ収差も補正できている。
従って、本実施例では、歪曲収差を良好に補正しつつ、
かつ低周波領域での軸外結像性能を向上させることが可
能である。また、第3実施例の条件対応値を以下に示
す。
FIG. 6 shows various aberration diagrams of the optical system according to the third embodiment. As is clear from the various aberration diagrams, the on-axis spherical aberration and off-axis various aberrations, in particular, the distortion are well corrected,
Furthermore, coma of the meridional image plane can be corrected.
Therefore, in this embodiment, while favorably correcting the distortion,
In addition, it is possible to improve off-axis imaging performance in a low frequency region. The condition corresponding values of the third embodiment are shown below.

【0036】結像倍率β=−0.1 f1/f=4.72 (f1/f)・β=0.472Imaging magnification β = −0.1 f1 / f = 4.72 (f1 / f) · β = 0.472

【0037】(第4実施例)本発明の第4乃至6実施例
は、前述の第1乃至3実施例に開示した内容に加えて、
像側の開口数NAの拡大をはかるために、像側の2つの
レンズL7,L8の間に正屈折力のレンズL9を付加し
たことを特徴とする。
(Fourth Embodiment) The fourth to sixth embodiments of the present invention include the contents disclosed in the first to third embodiments, and
In order to enlarge the numerical aperture NA on the image side, a lens L9 having a positive refractive power is added between the two lenses L7 and L8 on the image side.

【0038】本発明の第4実施例のレンズ構成を図7に
示す。その仕様は倍率β=1/5、開口数NA=0.3
5、イメージサイズφ=5.6mmである。
FIG. 7 shows a lens configuration of a fourth embodiment of the present invention. The specifications are magnification β = 1/5, numerical aperture NA = 0.3
5. The image size φ is 5.6 mm.

【0039】第4実施例の光学系の諸元値及び収差係数
を表4に掲げる。
Table 4 shows the specification values and aberration coefficients of the optical system of the fourth embodiment.

【0040】[0040]

【表4】 [Table 4]

【0041】表4の収差係数のうち第4面のコマ収差の
係数と表7の従来光学系のうち第2面のコマ収差の係数
を比較すると明らかなように、本発明の第3実施例では
コマ収差が大幅に軽減されている。このことは、3次収
差係数の最下欄に示すコマ収差の合計値をみても明らか
である。
As is apparent from a comparison between the coma aberration coefficient of the fourth surface among the aberration coefficients in Table 4 and the comatic aberration coefficient of the second surface in the conventional optical system shown in Table 7, the third embodiment of the present invention is evident. In the figure, coma is greatly reduced. This is apparent from the total value of the coma aberration shown in the lowermost column of the third-order aberration coefficient.

【0042】また、第4実施例の光学系の諸収差図を図
8に示す。諸収差図から明らかなように、軸上球面収差
及び軸外諸収差、特に歪曲収差を良好に補正したうえ、
さらにメリジオナル像面のコマ収差も補正できている。
従って、本実施例では、歪曲収差を良好に補正しつつ、
かつ低周波領域での軸外結像性能を向上させることが可
能である。特に、本発明の第1乃至第3実施例よりも、
さらに光学系が明るくなり、かつ軸上及び軸外の全イメ
ージ領域にわたって諸収差も良好に補正されている。
FIG. 8 shows various aberration diagrams of the optical system of the fourth embodiment. As is clear from the various aberration diagrams, the on-axis spherical aberration and off-axis various aberrations, in particular, the distortion are well corrected,
Furthermore, coma of the meridional image plane can be corrected.
Therefore, in this embodiment, while favorably correcting the distortion,
In addition, it is possible to improve off-axis imaging performance in a low frequency region. In particular, compared to the first to third embodiments of the present invention,
Further, the optical system becomes brighter, and various aberrations are well corrected over the entire on-axis and off-axis image regions.

【0043】さらに、第4実施例の条件対応値を以下に
示す。
Further, the values corresponding to the conditions of the fourth embodiment are shown below.

【0044】結像倍率β=−0.2 f1/f=2.42 (f1/f)・β=0.484Imaging magnification β = −0.2 f1 / f = 2.42 (f1 / f) · β = 0.484

【0045】(第5実施例)本発明の第5実施例のレン
ズ構成を図9に示す。その仕様は倍率β=1/2、開口
数NA=0.2、イメージサイズφ=12.6mmであ
る。
(Fifth Embodiment) FIG. 9 shows a lens configuration of a fifth embodiment of the present invention. The specifications are a magnification β = β, a numerical aperture NA = 0.2, and an image size φ = 12.6 mm.

【0046】第5実施例の光学系の諸元値及び収差係数
を表5に掲げる。
Table 5 shows the specification values and aberration coefficients of the optical system of the fifth embodiment.

【0047】[0047]

【表5】 [Table 5]

【0048】表5の収差係数のうち第4面のコマ収差の
係数と表7の従来光学系のうち第2面のコマ収差の係数
を比較すると明らかなように、本発明の第5実施例では
コマ収差が大幅に軽減されている。このことは、3次収
差係数の最下欄に示すコマ収差の合計値をみても明らか
である。
As is apparent from a comparison of the coma aberration coefficient of the fourth surface among the aberration coefficients shown in Table 5 with the comatic aberration coefficient of the second surface in the conventional optical system shown in Table 7, the fifth embodiment of the present invention. In the figure, coma is greatly reduced. This is apparent from the total value of the coma aberration shown in the lowermost column of the third-order aberration coefficient.

【0049】また、第5実施例の光学系の諸収差図を図
10に示す。諸収差図から明らかなように、軸上球面収
差及び軸外諸収差、特に歪曲収差を良好に補正したう
え、さらにメリジオナル像面のコマ収差も補正できてい
る。従って、本実施例では、歪曲収差を良好に補正しつ
つ、かつ低周波領域での軸外結像性能を向上させること
が可能である。特に、本発明の第1乃至第3実施例より
も、さらに光学系が明るくなり、かつ軸上及び軸外の全
イメージ領域にわたって諸収差も良好に補正されてい
る。
FIG. 10 shows various aberration diagrams of the optical system according to the fifth embodiment. As is clear from the various aberration diagrams, on-axis spherical aberration and off-axis various aberrations, particularly distortion, are well corrected, and further, coma on the meridional image plane can be corrected. Therefore, in this embodiment, it is possible to satisfactorily correct the distortion and improve the off-axis imaging performance in the low frequency region. In particular, the optical system becomes brighter than in the first to third embodiments of the present invention, and various aberrations are satisfactorily corrected over the entire on-axis and off-axis image regions.

【0050】さらに、第5実施例の条件対応値を以下に
示す。
Further, the condition corresponding values of the fifth embodiment are shown below.

【0051】結像倍率β=−0.5 f1/f=1.32 (f1/f)・β=0.66Imaging magnification β = −0.5 f1 / f = 1.32 (f1 / f) · β = 0.66

【0052】(第6実施例)本発明の第6実施例のレン
ズ構成を図11に示す。その仕様は倍率β=1/10、
開口数NA=0.4、イメージサイズφ=3.0mmで
ある。
(Sixth Embodiment) FIG. 11 shows a lens configuration of a sixth embodiment of the present invention. Its specifications are magnification β = 1/10,
The numerical aperture NA is 0.4, and the image size φ is 3.0 mm.

【0053】第6実施例の光学系の諸元値及び収差係数
を表6に掲げる。
Table 6 shows the specification values and aberration coefficients of the optical system of the sixth embodiment.

【0054】[0054]

【表6】 [Table 6]

【0055】表6の収差係数のうち第4面のコマ収差の
係数と表7の従来光学系のうち第2面のコマ収差の係数
を比較すると明らかなように、本発明の第5実施例では
コマ収差が大幅に軽減されている。このことは、3次収
差係数の最下欄に示すコマ収差の合計値をみても明らか
である。
As is clear from the comparison of the coma aberration coefficient of the fourth surface among the aberration coefficients shown in Table 6 with the comatic aberration coefficient of the second surface in the conventional optical system shown in Table 7, the fifth embodiment of the present invention. In the figure, coma is greatly reduced. This is apparent from the total value of the coma aberration shown in the lowermost column of the third-order aberration coefficient.

【0056】また、第6実施例の光学系の諸収差図を図
12に示す。諸収差図から明らかなように、軸上球面収
差及び軸外諸収差、特に歪曲収差を良好に補正したう
え、さらにメリジオナル像面のコマ収差も補正できてい
る。従って、本実施例では、歪曲収差を良好に補正しつ
つ、かつ低周波領域での軸外結像性能を向上させること
が可能である。特に、本発明の第1乃至第3実施例より
も、さらに光学系が明るくなり、かつ軸上及び軸外の全
イメージ領域にわたって諸収差も良好に補正されてい
る。
FIG. 12 shows various aberration diagrams of the optical system of the sixth embodiment. As is clear from the various aberration diagrams, on-axis spherical aberration and off-axis various aberrations, particularly distortion, are well corrected, and further, coma on the meridional image plane can be corrected. Therefore, in this embodiment, it is possible to satisfactorily correct the distortion and improve the off-axis imaging performance in the low frequency region. In particular, the optical system becomes brighter than in the first to third embodiments of the present invention, and various aberrations are satisfactorily corrected over the entire on-axis and off-axis image regions.

【0057】さらに、第6実施例の条件対応値を以下に
示す。
Further, the condition corresponding values of the sixth embodiment are shown below.

【0058】結像倍率β=−0.1 f1/f=3.03 (f1/f)・β=0.303Imaging magnification β = −0.1 f1 / f = 3.03 (f1 / f) · β = 0.303

【0059】従来例の光学系の諸元値及び収差係数を表
7に掲げる。
Table 7 shows the specification values and aberration coefficients of the conventional optical system.

【0060】[0060]

【表7】 [Table 7]

【0061】以上の本発明の実施例によれば、第1レン
ズにより歪曲収差を補正する事ができ、高解像力を有す
るレンズを達成できる。また、第2レンズにより軸外メ
リジオナル方向のコマ収差を補正することができ、画
角、開口数を大きくとることができる。
According to the above embodiment of the present invention, distortion can be corrected by the first lens, and a lens having high resolution can be achieved. Further, coma in the off-axis meridional direction can be corrected by the second lens, and the angle of view and the numerical aperture can be increased.

【0062】[0062]

【発明の効果】本発明の高解像結像レンズ系によれば,
良好に歪曲収差が補正され、かつ低周波数領域での軸外
結像性能を向上させると共に、像側開口数N.Aをさら
に大きくする事が出来る。
According to the high-resolution imaging lens system of the present invention,
Distortion aberration is satisfactorily corrected, and off-axis imaging performance in a low frequency region is improved. A can be further increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例にかかる光学系のレンズ構
成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a lens configuration of an optical system according to a first example of the present invention.

【図2】第1実施例の光学系の諸収差を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating various aberrations of the optical system according to the first example.

【図3】本発明の第2実施例にかかる光学系のレンズ構
成を示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a lens configuration of an optical system according to a second example of the present invention.

【図4】第2実施例の光学系の諸収差を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating various aberrations of the optical system according to Example 2.

【図5】本発明の第3実施例にかかる光学系のレンズ構
成を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a lens configuration of an optical system according to Example 3 of the present invention.

【図6】第3実施例の光学系の諸収差を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating various aberrations of the optical system according to Example 3.

【図7】本発明の第4実施例にかかる光学系のレンズ構
成を示す図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a lens configuration of an optical system according to Example 4 of the present invention.

【図8】第4実施例の光学系の諸収差を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating various aberrations of the optical system according to Example 4.

【図9】本発明の第5実施例にかかる光学系のレンズ構
成を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a lens configuration of an optical system according to Example 5 of the present invention.

【図10】第5実施例の光学系の諸収差を示す図であ
る。
FIG. 10 is a diagram illustrating various aberrations of the optical system according to Example 5.

【図11】本発明の第6実施例にかかる光学系のレンズ
構成を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a lens configuration of an optical system according to Example 6 of the present invention.

【図12】第6実施例の光学系の諸収差を示す図であ
る。
FIG. 12 is a diagram illustrating various aberrations of the optical system according to Example 6.

【図13】従来の光学系のレンズ構成を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a lens configuration of a conventional optical system.

【図14】従来の光学系の諸収差を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing various aberrations of a conventional optical system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

L1 第1レンズ L2 第2レンズ L3 第3レンズ L4 第4レンズ L5 第5レンズ L6 第6レンズ L7 第7レンズ L8 第8レンズ L9 第9レンズ L1 first lens L2 second lens L3 third lens L4 fourth lens L5 fifth lens L6 sixth lens L7 seventh lens L8 eighth lens L9 ninth lens

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 物体側より順に、 最も物体側に配置されて正の屈折力を有する第1レンズ
と、 正の屈折力を有する第2レンズと、 物体側に凸面を向けた形状を有する正の第3レンズと、 前記第3レンズに隣接して配置されて、像側に凹面を向
けた形状を有する負の第4レンズと、 絞りと、 物体側に凹面を向けた形状を有する負の第5レンズと、 前記第5レンズに隣接して配置されて、像側に凸面を向
けた形状を有する正の第6レンズと、 正の屈折力を有する第7レンズと、 正の屈折力を有する第8レンズとを備え、 前記絞りおよび前記各レンズは、像側にテレセントリッ
クとなるように配置されることを特徴とする高解像結像
レンズ系。
1. A first lens having a positive refractive power and being disposed closest to an object side, a second lens having a positive refractive power, and a positive lens having a convex surface facing the object side in order from the object side. A third lens disposed adjacent to the third lens and having a shape having a concave surface facing the image side; an aperture; and a negative lens having a shape having a concave surface facing the object side. A fifth lens, a positive sixth lens disposed adjacent to the fifth lens and having a shape with the convex surface facing the image side, a seventh lens having a positive refractive power, and a positive refractive power. A high-resolution imaging lens system, characterized in that the diaphragm and the respective lenses are arranged so as to be telecentric on the image side.
【請求項2】 前記第1レンズの焦点距離をf1、前記
結像レンズ系全体の焦点距離をf、前記結像レンズ系全
体の結像倍率の絶対値をβとするとき、 0.26<(f1/f)・β<1.0 の条件を満足することを特徴とする請求項1記載の高解
像結像レンズ系。
2. When the focal length of the first lens is f1, the focal length of the entire imaging lens system is f, and the absolute value of the imaging magnification of the entire imaging lens system is β, 0.26 <0.26 < 2. The high-resolution imaging lens system according to claim 1, wherein a condition of (f1 / f) .beta. <1.0 is satisfied.
【請求項3】 前記第2レンズは、低周波数領域での
軸外結像性能を向上させるために物体側に凸面を有する
メニスカス形状であることを特徴とする請求項1または
2記載の高解像結像レンズ系。
3. The high resolution lens according to claim 1, wherein the second lens has a meniscus shape having a convex surface on the object side in order to improve off-axis imaging performance in a low frequency region. Image forming lens system.
【請求項4】 像側開口数を大きくするために、前記第
6レンズの像側に正屈折力の第9レンズを配置したこと
を特徴とする請求項1,2または3記載の高解像結像レ
ンズ系。
4. A high resolution image as claimed in claim 1, wherein a ninth lens having a positive refractive power is arranged on the image side of said sixth lens in order to increase the image side numerical aperture. Imaging lens system.
【請求項5】 最も像側に配置されるレンズの像側レン
ズ面は、像側に凹面を向けていることを特徴とする請求
項1,2、3または4記載の高解像結像レンズ系。
5. The high-resolution imaging lens according to claim 1, wherein the image-side lens surface of the lens disposed closest to the image has a concave surface facing the image side. system.
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