JPH10303686A - Capacitor built-in piezoelectric resonator - Google Patents

Capacitor built-in piezoelectric resonator

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JPH10303686A
JPH10303686A JP10796097A JP10796097A JPH10303686A JP H10303686 A JPH10303686 A JP H10303686A JP 10796097 A JP10796097 A JP 10796097A JP 10796097 A JP10796097 A JP 10796097A JP H10303686 A JPH10303686 A JP H10303686A
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shaped
funnel
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Yoshiaki Iwakawa
慶明 岩河
Kazuhisa Momose
一久 百瀬
Shigeaki Arase
茂章 荒瀬
Hidehiko Nishimura
英彦 西村
Eizo Otsuka
英三 大塚
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the capacitor built-in piezoelectric resonator of which miniaturization is attained, which is high in connection reliability of a adhered part among the piezoelectric resonance element, a capacitive element and lead terminals and sealing reliability. SOLUTION: In the piezoelectric resonator, a laminate 3 where a paper-tablet piezoelectric resonator 1 and a paper-tablet capacitive element 2 are electrically connected is contained in an outer package case on the bottom side of which three funnel shaped throughholes 51, 61, 71 are made and whose one side face is open, and the opening 41 is sealed by a seal member 8. Then a conductive filling material is placed to cover connection tips 50, 60, 70 of lead terminals 5, 6, 7 into the funnel shaped throughholes 51, 61, 71 made to a bottom side of the case 4, and the lead terminals 5, 6, 7 and connection electrodes 23, 24, 25 of the laminate 3 are connected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、表面実装可能な容
量内蔵型圧電共振子に関するものである。
The present invention relates to a surface-mountable piezoelectric resonator with a built-in capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、通信機器、電子機器にはマイ
クロコンピュータなどが多用されており、このようなマ
イクロコンピュータにはクロック発振回路などが接続さ
れていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, microcomputers and the like have been frequently used for communication equipment and electronic equipment, and a clock oscillation circuit and the like have been connected to such microcomputers.

【0003】この発振回路は、図5に示す等価回路のよ
うに、圧電共振素子Rの両端と接地電位との間に入出力
容量成分C1 、C2 が接続され、さらに、圧電共振素子
の両端間に帰還抵抗成分R、インバーターIが夫々接続
されていた。この発振回路を簡単に達成できるように、
容量内蔵型圧電共振子は、上述の2つの容量成分C1
2 と圧電共振素子Rとを1つの電子部品として構成し
たものである。
In this oscillation circuit, input / output capacitance components C 1 and C 2 are connected between both ends of a piezoelectric resonance element R and a ground potential, as in the equivalent circuit shown in FIG. The feedback resistance component R and the inverter I were connected between both ends. In order to easily achieve this oscillation circuit,
The built-in capacitance type piezoelectric resonator has two capacitance components C 1 ,
It is obtained by constituting the C 2 and the piezoelectric resonant element R as one electronic component.

【0004】容量内蔵型圧電共振子は、少なくとも圧電
基板の両主面に振動電極を形成した圧電共振素子と2つ
の容量成分を具備したコンデンサ素子とから主に構成さ
れ、実装形態としてリードピン型と表面実装型の2つに
大別できる。しかし、現在のプリント配線基板への高密
度実装技術からするとプリント配線基板に他の電子部品
と一緒にリフロー半田接合が可能な表面実装型が主流と
なっている。
A built-in capacitance type piezoelectric resonator is mainly composed of a piezoelectric resonance element having vibration electrodes formed on at least both main surfaces of a piezoelectric substrate and a capacitor element having two capacitance components. They can be broadly classified into two types: surface mount types. However, in view of the current high-density mounting technology on a printed wiring board, a surface mounting type capable of performing reflow soldering together with other electronic components on the printed wiring board has become mainstream.

【0005】そして、表面実装容量内蔵型圧電共振子は
容器構造からみると、上ケースと下ケースとを接合して
構成する分割型容器を用いる方式と、筒状容器にキャッ
プをかぶせる方式の2つに分けられる。
[0005] In view of the container structure, the surface-mounting-capacitance-incorporated piezoelectric resonator is divided into two types: a type using a split type container formed by joining an upper case and a lower case, and a type using a cap over a cylindrical container. Divided into two.

【0006】また容器と容量素子との関係では、容量素
子を容器の内部に独立して配置する構造と、容量成分を
容器の一部で構成する構造とがある。
The relationship between the container and the capacitance element includes a structure in which the capacitance element is independently disposed inside the container, and a structure in which the capacitance component is constituted by a part of the container.

【0007】ここで、表面実装の容量内蔵型圧電共振子
には、外表面には外部端子が必ず必要であり、仮に容量
素子を容器の内部に配置する構造の場合には、容量素子
と外部端子との接続が重要となる。
Here, an external terminal is always required on the outer surface of a surface-mounted piezoelectric resonator with a built-in capacitor, and in the case of a structure in which the capacitor is arranged inside a container, the capacitor and the external Connection with terminals is important.

【0008】上述の分割型容器内に圧電共振素子及び容
量素子を配置した例として実開平1−77028号等の
表面実装の容量内蔵圧電共振子が例示できる。
As an example in which a piezoelectric resonance element and a capacitance element are arranged in the above-mentioned split type container, a surface-mounted piezoelectric resonator with a built-in capacitance such as Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-77028 can be exemplified.

【0009】また、分割容器内に圧電共振素子のみを配
置して、容器の一部に容量成分を形成した例として実開
昭62−70453号等の表面実装の容量内蔵型圧電共
振子が例示できる。
Further, as an example in which only a piezoelectric resonance element is disposed in a divided container and a capacitance component is formed in a part of the container, a surface-mounted piezoelectric resonator with a built-in capacitor as disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 62-70453 is exemplified. it can.

【0010】また、容量成分を有する筒状容器内に、圧
電共振子を挿入配置した例として実開平2−8026号
の表面実装容量内蔵型圧電共振子が例示できる。
As an example in which a piezoelectric resonator is inserted and arranged in a cylindrical container having a capacitance component, a piezoelectric resonator with a built-in surface mount capacitor disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 2-8026 can be exemplified.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上述の分割型容器に圧
電共振素子及び容量素子を配置した構造の場合には、例
えば下ケースとなる板状のベース基板上に、コンデンサ
素子、圧電共振素子とを積層し、さらに、圧電共振素子
を筺体状上ケースで被覆して、上ケースを下ケースに封
止接着剤を介して接合する必要がある。
In the case of the structure in which the piezoelectric resonance element and the capacitance element are arranged in the above-mentioned split type container, for example, a capacitor element and a piezoelectric resonance element are provided on a plate-like base substrate serving as a lower case. It is necessary to cover the piezoelectric resonance element with a housing-like upper case, and join the upper case to the lower case via a sealing adhesive.

【0012】即ち、上ケースの形状を充分に大きくしな
いと、上ケースと圧電共振素子とが接触したり、下ケー
スにコンデンサ素子や圧電素子を接合するための導電性
ペーストが封止領域が広がり、封止不良を招くことがあ
る。従って、全体の小型化に大きな制約があった。
That is, if the shape of the upper case is not made sufficiently large, the upper case and the piezoelectric resonance element may come into contact with each other, or the conductive paste for joining the capacitor element and the piezoelectric element to the lower case may expand the sealing area. In some cases, poor sealing may occur. Therefore, there has been a great restriction on miniaturization as a whole.

【0013】上述の分割容器内に圧電共振素子のみを配
置して、下ケース(基板)側に容量成分した場合には、
下ケースの外表面に容量電極が形成されることになる。
これにより、容量電極が腐蝕してしまい、動作信頼性が
低いものであった。
When only the piezoelectric resonance element is arranged in the above-mentioned divided container and a capacitive component is provided on the lower case (substrate) side,
The capacitance electrode is formed on the outer surface of the lower case.
As a result, the capacitor electrode was corroded, and the operation reliability was low.

【0014】また、上ケースと下ケースを接合する際、
上述したように、圧電素子と基板とを接合するの導電性
ペーストが封止領域が広がっても、封止不良が発生しな
いように、上ケースの形状を圧電共振素子に比較して大
きくする必要があった。
When joining the upper case and the lower case,
As described above, the shape of the upper case needs to be larger than that of the piezoelectric resonance element so that even if the conductive paste for bonding the piezoelectric element and the substrate expands the sealing area, sealing failure does not occur. was there.

【0015】上述の容量成分を形成した筒状容器の内部
に、圧電共振素子を配置した構造の場合には、筒状容器
の外表面に容量成分を形成するための電極が設けられて
いるため、これにより、容量電極が腐蝕してしまい、動
作信頼性が低いものであった。
In the case of a structure in which a piezoelectric resonance element is arranged inside a cylindrical container having the above-mentioned capacitance component formed thereon, an electrode for forming a capacitance component is provided on the outer surface of the cylindrical container. As a result, the capacitor electrode is corroded, and the operation reliability is low.

【0016】また、圧電振動素子と端子電極との接続に
おいては、両端が開口する筒状容量に配置して、両端の
開口部分をキャップを被せる場合には、このキャップに
よって圧電振動素子の両端と容量成分との電気的な接続
と、開口封止を行っており、封止領域が2つとなり、封
止信頼性が低いものとなってしまう。
In connection between the piezoelectric vibrating element and the terminal electrode, when the two ends are arranged in a cylindrical capacitor and the opening at both ends is covered with a cap, the cap connects the two ends of the piezoelectric vibrating element to each other. The electrical connection with the capacitance component and the opening sealing are performed, so that there are two sealing regions, and the sealing reliability is low.

【0017】本発明は上述の問題点に鑑みて案出された
ものであり、その目的は、小型で、且つ圧電振動素子、
容量素子とリード端子との電気的な接続が確実であり、
さらに封止信頼性が高い表面実装可能な容量内蔵型圧電
共振子を提供することにある。
The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and has as its object to reduce the size of a piezoelectric vibrating element,
The electrical connection between the capacitive element and the lead terminal is secure,
It is still another object of the present invention to provide a surface-mountable piezoelectric resonator with high sealing reliability that can be mounted on a surface.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、底面に
3つの外方に広がる漏斗状の貫通孔が形成され、且つ一
側面が開口した筐体状ケースと、一端側が前記漏斗状の
接続貫通孔の内壁斜面に固着され、他端が筺体状ケース
の外表面に導出されている3つのリード端子と、短冊状
の圧電基板の両主面に振動電極を形成した圧電共振素子
と、2つの容量成分を形成し、且つ短冊状の誘電体基板
の一方主面に3つの接続電極を形成したコンデンサ素子
とを、各素子の対向しあう表面の両端部に配した導電性
接合部材を介して電気的に接続した積層体と、前記筺体
状ケースの開口を封止する封止部材とから成り、前記筺
体状ケース内部に、前記積層体を配置させ、前記コンデ
ンサ素子の各接続電極と各リード端子とを各漏斗状の貫
通孔内に充填させた導電性接続部材で接続するととも
に、各リード端子の一端側先端と筺体状ケースとの固着
部を前記導電性接続部材で被覆したことを特徴とする容
量内蔵型圧電共振子である。
According to the present invention, three outwardly extending funnel-shaped through holes are formed on the bottom surface, and a housing-like case having one side open and one end side having the funnel-like shape are provided. Three lead terminals fixed to the inner wall slope of the connection through-hole and the other end led out to the outer surface of the housing-like case; and a piezoelectric resonance element in which vibration electrodes are formed on both main surfaces of a rectangular piezoelectric substrate; A conductive bonding member in which two capacitor components are formed and a capacitor element having three connection electrodes formed on one main surface of a strip-shaped dielectric substrate and disposed at both ends of opposing surfaces of each element. And a sealing member that seals an opening of the housing-shaped case, and the stack is disposed inside the housing-shaped case, and each connection electrode of the capacitor element is provided. Fill each lead terminal with each funnel-shaped through hole. As well as connected by conductive connecting member, which is embedded capacitance piezoelectric resonator, characterized in that the fixing portion between the one end tips and the housing-like casing of the lead terminal is coated with the conductive connection member.

【0019】[0019]

【作用】本発明では、一側面が開口した筺体状ケース
に、圧電共振素子とコンデンサ素子とを一体化した積層
体が挿入されることから、圧電共振子の周囲の振動空間
を、筺体状ケースの内部空間の形状によって厳密に規定
できるため、全体として、小型な容量内蔵型圧電共振子
となる。
According to the present invention, the laminated body in which the piezoelectric resonance element and the capacitor element are integrated is inserted into the housing-like case having one side open, so that the vibration space around the piezoelectric resonator is reduced. Can be strictly defined by the shape of the internal space, and as a whole, a small-capacity built-in piezoelectric resonator is obtained.

【0020】また、筺体状ケースの開口が1つの側面だ
けであるため、その封止作業が容易となり、封止信頼性
が向上する。しかも、 圧電共振素子、容量素子の挿入
に用いられる開口は、電気的な接続を伴わないことから
も、封止作業を容易にすることができる。
Further, since the opening of the housing-like case is only on one side, the sealing operation is facilitated, and the sealing reliability is improved. In addition, the opening used for inserting the piezoelectric resonance element and the capacitance element does not involve electrical connection, so that the sealing operation can be facilitated.

【0021】また、内部に配置された圧電共振素子、容
量素子とリード端子との接続が、コンデンサ素子の下面
に形成された3つの接続電極とケースの底面の3つの漏
斗状貫通孔に充填・配置された導電性接続部材によって
行われる。従って、3つの貫通孔での接続が同一工程
で、且つ同一平面上で処理できるため、接続作業が簡単
となり、また、接続構造も単純化されるため、接続安定
性が向上する。
Further, the connection between the piezoelectric resonance element, the capacitance element and the lead terminal disposed inside is filled in three connection electrodes formed on the lower surface of the capacitor element and the three funnel-shaped through holes on the bottom surface of the case. This is done by the arranged conductive connection members. Therefore, the connection through the three through holes can be processed in the same step and on the same plane, so that the connection operation is simplified, and the connection structure is also simplified, so that the connection stability is improved.

【0022】貫通孔の形状が外方に向かって広がる漏斗
状となっているため、例えば、細い管などを介して、導
電性接続部材を充填する場合、確実に且つ簡単に充填が
行えるまた、この漏斗状貫通孔の内壁を構成するリード
端子の先端部とケースとの境界部分が、導電性接続部材
によって被覆されているため、リード端子が剥離して
も、ケース内部と外気とがリークすることがないため、
封止信頼性が向上し、耐湿性に優れた表面実装可能な容
量内蔵型圧電共振素子となる。
Since the shape of the through hole is funnel-shaped to spread outward, for example, when the conductive connecting member is filled through a thin tube or the like, the filling can be performed reliably and easily. Since the boundary between the end of the lead terminal and the case, which constitute the inner wall of the funnel-shaped through hole, and the case are covered with the conductive connecting member, the inside of the case and the outside air leak even if the lead terminal peels off. Because there is no
A surface mountable piezoelectric resonator element with improved sealing reliability and excellent moisture resistance is provided.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の容量内蔵型圧電共
振子を図面に基づいて詳説する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric resonator with a built-in capacitor according to the present invention.

【0024】図1は本発明の容量内蔵型圧電共振子の外
観斜視図であり、図2はその横断面図であり、図3はそ
の縦断面図であり、図4は分解斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a built-in capacitor type piezoelectric resonator according to the present invention, FIG. 2 is a transverse sectional view, FIG. 3 is a vertical sectional view, and FIG. 4 is an exploded perspective view. .

【0025】図において、1は圧電共振素子、2はコン
デンサ素子であり、3は圧電共振素子1、コンデンサ素
子2などから成る積層体であり、4は筺体状ケースであ
り、5〜7はリード端子であり、8は封止部材である。
In the figure, 1 is a piezoelectric resonance element, 2 is a capacitor element, 3 is a laminated body including the piezoelectric resonance element 1, a capacitor element 2, etc., 4 is a housing-like case, and 5 to 7 are leads. Reference numeral 8 denotes a sealing member.

【0026】圧電共振素子1は、PT(チタン酸鉛)、
PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)などの圧電セラミック
材料、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、
四棚酸リチウムなどの単結晶材料から成る短冊状の圧電
基板10と、振動電極11、12とから構成されてい
る。振動電極11及び12は、圧電基板10の両主面に
互いに対向するように形成されている。圧電基板10の
上面側主面には、その中央部から一方端部にまで延びる
振動電極11が、他方端部に引出電極14が形成されて
いる。圧電基板10の下面側主面には、その中央部から
他方端部にまで延びる振動電極12が、一方端部に引出
電極13が形成されている。そして、振動電極11は、
圧電基板10の一方端部側の端面の導体膜17を介して
引出電極13に接続されている。振動電極12は、圧電
基板10の他方端部側の端面の導体膜18を介して引出
電極14に接続されている。
これら、振動電極11、12、引出電極13、14は
例えばAg系材料を主成分とする薄膜導体膜によって形
成され、導体膜17、18は例えばAg系材料を主成分
とする導電性ペーストの印刷、熱硬化によって形成され
る。
The piezoelectric resonance element 1 includes PT (lead titanate),
Piezoelectric ceramic materials such as PZT (lead zirconate titanate), quartz, lithium tantalate, lithium niobate,
It comprises a strip-shaped piezoelectric substrate 10 made of a single crystal material such as lithium tetra-shearate, and vibrating electrodes 11 and 12. The vibration electrodes 11 and 12 are formed on both main surfaces of the piezoelectric substrate 10 so as to face each other. A vibration electrode 11 extending from the center to one end of the piezoelectric substrate 10 is formed on the upper main surface thereof, and a lead electrode 14 is formed on the other end. A vibrating electrode 12 extending from the center to the other end of the piezoelectric substrate 10 is formed on the lower main surface, and a lead electrode 13 is formed on one end of the piezoelectric substrate 10. And the vibration electrode 11
The piezoelectric substrate 10 is connected to the extraction electrode 13 via a conductor film 17 on one end side of the piezoelectric substrate 10. The vibration electrode 12 is connected to the extraction electrode 14 via the conductor film 18 on the other end side of the piezoelectric substrate 10.
The vibrating electrodes 11 and 12 and the extraction electrodes 13 and 14 are formed of, for example, a thin-film conductor film mainly containing an Ag-based material, and the conductor films 17 and 18 are printed with a conductive paste mainly containing an Ag-based material, for example. , Formed by thermosetting.

【0027】コンデンサ素子2は、PT(チタン酸
鉛)、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、BaTiO3
(チタン酸バリウム)などの誘電体セラミック材料から
成る短冊状の誘電体基板20と2つの容量成分を形成す
るための複数の容量電極とが形成されている。図におい
て、誘電体基板20の上面側には2つの電極21、22
が、誘電体基板20の一方主面である下面側に、容量成
分を形成すると同時に、外部(リード端子5〜7)との
接続を達成するための接続電極(以下、単に電極)2
3、24、25が形成されている。また、上面側の電極
21と下面側の電極23とは、誘電体基板20の一方端
面の導体膜26を介して接続されており、上面側の電極
22と下面側の電極25とは、誘電体基板20の他方端
面の導体膜27を介して接続されている。さらに、誘電
体基板20の上面側の電極21、22は、その一部が誘
電体基板20の下面側の電極24に対向している。
The capacitor element 2 is made of PT (lead titanate), PZT (lead zirconate titanate), BaTiO 3
A strip-shaped dielectric substrate 20 made of a dielectric ceramic material such as (barium titanate) and a plurality of capacitance electrodes for forming two capacitance components are formed. In the figure, two electrodes 21 and 22 are provided on an upper surface side of a dielectric substrate 20.
Is a connection electrode (hereinafter simply referred to as an electrode) 2 for forming a capacitance component on the lower surface side which is one main surface of the dielectric substrate 20 and at the same time achieving connection with the outside (lead terminals 5 to 7).
3, 24 and 25 are formed. The upper electrode 21 and the lower electrode 23 are connected via a conductor film 26 on one end surface of the dielectric substrate 20, and the upper electrode 22 and the lower electrode 25 are electrically connected to each other. It is connected via a conductor film 27 on the other end surface of the body substrate 20. Further, the electrodes 21 and 22 on the upper surface of the dielectric substrate 20 partially face the electrodes 24 on the lower surface of the dielectric substrate 20.

【0028】即ち、誘電体基板20の下面側の電極24
を中心にみた場合、誘電体基板20の厚みを介して上面
側の電極21との間で所定容量成分が形成され、さら
に、誘電体基板20の下面の平面方向で電極23との間
で所定容量が形成され、両容量成分が構成されて第1の
容量成分(図5のC1 に相当)となる。また、誘電体基
板20の下面側の電極24を中心にみた場合、誘電体基
板20の厚みを介して上面側の電極22との間で所定容
量成分が形成され、さらに、誘電体基板20の下面方向
で電極25との間で所定容量が形成され、両容量成分が
構成されて第2の容量成分(図5のC2 に相当)とな
る。
That is, the electrode 24 on the lower surface side of the dielectric substrate 20
When viewed from the center, a predetermined capacitance component is formed between the dielectric substrate 20 and the electrode 21 on the upper surface side via the thickness of the dielectric substrate 20. Further, a predetermined capacitance component is formed between the electrode 23 and the lower surface of the dielectric substrate 20 in the planar direction. capacitance is formed, the first capacitive component both capacitive component is formed (corresponding to C 1 in FIG. 5). When the electrode 24 on the lower surface side of the dielectric substrate 20 is viewed as a center, a predetermined capacitance component is formed between the electrode 22 on the upper surface side and the thickness of the dielectric substrate 20. predetermined volume between the electrodes 25 on the lower surface direction is formed, and both capacitive component is formed by a second capacitive component (corresponding to the C 2 in FIG. 5).

【0029】このような電極21〜25はAgなどを主
成分とする導電性ペーストの選択的な印刷・焼きつけに
よって、導体膜26、27は、Agなどの導電性材料が
混合されたエポキシ系樹脂から成る導電性樹脂ペースト
の選択的な印刷によって形成される。
The electrodes 21 to 25 are formed by selectively printing and baking a conductive paste mainly composed of Ag or the like, so that the conductive films 26 and 27 are made of an epoxy resin mixed with a conductive material such as Ag. Formed by selective printing of a conductive resin paste made of

【0030】上述の圧電共振素子1とコンデンサ素子2
とは、両基板の両端部付近に介在された導電性接合部材
15、16によって、両者の間に所定間隔が形成されて
電気的に接続され、且つ機械的に接合され、積層体3が
形成されている。この導電性接合部材15によって、例
えば、圧電共振素子1の振動電極11から圧電基板10
の下面側主面にまで延出した引出電極13とコンデンサ
素子2の誘電体基板20の上面側の電極21とが電気的
に接続され、導電性接合部材16によって、例えば、圧
電共振素子1の振動電極12がコンデンサ素子2の誘電
体基板20の上面側主面の電極22とが電気的に接続さ
れている。この導電性接合部材15、16は、仮硬化し
た状態の導電性接着剤シートであったり、また、導電性
樹脂ペーストの塗布、硬化した部材であっても構わな
い。
The above-described piezoelectric resonance element 1 and capacitor element 2
Means that the conductive bonding members 15 and 16 interposed in the vicinity of both ends of both substrates are electrically connected and mechanically bonded to each other with a predetermined gap therebetween to form the laminate 3 Have been. The conductive bonding member 15 allows, for example, the vibration electrode 11 of the piezoelectric resonance element 1 to move away from the piezoelectric substrate 10.
The extraction electrode 13 extending to the main surface on the lower surface side of the piezoelectric element 1 and the electrode 21 on the upper surface side of the dielectric substrate 20 of the capacitor element 2 are electrically connected to each other. The vibrating electrode 12 is electrically connected to the electrode 22 on the upper main surface of the dielectric substrate 20 of the capacitor element 2. The conductive bonding members 15 and 16 may be conductive adhesive sheets in a temporarily cured state, or may be members to which a conductive resin paste has been applied and cured.

【0031】尚、上述の導体膜17、18、26、27
は、実際には、圧電共振素子1とコンデンサ素子2とを
積層した後、積層体3の端面には、一括的に形成される
ものである。
The above-mentioned conductor films 17, 18, 26, 27
In practice, after the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 are stacked, they are collectively formed on the end face of the multilayer body 3.

【0032】このような、圧電共振素子1とコンデンサ
素子2とを積層した後の積層体3は、一側面が開口した
筺体状ケース4に収納・配置される。
After the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 are stacked, the laminate 3 is housed and arranged in a housing-like case 4 having an open side.

【0033】筺体状ケース4は、液晶ポリマーなどの耐
熱性に優れた樹脂材料などから成り、その内部には積層
体収納領域(内部空間)40が形成されており、その一
側面に開口41が形成されている。開口41の内側周囲
は外部に向かって広がるテーパ面42となっている。こ
のテーパ状の開口41によって、圧電共振素子1とコン
デンサ素子2とから成る積層体3の収納・配置をスムー
ズに行えるようになっている。
The housing case 4 is made of a resin material having excellent heat resistance, such as a liquid crystal polymer, and has a laminated body storage area (internal space) 40 formed therein. Is formed. The inner periphery of the opening 41 is a tapered surface 42 that spreads outward. The tapered opening 41 allows the stack 3 composed of the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 to be stored and arranged smoothly.

【0034】また、ケース4の底面には、洋白、リン青
銅などから成る金属製部材からなる3つのリード端子
5、6、7が固着により一体的に形成されている。リー
ド端子5、6、7の一端部である接続先端部50、6
0、70は、筺体状ケース4の底面の厚みを貫き、且つ
外方に広がる漏斗状の貫通孔51、61、71の内壁部
の一部または全部を構成している。尚、図では、接続先
端部50、60、70は貫通孔51、61、71の内壁
部の一部にまで延びており、貫通孔51、61、71の
外方側の内壁の一部を構成している。尚、リード端子
5、6、7の他端側はケース4の底面で2つの方向に分
かれ、ケース4の底面を介して、ケースの両側面に導出
している。
On the bottom surface of the case 4, three lead terminals 5, 6, 7 made of a metal member made of nickel silver, phosphor bronze, or the like are integrally formed by fixing. Connection tips 50, 6 which are one ends of the lead terminals 5, 6, 7
Reference numerals 0 and 70 constitute part or all of the inner wall portions of the funnel-shaped through holes 51, 61 and 71, which penetrate the thickness of the bottom surface of the housing-like case 4 and extend outward. In the figure, the connection tip portions 50, 60, 70 extend to a part of the inner wall of the through holes 51, 61, 71, and a part of the inner wall on the outer side of the through holes 51, 61, 71 is formed. Make up. The other ends of the lead terminals 5, 6, and 7 are divided into two directions on the bottom surface of the case 4, and are led out to both side surfaces of the case via the bottom surface of the case 4.

【0035】リード端子5、6、7及び漏斗状の貫通孔
51、61、71は、ケース4を形成する際の樹脂のイ
ンサートモールドによって形成される。即ち、内金型と
貫通孔の形成を決定する突起が形成された外金型との間
にリード端子5、6、7となる所定形状の金属フープ材
を挟持した状態で、ケース4の樹脂材料をインサート・
硬化して、両金型を離脱させることによって形成する。
The lead terminals 5, 6, 7 and the funnel-shaped through holes 51, 61, 71 are formed by insert molding of a resin when forming the case 4. That is, in a state where a metal hoop material of a predetermined shape to be the lead terminals 5, 6, 7 is sandwiched between the inner die and the outer die having the projections for determining the formation of the through holes, the resin of the case 4 is held. Insert material
It is formed by curing and releasing both molds.

【0036】ケース4の内部空間40は、実質的に積層
体3の外形寸法に比較して若干大きな形状となってお
り、この形状の差異による間隔が、圧電共振素子1の共
振動作を確保するための間隙となる。即ち、圧電共振素
子1の圧電基板10の上面側には、所定間隔D1 が形成
され、その長手方向の側面側には所定間隔D2 が形成さ
れ、圧電基板10の下面側には、導電性接合部材15、
16の厚みに相当する間隙が形成されることになる。
The internal space 40 of the case 4 has a shape that is slightly larger than the outer dimensions of the laminate 3 substantially, and the interval due to the difference in the shape ensures the resonance operation of the piezoelectric resonance element 1. It is a gap for That is, the upper surface of the piezoelectric substrate 10 of the piezoelectric resonator element 1, a predetermined distance D 1 is formed, a predetermined distance D 2 is formed on a side surface side of the longitudinal direction, on the lower surface side of the piezoelectric substrate 10, a conductive Sex bonding member 15,
A gap corresponding to a thickness of 16 is formed.

【0037】また、誘電体基板20の下面とケース4の
内部の底面(以下、内底面という)との間には所定間隔
3 を形成している。各間隙D1 、D2 、D4 は、内部
空間40に突出した突出部43、44、45によって形
成されている。
A predetermined distance D 3 is formed between the lower surface of the dielectric substrate 20 and a bottom surface inside the case 4 (hereinafter referred to as an inner bottom surface). Each of the gaps D 1 , D 2 , D 4 is formed by protrusions 43, 44, 45 protruding into the internal space 40.

【0038】ケース4の底面には、上述したように3つ
のリード端子5、6、7が一体的に形成されている。こ
のリード端子5、6、7の一部である接続先端部50、
60、70には、ケース4の底面の厚みを貫く漏斗状の
貫通穴51、61、71が形成されている。そして、リ
ード端子5、6、7の接続先端部50、60、70は、
貫通穴51、61、71の内壁の外部側一部を構成して
いる。また、ケース4底面の貫通穴51、61、71開
口からは、ケース4の内部に収容配置された積層体3を
構成するコンデンサ素子2の下面側に位置する電極2
3、24、25と夫々対向する。
As described above, the three lead terminals 5, 6, 7 are integrally formed on the bottom surface of the case 4. A connection tip 50 which is a part of the lead terminals 5, 6, 7;
Funnel-shaped through holes 51, 61, 71 penetrating through the thickness of the bottom surface of the case 4 are formed in 60, 70. Then, the connection tips 50, 60, 70 of the lead terminals 5, 6, 7 are
A part of the inner wall of the through holes 51, 61, 71 on the outer side is formed. In addition, from the openings of the through holes 51, 61, 71 on the bottom surface of the case 4, the electrodes 2 located on the lower surface side of the capacitor element 2 constituting the multilayer body 3 housed and arranged inside the case 4.
3, 24, and 25, respectively.

【0039】この貫通穴51、61、71内にはAgな
どの導電性金属粉末をエポキシ系接着剤に混合した導電
性樹脂ペーストが供給、硬化して成る導電性接続部材5
2、62、72が配置されている。この導電性接続部材
52、62、72により、貫通孔51、61、71が気
密的封止され、ケース4内での積層体3が固定される。
In the through holes 51, 61, and 71, a conductive resin paste obtained by mixing a conductive metal powder such as Ag with an epoxy adhesive is supplied and cured.
2, 62 and 72 are arranged. The through holes 51, 61, 71 are hermetically sealed by the conductive connection members 52, 62, 72, and the laminate 3 in the case 4 is fixed.

【0040】また、導電性接続部材52、62、72
は、コンデンサ素子2の下面の電極23、24、25と
貫通孔51、61、71内のリード端子5、6、7の接
続先端部50、60、70にまで到達するように充填さ
れ、これにより、電極23とリード端子5、電極24と
リード端子6、電極25とリード端子7との電気的な接
続が達成できる。
The conductive connecting members 52, 62, 72
Is filled so as to reach the connection tips 50, 60, 70 of the electrodes 23, 24, 25 on the lower surface of the capacitor element 2 and the lead terminals 5, 6, 7 in the through holes 51, 61, 71. Thus, electrical connection between the electrode 23 and the lead terminal 5, between the electrode 24 and the lead terminal 6, and between the electrode 25 and the lead terminal 7 can be achieved.

【0041】即ち、第1のリード端子5は、コンデンサ
素子2の下面側主面に形成された電極(接続電極)23
に接続し、電極23、導体膜26を介して、電極21と
接続し、さらに、導電性接合部材15、引出電極13、
14、導体膜17を介して振動電極11に接続する。
That is, the first lead terminal 5 is connected to the electrode (connection electrode) 23 formed on the lower surface side main surface of the capacitor element 2.
To the electrode 21 via the electrode 23 and the conductor film 26, and further, the conductive bonding member 15, the extraction electrode 13,
14. Connected to the vibrating electrode 11 via the conductor film 17.

【0042】また、第2のリード端子6は、コンデンサ
素子2の下面側主面に形成された電極(接続電極)24
に接続する。
The second lead terminal 6 is connected to an electrode (connection electrode) 24 formed on the main surface on the lower surface side of the capacitor element 2.
Connect to

【0043】さらに、第3のリード端子7は、コンデン
サ素子2の下面側主面に形成された電極(接続電極)2
5に接続し、電極25、導体膜27を介して、電極22
と接続し、さらに、導電性接合部材16を介して振動電
極12に接続する。
Further, the third lead terminal 7 is connected to an electrode (connection electrode) 2 formed on the lower main surface of the capacitor element 2.
5 through the electrode 25 and the conductor film 27.
And further connected to the vibration electrode 12 via the conductive bonding member 16.

【0044】従って、図5の等価回路に示すように、第
1のリード端子5は、圧電共振素子1(R)の振動電極
11に接続するとともに、2つの容量成分のうち一方の
容量成分C1 を接続するための端子として動作し、第2
のリード端子6は、2つ容量成分が接地されるようにす
るための端子として動作し、第3のリード端子7は、圧
電共振素子1(R)の振動電極12に接続するととも
に、2つの容量成分のうち他方の容量成分C2 を接続す
るための端子として動作する。
Therefore, as shown in the equivalent circuit of FIG. 5, the first lead terminal 5 is connected to the vibrating electrode 11 of the piezoelectric resonance element 1 (R) and, at the same time, one of the two capacitance components C 1 operates as a terminal to connect
Lead terminal 6 operates as a terminal for grounding two capacitance components, and a third lead terminal 7 is connected to the vibration electrode 12 of the piezoelectric resonance element 1 (R) and It operates as a terminal for connecting the other capacitive component C 2 of the capacitance component.

【0045】ケース4の開口41は、封止部材8によっ
て気密的に封止されている。封止部材8は、厚み20〜
100μm程度のステンレス板、樹脂シート板などから
成り、ケース4の開口41を封止する封止板82と、該
封止板82の外部側に充填・硬化された外部側封止樹脂
部材83から構成されている。尚、外部側封止樹脂部材
83か封止板82とケース4の隙間から内部空間40に
侵入しないように、積層体3とケース4の内面の周囲の
間隙に内部側封止樹脂部材81を充填しても構わない。
The opening 41 of the case 4 is hermetically sealed by the sealing member 8. The sealing member 8 has a thickness of 20 to
A sealing plate 82 made of a stainless steel plate or a resin sheet plate having a thickness of about 100 μm and sealing the opening 41 of the case 4, and an external sealing resin member 83 filled and cured on the outside of the sealing plate 82. It is configured. Note that the inner sealing resin member 81 is inserted into the gap around the inner surface of the laminate 3 and the case 4 so as not to enter the internal space 40 through the gap between the outer sealing resin member 83 or the sealing plate 82 and the case 4. It may be filled.

【0046】上述の構造によって、一側面が開口した筺
体状ケース4と、圧電共振素子1とコンデンサ素子2と
を一体化した積層体3と、封止部材8とから主に構成さ
れるため、部品点数が少なく製造工程の簡略化する。
Since the above structure mainly comprises the housing-like case 4 having one side open, the laminated body 3 in which the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 are integrated, and the sealing member 8, The number of parts is small and the manufacturing process is simplified.

【0047】また、圧電共振素子1とコンデンサ素子2
とから成る積層体3は、ケース4への収納配置前で達成
されるため、圧電共振素子1とコンデンサ素子2との接
続、即ち、導電性接合部材15、16による接続処理、
両素子の積層処理が非常に信頼性高く行うことがてき
る。
The piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2
Is achieved before the housing 4 is placed in the case 4, so that the connection between the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2, that is, the connection processing by the conductive bonding members 15 and 16,
The lamination processing of both elements can be performed very reliably.

【0048】また、積層体3を収納配置するケース4の
内部空間40を、積層体3の形状に比較して、圧電共振
素子1の長手方向の4つ面に振動空間を確保する程度の
間隔に設定できるため、非常に小さいケース4となり、
全体として非常に小型の容量内蔵型圧電共振子となる。
Further, the internal space 40 of the case 4 in which the laminated body 3 is housed and arranged is spaced from the shape of the laminated body 3 such that a vibration space is secured on the four longitudinal surfaces of the piezoelectric resonance element 1. Can be set to very small case 4.
As a whole, a very small-capacity built-in piezoelectric resonator is obtained.

【0049】また、ケース4への積層体3の収納用の開
口41が、一側面のみに形成されているため、封止部材
8による封止作業が簡略化し、確実な封止が達成される
ことになる。
Further, since the opening 41 for accommodating the laminated body 3 in the case 4 is formed only on one side, the sealing operation by the sealing member 8 is simplified, and reliable sealing is achieved. Will be.

【0050】また、ケース4の内部に、完全に圧電共振
素子1、コンデンサ素子2から成る積層体2が収納され
るため、圧電共振素子1の振動電極11、12やコンデ
ンサ素子の各電極21〜25の腐蝕などがなく、長期に
あたり安定した特性が維持できる。
Further, since the laminate 2 composed entirely of the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2 is housed inside the case 4, the vibration electrodes 11 and 12 of the piezoelectric resonance element 1 and the respective electrodes 21 to 21 of the capacitor element are provided. 25 and stable characteristics can be maintained for a long period of time.

【0051】特に、3つのリード端子5、6、7が、ケ
ース4の底面に一体形成されており、このリード端子
5、6、7とコンデンサ素子2との電気的な接続が、リ
ード端子の接続先端部50、60、70に形成された貫
通孔51、61、71、及びその内部に充填された導電
性接続部材52、62、72によって達成されるため、
積層体3とリード端子5、6、7との安定した電気的な
接続が達成できる。
In particular, three lead terminals 5, 6, 7 are integrally formed on the bottom surface of the case 4, and the electrical connection between the lead terminals 5, 6, 7 and the capacitor element 2 is determined by the connection of the lead terminals. This is achieved by the through holes 51, 61, 71 formed in the connection tips 50, 60, 70, and the conductive connection members 52, 62, 72 filled therein.
Stable electrical connection between the laminate 3 and the lead terminals 5, 6, 7 can be achieved.

【0052】このリード端子5、6、7とコンデンサ素
子2の底面に形成した電極23、24、25との接続構
造を図6を用いて詳細に説明する。尚、リード端子5、
6、7の接続構造は同一であるため、ここでは、リード
端子6の接続構造のみを説明する。
The connection structure between the lead terminals 5, 6, 7 and the electrodes 23, 24, 25 formed on the bottom surface of the capacitor element 2 will be described in detail with reference to FIG. In addition, lead terminal 5,
Since the connection structures of 6 and 7 are the same, only the connection structure of the lead terminal 6 will be described here.

【0053】まず、圧電共振素子1とコンデンサ素子2
とを積層一体化した積層体3を、ケース4内に挿入配置
する。この時、積層体3のコンデンサ素子2が、ケース
4の底面側になるように配置する。その後、ケース4の
底面に形成した貫通孔51、61、71の開口が、上面
側になるようにケース4を反転させる。この状態の漏斗
状の貫通孔61部分の拡大断面図が図6(a)である。
尚、図中Sは、リード端子6の接続先端部60であり、
漏斗状の貫通孔51、61、71の開口面側の内壁を構
成する斜面である。
First, the piezoelectric resonance element 1 and the capacitor element 2
Is laminated and integrated into the case 4. At this time, the capacitor element 2 of the multilayer body 3 is arranged so as to be on the bottom side of the case 4. After that, the case 4 is inverted so that the openings of the through holes 51, 61, 71 formed on the bottom surface of the case 4 are on the upper surface side. FIG. 6A is an enlarged cross-sectional view of the funnel-shaped through hole 61 in this state.
In the figure, S is a connection tip 60 of the lead terminal 6,
This is a slope that forms an inner wall on the opening surface side of the funnel-shaped through holes 51, 61, and 71.

【0054】次に、漏斗状の貫通孔61に、導電性充填
部材62’の供給手段である細い管63を挿入する。細
い管63の外径は、漏斗状貫通孔61の外表面側の開口
径よりも小さく、漏斗状貫通孔61の内側開口径よりも
大きいものとする。好ましくは、細い管63の先端が、
漏斗状の貫通孔61の内壁面の途中にまで延びたリード
端子6の接続先端部60の傾斜面Sに当接するようにす
る。
Next, a thin tube 63 serving as a supply means of the conductive filling member 62 'is inserted into the funnel-shaped through hole 61. The outer diameter of the thin tube 63 is smaller than the opening diameter on the outer surface side of the funnel-shaped through-hole 61 and larger than the inner opening diameter of the funnel-shaped through-hole 61. Preferably, the tip of the thin tube 63 is
It is to be brought into contact with the inclined surface S of the connection distal end portion 60 of the lead terminal 6 extending halfway through the inner wall surface of the funnel-shaped through hole 61.

【0055】その後、細い管63を介して、貫通孔61
内にAgなどの導電性材料と混合した樹脂ペーストの導
電性接続部材62’を充填する。この状態が図6(b)
である。
Thereafter, the through-hole 61 is passed through the thin tube 63.
The inside is filled with a conductive connection member 62 ′ of a resin paste mixed with a conductive material such as Ag. This state is shown in FIG.
It is.

【0056】図6(b)のように、細い管63の先端
が、リード端子6の接続先端部60の傾斜面Sに当接
し、導電性接続部材62’が供給されるため、導電性接
続部材62’を供給すべき位置を正確に位置決めでき、
導電性樹脂部材62’がコンデンサ素子2の下面に形成
した電極24に確実に案内される。また、漏斗状貫通孔
61のケース4の材料が露出している内側内壁面及び漏
斗状貫通孔61の外側内壁面となるリード端子6の斜面
Sに付着することになる。
As shown in FIG. 6 (b), the tip of the thin tube 63 comes into contact with the inclined surface S of the connection tip 60 of the lead terminal 6, and the conductive connection member 62 'is supplied. The position where the member 62 'is to be supplied can be accurately positioned,
The conductive resin member 62 ′ is reliably guided to the electrode 24 formed on the lower surface of the capacitor element 2. In addition, the material of the case 4 of the funnel-shaped through-hole 61 is attached to the inner inner wall surface where the material of the funnel-shaped through-hole 61 is exposed and the slope S of the lead terminal 6 which becomes the outer inner wall surface of the funnel-shaped through-hole 61.

【0057】しかも、細い管から過剰な導電性充填部材
62’を充填しても、貫通孔61の外部開口から導電性
充填部材62’から盛り上がり、ケース4の外側に溢れ
出ることがない。これは、表面実装型圧電共振子をプリ
ント配線基板に半田を介して接合する際に、半田が付着
するリード端子の表面を、半田付着されない導電性接続
部材が汚すことがないものであり、これにより、安定し
た表面実装が可能となる。
Moreover, even if an excessive amount of the conductive filling member 62 ′ is filled from a thin tube, the conductive filling member 62 ′ rises from the external opening of the through hole 61 and does not overflow to the outside of the case 4. This is because when connecting the surface mount type piezoelectric resonator to the printed wiring board via solder, the surface of the lead terminal to which the solder adheres is not stained by the conductive connection member to which the solder is not attached. Thereby, stable surface mounting becomes possible.

【0058】その後、細い管63をケース4から離し
て、充填・配置した導電性充填部材62’を硬化し、導
電性充填部材62とする。
Thereafter, the thin tube 63 is separated from the case 4, and the filled and arranged conductive filling member 62 ′ is cured to form the conductive filling member 62.

【0059】ここで、重要なことは、リード端子6の接
続先端部60が、漏斗状の貫通孔61の内側開口まで到
達しておらず、その接続先端部60が漏斗状の貫通孔6
1の内壁の途中までしか延出しておらず、しかも、リー
ド端子6の接続先端部60の先端とケース4との固着部
分が導電性接続部材62によって被覆されている。
What is important here is that the connection tip 60 of the lead terminal 6 does not reach the inner opening of the funnel-shaped through hole 61, and the connection tip 60 is connected to the funnel-shaped through hole 6
The conductive connection member 62 extends only partway along the inner wall of the case 1, and furthermore, the fixed portion between the end of the connection end 60 of the lead terminal 6 and the case 4.

【0060】これは、リード端子6がケース4を形成す
る際に樹脂のインサートモールドによって固着される
が、この固着部分は表面実装のリフロー処理時、熱衝撃
によって、リード端子6とケース4との界面の接合強度
が低下することがある。極端な場合に、その界面が剥離
してしまい、微小な間隙が形成してしまうことがある。
The lead terminals 6 are fixed by insert molding of resin when the case 4 is formed. This fixed portion is formed between the lead terminal 6 and the case 4 by thermal shock during reflow processing for surface mounting. The bonding strength at the interface may decrease. In an extreme case, the interface may be peeled off and a minute gap may be formed.

【0061】しかし、リード端子6の接続先端部60の
先端がケース4の内部にまで到達していないこと、リー
ド端子6の接続先端部60の先端とケース4との固着部
分が導電性接続部材62によって被覆されていることか
ら、このケース4とリード端子6との界面で剥離が発生
しても、ケース4の底面側の外気がケース4の内部にま
で連通することが一切ない。
However, the tip of the connection tip 60 of the lead terminal 6 does not reach the inside of the case 4, and the fixed portion between the tip of the connection tip 60 of the lead terminal 6 and the case 4 is a conductive connecting member. Since it is covered with 62, even if separation occurs at the interface between the case 4 and the lead terminal 6, the outside air on the bottom side of the case 4 does not communicate with the inside of the case 4 at all.

【0062】従って、漏斗状の貫通孔61部分での封止
状態が、充填時は勿論のこと、長期間の使用に際しても
劣化することが一切なく、封止信頼性が非常に向上する
ことになる。
Therefore, the sealing state at the funnel-shaped through-hole 61 does not deteriorate at all during the long-term use as well as at the time of filling, and the sealing reliability is greatly improved. Become.

【0063】図7は、3つのリード端子5、6、7の接
続先端部50、60、70は、漏斗状の貫通孔51、6
1、71の内壁部の全部を構成した場合、即ち、リード
端子5、6、7の接続先端部50、60、70の先端部
がケース4の内部にまで到達している状態の接続部分の
断面図である。尚、リード端子6の接続先端部60のみ
で説明する。
FIG. 7 shows that the connection end portions 50, 60, 70 of the three lead terminals 5, 6, 7 have funnel-shaped through holes 51, 6, respectively.
In the case where the entire inner wall portions 1 and 71 are configured, that is, the connection portions in the state where the connection tip portions 50, 60 and 70 of the lead terminals 5, 6 and 7 reach the inside of the case 4. It is sectional drawing. Note that only the connection tip 60 of the lead terminal 6 will be described.

【0064】この場合には、ケース4の内底面に露出す
る接続先端部60の先端部とケース4との固着部分の境
界Zにまで、貫通孔61内に充填・供給された導電性接
続部材62が被覆されている。即ち、図6(b)の導電
性接続部材62’を充填供する工程において、間隙D4
(積層体3とケース4内底面との間隙)内のこの境界Z
に達するに充分な量の導電性接続部材62’を供給す
る。これにより、ケース4の内底面及び接続先端部60
の先端にも導電性接続部材62’が付着され、硬化され
ることになる。
In this case, the conductive connection member filled and supplied into the through-hole 61 up to the boundary Z of the fixed portion between the case 4 and the tip of the connection tip 60 exposed on the inner bottom surface of the case 4. 62 are coated. That is, in the step of subjecting filled with the conductive connecting member 62 in FIG. 6 (b) ', the gap D 4
This boundary Z in (the gap between the laminate 3 and the inner bottom surface of the case 4)
Is supplied in a sufficient quantity to reach. Thereby, the inner bottom surface of the case 4 and the connection tip 60
The conductive connecting member 62 'is also attached to the tip of the substrate and is cured.

【0065】従って、リード端子6が表面実装のリフロ
ー処理時、熱衝撃によって、リード端子6とケース4と
の界面の固着強度が低下し、剥離が発生して、リード端
子6の固着面に間隙が形成されても、ケース4の内底面
に付着し、硬化した導電性接続部材62によって、ケー
ス4の内部と外気との遮断が達成でき、ケース4の内部
の気密性が維持できる。
Therefore, when the lead terminals 6 are subjected to surface mounting reflow treatment, the thermal shock reduces the bonding strength at the interface between the lead terminals 6 and the case 4, causing peeling and causing a gap in the bonding surface of the lead terminals 6. Is formed, the inside of the case 4 can be shut off from the outside air by the conductive connecting member 62 which has adhered to the inner bottom surface of the case 4 and has been hardened, and the airtightness of the inside of the case 4 can be maintained.

【0066】[0066]

【発明の効果】本発明によれば、一側面が開口した筺体
状ケースに、圧電共振素子とコンデンサ素子との積層体
を挿入配置した構造であるため、全体として、小型な容
量内蔵型圧電共振子となり、しかも、筺体状ケースの開
口が1つの側面だけであるため、その封止作業が容易と
なり、封止信頼性が向上する。
According to the present invention, since a laminated body of a piezoelectric resonance element and a capacitor element is inserted and arranged in a housing-like case having one side opened, a small-sized built-in capacitance type piezoelectric resonance In addition, since the housing-shaped case has only one side surface, the sealing operation is facilitated and the sealing reliability is improved.

【0067】また、コンデンサ素子の下面の接続電極と
リード端子との接続が、ケース底面に形成した漏斗状の
貫通孔を介して行われるため、接続が同一工程で、且つ
同一平面状で接続処理が行うことができ、接続構造も単
純化されるため、接続安定性が向上する。
Further, since the connection between the connection electrode on the lower surface of the capacitor element and the lead terminal is made through a funnel-shaped through hole formed on the bottom surface of the case, the connection is performed in the same step and in the same plane. The connection structure can be simplified, and the connection stability is improved.

【0068】また、リード端子の接続先端部の先端のケ
ースとの境界部分が導電性接続部材が被覆しているた
め、リード端子とケースとの固着界面で熱衝撃等で剥離
しても、ケース内部と外気とがリークすることがないた
め、封止信頼性が向上し、耐湿性に優れた表面実装可能
な容量内蔵型圧電共振素子となる。
Further, since the conductive connecting member covers the boundary between the case and the end of the connection end of the lead terminal, even if it is peeled off by a thermal shock or the like at the fixed interface between the lead terminal and the case, Since the inside and the outside air do not leak, the reliability of sealing is improved, and the surface-mountable piezoelectric resonator element with excellent moisture resistance is provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の容量内蔵型圧電共振素子の外観斜視図
である。
FIG. 1 is an external perspective view of a built-in capacitance type piezoelectric resonance element of the present invention.

【図2】本発明の容量内蔵型圧電共振素子の縦断面図で
ある。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the built-in capacitive piezoelectric resonance element of the present invention.

【図3】本発明の容量内蔵型圧電共振素子の横断面図で
ある。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the built-in capacitive piezoelectric resonance element of the present invention.

【図4】本発明の容量内蔵型圧電共振素子の分解斜視図
ある。
FIG. 4 is an exploded perspective view of the built-in capacitance type piezoelectric resonance element of the present invention.

【図5】本発明の容量内蔵型圧電共振素子の等価回路図
である。
FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the built-in capacitance type piezoelectric resonance element of the present invention.

【図6】(a)〜(c)は、本発明の積層体とリード端
子との接続部分の断面構造図である。
6 (a) to 6 (c) are cross-sectional structural views of a connection portion between a laminated body of the present invention and a lead terminal.

【図7】本発明の他の接続部分の断面構造図である。FIG. 7 is a sectional structural view of another connection portion of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・・・・・圧電共振素子 10・・・・・・圧電基板 11、12・・・振動電極 2・・・・・・・・コンデンサ素子 20・・・・誘電体基板 21〜26・・・電極 3・・・・・・積層体 4・・・・・・ケース 5〜7・・・・リード端子 51、61、71・・・貫通穴 52、62、72・・・導電性接続部材 1 piezoelectric resonator element 10 piezoelectric substrate 11, 12 vibrating electrode 2 capacitor element 20 dielectric substrate 21 26 ... electrode 3 ... laminate 4 ... case 5-7 ... lead terminal 51,61,71 ... through hole 52,62,72 ... conductive Sex connection member

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 英彦 鹿児島県国分市山下町1番1号 京セラ株 式会社鹿児島国分工場内 (72)発明者 大塚 英三 鹿児島県国分市山下町1番1号 京セラ株 式会社鹿児島国分工場内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Hidehiko Nishimura 1-1-1, Yamashita-cho, Kokubu-shi, Kagoshima Kyocera Corporation Inside Kagoshima Kokubu Plant (72) Inventor Eizo Otsuka 1-1, Yamashita-cho, Kokubu-shi, Kagoshima Kyocera Corporation Kagoshima Kokubu Plant

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 底面に3つの外方に広がる漏斗状の貫通
孔が形成され、且つ一側面が開口した筐体状ケースと、 一端側が前記漏斗状の接続貫通孔の内壁斜面に固着さ
れ、他端が筺体状ケースの外表面に導出されている3つ
のリード端子と、 短冊状の圧電基板の両主面に振動電極を形成した圧電共
振素子と、2つの容量成分を形成し、且つ短冊状の誘電
体基板の一方主面に3つの接続電極を形成したコンデン
サ素子とを、各素子の対向しあう表面の両端部に配した
導電性接合部材を介して電気的に接続した積層体と、 前記筺体状ケースの開口を封止する封止部材とから成
り、 前記筺体状ケース内部に、前記積層体を配置させ、前記
コンデンサ素子の各接続電極と各リード端子とを各漏斗
状の貫通孔内に充填させた導電性接続部材で接続すると
ともに、各リード端子の一端側先端と筺体状ケースとの
固着部を前記導電性接続部材で被覆したことを特徴とす
る容量内蔵型圧電共振子。
1. A funnel-shaped case having three funnel-shaped through holes formed on the bottom surface and having one side open, and one end side is fixed to an inner wall slope of the funnel-shaped connection through hole. Three lead terminals, the other ends of which are led out to the outer surface of the housing-like case, a piezoelectric resonator element having vibration electrodes formed on both main surfaces of a strip-shaped piezoelectric substrate, and two strips forming two capacitive components A capacitor element in which three connection electrodes are formed on one main surface of a dielectric substrate in the shape of a capacitor, and a laminated body electrically connected via conductive joining members disposed at both ends of opposing surfaces of each element. A sealing member that seals an opening of the housing-shaped case, wherein the stacked body is disposed inside the housing-shaped case, and each connection electrode and each lead terminal of the capacitor element is penetrated in a funnel shape. When connecting with the conductive connecting member filled in the hole Moni, embedded capacitance piezoelectric resonator, characterized in that the fixing portion between the one end tips and the housing-like casing of the lead terminal is coated with the conductive connection member.
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JP2009201018A (en) * 2008-02-25 2009-09-03 Kyocera Kinseki Corp Crystal oscillator and method of manufacturing the same
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